JP4700365B2

JP4700365B2 - 基板検査装置

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Inventors: 勝治村上
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Description

本発明は、液晶ディスプレイのフラットパネルディスプレィ等に用いられるガラス基板等の外観検査に用いられる基板検査装置に関する。

液晶ディスプレィ（ＬＣＤ）などの製造工程においては、フラットパネルディスプレィ（ＦＰＤ）用の基板の外観を、検査者が目視で検査（マクロ検査）をする検査工程があり、この検査工程には、基板を傾斜保持した状態で基板表面に照明光を照射して基板上の欠陥を目視により検査する基板検査装置が用いられている。
この種の基板検査装置は、例えば、特許文献１に開示されているように、所定の傾斜角度に固定支持されたベースと、このベースに対して検査対象となる基板を保持するホルダ本体が上下方向にスライド自在に取り付けられており、ベースの中間にマクロ観察によって検出された欠陥を対物レンズで拡大して接眼レンズにより観察するミクロ観察部が設けられている。また、特許文献２には、基板を保持したホルダ本体を検査者に向けて起き上るように回転させると共に、基板の裏面が検査者側に向くようにホルダ本体を１８０°回転させるものが開示されている。
特開平１０−１１１２５３号公報特開２０００−２６６６３８号公報

しかしながら、特許文献１に開示されているような基板検査装置では、ベースが所定の傾斜角度に固定され、ホルダ本体がベースの傾斜面に沿って上下方向にしか移動できないため、基板に対する照明光の入射角度を変えることができず、検査者の目の高さによって基板上の欠陥の見え方が変わり、検査者によって欠陥の検出精度にバラツキが生じていた。また、特許文献２に開示されているような基板検査装置では、基板が１０００ｍｍ、２０００ｍｍと大型化すると、ホルダ本体を傾斜させただけでは、基板の上部と検査者との距離が遠くなり、基板上の欠陥が目視によって観察できず、大型基板上の欠陥検出精度が低下するという問題が生じていた。また、このホルダ本体をＸ方向及びＹ方向の２軸で回転できるように支持するためには、複雑な支持機構が必要になると共に、基板全面に照明光を照射しているため、基板の大型化に伴って照明光学系の光路長が長くなり、装置全体の小型化を図ることが困難となっている。したがって、簡単な支持機構の開発が望まれていた。
この発明は、このような事情に鑑みてなされたものであり、その目的とするところは、大型の基板の外観検査を行うにあたり、装置構成の大型化を防ぐと共に、検査者の負担増加を防止することである。

上記の課題を解決する本発明は、平行配置された一対の支持フレームを有する基板ホルダと、前記一対の支持フレームを検査者側に向かって起き上がるように回動させる回転駆動部と、前記一対の支持フレームの長手方向に沿って設けられたガイドと、前記ガイドに沿って移動可能に設けられ、基板を保持するホルダ本体と、前記ホルダ本体に保持された前記基板上に照明光を照射し、この基板面からの反射光を目視観察することにより前記基板上の欠陥を検出するマクロ照明光源と、を備えたことを特徴とする基板検査装置とした。

また、平行に配置された一対の支持フレームを有する基板ホルダと、前記一対の支持フレームを水平姿勢から垂直姿勢に回動させる回転駆動部と、前記一対の支持フレームの長手方向に沿ってに設けられたガイドと、前記ガイドに沿って移動可能に設けられ、基板を保持するホルダ本体と、前記基板ホルダを前記回転駆動部により所定角度だけ起き上がらせた状態で前記基板ホルダの上方から前記被検査基板の一部を照明するマクロ照明光源と、を備えたことを特徴とする基板検査装置とした。

本発明によれば、揺動する腕部に沿って基板をスライドさせることが可能になるため、検査者は視線を大きく移動させなくても検査を行うことが可能になる。さらに、基板を移動させることによって、基板全体を均一に照明する必要がなくなるので、光学系を小型化することができる。したがって、基板ホルダの構成の簡略化、装置の小型化、及び低コスト化を図ることができる。

本発明を実施するための最良の形態について以下に説明する。
（第１の実施の形態）
図１に概略構成を示すように、基板検査装置１は、床面に設置される装置本体２を有し、装置本体２の上部には、マクロ照明用光源であるランプ３が設けられている。ランプとしては、例えば、メタルハライドランプやナトリウムランプや蛍光灯などの広視野を照明できるマクロ照明光源が使用されている。この実施の形態では、ランプ３にメタルハライドランプを用いた例が示されている。ランプ３の光軸上には、反射ミラー４が設置されており、ランプ３からの光を下方に配置されたフレネルレンズ５に入射するようになっている。フレネルレンズ５は、ランプ３からの発散光を収束光にするために用いられており、この収束光によって基板ホルダ６上に保持される被検査基板であるガラス基板Ｗを照明する。なお、装置本体２の前面（図１において左側）には、検査者がガラス基板Ｗの外観検査を目視でできるように開口部７が形成されている。また、開口部の周縁部には、検査者の操作を受け付ける操作部８が設けられている。

ここで、図２に示すように、基板ホルダ６は、装置の左右方向（図２のＸ方向）に並ぶように、平行に２本の支持フレーム１０，１１を備えている。これら支持フレーム１０，１１の基端部は、装置本体２のベースに固定された回動モータ（第１の回転駆動部）１２，１３のそれぞれの軸に連結されており、図１に示す略水平な姿勢から、垂直に近い姿勢までの間で回動自在になっている。なお、第１の回転駆動部として、両軸回転モータを用いれば、支持フレーム１０，１１の間に両軸回転モータを配置し、この両軸回転モータの両軸に支持フレーム１０，１１の基端側を連結し、１つの両軸回転モータによって支持フレーム１０，１１を一体に回動させることができる。

また、この実施の形態では、支持フレーム１０，１１を別体で構成し、平行に配置することで基板ホルダ６を構成しているが、支持フレーム１０，１１の各基端側を連結フレームで連結して略Ｕ字形状の一体構成にしたり、支持フレーム１０，１１の各先端側を連結フレームで連結して門形状の一体構成にしたり、各基端側及び各先端側を連結フレームで連結して矩形状の一体構成にしたりすることもできる。基板ホルダ６を門形状に構成した場合には、支持フレーム１０，１１の各基端側を両軸回転モータで連結することができる。

図２に示す支持フレーム１０には、支持フレーム１０の長手方向に平行にボールネジ１４が回転自在に支持されており、ボールネジ１４の一端部には、このボールネジ１４を正転又は逆転させる駆動モータ１５が直結されている。また、ボールネジ１４の配設位置よりも支持フレーム１１寄りの内側には、第１のリニアガイド１６がボールネジ１４と平行に配置されている。一方、支持フレーム１１には、第１のリニアガイド１７が支持フレーム１０側の第１のリニアガイド１６と平行に配置されている。

さらに、基板ホルダ６は、ボールネジ１４と螺合し、第１のリニアガイド１６にスライド自在に取り付けられたスライダ（可動部）２０と、第１のリニアガイド１７にスライド自在に取り付けられたスライダ（可動部）２１と、これらスライダ２０，２１に回転自在に取り付けられたホルダ本体２３とを備えている。スライダ２０は、支持フレーム１０のボールネジ１４が噛み合い状態で貫通するネジ孔２４が設けられており、その裏面には、第１のリニアガイド１６に嵌合する溝が形成されている。さらに、スライダ２０には、ホルダ本体２３の軸２６を回転自在に支持する軸受け２７が設けられている。一方、スライダ２１は、その裏面に支持フレーム１１の第１のリニアガイド１７に嵌合する溝が形成されている。さらに、スライダ２１には、ホルダ本体２３の軸２６を回転自在に支持する軸受け２９が設けられ、軸２６にはホルダ本体２３を反転させる反転駆動モータ３０が連結されている。ホルダ本体２３は、ガラス基板Ｗの表面検査や、バックライト光源９による照明ができるように開口部３１を有する矩形状のフレーム枠に形成されている。このホルダ本体２３の両側部には、軸２６がホルダ本体２３の上下方向（図２においてＹ方向）の略中央から左右方向外側（図２においてＸ方向）に向かって延びている。なお、Ｘ方向は、基板ホルダ６の回転軸（回動モータ１２，１３の回転軸）と平行であり、Ｙ方向は、回転軸と直交している。また、バックライト光源９は、垂直姿勢にあるガラス基板Ｗを裏面側から照明するように配置された照明ユニットである。

ホルダ本体２３の開口部３１の大きさは、検査対象となるガラス基板Ｗの外形よりも小さいが、ガラス基板Ｗ上に形成されるパターン領域より大きい。ホルダ本体２３の上面の内縁部には、ガラス基板Ｗの周縁部を吸着保持する吸着保持機構３２が所定の間隔で配設されている。また、ホルダ本体２３の上面には、ホルダ本体２３の所定の基準位置にガラス基板Ｗの位置決めをする基準ピン３４と押し付けピン３５とが設けられている。この実施の形態では、支持フレーム１０，１１の各リニアガイド１６，１７に沿ってホルダ本体２３を直線移動させる第１の直線移動駆動部をボールネジ１４と駆動モータ１５とで構成したが、リニアモータやラック・アンド・ピニオンなどの直線移動駆動部で構成することもできる。

これら各モータ１２，１３，１５，３０、及び吸着保持機構３２は、図１に示すような制御部３３に接続されている。さらに、制御部３３は、操作部８にも接続されており、検査者の操作を受け付けるなどして、基板検査装置１全体の制御を司っている。

この実施の形態の作用について説明する。なお、図１に示す反射ミラー４や、フレネルレンズ５といった照明光学系は、ガラス基板Ｗの全面を一度に照明しても良いが、この実施の形態では、照明光学系を小型化するため、ガラス基板Ｗの一部、例えば、ガラス基板ＷのＹ方向の長さの１／２、２／３を照明でき、かつガラス基板Ｗの左右方向（Ｘ方向）を照明できるように照明光学系（照明ユニット）が複数配置されているものとする。
まず、初期状態として、駆動モータ１５を駆動してスライダ２０，２１とホルダ本体２３を第１のリニアガイド１６，１７の初期位置、例えば、略中央に移動させ、反転駆動モータ３０を制御してホルダ本体２３を表面が上向きになるように回転させると共に、回動モータ１２，１３を制御して、支持フレーム１０，１１を水平になるように回転させる。ここに、不図示の搬送用ロボットなどの基板搬送装置により検査対象となるガラス基板Ｗを搬入し、ホルダ本体２３の表面に移載する。ホルダ本体２３は、移載されたガラス基板Ｗを基準ピン３４と押し付けピン３５とによって位置決めした後に、吸着保持機構３２によってガラス基板Ｗを吸着保持する。マクロ検査を実施にするにあたっては、回動モータ１２，１３を同期して駆動させ、支持フレーム１０，１１をその基端部を起点として検査者側にガラス基板Ｗの表面が向くように起き上がらせる。このとき、ガラス基板Ｗの傾斜角度は、検査者が開口部７（図１参照）を通してガラス基板Ｗの目視検査をし易い角度で、例えば、３０〜７０°、より好ましくは４５〜６０°とする。支持フレーム１０，１１とホルダ本体２３を所望の傾斜角度に設定した状態で、装置本体２上部に設けられたランプ３からフレネルレンズ５を通して照明光をガラス基板Ｗの表面に照射する。

ここで、このマクロ検査の際には、支持フレーム１０，１１を検査者の観察に適した傾斜角度に設定した後に、操作部８のジョイスティック又は微動スイッチを操作して支持フレーム１０，１１又はホルダ本体２３を前後に揺動させることにより、ガラス基板Ｗの欠陥を良好に検出することができる。この場合に、小型で軽量のホルダ本体２３を揺動させることが好ましい。
検査者から見てガラス基板Ｗの下部の領域を観察したい場合、検査者はホルダ本体２３を上方向に移動させるために操作部８のジョイスティックを上側に押し倒す。このジョイスティックの操作に応じて、制御部３３の制御により、駆動モータ１５がボールネジ１４を正回転させ、スライダ２０をＹ方向上側に移動させる。このときスライダ２１も第１のリニアガイド１７に沿って従動し、その結果、図３の実線に示すように、ホルダ本体２３が所望の角度に傾斜した支持フレーム１０，１１に沿って上側に移動し、ガラス基板Ｗの下部が照明される。同様に、ジョイスティックを下側に押し倒すと、このジョイスティックの操作に応じて制御部３３の制御により、駆動モータ１５がボールネジ１４を逆転させ、両スライダ２０，２１をＹ方向下側に移動させる。このスライダ２０，２１の移動により、ホルダ本体２３が支持フレーム１０，１１に沿って下側に移動し、ガラス基板Ｗの上部が照明される。ホルダ本体２３がＹ方向に移動可能な範囲は、ガラス基板Ｗの全面に対して照明光が走査されて検査者の視界に入るように設定されているので、ホルダ本体２３を上下に移動させるだけで、検査者の目視観察し易い姿勢及び視野で、ガラス基板Ｗの上部から下部までのマクロ検査を行うことができる。

さらに、ガラス基板Ｗの裏面のマクロ観察をする際には、例えば、操作部８の反転ボタンを押す。制御部３３は、反転ボタンからの指令により、反転駆動モータ３０を駆動してホルダ本体２３を反転させる。ホルダ本体２３は、回転しても他の部材に干渉しない位置に移動した後に、反転駆動モータ３０により１８０°回転させられる。これによって、ガラス基板Ｗがホルダ本体２３ごと反転し、ガラス基板Ｗの裏面が検査者に臨むので、前記と同様にホルダ本体２３をＹ方向にスライド移動させながら、ガラス基板Ｗの裏面全体をマクロ観察する。また、バックライト検査を行う場合には、バックライト光源９を点灯させ、ガラス基板Ｗを透過する光でガラス基板Ｗの表面や裏面のマクロ観察を行う。この場合においても前記と同様にしてガラス基板Ｗの位置をＸ方向やＹ方向に移動させながら観察を行うことができる。なお、マクロ観察が終了したら、ガラス基板Ｗを初期状態に戻して、吸着保持を解除した後に、基板搬送装置により搬出させる。

この実施の形態によれば、基板ホルダ６と、ホルダ本体２３とを検査者に向けて回動させることにより、上方から照射されるマクロ照明光に対してガラス基板Ｗを欠陥が観察し易い最適な傾斜角度に設定することができる。また、ガラス基板Ｗを保持したホルダ本体２３が、支持フレーム１０，１１の長手方向であるＹ方向に移動するので、検査者は、視線を上下方向に移動させなくても左右に動かすだけでマクロ検査を行うことができ、楽な姿勢で検査ができる。特にサイズが１０００ｍｍ、２０００ｍｍを超えるような大型のガラス基板Ｗの場合には、従来のように検査者がしゃがんでガラス基板Ｗの下側を見たり、
伸び上がってガラス基板Ｗの上側を見たりする必要がなくなり、検査者が楽な姿勢で立ったままでホルダ本体２３を上下に移動させるだけで、ガラス基板Ｗの上側から下側まで観察でき、検査者の負担を低減させることができる。また、スライド移動のみでガラス基板Ｗの全面の外観検査ができるようになるので、基板ホルダ６の構成を簡略化することができる。さらに、ガラス基板ＷをＹ方向に移動自在に支持した状態で、ガラス基板Ｗを反転させる反転駆動モータ３０を設けたので、軽量のホルダ本体２３を微小な角度範囲で揺動制御することが可能になり、基板ホルダ６全体を揺動させるものに比べて、揺動制御が容易に行え、かつ視線を左右に動かすだけでガラス基板Ｗの裏面のマクロ観察を行うことができる。そして、ホルダ本体２３をＹ方向に移動させることによりガラス基板Ｗの全面を一様に照明する照明光学系を構築する必要がなく、ガラス基板Ｗの一部を照明することでガラス基板Ｗの全面に対して照明を行うことが可能になるため、照明光学系（照明ユニット）の小型化も同時に図ることができる。基板ホルダ６を一対の支持フレーム１０，１１で構成することにより、軽量化を図ることができ、支持フレーム１０，１１の間に配置することにより、基板ホルダ６の横寸法を小さくできる。

なお、支持フレーム１１にも、第１の直線移動駆動部を設けても良い。２つの駆動モータ１５を同期して駆動させることによってホルダ本体２３をＹ方向に移動させることが可能になる。また、駆動モータ１５でボールネジ１４を回転させることでホルダ本体２３をＹ方向に移動させる代わりに、リニアモータでホルダ本体２３を移動させることもできる。

（第２の実施の形態）
図４及び図５に第２の実施の形態に適用される基板ホルダの構成を示す。なお、第１の実施の形態と重複する説明は省略する。
基板ホルダ４０は、装置本体２に対して回動自在な２本の支持フレーム１０，１１を平行に備え、これら支持フレーム１０，１１の間に、ホルダ本体２３を支持する支持部を構成する第１のスライドステージ（第１の支持枠部）４１が架け渡されるように設けられている。この第１のスライドステージ４１は、ホルダ本体２３の外径よりも大きな開口部４６を有する矩形状のフレームに形成されている。
第１のスライドステージ４１の左側フレームには、支持フレーム１０のボールネジ１４が噛み合い状態で貫通するネジ孔２４を有する伝達部が設けられており、第１のスライドステージ４１の裏面には、両支持フレーム１０，１１の各リニアガイド１６，１７に嵌合する溝がそれぞれ設けられている。第１のスライドステージ４１の表面上部には、支持フレーム１０の第１のリニアガイド１６と直交する方向に、ボールネジ４２が回転自在に支持されている。ボールネジ４２の一端部には、駆動モータ４３が連結されており、この駆動モータ４３は、第１のスライドステージ４１に固定されている。さらに、第１のスライドステージ４１のＹ方向上下端部には、ボールネジ４２と平行にリニアガイド４４，４５が配置されている。

このような構成を有する第１のスライドステージ４１の表面には、ホルダ本体２３を支持する支持部を構成する第２のスライドステージ（第２の支持枠部）５０がリニアガイド４４，４５に移動自在に支持されている。第２のスライドステージ５０の上端フレームには、ボールネジ４２が噛み合い状態で貫通するネジ孔５１を有する伝達部が設けられている。第１のスライドステージ４１の裏面には、リニアガイド４４，４５に嵌合する溝がそれぞれ設けられている。また、第２のスライドステージ５０の左右の側部のそれぞれには、軸受け５４，５５が設けられており、軸２６を有するホルダ本体２３が回転自在に支持されている。なお、軸２６は、反転駆動モータ３０に連結されており、反転駆動モータ３０は、第２のスライドステージ５０の軸受け５５に固定されている。
ホルダ本体２３は、第２のスライドステージ５０の開口部５６内に反転自在に収容可能である他は、前記と同じ構成になっている。

次に、この実施の形態の作用について説明する。なお、初期状態として、駆動モータ１５を制御して第１のスライドステージ４１を第１のリニアガイド１６，１７の略中央に位置させ、駆動モータ４３を制御して初期位置として、例えば第２のスライドステージ５０をリニアガイド４４，４５の略中央に位置させ、かつホルダ本体２３を表面が上向きにする。この状態で、回動モータ１２，１３を制御して支持フレーム１０，１１を水平になるように回転（復帰）させる。また、光学系は、ガラス基板Ｗの幅、及び高さよりも小さい領域のみを照明するように設定されている。
まず、ガラス基板Ｗを吸着保持したら、回動モータ１２，１３を制御して各支持フレーム１０，１１が起き上がるように回動する。ガラス基板Ｗの中央が照明され、照明された部分についてのマクロ検査が行われる。このマクロ検査の際、第１の実施の形態と同様に、支持フレーム１０，１１又はホルダ本体２３を前後方向に揺動（例えば、±１０°）させることにより、ガラス基板Ｗの欠陥を良好に目視で観察することができる。

ここで、検査者から見て、ガラス基板Ｗの上部、又は下部のそれぞれをマクロ検査するときには、操作部８のジョイスティックを上下方句に操作して、ホルダ本体２３をスライド移動させる。すなわち、ジョイスティックの操作に応じて制御部３３の制御により、駆動モータ１５がボールネジ１４を回転させ、第１のスライドステージ４１をＹ方向に沿って下側、又は上側にそれぞれスライド移動させる。その結果、照明光の光路上に、ガラス基板Ｗの上部、又は下部が順次挿入されるので、検査者自身は、移動せずにマクロ検査を行う。
また、ガラス基板Ｗの右部、又は左部をそれぞれマクロ検査するときには、操作部８のジョイスティックを左右方向に操作し、制御部３３の制御により、駆動モータ４３がボールネジ４２を回転させ、第１のスライドステージ４１に対して第２のスライドステージ５０を左側、又は右側にそれぞれスライドさせる。その結果、照明光の光路上に、ガラス基板Ｗの右部、又は左部が移動するので、検査者自身は、移動せずにマクロ検査を行う。さらに、これの動作を組み合わせて実施させることで、両スライドステージ４１，５０をＸＹ方向に移動させ、検査者の視線位置（視野領域）に対してガラス基板Ｗを斜め又は左右方向にジグザグに移動させることもできる。
さらに、ガラス基板Ｗの裏面をマクロ検査するときには、反転駆動モータ３０を制御してホルダ本体２３を第２のスライドステージ５０に対して回転させる。ガラス基板Ｗの裏面についても、ＸＹ方向にスライド移動させつつマクロ観察することができる。

この実施の形態によれば、ガラス基板をＸ方向、及びＹ方向、並びにＸＹ方向にスライド移動させられるので、検査者が移動しなくてもガラス基板Ｗ全面のマクロ検査を行うことができる。特に、ガラス基板Ｗのサイズが１０００ｍｍ、２０００ｍｍと大きい場合には、検査者が移動することなく、検査時間の短縮化が図れる。また、検査者が観察しているマクロ照明位置が固定されているため、ガラス基板Ｗ全面を同一照明条件で目視観察できるためにマクロ検査の精度を向上させることができる。さらに、ガラス基板Ｗを移動させながら目視観察することができるため、検査者の視野範囲を充分に照明できる程度にガラス基板を照明する範囲を小さくすることができるので、装置の小型化、及び低コスト化をさらに図ることができる。その他の効果は、前記と同様である。
なお、第１のスライドステージ４１の下部にも駆動モータ４３と、ボールネジ４２とを付加しても良い。両駆動モータ４３を同期して駆動させることによって第２のスライドステージ５０をＸ方向に移動させることが可能になる。また、ボールネジ４２の代わりにリニアモータでホルダ本体２３を移動させても良い。

（第３の実施の形態）
図６及び図７に第２の実施の形態に適用される基板ホルダの構成を示す。なお、前記各実施の形態と重複する説明は省略する。
基板ホルダ６０は、第２の実施の形態に対して第２のスライドステージ７０のみが異なる構成になっている。すなわち、第２のスライドステージ７０は、第１のスライドステージ４１に対してＸ方向にスライド自在に設けられた枠体を有し、枠体の開口部７１は、ホルダ本体２３を反転自在に収容可能な大きさになっている。さらに、枠体の上部、及び下部のそれぞれには、軸７２を回転自在に軸支する軸受け７３，７４が設けられている。軸７２は、ホルダ本体２３のＸ方向の中央からＹ方向に延びており、Ｙ方向で下側の軸７２は、反転駆動モータ７５に連結されている。この反転駆動モータ７５は、第２のスライドステージ７０に固定されている。

この基板ホルダ６０で、ガラス基板ＷをＸ方向、及びＹ方向、並びにＸＹ方向にスライド移動させる際には、前記第２の実施の形態と同様の動作を実施する。また、ガラス基板Ｗを反転させるときには、反転駆動モータ７５がホルダ本体２３をＹ軸回りに回転させる。ここで、ガラス基板Ｗ上に形成されたパターンによっては、ガラス基板ＷをＹ軸回りに傾けて観察した方が見やすい場合があるが、このような場合には、反転駆動モータ７５でホルダ本体２３を所定の回転角度だけ回転させて、ガラス基板ＷをＹ軸回りに傾けた状態でマクロ観察を行う。回転角度の設定としては、例えば、操作部７（図１参照）のジョイスティックの操作量や、ボタンを押している時間や、回数に応じて定めることがあげられる。このマクロ検査の際、操作部８のジョイスティックを前後左右に操作し、支持フレーム１０，１１とホルダ本体２３を前後方向と左右方向に揺動（例えば、±１０°）させることにより、第１の実施の形態に比べて目視観察の検査精度を向上させることができる。

この実施の形態では、第２の実施の形態と同様の効果が得られる。さらに、基板ホルダ６０を検査者からみて、前後方向に回動させるＸ軸に平行な揺動軸に対して、ガラス基板Ｗを保持するホルダ本体２３をＹ軸回りにガラス基板Ｗ上の欠陥が見易い角度（例えば、±２０°）に傾斜させることで、第１、第２の実施の形態のようにＸ軸を中心に一方向にガラス基板Ｗを傾斜させて発見し難い欠陥などもガラス基板ＷをＸＹ方向の２軸で傾斜方向を変更することにより容易に検査することが可能になる。

なお、本発明は、前記の各実施の形態に限定されずに広く応用することができる。
例えば、第１、第２のスライドステージ４１，５０，７０の開口部４６，５６，７１の形状は、ホルダ本体２３の反転を妨げない大きさ、及び形状であれば、矩形に限定されない。
また、図４及び図６に示す基板ホルダ４０，６０において、第２のスライドステージ５０，７０を省略し、ホルダ本体２３を第１のスライドステージ（第１の支持部）４１に直接に、回転自在に取り付けても良い。この場合には、ホルダ本体２３は、第１の実施の形態と同様にＹ方向のスライド移動のみが可能になる。さらに、ホルダ本体２３は、回転機構（例えば、図２の軸２６、軸受け２７，２９、及び反転駆動モータ３０）を備えない構成にすることもできる。
また、平行に配置された一方のリニアガイドに、ホルダ本体２３が中央にあることを検出するセンサや、Ｘ方向、及びＹ方向の移動限界を検出するセンサを配設し、移動限界にホルダ本体２３が達したら制御部３３が自動的に各モータ１５，４３を停止するように構成しても良い。
さらに、基板Ｗの移動方向や、順番は、制御部３３に予めプログラミングされていても良い。

本発明の実施の形態における基板検査装置の概略構成を示す側面図である。基板ホルダの構成を示す図である。基板ホルダの側面図であって、基板ホルダを起き上がらせた状態で、ホルダ本体を上方に移動させた状態を示す図である。基板ホルダの構成を示す図である。基板ホルダの使用状態を示す側面図である。基板ホルダの構成を示す図である。基板ホルダの使用状態を示す側面図である。

符号の説明

１基板検査装置
２装置本体
３ランプ（マクロ照明光源）
６，４０，６０基板ホルダ
９バックライト光源
１０，１１支持フレーム
１２，１３回動モータ（回転駆動部）
２０，２１スライド支持部
２３ホルダ本体
４１第１のスライドステージ（第１の支持枠部）
５０，７０第２のスライドステージ（第２の支持枠部）
７２軸
Ｗガラス基板（被検査基板）

Claims

平行配置された一対の支持フレームを有する基板ホルダと、
前記一対の支持フレームを検査者側に向かって起き上がるように回動させる回転駆動部と、
前記一対の支持フレームの長手方向に沿って設けられたガイドと、
前記ガイドに沿って移動可能に設けられ、基板を保持するホルダ本体と、
前記ホルダ本体に保持された前記基板上に照明光を照射し、この基板面からの反射光を目視観察することにより前記基板上の欠陥を検出するマクロ照明光源と、
を備えたことを特徴とする基板検査装置。
前記ホルダ本体は、前記ガイドに沿って直線移動するとともに、前記回転駆動部による前記一対の支持フレームの回動の回転軸と平行な軸回りに回転可能に設けられたことを特徴とする請求項１記載の基板検査装置。
前記ホルダ本体は、矩形枠状に形成され、前記回転軸と平行な軸回りに反転又は所定角度範囲内で揺動するように設けられていることを特徴とする請求項２記載の基板検査装置。
前記ガイドに沿う一方向（Ｙ方向）に直線移動可能に設けられた矩形枠状の第１の支持枠部と、この第１の支持枠部上に前記一方向（Ｙ方向）と直交する他方向（Ｘ方向）に直線移動可能に設けられた矩形枠状の第２の支持枠部とを有する支持部を備え、
前記ホルダ本体は、前記第２の支持枠部に設けられていることを特徴とする請求項１記載の基板検査装置。
前記ホルダ本体は、前記回転駆動部による前記一対の支持フレームの回動の回転軸と平行な軸回りに反転又は所定角度範囲内で揺動するように前記第２の支持枠部に設けられたことを特徴とする請求項４記載の基板検査装置。
平行に配置された一対の支持フレームを有する基板ホルダと、
前記一対の支持フレームを水平姿勢から垂直姿勢に回動させる回転駆動部と、
前記一対の支持フレームの長手方向に沿ってに設けられたガイドと、
前記ガイドに沿って移動可能に設けられ、基板を保持するホルダ本体と、
前記基板ホルダを前記回転駆動部により所定角度だけ起き上がらせた状態で前記基板ホルダの上方から前記被検査基板の一部を照明するマクロ照明光源と、
を備えたことを特徴とする基板検査装置。
前記一対の支持フレームに沿う一方向（Ｙ方向）に直線移動可能に設けられた矩形枠状の第１の支持枠部と、この第１の支持枠部上に前記一方向（Ｙ方向）と直交する他方向（Ｘ方向）に直線移動可能に設けられた矩形枠状の第２の支持枠部とを有する支持部を備え、
前記ホルダ本体は、前記第２の支持枠部の枠内に反転可能に設けられ、
前記基板ホルダを検査者に向けて前記マクロ照明光源により前記被検査基板上の欠陥が目視観察に適した角度に傾斜させて前記第１及び第２の支持枠部を二次元的に移動させて前記基板ホルダに保持された前記被検査基板の表裏面に対して前記マクロ照明光源からの照明光を走査させることを特徴とする請求項６に記載の基板検査装置。