KR100783618B1 - 매크로 검사장치 - Google Patents

매크로 검사장치 Download PDF

Info

Publication number
KR100783618B1
KR100783618B1 KR1020060106085A KR20060106085A KR100783618B1 KR 100783618 B1 KR100783618 B1 KR 100783618B1 KR 1020060106085 A KR1020060106085 A KR 1020060106085A KR 20060106085 A KR20060106085 A KR 20060106085A KR 100783618 B1 KR100783618 B1 KR 100783618B1
Authority
KR
South Korea
Prior art keywords
display panel
flat panel
panel display
panel holder
holder
Prior art date
Application number
KR1020060106085A
Other languages
English (en)
Inventor
조동명
김광환
조성연
신준호
이종석
Original Assignee
(주)오엘케이
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by (주)오엘케이 filed Critical (주)오엘케이
Priority to KR1020060106085A priority Critical patent/KR100783618B1/ko
Application granted granted Critical
Publication of KR100783618B1 publication Critical patent/KR100783618B1/ko

Links

Images

Classifications

    • GPHYSICS
    • G01MEASURING; TESTING
    • G01NINVESTIGATING OR ANALYSING MATERIALS BY DETERMINING THEIR CHEMICAL OR PHYSICAL PROPERTIES
    • G01N21/00Investigating or analysing materials by the use of optical means, i.e. using sub-millimetre waves, infrared, visible or ultraviolet light
    • G01N21/84Systems specially adapted for particular applications
    • G01N21/88Investigating the presence of flaws or contamination
    • GPHYSICS
    • G01MEASURING; TESTING
    • G01NINVESTIGATING OR ANALYSING MATERIALS BY DETERMINING THEIR CHEMICAL OR PHYSICAL PROPERTIES
    • G01N21/00Investigating or analysing materials by the use of optical means, i.e. using sub-millimetre waves, infrared, visible or ultraviolet light
    • G01N21/17Systems in which incident light is modified in accordance with the properties of the material investigated
    • G01N21/55Specular reflectivity
    • GPHYSICS
    • G01MEASURING; TESTING
    • G01NINVESTIGATING OR ANALYSING MATERIALS BY DETERMINING THEIR CHEMICAL OR PHYSICAL PROPERTIES
    • G01N21/00Investigating or analysing materials by the use of optical means, i.e. using sub-millimetre waves, infrared, visible or ultraviolet light
    • G01N21/84Systems specially adapted for particular applications
    • G01N21/88Investigating the presence of flaws or contamination
    • G01N21/95Investigating the presence of flaws or contamination characterised by the material or shape of the object to be examined
    • G01N21/958Inspecting transparent materials or objects, e.g. windscreens
    • GPHYSICS
    • G02OPTICS
    • G02FOPTICAL DEVICES OR ARRANGEMENTS FOR THE CONTROL OF LIGHT BY MODIFICATION OF THE OPTICAL PROPERTIES OF THE MEDIA OF THE ELEMENTS INVOLVED THEREIN; NON-LINEAR OPTICS; FREQUENCY-CHANGING OF LIGHT; OPTICAL LOGIC ELEMENTS; OPTICAL ANALOGUE/DIGITAL CONVERTERS
    • G02F1/00Devices or arrangements for the control of the intensity, colour, phase, polarisation or direction of light arriving from an independent light source, e.g. switching, gating or modulating; Non-linear optics
    • G02F1/01Devices or arrangements for the control of the intensity, colour, phase, polarisation or direction of light arriving from an independent light source, e.g. switching, gating or modulating; Non-linear optics for the control of the intensity, phase, polarisation or colour 
    • G02F1/13Devices or arrangements for the control of the intensity, colour, phase, polarisation or direction of light arriving from an independent light source, e.g. switching, gating or modulating; Non-linear optics for the control of the intensity, phase, polarisation or colour  based on liquid crystals, e.g. single liquid crystal display cells
    • G02F1/1306Details
    • G02F1/1309Repairing; Testing
    • GPHYSICS
    • G01MEASURING; TESTING
    • G01NINVESTIGATING OR ANALYSING MATERIALS BY DETERMINING THEIR CHEMICAL OR PHYSICAL PROPERTIES
    • G01N21/00Investigating or analysing materials by the use of optical means, i.e. using sub-millimetre waves, infrared, visible or ultraviolet light
    • G01N21/84Systems specially adapted for particular applications
    • G01N21/88Investigating the presence of flaws or contamination
    • G01N21/95Investigating the presence of flaws or contamination characterised by the material or shape of the object to be examined
    • G01N2021/9513Liquid crystal panels

Abstract

본 발명은 매크로 검사장치에 관한 것이다. 매크로 검사장치는, 유리 기판의 표면에 빛을 조사하는 라인조명 유닛과, 상기 라인조명 유닛에 의해 조사된 조명을 반사시키는 반사 미러와, 상기 반사 미러에 의해 반사되는 조명을 감지하여 상기 유리 기판의 결함을 검사할 수 있도록 설치되는 카메라 센서 유닛을 포함한다. 매크로 검사 시, 라인 조명과 반사미러와 라인 센서 카메라를 이용하여 신속하고 정확하게 유리 기판의 결함 유무를 검사할 수 있다. 이로써, 작업부담과 검사시간을 대폭 감소시키고, 검사의 정밀성과 생산성을 대폭 향상시키며, 제품의 높은 신뢰성을 확보할 수 있다.
매크로 검사, 라인조명 유닛, 반사 미러, 카메라 센서 유닛

Description

매크로 검사장치{APPARATUS FOR INSPECTING FLAT DISPLAY PANEL}
도 1은 대한민국 특허출원 10-2006-0074391호에 개시된 매크로 검사 장치를 개략적으로 도시한 도면,
도 2는 본 발명에 따른 매크로 검사장치를 보인 사시도,
도 3은 도 2에 도시된 매크로 검사장치를 다른 각도에서 보인 사시도,
도 4는 본 발명에 따른 매크로 검사장치의 매크로 검사부를 보인 사시도,
도 5는 도 4에 도시된 매크로 검사부의 평면도,
도 6은 도 4에 도시된 매크로 검사부의 개념도,
도 7은 본 발명의 제1 실시예에 따른 매크로 검사장치의 이동수단의 사시도,
도 8a는 도 7에 도시된 기판 홀더의 일측을 지지하는 제1 슬라이딩 어셈블리 나타낸 사시도,
도 8b는 도 7에 도시된 기판 홀더의 타측을 지지하는 제2 슬라이딩 어셈블리 나타낸 사시도,
도 9는 본 발명의 제2 실시예에 따른 매크로 검사장치의 이동수단의 사시도,
도 10은 도 9에 도시된 매크로 검사장치의 이동수단의 전체적인 동작방식을 보여주기 위한 도면,
도 11는 본 발명의 제3 실시예에 따른 매크로 검사장치의 이동수단의 전체적인 동작방식을 보여주기 위한 도면,
도 12 내지 도 14는 각각 도 11에 도시된 매크로 검사장치의 이동수단의 정면구성도, 측면구성도 및 평면구성도,
도 15는 본 발명의 제4 실시예에 따른 매크로 검사장치의 이동수단의 전체 개략적인 구성을 나타낸 사시도,
도 16은 본 발명에 따른 매크로 검사방법을 설명하는 블록도.
<도면의 주요부위에 대한 부호 설명>
10...기판 홀더 20...이동수단
22...수평이동기구 23...수직 프레임
24...승강 프레임 26...각도조절기구
26-1...제1 슬라이딩 어셈블리 26-2...제2 슬라이딩 어셈블리
100...매크로 검사부 110...라인조명 유닛
120...반사미러 130...카메라 센서 유닛
131..카메라 132...렌즈
260...슬라이딩 블록 262...베어링 블록
P...유리 기판
본 발명은 매크로 검사장치에 관한 것으로, 더 구체적으로는, 평판 디스플레이의 매크로 검사 시, 라인 조명과 반사 미러와 라인 센서 카메라를 이용하여 신속하고 정확하게 유리 기판의 결함 유무를 검사할 수 있는 매크로 검사장치에 관한 것이다.
일반적으로 평판 디스플레이 패널을 제조하는 공정에서는, 유리 기판의 결함 유무에 대한 검사로서, 육안으로 이루어지는 매크로 검사(Macro Inspection)와 현미경과 같은 장비를 이용하는 미크로 검사(Micro Inspection)가 수행된다.
매크로 검사에서는 유리 기판의 표면에 조명 광을 조사하거나, 백라이트 유닛을 이용하여 유리 기판의 후면에 조명 광을 조사하여 작업자가 육안으로 유리 기판의 표면에 존재하는 흠, 오염 등의 결함을 검출하고, 미크로 검사에서는 작업자가 육안으로 보이지 않는 결함을 현미경 광학계에 의하여 유리 기판을 확대 관찰함으로써 유리 기판의 이물ㆍ흠집ㆍ불량 패턴의 결함을 검출한다.
대한민국 등록실용신안공보 20-0238929호에서는 "기판검사장치"라는 제목으로 선회가능한 스테이지와 조명수단을 갖는 기판검사장치를 개시하고 있다. 상기 등록실용신안공보 20-0238929호는 1축 방향으로 선회가능한 스테이지 상에 기판을 홀딩시킨 다음, 매크로 관찰시 스테이지를 선회시켜 경사지게 한 상태에서 장치의 상부에 설치된 광원으로부터 조사되는 조명광을 이용하여 매크로 관찰 검사를 수행하고, 마이크로 관찰시에는 스테이지를 수평하게 한 상태에서 자체 조명이 구비된 마이크로 관찰 시스템을 스테이지 상에서 수평 이동시키며 검사를 수행한다. 이와 같은 검사장치는 다각도에서 기판 표면 불량 검사를 시행하므로 상기한 일본국 선행기술에 비해 보다 세밀한 관찰이 가능하다는 이점이 있다. 그러나, 스테이지 동선이 선회방향으로 한정되어 있어 보다 다양한 각도에서의 표면 결함 관찰이 불가능하다는 결점이 있다. 즉, 보다 세밀한 표면 이물 및 흠집등의 불량을 검출하기에는 그 기능상 한계가 있다.
본 출원인이 출원한 대한민국 특허출원 10-2004-117911호에서는 유리 기판을 파지하는 글라스 홀더부를 다관절 로봇으로 지지함으로써 다양한 형태의 배치가 가능하면서도 공간을 상대적으로 적게 차지하는 매크로 검사장치가 제안된 바 있다. 그러나, 이러한 구성을 갖는 매크로 검사장치에 따르면, 유리 기판을 탑재한 상태로 로봇을 동작시키면 로봇의 아암과 글라스 홀더부의 연결부에 상당한 하중이 인가된다. 또한, 글라스 홀더부에서 위 연결부로부터 먼 쪽의 측부는 연결부가 있는 측부에 비하여 기계적 강성이 떨어지기 때문에 처짐이 발생하고, 이에 따라 유리 기판이 안정적으로 배치되지 못하는 문제점이 있었다.
이에 따라, 본 출원인은 기판 홀더를 안정적으로 지지하여 보다 정밀하게 기판의 표면 결함을 검출할 수 있는 매크로 검사장치를 대한민국 특허출원 10-2006-0074391호에서 제안하였다.
도 1은 대한민국 특허출원 10-2006-0074391호에 개시된 매크로 검사장치를 개략적으로 도시한 도면이다.
도 1을 참조하면, 대한민국 특허출원 10-2006-0074391호에 개시된 매크로 검사장치는 이동수단(20)을 이용하여, 글라스 홀더(10)를 여러 방향으로 움직이면서 백라이트 유닛(30)과 상부 조명(40)의 조명 광에 비추어 유리 기판의 표면에 생긴 얼룩이나 이물질 등을 육안으로 검사하는 매크로 검사를 수행한다. 그 다음, 유리 기판을 소정 위치로 이송한 후 현미경(미도시)을 이용하여 매크로 검사에서 발견된 글라스의 기판의 국소부위를 확대 관찰하는 미크로 검사를 실시한다.
그러나, 최근 디스플레이 장치가 대형화되는 추세에 따라 유리 기판이 점차 대형화되고 있어, 위와 같은 매크로 검사장치를 이용하여 검사자가 육안으로 매크로 검사를 수행하는 경우, 육안 검사범위가 대폭 확대되어 작업부담은 물론 검사 소요시간(Tact Time)이 대폭 증가하고 있다.
또, 매크로 검사 시, 검사자의 개인차에 따라 검사결과가 상이하거나 정밀성이 저하되는 문제점이 있다.
본 발명은 전술한 문제점을 해결하기 위한 것으로서, 매크로 검사 시 라인 조명과 반사 미러와 라인 센서 카메라를 이용하여 신속하고 정확하게 유리 기판의 결함 유무를 검사하여, 작업부담과 검사시간을 대폭 감소시키고 검사의 정밀성과 생산성을 대폭 향상시키며 제품의 높은 신뢰성을 확보할 수 있는 매크로 검사장치를 제공함에 그 목적이 있다.
전술한 목적을 달성하기 위하여 본 발명의 매크로 검사장치는 유리 기판의 표면에 빛을 조사할 수 있도록 검사실의 일측에 설치되는 라인조명 유닛, 상기 라인조명 유닛에 의해 조사된 조명을 반사시키는 반사 미러와, 상기 반사 미러에 의해 반사되는 조명을 감지하여 상기 유리 기판의 결함을 검사할 수 있도록 상기 검사실의 타측에 설치되는 카메라 센서 유닛을 포함한다.
또, 본 발명의 매크로 검사방법은 다관절 로봇이 유리 기판이 안착된 글라스 홀더의 각도를 조절하는 단계와, 라인조명 유닛이 상기 유리 기판의 표면에 조명을 조사하는 단계와, 상기 라인조명 유닛에서 조사된 조명이 반사 미러에 반사되면, 카메라 센서 유닛이 상기 반사 미러에 의해 반사된 조명을 감지하여 유리 기판의 결함을 검사하는 단계를 포함한다.
이하, 첨부된 도면을 참조하여 본 발명의 바람직한 실시 예를 상세하게 설명하면 다음과 같다.
도 2 및 3은 본 발명에 따른 매크로 검사장치를 보인 사시도이다.
도 2 및 3에 도시된 바와 같이, 본 발명에 따른 매크로 검사장치는 글라스 홀더(10)에 파지된 유리 기판(P)의 표면에 빛을 조사할 수 있도록 상기 유리 기판(P)과 일정간격을 두고 설치되는 라인조명 유닛(110)과, 상기 라인조명 유닛(110)에 의해 조사된 조명을 반사시키는 반사 미러(120)와, 상기 반사 미러(120)에 의해 반사되는 조명을 감지하여 상기 유리 기판(P)의 결함을 검사하는 카메라 센서 유닛(130)을 구비한다. 이 때, 글라스 홀더(10)는 이동 수단(20)에 의해 상하 방향으로 이동된다.
이하에서는 라인조명 유닛(110), 반사 미러(120) 및 카메라 센서 유닛(130)을 포함하는 매크로 검사부(100)에 대하여, 보다 상세하게 설명한다.
도 4는 본 발명에 따른 매크로 검사 장치에서 매크로 검사부(100)를 도시한 사시도이며, 도 5은 도 4에 도시된 매크로 검사부(100)의 평면도이고, 도 6은 도 4에 도시된 매크로 검사부(100)의 개념도이다.
상기 반사 미러(120)는 1개 이상으로 이루어져 있으며, 라인조명 유닛(110)에서 조사된 빛을 카메라 센서 유닛(130)으로 반사하도록 항상 일정한 각도를 유지한다. 상기 카메라 센서 유닛(130)은 1개 이상의 카메라(131)와, 카메라(131)의 전방에 설치된 렌즈(132)로 구성되어 있다. 여기서 라인조명 유닛(110), 반사미러(120) 및 카메라 센서 유닛(130)은 검사실(200)의 일 측에 도시하지 않은 지지 부재에 의해 지지된다.
도 4 내지 6에는 반사 미러(120)와 카메라 센서 유닛(130)이 2개인 경우가 도시되어 있다.
라인조명 유닛(110)에서 조사된 빛은 반사 미러(120)에 반사되고, 반사 미러(120)에 반사된 빛은 카메라 센서 유닛(130)의 렌즈(132)를 거쳐 카메라(131)로 수집된다. 이때, 도 5에 도시된 바와 같이, 카메라 센서 유닛(130)으로 수집되는 빛은 서로 중첩되도록 하는 것이 바람직하며, 이 경우 유리 기판(P)의 결함을 보다 정밀하게 검사할 수 있다.
기판 홀더(10)는 검사대상인 유리 기판이 그 위에 안착되어 흡착 고정될 수 있는 공간을 제공한다. 유리 기판(P)은 카세트 스테이션에 수납되어 있으며, 로딩/언로딩 로봇에 의하여 기판 홀더(10)에 제공된다. 기판 홀더(10)는 검사를 위하여 홀더 상에 장착된 유리 기판이 이탈하여 추락하지 않도록 유리 기판을 기판 홀더(10) 상에서 파지하는 미도시된 클램핑 장치와 진공 흡착구를 구비하고 있다. 클램핑 장치는 기판 측부를 따라 다수개가 등간격에 걸쳐 배치되어 있으며, 진공 흡착구는 기판 홀더(10) 내측에서 다수개가 등간격에 걸쳐 이격 배치되어 있다. 따라서, 로딩/언로딩 로봇에 의하여 유리 기판(P)이 기판 홀더(10) 상에 얹혀지면, 진공 흡착구 및 클램핑 장치의 흡착력 및 고정력에 의하여 유리 기판이 기판 홀더(10) 상에 홀딩되어 이탈되지 않는다.
이하에서는, 본 발명에 따른 이동수단(20)에 대해서 상세하게 설명한다.
도 7, 8a 및 8b에는 본 발명의 제1 실시예에 따른 이동수단(20)이 도시되어 있다.
이동수단(20)은 기판 홀더(10)를 관측자가 위치하는 관측실을 기준으로 좌,우 요동시키는 수평이동기구(22)와, 상기 수평이동기구(22) 상에 승강가능하게 설치되는 마주하는 한 쌍의 제1,제2 승강 프레임(24-1)(24-2)을 구비한다. 제1,제2 승강 프레임(24-1)(24-2) 상에는 각도조절기구(26)가 마련되며, 이 각도조절기구(26)에는 기판 홀더(10) 양 측부가 선회 가능하게 연결되어 기판 홀더(10)의 선회각이 조절된다. 또한, 각도조절기구(26)는 상기 승강 프레임(24) 상에서 이 승강 프레임의 길이방향을 따라 전,후 방향으로 이동하면서 기판 홀더(10)의 고정위치를 변화시킨다. 이에 따라, 기판 홀더(10) 나아가 기판 홀더(10) 상에 장착된 유리 기판(P)은 장치 내에서 3차원 상의 모든 방향에 대하여 자유도를 갖는다.
좀 더 구체적으로, 본 실시예에 따른 수평이동기구(22)는 레일(220)과, 레일(220) 상의 바닥 프레임(222) 및 바닥 프레임(222) 상에 수직으로 배치되는 다수의 수직 프레임(23)을 포함한다. 레일(220)은 관측점을 기준으로 장치의 좌,우 길이방향으로 한 쌍이 이격 배치되고, 바닥 프레임(222)은 예를 들어, LM 블럭 등을 매개로 레일(220) 상에 배치되어 레일(220)을 따라 관측실에 볼 때 좌,우방향으로 이동된다. 또한, 바닥 프레임(222) 상에는 그 내측에 승강수단을 갖는 다수의 수직 프레임(23)이 수직 배치되어 전체적으로 직육면체 형상을 이루며, 수직 프레임(23) 중 상기 바닥 프레임(222)의 이동 방향과 교차하는 방향으로 마주하는 두 개의 수직 프레임(23) 사이에는 상기한 제1,제2 승강 프레임(24-1)(24-2)이 서로 마주하면서 승강 가능하게 설치된다. 따라서, 승강 프레임 상에서 각도조절기구(26)를 통해 지지되는 기판 홀더(10)는 회동뿐만 아니라 상,하,좌,우 전방향에 대하여 자유도를 갖는다.
여기에서, 상기 승강수단은 예를 들어, 수직 프레임(23) 하단부에 마련되는 구동모터(M)와, 구동모터(M)와 연결되며 수직 프레임(23)에 배치되어 구동모터의 구동축과 동방향으로 회전하는 볼 스크류(미도시 됨)와, 상기 승강 프레임 양 측 선단에 연설되는 동시에 상기 볼 스크류에 끼워지는 볼 너트(미도시 됨)일 수 있다.
나아가, 본 발명의 실시예에 따른 상기 각도조절기구(26)는 상기 기판 홀 더(10) 양 측벽 중앙으로부터 외부를 향하여 뻗어나온 두 개의 회전축(S1,S2)과, 회전축(S1,S2)을 각각 마주보는 한 쌍의 제1,제2 승강 프레임(24-1)(24-2) 상에서 회전가능하게 지지하면서 승강 프레임의 길이방향을 따라서는 이동가능한 제1, 제2 슬라이딩 어셈블리(26-1)(26-2)를 포함한다. 기판 홀더(10) 양측 중앙으로부터 뻗어나온 상기 두 개의 회전축(S1,S2) 중 어느 하나의 회전축(S1)은 제1 슬라이딩 어셈블리(26-1)의 구동모터(27-1)와 연결되어 회전축(S1)의 회전방향으로 기판 홀더(10)에 회전력이 제공되며, 다른 하나의 회전축(S2)은 제2 슬라이딩 어셈블리(26-2)의 슬리브(27-2)에 끼워져 회전과 동시에 길이방향으로 미끄럼 가능하게 지지된다.
이 때, 상기 제1,제2 승강프레임(24-1)(24-2) 및 제1 슬라이딩 어셈블리(26-1)와 제2 슬라이딩 어셈블리(26-2)는 마주하는 각각 수직 프레임(23)과 승강 프레임 상에서 각각의 미도시된 구동수단에 의해 서로 개별적으로 가동된다.
도 8a 및 8b는 본 실시예에 적용된 상기 슬라이딩 어셈블리를 확대 도시한 사시도이다.
도 8a 및 도 8b를 참조하면, 상기 제1,제2 슬라이딩 어셈블리(26-1)(26-2)는 각각, 마주하는 한 쌍의 제1,제2 승강 프레임(24-1)(24-2) 상에서 승강 프레임의 길이방향을 따라 이동 가능하게 장착되는 슬라이딩 블록(260)을 포함하며, 슬라이딩 블록(260)에는 힌지축(H)을 매개로 베어링 블록(262)이 선회가능하게 장착된다. 이에 따라, 베어링 블록(262)은 힌지점을 기준으로 승강 프레임의 길이방향과 평행한 선회축에 대하여 굴절될 수 있다. 동시에 베어링 블록(262)은 상기한 구동모 터(27-1) 및 슬리브(27-2)를 각각 상기 선회방향과 교차하는 방향으로 회전가능하게 지지한다.
여기서, 상기 베어링 블록(262)은 위와 같이 슬라이딩 블록(260)과 힌지축을 매개로 상,하방향으로 선회가능하게 연결되는 중공의 베어링 케이싱(262a)을 포함한다. 베어링 케이싱(262a) 내측에는 회동축(262b)이 위치하며, 회동축(262b)과 베어링 케이싱(262a) 사이에는 상기 회동축의 회전을 지지하는 다수의 베어링(262c)이 개입된다. 또한, 상기 회동축(262b)은 베어링 케이싱(262a)의 개구된 상부로 돌출되어 그 선단은 제1 슬라이딩 어셈블리(26-1)의 모터(27-1) 및 제2 슬라이딩 어셈블리(26-2)의 슬리브(27-2) 하부측과 각각 연결되어 이들을 각각 지지한다.
따라서, 전술한 바와 같이 제1 승강 프레임(24-1)과 제2 승강 프레임(24-2)이 각각 독립적으로 가동되어 그 승강높이가 달라지거나 또는/및 승강 프레임 상에서의 제1,제2 슬라이딩 어셈블리(26-1)(26-2)의 슬라이딩 블록(260) 수평 이동거리가 달라져 기판 홀더(10)가 다양한 각도로 경사지게 배치될 경우, 베어링 케이싱(262a)이 슬라이딩 블록(260)에 대해 굴절되거나 또는/및 베어링 케이싱(262a) 내측에 회동가능하게 배치된 회동축(262b)이 회전하면서 기판 홀더(10) 각도 변화량에 따른 회전축(S1,S2) 가변량을 보상한다.
도 9 및 10에는 본 발명의 제2 실시예에 따른 이동수단(20)이 도시되어 있다.
본 실시예에 따른 검사장치는 기판 홀더(10)가 사각 프레임(50) 상에 슬라이딩 장착되며, 이에 따라 전술한 제1 실시예에서와 같은 수평이동기구(22), 구체적 으로, 베이스와 바닥 프레임(222) 사이에 개입되는 레일(220)이 요구되지 않는 구성을 제외하고는 전술한 제1 실시예와 동일한 구성 및 작용을 갖는다. 따라서, 이하에서는 본 실시예에 따른 주요부 구성만을 설명하며, 전술한 제1 실시예와 동일한 구성에 대해서는 동일한 도면부호 및 명칭을 사용하고 그에 대한 상세한 설명은 생략한다.
도 9를 참조하면, 본 발명의 제2 실시예에 따른 이동수단(20)은 검사대상인 대형의 유리 기판(P)을 홀딩시켜 지지하는 기판 홀더(10)와, 기판 홀더(10)가 슬라이딩 가능하게 장착되는 사각 프레임(50)을 포함한다. 사각 프레임(50)의 양측 외벽에는 회전축(도면상 미도시)이 외부를 향하여 돌출되어 있으며, 회전축은 제1,제2 승강 프레임(24-1)(24-2) 상의 제1, 제2 슬라이딩 어셈블리(26-1)(26-2)에 각각 연결된다.
나아가, 상기 제1,제2 승강 프레임은 바닥 프레임(222) 상에 수직 배치되는 수직 프레임(23)에 그 양측단이 승강 가능하게 장착된다. 수직 프레임(23)은 그 내측에 상기 제1, 제2 승강 프레임(24-1)(24-2)을 승강시키기 위한 승강수단을 구비한다. 승강수단은 전술한 제1 실시예와 마찬가지로 예를 들어, 구동모터와, 구동모터 회전축과 연결되는 볼 스크류와, 상기 승강 프레임 양 측 선단에 연설되는 동시에 상기 볼 스크류에 끼워지는 볼 너트를 포함한다.
상기와 같이 구성된 본 발명의 제2 실시예에 따르면, 바닥 프레임(222) 상의 수직 프레임(23) 상에서 승강되는 승강 프레임(24-1)(24-2)과, 승강 프레임 상의 슬라이딩 어셈블리(26-1)(26-2)에 의한 사각 프레임의 슬라이딩과 회전, 그리고 사 각 프레임 상에서의 기판 홀더(10)의 이동에 따라 기판 홀더(10)는 도 8에서와 같이 상하(Z축)이동, 좌우(X축)이동, 전후(Y축)이동, X축에 대한 회전(Rotation), Y축/Z축에 대한 회전(Tilting), 상하 미끄러짐(Sliding)등 다양한 방향으로의 움직일 수 있다. 즉, 기판 홀더(10)는 장치 내에서 3차원 상의 모든 방향에 대한 자유도를 지닌다.
또한, 기판 홀더(10)가 사각 프레임 상에 슬라이딩 장착됨으로써 전술한 제1 실시예에서와 같은 수평이동기구(22), 구체적으로, 베이스와 바닥 프레임(222) 사이에 개입되는 레일(220)이 요구되지 않는다. 따라서, 유리 기판 표면 검사를 위해 기판 홀더(10)를 다양하게 이동시킬 경우, 구체적으로 관측점에 대해 좌,우 방향으로 이동시킬 경우에, 전술한 실시예에서와 같이 수직,승강 프레임을 포함하는 수평이동기구(22) 전체를 이동시키지 않아도 된다. 그에 따라, 기판 이동에 따른 장치부하를 최소화시킬 수 있으면서 전술한 제1 실시예와 마찬가지로 기판 홀더를 위치를 다양하게 가변시키면서 보다 세밀한 검사를 수행할 수 있다.
도 11 내지 도 14는 각각 본 발명의 제3 실시예에 따른 이동수단(20)의 사시도, 정면구성도, 측면구성도 및 평면구성도를 각각 나타낸다.
이하에서는 본 실시예에 따른 주요부 구성만을 설명하며, 전술한 제1 실시예와 동일한 구성에 대해서는 동일한 도면부호 및 명칭을 사용하고 그에 대한 상세한 설명은 생략한다.
구체적으로 살펴보면, 본 발명의 제3 실시예에 따른 이동수단(20)은, 베이스 상에서 상기 기판 홀더(10)를 관측점에 대하여 좌,우 요동시키기 위한 전술한 제1 실시예와 동일한 구성의 수평이동기구(22)와, 상기 수평이동기구(22) 상에 승강과 동시에 그 길이방향 중심축에 대하여 회전가능하게 설치되는 마주하는 한 쌍의 제1,제2 승강 프레임(24-1,24-2)을 구비한다. 상기 제1, 제2 승강프레임(24-1,24-2) 상에는 슬라이딩 블록(28a,28b)이 슬라이딩 가능하게 장착되며, 슬라이딩 블록(28a,28b) 상에는 한 쌍의 LM가이드-블록(292a,292b)과 베어링(291a,291b)을 매개로 지지브래킷(29a,29b)이 슬라이딩과 동시에 회전가능하게 장착된다. 그리고 상기 지지브래킷(29a,29b) 양측부는 기판 홀더(10) 양측면 중앙을 상기 제1, 제2 승강프레임(24-1,24-2)의 길이방향과 교차하는 선회축에 대하여 회전가능하게 지지한다.
여기서, 상기 LM가이드-블록(292a,292b)은 지지브래킷(29a,29b)이 상기 슬라이딩 블록(28a,28b)의 이동방향과 수직 교차하는 방향으로 이동될 수 있도록 지지하며, 베어링(291a,291b)은 LM 가이드-블록(292a,292b) 상에서 상기 지지브래킷(29a,29b)이 평면 원주방향으로 회전될 수 있도록 지지한다. 이에 따라, 지지브래킷(29a,29b)은 슬라이딩 블록(28a,28b)의 슬라이딩 방향과 수직으로 교차하는 방향으로 슬라이딩되면서 동시에 슬라이딩 블록(28a,28b) 상에서 회전한다. 그 결과, 제1, 제2 승강프레임(24-1,24-2)이 서로 독립적으로 승강하여 기판 홀더(10)가 경사지게 배치되었을 경우에 기판 홀더(10) 경사배치에 따른 기판 홀더(10)의 좌,우 폭변화량을 보상한다.
계속해서, 상기 지지브래킷(29a,29b) 중 어느 한 지지브래킷(29a) 상에는 모터(290)가 마련된다. 모터(290)의 회전축은 기판 홀더(10) 일측면 중앙에 연결되어 상기 기판 홀더(10)에 승강프레임(24-1,24-2)의 길이방향과 수직으로 교차하는 선회축을 중심으로 하는 회전력을 제공하며, 기판 홀더(10) 타측면 중앙과 다른 하나의 지지브래킷(29b) 사이에는 베어링(294)이 개입되어 상기 모터(290)에 의한 기판 홀더(10)의 회전을 지지한다.
상기와 같이 구성된 본 실시예에 따르면, 베이스 상에 수평 이동되는 바닥 프레임(222)과, 바닥 프레임(222) 상의 수직 프레임(23) 상에서 승강되면서 그 길이방향의 중심축에 대하여 회전하는 승강 프레임(24-1,24-2)과, 승강 프레임(24-1,24-2) 상에 베어링(291a,291b)을 매개로 회전하는 지지브래킷(29a,29b)에 의한 기판 홀더(10)의 도 12에서와 같은 상하(Z축)이동, 좌우(X축)이동, 전후(Y축)이동, X축에 대한 회전(Rotation), Y축/Z축에 대한 회전(Tilting), 상하 미끄러짐(Sliding)등 다양한 방향으로의 움직임을 통하여 3차원 상에서 모든 방향에 대한 자유도를 지닌다. 그 결과, 제1 실시예와 마찬가지로 기판 홀더를 위치를 다양하게 가변시켜 가면서 보다 세밀한 유리 기판 검사를 수행할 수 있다.
도 15는 본 발명의 제4 실시예에 따른 이동수단(20)의 전체적인 구성을 나타낸 사시도이다.
이하에서는 본 발명의 제4 실시예에 따른 주요부 구성만을 설명하며, 전술한 제1 실시예와 동일한 구성에 대해서는 동일한 도면부호 및 명칭을 사용하고 그에 대한 상세한 설명은 생략한다
이동수단(20)은 베이스 상에서 기판 홀더를 관측점에 대해 좌,우 요동시키는 수평이동기구(22)와, 상기 수평이동기구(22) 상에 수직으로 배치되는 마주하는 한 쌍의 제1, 제2 이동 프레임(33a,33b)을 포함한다. 수평이동기구(22)는 관측점에 대하여 좌,우 길이방향으로 베이스 상에 이격 설치되는 한 쌍의 레일(220)과, 레일(220) 상에 슬라이딩 가능하게 배치되는 사각 프레임 형태의 바닥 프레임(222)으로 구성되며, 제1, 제2 이동 프레임(33a,33b)은 상기 수평이동기구(22) 상에서 이 수평이동기구(22)의 좌,우 이동방향과 수직 교차하는 전,후 방향에 대해 독립적인 움직임을 갖도록 슬라이딩 가능하게 장착된다. 그리고 상기 각각의 이동 프레임(33a,33b) 상에는 제1, 제2 힌지브래킷(34a,34b)이 이러한 이동 프레임(33a,33b)의 상,하 길이방향을 따라 승강가능하게 설치되되, 상기 제1, 제2 힌지브래킷(34a,34b) 역시 각각의 해당 이동 프레임(33a,33b) 상에서 서로 독립적임 움직임을 갖도록 설치된다.
여기서, 상기 제1, 제2 힌지브래킷(34a,34b)의 승강은 각각의 이동 프레임(33a,33b) 내측에 마련되는 승강수단 예를 들어, 전술한 제1 실시예에서와 같이, 구동모터와, 구동모터와 연결되며 이동 프레임에 내측에 배치되어 구동모터의 구동축과 동방향으로 회전하는 볼 스크류와, 힌지브래킷에 설치되면서 상기 볼 스크류를 따라 이동되는 볼 너트로 구성될 수 있다.
계속해서, 본 실시예에 따르면, 상기 제1, 제2 이동 프레임(33a,33b) 상의 상기 제1, 제2 힌지브래킷(34a,34b)에는 각도조절기구(36)가 이 힌지브래킷(34a,34b)의 좌,우 길이방향과 평행한 선회축에 대해 굴절가능하게 설치되어 상기 제1, 제2 이동 프레임(33a,33b) 상에서 유리 기판이 장착되는 기판 홀더(10)를 지지한다. 구체적으로, 기판 홀더(10)는 상기 각도조절기구(36)에 그 양측면 중앙 부가 선회가능하게 연결되어 상기 바닥 프레임(222)의 이동방향과 평행한 선회축에 대해 회전되며, 각도조절기구(36)는 상기 제1, 제2 힌지브래킷(34a,34b)의 길이방향과 평행한 선회축에 대해 굴절가능하게 설치되어 다양하게 틀어진 각도로 배치되는 기판 홀더(10)의 각도변화에 추종하면서 이러한 기판 홀더(10)를 지지한다.
여기서, 본 실시예에 따른 상기 각도조절기구(36)는 전술한 제1 실시예에서의 회전축과 슬라이딩 어셈블리의 일부구성을 포함하는 각도조절기구(26)와 동일한 구성으로 이루어지며, 다만 기판 홀더 양측으로부터 뻗어나온 회전축(S1,S2)을 지지하기 위한 두 구성요소 구체적으로, 전술한 제1 실시예의 제1, 제2 슬라이딩 어셈블리와는 달리 본 실시예에서는 회전축을 지지하기 위한 제1 베어링 블록(36-1)과 제2 베어링 블록(36-2)에 적용되는데, 이러한 제1, 제2 베어링 블록(36-1,36-2)은 Y축으로 슬라이딩을 위한 구성요소 구체적으로 제1 실시예에서의 슬라이딩 블록을 포함하지 않는 것을 제외하곤 제1 실시예의 베어링 블록의 구성과 동일하다.
상기와 같이 구성되는 본 실시예에 의하면, 베이스 상에 수평 이동되는 바닥 프레임(222)과, 바닥 프레임(222) 상에 이 바닥 프레임의 이동방향과 수직 교차하는 방향으로 이동되는 이동 프레임과, 이동 프레임(33a,33b) 상에서 승강되는 힌지브래킷(34a,34b)과, 힌지브래킷(34a,34b)에 굴절가능하게 연결되면서 스스로 회전가능한 베어링 블록(36-1,36-2)에 의한 기판 홀더(10)의 도 14에서와 같은 상하(Z축)이동, 좌우(X축)이동, 전후(Y축)이동, X축에 대한 회전(Rotation), Y축/Z축에 대한 회전(Tilting), 상하 미끄러짐(Sliding)등 다양한 방향으로의 움직을 통하여 기판 홀더 상에 안착되는 유리 기판이 3차원 상에서 모든 방향에 대한 자유도를 지 닌다. 그 결과 다양한 각도에서 보다 세밀하게 유리 기판의 표면 결함을 검출할 수 있다.
이하, 도 16을 참조하여, 본 발명에 따른 매크로 검사방법을 설명하면 다음과 같다.
우선, 이동 수단(20)이 유리 기판(P)이 안착된 글라스 홀더(10)를 적절한 각도, 예를 들어, 수직으로 세운다(S10).
이 상태에서, 라인조명 유닛(110)이 상기 유리 기판(P)의 표면에 조명을 조사한다(S20).
상기 라인조명 유닛(110)에서 조사된 조명이 반사 미러(120)에 반사되면, 카메라 센서 유닛(130)이 상기 반사 미러(120)에 의해 반사된 조명을 감지하여 유리 기판(P)의 결함을 검사한다. 이 때, 이동수단(20)에 의해 글라스 홀더(10)가 수직방향으로 이동한다(S30).
삭제
이상에서 설명한 바와 같이, 본 발명에 의하면 매크로 검사 시 라인 조명과 미러와 라인 센서 카메라를 이용하여 신속하고 정확하게 유리 기판의 결함 유무를 검사할 수 있다.
또, 본 발명에 의하면 매크로 검사 시 작업부담과 검사시간을 대폭 감소시키 고, 검사의 정밀성과 생산성을 대폭 향상시키며, 제품의 높은 신뢰성을 확보할 수 있다.

Claims (9)

  1. 검사대상인 평판 디스플레이 패널이 그 위에 안착되어 흡착 고정될 수 있는 공간을 제공하는 평판 디스플레이 패널 홀더;
    상기 평판 디스플레이 패널 홀더 양 측부를 지지하면서 평판 디스플레이 패널 홀더가 3차원내 전방향 자유도를 지니도록 다축 가동되며 베이스상에 설치되는 이동수단;
    상기 평판 디스플레이 패널 홀더의 배면부에서 평판 디스플레이 패널 홀더 상의 피검사 평판 디스플레이 패널로 빛을 조사하는 백라이트 유닛;
    상기 평판 디스플레이 패널 홀더 위쪽에 배치되어 평판 디스플레이 패널 홀더 상의 피검사 평판 디스플레이 패널로 빛을 조사하는 상부조명;
    평판 디스플레이 패널의 표면에 빛을 조사할 수 있도록 검사실의 일측에 설치되는 라인조명 유닛;
    상기 라인조명 유닛에 의해 조사된 조명을 반사시키는 반사 미러; 및
    상기 반사 미러에 의해 반사되는 조명을 감지하여 상기 평판 디스플레이 패널의 결함을 검사할 수 있도록 상기 검사실의 타측에 설치되는 카메라 센서 유닛을 포함하며,
    상기 이동수단은,
    베이스 상에서 상기 평판 디스플레이 패널 홀더를 관측점을 기준으로 좌,우 요동시키는 수평이동기구와,
    상기 수평이동기구 상에 승강가능하게 설치되는 마주하는 한 쌍의 제1,제2 승강 프레임과,
    각 승강 프레임 상에서 평판 디스플레이 패널 홀더를 지지하며, 상기 평판 디스플레이 패널 홀더 양측부가 선회가능하게 연결되어 관측점에 대한 평판 디스플레이 패널 홀더의 선회각을 조절하고 동시에 각 승강 프레임 상에서 전,후 방향으로 이동되는 각도조절기구
    를 포함하는 매크로 검사장치.
  2. 청구항 1에 있어서,
    상기 반사 미러는 적어도 2개 이상으로 이루어지는 것을 특징으로 하는 매크로 검사장치.
  3. 삭제
  4. 청구항 1에 있어서,
    상기 카메라 센서 유닛은 적어도 2개 이상의 카메라; 및
    상기 각 카메라의 전방에 설치되는 복수개의 렌즈로 구성되는 것을 특징으로 하는 매크로 검사장치.
  5. 평판 디스플레이 패널에 빛을 조사하여 평판 디스플레이 패널 표면의 이물 부착, 번짐 및 표면 흠집 등의 결함을 검사하는 매크로 검사장치로서,
    검사대상인 평판 디스플레이 패널이 그 위에 안착되어 흡착 고정될 수 있는 공간을 제공하는 평판 디스플레이 패널 홀더와;
    상기 평판 디스플레이 패널 홀더가 좌,우 슬라이딩 가능하게 장착되는 사각 프레임과;
    상기 사각 프레임 양 측부를 지지하면서 평판 디스플레이 패널 홀더가 3차원내 전방향 자유도를 지니도록 다축 가동되며 베이스상에 설치되는 이동수단과;
    상기 평판 디스플레이 패널 홀더의 배면부에서 평판 디스플레이 패널 홀더 상의 피검사 평판 디스플레이 패널로 빛을 조사하는 백라이트 유닛과;
    상기 평판 디스플레이 패널 홀더 위쪽에 배치되어 평판 디스플레이 패널 홀더 상의 피검사 평판 디스플레이 패널로 빛을 조사하는 상부조명;
    평판 디스플레이 패널의 표면에 빛을 조사할 수 있도록 검사실의 일측에 설치되는 라인조명 유닛;
    상기 라인조명 유닛에 의해 조사된 조명을 반사시키는 반사미러; 및
    상기 반사미러에 의해 반사되는 조명을 감지하여 상기 평판 디스플레이 패널의 결함을 검사할 수 있도록 상기 검사실의 타측에 설치되는 카메라 센서 유닛을 포함하며,
    상기 이동수단은,
    바닥 프레임과;
    상기 바닥 프레임 상에 수직 배치되며 그 내측에 승강수단을 구비하는 수직 프레임들과;
    상기 수직 프레임 중 평판 디스플레이 패널 홀더의 길이방향으로 서로 마주하는 한 쌍의 수직 프레임 상에 승강가능하게 설치되는 마주하는 한 쌍의 제1,제2 승강 프레임과;
    제1,제2 승강 프레임 상에서 상기 사각 프레임을 지지하며, 상기 사각 프레임 양측부가 선회가능하게 연결되어 관측점에 대한 평판 디스플레이 패널 홀더의 선회각을 조절하는 한편, 각 승강 프레임 상에서 전,후 방향으로 이동되는 각도조절기구;를 포함하는 매크로 검사장치.
  6. 청구항 5에 있어서,
    상기 반사 미러는 적어도 2개 이상으로 이루어지는 것을 특징으로 하는 매크로 검사장치.
  7. 삭제
  8. 청구항 5에 있어서,
    상기 카메라 센서 유닛은 적어도 2개 이상의 카메라; 및
    상기 각 카메라의 전방에 설치되는 복수개의 렌즈로 구성되는 것을 특징으로 하는 매크로 검사장치.
  9. 삭제
KR1020060106085A 2006-10-31 2006-10-31 매크로 검사장치 KR100783618B1 (ko)

Priority Applications (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
KR1020060106085A KR100783618B1 (ko) 2006-10-31 2006-10-31 매크로 검사장치

Applications Claiming Priority (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
KR1020060106085A KR100783618B1 (ko) 2006-10-31 2006-10-31 매크로 검사장치

Publications (1)

Publication Number Publication Date
KR100783618B1 true KR100783618B1 (ko) 2007-12-07

Family

ID=39140191

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
KR1020060106085A KR100783618B1 (ko) 2006-10-31 2006-10-31 매크로 검사장치

Country Status (1)

Country Link
KR (1) KR100783618B1 (ko)

Cited By (11)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
KR101682549B1 (ko) * 2015-06-30 2016-12-06 한국항공우주산업 주식회사 굴곡진 패널의 초음파 검사 치구
CN107966839A (zh) * 2017-12-19 2018-04-27 苏州华兴源创电子科技有限公司 一种用于液晶模组的多自由度调节检测装置
WO2018146657A1 (ko) * 2017-02-10 2018-08-16 주식회사 고영테크놀러지 검사 장치, 및 그 장치를 이용한 검사 방법
WO2018146659A1 (ko) * 2017-02-10 2018-08-16 주식회사 고영테크놀러지 검사 장치
WO2018146658A1 (ko) * 2017-02-10 2018-08-16 주식회사 고영테크놀러지 검사 장치, 및 그 장치를 이용한 검사 방법
CN108447818A (zh) * 2018-04-16 2018-08-24 昆山精讯电子技术有限公司 一种点灯检测压接装置
CN109342458A (zh) * 2018-11-14 2019-02-15 大连崇达电路有限公司 一种高精密印制线路板外观质量检测装置及其使用方法
WO2020004791A1 (ko) * 2018-06-29 2020-01-02 주식회사 고영테크놀러지 플리퍼 장치 및 이를 이용한 대상물 검사방법
WO2020062571A1 (zh) * 2018-09-29 2020-04-02 苏州精濑光电有限公司 基板检测设备
KR20200111504A (ko) * 2019-03-19 2020-09-29 주식회사 비오엠솔루션 디스플레이 패널 검사장치
CN116519032A (zh) * 2023-04-28 2023-08-01 广东顺德西安交通大学研究院 一种双镜反射的视觉检测设备

Citations (9)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JPH05187822A (ja) * 1992-01-10 1993-07-27 Sumitomo Metal Mining Co Ltd 干渉画像読取装置
JP2000275140A (ja) 1999-03-24 2000-10-06 Olympus Optical Co Ltd 基板検査装置
JP2000275183A (ja) 1999-03-23 2000-10-06 Olympus Optical Co Ltd 画像取込み装置
KR20000062919A (ko) * 1999-03-17 2000-10-25 기시모토 마사도시 화상 포착 장치
JP2001194311A (ja) * 1999-10-25 2001-07-19 Olympus Optical Co Ltd 基板検査装置
KR20020083291A (ko) * 2001-04-26 2002-11-02 주식회사 엘지이아이 액정표시장치 글래스 검사장비
JP2003014649A (ja) 2001-06-27 2003-01-15 Hitachi Kokusai Electric Inc 板状物体検査装置
JP2003279492A (ja) 2002-03-20 2003-10-02 Kazuya Hirose 多自由度位置決め装置
JP2006208150A (ja) 2005-01-27 2006-08-10 Opto One Kk 液晶基板目視検査装置

Patent Citations (9)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JPH05187822A (ja) * 1992-01-10 1993-07-27 Sumitomo Metal Mining Co Ltd 干渉画像読取装置
KR20000062919A (ko) * 1999-03-17 2000-10-25 기시모토 마사도시 화상 포착 장치
JP2000275183A (ja) 1999-03-23 2000-10-06 Olympus Optical Co Ltd 画像取込み装置
JP2000275140A (ja) 1999-03-24 2000-10-06 Olympus Optical Co Ltd 基板検査装置
JP2001194311A (ja) * 1999-10-25 2001-07-19 Olympus Optical Co Ltd 基板検査装置
KR20020083291A (ko) * 2001-04-26 2002-11-02 주식회사 엘지이아이 액정표시장치 글래스 검사장비
JP2003014649A (ja) 2001-06-27 2003-01-15 Hitachi Kokusai Electric Inc 板状物体検査装置
JP2003279492A (ja) 2002-03-20 2003-10-02 Kazuya Hirose 多自由度位置決め装置
JP2006208150A (ja) 2005-01-27 2006-08-10 Opto One Kk 液晶基板目視検査装置

Cited By (31)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
KR101682549B1 (ko) * 2015-06-30 2016-12-06 한국항공우주산업 주식회사 굴곡진 패널의 초음파 검사 치구
KR20180092773A (ko) * 2017-02-10 2018-08-20 주식회사 고영테크놀러지 검사 장치
WO2018146657A1 (ko) * 2017-02-10 2018-08-16 주식회사 고영테크놀러지 검사 장치, 및 그 장치를 이용한 검사 방법
WO2018146659A1 (ko) * 2017-02-10 2018-08-16 주식회사 고영테크놀러지 검사 장치
WO2018146658A1 (ko) * 2017-02-10 2018-08-16 주식회사 고영테크놀러지 검사 장치, 및 그 장치를 이용한 검사 방법
KR20180092772A (ko) * 2017-02-10 2018-08-20 주식회사 고영테크놀러지 검사 장치, 및 그 장치를 이용한 검사 방법
KR20180092771A (ko) * 2017-02-10 2018-08-20 주식회사 고영테크놀러지 검사 장치, 및 그 장치를 이용한 검사 방법
KR101954416B1 (ko) * 2017-02-10 2019-03-05 주식회사 고영테크놀러지 검사 장치
KR101967372B1 (ko) * 2017-02-10 2019-04-10 주식회사 고영테크놀러지 검사 장치, 및 그 장치를 이용한 검사 방법
KR101967375B1 (ko) * 2017-02-10 2019-04-10 주식회사 고영테크놀러지 검사 장치, 및 그 장치를 이용한 검사 방법
CN107966839A (zh) * 2017-12-19 2018-04-27 苏州华兴源创电子科技有限公司 一种用于液晶模组的多自由度调节检测装置
CN107966839B (zh) * 2017-12-19 2023-10-20 苏州华兴源创科技股份有限公司 一种用于液晶模组的多自由度调节检测装置
CN108447818A (zh) * 2018-04-16 2018-08-24 昆山精讯电子技术有限公司 一种点灯检测压接装置
WO2020004792A1 (ko) * 2018-06-29 2020-01-02 주식회사 고영테크놀러지 플리퍼 장치 및 이를 이용한 대상물 검사방법
KR102547723B1 (ko) * 2018-06-29 2023-06-27 주식회사 고영테크놀러지 플리퍼 장치 및 이를 이용한 대상물 검사방법
WO2020004793A1 (ko) * 2018-06-29 2020-01-02 주식회사 고영테크놀러지 대상물 검사장치 및 이를 이용한 대상물 검사방법
US11908123B2 (en) 2018-06-29 2024-02-20 Koh Young Technology Inc. Object inspection apparatus and object inspection method using same
WO2020004791A1 (ko) * 2018-06-29 2020-01-02 주식회사 고영테크놀러지 플리퍼 장치 및 이를 이용한 대상물 검사방법
KR102547729B1 (ko) * 2018-06-29 2023-06-27 주식회사 고영테크놀러지 대상물 검사장치 및 이를 이용한 대상물 검사방법
KR20210007000A (ko) * 2018-06-29 2021-01-19 주식회사 고영테크놀러지 대상물 검사장치 및 이를 이용한 대상물 검사방법
KR20210008107A (ko) * 2018-06-29 2021-01-20 주식회사 고영테크놀러지 플리퍼 장치 및 이를 이용한 대상물 검사방법
KR20210008106A (ko) * 2018-06-29 2021-01-20 주식회사 고영테크놀러지 플리퍼 장치 및 이를 이용한 대상물 검사방법
JP2021528658A (ja) * 2018-06-29 2021-10-21 コー・ヤング・テクノロジー・インコーポレーテッド 対象物検査装置及びこれを用いた対象物検査方法
JP7088514B2 (ja) 2018-06-29 2022-06-21 コー・ヤング・テクノロジー・インコーポレーテッド 対象物検査装置及びこれを用いた対象物検査方法
KR102539505B1 (ko) * 2018-06-29 2023-06-05 주식회사 고영테크놀러지 플리퍼 장치 및 이를 이용한 대상물 검사방법
WO2020062571A1 (zh) * 2018-09-29 2020-04-02 苏州精濑光电有限公司 基板检测设备
CN109342458A (zh) * 2018-11-14 2019-02-15 大连崇达电路有限公司 一种高精密印制线路板外观质量检测装置及其使用方法
KR102204969B1 (ko) * 2019-03-19 2021-01-19 주식회사 비오엠솔루션 디스플레이 패널 검사장치
KR20200111504A (ko) * 2019-03-19 2020-09-29 주식회사 비오엠솔루션 디스플레이 패널 검사장치
CN116519032A (zh) * 2023-04-28 2023-08-01 广东顺德西安交通大学研究院 一种双镜反射的视觉检测设备
CN116519032B (zh) * 2023-04-28 2024-02-20 广东顺德西安交通大学研究院 一种双镜反射的视觉检测设备

Similar Documents

Publication Publication Date Title
KR100783618B1 (ko) 매크로 검사장치
KR100743427B1 (ko) 평판 디스플레이 패널 매크로 검사장치
US6707546B2 (en) Apparatus for inspecting a substrate
JP4842422B2 (ja) シート材料の検査方法
JP2002082067A (ja) 基板検査装置
KR20070094471A (ko) 외관 검사 장치
JP2003270155A (ja) 基板保持装置及び検査装置
JP2008076218A (ja) 外観検査装置
US6671041B2 (en) Apparatus for inspecting a substrate
CN211669102U (zh) 基板检查装置
KR20120080135A (ko) 기판 검사 시스템
CN214174184U (zh) 一种缺陷检测成像装置
JP3931111B2 (ja) 基板保持装置及び基板検査装置
JPH10111253A (ja) 基板検査装置
JP4256974B2 (ja) 基板検査装置
KR100424292B1 (ko) 검사 장비
JP2008175548A (ja) 外観検査装置および外観検査方法
KR100661759B1 (ko) 2개의 다관절 로봇을 구비하는 평판 디스플레이 패널검사장치
JP4755673B2 (ja) 基板検査装置
JP3907797B2 (ja) 基板検査装置
KR100781605B1 (ko) 평판 디스플레이 패널 검사장치에 구비되는 패널 고정용클램프
JP2001305064A (ja) 基板検査装置
KR100380809B1 (ko) 기판검사장치
KR100776732B1 (ko) 평판 디스플레이용 매크로 검사장치
KR20050087904A (ko) 기판 외관 검사 장치

Legal Events

Date Code Title Description
A201 Request for examination
A302 Request for accelerated examination
E902 Notification of reason for refusal
E902 Notification of reason for refusal
E701 Decision to grant or registration of patent right
GRNT Written decision to grant
G170 Publication of correction
FPAY Annual fee payment

Payment date: 20121203

Year of fee payment: 6

FPAY Annual fee payment

Payment date: 20131203

Year of fee payment: 7

LAPS Lapse due to unpaid annual fee