JP4729499B2 - マクロ検査装置及びマクロ検査方法 - Google Patents

Description

本発明は、ガラス基板等の大型基板の外観検査に用いられるマクロ検査装置と、このマクロ検査装置を用いたマクロ検査方法とに関する。
本出願は、特願２００４−２７９９９０号と、特願２００４−２７９９９１号と、特願２００４−２７９９９２号とを基礎出願とし、それらの内容を取り込むものとする。

液晶ディスプレイ（ＬＣＤ）などのフラットパネルディスプレイ（ＦＰＤ）の製造工程では、各製造工程で製造される透明基板（例えばマスターガラス基板。以降、単にガラス基板と呼ぶ）の外観を目視で検査（マクロ検査）する検査工程がある。この検査工程では、ガラス基板を保持した基板ホルダを所定角度に立ち上げた状態で上方からマクロ照明光を照射することにより同ガラス基板上の欠陥検査を可能にする、基板外観検査装置が用いられる。

下記特許文献１に記載のマクロ検査装置は、矩形状のガラス基板よりも若干小さな開口部を有する矩形枠状のフレームからなる基板ホルダと；この基板ホルダを観察者側に向けるように所定の角度に立ち上げるための上下方向の回転、及び基板ホルダを揺動・反転させるための左右方向の回転を可能にする２軸回転機構と；を備えている。このマクロ検査装置では、基板ホルダの上面で、基板裏面の周縁部を支持する。基板ホルダの上面には、ガラス基板を挟持して位置決めを行う位置決め機構が設けられている。この位置決め機構は、基板ホルダの矩形開口部の互いに隣接する２辺に沿って固定されるガラス基板の、互いに隣接する２辺の基準位置を規制する複数本の基準ピンと；これら基準ピンと対向し、基板ホルダの矩形開口部の互いに隣接する他の２辺に沿って設けられ、前記各基準ピン側に移動可能な押し付けピンと；を備えている。基板ホルダ上にガラス基板を載置した状態で、各押し付けピンをガラス基板側に押し付けることにより、ガラス基板の２辺がそれぞれの基準ピンに押し当てられ、その結果、基板ホルダ上の基準位置に位置決めされる。

下記特許文献２に記載のマクロ検査装置は、ガラス基板を保持する基板ホルダと、この基板ホルダの中央部に連結された押し上げ駆動部とを備え、基板ホルダの前端部と後端部とを持ち替えることにより、基板ホルダを表面側又は裏面側に回動させている。このマクロ検査装置では、基板ホルダを表面側に回動させるとともに上方からマクロ照明を行うことで表面の目視観察を行い、裏面側に回動させるとともにバックライト照明を行うことで裏面の目視観察を行なうことができる。

下記特許文献３に示すマクロ検査装置は、ＦＰＤ用ガラス基板（２０００ｍｍ）に比べて２００ｍｍ、３００ｍｍと非常に小さなウエハ基板を目視検査するための検査装置である。このマクロ検査装置は、ベースに水平方向に回転自在に連結されたアームの先端にひねり回転自在な手首部を備えたロボットを備えている。前記手首部の先端には、ウエハ基板を把持して自転するウエハホルダが取り付けられている。ウエハ出入機により搬送されたウエハ基板の周縁をウエハホルダで把持し、手首部をひねり回転させることによってウエハ基板を表面側又は裏面側に自転させて姿勢制御することにより、ウエハ基板の位置決めとその表裏面の目視観察ができる。

特開平７−３０６１５３号公報 特開平１１−９４７５２号公報 特開平８−１２５００４号公報

しかしながら、ＦＰＤ用のマクロ検査装置においては、基板サイズが年々大型化し、現在では一辺が２０００ｍｍを超えて３０００ｍｍに近いガラス基板が出現している。ガラス基板の大型化に伴って基板ホルダも大型化する必要があるが、基板ホルダが大型化すると、基板ホルダを回転・揺動させる基板ホルダ駆動機構にかかる負荷が大きくなるという問題があった。特に、基板ホルダ駆動機構として多関節アームロボットを用い、この多関節アームロボットにより基板ホルダを片持ちで支持し、基板ホルダを所定角度に立ち上げて目視で検査するマクロ検査装置を実現しようとした場合、多関節アームロボットに大きな負荷が加わるため、実現が困難であった。また、基板ホルダのサイズが大きくなると、基板ホルダを揺動させるためのスペースも大きくする必要があるので、装置が大型化するという問題があった。
本発明は、上記事情に鑑みてなされたもので、基板ホルダを回転・揺動させる基板ホルダ駆動機構にかかる負担を低減することを目的とする。また、装置の大型化を防ぐことも目的とする。

また、従来のマクロ検査装置では、基板ホルダの一辺に回動軸を設けて片持ち支持しているため、基板ホルダの大型化に伴い、重たい基板ホルダを回動させて停止させる際に、基板ホルダの先端部が大きく振動してしまう問題が生じる。基板ホルダの停止時に振動が発生すると、静止するまでにかなりの時間を要する。そのため、基板ホルダが静止するまで、搬送装置による基板の受け渡しができなくなり、待機時間が増えた分、検査に要するタクトタイムが増えてしまうという問題が生じる。特に、多関節アームロボットによって基板ホルダを片持ち支持するマクロ検査装置を実現しようとした場合、多関節アームロボットによって基板ホルダを基板の受け渡し位置に停止させる際に、基板ホルダの先端部に大きな回転モーメントが加わって基板ホルダが振動するため、実現が困難であった。
本発明は、上記事情に鑑みてなされたもので、基板ホルダ駆動機構により回転自在・揺動自在に支持された基板ホルダを基板の受け渡し位置に迅速に静止させることにより基板の受け渡しの円滑化を図り、タクトタイムを短縮して検査の効率化を図ることを目的とする。また、基板ホルダ上における基板の位置決めを迅速に行うことにより、タクトタイムを短縮して検査の効率化を図ることも目的とする。

また、基板ホルダの姿勢を自由に制御できるように、多関節アームロボットで基板ホルダを片持ちで支持するマクロ検査装置の実用化が進められている。ウエハ基板のように小型で軽量な基板では、上記引用文献３で示したように、基板ホルダを片持支持したとしても、基板ホルダの停止時における基板ホルダの振動による影響も少なく、また連結箇所に加わる負荷も小さいため、問題なく扱うことができる。しかし、ＦＰＤ用の大型ガラス基板を保持する基板ホルダは、大型・重量化の傾向にある。したがって、この基板ホルダを片持ち支持する多関節アームロボットを用いて基板ホルダを多方向に姿勢制御しようとすると、多関節アームロボットのアームと基板ホルダとの連結部から基板ホルダ先端までの距離が基板サイズに比例して長くなるため、基板ホルダの先端側に大きくバランスが偏り、停止時の回転モーメントによって基板ホルダが大きく振動するとともに、アームと基板ホルダとの連結部に大きな負荷が加わるという問題が新たに生じる。
このような種々の問題から、多関節アームロボットを用いたマクロ検査装置を容易に実現することができなかった。
本発明は、上記事情に鑑みてなされたものであって、基板ホルダを移動させる基板ホルダ駆動機構（多関節アームロボットを備えた検査用ロボット）の駆動部への負担を軽減し、多関節アームロボットを用いたマクロ検査装置を実現することを目的とする。

上記課題を解決するために、本発明は以下の手段を採用した。
すなわち、本発明のマクロ検査装置は、検査を受ける基板を保持する基板ホルダと；前記基板に照明光を照射するマクロ照明光学系と；前記基板ホルダを支持するとともに前記基板が前記照明光で照らされた状態で前記基板ホルダの姿勢を制御する基板ホルダ駆動機構と；前記基板ホルダとの間で前記基板の受け渡しを行う基板搬送機構と；前記基板ホルダ上に受け渡された前記基板に対してエアーの吹き付けを行うことにより、この基板を前記基板ホルダ上から浮き上がらせる基板浮上機構と；この基板浮上機構により浮上状態にある前記基板を前記基板ホルダ上の基準位置に位置決めする基板位置決め機構と；この基板位置決め機構により位置決めされた前記基板を前記基板ホルダに固定する基板固定機構と；を備える。

このマクロ検査装置では、基板受け渡し位置に待機している基板ホルダに対し、基板搬送機構が基板を載置する。このようにして載置された基板は、基板浮上機構のエアーの吹き付けによって基板ホルダ上から浮き上がる。そして、この浮上状態にある基板を基板位置決め機構により基準位置に位置決めした後、基板固定機構により固定する。このようにして基板ホルダ上への基板の固定が完了した後、基板ホルダ駆動機構によって基板ホルダの姿勢制御を行うことで、観察者がマクロ観察を行いやすいように基板の移動制御を行う。したがって、このマクロ検査装置によれば、基板ホルダ上における基板の位置決めを迅速に行うことができるので、タクトタイムを短縮して検査の効率化を図ることが可能になる。
前記基板ホルダ駆動機構が、多関節アームロボットを備えてもよい。

前記基板位置決め機構が、前記基板ホルダ以外の位置に設けられていてもよい。
この場合、基板位置決め機構が基板ホルダに設けられていない分だけ、基板ホルダを小型化、軽量化させることができる。したがって、基板ホルダの移動を速やかに行えるようになり、検査時間を短縮することができる。また、基板ホルダの姿勢を制御する基板ホルダ駆動機構を小型化することができ、マクロ検査装置全体を小型化、軽量化することができる。

前記基板位置決め機構が、前記基板をその周囲から挟持することにより、前記位置決めを行うようにしてもよい。
前記基板位置決め機構が、前記基準位置に達した際の前記基板に当接する位置に固定された位置決め部材と；前記基板を前記位置決め部材に向けて付勢する付勢装置と；を備えてもよい。

前記基板ホルダに、前記基板位置決め機構との間の干渉を避ける第１の切り欠きを形成してもよい。
この場合、基板位置決め機構が基板を保持しやすくするために、基板位置決め機構の、基板を保持する保持部の大きさを大きくしても、この保持部が基板ホルダに形成された第１の切り欠きによって基板ホルダに干渉するのを回避することができる。

前記基板位置決め機構が、前記基板ホルダ上に設けられて前記基準位置に達した際の前記基板に当接する位置に固定された位置決め部材と；前記基板ホルダ以外の位置に設けられて前記基板を前記位置決め部材に向けて付勢する付勢装置と；を備えても良い。
この場合、基板受け渡し位置に待機させた基板ホルダ上に基板ホルダを載置し、その後、付勢装置によって基板を位置決め部材に押し付けることで、基板を基準位置に位置決めすることができる。しかも、付勢装置は基板ホルダ外に設けられているので、付勢装置を基板ホルダに設ける場合に比較して基板ホルダを軽量化することができる。その結果、基板ホルダ駆動機構にかかる負荷（すなわち、基板ホルダの回転モーメント）を低減させることができる。したがって、基板ホルダ駆動機構を小型化できるので、マクロ検査装置全体の小型化をも図ることができる。

前記基板浮上機構により前記基板を前記基板ホルダから浮上させた状態で、前記基板ホルダ駆動機構により前記基板ホルダを傾斜させた際に、この基板ホルダの傾斜に沿って移動する前記基板が前記基準位置に達した際に当接する位置決め部材を、前記基板位置決め機構に備えてもよい。
この場合、受け渡し位置において基板を基板ホルダで受け取った後、基板浮上機構によるエアーの吹き付けにより基板を基板ホルダ上から浮き上がらせた状態で、基板ホルダを基板ホルダ駆動機構により傾斜させる。すると、基板ホルダの傾斜に沿って基板が自重により移動し、位置決め部材に当接することでその移動が停止され、基準位置への位置決めが完了する。このように、基板ホルダ上での位置決めのために基板を移動させる構成要素を省略することができる。

前記基板ホルダを正面視した場合の外形寸法を、前記基板を正面視した場合の外形寸法より小さくしてもよい。
この場合、基板位置決め機構が基板を保持しやすくするために、基板位置決め機構の、基板を保持する保持部の大きさを大きくしても、この保持部が基板ホルダに干渉するのを回避することができる。

前記基板搬送機構との間における前記基板の受け渡し位置に移動した前記基板ホルダを停止させる静止機構をさらに備えてもよい。
この場合、前記受け渡し位置に移動した基板ホルダを、予め待機している静止機構によって停止させるので、基板ホルダを片持ち支持状態で前記受け渡し位置に単純に停止させた場合に比較して、基板ホルダの振れが抑制、又は防止できる。その結果、基板ホルダを所定位置にて極めて迅速に静止させることができるので、基板受け渡し位置における基板の受け渡し動作を速やかに行うことが可能になる。したがって、基板検査に不要なロスタイムを削減することができ、基板検査のタクトタイムを大幅に短縮して検査の効率化を図ることができる。

前記静止機構が、前記受け渡し位置に達した際の前記基板ホルダに当接してこの基板ホルダの振動を減衰させる弾性体を備えてもよい。
前記静止機構が、軸線が基板ホルダに略垂直をなすように定位置に固定されたスプリングをさらに備え、このスプリング上に前記弾性体を設けてもよい。
前記基板ホルダの側部に第２の切り欠きを形成し；前記静止機構に、前記受け渡し位置に達した際の前記基板ホルダの前記第２の切り欠きに係止する係止部を備えさせてもよい。
前記静止機構が、前記受け渡し位置に達した際の前記基板ホルダを挟持する挟持手段を備えてもよい。
前記静止機構が、前記受け渡し位置に達した際の前記基板ホルダを受け入れる凹部を有するとともに前記基板が前記受け渡し位置に向かう方向に沿って回動する回動部材と；この回動部材に受け入れられた前記基板ホルダが前記受け渡し位置に達した際の回転位置に前記回動部材を停止させる回動規制部材と；を備えてもよい。

前記静止機構が、前記受け渡し位置に達した前記基板ホルダを受け止める受け止め位置と、この受け止め位置から離間した待避位置との間で移動するようにしてもよい。
この場合、検査実施中の基板ホルダが静止機構と干渉するのを確実に回避することができる。
なお、前記静止機構が、前記受け止め位置及び前記待避位置間を水平移動するようにしてもよい。
または、前記静止機構が、前記受け止め位置及び前記待避位置間を回転移動するようにしてもよい。

前記基板ホルダ駆動機構が、前記基板ホルダの一辺を、この一辺に平行な第１の軸線回りに前記基板ホルダが回動可能なように支持し；前記第１の軸線を回転中心として前記基板ホルダの位置とは反対側に位置するウエイトが、前記基板ホルダに設けられるようにしてもよい。
この場合、第１の軸線を回転中心として、基板ホルダとウエイトとが釣り合うため、ウエイトを備えない場合に比較して、基板ホルダ駆動機構にかかる負荷（すなわち、基板ホルダの回転モーメント）を低減させることができる。その結果、基板ホルダ駆動機構を小型化できるので、マクロ検査装置全体の小型化をも図ることができる。また、基板ホルダ駆動機構として多関節アームロボットを採用することも可能になる。

前記基板ホルダ駆動機構が、前記基板ホルダを、前記第１の軸線に直交するとともに前記基板ホルダがなす平面に平行な第２の軸線回りに回動可能に支持し；前記基板ホルダの重心位置と、前記第１の軸線及び前記第２の軸線間の交点と、前記ウエイトの重心位置とが略一直線上に配置されるようにしてもよい。
この場合、第１の軸線回りのモーメントバランスと、第２の軸線回りのモーメントバランスとを調整することができるので、基板ホルダ駆動機構にかかる負荷（すなわち、基板ホルダの回転モーメント）を低減させることができる。その結果、基板ホルダ駆動機構を確実に小型化できるので、マクロ検査装置全体の小型化をも図ることができる。

前記基板ホルダ駆動機構が、前記基板ホルダを、前記第１の軸線に直交するとともに前記基板ホルダがなす平面に平行な第２の軸線回りに回動可能に支持し；前記ウエイトが、前記第２の軸線を間に挟んで互いに接近するように一対設けるようにしてもよい。
この場合、一対のウエイトを第２の軸線を間に挟んで互いに接近するように設けるので、第２の軸線回りの回転モーメントを小さくすることができる。

本発明のマクロ検査方法は、検査を受ける基板の受け渡し位置に基板ホルダを停止させる基板ホルダ停止ステップと；前記基板ホルダ上に前記基板を載置する基板載置ステップと；前記基板に対してエアーを吹き付けてこの基板を前記基板ホルダ上から浮き上がらせる基板浮上ステップと；浮上状態にある前記基板を前記基板ホルダ上の基準位置に位置決めする基板位置決めステップと；前記基板位置決めステップ後の前記基板を前記基板ホルダに固定する基板固定ステップと；を有する。
このマクロ検査方法によれば、基板ホルダ上における基板の位置決めを迅速に行うことができるので、タクトタイムを短縮して検査の効率化を図ることが可能になる。
なお、前記基板位置決めステップでは、前記基板をその周囲から挟持することにより、前記位置決めを行ってもよい。

前記基板が前記基準位置に達した際に当接する位置決め部材を前記基板ホルダに設け；前記基板位置決めステップで、浮上状態の前記基板を前記位置決め部材に当接させるように前記基板ホルダを傾斜させてもよい。
この場合、基板ホルダを基板ホルダ駆動機構により傾斜させると、基板ホルダの傾斜に沿って基板が移動し、位置決め部材に当接することでその移動が停止され、基準位置への位置決めが完了する。このように、基板ホルダ上での位置決めのために基板を移動させる構成要素を省略することができる。

前記基板ホルダ停止ステップで、前記受け渡し位置に移動した前記基板ホルダの振動を減衰させることにより、前記基板ホルダを停止させてもよい。
この場合、前記受け渡し位置に移動した基板ホルダの振動を減衰させることにより基板ホルダを停止させるので、基板ホルダを片持ち支持状態で前記受け渡し位置に単純に停止させた場合に比較して、極めて迅速に静止させることができる。したがって、基板受け渡し位置における基板の受け渡し動作を速やかに行うことが可能になる。したがって、基板検査に不要なロスタイムを削減することができ、基板検査のタクトタイムを大幅に短縮して検査の効率化を図ることができる。

前記基板ホルダ停止ステップで、前記受け渡し位置に移動した前記基板ホルダを挟持することにより、前記基板ホルダを停止させてもよい。
前記基板ホルダ停止ステップで、前記受け渡し位置に移動した前記基板ホルダを定位置に係止させることにより、前記基板ホルダを停止させてもよい。

前記基板ホルダの回転モーメントを、この回転モーメントと釣り合う回転モーメントを発生させるウエイトにより相殺してもよい。
この場合、基板ホルダによる回転モーメントとウエイトによる回転モーメントとが釣り合うため、ウエイトを備えない場合に比較して、基板ホルダの姿勢制御を行うための駆動機構にかかる負荷（すなわち、基板ホルダの回転モーメント）を低減させることができる。その結果、前記駆動機構を小型化できるので、マクロ検査装置全体の小型化をも図ることができる。また、駆動機構として多関節アームロボットを採用することも可能になる。

本発明のマクロ検査装置及びマクロ検査方法によれば、基板ホルダ上における基板の位置決めを迅速に行うことができるので、タクトタイムを短縮して検査の効率化を図ることが可能になる。
また、本発明によれば、例えば、基板位置決め機構を基板ホルダ以外の位置に設けた場合、基板位置決め機構が基板ホルダに設けられていない分だけ、基板ホルダを小型化、軽量化することができる。したがって、基板ホルダ駆動機構にかかる負担を低減することができるので、基板ホルダ駆動機構を小型化でき、マクロ検査装置全体を小型化、軽量化することができる。
また、本発明によれば、上述のように、基板ホルダ駆動機構にかかる負担を低減することができるので、駆動機構として多関節アームロボットを用いたマクロ検査装置を実現することが可能になる。

図１は、本発明の第１実施形態に係るマクロ検査装置の概略構成を示す側面図である。 図２は、同マクロ検査装置に備えられている基板ホルダが水平位置にあるときの平面図を示す図であって、図１のＩＩ−ＩＩ線矢視図である。 図３は、同マクロ検査装置に備えられている基板支持部を、図２のＩＩＩ−ＩＩＩ線，ＩＶ−ＩＶ線に沿って見た断面図である。紙面右図は、吸着部の位置における基板支持部の断面図、紙面左図は、支持ピンの位置における基板支持部の断面図を示す。 図４は、同マクロ検査装置の図１に相当する図であって、リフトピンを上昇させて基板を支持させた状態を示す側面図である。 図５は、同マクロ検査装置に備えられている搬送用ロボットを示す平面図である。 図６は、本発明の第２実施形態に係るマクロ検査装置の要部を示す図であって、図２に相当する平面図である。 図７は、本発明の第３実施形態に係るマクロ検査装置の要部を示す図であって、静止機構によって保持された基板ホルダの側面図である。 図８は、同静止機構の他の例を説明する側面図である。 図９は、同静止機構の他の例を説明する側面図である。 図１０は、同静止機構の他の例を説明する側面図である。 図１１は、同静止機構の他の例を説明する側面図である。 図１２は、同静止機構の他の例を説明する側面図である。 図１３は、同静止機構の他の例を説明する側面図である。 図１４は、同マクロ検査装置の基板ホルダの他の例を示す図であって、図２に相当する平面図である。 図１５は、同基板ホルダの側面図である。 図１６は、本発明の第４実施形態に係るマクロ検査装置の基板ホルダを示す図であって、図２に相当する平面図である。 図１７は、同基板ホルダの側面図である。 図１８は、同基板ホルダの他の例を説明する平面図である。 図１９は、同基板ホルダの他の例を説明する平面図である。 図２０は、同基板ホルダの側面図である。 図２１は、同基板ホルダの他の例を説明する平面図である。 図２２は、同基板ホルダの側面図である。

符号の説明

１ マクロ検査装置
３ 光源（マクロ照明光学系）
６，８１ 基板ホルダ
７ｅ 係合溝（第２の切り欠き）
９，１１，８４ 吸着部（基板固定機構）
１５ 検査用ロボット（基板ホルダ駆動機構，多関節アームロボット）
２０ 位置決め手段（基板位置決め機構）
２１ シリンダ（付勢装置）
２８ 搬送用ロボット（基板搬送機構）
４２ａ，４２ｂ 基準ピン（位置決め部材）
４３ａ，４３ｂ 切り欠き（第１の切り欠き）
５０ 静止機構
５２ 弾性体
５５ 振動減衰部（スプリング）
５６ 係合ピン（係止部）
６１，６２ 固定ブラケット，可動ブラケット（挟持手段）
７２ 当接部（回動部材）
７４ ストッパピン（回動規制部材）
９０ バランスウエイト（ウエイト）
Ｗ 基板
Ｘ 連結軸（第１の軸線）
Ｙ 中心軸（第２の軸線）

本発明のマクロ検査装置の各実施形態を、図面を参照しながら以下に説明する。
［第１実施形態］
図１は、本発明の第１実施形態に係るマクロ検査装置の概略構成を示す側面図である。
マクロ検査装置１は、クリーンルーム内に配置され、上面及び下面が開放された空間の周囲を囲む側壁を有する装置本体２を備える。この装置本体２の上面には、装置本体２内のクリーン度を高めるためのフィルタ（図示略）が取り付けられている。また、装置本体２の上部には、マクロ照明光学系として、例えばメタルハライドランプやナトリウムランプなどのマクロ照明用の光源３と、この光源３から出射される照明光の光軸上に設けられた反射ミラー４とが設置されている。反射ミラー４の下方には、光源３からの照明光を収束させて基板Ｗに導くフレネルレンズ５が配置されている。フレネルレンズ５は、光源３からの発散光を収束光にする。さらに、光源３からの発散光を均一な面光源に変更する散乱機能を有する透過型液晶散乱板が、フレネルレンズ５に近接して配置されている。マクロ照明光学系は、液晶ディスプレイやプラズマディスプレイ等の透明基板の全体を一括照明しても良く、また部分的に照明し、照明光を一次元方向又は二次元方向に走査させるようにしても良い。

基板Ｗは、透明な平板からなるフラットパネルディスプレイ（ＦＰＤ）用の透明基板で、基板搬送装置（搬送ロボット）により、図１中に仮想線で示すように、水平に配置された基板ホルダ６上に搬入される。マクロ検査装置で検査される透明基板としては、ＦＰＤ用の矩形パネルを複数枚製造できる多面取りのマスターガラス基板があり、外形が矩形に形成され、周縁よりも若干内側に矩形状のパターン領域が形成されている。以下、基板周縁と矩形パターンとの間を「基板の周縁部」と呼ぶ。

図２に示すように、基板ホルダ６は、基板Ｗの外形よりも小さな矩形の開口部８が形成された矩形枠状のホルダ本体７を有する。ホルダ本体７は、互いに平行な一対の長辺部７ａ，７ｂのそれぞれの両端部が一対の短辺部７ｃ，７ｄによって連結されることで、開口部８を形成している。開口部８の大きさは、基板Ｗの外形寸法よりも小さく、前記矩形パターン領域よりも若干大きな矩形寸法に形成されている。そして、ホルダ本体７の内周側周縁部で、基板Ｗの裏面の周縁部を支持する。ホルダ本体７の内周側周縁部で基板Ｗと重なる領域には、吸着部（基板固定機構）９が所定間隔をおいて複数配設されている。これら吸着部９は、ホルダ本体７の上面よりも若干突出して、吸着時にホルダ本体７の上面と略面一となるように設定された吸着パッドと；この吸着パッドに形成された貫通孔に通気管を介して接続された吸引用流体ポンプと；から構成されている（以上、図示略）。

吸着部９には、基板Ｗの位置決めの際に、基板Ｗをエアーの吹き付けにより浮上させて基板ホルダ６に対する接触抵抗（摩擦抵抗）を低減させる基板浮上手段として、例えば、前記通気管に切り替えバルブを介して、エアーを吹出す排気用流体ポンプが接続されている（以上、図示略）。これにより、前記各吸着部９から圧搾エアーの吹き出しが可能となっており、前記バルブの切換えによって吸引と吹き出しとを択一的に行えるようになっている。このように、吸引と吹き出し（基板浮上機構）とが可能な構成を、全ての吸着部９に持たせても良いが、一部の吸着部９のみに持たせるようにしても良い。また、吸着部９とは別に、基板浮上手段として、エアー吹出し用のノズル孔を有する吹上部をホルダ本体７に設け、エアー吸引とエアー吹出しとを別系統にしても良い。

ホルダ本体７の開口部８内には、複数の基板支持部１０が、互いに十分な間隔をおいて固定されている。各基板支持部１０は、金属製であり、図３の左右両図に示すように、その概略断面形状が、幅寸法に比べて長い高さ寸法の縦長棒状（桟状）になっており、ホルダ本体７に比べて小型かつ軽量となっている。これら基板支持部１０の詳細断面形状は、同じく図３の左右両図に示すように、縦長の六角形形状を有しており、上端及び下端のうち少なくとも上端には、基板Ｗを透過した照明光が基板支持部１０の上端で反射して観察の妨げにならないよう、前記照明光を観察視野外に向けて反射する傾斜面１０ｂ，１０ｂが形成されている。本実施形態では、各基板支持部１０の上端と下端の両方に、傾斜面１０ｂ，１０ｄが形成されている。

これら基板支持部１０の上部には、稜線の一部を平坦に切欠いて形成した取付面１０ａに、基板Ｗの裏面に吸着する吸着部（基板固定機構）１１（図３の右図）と、基板Ｗの裏面に当接する支持ピン１２（図３の左図）とが垂直に突設されている。これら吸着部１１及び支持ピン１２は、図２に示すように、同一基板支持部１０上に交互に配置しても良く、また、各基板支持部１０の全てに吸着部１２を配置しても良く、さらには各基板支持部１０の交互に支持ピン１２又は吸着部１１を配置しても良い。

吸着部１１は、基板支持部１０の上面に立設されたロッド１１ａと、ロッド１１ａの先端に取り付けられた吸着パッド１１ｂとを備えている。ロッド１１ａ及び吸着パッド１１ｂには、エアー流通孔（図示略）が形成されており、このエアー流通孔に通気管を介して前記吸引用流体ポンプが接続されている（以上、図示略）。

吸着部１１には、基板Ｗの位置決めの際に、基板Ｗをエアーの吹き付けにより浮上させて基板ホルダ６に対する接触抵抗（摩擦抵抗）を低減させる基板浮上手段として、例えば、前記通気管に切り替えバルブを介してエアーを吹出す排気用流体ポンプが接続されている（以上、図示略）。これにより、吸着パッド１１ｂから圧搾エアーが吹き出し可能となり、前記バルブの切換えにより吸引と吹き出しとを択一的に行うことができる。このように、吸引と吹き出しとが可能な構成を、全ての吸着部１１に持たせても良いし、一部の吸着部１１のみに持たせても良い。また、吸着部１１とは別に、基板浮上機構として、エアー吹出し用のノズル孔を有する吹上部をホルダ本体７に設け、エアー吸引とエアー吹出しとを別系統にしても良い。

支持ピン１２は、基板支持部１０の上面に立設されたロッド１２ｂと、ロッド１２ｂの先端にテフロン（登録商標）等のガラス基板よりも硬度が小さく耐磨耗性に優れた減摩材からなる略球形の当接部１２ａが設けられている。吸着部１１の上端位置及び支持ピン１２の上端位置は、共に、吸着部９の上面位置と略等しくなるように高さ調整されている。

図１及び図２に示すように、基板ホルダ６を回転・揺動させる基板ホルダ駆動機構として、例えば、多方向（図示Ａ，Ｂ，Ｃ，Ｄの方向）に自由に動く、複数のアームを連結した多関節アームロボットである検査用ロボット１５が装置本体２の下部に配置されている。
図２に示すように、ホルダ本体７の一方の長辺部７ａは、検査用ロボット１５の先端アーム１６に連結されている。検査用ロボット１５は、不図示の制御装置によって、例えば、図１に仮想線で示すように、基板ホルダ６が水平に姿勢保持される基板受け渡し位置から、図１に実線で示す所定の傾斜角度まで基板ホルダ６を矢印Ａ方向に回転させたり、基板ホルダ６を先端アーム１６の軸線回りの矢印Ｃ方向（図２）に回転させたり、基板ホルダ６を矢印Ｂ（図１）方向に上下移動させたり、基板ホルダ６を矢印Ｄ方向（図２）に左右移動たりすることができる。

この検査用ロボット１５を用いることにより、基板ホルダ６を、マクロ照明下での観察に適した角度に立ち上げた状態で、基板ホルダ６を上下左右に移動させることができ、基板Ｗの全面に対してマクロ照明光を走査させることができる。マクロ照明光学系をＸＹ方向に移動可能に設けた場合には、検査用ロボット１５として、基板ホルダ６を矢印Ａ方向に回転又は揺動させる一軸方式の基板ホルダ駆動機構や、基板ホルダ６を矢印Ａ方向と矢印Ｃ方向に回転させるニ軸方式の基板ホルダ駆動機構を採用しても良い。
なお、起き上がらせたときの基板ホルダ６の前面の位置に対応するように、装置本体２には開口（図示略）が形成されており、起き上がらせた状態の基板Ｗの外観を観察者が目視観察できるようになっている。

図２に示すように、基板Ｗを受け入れるために基板受け渡し位置に基板ホルダ６を水平に姿勢制御した状態では、基板ホルダ６の周囲にフレーム１７が配置されるようになっている。フレーム１７は、検査用ロボット１５が揺動可能な範囲を除いて、ホルダ本体７の各辺部７ａ，７ｂ，７ｃ，７ｄに沿って、ホルダ本体７の周囲を囲むように装置本体２に対して固定されている。このフレーム１７の上部には、基板Ｗをホルダ本体７上の基準位置に位置決めする基板位置決め機構として複数の位置決め手段２０が、ホルダ本体７の周囲から離間して取り付けられている。これら位置決め手段２０は、ホルダ本体７の長辺部７ａ，７ｂ及び短辺部７ｄに対向する位置にあるフレーム１７には２つずつ設けられ、ホルダ本体７の短辺部７ｃと対向する位置のフレーム１７には１つ設けられている。短辺部７ｄ側、長辺部７ａ，７ｂ側に配設されている各位置決め手段２０は、基板Ｗの各隅部に対向するように設けられている。ただし、短辺部７ｃ側に配設された位置決め手段２０は、基板Ｗの左短辺の中心付近に対向するように設けられている。

各位置決め手段２０は、フレーム１７に固定されたシリンダ２１等からなる駆動部と、シリンダ２１に進退自在に支持されたロッド状の押し付けピン２２等からなる押圧部材とを備える。押し付けピン２２の先端には、テフロン（登録商標）等のガラス基板よりも硬度が小さく、耐磨耗性に優れた減摩材からなる円柱形の当接部２２ａが設けられている。各押し付けピン２２は、基板ホルダ６の上面位置よりも若干上方位置に配置され、これら押し付けピン２２の当接部２２ａがガラス基板Ｗの側面に押し当てられる位置決め位置（基準位置）と；図２に仮想線で示すように、押し付けピン２２の当接部２２ａがホルダ本体７よりも外側に向かって離間した退避位置と；に移動可能になっている。

位置決め手段２０は、シリンダ駆動の構成に限定されず、例えば、モータ（駆動部）にリンク機構（押圧部材）を介して当接部２２ａを進退させる構成を採用しても良い。また、ホルダ本体７を、基板Ｗの周縁部がホルダ本体７から若干飛び出すように、ホルダ本体７の外形寸法を基板Ｗの外形寸法よりも若干小さく形成し、ホルダ本体７から飛び出した基板Ｗの周縁に、各押し付けピン２２の当接部２２ａを押し付けるようにしても良い。

図１に示すように、水平に姿勢制御された基板ホルダ６の下方には、リフト装置２４が配置されている。リフト装置２４は、図５に示すように、平面視した場合に基板ホルダ６の各基板支持部１０と基板搬送用ロボット２８の櫛歯状のフィンガ３１とに干渉しない複数箇所に配置されたリフトピン２５と；図１に示すように、これらのリフトピン２５を支持するリフトピン支持バー２６と；このリフトピン支持バー２６を昇降させるアクチュエータ部２７と；を備えている。
各リフトピン２５は、図４に示すような、基板ホルダ６の上面位置よりも高い位置まで突出するリフト位置と、図１に示すような、基板ホルダ６の下面位置よりも下がった退避位置とに移動可能である。各リフトピン２５の先端には、テフロン（登録商標）等のガラス基板よりも硬度が小さくて耐磨耗性に優れた減摩材からなる略球形の当接部が設けられている。

図５に、搬送用ロボット２８を示す。搬送用ロボット２８は、基板ホルダ６に基板Ｗを搬入したり、基板ホルダ６から基板Ｗを搬出したりする際に使用され、多関節アームロボットを備えている。この搬送ロボット２８の先端アーム２９にロボットハンド３０が取り付けられている。ロボットハンド３０は、櫛歯状に配設された複数本のフィンガ３１を備えており、各フィンガ３１の上面には、吸着部３２が等間隔配置され、基板Ｗを吸着保持する。
図２に示すように、ロボットハンド３０は、装置本体２の基板挿入口２ａを通して基板ホルダ６の上方に挿入されたときに、位置決め手段２０やリフトピン２５を避けるように、フィンガ３１の形状や配置が設定されている。

本実施形態のマクロ検査装置１の動作について以下に説明する。
まず、各位置決め手段２０の押し付けピン２２を前記退避位置に退避させてから、検査用ロボット１５により基板ホルダ６を基板Ｗの搬入出に適した水平な基板受け渡し位置に待機させる。搬送用ロボット２８は、図示しないカセットより基板Ｗを一枚吸着保持して取り出して基板ホルダ６の上方に移送してから、基板Ｗに対する吸着を解除する。その後、リフト装置２４は、アクチュエータ部２７を駆動させ、リフトピン２５を搬送用ロボット２８のフィンガ３１よりも上方に移動させて基板Ｗを受け取る。このときのリフトピン２５は、ホルダ本体７、各基板支持部１０、及び搬送用ロボット２８の櫛歯状のフィンガ３１に干渉しないように配設されているので、ホルダ本体７の開口部８を通り、搬送用ロボット２８の各フィンガ３１の間を通り抜けて基板Ｗを持ち上げる。これにより、搬送用ロボット２８に載置された基板Ｗは、搬送用ロボット２８のフィンガ３１からリフトピン２５に移載される。この状態で、搬送用ロボット２８によりロボットハンド３０をホルダ本体７に接触しない位置まで降下させた後、ロボットハンド３０を基板ホルダ６の移動経路上から退避させる。

次に、アクチュエータ部２７を駆動してリフトピン２５を前記退避位置まで降下させると、基板Ｗの裏面がホルダ本体７の吸着部９と、基板支持部１０の吸着部１１及び支持ピン１２とに当接し、リフトピン２５から基板ホルダ６に基板Ｗが移載される。基板Ｗを基板ホルダ６上に載置させたら、基板浮上機構として機能する吸着部９，１１から圧搾エアーを吹き出して基板Ｗをホルダ本体７から僅かに浮上させる。基板Ｗをエアーで浮かせた状態で、各位置決め手段２０を駆動して各押し付けピン２２を基板Ｗに向かって突出させる。その結果、基板Ｗは、各押し付けピン２２により挟持されて基準位置に位置決めされる。基板Ｗが位置決めされた状態で、吸着部９，１１からの圧搾エアー供給を停止させ、基板Ｗをホルダ本体７及び各基板支持部１０の上に載置する。この後、吸着部９，１１により吸引を開始して、位置決めされた基板Ｗを吸着保持する。

なお、基板Ｗを位置決めする際、ホルダ本体７の対角線を挟んで一方側に配置される位置決め手段２０を位置決め基準用に設定し、この基準用位置決め手段２０の当接部２２ａをホルダ本体７の基準位置に固定し、他方側に配置される位置決め手段２０を基板押し付け用に設定し、この押し付け用位置決め手段２０の当接部２２ａにより基板Ｗを基準用位置決め手段２０の当接部２２ａに押し付けて位置決めするようにしても良い。

基板Ｗをホルダ本体７上の基準位置に位置決めして吸着保持させたら、検査用ロボット１５が基板ホルダ６を水平位置から、図１に実線で示したように、基板Ｗが観察者に向かうように起き上がらせる。この状態で、光源３からの照明光によって基板Ｗをその上方から照らし、観察者によるマクロ検査が行われる。この際、検査用ロボット１５により、基板ホルダ６を微小角度で上下方向又は左右方向に揺動させ、基板Ｗに対して照明光の入射角度を変化させながらマクロ検査を行うようにしても良い。基板Ｗの裏面のマクロ検査を行なう場合には、検査用ロボット１５により基板Ｗを反転させ、基板Ｗの裏面を照明方向に向けてマクロ検査を行うようにしても良い。さらに、不図示のバックライト装置を設けて、基板Ｗをその裏面側から照らしながら観察を行うようにしても良い。

マクロ検査が終了したら、基板ホルダ６を水平位置まで戻した後、吸着部９，１１による吸着保持を解除する。再び、リフト装置２４のアクチュアータ部２７を駆動し、リフトピン２５を上昇させ、基板Ｗを基板ホルダ６からリフトピン２５上に移載する。この状態で、搬送用ロボット２８は、ロボットハンド３０を水平に移動させてフィンガ３１をホルダ本体７と基板Ｗとの間に挿入し、ロボットハンド３０を上昇させてリフトピン２５から基板Ｗを受け取り、基板Ｗを吸着部３２により吸着保持した後、ロボットハンド３０を後退させて前記カセットに向けて搬出する。

以上説明のように、本実施形態のマクロ検査装置１は、検査を受ける基板Ｗを保持する基板ホルダ６と；基板Ｗに照明光を照射する光源（マクロ照明光学系）３と；基板ホルダ６を支持するとともに基板Ｗが照明光で照らされた状態で基板ホルダ６の姿勢を制御する検査用ロボット（基板ホルダ駆動機構）１５と；基板ホルダ６との間で基板Ｗの受け渡しを行う搬送用ロボット（基板搬送機構）２８と；基板ホルダ６上に受け渡された基板Ｗに対してエアーの吹き付けを行うことにより、この基板Ｗを基板ホルダ６上から浮き上がらせる前記通気管，前記切り替えバルブ，前記排気用流体ポンプを有する基板浮上機構と；この基板浮上機構により浮上状態にある基板Ｗを基板ホルダ６上の基準位置に位置決めする位置決め手段（基板位置決め機構）２０と；この位置決め手段２０により位置決めされた基板Ｗを基板ホルダ６に固定する吸着部（基板固定機構）９，１１と；を備える。

そして、本実施形態のマクロ検査装置１によれば、基板Ｗを位置決めさせる位置決め機構として機能する位置決め手段２０を基板ホルダ６とは別体に設けたので、基板ホルダ６上に駆動部を有する位置決め手段２０を設ける必要がなくなる。この大きな取り付けスペースを要する位置決め手段２０をホルダ本体７上から分離することにより、位置決め手段２０を配置するスペース分だけホルダ本体７の幅寸法を小さくでき、基板ホルダ６を軽量化できる。さらに、基板ホルダ６の軽量化により、基板ホルダ６を駆動させる検査ロボット１５にかかる負荷を低減させることできる。その結果、検査用ロボット１５に小型の多関節アームロボットを使用することが可能になる。さらには、これら基板ホルダ６及び検査用ロボット１５の小型化により、マクロ検査装置１を小型化でき、クリーンルームの設置スペースを小さくできる。

なお、ホルダ本体７は、基板Ｗの周縁部がホルダ本体７から若干飛び出すように、ホルダ本体７の外形寸法を基板Ｗの外形寸法よりも若干小さくしているので、押し付け用位置決め手段２０の押し付けピン２２の進退時に、押し付けピン２２とホルダ本体７との干渉を防止できる。さらには、押し付けピン２２の先端に取り付けられる当接部２２ａを大きくすることができるので、ホルダ本体７が上下方向に多少ずれても、これら当接部２２ａを確実に基板Ｗに接触させて押圧することができる。さらに、ホルダ本体７の外形寸法を、基板外形寸法内に小型化することができ、更なる軽量化を図ることができる。

［第２実施形態］
本発明のマクロ検査装置の第２実施形態について、図面を参照しながら以下に説明する。なお、上記第１実施形態と同一構成要素には同一符号を付し、その説明を省略する。
図６に示すように、検査用ロボット１５の先端アーム１６が取り付けられているホルダ本体７の長辺部７ａ上面には、基準用位置決め手段（基準用基板位置決め機構）である基準ピン４２ａが２つ固定され、短辺部７ｃ上面には、基準ピン４２ｂが固定されている。各基準ピン４２ａは、基板Ｗの隅部に対応する位置に配置され、基準ピン４２ｂは、基板Ｗの左側縁の中央部に対応する位置に配置されている。

装置本体２には、ホルダ本体７の長辺部７ｂ及び短辺部７ｄに沿うように、フレーム４４及びフレーム４５が取り付けられ、これらフレーム４４，４５には、基板Ｗを各基準ピン４２ａ，４２ｂに押し付けるための押し付け用位置決め手段（押し付け用基板位置決め機構）２０が２つずつ設けられている。
基板ホルダ本体７の長辺部７ｂ及び短辺部７ｄには、押し付け用位置決め手段２０に対応した位置に切欠き４３ａ，４３ｂが基板ホルダ本体７の外周面から開口部８に向かって凹むように形成されている。これら切欠き４３ａ，４３ｂは、図６に示すように、基板Ｗの内側へ数ミリ程度の入り込む位置まで切り欠かれている。

本実施形態では、上記第１実施形態で説明した構成から、ホルダ本体７の長辺部７ａ及び短辺部７ｃに沿って設けられたそれぞれのフレームを省略している。そして、この省略したフレームに固定されていたシリンダ等の駆動部を有する位置決め用位置決め手段２０を、駆動部の無い基準ピン４２ａ、４２ｂに代えている。さらに、ホルダ本体７の、各押し付け用位置決め手段２０と対向する位置に切欠き４３ａ，４３ｂを設けている。以上説明の点以外の構成は、上記第１実施形態の構成と同じであり、重複する説明は省略する。

本実施形態のマクロ検査装置１の動作について以下に説明する。
本実施形態は、上記第１実施形態に対して、基板Ｗの位置決めの仕方だけが異なっている。この異なる位置決めの仕方について以下に説明する。図５に示したような搬送用ロボット２８で搬入された基板Ｗを基板ホルダ６上に載置した後、基板浮上機構として機能する吸着部９，１１から圧搾エアーを吹き出して基板Ｗを浮上させる。次に、各位置決め手段２０が押し付けピン２２を基板Ｗに向けて突出させると、基板Ｗの側面が押され、基板Ｗの反対側の側面が基準ピン４２ａ，４２ｂに押し付けられて位置決めされる。基板Ｗが位置決めされた状態で、吸着部９，１１からの圧搾エアーの供給を停止させて基板Ｗをホルダ本体７及び各基板支持部１０の上に載置する。この後、吸着部９，１１により吸引を開始して、位置決めされた基板Ｗを吸着保持する。

以上説明の本実施形態のマクロ検査装置によれば、基板Ｗを位置決めさせる基準用位置決め手段を、駆動部の無い安価な基準ピン４２ａ，４２ｂに代えることにより、装置の製造コストを低減させることができる。さらに、ホルダ本体７の長辺部７ａ及び短辺部７ｃに沿って配置されるフレームを減らすことができるので、検査用ロボット１５及び搬送用ロボット２８がフレームと干渉しにくくなり、検査用ロボット１５及び搬送用ロボット２８の動作が広がる。
また、ホルダ本体７に切り欠き４３ａ，４３ｂを形成したので、押し付け用位置決め手段２０の押し付けピン２２の進退時に、押し付けピン２２及びホルダ本体７間の干渉を防止できる。切欠き４３ａ，４３ｂを設けることにより、押し付けピン２２の先端に取り付けられた当接部２２ａのサイズを大きくすることができるので、ホルダ本体７が上下方向に多少ずれても基板Ｗに接触し、確実に基板Ｗを押圧することができる。また、ホルダ本体７に基準ピン４２ａ，４２ｂを固定するとともに、押し付け用位置決め手段２０にのみ駆動機構を備えたことにより、上記第１実施形態のように全ての位置決め手段に駆動機構を備えたものに比べて、位置決め制御が簡単になる。すなわち、上記第１実施形態では、全ての位置決め手段を正解に位置決め制御する必要があるが、本実施形態では、押し付け用位置決め手段２０によって基板Ｗを基準ピン４２ａ、４２ｂに押し付け、所定押圧力に達したら押し付けを停止させるという簡単な位置決め制御で済むため、位置決めをさらに速やかに行なうことができる。その他の効果は、上記第１実施形態と同じである。

なお、本発明は、上記第２実施形態に限定されずに広く応用することができる。
例えば、機構部をさらに減らして装置をさらに小型化、軽量化することを目的として、図６に示す基板ホルダ６において、押し付け用位置決め手段２０及び切り欠き４３ａ，４３ｂを設けずに、基板Ｗの基準位置を規制する基準ピン４２ａ，４２ｂのみを設けるようにしても良い。
この場合、基板Ｗを搬入するときには、リフトピン２５で基板Ｗを基板ホルダ６に移載したら、基板Ｗを、基板浮上機構として機能する吸着部９，１１からエアーを吹き付けて浮上させた状態で、検査用ロボット１５を駆動し、最初に、長辺部７ａに対して長辺部７ｂが少し高くなるようにホルダ本体７を傾斜させる。これにより、浮上した基板Ｗは、自重によりホルダ本体７に沿って長辺部７ａ側に移動し、基準ピン４２ａに当接して基板Ｗの下側の位置が定まる。この状態で、検査用ロボット１５を駆動して、短辺部７ｃに対して短辺部７ｄが少し高くなるようにホルダ本体７を傾斜させる。これにより、浮上した基板Ｗは、２つの基準ピン４２ａに当接したままの状態で、短辺部７ｃ側に移動し、基準ピン４２ｂに当接して基板Ｗの右側の位置が定まる。このように、ホルダ本体７を、基準ピン４２ａ，４２ｂが下になるように少し傾斜させることで、基板Ｗの自重により基板Ｗを基準ピン４２ａ，４２ｂに当接させて位置決めすることが可能になる。

検査用ロボット１５に、多方向に姿勢制御可能な多関節アームロボットを採用して、基板Ｗの位置決めを行うようにした場合には、基板Ｗを位置決めさせる位置決め手段のうち、駆動部を必要としない基準用位置決め手段を、駆動機構部の無い安価な基準ピン４２ａ，４２ｂのみで構成することができる。その場合、さらに価格の低減を図ることができると共に、ホルダ本体７の周辺から、位置決め手段を取り付けるためのフレームを全て省略することができ、装置全体の小型化を図ることができる。その他の効果は、上記第１実施形態と同じである。

前記多関節アームロボットを採用して基板Ｗの位置決めを行う場合、検査用ロボット１５は、一度に長辺部７ａと短辺部７ｃとの隅部が最も低くなるように、ホルダ本体７を傾斜させ、基板Ｗをその自重により、ホルダ本体７の両辺に設けられた基準ピン４２ａ，４２ａ，４２ｂに向けて移動させるようにしても良い。この場合、ワンアクションで基板Ｗを位置決めさせることができる。
また、上述のいずれかの場合において、検査用ロボット１５により、基板ホルダ６を微小に揺らすように駆動させても良い。基板ホルダ６が揺れることで、基板Ｗが速やかに移動して位置決めする。この場合には、エアーの吹き付けによる浮上を必ずしも行わなくても良い。

また、機構部を減らして、装置をさらに小型化、軽量化及び価格低化させるために、リフト装置２４から昇降機構を取り除き、このリフト装置２４を図１に示したような所定位置に固定しても良い。この場合には、リフトピン２５の長さは、その先端部２７ａが、水平位置にある基板ホルダ６の下面よりも低い位置に固定されるように設定する。基板Ｗの搬入搬出を行う際には、検査用ロボット１５を駆動させ、基板ホルダ６をリフトピン２５よりも低くなるように下降させる。これにより、リフトピン２５の先端部が基板ホルダ６の上面から突出するので、搬送用ロボット２８により基板Ｗをリフトピン２５上に移載し、搬送用ロボット２８を退避させた後に、検査用ロボット１５により基板ホルダ６を上昇させることにより、搬送用ロボット２８から検査用ロボット１５への基板Ｗの受け渡しが可能になる。その後、検査用ロボット（多関節ロボット）１５が基板ホルダ６を上昇させると、基板Ｗがリフトピン２５から基板ホルダ６に移載される。基板Ｗの位置決め、吸着、及びマクロ観察は、前記と同様にして行う。基板Ｗを搬出する際には、リフトピン２５よりも少し高い位置で、基板Ｗの吸着保持を解除してから、基板ホルダ６をリフトピン２５の先端よりも低い位置まで下降させる。その結果、リフトピン２５に基板Ｗが移載されるので、搬送用ロボット２８で基板Ｗを搬出することが可能になる。

このような構成を採用した場合、基板Ｗの受け渡し位置において、基板Ｗを載置した状態で水平に昇降させるリフト装置の昇降機能を、検査用ロボット１５に兼用させることにより、リフトピン２５を昇降させる機構を設ける必要がなくなる。その結果、装置の小型化、軽量化を図ることができる。その他の効果は上記第１実施形態と同じである。

基板ホルダ６は、その短辺部が検査用ロボット（多関節ロボット）１５の先端アーム１６に取り付けられていても良い。
図６に示した基板ホルダ６から、切り欠き４３ａ，４３ｂを省略しても良い。また、図１に示す基板ホルダ６に対し、位置決め手段２０の配置にあわせて切り欠き４３ａ，４３ｂを形成しても良い。

［第３実施形態］
本発明のマクロ検査装置の第３実施形態について、図面を参照しながら以下に説明する。なお、上記第１実施形態と同一構成要素には同一符号を付し、その説明を省略する。
本実施形態では、基板ホルダ６を回転・揺動させる基板ホルダ駆動機構として検査用多関節アームロボット（検査用ロボット１５）を採用している。そして、この検査用ロボット１５によって回転・揺動自在に支持した基板ホルダ６を、基板受け渡し位置において迅速に静止させて基板Ｗの受け渡しを円滑に行い、タクトタイムを短縮して検査効率を向上させるために、静止機構５０を備えている。この静止機構５０を設けた以外は、上記第１実施形態と同じであり、重複する説明は省略する。

検査用ロボット１５の先端アーム１６に連結された基板ホルダ６は、図７に示すように、基板受け渡し位置において水平に姿勢保持される。静止機構５０は、基板ホルダ６を基板受け渡し位置に規制するストッパ機能を有しており、基板ホルダ６の先端側（自由端側）に配置されている。この静止機構５０は、基板ホルダ６の衝撃を吸収して振動を抑える静止機能をさらに有する。
図７に示す静止機構５０は、鉛直方向に立設された支柱５１の先端部（上端部）に、例えば、ゴムあるいはスポンジなどの樹脂系の弾性体５２が取り付けられたストッパ５３を備えており、弾性体５２の上面が当接部５４とされている。この静止機構５０は、基板受け渡し位置に配置されたホルダ本体７の先端下方に設けられている。ホルダ本体７は、水平に姿勢保持される基板受け渡し位置に配置された際に、その先端部下面がストッパ５３の当接部５４に当接する。

上記第１実施形態で説明したように、基板ホルダ６は、搬送用ロボット２８による基板Ｗの搬入時と、マクロ検査後の基板Ｗの搬出時に、搬送用ロボット２８との間の基板受け渡し位置に移動される。

検査用ロボット１５により、基板ホルダ６がマクロ観察による所定角度から基板受け渡し位置の水平角度に移動（回転）されると、ホルダ本体７の先端部下面がストッパ５３の当接部５４に当接する。これにより、ホルダ本体７は、先端部に振れを生じることなく、基板受け渡し位置に迅速に静止する。このとき、検査用ロボット１５を高速で回転させ、基板受け渡し位置の手前で回転を減速させてホルダ本体７をストッパ５３にゆっくり当接させることで、ストッパ５３に対するホルダ本体７の衝撃力を和らげるとともに、基板ホルダ６の高速移動によって基板Ｗの受け渡しに要する時間を短縮することができる。

基板受け渡し位置に移動したホルダ本体７が静止したか否かの判断としては、例えば、振動センサなどを用いても良いが、所定時間が経過したか否かによって判断するようにしても良い。ホルダ本体７が静止したことをセンサや時間により確認した後、搬送用ロボット２８を駆動制御して、基板ホルダ６からの基板Ｗの受け渡しを行なう。
なお、本実施形態では、静止機構５０でホルダ本体７の先端部を支持することにより基板ホルダ６の振れを止めたが、基板ホルダ６の支持箇所としては、先端部に限らず、その他の箇所を採用しても良い。具体的には、基板ホルダ６の重心に対し、そのホルダ本体７の、先端アーム１６による支持箇所とは反対側、すなわち、前記重心の位置から前記先端部の位置までの間であれば良い。

以上説明のように、静止機構５０を備えた本実施形態のマクロ検査装置１によれば、基板受け渡し位置へ移動される基板ホルダ６の重心に対し、そのホルダ本体７の、先端アーム１６による支持箇所とは反対側がストッパ５３によって保持されるので、基板ホルダ６を基板受け渡し位置において極めて迅速に静止させることができ、基板受け渡し位置における基板Ｗの受け渡し動作を速やかに行わせることが可能となる。
これにより、基板Ｗの検査に不要なロスタイムを削減することができ、基板Ｗの検査のタクトタイムを大幅に短縮し、検査の効率化を図ることができる。
また、基板受け渡し位置において、予め位置決めされた静止機構５０にホルダ本体７を当接させることで、基板ホルダ６を精度良く水平に支持させることができ、基板Ｗの受け渡しを円滑に行うことができる。

静止機構５０としては、例えば、支柱５１を伸縮可能として当接部５４の高さ位置を上下に調整可能とするのが好ましい。この場合、基板受け渡し位置における当接部５４の高さ位置の精度を向上させることができる。また、基板受け渡し位置の変更などに対して容易に対応することができる。
また、当接部５４に吸着部あるいは磁石を設け、ホルダ本体７が当接した際に、このホルダ本体７の下面を真空吸着あるいは磁力により吸着することにより、さらに迅速かつ確実に基板ホルダ６を基板受け渡し位置に静止させることができる。

なお、静止機構５０としては、上記構造のものに限定されず、各種の構造のものが適用可能である。
ここで、静止機構５０の他の例について説明する。
図８に示す静止機構５０は、支柱５１の先端部にダンパ及びスプリングからなる振動減衰部５５を設けた場合の例である。
このような振動減衰部５５を設けた場合、当接部５４に当接するホルダ本体７からの振動及び衝撃を確実に受け止め、基板ホルダ６を迅速に静止させることができる。

図９に示す静止機構５０は、支柱５１の先端部に、当接部として係合ピン５６を有する係合部５７を備えた場合の例である。係合ピン５６は、ホルダ本体７側に向かって突出しており、ホルダ本体７の先端部に形成された係合溝７ｅに係合可能とされている。係合ピン５６は、先端が半球状に形成された円柱形状を有し、図示しないコイルバネに接続された状態で、係合部５７の穴内に挿入されている。その結果、係合ピン５６は、前記穴に対して出没可能に設けられている。
静止機構５０では、ホルダ本体７が基板受け渡し位置に移動すると、このホルダ本体７の係合溝７ｅに係合ピン５６が係合する。その結果、基板ホルダ６を基板受け渡し位置に迅速に静止させることができる。

図１０に示す静止機構５０は、支柱５１の先端部に、側面視コ字状に形成されて一端側が互いに回動可能に連結された固定ブラケット６１及び可動ブラケット６２と、可動ブラケット６２を回動させる駆動機構（図示略）とを備えている。固定ブラケット６１は、支柱５１に固定され、可動ブラケット６２との連結側と反対側の他端部に弾性体６４が設けられ、その表面が当接部６５とされている。可動ブラケット６２の他端部にも弾性体６６が設けられ、その表面が挟持部６７とされている。

そして、この静止機構５０では、可動ブラケット６２が、図１０の仮想線に示す位置に配置された状態で、ホルダ本体７が基板受け渡し位置へ移動される。そして、ホルダ本体７の先端部下面が固定ブラケット６１の当接部６５に当接すると、前記駆動機構によって可動ブラケット６２が時計回り（図中矢印α方向）へ回動される。これにより、ホルダ本体７は、その先端部が、固定ブラケット６１の当接部６５と可動ブラケット６２の挟持部６７とによって挟持され、基板ホルダ６が基板受け渡し位置にて迅速に静止させることができる。

図１１に示す静止機構５０は、支柱５１の先端部に回動可能に支持された支持ブラケット７１を備えている。この支持ブラケット７１は、側面視Ｖ字状に形成され、Ｖ字を形成する内側の面がそれぞれ当接部７２とされている。
この静止機構５０では、支持ブラケット７１が、図中仮想線にて示す位置に配置された状態で、ホルダ本体７が基板受け渡し位置に移動され、その先端部が支持ブラケット７１に接触すると、支持ブラケット７１が回転軸７３を中心として時計回り（図中矢印β方向）に回動され、ストッパピン７４に当接して図中実線に示す位置に停止する。これにより、ホルダ本体７は、その先端部における上下の角部が支持ブラケット７１のそれぞれの当接部７２に当接されるので、基板ホルダ６が基板受け渡し位置に迅速に静止される。

図１２に示す静止機構５０は、その下部に移動機構７５を備えている。この移動機構７５は、ストッパ５３を不図示のレールに沿って直線的に移動させることにより、基板ホルダ６が当接する当接部５４を、基板受け渡し位置に配置されたホルダ本体７の先端部下方位置から外れた位置（図中仮想線にて示す位置）に配置させることができる。
この移動機構７５を備えた静止機構５０では、ホルダ本体７が基板受け渡し位置に移動するときだけストッパ５３が基板受け渡し位置側に移動し、当接部５４にホルダ本体７が当接して静止される。

つまり、この静止機構５０は、検査時のホルダ本体７に対してストッパ５３が干渉することがないように、必要時以外のときは移動機構７５によってストッパ５３を待避位置（図中仮想線にて示す位置）に移動させる。
なお、必要時以外のときにストッパ５３を待避位置へ移動させる機構としては、直線的に水平移動させるものに限らず、所定の軸を中心として回転させることによりストッパ５３を平面視で円弧状に移動させる回転式を採用しても良い。

図１３に示す静止機構５０は、ストッパ５３を構成する支柱５１が途中で分割されており、その分割箇所よりも上部のストッパ５３が下部に対して回動可能に連結されている。
この静止機構５０では、ホルダ本体７が基板受け渡し位置に移動するときだけ、支柱５１が直線状をなし、当接部５４上にホルダ本体７が当接して静止される。
つまり、この静止機構５０の場合も、検査時のホルダ本体７に対してストッパ５３が干渉することがないように、必要時以外のときは支柱５１が連結箇所にて屈曲されて待避位置（図中仮想線にて示す位置）にストッパ５３が移動する。

なお、本実施形態では、枠状に形成された基板ホルダ６を備えたマクロ検査装置１を例にとって説明したが、基板ホルダとしては、枠状のものに限定されないのは勿論である。
図１４及び図１５は、それぞれ、他の基板ホルダの平面図及び側面図である。これらの図に示す基板ホルダ８１は、複数本の細長い基板支持部８２を櫛歯状に配設したホルダ本体８３を備えており、各基板支持部８２の上面には、前述した吸着部９と同様の吸着部８４が互いに間隔をあけて配置されている。そして、この基板ホルダ８１では、ホルダ本体８３上に載置された基板Ｗを、各基板支持部８２上の各吸着部８４によって真空吸着して保持する。

このような構造の基板ホルダ８１を採用した場合、基板受け渡し位置に移動される基板ホルダ８１の各基板支持部８２の先端部下面側が、静止機構５０のストッパ５３によって保持され、迅速に静止される。
特に、上記構造の基板ホルダ８１によれば、枠状の基板ホルダと比較して軽量化とともに外形寸法の小型化が図られるので、基板受け渡し位置における振れの発生自体を抑えることができ、さらに迅速に静止させることができる。

［第４実施形態］
本発明のマクロ検査装置の第４実施形態について、図面を参照しながら以下に説明する。なお、上記第１実施形態と同一構成要素には同一符号を付し、その説明を省略する。
図１６及び図１７は、それぞれ、他の基板ホルダの平面図及び側面図である。本実施形態では、この基板ホルダ６を回転・揺動させる駆動機構として検査用多関節アームロボット（検査用ロボット１５）を採用しており、検査用ロボット１５の駆動部への負担を軽減し、装置全体の小型化を図ることを目的としてバランスウエイト９０を備えている。このバランスウエイト９０を設けたこと以外は上記第１実施形態と同じであり、重複する説明は省略する。

ホルダ本体７の一端側に形成された連結部７ｆには、検査用多関節アームロボット（基板ホルダ駆動機構）を採用した検査用ロボット１５の先端アーム１６が、連結軸Ｘを中心として回動可能に連結されている。これにより、この基板ホルダ６が検査用ロボット１５によって片持ち支持されている。検査用ロボット１５は、例えば、図１に仮想線で示したような水平に姿勢保持される位置から、図１に実線で示したような所定の傾斜角度まで起き上がった位置まで、基板ホルダ６を揺動させたり、回転させたりすることが可能になっている。

基板ホルダ６には、検査用ロボット１５の先端アーム１６が連結された連結側端部に、一対のバランスウエイト９０が取り付けられている。これらバランスウエイト９０は、基板ホルダ６の両側部近傍に固定された支持アーム９１の先端に支持されており、先端アーム１６の連結軸Ｘに対して基板ホルダ６とは反対側に配置されている。

これらバランスウエイト９０は、基板ホルダ６と先端アーム１６との連結箇所を通る基板ホルダ６の中心軸Ｙを挟んで、中心軸の両側にそれぞれ振り分けて設けられ、しかも、連結軸Ｘを境に基板ホルダ６の重心Ｇの反対側にそれぞれ配置されている。
これにより、連結軸Ｘには、基板ホルダ６の重量により生じる回転モーメントが、バランスウエイト９０の重量により生じる回転モーメントで減じられている。なお、基板ホルダ６の重量により生じる回転モーメントを略釣り合わせて相殺させるように、バランスウエイト９０の重量及び配置を設定しても良い。

以上説明の構成を有する本実施形態のマクロ検査装置１によれば、基板ホルダ６と検査用ロボット１５の先端アーム１６との連結側端部に、先端アーム１６との連結軸Ｘに対して重心Ｇと反対側にバランスウエイト９０を設けたので、基板ホルダ６の重量により生じる連結軸Ｘ回りの回転モーメントを、バランスウエイト９０の重量により生じる連結軸Ｘ回りの回転モーメントで減少させることができる。
その結果、基板ホルダ６を揺動自在に片持ち支持する検査用ロボット１５の駆動部への負荷を大幅に低減し、装置全体の小型化を図ることができる。

また、各バランスウエイト９０を、先端アーム１６との連結箇所を通る基板ホルダ６の中心軸Ｙを挟んだ両側にそれぞれ振り分けて設けたので、先端アーム１６との連結箇所に対する各バランスウエイト９０による回転モーメントのバランスも釣り合わせることができ、これにより、中心軸Ｙを中心とした基板ホルダ６の回動を円滑に行うことができる。

なお、バランスウエイト９０は、検査用ロボット１５の先端アーム１６との連結箇所を通る基板ホルダ６の中心軸Ｙに沿って位置調節が可能にしても良い。この場合、バランスウエイト９０の位置を調節することにより、ホルダ本体７の重さの変化や傾斜角度などに合わせて連結軸Ｘにおける回転モーメントのバランスをさらに高精度に制御することができる。

バランスウエイト９０の取り付け位置は、連結軸Ｘ回りの回転モーメントを減少させることができる位置であれば、本実施形態の位置に限定されない。バランスウエイト９０の取り付け位置が異なる他の例について、以下に説明する。
図１８は、一対のバランスウエイト９０を、連結部７ｆに近接配置した場合を示す。
この場合、中心軸Ｙ回りの基板ホルダ６の慣性モーメントを極力小さくすることができ、中心軸Ｙを中心とした基板ホルダ６の回動を円滑に行うことができる。

図１９及び図２０は、先端アーム１６が連結される連結部７ｆを、連結軸Ｘに対してホルダ本体７とは反対側に延在させた支持アーム９１と、この支持アーム９１に支持された一つのバランスウエイト９０とを備えた場合を示す。バランスウエイト９０は、基板ホルダ６の中心軸Ｙ上に配設されている。
上記構造によれば、中心軸Ｙ回りにおける基板ホルダ６の慣性モーメントをさらに小さくすることができ、中心軸Ｙを中心とした基板ホルダ６の回動をさらに円滑に行うことができる。

なお、この場合、先端アーム１６が支持アーム９１及びバランスウエイト９０に干渉しないように、例えば、ホルダ本体７の連結部７ｆに対して先端アーム１６が略直交するように連結させ、可動範囲が極力制限されないようにするのが好ましい。

なお、本変形例では、枠状に形成された基板ホルダ６を備えたマクロ検査装置１を例にとって説明したが、基板ホルダとしては、枠状のものに限定されないのは勿論である。
図２１、及び図２２に示すものは、図１４に示したものと同じ基板ホルダ８１であり、複数の細長い基板支持部８２を櫛歯状に配設し、各基板支持部８２の上面には、各吸着部８４が互いに間隔をあけて設けられている。

そして、この基板ホルダ８１にも、先端アーム１６とホルダ本体８３の連結部８３ａとの連結側端部に、一対の支持アーム９１を介して一対のバランスウエイト９０が取り付けられており、これらバランスウエイト９０が、連結軸Ｘを境に基板ホルダ８１の重心Ｇの反対側に配置されている。
これにより、連結軸Ｘ回りにおいて、基板ホルダ８１の重量により生じる回転モーメントと、バランスウエイト９０の重量により生じる回転モーメントとが略釣り合って相殺される。

特に、上記構造の基板ホルダ８１によれば、枠状の基板ホルダと比較して小型軽量化が図られるので、バランスウエイト９０としても軽量なものを用いることができ、さらなる装置の小型化を図ることができる。

本発明によれば、基板ホルダ上における基板の位置決めを迅速に行うことができるので、タクトタイムを短縮して検査の効率化を図ることが可能になる。
また、本発明によれば、例えば、基板位置決め機構を基板ホルダ以外の位置に設けた場合、基板位置決め機構が基板ホルダに設けられていない分だけ、基板ホルダを小型化、軽量化することができる。したがって、基板ホルダ駆動機構にかかる負担を低減することができるので、基板ホルダ駆動機構を小型化でき、マクロ検査装置全体を小型化、軽量化することができる。
また、本発明によれば、上述のように、基板ホルダ駆動機構にかかる負担を低減することができるので、駆動機構として多関節アームロボットによるマクロ検査装置を実現することが可能になる。

Claims (28)

1. 検査を受ける基板を保持する基板ホルダと；
   前記基板に照明光を照射するマクロ照明光学系と；
   前記基板ホルダを支持するとともに前記基板が前記照明光で照らされた状態で前記基板ホルダの姿勢を制御する基板ホルダ駆動機構と；
   前記基板ホルダとの間で前記基板の受け渡しを行う基板搬送機構と；
   前記基板ホルダ上に受け渡された前記基板に対してエアーの吹き付けを行うことにより、この基板を前記基板ホルダ上から浮き上がらせる基板浮上機構と；
   この基板浮上機構により浮上状態にある前記基板を前記基板ホルダ上の基準位置に位置決めする基板位置決め機構と；
   この基板位置決め機構により位置決めされた前記基板を前記基板ホルダに固定する基板固定機構と；
   を備えたことを特徴とするマクロ検査装置。
2. 請求項１に記載のマクロ検査装置であって、
   前記基板ホルダ駆動機構が、多関節アームロボットを備える。
3. 請求項１に記載のマクロ検査装置であって、
   前記基板位置決め機構が、前記基板ホルダ以外の位置に設けられている。
4. 請求項３に記載のマクロ検査装置であって、
   前記基板位置決め機構が、前記基板をその周囲から挟持することにより、前記位置決めを行う。
5. 請求項３に記載のマクロ検査装置であって、
   前記基板位置決め機構が、前記基準位置に達した際の前記基板に当接する位置に固定された位置決め部材と；前記基板を前記位置決め部材に向けて付勢する付勢装置と；を備える。
6. 請求項３に記載のマクロ検査装置であって、
   前記基板ホルダに、前記基板位置決め機構との間の干渉を避ける第１の切り欠きが形成されている。
7. 請求項１に記載のマクロ検査装置であって、
   前記基板位置決め機構が、前記基板ホルダ上に設けられて前記基準位置に達した際の前記基板に当接する位置に固定された位置決め部材と；前記基板ホルダ以外の位置に設けられて前記基板を前記位置決め部材に向けて付勢する付勢装置と；を備える。
8. 請求項１に記載のマクロ検査装置であって、
   前記基板浮上機構により前記基板を前記基板ホルダから浮上させた状態で、前記基板ホルダ駆動機構により前記基板ホルダを傾斜させた際に、この基板ホルダの傾斜に沿って移動する前記基板が前記基準位置に達した際に当接する位置決め部材が、前記基板位置決め機構に備えられている。
9. 請求項１に記載のマクロ検査装置であって、
   前記基板ホルダを正面視した場合の外形寸法が、前記基板を正面視した場合の外形寸法よりも小さい。
10. 請求項１に記載のマクロ検査装置であって、
    前記基板搬送機構との間における前記基板の受け渡し位置に移動した前記基板ホルダに接してこの基板ホルダの振動を静止させる静止機構をさらに備える。
11. 請求項１０に記載のマクロ検査装置であって、
    前記静止機構が、前記受け渡し位置に達した際の前記基板ホルダに当接してこの基板ホルダの振動を減衰させる弾性体を備える。
12. 請求項１１に記載のマクロ検査装置であって、
    前記静止機構が、鉛直方向に立設された支柱の先端部にスプリングをさらに備え、このスプリング上に前記弾性体が設けられている。
13. 請求項１０に記載のマクロ検査装置であって、
    前記基板ホルダの側部に第２の切り欠きが形成され；
    前記静止機構が、前記受け渡し位置に達した際の前記基板ホルダの前記第２の切り欠きに係止する係止部を備える。
14. 請求項１０に記載のマクロ検査装置であって、
    前記静止機構が、前記受け渡し位置に達した際の前記基板ホルダを挟持する挟持手段を備える。
15. 請求項１０に記載のマクロ検査装置であって、
    前記静止機構が、前記受け渡し位置に達した際の前記基板ホルダを受け入れる凹部を有するとともに前記基板が前記受け渡し位置に向かう方向に沿って回動する回動部材と；この回動部材に受け入れられた前記基板ホルダが前記受け渡し位置に達した際の回転位置に前記回動部材を停止させる回動規制部材と；を備える。
16. 請求項１０に記載のマクロ検査装置であって、
    前記静止機構が、前記受け渡し位置に達した前記基板ホルダを受け止める受け止め位置と、この受け止め位置から離間した待避位置との間で移動する。
17. 請求項１６に記載のマクロ検査装置であって、
    前記静止機構が、前記受け止め位置及び前記待避位置間を水平移動する。
18. 請求項１６に記載のマクロ検査装置であって、
    前記静止機構が、前記受け止め位置及び前記待避位置間を回転移動する。
19. 請求項１に記載のマクロ検査装置であって、
    前記基板ホルダ駆動機構が、前記基板ホルダの一辺を、この一辺に平行な第１の軸線回りに前記基板ホルダが回動可能なように支持し；
    前記第１の軸線を回転中心として前記基板ホルダの位置とは反対側に位置するウエイトが、前記基板ホルダに設けられている。
20. 請求項１９に記載のマクロ検査装置であって、
    前記基板ホルダ駆動機構が、前記基板ホルダを、前記第１の軸線に直交するとともに前記基板ホルダがなす平面に平行な第２の軸線回りに回動可能に支持し；
    前記基板ホルダの重心位置と、前記第１の軸線及び前記第２の軸線間の交点と、前記ウエイトの重心位置とが略一直線上に配置されている。
21. 請求項１９に記載のマクロ検査装置であって、
    前記基板ホルダ駆動機構が、前記基板ホルダを、前記第１の軸線に直交するとともに前記基板ホルダがなす平面に平行な第２の軸線回りに回動可能に支持し；
    前記ウエイトが、前記第２の軸線を間に挟んで互いに接近するように一対設けられている。
22. 検査を受ける基板の受け渡し位置に基板ホルダを停止させる基板ホルダ停止ステップと；
    前記基板ホルダ上に前記基板を載置する基板載置ステップと；
    前記基板に対してエアーを吹き付けてこの基板を前記基板ホルダ上から浮き上がらせる基板浮上ステップと；
    浮上状態にある前記基板を前記基板ホルダ上の基準位置に位置決めする基板位置決めステップと；
    前記基板位置決めステップ後の前記基板を前記基板ホルダに固定する基板固定ステップと；
    を有するマクロ検査方法。
23. 請求項２２に記載のマクロ検査方法であって、
    前記基板位置決めステップでは、前記基板をその周囲から挟持することにより、前記位置決めを行う。
24. 請求項２２に記載のマクロ検査方法であって、
    前記基板が前記基準位置に達した際に当接する位置決め部材を前記基板ホルダに設け；
    前記基板位置決めステップで、浮上状態の前記基板を前記位置決め部材に当接させるように前記基板ホルダを傾斜させる。
25. 請求項２２に記載のマクロ検査方法であって、
    前記基板ホルダ停止ステップで、前記受け渡し位置に移動した前記基板ホルダの振動を減衰させることにより、前記基板ホルダを停止させる。
26. 請求項２２に記載のマクロ検査方法であって、
    前記基板ホルダ停止ステップで、前記受け渡し位置に移動した前記基板ホルダを挟持することにより、前記基板ホルダを停止させる。
27. 請求項２２に記載のマクロ検査方法であって、
    前記基板ホルダ停止ステップで、前記受け渡し位置に移動した前記基板ホルダを規定位置に係止させることにより、前記基板ホルダを停止させる。
28. 請求項２２に記載のマクロ検査方法であって、
    前記基板ホルダの回転モーメントを、この回転モーメントと釣り合う回転モーメントを発生させるウエイトにより相殺する。

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