JP4729499B2 - マクロ検査装置及びマクロ検査方法 - Google Patents
マクロ検査装置及びマクロ検査方法 Download PDFInfo
- Publication number
- JP4729499B2 JP4729499B2 JP2006537713A JP2006537713A JP4729499B2 JP 4729499 B2 JP4729499 B2 JP 4729499B2 JP 2006537713 A JP2006537713 A JP 2006537713A JP 2006537713 A JP2006537713 A JP 2006537713A JP 4729499 B2 JP4729499 B2 JP 4729499B2
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- substrate
- substrate holder
- holder
- macro inspection
- positioning
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Expired - Fee Related
Links
Images
Classifications
-
- G—PHYSICS
- G01—MEASURING; TESTING
- G01N—INVESTIGATING OR ANALYSING MATERIALS BY DETERMINING THEIR CHEMICAL OR PHYSICAL PROPERTIES
- G01N21/00—Investigating or analysing materials by the use of optical means, i.e. using sub-millimetre waves, infrared, visible or ultraviolet light
- G01N21/84—Systems specially adapted for particular applications
-
- G—PHYSICS
- G01—MEASURING; TESTING
- G01M—TESTING STATIC OR DYNAMIC BALANCE OF MACHINES OR STRUCTURES; TESTING OF STRUCTURES OR APPARATUS, NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
- G01M11/00—Testing of optical apparatus; Testing structures by optical methods not otherwise provided for
-
- G—PHYSICS
- G02—OPTICS
- G02F—OPTICAL DEVICES OR ARRANGEMENTS FOR THE CONTROL OF LIGHT BY MODIFICATION OF THE OPTICAL PROPERTIES OF THE MEDIA OF THE ELEMENTS INVOLVED THEREIN; NON-LINEAR OPTICS; FREQUENCY-CHANGING OF LIGHT; OPTICAL LOGIC ELEMENTS; OPTICAL ANALOGUE/DIGITAL CONVERTERS
- G02F1/00—Devices or arrangements for the control of the intensity, colour, phase, polarisation or direction of light arriving from an independent light source, e.g. switching, gating or modulating; Non-linear optics
- G02F1/01—Devices or arrangements for the control of the intensity, colour, phase, polarisation or direction of light arriving from an independent light source, e.g. switching, gating or modulating; Non-linear optics for the control of the intensity, phase, polarisation or colour
- G02F1/13—Devices or arrangements for the control of the intensity, colour, phase, polarisation or direction of light arriving from an independent light source, e.g. switching, gating or modulating; Non-linear optics for the control of the intensity, phase, polarisation or colour based on liquid crystals, e.g. single liquid crystal display cells
-
- G—PHYSICS
- G02—OPTICS
- G02F—OPTICAL DEVICES OR ARRANGEMENTS FOR THE CONTROL OF LIGHT BY MODIFICATION OF THE OPTICAL PROPERTIES OF THE MEDIA OF THE ELEMENTS INVOLVED THEREIN; NON-LINEAR OPTICS; FREQUENCY-CHANGING OF LIGHT; OPTICAL LOGIC ELEMENTS; OPTICAL ANALOGUE/DIGITAL CONVERTERS
- G02F1/00—Devices or arrangements for the control of the intensity, colour, phase, polarisation or direction of light arriving from an independent light source, e.g. switching, gating or modulating; Non-linear optics
- G02F1/01—Devices or arrangements for the control of the intensity, colour, phase, polarisation or direction of light arriving from an independent light source, e.g. switching, gating or modulating; Non-linear optics for the control of the intensity, phase, polarisation or colour
- G02F1/13—Devices or arrangements for the control of the intensity, colour, phase, polarisation or direction of light arriving from an independent light source, e.g. switching, gating or modulating; Non-linear optics for the control of the intensity, phase, polarisation or colour based on liquid crystals, e.g. single liquid crystal display cells
- G02F1/1306—Details
- G02F1/1309—Repairing; Testing
-
- G—PHYSICS
- G01—MEASURING; TESTING
- G01N—INVESTIGATING OR ANALYSING MATERIALS BY DETERMINING THEIR CHEMICAL OR PHYSICAL PROPERTIES
- G01N21/00—Investigating or analysing materials by the use of optical means, i.e. using sub-millimetre waves, infrared, visible or ultraviolet light
- G01N21/84—Systems specially adapted for particular applications
- G01N21/88—Investigating the presence of flaws or contamination
- G01N21/95—Investigating the presence of flaws or contamination characterised by the material or shape of the object to be examined
- G01N2021/9513—Liquid crystal panels
Landscapes
- Physics & Mathematics (AREA)
- Chemical & Material Sciences (AREA)
- General Physics & Mathematics (AREA)
- Nonlinear Science (AREA)
- Analytical Chemistry (AREA)
- Life Sciences & Earth Sciences (AREA)
- Pathology (AREA)
- Health & Medical Sciences (AREA)
- Crystallography & Structural Chemistry (AREA)
- Biochemistry (AREA)
- General Health & Medical Sciences (AREA)
- Immunology (AREA)
- Optics & Photonics (AREA)
- Container, Conveyance, Adherence, Positioning, Of Wafer (AREA)
- Investigating Materials By The Use Of Optical Means Adapted For Particular Applications (AREA)
- Manufacture Of Electron Tubes, Discharge Lamp Vessels, Lead-In Wires, And The Like (AREA)
- Devices For Indicating Variable Information By Combining Individual Elements (AREA)
- Testing Of Optical Devices Or Fibers (AREA)
- Liquid Crystal (AREA)
Description
本発明は、ガラス基板等の大型基板の外観検査に用いられるマクロ検査装置と、このマクロ検査装置を用いたマクロ検査方法とに関する。
本出願は、特願2004−279990号と、特願2004−279991号と、特願2004−279992号とを基礎出願とし、それらの内容を取り込むものとする。
本出願は、特願2004−279990号と、特願2004−279991号と、特願2004−279992号とを基礎出願とし、それらの内容を取り込むものとする。
液晶ディスプレイ(LCD)などのフラットパネルディスプレイ(FPD)の製造工程では、各製造工程で製造される透明基板(例えばマスターガラス基板。以降、単にガラス基板と呼ぶ)の外観を目視で検査(マクロ検査)する検査工程がある。この検査工程では、ガラス基板を保持した基板ホルダを所定角度に立ち上げた状態で上方からマクロ照明光を照射することにより同ガラス基板上の欠陥検査を可能にする、基板外観検査装置が用いられる。
下記特許文献1に記載のマクロ検査装置は、矩形状のガラス基板よりも若干小さな開口部を有する矩形枠状のフレームからなる基板ホルダと;この基板ホルダを観察者側に向けるように所定の角度に立ち上げるための上下方向の回転、及び基板ホルダを揺動・反転させるための左右方向の回転を可能にする2軸回転機構と;を備えている。このマクロ検査装置では、基板ホルダの上面で、基板裏面の周縁部を支持する。基板ホルダの上面には、ガラス基板を挟持して位置決めを行う位置決め機構が設けられている。この位置決め機構は、基板ホルダの矩形開口部の互いに隣接する2辺に沿って固定されるガラス基板の、互いに隣接する2辺の基準位置を規制する複数本の基準ピンと;これら基準ピンと対向し、基板ホルダの矩形開口部の互いに隣接する他の2辺に沿って設けられ、前記各基準ピン側に移動可能な押し付けピンと;を備えている。基板ホルダ上にガラス基板を載置した状態で、各押し付けピンをガラス基板側に押し付けることにより、ガラス基板の2辺がそれぞれの基準ピンに押し当てられ、その結果、基板ホルダ上の基準位置に位置決めされる。
下記特許文献2に記載のマクロ検査装置は、ガラス基板を保持する基板ホルダと、この基板ホルダの中央部に連結された押し上げ駆動部とを備え、基板ホルダの前端部と後端部とを持ち替えることにより、基板ホルダを表面側又は裏面側に回動させている。このマクロ検査装置では、基板ホルダを表面側に回動させるとともに上方からマクロ照明を行うことで表面の目視観察を行い、裏面側に回動させるとともにバックライト照明を行うことで裏面の目視観察を行なうことができる。
下記特許文献3に示すマクロ検査装置は、FPD用ガラス基板(2000mm)に比べて200mm、300mmと非常に小さなウエハ基板を目視検査するための検査装置である。このマクロ検査装置は、ベースに水平方向に回転自在に連結されたアームの先端にひねり回転自在な手首部を備えたロボットを備えている。前記手首部の先端には、ウエハ基板を把持して自転するウエハホルダが取り付けられている。ウエハ出入機により搬送されたウエハ基板の周縁をウエハホルダで把持し、手首部をひねり回転させることによってウエハ基板を表面側又は裏面側に自転させて姿勢制御することにより、ウエハ基板の位置決めとその表裏面の目視観察ができる。
しかしながら、FPD用のマクロ検査装置においては、基板サイズが年々大型化し、現在では一辺が2000mmを超えて3000mmに近いガラス基板が出現している。ガラス基板の大型化に伴って基板ホルダも大型化する必要があるが、基板ホルダが大型化すると、基板ホルダを回転・揺動させる基板ホルダ駆動機構にかかる負荷が大きくなるという問題があった。特に、基板ホルダ駆動機構として多関節アームロボットを用い、この多関節アームロボットにより基板ホルダを片持ちで支持し、基板ホルダを所定角度に立ち上げて目視で検査するマクロ検査装置を実現しようとした場合、多関節アームロボットに大きな負荷が加わるため、実現が困難であった。また、基板ホルダのサイズが大きくなると、基板ホルダを揺動させるためのスペースも大きくする必要があるので、装置が大型化するという問題があった。
本発明は、上記事情に鑑みてなされたもので、基板ホルダを回転・揺動させる基板ホルダ駆動機構にかかる負担を低減することを目的とする。また、装置の大型化を防ぐことも目的とする。
本発明は、上記事情に鑑みてなされたもので、基板ホルダを回転・揺動させる基板ホルダ駆動機構にかかる負担を低減することを目的とする。また、装置の大型化を防ぐことも目的とする。
また、従来のマクロ検査装置では、基板ホルダの一辺に回動軸を設けて片持ち支持しているため、基板ホルダの大型化に伴い、重たい基板ホルダを回動させて停止させる際に、基板ホルダの先端部が大きく振動してしまう問題が生じる。基板ホルダの停止時に振動が発生すると、静止するまでにかなりの時間を要する。そのため、基板ホルダが静止するまで、搬送装置による基板の受け渡しができなくなり、待機時間が増えた分、検査に要するタクトタイムが増えてしまうという問題が生じる。特に、多関節アームロボットによって基板ホルダを片持ち支持するマクロ検査装置を実現しようとした場合、多関節アームロボットによって基板ホルダを基板の受け渡し位置に停止させる際に、基板ホルダの先端部に大きな回転モーメントが加わって基板ホルダが振動するため、実現が困難であった。
本発明は、上記事情に鑑みてなされたもので、基板ホルダ駆動機構により回転自在・揺動自在に支持された基板ホルダを基板の受け渡し位置に迅速に静止させることにより基板の受け渡しの円滑化を図り、タクトタイムを短縮して検査の効率化を図ることを目的とする。また、基板ホルダ上における基板の位置決めを迅速に行うことにより、タクトタイムを短縮して検査の効率化を図ることも目的とする。
本発明は、上記事情に鑑みてなされたもので、基板ホルダ駆動機構により回転自在・揺動自在に支持された基板ホルダを基板の受け渡し位置に迅速に静止させることにより基板の受け渡しの円滑化を図り、タクトタイムを短縮して検査の効率化を図ることを目的とする。また、基板ホルダ上における基板の位置決めを迅速に行うことにより、タクトタイムを短縮して検査の効率化を図ることも目的とする。
また、基板ホルダの姿勢を自由に制御できるように、多関節アームロボットで基板ホルダを片持ちで支持するマクロ検査装置の実用化が進められている。ウエハ基板のように小型で軽量な基板では、上記引用文献3で示したように、基板ホルダを片持支持したとしても、基板ホルダの停止時における基板ホルダの振動による影響も少なく、また連結箇所に加わる負荷も小さいため、問題なく扱うことができる。しかし、FPD用の大型ガラス基板を保持する基板ホルダは、大型・重量化の傾向にある。したがって、この基板ホルダを片持ち支持する多関節アームロボットを用いて基板ホルダを多方向に姿勢制御しようとすると、多関節アームロボットのアームと基板ホルダとの連結部から基板ホルダ先端までの距離が基板サイズに比例して長くなるため、基板ホルダの先端側に大きくバランスが偏り、停止時の回転モーメントによって基板ホルダが大きく振動するとともに、アームと基板ホルダとの連結部に大きな負荷が加わるという問題が新たに生じる。
このような種々の問題から、多関節アームロボットを用いたマクロ検査装置を容易に実現することができなかった。
本発明は、上記事情に鑑みてなされたものであって、基板ホルダを移動させる基板ホルダ駆動機構(多関節アームロボットを備えた検査用ロボット)の駆動部への負担を軽減し、多関節アームロボットを用いたマクロ検査装置を実現することを目的とする。
このような種々の問題から、多関節アームロボットを用いたマクロ検査装置を容易に実現することができなかった。
本発明は、上記事情に鑑みてなされたものであって、基板ホルダを移動させる基板ホルダ駆動機構(多関節アームロボットを備えた検査用ロボット)の駆動部への負担を軽減し、多関節アームロボットを用いたマクロ検査装置を実現することを目的とする。
上記課題を解決するために、本発明は以下の手段を採用した。
すなわち、本発明のマクロ検査装置は、検査を受ける基板を保持する基板ホルダと;前記基板に照明光を照射するマクロ照明光学系と;前記基板ホルダを支持するとともに前記基板が前記照明光で照らされた状態で前記基板ホルダの姿勢を制御する基板ホルダ駆動機構と;前記基板ホルダとの間で前記基板の受け渡しを行う基板搬送機構と;前記基板ホルダ上に受け渡された前記基板に対してエアーの吹き付けを行うことにより、この基板を前記基板ホルダ上から浮き上がらせる基板浮上機構と;この基板浮上機構により浮上状態にある前記基板を前記基板ホルダ上の基準位置に位置決めする基板位置決め機構と;この基板位置決め機構により位置決めされた前記基板を前記基板ホルダに固定する基板固定機構と;を備える。
すなわち、本発明のマクロ検査装置は、検査を受ける基板を保持する基板ホルダと;前記基板に照明光を照射するマクロ照明光学系と;前記基板ホルダを支持するとともに前記基板が前記照明光で照らされた状態で前記基板ホルダの姿勢を制御する基板ホルダ駆動機構と;前記基板ホルダとの間で前記基板の受け渡しを行う基板搬送機構と;前記基板ホルダ上に受け渡された前記基板に対してエアーの吹き付けを行うことにより、この基板を前記基板ホルダ上から浮き上がらせる基板浮上機構と;この基板浮上機構により浮上状態にある前記基板を前記基板ホルダ上の基準位置に位置決めする基板位置決め機構と;この基板位置決め機構により位置決めされた前記基板を前記基板ホルダに固定する基板固定機構と;を備える。
このマクロ検査装置では、基板受け渡し位置に待機している基板ホルダに対し、基板搬送機構が基板を載置する。このようにして載置された基板は、基板浮上機構のエアーの吹き付けによって基板ホルダ上から浮き上がる。そして、この浮上状態にある基板を基板位置決め機構により基準位置に位置決めした後、基板固定機構により固定する。このようにして基板ホルダ上への基板の固定が完了した後、基板ホルダ駆動機構によって基板ホルダの姿勢制御を行うことで、観察者がマクロ観察を行いやすいように基板の移動制御を行う。したがって、このマクロ検査装置によれば、基板ホルダ上における基板の位置決めを迅速に行うことができるので、タクトタイムを短縮して検査の効率化を図ることが可能になる。
前記基板ホルダ駆動機構が、多関節アームロボットを備えてもよい。
前記基板ホルダ駆動機構が、多関節アームロボットを備えてもよい。
前記基板位置決め機構が、前記基板ホルダ以外の位置に設けられていてもよい。
この場合、基板位置決め機構が基板ホルダに設けられていない分だけ、基板ホルダを小型化、軽量化させることができる。したがって、基板ホルダの移動を速やかに行えるようになり、検査時間を短縮することができる。また、基板ホルダの姿勢を制御する基板ホルダ駆動機構を小型化することができ、マクロ検査装置全体を小型化、軽量化することができる。
この場合、基板位置決め機構が基板ホルダに設けられていない分だけ、基板ホルダを小型化、軽量化させることができる。したがって、基板ホルダの移動を速やかに行えるようになり、検査時間を短縮することができる。また、基板ホルダの姿勢を制御する基板ホルダ駆動機構を小型化することができ、マクロ検査装置全体を小型化、軽量化することができる。
前記基板位置決め機構が、前記基板をその周囲から挟持することにより、前記位置決めを行うようにしてもよい。
前記基板位置決め機構が、前記基準位置に達した際の前記基板に当接する位置に固定された位置決め部材と;前記基板を前記位置決め部材に向けて付勢する付勢装置と;を備えてもよい。
前記基板位置決め機構が、前記基準位置に達した際の前記基板に当接する位置に固定された位置決め部材と;前記基板を前記位置決め部材に向けて付勢する付勢装置と;を備えてもよい。
前記基板ホルダに、前記基板位置決め機構との間の干渉を避ける第1の切り欠きを形成してもよい。
この場合、基板位置決め機構が基板を保持しやすくするために、基板位置決め機構の、基板を保持する保持部の大きさを大きくしても、この保持部が基板ホルダに形成された第1の切り欠きによって基板ホルダに干渉するのを回避することができる。
この場合、基板位置決め機構が基板を保持しやすくするために、基板位置決め機構の、基板を保持する保持部の大きさを大きくしても、この保持部が基板ホルダに形成された第1の切り欠きによって基板ホルダに干渉するのを回避することができる。
前記基板位置決め機構が、前記基板ホルダ上に設けられて前記基準位置に達した際の前記基板に当接する位置に固定された位置決め部材と;前記基板ホルダ以外の位置に設けられて前記基板を前記位置決め部材に向けて付勢する付勢装置と;を備えても良い。
この場合、基板受け渡し位置に待機させた基板ホルダ上に基板ホルダを載置し、その後、付勢装置によって基板を位置決め部材に押し付けることで、基板を基準位置に位置決めすることができる。しかも、付勢装置は基板ホルダ外に設けられているので、付勢装置を基板ホルダに設ける場合に比較して基板ホルダを軽量化することができる。その結果、基板ホルダ駆動機構にかかる負荷(すなわち、基板ホルダの回転モーメント)を低減させることができる。したがって、基板ホルダ駆動機構を小型化できるので、マクロ検査装置全体の小型化をも図ることができる。
この場合、基板受け渡し位置に待機させた基板ホルダ上に基板ホルダを載置し、その後、付勢装置によって基板を位置決め部材に押し付けることで、基板を基準位置に位置決めすることができる。しかも、付勢装置は基板ホルダ外に設けられているので、付勢装置を基板ホルダに設ける場合に比較して基板ホルダを軽量化することができる。その結果、基板ホルダ駆動機構にかかる負荷(すなわち、基板ホルダの回転モーメント)を低減させることができる。したがって、基板ホルダ駆動機構を小型化できるので、マクロ検査装置全体の小型化をも図ることができる。
前記基板浮上機構により前記基板を前記基板ホルダから浮上させた状態で、前記基板ホルダ駆動機構により前記基板ホルダを傾斜させた際に、この基板ホルダの傾斜に沿って移動する前記基板が前記基準位置に達した際に当接する位置決め部材を、前記基板位置決め機構に備えてもよい。
この場合、受け渡し位置において基板を基板ホルダで受け取った後、基板浮上機構によるエアーの吹き付けにより基板を基板ホルダ上から浮き上がらせた状態で、基板ホルダを基板ホルダ駆動機構により傾斜させる。すると、基板ホルダの傾斜に沿って基板が自重により移動し、位置決め部材に当接することでその移動が停止され、基準位置への位置決めが完了する。このように、基板ホルダ上での位置決めのために基板を移動させる構成要素を省略することができる。
この場合、受け渡し位置において基板を基板ホルダで受け取った後、基板浮上機構によるエアーの吹き付けにより基板を基板ホルダ上から浮き上がらせた状態で、基板ホルダを基板ホルダ駆動機構により傾斜させる。すると、基板ホルダの傾斜に沿って基板が自重により移動し、位置決め部材に当接することでその移動が停止され、基準位置への位置決めが完了する。このように、基板ホルダ上での位置決めのために基板を移動させる構成要素を省略することができる。
前記基板ホルダを正面視した場合の外形寸法を、前記基板を正面視した場合の外形寸法より小さくしてもよい。
この場合、基板位置決め機構が基板を保持しやすくするために、基板位置決め機構の、基板を保持する保持部の大きさを大きくしても、この保持部が基板ホルダに干渉するのを回避することができる。
この場合、基板位置決め機構が基板を保持しやすくするために、基板位置決め機構の、基板を保持する保持部の大きさを大きくしても、この保持部が基板ホルダに干渉するのを回避することができる。
前記基板搬送機構との間における前記基板の受け渡し位置に移動した前記基板ホルダを停止させる静止機構をさらに備えてもよい。
この場合、前記受け渡し位置に移動した基板ホルダを、予め待機している静止機構によって停止させるので、基板ホルダを片持ち支持状態で前記受け渡し位置に単純に停止させた場合に比較して、基板ホルダの振れが抑制、又は防止できる。その結果、基板ホルダを所定位置にて極めて迅速に静止させることができるので、基板受け渡し位置における基板の受け渡し動作を速やかに行うことが可能になる。したがって、基板検査に不要なロスタイムを削減することができ、基板検査のタクトタイムを大幅に短縮して検査の効率化を図ることができる。
この場合、前記受け渡し位置に移動した基板ホルダを、予め待機している静止機構によって停止させるので、基板ホルダを片持ち支持状態で前記受け渡し位置に単純に停止させた場合に比較して、基板ホルダの振れが抑制、又は防止できる。その結果、基板ホルダを所定位置にて極めて迅速に静止させることができるので、基板受け渡し位置における基板の受け渡し動作を速やかに行うことが可能になる。したがって、基板検査に不要なロスタイムを削減することができ、基板検査のタクトタイムを大幅に短縮して検査の効率化を図ることができる。
前記静止機構が、前記受け渡し位置に達した際の前記基板ホルダに当接してこの基板ホルダの振動を減衰させる弾性体を備えてもよい。
前記静止機構が、軸線が基板ホルダに略垂直をなすように定位置に固定されたスプリングをさらに備え、このスプリング上に前記弾性体を設けてもよい。
前記基板ホルダの側部に第2の切り欠きを形成し;前記静止機構に、前記受け渡し位置に達した際の前記基板ホルダの前記第2の切り欠きに係止する係止部を備えさせてもよい。
前記静止機構が、前記受け渡し位置に達した際の前記基板ホルダを挟持する挟持手段を備えてもよい。
前記静止機構が、前記受け渡し位置に達した際の前記基板ホルダを受け入れる凹部を有するとともに前記基板が前記受け渡し位置に向かう方向に沿って回動する回動部材と;この回動部材に受け入れられた前記基板ホルダが前記受け渡し位置に達した際の回転位置に前記回動部材を停止させる回動規制部材と;を備えてもよい。
前記静止機構が、軸線が基板ホルダに略垂直をなすように定位置に固定されたスプリングをさらに備え、このスプリング上に前記弾性体を設けてもよい。
前記基板ホルダの側部に第2の切り欠きを形成し;前記静止機構に、前記受け渡し位置に達した際の前記基板ホルダの前記第2の切り欠きに係止する係止部を備えさせてもよい。
前記静止機構が、前記受け渡し位置に達した際の前記基板ホルダを挟持する挟持手段を備えてもよい。
前記静止機構が、前記受け渡し位置に達した際の前記基板ホルダを受け入れる凹部を有するとともに前記基板が前記受け渡し位置に向かう方向に沿って回動する回動部材と;この回動部材に受け入れられた前記基板ホルダが前記受け渡し位置に達した際の回転位置に前記回動部材を停止させる回動規制部材と;を備えてもよい。
前記静止機構が、前記受け渡し位置に達した前記基板ホルダを受け止める受け止め位置と、この受け止め位置から離間した待避位置との間で移動するようにしてもよい。
この場合、検査実施中の基板ホルダが静止機構と干渉するのを確実に回避することができる。
なお、前記静止機構が、前記受け止め位置及び前記待避位置間を水平移動するようにしてもよい。
または、前記静止機構が、前記受け止め位置及び前記待避位置間を回転移動するようにしてもよい。
この場合、検査実施中の基板ホルダが静止機構と干渉するのを確実に回避することができる。
なお、前記静止機構が、前記受け止め位置及び前記待避位置間を水平移動するようにしてもよい。
または、前記静止機構が、前記受け止め位置及び前記待避位置間を回転移動するようにしてもよい。
前記基板ホルダ駆動機構が、前記基板ホルダの一辺を、この一辺に平行な第1の軸線回りに前記基板ホルダが回動可能なように支持し;前記第1の軸線を回転中心として前記基板ホルダの位置とは反対側に位置するウエイトが、前記基板ホルダに設けられるようにしてもよい。
この場合、第1の軸線を回転中心として、基板ホルダとウエイトとが釣り合うため、ウエイトを備えない場合に比較して、基板ホルダ駆動機構にかかる負荷(すなわち、基板ホルダの回転モーメント)を低減させることができる。その結果、基板ホルダ駆動機構を小型化できるので、マクロ検査装置全体の小型化をも図ることができる。また、基板ホルダ駆動機構として多関節アームロボットを採用することも可能になる。
この場合、第1の軸線を回転中心として、基板ホルダとウエイトとが釣り合うため、ウエイトを備えない場合に比較して、基板ホルダ駆動機構にかかる負荷(すなわち、基板ホルダの回転モーメント)を低減させることができる。その結果、基板ホルダ駆動機構を小型化できるので、マクロ検査装置全体の小型化をも図ることができる。また、基板ホルダ駆動機構として多関節アームロボットを採用することも可能になる。
前記基板ホルダ駆動機構が、前記基板ホルダを、前記第1の軸線に直交するとともに前記基板ホルダがなす平面に平行な第2の軸線回りに回動可能に支持し;前記基板ホルダの重心位置と、前記第1の軸線及び前記第2の軸線間の交点と、前記ウエイトの重心位置とが略一直線上に配置されるようにしてもよい。
この場合、第1の軸線回りのモーメントバランスと、第2の軸線回りのモーメントバランスとを調整することができるので、基板ホルダ駆動機構にかかる負荷(すなわち、基板ホルダの回転モーメント)を低減させることができる。その結果、基板ホルダ駆動機構を確実に小型化できるので、マクロ検査装置全体の小型化をも図ることができる。
この場合、第1の軸線回りのモーメントバランスと、第2の軸線回りのモーメントバランスとを調整することができるので、基板ホルダ駆動機構にかかる負荷(すなわち、基板ホルダの回転モーメント)を低減させることができる。その結果、基板ホルダ駆動機構を確実に小型化できるので、マクロ検査装置全体の小型化をも図ることができる。
前記基板ホルダ駆動機構が、前記基板ホルダを、前記第1の軸線に直交するとともに前記基板ホルダがなす平面に平行な第2の軸線回りに回動可能に支持し;前記ウエイトが、前記第2の軸線を間に挟んで互いに接近するように一対設けるようにしてもよい。
この場合、一対のウエイトを第2の軸線を間に挟んで互いに接近するように設けるので、第2の軸線回りの回転モーメントを小さくすることができる。
この場合、一対のウエイトを第2の軸線を間に挟んで互いに接近するように設けるので、第2の軸線回りの回転モーメントを小さくすることができる。
本発明のマクロ検査方法は、検査を受ける基板の受け渡し位置に基板ホルダを停止させる基板ホルダ停止ステップと;前記基板ホルダ上に前記基板を載置する基板載置ステップと;前記基板に対してエアーを吹き付けてこの基板を前記基板ホルダ上から浮き上がらせる基板浮上ステップと;浮上状態にある前記基板を前記基板ホルダ上の基準位置に位置決めする基板位置決めステップと;前記基板位置決めステップ後の前記基板を前記基板ホルダに固定する基板固定ステップと;を有する。
このマクロ検査方法によれば、基板ホルダ上における基板の位置決めを迅速に行うことができるので、タクトタイムを短縮して検査の効率化を図ることが可能になる。
なお、前記基板位置決めステップでは、前記基板をその周囲から挟持することにより、前記位置決めを行ってもよい。
このマクロ検査方法によれば、基板ホルダ上における基板の位置決めを迅速に行うことができるので、タクトタイムを短縮して検査の効率化を図ることが可能になる。
なお、前記基板位置決めステップでは、前記基板をその周囲から挟持することにより、前記位置決めを行ってもよい。
前記基板が前記基準位置に達した際に当接する位置決め部材を前記基板ホルダに設け;前記基板位置決めステップで、浮上状態の前記基板を前記位置決め部材に当接させるように前記基板ホルダを傾斜させてもよい。
この場合、基板ホルダを基板ホルダ駆動機構により傾斜させると、基板ホルダの傾斜に沿って基板が移動し、位置決め部材に当接することでその移動が停止され、基準位置への位置決めが完了する。このように、基板ホルダ上での位置決めのために基板を移動させる構成要素を省略することができる。
この場合、基板ホルダを基板ホルダ駆動機構により傾斜させると、基板ホルダの傾斜に沿って基板が移動し、位置決め部材に当接することでその移動が停止され、基準位置への位置決めが完了する。このように、基板ホルダ上での位置決めのために基板を移動させる構成要素を省略することができる。
前記基板ホルダ停止ステップで、前記受け渡し位置に移動した前記基板ホルダの振動を減衰させることにより、前記基板ホルダを停止させてもよい。
この場合、前記受け渡し位置に移動した基板ホルダの振動を減衰させることにより基板ホルダを停止させるので、基板ホルダを片持ち支持状態で前記受け渡し位置に単純に停止させた場合に比較して、極めて迅速に静止させることができる。したがって、基板受け渡し位置における基板の受け渡し動作を速やかに行うことが可能になる。したがって、基板検査に不要なロスタイムを削減することができ、基板検査のタクトタイムを大幅に短縮して検査の効率化を図ることができる。
この場合、前記受け渡し位置に移動した基板ホルダの振動を減衰させることにより基板ホルダを停止させるので、基板ホルダを片持ち支持状態で前記受け渡し位置に単純に停止させた場合に比較して、極めて迅速に静止させることができる。したがって、基板受け渡し位置における基板の受け渡し動作を速やかに行うことが可能になる。したがって、基板検査に不要なロスタイムを削減することができ、基板検査のタクトタイムを大幅に短縮して検査の効率化を図ることができる。
前記基板ホルダ停止ステップで、前記受け渡し位置に移動した前記基板ホルダを挟持することにより、前記基板ホルダを停止させてもよい。
前記基板ホルダ停止ステップで、前記受け渡し位置に移動した前記基板ホルダを定位置に係止させることにより、前記基板ホルダを停止させてもよい。
前記基板ホルダ停止ステップで、前記受け渡し位置に移動した前記基板ホルダを定位置に係止させることにより、前記基板ホルダを停止させてもよい。
前記基板ホルダの回転モーメントを、この回転モーメントと釣り合う回転モーメントを発生させるウエイトにより相殺してもよい。
この場合、基板ホルダによる回転モーメントとウエイトによる回転モーメントとが釣り合うため、ウエイトを備えない場合に比較して、基板ホルダの姿勢制御を行うための駆動機構にかかる負荷(すなわち、基板ホルダの回転モーメント)を低減させることができる。その結果、前記駆動機構を小型化できるので、マクロ検査装置全体の小型化をも図ることができる。また、駆動機構として多関節アームロボットを採用することも可能になる。
この場合、基板ホルダによる回転モーメントとウエイトによる回転モーメントとが釣り合うため、ウエイトを備えない場合に比較して、基板ホルダの姿勢制御を行うための駆動機構にかかる負荷(すなわち、基板ホルダの回転モーメント)を低減させることができる。その結果、前記駆動機構を小型化できるので、マクロ検査装置全体の小型化をも図ることができる。また、駆動機構として多関節アームロボットを採用することも可能になる。
本発明のマクロ検査装置及びマクロ検査方法によれば、基板ホルダ上における基板の位置決めを迅速に行うことができるので、タクトタイムを短縮して検査の効率化を図ることが可能になる。
また、本発明によれば、例えば、基板位置決め機構を基板ホルダ以外の位置に設けた場合、基板位置決め機構が基板ホルダに設けられていない分だけ、基板ホルダを小型化、軽量化することができる。したがって、基板ホルダ駆動機構にかかる負担を低減することができるので、基板ホルダ駆動機構を小型化でき、マクロ検査装置全体を小型化、軽量化することができる。
また、本発明によれば、上述のように、基板ホルダ駆動機構にかかる負担を低減することができるので、駆動機構として多関節アームロボットを用いたマクロ検査装置を実現することが可能になる。
また、本発明によれば、例えば、基板位置決め機構を基板ホルダ以外の位置に設けた場合、基板位置決め機構が基板ホルダに設けられていない分だけ、基板ホルダを小型化、軽量化することができる。したがって、基板ホルダ駆動機構にかかる負担を低減することができるので、基板ホルダ駆動機構を小型化でき、マクロ検査装置全体を小型化、軽量化することができる。
また、本発明によれば、上述のように、基板ホルダ駆動機構にかかる負担を低減することができるので、駆動機構として多関節アームロボットを用いたマクロ検査装置を実現することが可能になる。
1 マクロ検査装置
3 光源(マクロ照明光学系)
6,81 基板ホルダ
7e 係合溝(第2の切り欠き)
9,11,84 吸着部(基板固定機構)
15 検査用ロボット(基板ホルダ駆動機構,多関節アームロボット)
20 位置決め手段(基板位置決め機構)
21 シリンダ(付勢装置)
28 搬送用ロボット(基板搬送機構)
42a,42b 基準ピン(位置決め部材)
43a,43b 切り欠き(第1の切り欠き)
50 静止機構
52 弾性体
55 振動減衰部(スプリング)
56 係合ピン(係止部)
61,62 固定ブラケット,可動ブラケット(挟持手段)
72 当接部(回動部材)
74 ストッパピン(回動規制部材)
90 バランスウエイト(ウエイト)
W 基板
X 連結軸(第1の軸線)
Y 中心軸(第2の軸線)
3 光源(マクロ照明光学系)
6,81 基板ホルダ
7e 係合溝(第2の切り欠き)
9,11,84 吸着部(基板固定機構)
15 検査用ロボット(基板ホルダ駆動機構,多関節アームロボット)
20 位置決め手段(基板位置決め機構)
21 シリンダ(付勢装置)
28 搬送用ロボット(基板搬送機構)
42a,42b 基準ピン(位置決め部材)
43a,43b 切り欠き(第1の切り欠き)
50 静止機構
52 弾性体
55 振動減衰部(スプリング)
56 係合ピン(係止部)
61,62 固定ブラケット,可動ブラケット(挟持手段)
72 当接部(回動部材)
74 ストッパピン(回動規制部材)
90 バランスウエイト(ウエイト)
W 基板
X 連結軸(第1の軸線)
Y 中心軸(第2の軸線)
本発明のマクロ検査装置の各実施形態を、図面を参照しながら以下に説明する。
[第1実施形態]
図1は、本発明の第1実施形態に係るマクロ検査装置の概略構成を示す側面図である。
マクロ検査装置1は、クリーンルーム内に配置され、上面及び下面が開放された空間の周囲を囲む側壁を有する装置本体2を備える。この装置本体2の上面には、装置本体2内のクリーン度を高めるためのフィルタ(図示略)が取り付けられている。また、装置本体2の上部には、マクロ照明光学系として、例えばメタルハライドランプやナトリウムランプなどのマクロ照明用の光源3と、この光源3から出射される照明光の光軸上に設けられた反射ミラー4とが設置されている。反射ミラー4の下方には、光源3からの照明光を収束させて基板Wに導くフレネルレンズ5が配置されている。フレネルレンズ5は、光源3からの発散光を収束光にする。さらに、光源3からの発散光を均一な面光源に変更する散乱機能を有する透過型液晶散乱板が、フレネルレンズ5に近接して配置されている。マクロ照明光学系は、液晶ディスプレイやプラズマディスプレイ等の透明基板の全体を一括照明しても良く、また部分的に照明し、照明光を一次元方向又は二次元方向に走査させるようにしても良い。
[第1実施形態]
図1は、本発明の第1実施形態に係るマクロ検査装置の概略構成を示す側面図である。
マクロ検査装置1は、クリーンルーム内に配置され、上面及び下面が開放された空間の周囲を囲む側壁を有する装置本体2を備える。この装置本体2の上面には、装置本体2内のクリーン度を高めるためのフィルタ(図示略)が取り付けられている。また、装置本体2の上部には、マクロ照明光学系として、例えばメタルハライドランプやナトリウムランプなどのマクロ照明用の光源3と、この光源3から出射される照明光の光軸上に設けられた反射ミラー4とが設置されている。反射ミラー4の下方には、光源3からの照明光を収束させて基板Wに導くフレネルレンズ5が配置されている。フレネルレンズ5は、光源3からの発散光を収束光にする。さらに、光源3からの発散光を均一な面光源に変更する散乱機能を有する透過型液晶散乱板が、フレネルレンズ5に近接して配置されている。マクロ照明光学系は、液晶ディスプレイやプラズマディスプレイ等の透明基板の全体を一括照明しても良く、また部分的に照明し、照明光を一次元方向又は二次元方向に走査させるようにしても良い。
基板Wは、透明な平板からなるフラットパネルディスプレイ(FPD)用の透明基板で、基板搬送装置(搬送ロボット)により、図1中に仮想線で示すように、水平に配置された基板ホルダ6上に搬入される。マクロ検査装置で検査される透明基板としては、FPD用の矩形パネルを複数枚製造できる多面取りのマスターガラス基板があり、外形が矩形に形成され、周縁よりも若干内側に矩形状のパターン領域が形成されている。以下、基板周縁と矩形パターンとの間を「基板の周縁部」と呼ぶ。
図2に示すように、基板ホルダ6は、基板Wの外形よりも小さな矩形の開口部8が形成された矩形枠状のホルダ本体7を有する。ホルダ本体7は、互いに平行な一対の長辺部7a,7bのそれぞれの両端部が一対の短辺部7c,7dによって連結されることで、開口部8を形成している。開口部8の大きさは、基板Wの外形寸法よりも小さく、前記矩形パターン領域よりも若干大きな矩形寸法に形成されている。そして、ホルダ本体7の内周側周縁部で、基板Wの裏面の周縁部を支持する。ホルダ本体7の内周側周縁部で基板Wと重なる領域には、吸着部(基板固定機構)9が所定間隔をおいて複数配設されている。これら吸着部9は、ホルダ本体7の上面よりも若干突出して、吸着時にホルダ本体7の上面と略面一となるように設定された吸着パッドと;この吸着パッドに形成された貫通孔に通気管を介して接続された吸引用流体ポンプと;から構成されている(以上、図示略)。
吸着部9には、基板Wの位置決めの際に、基板Wをエアーの吹き付けにより浮上させて基板ホルダ6に対する接触抵抗(摩擦抵抗)を低減させる基板浮上手段として、例えば、前記通気管に切り替えバルブを介して、エアーを吹出す排気用流体ポンプが接続されている(以上、図示略)。これにより、前記各吸着部9から圧搾エアーの吹き出しが可能となっており、前記バルブの切換えによって吸引と吹き出しとを択一的に行えるようになっている。このように、吸引と吹き出し(基板浮上機構)とが可能な構成を、全ての吸着部9に持たせても良いが、一部の吸着部9のみに持たせるようにしても良い。また、吸着部9とは別に、基板浮上手段として、エアー吹出し用のノズル孔を有する吹上部をホルダ本体7に設け、エアー吸引とエアー吹出しとを別系統にしても良い。
ホルダ本体7の開口部8内には、複数の基板支持部10が、互いに十分な間隔をおいて固定されている。各基板支持部10は、金属製であり、図3の左右両図に示すように、その概略断面形状が、幅寸法に比べて長い高さ寸法の縦長棒状(桟状)になっており、ホルダ本体7に比べて小型かつ軽量となっている。これら基板支持部10の詳細断面形状は、同じく図3の左右両図に示すように、縦長の六角形形状を有しており、上端及び下端のうち少なくとも上端には、基板Wを透過した照明光が基板支持部10の上端で反射して観察の妨げにならないよう、前記照明光を観察視野外に向けて反射する傾斜面10b,10bが形成されている。本実施形態では、各基板支持部10の上端と下端の両方に、傾斜面10b,10dが形成されている。
これら基板支持部10の上部には、稜線の一部を平坦に切欠いて形成した取付面10aに、基板Wの裏面に吸着する吸着部(基板固定機構)11(図3の右図)と、基板Wの裏面に当接する支持ピン12(図3の左図)とが垂直に突設されている。これら吸着部11及び支持ピン12は、図2に示すように、同一基板支持部10上に交互に配置しても良く、また、各基板支持部10の全てに吸着部12を配置しても良く、さらには各基板支持部10の交互に支持ピン12又は吸着部11を配置しても良い。
吸着部11は、基板支持部10の上面に立設されたロッド11aと、ロッド11aの先端に取り付けられた吸着パッド11bとを備えている。ロッド11a及び吸着パッド11bには、エアー流通孔(図示略)が形成されており、このエアー流通孔に通気管を介して前記吸引用流体ポンプが接続されている(以上、図示略)。
吸着部11には、基板Wの位置決めの際に、基板Wをエアーの吹き付けにより浮上させて基板ホルダ6に対する接触抵抗(摩擦抵抗)を低減させる基板浮上手段として、例えば、前記通気管に切り替えバルブを介してエアーを吹出す排気用流体ポンプが接続されている(以上、図示略)。これにより、吸着パッド11bから圧搾エアーが吹き出し可能となり、前記バルブの切換えにより吸引と吹き出しとを択一的に行うことができる。このように、吸引と吹き出しとが可能な構成を、全ての吸着部11に持たせても良いし、一部の吸着部11のみに持たせても良い。また、吸着部11とは別に、基板浮上機構として、エアー吹出し用のノズル孔を有する吹上部をホルダ本体7に設け、エアー吸引とエアー吹出しとを別系統にしても良い。
支持ピン12は、基板支持部10の上面に立設されたロッド12bと、ロッド12bの先端にテフロン(登録商標)等のガラス基板よりも硬度が小さく耐磨耗性に優れた減摩材からなる略球形の当接部12aが設けられている。吸着部11の上端位置及び支持ピン12の上端位置は、共に、吸着部9の上面位置と略等しくなるように高さ調整されている。
図1及び図2に示すように、基板ホルダ6を回転・揺動させる基板ホルダ駆動機構として、例えば、多方向(図示A,B,C,Dの方向)に自由に動く、複数のアームを連結した多関節アームロボットである検査用ロボット15が装置本体2の下部に配置されている。
図2に示すように、ホルダ本体7の一方の長辺部7aは、検査用ロボット15の先端アーム16に連結されている。検査用ロボット15は、不図示の制御装置によって、例えば、図1に仮想線で示すように、基板ホルダ6が水平に姿勢保持される基板受け渡し位置から、図1に実線で示す所定の傾斜角度まで基板ホルダ6を矢印A方向に回転させたり、基板ホルダ6を先端アーム16の軸線回りの矢印C方向(図2)に回転させたり、基板ホルダ6を矢印B(図1)方向に上下移動させたり、基板ホルダ6を矢印D方向(図2)に左右移動たりすることができる。
図2に示すように、ホルダ本体7の一方の長辺部7aは、検査用ロボット15の先端アーム16に連結されている。検査用ロボット15は、不図示の制御装置によって、例えば、図1に仮想線で示すように、基板ホルダ6が水平に姿勢保持される基板受け渡し位置から、図1に実線で示す所定の傾斜角度まで基板ホルダ6を矢印A方向に回転させたり、基板ホルダ6を先端アーム16の軸線回りの矢印C方向(図2)に回転させたり、基板ホルダ6を矢印B(図1)方向に上下移動させたり、基板ホルダ6を矢印D方向(図2)に左右移動たりすることができる。
この検査用ロボット15を用いることにより、基板ホルダ6を、マクロ照明下での観察に適した角度に立ち上げた状態で、基板ホルダ6を上下左右に移動させることができ、基板Wの全面に対してマクロ照明光を走査させることができる。マクロ照明光学系をXY方向に移動可能に設けた場合には、検査用ロボット15として、基板ホルダ6を矢印A方向に回転又は揺動させる一軸方式の基板ホルダ駆動機構や、基板ホルダ6を矢印A方向と矢印C方向に回転させるニ軸方式の基板ホルダ駆動機構を採用しても良い。
なお、起き上がらせたときの基板ホルダ6の前面の位置に対応するように、装置本体2には開口(図示略)が形成されており、起き上がらせた状態の基板Wの外観を観察者が目視観察できるようになっている。
なお、起き上がらせたときの基板ホルダ6の前面の位置に対応するように、装置本体2には開口(図示略)が形成されており、起き上がらせた状態の基板Wの外観を観察者が目視観察できるようになっている。
図2に示すように、基板Wを受け入れるために基板受け渡し位置に基板ホルダ6を水平に姿勢制御した状態では、基板ホルダ6の周囲にフレーム17が配置されるようになっている。フレーム17は、検査用ロボット15が揺動可能な範囲を除いて、ホルダ本体7の各辺部7a,7b,7c,7dに沿って、ホルダ本体7の周囲を囲むように装置本体2に対して固定されている。このフレーム17の上部には、基板Wをホルダ本体7上の基準位置に位置決めする基板位置決め機構として複数の位置決め手段20が、ホルダ本体7の周囲から離間して取り付けられている。これら位置決め手段20は、ホルダ本体7の長辺部7a,7b及び短辺部7dに対向する位置にあるフレーム17には2つずつ設けられ、ホルダ本体7の短辺部7cと対向する位置のフレーム17には1つ設けられている。短辺部7d側、長辺部7a,7b側に配設されている各位置決め手段20は、基板Wの各隅部に対向するように設けられている。ただし、短辺部7c側に配設された位置決め手段20は、基板Wの左短辺の中心付近に対向するように設けられている。
各位置決め手段20は、フレーム17に固定されたシリンダ21等からなる駆動部と、シリンダ21に進退自在に支持されたロッド状の押し付けピン22等からなる押圧部材とを備える。押し付けピン22の先端には、テフロン(登録商標)等のガラス基板よりも硬度が小さく、耐磨耗性に優れた減摩材からなる円柱形の当接部22aが設けられている。各押し付けピン22は、基板ホルダ6の上面位置よりも若干上方位置に配置され、これら押し付けピン22の当接部22aがガラス基板Wの側面に押し当てられる位置決め位置(基準位置)と;図2に仮想線で示すように、押し付けピン22の当接部22aがホルダ本体7よりも外側に向かって離間した退避位置と;に移動可能になっている。
位置決め手段20は、シリンダ駆動の構成に限定されず、例えば、モータ(駆動部)にリンク機構(押圧部材)を介して当接部22aを進退させる構成を採用しても良い。また、ホルダ本体7を、基板Wの周縁部がホルダ本体7から若干飛び出すように、ホルダ本体7の外形寸法を基板Wの外形寸法よりも若干小さく形成し、ホルダ本体7から飛び出した基板Wの周縁に、各押し付けピン22の当接部22aを押し付けるようにしても良い。
図1に示すように、水平に姿勢制御された基板ホルダ6の下方には、リフト装置24が配置されている。リフト装置24は、図5に示すように、平面視した場合に基板ホルダ6の各基板支持部10と基板搬送用ロボット28の櫛歯状のフィンガ31とに干渉しない複数箇所に配置されたリフトピン25と;図1に示すように、これらのリフトピン25を支持するリフトピン支持バー26と;このリフトピン支持バー26を昇降させるアクチュエータ部27と;を備えている。
各リフトピン25は、図4に示すような、基板ホルダ6の上面位置よりも高い位置まで突出するリフト位置と、図1に示すような、基板ホルダ6の下面位置よりも下がった退避位置とに移動可能である。各リフトピン25の先端には、テフロン(登録商標)等のガラス基板よりも硬度が小さくて耐磨耗性に優れた減摩材からなる略球形の当接部が設けられている。
各リフトピン25は、図4に示すような、基板ホルダ6の上面位置よりも高い位置まで突出するリフト位置と、図1に示すような、基板ホルダ6の下面位置よりも下がった退避位置とに移動可能である。各リフトピン25の先端には、テフロン(登録商標)等のガラス基板よりも硬度が小さくて耐磨耗性に優れた減摩材からなる略球形の当接部が設けられている。
図5に、搬送用ロボット28を示す。搬送用ロボット28は、基板ホルダ6に基板Wを搬入したり、基板ホルダ6から基板Wを搬出したりする際に使用され、多関節アームロボットを備えている。この搬送ロボット28の先端アーム29にロボットハンド30が取り付けられている。ロボットハンド30は、櫛歯状に配設された複数本のフィンガ31を備えており、各フィンガ31の上面には、吸着部32が等間隔配置され、基板Wを吸着保持する。
図2に示すように、ロボットハンド30は、装置本体2の基板挿入口2aを通して基板ホルダ6の上方に挿入されたときに、位置決め手段20やリフトピン25を避けるように、フィンガ31の形状や配置が設定されている。
図2に示すように、ロボットハンド30は、装置本体2の基板挿入口2aを通して基板ホルダ6の上方に挿入されたときに、位置決め手段20やリフトピン25を避けるように、フィンガ31の形状や配置が設定されている。
本実施形態のマクロ検査装置1の動作について以下に説明する。
まず、各位置決め手段20の押し付けピン22を前記退避位置に退避させてから、検査用ロボット15により基板ホルダ6を基板Wの搬入出に適した水平な基板受け渡し位置に待機させる。搬送用ロボット28は、図示しないカセットより基板Wを一枚吸着保持して取り出して基板ホルダ6の上方に移送してから、基板Wに対する吸着を解除する。その後、リフト装置24は、アクチュエータ部27を駆動させ、リフトピン25を搬送用ロボット28のフィンガ31よりも上方に移動させて基板Wを受け取る。このときのリフトピン25は、ホルダ本体7、各基板支持部10、及び搬送用ロボット28の櫛歯状のフィンガ31に干渉しないように配設されているので、ホルダ本体7の開口部8を通り、搬送用ロボット28の各フィンガ31の間を通り抜けて基板Wを持ち上げる。これにより、搬送用ロボット28に載置された基板Wは、搬送用ロボット28のフィンガ31からリフトピン25に移載される。この状態で、搬送用ロボット28によりロボットハンド30をホルダ本体7に接触しない位置まで降下させた後、ロボットハンド30を基板ホルダ6の移動経路上から退避させる。
まず、各位置決め手段20の押し付けピン22を前記退避位置に退避させてから、検査用ロボット15により基板ホルダ6を基板Wの搬入出に適した水平な基板受け渡し位置に待機させる。搬送用ロボット28は、図示しないカセットより基板Wを一枚吸着保持して取り出して基板ホルダ6の上方に移送してから、基板Wに対する吸着を解除する。その後、リフト装置24は、アクチュエータ部27を駆動させ、リフトピン25を搬送用ロボット28のフィンガ31よりも上方に移動させて基板Wを受け取る。このときのリフトピン25は、ホルダ本体7、各基板支持部10、及び搬送用ロボット28の櫛歯状のフィンガ31に干渉しないように配設されているので、ホルダ本体7の開口部8を通り、搬送用ロボット28の各フィンガ31の間を通り抜けて基板Wを持ち上げる。これにより、搬送用ロボット28に載置された基板Wは、搬送用ロボット28のフィンガ31からリフトピン25に移載される。この状態で、搬送用ロボット28によりロボットハンド30をホルダ本体7に接触しない位置まで降下させた後、ロボットハンド30を基板ホルダ6の移動経路上から退避させる。
次に、アクチュエータ部27を駆動してリフトピン25を前記退避位置まで降下させると、基板Wの裏面がホルダ本体7の吸着部9と、基板支持部10の吸着部11及び支持ピン12とに当接し、リフトピン25から基板ホルダ6に基板Wが移載される。基板Wを基板ホルダ6上に載置させたら、基板浮上機構として機能する吸着部9,11から圧搾エアーを吹き出して基板Wをホルダ本体7から僅かに浮上させる。基板Wをエアーで浮かせた状態で、各位置決め手段20を駆動して各押し付けピン22を基板Wに向かって突出させる。その結果、基板Wは、各押し付けピン22により挟持されて基準位置に位置決めされる。基板Wが位置決めされた状態で、吸着部9,11からの圧搾エアー供給を停止させ、基板Wをホルダ本体7及び各基板支持部10の上に載置する。この後、吸着部9,11により吸引を開始して、位置決めされた基板Wを吸着保持する。
なお、基板Wを位置決めする際、ホルダ本体7の対角線を挟んで一方側に配置される位置決め手段20を位置決め基準用に設定し、この基準用位置決め手段20の当接部22aをホルダ本体7の基準位置に固定し、他方側に配置される位置決め手段20を基板押し付け用に設定し、この押し付け用位置決め手段20の当接部22aにより基板Wを基準用位置決め手段20の当接部22aに押し付けて位置決めするようにしても良い。
基板Wをホルダ本体7上の基準位置に位置決めして吸着保持させたら、検査用ロボット15が基板ホルダ6を水平位置から、図1に実線で示したように、基板Wが観察者に向かうように起き上がらせる。この状態で、光源3からの照明光によって基板Wをその上方から照らし、観察者によるマクロ検査が行われる。この際、検査用ロボット15により、基板ホルダ6を微小角度で上下方向又は左右方向に揺動させ、基板Wに対して照明光の入射角度を変化させながらマクロ検査を行うようにしても良い。基板Wの裏面のマクロ検査を行なう場合には、検査用ロボット15により基板Wを反転させ、基板Wの裏面を照明方向に向けてマクロ検査を行うようにしても良い。さらに、不図示のバックライト装置を設けて、基板Wをその裏面側から照らしながら観察を行うようにしても良い。
マクロ検査が終了したら、基板ホルダ6を水平位置まで戻した後、吸着部9,11による吸着保持を解除する。再び、リフト装置24のアクチュアータ部27を駆動し、リフトピン25を上昇させ、基板Wを基板ホルダ6からリフトピン25上に移載する。この状態で、搬送用ロボット28は、ロボットハンド30を水平に移動させてフィンガ31をホルダ本体7と基板Wとの間に挿入し、ロボットハンド30を上昇させてリフトピン25から基板Wを受け取り、基板Wを吸着部32により吸着保持した後、ロボットハンド30を後退させて前記カセットに向けて搬出する。
以上説明のように、本実施形態のマクロ検査装置1は、検査を受ける基板Wを保持する基板ホルダ6と;基板Wに照明光を照射する光源(マクロ照明光学系)3と;基板ホルダ6を支持するとともに基板Wが照明光で照らされた状態で基板ホルダ6の姿勢を制御する検査用ロボット(基板ホルダ駆動機構)15と;基板ホルダ6との間で基板Wの受け渡しを行う搬送用ロボット(基板搬送機構)28と;基板ホルダ6上に受け渡された基板Wに対してエアーの吹き付けを行うことにより、この基板Wを基板ホルダ6上から浮き上がらせる前記通気管,前記切り替えバルブ,前記排気用流体ポンプを有する基板浮上機構と;この基板浮上機構により浮上状態にある基板Wを基板ホルダ6上の基準位置に位置決めする位置決め手段(基板位置決め機構)20と;この位置決め手段20により位置決めされた基板Wを基板ホルダ6に固定する吸着部(基板固定機構)9,11と;を備える。
そして、本実施形態のマクロ検査装置1によれば、基板Wを位置決めさせる位置決め機構として機能する位置決め手段20を基板ホルダ6とは別体に設けたので、基板ホルダ6上に駆動部を有する位置決め手段20を設ける必要がなくなる。この大きな取り付けスペースを要する位置決め手段20をホルダ本体7上から分離することにより、位置決め手段20を配置するスペース分だけホルダ本体7の幅寸法を小さくでき、基板ホルダ6を軽量化できる。さらに、基板ホルダ6の軽量化により、基板ホルダ6を駆動させる検査ロボット15にかかる負荷を低減させることできる。その結果、検査用ロボット15に小型の多関節アームロボットを使用することが可能になる。さらには、これら基板ホルダ6及び検査用ロボット15の小型化により、マクロ検査装置1を小型化でき、クリーンルームの設置スペースを小さくできる。
なお、ホルダ本体7は、基板Wの周縁部がホルダ本体7から若干飛び出すように、ホルダ本体7の外形寸法を基板Wの外形寸法よりも若干小さくしているので、押し付け用位置決め手段20の押し付けピン22の進退時に、押し付けピン22とホルダ本体7との干渉を防止できる。さらには、押し付けピン22の先端に取り付けられる当接部22aを大きくすることができるので、ホルダ本体7が上下方向に多少ずれても、これら当接部22aを確実に基板Wに接触させて押圧することができる。さらに、ホルダ本体7の外形寸法を、基板外形寸法内に小型化することができ、更なる軽量化を図ることができる。
[第2実施形態]
本発明のマクロ検査装置の第2実施形態について、図面を参照しながら以下に説明する。なお、上記第1実施形態と同一構成要素には同一符号を付し、その説明を省略する。
図6に示すように、検査用ロボット15の先端アーム16が取り付けられているホルダ本体7の長辺部7a上面には、基準用位置決め手段(基準用基板位置決め機構)である基準ピン42aが2つ固定され、短辺部7c上面には、基準ピン42bが固定されている。各基準ピン42aは、基板Wの隅部に対応する位置に配置され、基準ピン42bは、基板Wの左側縁の中央部に対応する位置に配置されている。
本発明のマクロ検査装置の第2実施形態について、図面を参照しながら以下に説明する。なお、上記第1実施形態と同一構成要素には同一符号を付し、その説明を省略する。
図6に示すように、検査用ロボット15の先端アーム16が取り付けられているホルダ本体7の長辺部7a上面には、基準用位置決め手段(基準用基板位置決め機構)である基準ピン42aが2つ固定され、短辺部7c上面には、基準ピン42bが固定されている。各基準ピン42aは、基板Wの隅部に対応する位置に配置され、基準ピン42bは、基板Wの左側縁の中央部に対応する位置に配置されている。
装置本体2には、ホルダ本体7の長辺部7b及び短辺部7dに沿うように、フレーム44及びフレーム45が取り付けられ、これらフレーム44,45には、基板Wを各基準ピン42a,42bに押し付けるための押し付け用位置決め手段(押し付け用基板位置決め機構)20が2つずつ設けられている。
基板ホルダ本体7の長辺部7b及び短辺部7dには、押し付け用位置決め手段20に対応した位置に切欠き43a,43bが基板ホルダ本体7の外周面から開口部8に向かって凹むように形成されている。これら切欠き43a,43bは、図6に示すように、基板Wの内側へ数ミリ程度の入り込む位置まで切り欠かれている。
基板ホルダ本体7の長辺部7b及び短辺部7dには、押し付け用位置決め手段20に対応した位置に切欠き43a,43bが基板ホルダ本体7の外周面から開口部8に向かって凹むように形成されている。これら切欠き43a,43bは、図6に示すように、基板Wの内側へ数ミリ程度の入り込む位置まで切り欠かれている。
本実施形態では、上記第1実施形態で説明した構成から、ホルダ本体7の長辺部7a及び短辺部7cに沿って設けられたそれぞれのフレームを省略している。そして、この省略したフレームに固定されていたシリンダ等の駆動部を有する位置決め用位置決め手段20を、駆動部の無い基準ピン42a、42bに代えている。さらに、ホルダ本体7の、各押し付け用位置決め手段20と対向する位置に切欠き43a,43bを設けている。以上説明の点以外の構成は、上記第1実施形態の構成と同じであり、重複する説明は省略する。
本実施形態のマクロ検査装置1の動作について以下に説明する。
本実施形態は、上記第1実施形態に対して、基板Wの位置決めの仕方だけが異なっている。この異なる位置決めの仕方について以下に説明する。図5に示したような搬送用ロボット28で搬入された基板Wを基板ホルダ6上に載置した後、基板浮上機構として機能する吸着部9,11から圧搾エアーを吹き出して基板Wを浮上させる。次に、各位置決め手段20が押し付けピン22を基板Wに向けて突出させると、基板Wの側面が押され、基板Wの反対側の側面が基準ピン42a,42bに押し付けられて位置決めされる。基板Wが位置決めされた状態で、吸着部9,11からの圧搾エアーの供給を停止させて基板Wをホルダ本体7及び各基板支持部10の上に載置する。この後、吸着部9,11により吸引を開始して、位置決めされた基板Wを吸着保持する。
本実施形態は、上記第1実施形態に対して、基板Wの位置決めの仕方だけが異なっている。この異なる位置決めの仕方について以下に説明する。図5に示したような搬送用ロボット28で搬入された基板Wを基板ホルダ6上に載置した後、基板浮上機構として機能する吸着部9,11から圧搾エアーを吹き出して基板Wを浮上させる。次に、各位置決め手段20が押し付けピン22を基板Wに向けて突出させると、基板Wの側面が押され、基板Wの反対側の側面が基準ピン42a,42bに押し付けられて位置決めされる。基板Wが位置決めされた状態で、吸着部9,11からの圧搾エアーの供給を停止させて基板Wをホルダ本体7及び各基板支持部10の上に載置する。この後、吸着部9,11により吸引を開始して、位置決めされた基板Wを吸着保持する。
以上説明の本実施形態のマクロ検査装置によれば、基板Wを位置決めさせる基準用位置決め手段を、駆動部の無い安価な基準ピン42a,42bに代えることにより、装置の製造コストを低減させることができる。さらに、ホルダ本体7の長辺部7a及び短辺部7cに沿って配置されるフレームを減らすことができるので、検査用ロボット15及び搬送用ロボット28がフレームと干渉しにくくなり、検査用ロボット15及び搬送用ロボット28の動作が広がる。
また、ホルダ本体7に切り欠き43a,43bを形成したので、押し付け用位置決め手段20の押し付けピン22の進退時に、押し付けピン22及びホルダ本体7間の干渉を防止できる。切欠き43a,43bを設けることにより、押し付けピン22の先端に取り付けられた当接部22aのサイズを大きくすることができるので、ホルダ本体7が上下方向に多少ずれても基板Wに接触し、確実に基板Wを押圧することができる。また、ホルダ本体7に基準ピン42a,42bを固定するとともに、押し付け用位置決め手段20にのみ駆動機構を備えたことにより、上記第1実施形態のように全ての位置決め手段に駆動機構を備えたものに比べて、位置決め制御が簡単になる。すなわち、上記第1実施形態では、全ての位置決め手段を正解に位置決め制御する必要があるが、本実施形態では、押し付け用位置決め手段20によって基板Wを基準ピン42a、42bに押し付け、所定押圧力に達したら押し付けを停止させるという簡単な位置決め制御で済むため、位置決めをさらに速やかに行なうことができる。その他の効果は、上記第1実施形態と同じである。
また、ホルダ本体7に切り欠き43a,43bを形成したので、押し付け用位置決め手段20の押し付けピン22の進退時に、押し付けピン22及びホルダ本体7間の干渉を防止できる。切欠き43a,43bを設けることにより、押し付けピン22の先端に取り付けられた当接部22aのサイズを大きくすることができるので、ホルダ本体7が上下方向に多少ずれても基板Wに接触し、確実に基板Wを押圧することができる。また、ホルダ本体7に基準ピン42a,42bを固定するとともに、押し付け用位置決め手段20にのみ駆動機構を備えたことにより、上記第1実施形態のように全ての位置決め手段に駆動機構を備えたものに比べて、位置決め制御が簡単になる。すなわち、上記第1実施形態では、全ての位置決め手段を正解に位置決め制御する必要があるが、本実施形態では、押し付け用位置決め手段20によって基板Wを基準ピン42a、42bに押し付け、所定押圧力に達したら押し付けを停止させるという簡単な位置決め制御で済むため、位置決めをさらに速やかに行なうことができる。その他の効果は、上記第1実施形態と同じである。
なお、本発明は、上記第2実施形態に限定されずに広く応用することができる。
例えば、機構部をさらに減らして装置をさらに小型化、軽量化することを目的として、図6に示す基板ホルダ6において、押し付け用位置決め手段20及び切り欠き43a,43bを設けずに、基板Wの基準位置を規制する基準ピン42a,42bのみを設けるようにしても良い。
この場合、基板Wを搬入するときには、リフトピン25で基板Wを基板ホルダ6に移載したら、基板Wを、基板浮上機構として機能する吸着部9,11からエアーを吹き付けて浮上させた状態で、検査用ロボット15を駆動し、最初に、長辺部7aに対して長辺部7bが少し高くなるようにホルダ本体7を傾斜させる。これにより、浮上した基板Wは、自重によりホルダ本体7に沿って長辺部7a側に移動し、基準ピン42aに当接して基板Wの下側の位置が定まる。この状態で、検査用ロボット15を駆動して、短辺部7cに対して短辺部7dが少し高くなるようにホルダ本体7を傾斜させる。これにより、浮上した基板Wは、2つの基準ピン42aに当接したままの状態で、短辺部7c側に移動し、基準ピン42bに当接して基板Wの右側の位置が定まる。このように、ホルダ本体7を、基準ピン42a,42bが下になるように少し傾斜させることで、基板Wの自重により基板Wを基準ピン42a,42bに当接させて位置決めすることが可能になる。
例えば、機構部をさらに減らして装置をさらに小型化、軽量化することを目的として、図6に示す基板ホルダ6において、押し付け用位置決め手段20及び切り欠き43a,43bを設けずに、基板Wの基準位置を規制する基準ピン42a,42bのみを設けるようにしても良い。
この場合、基板Wを搬入するときには、リフトピン25で基板Wを基板ホルダ6に移載したら、基板Wを、基板浮上機構として機能する吸着部9,11からエアーを吹き付けて浮上させた状態で、検査用ロボット15を駆動し、最初に、長辺部7aに対して長辺部7bが少し高くなるようにホルダ本体7を傾斜させる。これにより、浮上した基板Wは、自重によりホルダ本体7に沿って長辺部7a側に移動し、基準ピン42aに当接して基板Wの下側の位置が定まる。この状態で、検査用ロボット15を駆動して、短辺部7cに対して短辺部7dが少し高くなるようにホルダ本体7を傾斜させる。これにより、浮上した基板Wは、2つの基準ピン42aに当接したままの状態で、短辺部7c側に移動し、基準ピン42bに当接して基板Wの右側の位置が定まる。このように、ホルダ本体7を、基準ピン42a,42bが下になるように少し傾斜させることで、基板Wの自重により基板Wを基準ピン42a,42bに当接させて位置決めすることが可能になる。
検査用ロボット15に、多方向に姿勢制御可能な多関節アームロボットを採用して、基板Wの位置決めを行うようにした場合には、基板Wを位置決めさせる位置決め手段のうち、駆動部を必要としない基準用位置決め手段を、駆動機構部の無い安価な基準ピン42a,42bのみで構成することができる。その場合、さらに価格の低減を図ることができると共に、ホルダ本体7の周辺から、位置決め手段を取り付けるためのフレームを全て省略することができ、装置全体の小型化を図ることができる。その他の効果は、上記第1実施形態と同じである。
前記多関節アームロボットを採用して基板Wの位置決めを行う場合、検査用ロボット15は、一度に長辺部7aと短辺部7cとの隅部が最も低くなるように、ホルダ本体7を傾斜させ、基板Wをその自重により、ホルダ本体7の両辺に設けられた基準ピン42a,42a,42bに向けて移動させるようにしても良い。この場合、ワンアクションで基板Wを位置決めさせることができる。
また、上述のいずれかの場合において、検査用ロボット15により、基板ホルダ6を微小に揺らすように駆動させても良い。基板ホルダ6が揺れることで、基板Wが速やかに移動して位置決めする。この場合には、エアーの吹き付けによる浮上を必ずしも行わなくても良い。
また、上述のいずれかの場合において、検査用ロボット15により、基板ホルダ6を微小に揺らすように駆動させても良い。基板ホルダ6が揺れることで、基板Wが速やかに移動して位置決めする。この場合には、エアーの吹き付けによる浮上を必ずしも行わなくても良い。
また、機構部を減らして、装置をさらに小型化、軽量化及び価格低化させるために、リフト装置24から昇降機構を取り除き、このリフト装置24を図1に示したような所定位置に固定しても良い。この場合には、リフトピン25の長さは、その先端部27aが、水平位置にある基板ホルダ6の下面よりも低い位置に固定されるように設定する。基板Wの搬入搬出を行う際には、検査用ロボット15を駆動させ、基板ホルダ6をリフトピン25よりも低くなるように下降させる。これにより、リフトピン25の先端部が基板ホルダ6の上面から突出するので、搬送用ロボット28により基板Wをリフトピン25上に移載し、搬送用ロボット28を退避させた後に、検査用ロボット15により基板ホルダ6を上昇させることにより、搬送用ロボット28から検査用ロボット15への基板Wの受け渡しが可能になる。その後、検査用ロボット(多関節ロボット)15が基板ホルダ6を上昇させると、基板Wがリフトピン25から基板ホルダ6に移載される。基板Wの位置決め、吸着、及びマクロ観察は、前記と同様にして行う。基板Wを搬出する際には、リフトピン25よりも少し高い位置で、基板Wの吸着保持を解除してから、基板ホルダ6をリフトピン25の先端よりも低い位置まで下降させる。その結果、リフトピン25に基板Wが移載されるので、搬送用ロボット28で基板Wを搬出することが可能になる。
このような構成を採用した場合、基板Wの受け渡し位置において、基板Wを載置した状態で水平に昇降させるリフト装置の昇降機能を、検査用ロボット15に兼用させることにより、リフトピン25を昇降させる機構を設ける必要がなくなる。その結果、装置の小型化、軽量化を図ることができる。その他の効果は上記第1実施形態と同じである。
基板ホルダ6は、その短辺部が検査用ロボット(多関節ロボット)15の先端アーム16に取り付けられていても良い。
図6に示した基板ホルダ6から、切り欠き43a,43bを省略しても良い。また、図1に示す基板ホルダ6に対し、位置決め手段20の配置にあわせて切り欠き43a,43bを形成しても良い。
図6に示した基板ホルダ6から、切り欠き43a,43bを省略しても良い。また、図1に示す基板ホルダ6に対し、位置決め手段20の配置にあわせて切り欠き43a,43bを形成しても良い。
[第3実施形態]
本発明のマクロ検査装置の第3実施形態について、図面を参照しながら以下に説明する。なお、上記第1実施形態と同一構成要素には同一符号を付し、その説明を省略する。
本実施形態では、基板ホルダ6を回転・揺動させる基板ホルダ駆動機構として検査用多関節アームロボット(検査用ロボット15)を採用している。そして、この検査用ロボット15によって回転・揺動自在に支持した基板ホルダ6を、基板受け渡し位置において迅速に静止させて基板Wの受け渡しを円滑に行い、タクトタイムを短縮して検査効率を向上させるために、静止機構50を備えている。この静止機構50を設けた以外は、上記第1実施形態と同じであり、重複する説明は省略する。
本発明のマクロ検査装置の第3実施形態について、図面を参照しながら以下に説明する。なお、上記第1実施形態と同一構成要素には同一符号を付し、その説明を省略する。
本実施形態では、基板ホルダ6を回転・揺動させる基板ホルダ駆動機構として検査用多関節アームロボット(検査用ロボット15)を採用している。そして、この検査用ロボット15によって回転・揺動自在に支持した基板ホルダ6を、基板受け渡し位置において迅速に静止させて基板Wの受け渡しを円滑に行い、タクトタイムを短縮して検査効率を向上させるために、静止機構50を備えている。この静止機構50を設けた以外は、上記第1実施形態と同じであり、重複する説明は省略する。
検査用ロボット15の先端アーム16に連結された基板ホルダ6は、図7に示すように、基板受け渡し位置において水平に姿勢保持される。静止機構50は、基板ホルダ6を基板受け渡し位置に規制するストッパ機能を有しており、基板ホルダ6の先端側(自由端側)に配置されている。この静止機構50は、基板ホルダ6の衝撃を吸収して振動を抑える静止機能をさらに有する。
図7に示す静止機構50は、鉛直方向に立設された支柱51の先端部(上端部)に、例えば、ゴムあるいはスポンジなどの樹脂系の弾性体52が取り付けられたストッパ53を備えており、弾性体52の上面が当接部54とされている。この静止機構50は、基板受け渡し位置に配置されたホルダ本体7の先端下方に設けられている。ホルダ本体7は、水平に姿勢保持される基板受け渡し位置に配置された際に、その先端部下面がストッパ53の当接部54に当接する。
図7に示す静止機構50は、鉛直方向に立設された支柱51の先端部(上端部)に、例えば、ゴムあるいはスポンジなどの樹脂系の弾性体52が取り付けられたストッパ53を備えており、弾性体52の上面が当接部54とされている。この静止機構50は、基板受け渡し位置に配置されたホルダ本体7の先端下方に設けられている。ホルダ本体7は、水平に姿勢保持される基板受け渡し位置に配置された際に、その先端部下面がストッパ53の当接部54に当接する。
上記第1実施形態で説明したように、基板ホルダ6は、搬送用ロボット28による基板Wの搬入時と、マクロ検査後の基板Wの搬出時に、搬送用ロボット28との間の基板受け渡し位置に移動される。
検査用ロボット15により、基板ホルダ6がマクロ観察による所定角度から基板受け渡し位置の水平角度に移動(回転)されると、ホルダ本体7の先端部下面がストッパ53の当接部54に当接する。これにより、ホルダ本体7は、先端部に振れを生じることなく、基板受け渡し位置に迅速に静止する。このとき、検査用ロボット15を高速で回転させ、基板受け渡し位置の手前で回転を減速させてホルダ本体7をストッパ53にゆっくり当接させることで、ストッパ53に対するホルダ本体7の衝撃力を和らげるとともに、基板ホルダ6の高速移動によって基板Wの受け渡しに要する時間を短縮することができる。
基板受け渡し位置に移動したホルダ本体7が静止したか否かの判断としては、例えば、振動センサなどを用いても良いが、所定時間が経過したか否かによって判断するようにしても良い。ホルダ本体7が静止したことをセンサや時間により確認した後、搬送用ロボット28を駆動制御して、基板ホルダ6からの基板Wの受け渡しを行なう。
なお、本実施形態では、静止機構50でホルダ本体7の先端部を支持することにより基板ホルダ6の振れを止めたが、基板ホルダ6の支持箇所としては、先端部に限らず、その他の箇所を採用しても良い。具体的には、基板ホルダ6の重心に対し、そのホルダ本体7の、先端アーム16による支持箇所とは反対側、すなわち、前記重心の位置から前記先端部の位置までの間であれば良い。
なお、本実施形態では、静止機構50でホルダ本体7の先端部を支持することにより基板ホルダ6の振れを止めたが、基板ホルダ6の支持箇所としては、先端部に限らず、その他の箇所を採用しても良い。具体的には、基板ホルダ6の重心に対し、そのホルダ本体7の、先端アーム16による支持箇所とは反対側、すなわち、前記重心の位置から前記先端部の位置までの間であれば良い。
以上説明のように、静止機構50を備えた本実施形態のマクロ検査装置1によれば、基板受け渡し位置へ移動される基板ホルダ6の重心に対し、そのホルダ本体7の、先端アーム16による支持箇所とは反対側がストッパ53によって保持されるので、基板ホルダ6を基板受け渡し位置において極めて迅速に静止させることができ、基板受け渡し位置における基板Wの受け渡し動作を速やかに行わせることが可能となる。
これにより、基板Wの検査に不要なロスタイムを削減することができ、基板Wの検査のタクトタイムを大幅に短縮し、検査の効率化を図ることができる。
また、基板受け渡し位置において、予め位置決めされた静止機構50にホルダ本体7を当接させることで、基板ホルダ6を精度良く水平に支持させることができ、基板Wの受け渡しを円滑に行うことができる。
これにより、基板Wの検査に不要なロスタイムを削減することができ、基板Wの検査のタクトタイムを大幅に短縮し、検査の効率化を図ることができる。
また、基板受け渡し位置において、予め位置決めされた静止機構50にホルダ本体7を当接させることで、基板ホルダ6を精度良く水平に支持させることができ、基板Wの受け渡しを円滑に行うことができる。
静止機構50としては、例えば、支柱51を伸縮可能として当接部54の高さ位置を上下に調整可能とするのが好ましい。この場合、基板受け渡し位置における当接部54の高さ位置の精度を向上させることができる。また、基板受け渡し位置の変更などに対して容易に対応することができる。
また、当接部54に吸着部あるいは磁石を設け、ホルダ本体7が当接した際に、このホルダ本体7の下面を真空吸着あるいは磁力により吸着することにより、さらに迅速かつ確実に基板ホルダ6を基板受け渡し位置に静止させることができる。
また、当接部54に吸着部あるいは磁石を設け、ホルダ本体7が当接した際に、このホルダ本体7の下面を真空吸着あるいは磁力により吸着することにより、さらに迅速かつ確実に基板ホルダ6を基板受け渡し位置に静止させることができる。
なお、静止機構50としては、上記構造のものに限定されず、各種の構造のものが適用可能である。
ここで、静止機構50の他の例について説明する。
図8に示す静止機構50は、支柱51の先端部にダンパ及びスプリングからなる振動減衰部55を設けた場合の例である。
このような振動減衰部55を設けた場合、当接部54に当接するホルダ本体7からの振動及び衝撃を確実に受け止め、基板ホルダ6を迅速に静止させることができる。
ここで、静止機構50の他の例について説明する。
図8に示す静止機構50は、支柱51の先端部にダンパ及びスプリングからなる振動減衰部55を設けた場合の例である。
このような振動減衰部55を設けた場合、当接部54に当接するホルダ本体7からの振動及び衝撃を確実に受け止め、基板ホルダ6を迅速に静止させることができる。
図9に示す静止機構50は、支柱51の先端部に、当接部として係合ピン56を有する係合部57を備えた場合の例である。係合ピン56は、ホルダ本体7側に向かって突出しており、ホルダ本体7の先端部に形成された係合溝7eに係合可能とされている。係合ピン56は、先端が半球状に形成された円柱形状を有し、図示しないコイルバネに接続された状態で、係合部57の穴内に挿入されている。その結果、係合ピン56は、前記穴に対して出没可能に設けられている。
静止機構50では、ホルダ本体7が基板受け渡し位置に移動すると、このホルダ本体7の係合溝7eに係合ピン56が係合する。その結果、基板ホルダ6を基板受け渡し位置に迅速に静止させることができる。
静止機構50では、ホルダ本体7が基板受け渡し位置に移動すると、このホルダ本体7の係合溝7eに係合ピン56が係合する。その結果、基板ホルダ6を基板受け渡し位置に迅速に静止させることができる。
図10に示す静止機構50は、支柱51の先端部に、側面視コ字状に形成されて一端側が互いに回動可能に連結された固定ブラケット61及び可動ブラケット62と、可動ブラケット62を回動させる駆動機構(図示略)とを備えている。固定ブラケット61は、支柱51に固定され、可動ブラケット62との連結側と反対側の他端部に弾性体64が設けられ、その表面が当接部65とされている。可動ブラケット62の他端部にも弾性体66が設けられ、その表面が挟持部67とされている。
そして、この静止機構50では、可動ブラケット62が、図10の仮想線に示す位置に配置された状態で、ホルダ本体7が基板受け渡し位置へ移動される。そして、ホルダ本体7の先端部下面が固定ブラケット61の当接部65に当接すると、前記駆動機構によって可動ブラケット62が時計回り(図中矢印α方向)へ回動される。これにより、ホルダ本体7は、その先端部が、固定ブラケット61の当接部65と可動ブラケット62の挟持部67とによって挟持され、基板ホルダ6が基板受け渡し位置にて迅速に静止させることができる。
図11に示す静止機構50は、支柱51の先端部に回動可能に支持された支持ブラケット71を備えている。この支持ブラケット71は、側面視V字状に形成され、V字を形成する内側の面がそれぞれ当接部72とされている。
この静止機構50では、支持ブラケット71が、図中仮想線にて示す位置に配置された状態で、ホルダ本体7が基板受け渡し位置に移動され、その先端部が支持ブラケット71に接触すると、支持ブラケット71が回転軸73を中心として時計回り(図中矢印β方向)に回動され、ストッパピン74に当接して図中実線に示す位置に停止する。これにより、ホルダ本体7は、その先端部における上下の角部が支持ブラケット71のそれぞれの当接部72に当接されるので、基板ホルダ6が基板受け渡し位置に迅速に静止される。
この静止機構50では、支持ブラケット71が、図中仮想線にて示す位置に配置された状態で、ホルダ本体7が基板受け渡し位置に移動され、その先端部が支持ブラケット71に接触すると、支持ブラケット71が回転軸73を中心として時計回り(図中矢印β方向)に回動され、ストッパピン74に当接して図中実線に示す位置に停止する。これにより、ホルダ本体7は、その先端部における上下の角部が支持ブラケット71のそれぞれの当接部72に当接されるので、基板ホルダ6が基板受け渡し位置に迅速に静止される。
図12に示す静止機構50は、その下部に移動機構75を備えている。この移動機構75は、ストッパ53を不図示のレールに沿って直線的に移動させることにより、基板ホルダ6が当接する当接部54を、基板受け渡し位置に配置されたホルダ本体7の先端部下方位置から外れた位置(図中仮想線にて示す位置)に配置させることができる。
この移動機構75を備えた静止機構50では、ホルダ本体7が基板受け渡し位置に移動するときだけストッパ53が基板受け渡し位置側に移動し、当接部54にホルダ本体7が当接して静止される。
この移動機構75を備えた静止機構50では、ホルダ本体7が基板受け渡し位置に移動するときだけストッパ53が基板受け渡し位置側に移動し、当接部54にホルダ本体7が当接して静止される。
つまり、この静止機構50は、検査時のホルダ本体7に対してストッパ53が干渉することがないように、必要時以外のときは移動機構75によってストッパ53を待避位置(図中仮想線にて示す位置)に移動させる。
なお、必要時以外のときにストッパ53を待避位置へ移動させる機構としては、直線的に水平移動させるものに限らず、所定の軸を中心として回転させることによりストッパ53を平面視で円弧状に移動させる回転式を採用しても良い。
なお、必要時以外のときにストッパ53を待避位置へ移動させる機構としては、直線的に水平移動させるものに限らず、所定の軸を中心として回転させることによりストッパ53を平面視で円弧状に移動させる回転式を採用しても良い。
図13に示す静止機構50は、ストッパ53を構成する支柱51が途中で分割されており、その分割箇所よりも上部のストッパ53が下部に対して回動可能に連結されている。
この静止機構50では、ホルダ本体7が基板受け渡し位置に移動するときだけ、支柱51が直線状をなし、当接部54上にホルダ本体7が当接して静止される。
つまり、この静止機構50の場合も、検査時のホルダ本体7に対してストッパ53が干渉することがないように、必要時以外のときは支柱51が連結箇所にて屈曲されて待避位置(図中仮想線にて示す位置)にストッパ53が移動する。
この静止機構50では、ホルダ本体7が基板受け渡し位置に移動するときだけ、支柱51が直線状をなし、当接部54上にホルダ本体7が当接して静止される。
つまり、この静止機構50の場合も、検査時のホルダ本体7に対してストッパ53が干渉することがないように、必要時以外のときは支柱51が連結箇所にて屈曲されて待避位置(図中仮想線にて示す位置)にストッパ53が移動する。
なお、本実施形態では、枠状に形成された基板ホルダ6を備えたマクロ検査装置1を例にとって説明したが、基板ホルダとしては、枠状のものに限定されないのは勿論である。
図14及び図15は、それぞれ、他の基板ホルダの平面図及び側面図である。これらの図に示す基板ホルダ81は、複数本の細長い基板支持部82を櫛歯状に配設したホルダ本体83を備えており、各基板支持部82の上面には、前述した吸着部9と同様の吸着部84が互いに間隔をあけて配置されている。そして、この基板ホルダ81では、ホルダ本体83上に載置された基板Wを、各基板支持部82上の各吸着部84によって真空吸着して保持する。
図14及び図15は、それぞれ、他の基板ホルダの平面図及び側面図である。これらの図に示す基板ホルダ81は、複数本の細長い基板支持部82を櫛歯状に配設したホルダ本体83を備えており、各基板支持部82の上面には、前述した吸着部9と同様の吸着部84が互いに間隔をあけて配置されている。そして、この基板ホルダ81では、ホルダ本体83上に載置された基板Wを、各基板支持部82上の各吸着部84によって真空吸着して保持する。
このような構造の基板ホルダ81を採用した場合、基板受け渡し位置に移動される基板ホルダ81の各基板支持部82の先端部下面側が、静止機構50のストッパ53によって保持され、迅速に静止される。
特に、上記構造の基板ホルダ81によれば、枠状の基板ホルダと比較して軽量化とともに外形寸法の小型化が図られるので、基板受け渡し位置における振れの発生自体を抑えることができ、さらに迅速に静止させることができる。
特に、上記構造の基板ホルダ81によれば、枠状の基板ホルダと比較して軽量化とともに外形寸法の小型化が図られるので、基板受け渡し位置における振れの発生自体を抑えることができ、さらに迅速に静止させることができる。
[第4実施形態]
本発明のマクロ検査装置の第4実施形態について、図面を参照しながら以下に説明する。なお、上記第1実施形態と同一構成要素には同一符号を付し、その説明を省略する。
図16及び図17は、それぞれ、他の基板ホルダの平面図及び側面図である。本実施形態では、この基板ホルダ6を回転・揺動させる駆動機構として検査用多関節アームロボット(検査用ロボット15)を採用しており、検査用ロボット15の駆動部への負担を軽減し、装置全体の小型化を図ることを目的としてバランスウエイト90を備えている。このバランスウエイト90を設けたこと以外は上記第1実施形態と同じであり、重複する説明は省略する。
本発明のマクロ検査装置の第4実施形態について、図面を参照しながら以下に説明する。なお、上記第1実施形態と同一構成要素には同一符号を付し、その説明を省略する。
図16及び図17は、それぞれ、他の基板ホルダの平面図及び側面図である。本実施形態では、この基板ホルダ6を回転・揺動させる駆動機構として検査用多関節アームロボット(検査用ロボット15)を採用しており、検査用ロボット15の駆動部への負担を軽減し、装置全体の小型化を図ることを目的としてバランスウエイト90を備えている。このバランスウエイト90を設けたこと以外は上記第1実施形態と同じであり、重複する説明は省略する。
ホルダ本体7の一端側に形成された連結部7fには、検査用多関節アームロボット(基板ホルダ駆動機構)を採用した検査用ロボット15の先端アーム16が、連結軸Xを中心として回動可能に連結されている。これにより、この基板ホルダ6が検査用ロボット15によって片持ち支持されている。検査用ロボット15は、例えば、図1に仮想線で示したような水平に姿勢保持される位置から、図1に実線で示したような所定の傾斜角度まで起き上がった位置まで、基板ホルダ6を揺動させたり、回転させたりすることが可能になっている。
基板ホルダ6には、検査用ロボット15の先端アーム16が連結された連結側端部に、一対のバランスウエイト90が取り付けられている。これらバランスウエイト90は、基板ホルダ6の両側部近傍に固定された支持アーム91の先端に支持されており、先端アーム16の連結軸Xに対して基板ホルダ6とは反対側に配置されている。
これらバランスウエイト90は、基板ホルダ6と先端アーム16との連結箇所を通る基板ホルダ6の中心軸Yを挟んで、中心軸の両側にそれぞれ振り分けて設けられ、しかも、連結軸Xを境に基板ホルダ6の重心Gの反対側にそれぞれ配置されている。
これにより、連結軸Xには、基板ホルダ6の重量により生じる回転モーメントが、バランスウエイト90の重量により生じる回転モーメントで減じられている。なお、基板ホルダ6の重量により生じる回転モーメントを略釣り合わせて相殺させるように、バランスウエイト90の重量及び配置を設定しても良い。
これにより、連結軸Xには、基板ホルダ6の重量により生じる回転モーメントが、バランスウエイト90の重量により生じる回転モーメントで減じられている。なお、基板ホルダ6の重量により生じる回転モーメントを略釣り合わせて相殺させるように、バランスウエイト90の重量及び配置を設定しても良い。
以上説明の構成を有する本実施形態のマクロ検査装置1によれば、基板ホルダ6と検査用ロボット15の先端アーム16との連結側端部に、先端アーム16との連結軸Xに対して重心Gと反対側にバランスウエイト90を設けたので、基板ホルダ6の重量により生じる連結軸X回りの回転モーメントを、バランスウエイト90の重量により生じる連結軸X回りの回転モーメントで減少させることができる。
その結果、基板ホルダ6を揺動自在に片持ち支持する検査用ロボット15の駆動部への負荷を大幅に低減し、装置全体の小型化を図ることができる。
その結果、基板ホルダ6を揺動自在に片持ち支持する検査用ロボット15の駆動部への負荷を大幅に低減し、装置全体の小型化を図ることができる。
また、各バランスウエイト90を、先端アーム16との連結箇所を通る基板ホルダ6の中心軸Yを挟んだ両側にそれぞれ振り分けて設けたので、先端アーム16との連結箇所に対する各バランスウエイト90による回転モーメントのバランスも釣り合わせることができ、これにより、中心軸Yを中心とした基板ホルダ6の回動を円滑に行うことができる。
なお、バランスウエイト90は、検査用ロボット15の先端アーム16との連結箇所を通る基板ホルダ6の中心軸Yに沿って位置調節が可能にしても良い。この場合、バランスウエイト90の位置を調節することにより、ホルダ本体7の重さの変化や傾斜角度などに合わせて連結軸Xにおける回転モーメントのバランスをさらに高精度に制御することができる。
バランスウエイト90の取り付け位置は、連結軸X回りの回転モーメントを減少させることができる位置であれば、本実施形態の位置に限定されない。バランスウエイト90の取り付け位置が異なる他の例について、以下に説明する。
図18は、一対のバランスウエイト90を、連結部7fに近接配置した場合を示す。
この場合、中心軸Y回りの基板ホルダ6の慣性モーメントを極力小さくすることができ、中心軸Yを中心とした基板ホルダ6の回動を円滑に行うことができる。
図18は、一対のバランスウエイト90を、連結部7fに近接配置した場合を示す。
この場合、中心軸Y回りの基板ホルダ6の慣性モーメントを極力小さくすることができ、中心軸Yを中心とした基板ホルダ6の回動を円滑に行うことができる。
図19及び図20は、先端アーム16が連結される連結部7fを、連結軸Xに対してホルダ本体7とは反対側に延在させた支持アーム91と、この支持アーム91に支持された一つのバランスウエイト90とを備えた場合を示す。バランスウエイト90は、基板ホルダ6の中心軸Y上に配設されている。
上記構造によれば、中心軸Y回りにおける基板ホルダ6の慣性モーメントをさらに小さくすることができ、中心軸Yを中心とした基板ホルダ6の回動をさらに円滑に行うことができる。
上記構造によれば、中心軸Y回りにおける基板ホルダ6の慣性モーメントをさらに小さくすることができ、中心軸Yを中心とした基板ホルダ6の回動をさらに円滑に行うことができる。
なお、この場合、先端アーム16が支持アーム91及びバランスウエイト90に干渉しないように、例えば、ホルダ本体7の連結部7fに対して先端アーム16が略直交するように連結させ、可動範囲が極力制限されないようにするのが好ましい。
なお、本変形例では、枠状に形成された基板ホルダ6を備えたマクロ検査装置1を例にとって説明したが、基板ホルダとしては、枠状のものに限定されないのは勿論である。
図21、及び図22に示すものは、図14に示したものと同じ基板ホルダ81であり、複数の細長い基板支持部82を櫛歯状に配設し、各基板支持部82の上面には、各吸着部84が互いに間隔をあけて設けられている。
図21、及び図22に示すものは、図14に示したものと同じ基板ホルダ81であり、複数の細長い基板支持部82を櫛歯状に配設し、各基板支持部82の上面には、各吸着部84が互いに間隔をあけて設けられている。
そして、この基板ホルダ81にも、先端アーム16とホルダ本体83の連結部83aとの連結側端部に、一対の支持アーム91を介して一対のバランスウエイト90が取り付けられており、これらバランスウエイト90が、連結軸Xを境に基板ホルダ81の重心Gの反対側に配置されている。
これにより、連結軸X回りにおいて、基板ホルダ81の重量により生じる回転モーメントと、バランスウエイト90の重量により生じる回転モーメントとが略釣り合って相殺される。
これにより、連結軸X回りにおいて、基板ホルダ81の重量により生じる回転モーメントと、バランスウエイト90の重量により生じる回転モーメントとが略釣り合って相殺される。
特に、上記構造の基板ホルダ81によれば、枠状の基板ホルダと比較して小型軽量化が図られるので、バランスウエイト90としても軽量なものを用いることができ、さらなる装置の小型化を図ることができる。
本発明によれば、基板ホルダ上における基板の位置決めを迅速に行うことができるので、タクトタイムを短縮して検査の効率化を図ることが可能になる。
また、本発明によれば、例えば、基板位置決め機構を基板ホルダ以外の位置に設けた場合、基板位置決め機構が基板ホルダに設けられていない分だけ、基板ホルダを小型化、軽量化することができる。したがって、基板ホルダ駆動機構にかかる負担を低減することができるので、基板ホルダ駆動機構を小型化でき、マクロ検査装置全体を小型化、軽量化することができる。
また、本発明によれば、上述のように、基板ホルダ駆動機構にかかる負担を低減することができるので、駆動機構として多関節アームロボットによるマクロ検査装置を実現することが可能になる。
また、本発明によれば、例えば、基板位置決め機構を基板ホルダ以外の位置に設けた場合、基板位置決め機構が基板ホルダに設けられていない分だけ、基板ホルダを小型化、軽量化することができる。したがって、基板ホルダ駆動機構にかかる負担を低減することができるので、基板ホルダ駆動機構を小型化でき、マクロ検査装置全体を小型化、軽量化することができる。
また、本発明によれば、上述のように、基板ホルダ駆動機構にかかる負担を低減することができるので、駆動機構として多関節アームロボットによるマクロ検査装置を実現することが可能になる。
Claims (28)
- 検査を受ける基板を保持する基板ホルダと;
前記基板に照明光を照射するマクロ照明光学系と;
前記基板ホルダを支持するとともに前記基板が前記照明光で照らされた状態で前記基板ホルダの姿勢を制御する基板ホルダ駆動機構と;
前記基板ホルダとの間で前記基板の受け渡しを行う基板搬送機構と;
前記基板ホルダ上に受け渡された前記基板に対してエアーの吹き付けを行うことにより、この基板を前記基板ホルダ上から浮き上がらせる基板浮上機構と;
この基板浮上機構により浮上状態にある前記基板を前記基板ホルダ上の基準位置に位置決めする基板位置決め機構と;
この基板位置決め機構により位置決めされた前記基板を前記基板ホルダに固定する基板固定機構と;
を備えたことを特徴とするマクロ検査装置。 - 請求項1に記載のマクロ検査装置であって、
前記基板ホルダ駆動機構が、多関節アームロボットを備える。 - 請求項1に記載のマクロ検査装置であって、
前記基板位置決め機構が、前記基板ホルダ以外の位置に設けられている。 - 請求項3に記載のマクロ検査装置であって、
前記基板位置決め機構が、前記基板をその周囲から挟持することにより、前記位置決めを行う。 - 請求項3に記載のマクロ検査装置であって、
前記基板位置決め機構が、前記基準位置に達した際の前記基板に当接する位置に固定された位置決め部材と;前記基板を前記位置決め部材に向けて付勢する付勢装置と;を備える。 - 請求項3に記載のマクロ検査装置であって、
前記基板ホルダに、前記基板位置決め機構との間の干渉を避ける第1の切り欠きが形成されている。 - 請求項1に記載のマクロ検査装置であって、
前記基板位置決め機構が、前記基板ホルダ上に設けられて前記基準位置に達した際の前記基板に当接する位置に固定された位置決め部材と;前記基板ホルダ以外の位置に設けられて前記基板を前記位置決め部材に向けて付勢する付勢装置と;を備える。 - 請求項1に記載のマクロ検査装置であって、
前記基板浮上機構により前記基板を前記基板ホルダから浮上させた状態で、前記基板ホルダ駆動機構により前記基板ホルダを傾斜させた際に、この基板ホルダの傾斜に沿って移動する前記基板が前記基準位置に達した際に当接する位置決め部材が、前記基板位置決め機構に備えられている。 - 請求項1に記載のマクロ検査装置であって、
前記基板ホルダを正面視した場合の外形寸法が、前記基板を正面視した場合の外形寸法よりも小さい。 - 請求項1に記載のマクロ検査装置であって、
前記基板搬送機構との間における前記基板の受け渡し位置に移動した前記基板ホルダに接してこの基板ホルダの振動を静止させる静止機構をさらに備える。 - 請求項10に記載のマクロ検査装置であって、
前記静止機構が、前記受け渡し位置に達した際の前記基板ホルダに当接してこの基板ホルダの振動を減衰させる弾性体を備える。 - 請求項11に記載のマクロ検査装置であって、
前記静止機構が、鉛直方向に立設された支柱の先端部にスプリングをさらに備え、このスプリング上に前記弾性体が設けられている。 - 請求項10に記載のマクロ検査装置であって、
前記基板ホルダの側部に第2の切り欠きが形成され;
前記静止機構が、前記受け渡し位置に達した際の前記基板ホルダの前記第2の切り欠きに係止する係止部を備える。 - 請求項10に記載のマクロ検査装置であって、
前記静止機構が、前記受け渡し位置に達した際の前記基板ホルダを挟持する挟持手段を備える。 - 請求項10に記載のマクロ検査装置であって、
前記静止機構が、前記受け渡し位置に達した際の前記基板ホルダを受け入れる凹部を有するとともに前記基板が前記受け渡し位置に向かう方向に沿って回動する回動部材と;この回動部材に受け入れられた前記基板ホルダが前記受け渡し位置に達した際の回転位置に前記回動部材を停止させる回動規制部材と;を備える。 - 請求項10に記載のマクロ検査装置であって、
前記静止機構が、前記受け渡し位置に達した前記基板ホルダを受け止める受け止め位置と、この受け止め位置から離間した待避位置との間で移動する。 - 請求項16に記載のマクロ検査装置であって、
前記静止機構が、前記受け止め位置及び前記待避位置間を水平移動する。 - 請求項16に記載のマクロ検査装置であって、
前記静止機構が、前記受け止め位置及び前記待避位置間を回転移動する。 - 請求項1に記載のマクロ検査装置であって、
前記基板ホルダ駆動機構が、前記基板ホルダの一辺を、この一辺に平行な第1の軸線回りに前記基板ホルダが回動可能なように支持し;
前記第1の軸線を回転中心として前記基板ホルダの位置とは反対側に位置するウエイトが、前記基板ホルダに設けられている。 - 請求項19に記載のマクロ検査装置であって、
前記基板ホルダ駆動機構が、前記基板ホルダを、前記第1の軸線に直交するとともに前記基板ホルダがなす平面に平行な第2の軸線回りに回動可能に支持し;
前記基板ホルダの重心位置と、前記第1の軸線及び前記第2の軸線間の交点と、前記ウエイトの重心位置とが略一直線上に配置されている。 - 請求項19に記載のマクロ検査装置であって、
前記基板ホルダ駆動機構が、前記基板ホルダを、前記第1の軸線に直交するとともに前記基板ホルダがなす平面に平行な第2の軸線回りに回動可能に支持し;
前記ウエイトが、前記第2の軸線を間に挟んで互いに接近するように一対設けられている。 - 検査を受ける基板の受け渡し位置に基板ホルダを停止させる基板ホルダ停止ステップと;
前記基板ホルダ上に前記基板を載置する基板載置ステップと;
前記基板に対してエアーを吹き付けてこの基板を前記基板ホルダ上から浮き上がらせる基板浮上ステップと;
浮上状態にある前記基板を前記基板ホルダ上の基準位置に位置決めする基板位置決めステップと;
前記基板位置決めステップ後の前記基板を前記基板ホルダに固定する基板固定ステップと;
を有するマクロ検査方法。 - 請求項22に記載のマクロ検査方法であって、
前記基板位置決めステップでは、前記基板をその周囲から挟持することにより、前記位置決めを行う。 - 請求項22に記載のマクロ検査方法であって、
前記基板が前記基準位置に達した際に当接する位置決め部材を前記基板ホルダに設け;
前記基板位置決めステップで、浮上状態の前記基板を前記位置決め部材に当接させるように前記基板ホルダを傾斜させる。 - 請求項22に記載のマクロ検査方法であって、
前記基板ホルダ停止ステップで、前記受け渡し位置に移動した前記基板ホルダの振動を減衰させることにより、前記基板ホルダを停止させる。 - 請求項22に記載のマクロ検査方法であって、
前記基板ホルダ停止ステップで、前記受け渡し位置に移動した前記基板ホルダを挟持することにより、前記基板ホルダを停止させる。 - 請求項22に記載のマクロ検査方法であって、
前記基板ホルダ停止ステップで、前記受け渡し位置に移動した前記基板ホルダを規定位置に係止させることにより、前記基板ホルダを停止させる。 - 請求項22に記載のマクロ検査方法であって、
前記基板ホルダの回転モーメントを、この回転モーメントと釣り合う回転モーメントを発生させるウエイトにより相殺する。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2006537713A JP4729499B2 (ja) | 2004-09-27 | 2005-09-26 | マクロ検査装置及びマクロ検査方法 |
Applications Claiming Priority (8)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2004279990 | 2004-09-27 | ||
JP2004279991 | 2004-09-27 | ||
JP2004279992 | 2004-09-27 | ||
JP2004279990 | 2004-09-27 | ||
JP2004279992 | 2004-09-27 | ||
JP2004279991 | 2004-09-27 | ||
JP2006537713A JP4729499B2 (ja) | 2004-09-27 | 2005-09-26 | マクロ検査装置及びマクロ検査方法 |
PCT/JP2005/017616 WO2006035703A1 (ja) | 2004-09-27 | 2005-09-26 | マクロ検査装置及びマクロ検査方法 |
Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JPWO2006035703A1 JPWO2006035703A1 (ja) | 2008-05-15 |
JP4729499B2 true JP4729499B2 (ja) | 2011-07-20 |
Family
ID=36118849
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP2006537713A Expired - Fee Related JP4729499B2 (ja) | 2004-09-27 | 2005-09-26 | マクロ検査装置及びマクロ検査方法 |
Country Status (5)
Country | Link |
---|---|
JP (1) | JP4729499B2 (ja) |
KR (1) | KR100791132B1 (ja) |
CN (1) | CN1906476B (ja) |
TW (1) | TW200614412A (ja) |
WO (1) | WO2006035703A1 (ja) |
Cited By (1)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
US9381653B2 (en) | 2014-03-10 | 2016-07-05 | Samsung Electronics Co., Ltd. | Robot and substrate handling apparatus including the same |
Families Citing this family (12)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP5265099B2 (ja) * | 2006-09-11 | 2013-08-14 | オリンパス株式会社 | 基板検査装置 |
JP5553532B2 (ja) * | 2009-06-04 | 2014-07-16 | パナソニック株式会社 | 光学検査装置 |
JP2011141127A (ja) * | 2010-01-05 | 2011-07-21 | Avanstrate Taiwan Inc | ガラス板の欠陥部分の目視検査方法及び目視検査装置 |
KR101367910B1 (ko) * | 2011-12-30 | 2014-02-28 | 엘아이지에이디피 주식회사 | 기판 얼라인장치 및 이것을 포함하는 기판 검사장비 |
CN102540515B (zh) * | 2012-01-12 | 2015-07-08 | 北京凌云光视数字图像技术有限公司 | 用于tft液晶屏的质量检测系统 |
CN102591044A (zh) * | 2012-01-12 | 2012-07-18 | 北京凌云光视数字图像技术有限公司 | Tft液晶屏的质量检测方法 |
CN106198570B (zh) * | 2016-08-15 | 2019-02-22 | 武汉华星光电技术有限公司 | 一种基板检测装置 |
CN106770364A (zh) * | 2017-01-26 | 2017-05-31 | 江苏东旭亿泰智能装备有限公司 | 基板定位机构、宏观检查装置及宏观检查方法 |
CN106918934A (zh) * | 2017-03-27 | 2017-07-04 | 武汉华星光电技术有限公司 | 基板宏观检查机 |
KR102475075B1 (ko) * | 2017-04-20 | 2022-12-07 | 니폰 덴키 가라스 가부시키가이샤 | 유리판의 제조 방법 및 제조 장치 |
CN108613990A (zh) * | 2018-07-13 | 2018-10-02 | 江苏东旭亿泰智能装备有限公司 | 一种微观和宏观复合检查机 |
CN109192673B (zh) * | 2018-08-27 | 2021-09-17 | 苏州精濑光电有限公司 | 一种晶圆检测方法 |
Citations (3)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPH03101119A (ja) * | 1989-09-14 | 1991-04-25 | Hitachi Electron Eng Co Ltd | 基板チャック機構 |
JP2001194312A (ja) * | 1999-10-25 | 2001-07-19 | Olympus Optical Co Ltd | マクロ検査用ホルダ機構 |
JP2003302346A (ja) * | 2002-04-12 | 2003-10-24 | Hitachi Electronics Eng Co Ltd | 薄板ワークの表面検査装置 |
Family Cites Families (2)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP3264276B2 (ja) * | 1991-05-09 | 2002-03-11 | 株式会社日立製作所 | 核酸断片分子量分離パターンの検出方法 |
KR20020065480A (ko) * | 2000-08-24 | 2002-08-13 | 올림파스 고가꾸 고교 가부시키가이샤 | 외관검사용 투광장치 |
-
2005
- 2005-09-23 TW TW094133013A patent/TW200614412A/zh unknown
- 2005-09-26 WO PCT/JP2005/017616 patent/WO2006035703A1/ja active Application Filing
- 2005-09-26 CN CN2005800015913A patent/CN1906476B/zh not_active Expired - Fee Related
- 2005-09-26 JP JP2006537713A patent/JP4729499B2/ja not_active Expired - Fee Related
- 2005-09-26 KR KR1020067010103A patent/KR100791132B1/ko not_active IP Right Cessation
Patent Citations (3)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPH03101119A (ja) * | 1989-09-14 | 1991-04-25 | Hitachi Electron Eng Co Ltd | 基板チャック機構 |
JP2001194312A (ja) * | 1999-10-25 | 2001-07-19 | Olympus Optical Co Ltd | マクロ検査用ホルダ機構 |
JP2003302346A (ja) * | 2002-04-12 | 2003-10-24 | Hitachi Electronics Eng Co Ltd | 薄板ワークの表面検査装置 |
Cited By (1)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
US9381653B2 (en) | 2014-03-10 | 2016-07-05 | Samsung Electronics Co., Ltd. | Robot and substrate handling apparatus including the same |
Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
WO2006035703A1 (ja) | 2006-04-06 |
KR20070037563A (ko) | 2007-04-05 |
JPWO2006035703A1 (ja) | 2008-05-15 |
TW200614412A (en) | 2006-05-01 |
CN1906476A (zh) | 2007-01-31 |
CN1906476B (zh) | 2010-10-06 |
KR100791132B1 (ko) | 2008-01-03 |
Similar Documents
Publication | Publication Date | Title |
---|---|---|
JP4729499B2 (ja) | マクロ検査装置及びマクロ検査方法 | |
JP4377918B2 (ja) | 基板ホルダ | |
JP4723204B2 (ja) | 統合された大型ガラス取り扱いシステム | |
TW200906695A (en) | Substrate adsorption device, substrate transportation device and external inspection equipment | |
US6635516B1 (en) | Substrate dropping prevention mechanism and substrate inspection device provided therewith | |
JP5189370B2 (ja) | 基板交換装置及び基板処理装置並びに基板検査装置 | |
JP5344545B2 (ja) | 基板保持装置 | |
KR101346048B1 (ko) | 기판 검사 장치 | |
JP5005945B2 (ja) | 基板検査装置 | |
JPH07306153A (ja) | 基板外観検査装置 | |
JP4394797B2 (ja) | 基板搬送装置 | |
JP2008078304A (ja) | 基板保持機構およびそれを用いた基板検査装置 | |
JPH11165864A (ja) | 基板搬送装置及び基板処理装置 | |
JPH02126648A (ja) | 処理装置 | |
JPH0922933A (ja) | 基板搬送方法及びその装置 | |
JP3590170B2 (ja) | 基板搬送装置及びこれを用いた基板外観検査装置 | |
JP4334895B2 (ja) | 大型基板ステージ | |
JP2009154213A (ja) | 搬送装置、搬送方法、およびデバイス製造方法 | |
JP4282379B2 (ja) | ウエハ検査装置 | |
JP5928771B2 (ja) | 基板検査装置および基板検査方法 | |
TWI765999B (zh) | 物體交換裝置、物體處裡裝置、平板顯示器的製造方法、元件製造方法、物體交換方法以及物體處理方法 | |
JP3330447B2 (ja) | 基板位置決め方法および基板位置決め装置 | |
JP4002189B2 (ja) | 基板搬送装置 | |
JPH1076491A (ja) | プレート受渡しシステム | |
KR20040047984A (ko) | 홀더 장치 |
Legal Events
Date | Code | Title | Description |
---|---|---|---|
A621 | Written request for application examination |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A621 Effective date: 20080924 |
|
A01 | Written decision to grant a patent or to grant a registration (utility model) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A01 Effective date: 20110405 |
|
A01 | Written decision to grant a patent or to grant a registration (utility model) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A01 |
|
A61 | First payment of annual fees (during grant procedure) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A61 Effective date: 20110418 |
|
FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20140422 Year of fee payment: 3 |
|
LAPS | Cancellation because of no payment of annual fees |