JP2004286621A - 基板検査装置 - Google Patents
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Abstract
【解決手段】装置本体1に設けられた矢印d2方向に回転可能な揺動軸9に対して支持部8を固定し、この支持部8に対してベース9を回転軸9aを中心に矢印d3方向に回転可能に設け、さらにベース9上にホルダ枠11をスライド可能に設けた。
【選択図】 図1
Description
【発明の属する技術分野】
本発明は、例えば液晶デイスプレイ(LCD)などのフラットパネルディスプレイ(FPD)に用いられるガラス基板の表面又は裏面に照明光を照射してガラス基板上の欠陥部を検査する基板検査装置に関する。
【0002】
【従来の技術】
例えば液晶デイスプレイに用いられるガラス基板に対する欠陥検査は、ガラス基板に対して照明光を照射し、ガラス基板からの反射光の光学的変化を観察者の目視により観察してガラス基板表面上に存在する傷、欠け、汚れ、ダストの付着などの欠陥部を検出する。
【0003】
このようなガラス基板の基板検査装置は、例えば特許文献1に記載されている。この特許文献1は、ベースの傾斜面の一方向に沿って移動可能に設けられたホルダ上にガラス基板を保持し、マクロ観察系により検出されたガラス基板上の欠陥部をミクロ観察系の対物レンズの観察範囲に移動することによってミクロ観察することを記載する。
【0004】
【特許文献1】
特開平10−111253号公報
【0005】
【発明が解決しようとする課題】
液晶ディスプレイのガラス基板は、表面上に例えばライン状や長方形状の細長いパターン、例えば長方形状のTFT(thin film trasistor)のパターンを規則的に形成する。このような配列方向に規則性を有するパターンや方向性を有する欠陥に対して照明光の入射角度と入射方向とを変化させると、パターンや基板表面上の欠陥が良好の見える。
【0006】
しかしながら、特許文献1は、ベースの傾斜面に対して照明光の入射角度が固定され、ホルダが上下の一方向にしか移動できないため、ガラス基板に対する照明光の入射角度と入射方向とを変えることができない。
【0007】
ガラス基板をマクロ観察する場合、ガラス基板の裏面側からも照明光を照射してガラス基板を検査する要求がある。しかしながら、特許文献1は、ベースに開口部が無いために、ガラス基板の裏面側から照明光を照射することができない。
【0008】
液晶ディスプレイのガラス基板は、技術の進歩に伴なって年々大型化し1000mmに達するものが出現している。大型のガラス基板を特許文献1に記載されているベース上のホルダに保持すると、ガラス基板の2倍以上の長さのベースが必要になり、検査装置が大型化かるばかりか、ガラス基板の上部の高さ位置が高くなる。このため、ガラス基板をマクロ観察する場合、ガラス基板の上部と観察者との距離が遠く離れ、ガラス基板上部の欠陥が目視により観察することができなくなり、ガラス基板上の欠陥部の検出精度が著しく低下してしまう。
【0009】
そこで本発明は、大型のガラス基板を保持するホルダを前後方向に揺動したり回転させてガラス基板に対する照明光の入射角度と入射方向とを変更可能とし、更にホルダを反転してガラス基板の裏面検査も可能な基板検査装置を提供することを目的とする。
【0010】
【課題を解決するための手段】
本発明は、基板の表面又は裏面に照明光を照射して基板上の欠陥部を検査する基板検査装置において、装置本体の下方の正面に対して水平方向に設けられる第1の回転軸を中心に正面側に対して起上り方向とその反対の傾倒方向に回転可能な支持アームと、支持アームの先端に設けられる第2の回転軸を中心にして揺動可能及び反転可能で、かつ第2の軸に対して垂直方向に設けられた第3の回転軸を中心に回転可能なベースと、基板を保持してベースに対してスライド可能に設けられたホルダ枠とを具備する基板検査装置である。
【0011】
【発明の実施の形態】
以下、本発明の一実施の形態について図面を参照して説明する。
【0012】
図1乃至図3は基板検査装置の構成図であって、図1正面図、図2は側面図、図3は裏面図である。装置本体1の下方の正面に対して水平方向に第1の回転軸2が設けられ、この第1の回転軸2の左右両端部にそれぞれ各支持アーム3、4が互いに平行に設けられている。第1の回転軸2の一端部にモータ5が接続されている。モータ5の駆動により第1の回転軸2が回転すると、各支持アーム3、4は、図2に示すように観察者Qの存在する正面側に対して前後方向(矢印d1方向)に回動する。
【0013】
各支持アーム3、4の各先端部の間に第2の回転軸6が第1の回転軸2に対して水平方向に設けられている。この第2の回転軸6の一端部にモータ7が接続されている。第2の回転軸6は、中間部が切れており、支持部8を介して連結されている。この支持部8は、モータ7の駆動による第2の回転軸6の回転と共に矢印d2方向に回転する。この矢印d2方向への回転角度は、略180°である。
【0014】
この支持部8にモータ10が組み込まれており、このモータ10の回転軸(第3の回転軸)10aにベース9が固定されている。ベース9は、モータ10の駆動により第3の回転軸10aを中心に矢印d3方向に回転する。このベース9の矢印d3方向への回転角度は、正面側から見て左回り及び右回り共に180°又は360°に回転可能である。このベース9は、長方形状の枠9aと、この枠9a内に対角線上に設けられた2本の梁9b、9cとからなる。これら梁9b、9cの交わる部分に第3の回転軸10aが設けられている。従って、ベース9は、第2の回転軸6を中心にして前後方向に所定の角度範囲内で揺動すると共に、正面側から見て当該ベース9の表側と裏側とを反転させる反転し、さらに第3の回転軸10aを中心に平面内で360°に回転する。
【0015】
ベース9における長方形状の枠9aの各短辺上には、ホルダ枠11が矢印d4方向にスライド可能に設けられている。このホルダ枠11は、四辺形状の開口を有する枠状に形成されている。このホルダ枠11の全周に沿って、例えば液晶ディスプレイのガラス基板12の裏面を吸着保持する複数の吸引孔が設けられている。なお、ホルダ枠11の枠内には、ガラス基板12を水平状態に保持するために複数の桟を設け、これら桟上にはガラス基板12の裏面を点で支持する複数の支持ピンを設けている。
【0016】
ホルダ枠11のベース9上でのスライドの構造は、例えばベース9上の各短辺上に各ガイドレールを設け、これらガイドレール上にホルダ枠11に設けられた各ガイド溝を嵌合する。
【0017】
このような構成であれば、ホルダ枠11は、ベース9における長方形状の枠9aの各短辺上を矢印d4方向にスライド移動する。なお、スライド構造は、上記構造に限らず、如何なる構造であってもよい。
【0018】
ベース9の短辺は、スライド方向d4のガラス基板12(ホルダ枠11)の長さの約3分1から2分の1、図示例では約2分の1に形成されている。これにより、ホルダ枠11をガイドに沿って図示上下方向に移動することにより、ホルダ枠11とベース9との間に各開口部13a、13bが形成される。図1はホルダ枠11内における上下方向の中心位置にベース9が位置している基準位置を示する。これら開口部13a、13bのサイズは、ホルダ枠11のベース9上のスライドにより可変する。例えば、ホルダ枠11がベース9上を下方にスライドすると、下方の開口部13bのサイズが大きくなり、上方の開口部13aのサイズが小さくなる。ホルダ枠11が最下位置までスライドすると、ホルダ枠11の約2分の1の長さの開口部13bが形成される。
【0019】
装置本体1の正面側の上方には、ホルダ枠11に吸着保持されたガラス基板12を所定の照射角度で照明するマクロ照明光源14が設けられている。このマクロ照明光源14は、観察者が目視観察しやすい高さ、例えば図2に示す状態であれば、ホルダ枠11とベース9とにより形成される下方の開口部13bに対応する領域e1にマクロ照明光を照射する。この場合、ホルダ枠11を基準位置から最下位置までスライドすることにより、照明領域e1を通過するガラス基板12の下半分を目視観察することができる。
【0020】
なお、照明領域e1がベース9の一部にかかり、ガラス基板12上の欠陥がベース9の枠9aに重なって見えにくい場合には、欠陥が枠9aから外れるようにホルダ枠11を上下方向に移動させることも可能である。
【0021】
裏面側におけるホルダ枠11の斜め下方の後方側には、透過照明光源15が設けられている。この透過照明光源15は、ホルダ枠11を基準位置から最下位置までスライドすることにより、下方の開口部13bを通してガラス基板12の裏面側から透過照明光を照射する。なお、透過照明光源15は、例えばホルダ枠11を最下位置にスライドさせたときに形成される下方の開口部13bの最も大きなサイズと略同一サイズのマクロ観察領域に透過照明光を照射する。
【0022】
この透過照明光源15は、ベース9を第2の回転軸6を中心にして矢印d2方向に回転してホルダ枠11を揺動及び反転するとき、ベース9及びホルダ枠11との干渉を避けるために例えば裏面側の矢印d5方向に退避する。又、透過照明光源15は、ベース9及びホルダ枠11との干渉しないホルダ枠11の左側又は右側に退避してもよい。
【0023】
ホルダ枠11を基準位置に戻してモータ10を駆動してホルダ枠11を180°回転することによりガラス基板12に天地が反転する。
【0024】
この状態で上記同様に未検査のガラス基板12の半分をマクロ照明又は透過照明により観察できる。さらに、モータ7を駆動してベース9とホルダ枠11とを第2の回転軸6を中心にして180°回転させ、これによりガラス基板12の表面から裏面に反転する。これにより、ガラス基板12の裏面に対してマクロ照明又は透過照明による目視観察ができる。
【0025】
操作制御装置20は、支持アーム3、4の起き上がりと傾倒の動作、ベース9の前後方向の揺動、反転動作及び平面内の回転動作、ホルダ枠11のスライド移動を制御する。ジョイステック21a、21b、21cは、操作方向と操作量とに応じた操作信号を発生する。なお、ジョイステック21に限らず、他の操作端部を用いてもよい。
【0026】
パーソナルコンピータ22は、ジョイステック21a、21b、21cで発生した操作信号を入力し、ジョイステック21aの操作信号から支持アーム3、4の起き上がりと傾倒の動作、ジョイステック21cの操作信号からベース9の前後方向の回動・反転動作及び回転動作、ジョイステック21cの操作信号からホルダ枠11のスライド移動の各動作を分離し、これら動作別にそれぞれ各動作指令を発する。
【0027】
コントローラ23は、パーソナルコンピータ22から発せられた各動作指令を受け、このうち支持アーム3、4の起き上がりと傾倒の動作指令によってモータ5を駆動する駆動制御信号を送出し、ベース9の揺動・反転の動作指令によってモータ7を駆動する駆動制御信号を送出し、ベース9の回転動作指令によってモータ10を駆動する駆動制御信号を送出し、ホルダ枠11のスライド移動の動作指令によって図示しないスライド機構のモータを駆動する駆動制御信号を送出する。
【0028】
ドライバ24は、コントローラ23から送出された各駆動制御信号を入力して該当する各駆動モータ5、7、10又はスライド機構のモータを駆動する。
【0029】
次に、上記の如く構成された装置の動作について説明する。
【0030】
ホルダ枠11は、図4に示すように水平方向に設定され、かつホルダ枠11の高さ位置が例えばガラス基板12の図示しない搬送系の高さ位置と同一に設定される。なお、搬送系は、ガラス基板12を水平状態にして搬送する。
【0031】
搬送系により水平状態に搬送されたガラス基板12は、例えば受渡しロボットによりホルダ枠11の面上に載置される。ホルダ枠11は、ガラス基板12を例えばエアーの吸引作用により吸着保持する。
【0032】
観察者Qは、ガラス基板12がホルダ枠11に保持された後、ジョイステック21aを観察者Q側に傾動操作すると、パーソナルコンピータ22は、ジョイステック21aの傾きに応じた動作指令を発し、コントローラ23は、パーソナルコンピータ22から発せられた各動作指令を受け、ドライバ24にモータ5を駆動する駆動制御信号を送出する。ドライバ24は、コントローラ23から送出された駆動制御信号を入力して該当する駆動モータ5を駆動する。
【0033】
このモータ5が駆動すると、第1の回転軸2に連結された支持アーム3、4が図4に示す水平状態から図2に示すように矢印d1方向に回動して起き上がる。
この起き上がった状態で、ジョイステック21cを前後方向に揺動操作すると、この操作量に応じた動作指令がパーソナルコンピータ22から発せられ、コントローラ23、ドライバ24を介してモータ7が駆動する。このモータ7が回転すると、第2の回転軸6に固定されたベース9と共にホルダ枠11が図6(a)(b)に示すように矢印d2方向に揺動する。
【0034】
このとき、ジョイステック21aの傾き角度を調整することにより、支持アーム3、4の起き上がり角度を任意に調整してマクロ照明光源14から放射されたマクロ照明光をガラス基板12に対してマクロ観察に最適な入射角度に設定することができる。
【0035】
又、ジョイステック21bを観察者Q側に傾動操作することにより、スライド機構のモータが駆動し、ベース9上のガイドレールに沿ってホルダ枠11が下方に移動する。ホルダ枠11を最下位まで移動させれば、ガラス基板12の下半分をマクロ照明又は透過照明により照射する。
【0036】
観察者Qは、ガラス基板12の観察領域e1からの反射光の光学的変化を目視により観察する。ジョイステック21bの傾き角度を調整すれば、ホルダ枠11を任意の位置に設定したり、所定のピッチ又は連続して移動させることも可能である。
【0037】
次に、ガラス基板12の表面にマクロ照明光を照射した状態で、ジョイステック21cを左回り又は右回りに回転操作し、モータ10を駆動すると、ベース9及びホルダ枠11は、図1に示す矢印d3方向の左回り又は右回りで回転する。
この回転によりホルダ枠11上に保持されているガラス基板12も矢印d3方向の左回り又は右回りで回転する。このとき、ホルダ枠11の回転半径を小さくするために、ホレダ枠11の回転中心が第3の回転軸10に一致するようにベース9上のガイドレールに沿ってホルタ枠11を移動させることが好ましい。
【0038】
このベース9及びホルダ枠11を180°回転させ、ガラス基板12の天地を反転させることにより、上記同様に他方のガラス基板12の半分を目視観察することができる。
【0039】
このようにベース9及びホルダ枠11を180°回転させることにより、ガラス基板12の上半分し下半分を観察者Qの観察しやすい位置で、かつ観察者Qとの距離が短くなることからガラス基板12の欠陥部の検出精度が向上する。
【0040】
一方、ベース9及びホルダ枠11の回転は、例えば図5(a)〜(c)に示すように例えば左回りで90度、180度回転する毎に停止し、最終的に360度回転する。なお、同図(a)はベース9及びホルダ枠11の回転前の通常状態を示し、同図(b)は左回りに90度回転した状態を示し、同図(c)は左回りに180度回転した状態を示す。なお、同図(a)〜(c)に付した記号「A、B、C、D」は、ベース9及びホルダ枠11の回転を分かり易くするために付した。又、ベース9及びホルダ枠11の回転は、連続して360度所定の回転速度で回転してもよい。
【0041】
ベース9及びホルダ枠11の回転によりマクロ観察領域e1に配置されるガラス基板12の部分は、変更される。例えば、ベース9及びホルダ枠11の回転前のマクロ観察領域e1は、図5(a)に示すガラス基板12の面上の「C、D」の部分であり、ホルダ枠11を下方に移動させることによりガラス基板12の半分(C,D)を観察できる。ホルダ枠11を90度回転したときのマクロ観察領域e1は、同図(b)に示すガラス基板12の面上の「D、B」の部分であり、ホルダ枠11を左右に移動させることによりガラス基板12の半分(B,D)を観察できる。ガラス基板12を180度回転したときのマクロ観察領域e1は、同図(c)に示すガラス基板12の面上の「B、A」部分であり、ホルダ枠11を下方に移動させることによりガラス基板12の半分(B,A)を観察できる。観察者Qは、回転したガラス基板12のマクロ観察領域e1からの反射光の光学的変化を目視によりマクロ観察する。
【0042】
次に、ガラス基板12の表面にマクロ照明光を照射した状態で、モータ7の正転と逆転とを繰り返すと、ベース9及びホルダ枠11は、図6(a)(b)に示すように矢印d2方向である前後方向に揺動する。この前後方向の揺動によってもガラス基板12の表面に入射するマクロ照明光の入射角度が変化する。観察者Qは、前後方向に揺動したガラス基板12からの反射光の光学的変化を目視によりマクロ観察する。
【0043】
又、上記の通りベース9及びホルダ枠11は、図5(a)〜(c)に示すように矢印d3方向の左回り又は右回りで回転するので、例えば任意の角度(例えば90度、180度、270度)だけ回転させて停止し、この状態で図6(a)(b)に示すようにベース9及びホルダ枠11を前後方向に揺動してもよい。
【0044】
さらに、モータ5を駆動することによって第1の回転軸2を回転し、装置本体1の矢印d1方向への傾倒角度を変更した状態で、ベース9及びホルダ枠11を図5(a)〜(c)に示すように矢印d3方向の左回り又は右回りで回転させたり、前後方向に揺動してもよい。
【0045】
以上のようにガラス基板12を回転、前後揺動することによりガラス基板12の表面に入射するマクロ照明光の入射角度を変化させたときに、観察者Qによってガラス基板12からの反射光の光学的変化を目視によりマクロ観察する。このマクロ観察によって液晶ディスプレイのガラス基板12の表面上に形成されているライン状や長方形状の細長いパターン、例えば規則的に形成された長方形状のTFTのパターン上の欠陥部の検出の確度を高めることができる。
【0046】
次に、透過照明光源15から透過照明が放射されると、この透過照明光は、下方の開口部13bを通してガラス基板12の裏面より観察領域e1に照射される。観察者Qは、ガラス基板12からの透過光を目視してガラス基板12をマクロ観察する。
【0047】
この透過照明光をガラス基板12に照射したときのマクロ観察においても、上記同様に、ガラス基板12を回転、前後揺動することにより、観察者Qがガラス基板12をマクロ観察する方向を変化させることができる。
【0048】
次に、ホルダ枠11は、図7(a)(b)に示すようにベース9に対して下方にスライド移動する。なお、同図(a)は正面図、同図(b)は側面図である。ホルダ枠11が下方にスライド移動すると、ホルダ枠11とベース9により形成される下方の開口部13bのサイズが大きくなり、これにより、マクロ観察領域e1のサイズも大きくなる。なお、マクロ観察領域e1は、例えば「C、D」部分とする。ホルダ枠11は、ベース9に対するスライド方向の長さをベースの長さよりも略2倍に形成されているので、マクロ観察領域e1(「C、D」部分)は、ガラス基板12の面の略半分にできる。
【0049】
この状態で、ガラス基板12のマクロ観察領域e1に透過照明光源15から放射された透過照明が照射されると、観察者Qは、マクロ観察領域e1からの透過光を目視してガラス基板12をマクロ観察する。
【0050】
次に、ホルダ枠11をベース9に対して下方にスライド移動した状態で、ベース9及びホルダ枠11は、図8に示すように180度回転して停止する。続いてホルダ枠11は、ベース9に対して最も下方までスライド移動する。これにより、マクロ観察領域e1は、例えば「B、A」部分になる。このマクロ観察領域e1(「B、A」部分)もガラス基板12の面の略半分になる。
【0051】
この状態で、ガラス基板12のマクロ観察領域e1(「B、A」部分)に透過照明光源15から放射された透過照明が照射されると、観察者Qは、マクロ観察領域e1からの透過光を目視してガラス基板12をマクロ観察する。
【0052】
この結果、ガラス基板12の回転前のマクロ観察領域e1(「C、D」部分)と回転後のマクロ観察領域e1(「B、A」部分)とに対する各マクロ観察によりガラス基板12の表面全面に対するマクロ観察ができる。
【0053】
次に、モータ7が駆動すると、第2の回転軸6が回転する。この第2の回転軸6の回転によりベース9及びホルダ枠11は、図9に示すように矢印d2方向に回転してガラス基板12の表裏面を反転する。
【0054】
このときガラス基板12は、ホルダ枠11に吸着保持されているので、ホルダ枠11から落下することはない。又、透過照明光源15は、ベース9を第2の回転軸6を中心に回転してホルダ枠11を反転するとき、ベース9及びホルダ枠11との干渉を避けるために例えば裏面側の矢印d5方向に退避する。ホルダ枠11の反転動作が終了すると、透過照明光源15は、元の位置に戻る。
【0055】
この状態で、マクロ照明光源14からマクロ照明光が放射されると、このマクロ照明光は、ガラス基板12の裏面のマクロ観察領域e1に入射する。観察者Qは、ガラス基板12の裏面のマクロ観察領域e1からの反射光の光学的変化を目視によりマクロ観察する。
【0056】
又、透過照明光源15から透過照明が放射されると、この透過照明は、マクロ観察領域e1におけるガラス基板12の裏面に照射される。観察者Qは、マクロ観察領域e1の透過光を目視してガラス基板12をマクロ観察する。
【0057】
ガラス基板12を裏面側に反転した状態で、モータ7の正転と逆転とを繰り返すと、ベース9及びホルダ枠11は、前後方向に揺動する。この前後方向の揺動によってもガラス基板12の裏面に入射するマクロ照明光の入射角度が変化する。観察者Qは、前後方向に揺動したガラス基板12の裏面からの反射光の光学的変化を目視によりマクロ観察する。
【0058】
ガラス基板12を反転した状態で、ホルダ枠11をベース9に対して下方にスライド移動すれば、上記の通りガラス基板12の裏面に対するマクロ観察領域e1は、ガラス基板12の面の略半分にできる。
【0059】
さらに、ベース9及びホルダ枠11を矢印d3方向の例えば左回りで180度回転し、ホルダ枠11をベース9に対して下方にスライドすれば、ガラス基板12の裏面に対するマクロ観察領域e1は、先にマクロ観察できなかったガラス基板12の面の略半分に設定できる。
【0060】
この結果、ガラス基板12の回転前のマクロ観察領域e1と回転後のマクロ観察領域e1とに対する各マクロ観察によりガラス基板12の裏面全面に対するマクロ観察ができる。
【0061】
又、図10(a)(b)に示すようにベース9及びホルダ枠11を矢印d3方向に90度回転した後、この状態で、ホルダ枠11をベース9に対して左右方向にスライド移動する。観察者Qは、左右にスライド移動したガラス基板12のマクロ観察領域e1からの反射光の光学的変化を目視によりマクロ観察する。又、観察者Qは、左右にスライド移動したガラス基板12のマクロ観察領域e1の透過光を目視してマクロ観察する。
【0062】
なお、ホルダ枠11を左右方向にスライド移動した状態で、ホルダ枠11を前後方向に揺動させたり、回転させたり、さらに表裏面を反転させてガラス基板12のマクロ観察を行うこともできる。
【0063】
ガラス基板12に対するマクロ観察が終了すると、装置本体1は、モータ5の駆動により図4に示すように矢印d1方向に傾倒し、これと共にモータ7の駆動により第2の回転軸6が矢印d2方向に回転することにより、ホルダ枠11は水平方向に設定される。ホルダ枠11上に保持されているカラス基板12は、例えば受渡しロボットにより搬送系に渡される。
【0064】
このように上記一実施の形態においては、装置本体1に設けられた矢印d2方向に回転可能な第2の回転軸6に対して支持部8を固定し、この支持部8に対してベース9を回転軸9aを中心に矢印d3方向に回転可能に設け、さらにベース9上にホルダ枠11をスライド可能に設けた。
【0065】
これにより、ホルダ枠11上に保持されているガラス基板12は、正面から見て前後方向に揺動させたり、任意の角度だけ回転できる。これら前後方向の揺動及び回転によりガラス基板12の表面に入射するマクロ照明光の入射角度と入射方向とを変化させることができる。観察者Qは、ガラス基板12のマクロ観察領域e1からの反射光の光学的変化を目視によりマクロ観察できる。又、マクロ照明光から透過照明光に切り換えることにより観察者Qは、マクロ観察領域e1の透過光を目視してガラス基板12をマクロ観察できる。
【0066】
このマクロ観察領域e1は、ホルダ枠11とベース9とにより形成される下方の開口部13bに対応した位置である。これにより、観察者Qは、ガラス基板12の間近で、マクロ照明光の入射角度を変化させたときのガラス基板12からの反射光の光学的変化を観察できる。この結果、ガラス基板12上の欠陥部の検出の精度を高めることができる。
【0067】
ホルダ枠11を図7(a)(b)に示す状態から180度回転し、この後、図8に示すようにホルダ枠11を下方にスライド移動させる。これにより、ガラス基板12の回転前にマクロ観察領域e1(「C、D」部分)に対するマクロ観察を行う。回転後にマクロ観察領域e1(「B、A」部分)に対するマクロ観察を行う。
これらマクロ観察によりガラス基板12が大型であっても、このガラス基板12の表面全面に対するマクロ観察がガラス基板12の間近でできる。
【0068】
ベース9及びホルダ枠11は、第2の回転軸6を中心にして回転してガラス基板12の表裏面を反転するので、ガラス基板12の裏面のマクロ観察領域e1からの反射光の光学的変化を目視によりマクロ観察できる。又、マクロ照明光から透過照明光に切り換えることにより観察者Qは、マクロ観察領域e1の透過光を目視してガラス基板12の裏面をマクロ観察できる。
【0069】
又、ガラス基板12を反転した状態で、ガラス基板12を前後方向に揺動させたり、回転させることができる。これにより、ガラス基板12の裏面に入射するマクロ照明光の入射角度を変化させて、ガラス基板12の裏面もマクロ観察できる。
【0070】
ホルダ枠11は、水平方向でその高さ位置をガラス基板12の搬送系の高さ位置と同一に設定できるので、ホルダ枠11と搬送系との間のガラス基板12の受渡しは、ガラス基板12を水平状態に保ったまま容易にできる。
【0071】
なお、本発明は、上記一実施の形態に限定されるものでなく、実施段階ではその要旨を逸脱しない範囲で種々に変形することが可能である。
【0072】
さらに、上記実施形態には、種々の段階の発明が含まれており、開示されている複数の構成要件における適宜な組み合わせにより種々の発明が抽出できる。例えば、実施形態に示されている全構成要件から幾つかの構成要件が削除されても、発明が解決しようとする課題の欄で述べた課題が解決でき、発明の効果の欄で述べられている効果が得られる場合には、この構成要件が削除された構成が発明として抽出できる。
【0073】
例えば、ガラス基板12を正面から見て前後方向に揺動させたり、任意の角度だけ回転させたり、さらに反転させて各マクロ観察しているが、これらマクロ観察の順序は、上記一実施の形態で説明した順序に限らず、観察者Qにより任意に決定してもよい。
【0074】
【発明の効果】
以上詳記したように本発明によれば、大型のガラス基板を保持するホルダを前後方向に揺動したり回転させてガラス基板に対する照明光の入射角度を変更可能とし、更にホルダを反転してガラス基板の裏面検査も可能な基板検査装置を提供することを目的とする。
【図面の簡単な説明】
【図1】本発明に係わる基板検査装置の一実施の形態を示す正面構成図。
【図2】本発明に係わる基板検査装置の一実施の形態を示す側面構成図。
【図3】本発明に係わる基板検査装置の一実施の形態を示す裏面構成図。
【図4】本発明に係わる基板検査装置の一実施の形態におけるホルダ枠上へのガラス基板の受渡しを示す図。
【図5】本発明に係わる基板検査装置の一実施の形態におけるベース及びホルダ枠の回転を示す図。
【図6】本発明に係わる基板検査装置の一実施の形態におけるガラス基板を前後方向に揺動させたときのマクロ観察を示す図。
【図7】本発明に係わる基板検査装置の一実施の形態におけるホルダ枠を下方にスライド移動したときの図。
【図8】本発明に係わる基板検査装置の一実施の形態におけるホルダ枠を回転した後に下方にスライド移動したときの図。
【図9】本発明に係わる基板検査装置の一実施の形態におけるホルダ枠を反転したときの図。
【図10】本発明に係わる基板検査装置の一実施の形態におけるホルダ枠の左右スライド移動を示す図。
【符号の説明】
1:装置本体、2:第1の回転軸、3,4:支持アーム、5,7,10:モータ、6:第2の回転軸、8:支持部、9:ベース、9a:回転軸、9b,9c:梁、11:ホルダ枠、12:ガラス基板、13a,13b:開口部、14:マクロ照明光源、15:透過照明光源、20:操作制御装置、21:ジョイステック、22:パーソナルコンピータ、23:コントローラ、24:ドライバ。
Claims (5)
- 基板の表面又は裏面に照明光を照射して前記基板上の欠陥部を検査する基板検査装置において、
装置本体の下方の正面に対して水平方向に設けられる第1の回転軸を中心に正面側に対して起上り方向とその反対の傾倒方向に回転可能な支持アームと、
前記支持アームの先端に設けられる第2の回転軸を中心にして揺動可能及び反転可能で、かつ前記第2の軸に対して垂直方向に設けられた第3の回転軸を中心に回転可能なベースと、
前記基板を保持して前記ベースに対してスライド可能に設けられたホルダ枠と、を具備することを特徴とする基板検査装置。 - 前記ベースは、前記第3の軸を中心に回転することにより前記ホルダ枠上に保持された前記基板を当該基板の平面内で回転させて前記基板の規則的なパターンに対する照明光の入射方向を変化させることを特徴とする請求項1記載の基板検査装置。
- 前記ホルダ枠は、前記ベース上をスライドすることにより前記基板における検査対象部分を任意の高さ位置に調整可能であることを特徴とする請求項1記載の基板検査装置。
- 前記ホルダ枠は、前記ベースに対してスライドするスライド方向の長さを前記ベースの長さの2倍以上に形成し、前記ホルダ枠と前記ベースとにより形成される開口部を前記基板に対する検査領域とすることを特徴とする請求項1記載の基板検査装置。
- 前記基板に透過照明光を照射する透過照明光源を備え、
前記透過照明光源は、前記ホルダ枠を前記ベース上にスライドさせたときに前記ホルダ枠と前記ベースとにより形成される開口部を通して前記透過照明光を前記基板に照射することを特徴とする請求項1又は2記載の基板検査装置。
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Cited By (7)
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JP2006220495A (ja) * | 2005-02-09 | 2006-08-24 | Olympus Corp | 基板検査装置 |
JP2006258697A (ja) * | 2005-03-18 | 2006-09-28 | Olympus Corp | 基板検査装置 |
JP2007093411A (ja) * | 2005-09-29 | 2007-04-12 | Olympus Corp | 基板検査装置 |
CN100335431C (zh) * | 2005-01-28 | 2007-09-05 | 广辉电子股份有限公司 | 基板传送装置 |
JP2011141127A (ja) * | 2010-01-05 | 2011-07-21 | Avanstrate Taiwan Inc | ガラス板の欠陥部分の目視検査方法及び目視検査装置 |
KR101300098B1 (ko) * | 2006-08-09 | 2013-08-30 | 엘아이지에이디피 주식회사 | 기판 검사 장치 및 방법 |
CN107505737A (zh) * | 2017-07-24 | 2017-12-22 | 深圳市华星光电技术有限公司 | 一种用于热处理制程的支撑装置 |
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Cited By (8)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
CN100335431C (zh) * | 2005-01-28 | 2007-09-05 | 广辉电子股份有限公司 | 基板传送装置 |
JP2006220495A (ja) * | 2005-02-09 | 2006-08-24 | Olympus Corp | 基板検査装置 |
JP4700365B2 (ja) * | 2005-02-09 | 2011-06-15 | オリンパス株式会社 | 基板検査装置 |
JP2006258697A (ja) * | 2005-03-18 | 2006-09-28 | Olympus Corp | 基板検査装置 |
JP2007093411A (ja) * | 2005-09-29 | 2007-04-12 | Olympus Corp | 基板検査装置 |
KR101300098B1 (ko) * | 2006-08-09 | 2013-08-30 | 엘아이지에이디피 주식회사 | 기판 검사 장치 및 방법 |
JP2011141127A (ja) * | 2010-01-05 | 2011-07-21 | Avanstrate Taiwan Inc | ガラス板の欠陥部分の目視検査方法及び目視検査装置 |
CN107505737A (zh) * | 2017-07-24 | 2017-12-22 | 深圳市华星光电技术有限公司 | 一种用于热处理制程的支撑装置 |
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