CN1906476A - 宏观检查装置和宏观检查方法 - Google Patents

Abstract

一种宏观检查装置，其具有：基板保持器，其保持接受检查的基板；宏观照明光学系统，其将照明光照射到所述基板上；基板保持器驱动机构，其支承所述基板保持器，同时，在所述基板被所述照明光照射的状态下，控制所述基板保持器的姿态；基板搬送机构，其在与所述基板保持器之间进行所述基板的交接；基板浮起机构，其通过对交接在所述基板保持器上的所述基板进行空气的喷出，使该基板从所述基板保持器上浮起；基板定位机构，其使通过该基板浮起机构而处于浮起状态的所述基板定位在所述基板保持器上的基准位置；以及基板固定机构，其将由该基板定位机构定位后的所述基板固定在所述基板保持器上。

Description

宏观检查装置和宏观检查方法

技术领域

本发明涉及在玻璃基板等大型基板的外观检查中使用的宏观检查装置，以及利用该宏观检查装置的宏观检查方法。

本申请以特愿2004-279990号、特愿2004-279991号、以及特愿2004-279992号作为基础申请，并引用它们的内容。

背景技术

在液晶显示器(LCD)等平板显示器(FPD)的制造工序中，存在用目视检查(宏观检查)在各制造工序中制造的透明基板(例如主玻璃基板。以下，简称为玻璃基板)的外观的检查工序。在该检查工序中，利用基板外观检查装置，该基板外观检查装置通过在将保持玻璃基板的基板保持器立起成预定角度的状态下从上方照射宏观照明光，就能够进行该玻璃基板上的缺陷检查。

下述专利文献1中所述的宏观检查装置具有：基板保持器，其由具有比矩形状的玻璃基板稍小的开口部的矩形框状的框体构成；以及2轴旋转机构，其可进行如下旋转：用于将基板保持器以朝向观察者侧的方式立起成预定角度的上下方向的旋转、以及用于使基板保持器摆动·翻转的左右方向的旋转。在该宏观检查装置中，用基板保持器的上面支承基板背面的周边部。在基板保持器的上面，设置有定位机构，该定位机构夹持玻璃基板并对其进行定位。该定位机构具有：多个基准销，限制玻璃基板的相互邻接的2边的基准位置，该玻璃基板沿基板保持器的矩形开口部的相互邻接的2边被固定；以及压紧销，其面对这些基准销，沿基板保持器的矩形开口部相互邻接的其它2边设置，可向上述各基准销侧移动。在将玻璃基板载置于基板保持器上的状态下，通过将各压紧销压紧在玻璃基板侧，玻璃基板的2边抵靠在各基准销上，其结果，被定位在基板保持器上的基准位置。

下述专利文献2中所述的宏观检查装置具有：基板保持器，其保持玻璃基板；以及提升驱动部，其连接到该基板保持器的中央部。通过交换基板保持器的前端部和后端部，使基板保持器向表面侧或背面侧转动。在该宏观检查装置中，可以通过在使基板保持器向表面侧转动的同时，从上方进行宏观照明，来进行表面的目视观察，通过在使其向背面侧转动的同时，进行后照光照明，来进行背面的目视观察。

下述专利文献3中表示的宏观检查装置，是用于目视检查与FPD用玻璃基板(2000mm)相比，为200mm、300mm非常小的晶片(wafer)基板的检查装置。该宏观检查装置具有机械手，该机械手在其臂的前端具有可自由扭转的手腕部，该臂沿水平方向转动自由地连接到基座(base)上。在上述手腕部的前端，安装有晶片保持器，其把持晶片基板并进行自转。用晶片保持器把持由晶片出入机搬送的晶片基板的周边，并通过使手腕部扭转，来使晶片基板向表面侧或背面侧自转，进行姿态控制，从而可以进行晶片基板的定位及其表背面的目视观察。

专利文献1：特开平7-306153号公报

专利文献2：特开平11-94752号公报

专利文献3：特开平8-125004号公报

但是，在FPD用的宏观检查装置中，基片尺寸逐年大型化，目前，已出现一个边超过2000mm、接近3000mm的玻璃基板。伴随玻璃基板的大型化，基板保持器也必须大型化，但当基板保持器大型化时，就存在施加到使基板保持器旋转·摆动的基板保持器驱动机构上的负荷变大的问题。特别地，在要实现利用多关节臂机械手作为基板保持器驱动机构，通过该多关节臂机械手悬臂支承基板保持器，使基板保持器立起成预定角度来用目视进行检查的宏观检查装置的情况下，由于大的负荷施加到多关节臂机械手上，因此，实现困难。此外，当基板保持器的尺寸变大时，用于使基板保持器摆动的空间也必须变大，因此，就存在装置大型化的问题。

发明内容

本发明鉴于上述状况而完成的，其目的在于，降低施加到使基板保持器旋转·摆动的基板保持器驱动机构上的负担。此外，其目的还在于防止装置的大型化。

此外，在现有的宏观检查装置中，由于在基板保持器的一边设置转动轴，进行悬臂支承，因此，伴随该基板保持器的大型化，当使重的基板保持器转动后停止时，就会产生基板保持器的前端部振动大的问题。如果在基板保持器停止时产生振动，则直到静止为止就要相当长的时间。因此，在基板保持器静止之前，就不能由搬送装置进行基板的交接，随着待机时间的增加，相应地，就会产生检查所需的生产节拍时间增加的问题。特别地，当要实现通过多关节臂机械手悬臂支承基板保持器的宏观检查装置的情况下，当通过多关节臂机械手，使基板保持器停止在基板的交接位置时，由于在基板保持器的前端部上施加大的转矩，使基板保持器振动，因此实现困难。

本发明就是鉴于上述状况而完成的，其目的在于，使由基板保持器驱动机构转动自由·摆动自由地支承的基板保持器，迅速地静止在基板的交接位置上，从而，实现基板交接的平稳化，缩短生产节拍时间，实现检查的高效化。此外，其目的还在于，通过对基板保持器上的基板迅速地进行定位，缩短生产节拍时间，实现检查的高效化。

此外，为了能自由地控制基板保持器的姿态，用多关节臂机械手悬臂支承基板保持器的宏观检查装置的实用化正在进展。在像晶片基板那样的小型且重量轻的基板中，如上述引用文献3所示，即使悬臂支承基板保持器，由基板保持器停止时的基板保持器的振动产生的影响也很小，此外，施加到连接部位的负荷也小，因此，可以没有问题地进行处理。但是，保持FPD用的大型玻璃基板的基板保持器，存在着大型·重量化的倾向。从而，当要利用悬臂支承该基板保持器的多关节臂机械手，对基板保持器在多方向进行姿态控制时，从多关节臂机械手的臂与基板保持器的连接部到基板保持器前端的距离，与基板的尺寸成比例地变长，因此，在基板保持器的前端侧就会大大地偏离平衡，因停止时的转矩，使基板保持器产生大的振动，并且会产生在臂与基板保持器的连接部上施加大的负荷这一新问题。

根据这样的各种问题，不能容易地实现利用多关节臂机械手的宏观检查装置。

本发明就是鉴于上述状况而完成的，目的在于实现一种宏观检查装置，其可以减轻施加到使基板保持器移动的基板保持器驱动机构(具有多关节臂机械手的检查用机械手)的驱动部上的负担，并使用多关节臂机械手。

为解决上述课题，本发明采用了以下手段。

即，本发明的宏观检查装置具有：基板保持器，其保持接受检查的基板；宏观照明光学系统，其将照明光照射到上述基板上；基板保持器驱动机构，其支承上述基板保持器，同时，在上述基板被上述照明光照射的状态下，控制上述基板保持器的姿态；基板搬送机构，其在与上述基板保持器之间进行上述基板的交接；基板浮起机构，其通过对交接在上述基板保持器上的上述基板进行空气的喷出，使该基板从上述基板保持器上浮起；基板定位机构，其使通过该基板浮起机构而处于浮起状态的上述基板定位在上述基板保持器上的基准位置；以及基板固定机构，其将由该基板定位机构定位后的上述基板，固定在上述基板保持器上。

在该宏观检查装置中，基板搬送机构将基板载置于在基板交接位置待机的基板保持器上。这样被载置的基板通过基板浮起机构的空气喷出，从基板保持器上浮起。进而，将处于该浮起状态的基板通过基板定位机构定位在基准位置后，由基板固定机构进行固定。这样，在完成基板向基板保持器上的固定之后，通过由基板保持器驱动机构进行基板保持器的姿态控制，来进行基板的移动控制，以使观察者容易进行宏观观察。从而，根据该宏观检查装置，由于可以迅速地进行基板保持器上的基板的定位，因此，就可以缩短生产节拍时间，实现检查的高效化。

上述基板保持器驱动机构，也可以具有多关节臂机械手。

上述基板定位机构，也可以设置在上述基板保持器以外的位置。

在此情况下，与基板定位机构没有设置在基板保持器上相应，就可以使基板保持器小型化、轻量化。从而，就可以快速地进行基板保持器的移动，可以缩短检查时间。此外，可以使控制基板保持器姿态的基板保持器驱动机构小型化，可以使整个宏观检查装置小型化、轻量化。

上述基板定位机构也可以通过将上述基板从其周围夹持，进行上述定位。

上述基板定位机构也可以具有：定位部件，其被固定在与到达上述基准位置时的上述基板抵接的位置；以及施力装置，其使上述基板朝向上述定位部件施力。

在上述基板保持器上，也可以形成有第1切口，其避免与上述基板定位机构之间的干涉。

在此情况下，由于基板定位机构容易保持基板，因此，即使加大基板定位机构的、保持基板的保持部的大小，通过形成在基板保持器上的第1切口，可以避免该保持部对基板保持器进行干涉。

上述基板定位机构也可以具有：定位部件，其设置在上述基板保持器上，并被固定在与到达上述基准位置时的上述基板抵接的位置；以及施力装置，其设置在上述基板保持器以外的位置，使上述基板朝向上述定位部件施力。

在此情况下，将基板保持器载置于在基板交接位置待机的基板保持器上，然后，通过施力装置将基板压紧在定位部件上，就可以将基板定位在基准位置。而且，由于施力装置被设置在基板保持器之外，因此，与将施力装置设置在基板保持器上的情况相比较，可以使基板保持器轻量化。其结果，可以减小施加到基板保持器驱动机构上的负荷(即，基板保持器的转矩)。从而，可以使基板保持器驱动机构小型化，所以，也可以实现整个宏观检查装置的小型化。

在上述基板定位机构中，也可以具有定位部件，在由上述基板浮起机构使上述基板从上述基板保持器浮起的状态下，在通过上述基板保持器驱动机构使上述基板保持器倾斜时，沿该基板保持器的倾斜移动的上述基板在到达上述基准位置时，与该定位部件抵接。

在此情况下，在交接位置，用基板保持器接收基板后，在通过由基板浮起机构喷出空气，使基板从基板保持器浮起的状态下，利用基板保持器驱动机构使基板保持器倾斜。于是，沿着基板保持器的倾斜，基板因自重而移动，通过与定位部件抵接，其移动停止，完成向基准位置的定位。这样，可以省略为了在基板保持器上定位而使基板移动的结构要素。

也可以使从正面观察上述基板保持器时的外形尺寸，小于从正面观察上述基板时的外形尺寸。

在此情况下，由于基板定位机构容易保持基板，因此，即使加大基板定位机构的、保持基板的保持部的大小，也可以避免该保持部对基板保持器进行干涉。

还可以具有静止机构，其使移动到与上述基板搬送机构之间的上述基板交接位置上的上述基板保持器停止。

在此情况下，由于通过预先等待的静止机构，使移动到上述交接位置的基板保持器停止，因此，与在悬臂支承的状态下，使基板保持器单纯地停止在上述交接位置的情况相比，可以抑制或防止基板保持器的振动。其结果，可以非常迅速地使基板保持器在预定位置静止下来，因此，就可以快速地进行基板交接位置上的基板交接动作。从而，可以削减基板检查中无用的空载时间，可以大幅度地缩短基板检查的生产节拍时间，可以实现检查的高效化。

上述静止机构可以具有弹性体，其与到达上述交接位置时的上述基板保持器抵接，使该基板保持器的振动衰减。

上述静止机构还可以具有弹簧，其在预定位置上被固定成轴线与基板保持器基本垂直，在该弹簧上设置上述弹性体。

在上述基板保持器的侧部可以形成有第2切口，在上述静止机构中也可以具有卡定部，其卡定在到达上述交接位置时的上述基板保持器的上述第2切口中。

上述静止机构还可以具有夹持单元，其夹持到达上述交接位置时的上述基板保持器。

上述静止机构也可以具有：转动部件，其具有接受到达上述交接位置时的上述基板保持器的凹部，同时，使上述基板沿朝向上述交接位置的方向转动；转动限制部件，使上述转动部件停止在被该转动部件接受的上述基板保持器到达上述交接位置时的旋转位置。

上述静止机构可以在下述2个位置之间移动：阻挡位置，阻挡使到达上述交接位置的上述基板保持器；避让位置，其离开该阻挡位置。

在此情况下，可以可靠地避免检查实施中的基板保持器与静止机构干涉。

并且，上述静止机构也可以在上述阻挡位置与上述避让位置之间水平移动。

或者，上述静止机构也可以在上述阻挡位置与上述避让位置之间旋转移动。

上述基板保持器驱动机构可以支承上述基板保持器的一边，以使上述基板保持器可绕与该边平行的第1轴线转动；以上述第1轴线为旋转中心并位于上述基板保持器的位置的相反侧的平衡块(weight)，被设置在上述基板保持器上。

在此情况下，以第1轴线为旋转中心，基板保持器与平衡块平衡，因此，与不具有平衡块的情况比较，可以减小施加到基板保持器驱动机构上的负荷(即，基板保持器的转矩)。其结果，可以使基板保持器驱动机构小型化，因此，可以实现整个宏观检查装置的小型化。此外，也可以采用多关节臂机械手作为基板保持器驱动机构。

上述保持器驱动机构可以将上述基板保持器支承成可绕第2轴线转动，该第2轴线与上述第1轴线正交，同时，与上述基板保持器形成的平面平行；上述基板保持器的重心位置、上述第1轴线与上述第2轴线间的交点、以及上述平衡块的重心位置可以基本被配置在一条直线上。

在此情况下，可以调整绕第1轴线的转矩平衡以及绕第2轴线的转矩平衡，因此，可以减小施加到基板保持器驱动机构上的负荷(即，基板保持器的转矩)。其结果，可以使基板保持器驱动机构可靠地小型化，因此，可以实现整个宏观检查装置的小型化。

上述保持器驱动机构可以将上述基板保持器支承可绕第2轴线转动，该第2轴线与上述第1轴线正交，同时，与上述基板保持器形成的平面平行；一对上述平衡块可以设置成，将上述第2轴线夹在中间并相互接近。

在此情况下，将一对平衡块设置成将上述第2轴线夹在中间并相互接近，因此，可以减小绕第2轴线的转矩。

本发明的宏观检查方法具有下述步骤：基板保持器停止步骤，其使基板保持器停止在接受检查的基板的交接位置；基板载置步骤，其将上述基板载置在上述基板保持器上；基板浮起步骤，其对上述基板喷出空气，使该基板从上述基板保持器上浮起；基板定位步骤，其将处于浮起状态的上述基板，定位在上述基板保持器上的基准位置；以及基板固定步骤，其将上述基板定位步骤后的上述基板，固定在上述基板保持器上。

根据该宏观检查方法，可以迅速地进行基板保持器上的基板的定位，因此，就可以缩短生产节拍时间，可以实现检查的高效化。

并且，在上述基板定位步骤中，也可以通过将上述基板从其周围夹持，进行上述定位。

可以将上述基板在到达上述基准位置时所抵接的定位部件，设置在上述基板保持器上；可以在上述基板定位步骤，使上述基板保持器倾斜，以使处于浮起状态的上述基板，抵接在上述定位部件上。

在此情况下，当通过基板保持器驱动机构使基板保持器倾斜时，基板沿基板保持器的倾斜移动，通过与定位部件抵接，其移动停止，完成向基准位置的定位。这样，可以省略为了在基板保持器上进行定位而使基板移动的结构要素。

在上述基板保持器停止步骤中，也可以通过使移动到上述交接位置的上述基板保持器的振动衰减，来使上述基板保持器停止。

在此情况下，通过使移动到上述交接位置的基板保持器的振动衰减，来使基板保持器停止，因此，与在悬臂支承状态下使基板保持器单纯地停止在上述交接位置的情况相比，可以非常迅速地使基板保持器静止。从而，就可以快速地进行基板交接位置上的基板交接动作。从而，可以削减基板检查中无用的空载时间，可以大幅度地缩短基板检查的生产节拍时间，可以实现检查的高效化。

在上述基板保持器停止步骤中，也可以通过夹持移动到上述交接位置的上述基板保持器，使上述基板保持器停止。

在上述基板保持器停止步骤中，也可以通过使移动到上述交接位置的上述基板保持器卡定在预定位置上，使上述基板保持器停止。

也可以利用产生与该转矩平衡的转矩的平衡块，与上述基板保持器的转矩抵消。

在此情况下，由基板保持器产生的转矩与由平衡块产生的转矩相平衡，因此，与不具备平衡块的情况相比，可以使施加到用于进行基板保持器的姿态控制的驱动机构上的负荷(即，基板保持器的转矩)减小。其结果，可以使上述驱动机构小型化，因此，可以实现整个宏观检查装置的小型化。此外，也可以采用多关节臂机械手作为驱动机构。

根据本发明的宏观检查装置和宏观检查方法，可以迅速地进行基板保持器上的基板的定位，因此，可以缩短生产节拍时间，可以实现检查的高效化。

此外，根据本发明，例如，在将基板定位机构设置在基板保持器以外的位置的情况下，与基板定位机构没有设置在基板保持器上相应，就可以使基板保持器小型化、轻量化。从而，可以减小施加到基板保持器驱动机构上的负荷，因此，可以使基板保持器驱动机构小型化，可以使整个宏观检查装置小型化、轻量化。

此外，根据本发明，如上所述，由于可以减小施加到基板保持器驱动机构上的负荷，因此，可以实现采用多关节臂机械手作为驱动机构的宏观检查装置。

附图说明

图1是表示本发明的第1实施方式的宏观检查装置的概略结构的侧面图。

图2是表示该宏观检查装置中所具有的基板保持器位于水平位置时的俯视图，是沿图1的II-II线箭头方向的视图。

图3是将该宏观检查装置中所具有的基板支承部，沿图2的III-III线、IV-IV线观察时的剖面图。纸面的右图表示吸附部的位置上的基板支承部的剖面图，纸面的左图表示支承销的位置上的基板支承部的剖面图。

图4是该宏观检查装置的相当于图1的图，是表示使升降销上升，使基板支承起来的状态的侧面图。

图5是表示该宏观检查装置中所具有的搬送用机械手的俯视图。

图6是表示本发明的第2实施方式的宏观检查装置的主要部分的图，是相当于图2的俯视图。

图7是表示本发明的第3实施方式的宏观检查装置的主要部分的图，是由静止机构保持的基板保持器的侧面图。

图8是说明该静止机构的其它例的侧面图。

图9是说明该静止机构的其它例的侧面图。

图10是说明该静止机构的其它例的侧面图。

图11是说明该静止机构的其它例的侧面图。

图12是说明该静止机构的其它例的侧面图。

图13是说明该静止机构的其它例的侧面图。

图14是表示该宏观检查装置的基板保持器的其它例的图，是相当于图2的俯视图。

图15是该基板保持器的侧面图。

图16是表示本发明的第4实施方式的宏观检查装置的基板保持器的图，是相当于图2的俯视图。

图17是该基板保持器的侧面图。

图18是说明该基板保持器的其它例的俯视图。

图19是说明该基板保持器的其它例的俯视图。

图20是该基板保持器的侧面图。

图21是说明该基板保持器的其它例的俯视图。

图22是该基板保持器的侧面图。

符号说明

1宏观检查装置；3光源(宏观照明关学系统)；6、81基板保持器；7e卡合槽(第2切口)；9、11、84吸附部(基板固定机构)；15检查用机械手(基板保持器驱动机构、多关节臂机械手)；20定位单元(基板定位机构)；21气缸(施力装置)；28搬送用机械手(基板搬送机构)；42a、42b基准销(定位部件)；43a、43b切口(第1切口)；50静止机构；52弹性体；55振动衰减部(弹簧)；56卡合销(卡定部)；61、62固定托架、可动托架(夹持单元)；72抵接部(转动部件)；74挡销(转动限制部件)；90配重(平衡块)；W基板；X连接轴(第1轴线)；Y中心轴(第2轴线)。

具体实施方式

下面，一边参照附图，一边对本发明的宏观检查装置的各实施方式进行说明。

[第1实施方式]

图1是表示本发明的第1实施方式的宏观检查装置的概略结构的侧面图。

宏观检查装置1被配置在净化间内，其具有装置主体2，该装置主体2具有包围上面和下面被敞开的空间周围的侧壁。在该装置主体2的上面，安装有过滤器(省略图示)，其用于提高装置主体2内的净化度。此外，在装置主体2的上部，作为宏观照明光学系统，设置有例如金属卤化物灯或钠灯等宏观照明用的光源3、以及设置在从该光源3射出的照明光的光轴上的反射镜4。在反射镜4的下方，配置有菲涅尔透镜5，其会聚来自光源3的照明光，并将其引导至基板W上。菲涅尔透镜5使来自光源3的发散光成为会聚光。另外，接近菲涅尔透镜5配置有透过型液晶散射板，其具有将来自光源3的发散光变换为均匀的面光源的散射功能。宏观照明光学系统既可以对液晶显示器或等离子显示器等的透明基板整体一齐照明，此外也可以局部照明，使照明光向一维方向或二维方向进行扫描。

基板W是由透明平板构成的平板显示器(FPD)用的透明基板，通过基板搬送装置(搬送机械手)，如图1中用假想线所示的那样，被搬入到水平配置的基板保持器6上。作为由宏观检查装置检查的透明基板，存在可以制造多块FPD用的矩形平板的多倒角的主玻璃基板，其外形形成为矩形，在比周边稍靠内侧，形成有矩形状的图形区域。以下，将基板周边与矩形图形之间称为“基板的周边部”。

如图2所示，基板保持器6具有矩形框状的保持器主体7，其形成有比基板W的外形小的矩形的开口部8。保持器主体7通过一对短边部7c、7d将相互平行的一对长边部7a、7b的各自的两端部连接起来，形成开口部8。开口部8的大小形成为比基板W的外形尺寸小，比上述矩形图形区域稍大的矩形尺寸。并且，用保持器主体7的内周侧周边部，支承基板W的背面的周边部。在保持器主体7的内周侧的周边部，在与基板W重叠的区域，隔开预定间隔地配设有多个吸附部(基板固定机构)9。这些吸附部9由下列部分构成：吸盘，其被设定为比保持器主体7的上面稍微突出，在吸附时，与保持器主体7的上面基本共面；和吸引用流体泵，其经由通气管，连接到形成在该吸盘上的贯通孔上(以上，省略图示)。

作为在进行基板W的定位时，通过喷出空气使基板W浮起，减小对基板保持器6的接触阻力(摩擦阻力)的基板浮起单元，在吸附部9上例如连接有排气用流体泵，其经由换向阀向上述通气管喷出空气(以上，省略图示)。从而，就可以从上述各吸盘9喷出压缩空气，通过上述阀门的切换，就可以对吸引和喷出择一地进行。这样，既可以使所有的吸附部9都具有可吸引和喷出(基板浮起机构)的结构，也可以只使一部分吸附部9具有可吸引和喷出的结构。此外，除吸附部9之外，作为基板浮起单元，还可以将具有空气喷出用喷孔的喷起部设置在保持器主体7上，将空气吸引和空气喷出作成分开的系统。

在保持器主体7的开口部8内，相互隔开充分的间隔，固定有多个基板支承部10。各基板支承部10由金属制成，如图3的左右两图所示，其概略剖面形状为高度尺寸比宽度尺寸长的纵长棒状(木插栓状)，与保持器主体7相比，为小型且重量轻。这些基板支承部10的详细剖面形状同样如图3的左右两图所示，具有纵长的六角形形状，在上端和下端中的至少上端，形成有朝向观察视野外反射上述照明光的倾斜面10b、10d，以使透过基板W的照明光由基板支承部10的上端反射，不会妨碍观察。在本实施方式中，在各基板支承部10的上端和下端两方，形成有倾斜面10b、10b。

在这些基板支承部10的上部，在平坦地切割棱线的一部分而形成的安装面10a上，垂直地突出设置有对基板W的背面进行吸附的吸附部(基板固定机构)11(图3的右图)，以及与基板W的背面抵接的支承销(pin)12(图3的左图)。这些吸附部11和支承销12如图2所示，既可以交替地配置在同一基板支承部10上，此外，也可以在全部的各基板支承部10上配置吸附部12，进而，也可以在各基板支承部10上，交替地配置支承销12或吸附部11。

吸附部11具有：杆11a，其立设在基板支承部10的上面；以及吸盘11b，其安装在杆11a的前端。在杆11a和吸盘11b中，形成有空气流通孔(省略图示)，上述吸引用流体泵经由通气管与该空气流通孔连接(以上，省略图示)。

作为在进行基板W的定位时，通过喷出空气使基板W浮起，减小对基板保持器6的接触阻力(摩擦阻力)的基板浮起单元，在吸附部11上例如连接有排气用流体泵，其经由换向阀向上述通气管喷出空气(以上，省略图示)。从而，就可以从吸盘11b喷出压缩空气，通过上述阀门的切换，就可以对吸引和喷出择一地进行。这样，既可以使所有吸附部11具有可吸引和喷出的结构，也可以只使部分吸附部11具有可吸引和喷出的结构。此外，除吸附部11之外，作为基板浮起机构，还可以将具有空气喷出用喷孔的喷起部，设置在保持器主体7上，将空气吸引和空气喷出作成分开的系统。

支承销12设置有：杆12b，其立设在基板支承部10的上面；和大致球形的抵接部12a，其设置在杆12b的前端，由特氟隆(テフロン)(注册商标)等比玻璃基板硬度小且耐磨性优秀的减磨材料(减摩材)构成。对吸附部11的上端位置和支承销12的上端位置一起进行高度调整，以使它们与吸附部9的上面位置基本相等。

如图1和图2所示，作为使基板保持器6旋转·摆动的基板保持器驱动机构，例如，向多方向(图示A、B、C、D的方向)自由动作的、连接多个臂的作为多关节臂机械手的检查用机械手15，被配置在装置主体1的下部。

如图2所示，保持器主体7的一方的长边部7a连接到检查用机械手15的前端臂16上。检查用机械手15通过未图示的控制装置，例如，如图1中用假想线表示的那样，从基板保持器6保持为水平姿态的基板交接位置，可以使基板保持器6向箭头A方向旋转到图1中用实线表示的预定的倾斜角度为止，或者使基板保持器6绕前端臂16的轴线，向箭头C方向(图2)旋转，或者使基板保持器6在箭头B(图1)方向上上下移动，或者使基板保持器6在箭头D方向(图2)上左右移动。

通过利用该检查用机械手15，可以在使基板保持器6立起成适合在宏观照明下进行观察的角度的状态下，使基板保持器6在上下左右方向移动，可以使宏观照明光对整个基板W进行扫描。在将宏观照明光学系统设置成可在XY方向上移动的情况下，作为检查用机械手15，也可以采用使基板保持器6向箭头A方向旋转或摆动的单轴式基板保持器驱动机构，或采用使基板保持器6向箭头A方向和箭头C方向旋转的二轴式基板保持器驱动机构。

并且，为了与立起时的基板保持器6的前面的位置对应，在装置主体2上形成有开口(省略图示)，使观察者可以用目视观察立起状态的基板W的外观。

如图2所示，为了接受基板W，当在基板交接位置将基板保持器6控制为水平姿态的状态下，在基板保持器6的周围，配置框架17。框架17除开检查用机械手15可摆动的范围外，沿保持器主体7的各边部7a、7b、7c、7d，以包围保持器主体7的周围的方式相对于装置主体2固定。作为将基板W定位在保持器主体7上的基准位置的基板定位机构，在该框架17的上部，离开保持器主体7的周围，设置有多个定位单元20。这些定位单元20在处于与保持器主体7的长边部7a、7b和短边部7d的位置面对的框架17上，各设置2个，在与基板保持器W的短边部7c面对的位置的框架17上，设置1个。配设在短边部7d侧、长边部7a、7b侧的各定位单元20，被设置为面对基板W的各角部。但是，配设在短边部7c侧的定位单元20，被设置为面对基板W的左短边的中心附近。

各定位单元20具有：驱动部，其由固定在框架17上的气缸21等构成；按压部件，其由进退自由地支承在气缸21上的棒状的压紧销22等构成。在压紧销22的前端，设置有圆柱形的抵接部22a，其由特氟隆(テフロン)(注册商标)等比玻璃基板硬度小且耐磨性优秀的减磨材料构成。各压紧销22被配置在比基板保持器6的上面位置稍靠上方的位置，并且可在下述两个位置之间移动：这些压紧销22的抵接部22a抵靠在玻璃基板W的侧面的定位位置(基准位置)；如图2的假想线所示，压紧销22的抵接部22a从保持器主体7朝向外侧离开的退避位置。

定位单元20并不仅限于气缸驱动的结构，例如，也可以采用在电动机(驱动部)上通过连杆机构(按压部件)，使抵接部22a进退的结构。此外，也可以这样形成保持器主体7，使保持器主体7的外形尺寸形成得比基板W的外形尺寸稍小，以使基板W的周边部从保持器主体7稍微突出，将各压紧销22的抵接部22a，压紧在从保持器主体7突出来的基板W的周边上。

如图1所示，在被控制为水平姿态的基板保持器6的下方，配置有升降装置24。升降装置24具有：升降销25，如图5所示，在俯视时，其被配置在基板保持器6的各基板支承部10和基板搬送用机械手28的梳状机械爪31不会产生干涉的多个部位上；升降销支承杆26，如图1所示，其支承这些升降销25；以及执行部27，其使这些升降销支承杆26升降。

各升降销25可在下述2个位置间移动：突出到如图4所示那样的比基板保持器6的上面位置高的位置的上升位置；如图1所示的比基板保持器6的下面位置低的退避位置。在各升降销25的前端，设置有由特氟隆(テフロン)(注册商标)等比玻璃基板硬度小且耐磨性优秀的减磨材料构成的大致球形的抵接部。

图5表示搬送用机械手28。搬送用机械手28在将基板W搬入到基板保持器6上，或者将基板W从基板保持器6搬出时使用，其具有多关节臂机械手。在该搬送用机械手28的前端臂29上，安装有机械手手部30。机械手手部30具有配设为梳状的多根机械爪31，在各机械爪31的上面，等间隔地配设吸附部32，吸附保持基板W。

如图2所示，设定机械爪31的形状或配置，以便在机械手手部30通过装置主体2的基板插入口2a插入到基板保持器6的上方时，避开定位单元20和升降销25。

下面，对本实施方式的宏观检查装置1的动作进行说明。

首先，使各定位单元20的压紧销22退避到上述退避位置之后，通过检查用机械手15，使基板保持器6在适合基板W搬入搬出的水平的基板交接位置等待。搬送用机械手28从未图示的箱中，吸附保持1张基板W并将其取出，移送到基板保持器6的上方，之后，解除对基板W的吸附。然后，升降装置24驱动执行部27，使升降销25移动到比搬送用机械手28的机械爪31更靠上方，接收基板W。由于此时的升降销25被配设为不会与保持器主体7、各基板支承部10、以及搬送用机械手28的梳状机械爪31产生干涉，因此，其通过保持器主体7的开口部8，穿过搬送用机械手28的各机械爪31之间，提升基板W。从而，载置在搬送用机械手28上的基板W，从搬送用机械手28的机械爪31，被移放到升降销25上。在该状态下，在通过搬送用机械手28，使机械手手部30下降到不会接触保持器主体7的位置后，使机械手手部30从基板保持器6的移动路径上退避开来。

接着，当驱动执行部27，使升降销25下降到上述退避位置时，基板W的背面与保持器主体7的吸附部9、基板支承部10的吸附部11、以及支承销12抵接，基板W从升降销25被移放到基板保持器6上。使基板W载置到基板保持器6上之后，从作为基板浮起机构而发挥功能的吸附部9、11，喷出压缩空气，使基板W从保持器主体7稍微浮起。在由空气使基板W浮起的状态下，驱动各定位单元20，使各压紧销22朝向基板W突出。其结果，基板W被各压紧销22夹持，定位到基准位置上。在基板W被定位的状态下，停止从吸附部9、11供给压缩空气，将基板W载置到保持器主体7和各基板支承部10上。此后，通过吸附部8、11开始吸引，吸附保持被定位后的基板W。

并且，也可以这样进行，在对基板W定位时，将夹着保持器主体7的对角线并配置在一方侧的定位单元20，设定为定位基准用，将该基准用定位单元20的抵接部22a固定在保持器主体7的基准位置上，将配置在另一方侧的定位单元20设定为基板压紧用，通过该压紧用定位单元20的抵接部22a，使基板W压紧在基准用定位单元20的抵接部22a上，进行定位。

在将基板W定位在保持器主体7的基准位置上并吸附保持之后，检查用机械手15使基板保持器6从水平位置，如图1用实线表示的那样立起，以使基板W朝向观察者。在该状态下，通过来自光源3的照明光，从基板W的上方照射基板W，进行由观察者所作的宏观检查。此时，也可以通过检查用机械手15，以微小的角度，使基板保持器6向上下方向或左右方向摆动，一边使照明光的入射角度相对于基板W变化，一边进行宏观检查。在进行基板W的背面的宏观检查的情况下，也可以通过检查用机械手15，使基板W翻转，使基板W的背面朝向照明方向，进行宏观检查。另外，也可以设置未图示的后照光装置，对基板W一边从其背面侧照射，一边进行观察。

在宏观检查完成后，使基板保持器6返回到水平位置，之后，解除由吸附部9、11进行的吸附保持。再次驱动升降装置25的执行部27，使升降销25上升，使基板W从基板保持器6移放到升降销25上。在该状态下，搬送用机械手28使机械手手部30水平移动，将机械爪31插入到保持器主体7与基板W之间，使机械手手部30上升，从升降销25接收基板W，由吸附部32吸附保持基板W之后，使机械手手部30后退，朝向上述箱搬出。

如以上说明的那样，本实施方式的宏观检查装置1具有：基板保持器6，其保持接受检查的基板W；光源(宏观照明光学系统)3，其将照明光照射到基板W上；检查用机械手(基板保持器驱动机构)15，其支承基板保持器6，同时，在上述基板W被照明光照射的状态下，控制基板保持器6的姿态；搬送用机械手(基板搬送机构)28，在其与基板保持器6之间进行基板W的交接；基板浮起机构，其具有通过对交接到基板保持器6上的上述基板W进行空气的喷出，使该基板W从基板保持器6上浮起的上述通气管、上述换向阀、以及上述排气用流体泵；定位单元(基板定位机构)20，其通过该基板浮起机构，将处于浮起状态的基板W，定位在基板保持器6上的基准位置；以及吸附部(基板固定机构)9、11，其将由该定位单元20定位后的基板W，固定在基板保持器6上。

进而，根据本实施方式的宏观检查装置1，由于使基板W定位的、作为定位机构发挥作用的定位单元20，与基板保持器6分开设置，因此，在基板保持器6上就不必设置具有驱动部的定位单元20。通过将该要求很大安装空间的定位单元20，从保持器主体7上分离开来，可以将保持器主体7的宽度尺寸相应地减小配置定位单元20的空间那么多，可以使基板保持器6轻量化。进而，由于基板保持器6的轻量化，可以减小施加到驱动基板保持器6的检查用机械手5上的负荷。其结果，就可以将小型的多关节臂机械手应用在检查用机械手15中。进而，由于这些基板保持器6和检查用机械手15的小型化，可以使宏观检查装置1小型化，可以减小净化室的设置空间。

并且，保持器主体7由于其外形尺寸比基板W的外形尺寸稍小，以使基板W的周边部从保持器主体7稍微突出，因此，在压紧用定位单元20的压紧销22进退时，可以防止压紧销22与保持器主体7的干涉。进而，由于可以加大安装在压紧销22前端的抵接部22a，因此，即使保持器主体7在上下方向上稍微偏移，也可以使这些抵接部22a可靠地接触基板W并按压在其上。进而，可以使保持器主体7的外形尺寸在基板外形尺寸内小型化，可以进一步实现轻量化。

[第2实施方式]

下面，一边参照附图，一边对本发明的宏观检查装置的第2实施方式进行说明。并且，对与上述第1实施方式相同的结构要素赋予同一标号，并省略其说明。

如图6所示，在安装有检查用机械手15的前端臂16的保持器主体7的长边部7a的上面，固定有2个作为基准用定位单元(基准用基板定位机构)的基准销42a，在短边部7c的上面，固定有基准销42b。各基准销42a被配置在与基板W的角部对应的位置上，基准销42b被配置在与基板W的左侧边中央部对应的位置上。

在装置主体2上，以沿着保持器主体7的长边部7b和短边部7d的方式，安装有框架44和框架45，在这些框架44、45上，各设置2个压紧用定位单元(压紧用基板定位机构)20，其用于将基板W压紧在各基准销42a、42b上。

在保持器主体7的长边部7b和短边部7d上，在对应于压紧用定位单元20的位置上，以从保持器主体7的外周面朝向开口部8凹进的方式形成有切口43a、43b。这些切口43a、43b如图6所示，向基板W的内侧切割到进入数毫米左右的位置。

在本实施方式中，从上述第1实施方式说明过的结构中，省略了沿保持器主体7的长边部7a和短边部7c设置的各个框架。进而，将具有固定在该省略的框架上的气缸等驱动部的定位用定位单元20，用没有驱动部的基准销42a、42b代替。另外，在保持器主体7的面对各压紧用定位单元20的位置，设置有切口43a、43b。除以上说明的各点之外的结构，与上述第1实施方式的结构相同，故省略重复的说明。

下面，对本实施方式的宏观检查装置1的动作进行说明。

本实施方式相对于上述第1实施方式，只有基板W的定位方法不同。下面，对该不同的定位方法进行说明。在将由如图5所示的搬送用机械手28搬入的基板W，载置到基板保持器6上之后，从作为基板浮起机构而发挥功能的吸附部9、11，喷出压缩空气，使基板W浮起。接着，当各定位单元20使压紧销22朝向基板W突出时，基板W的侧面被按压，基板W的相反侧的侧面被基准销42a、42b压紧并定位。在基板W被定位的状态下，使来自吸附部9、11的压缩空气的供给停止，将基板W载置在保持器主体7和各基板支承部10上。此后，通过吸附部9、11开始吸引，吸附保持已被定位的基板W。

根据以上说明的本实施方式的宏观检查装置，通过将使基板W定位的基准用定位单元，用没有驱动部的廉价的基准销42a、42b代替，从而可以降低装置的制造成本。进而，可以减少沿保持器主体7的长边部7a和短边部7c配置的框架，因此，检查用机械手15和搬送用机械手28就难与框架干涉，扩展了检查用机械手15和搬送用机械手28的动作。

此外，由于在保持器主体7上形成了切口43a、43b，因此，在压紧用定位单元20的压紧销22进退时，可以防止压紧销22与保持器主体7之间的干涉。通过设置切口43a、43b，由于可以加大安装在压紧销22前端的抵接部22a的尺寸，因此，即使保持器主体7在上下方向上稍微偏移，也可以接触基板W，可以可靠地按压基板W。此外，将基准销42a、42b固定在保持器主体7上，同时，只在压紧用定位单元20上具有驱动机构，从而，与上述第1实施方式那样，在所有的定位单元中具有驱动机构的情况相比，定位控制就变得简单。即，在上述第1实施方式中，必须对所有的定位单元正确地进行定位控制，但在本实施方式中，通过压紧用定位单元20将基板W压紧在基准销42a、42b上，当达到预定的压紧力时就使压紧停止，由于采用这样简单的定位控制即可，因此，可以更加快速地进行定位。其它效果与上述第1实施方式相同。

并且，本发明并不仅限于上述第2实施方式，可以广泛地应用。

例如，以进一步减少机构部、进一步使装置小型化和轻量化为目的，在图6所示的基板保持器6中，也可以不设置压紧用定位单元20和切口43a、43b，只设置限制基板W的基准位置的基准销42a、42b。

在此情况下，当搬入基板W时，当用升降销25将基板W移放到基板保持器6后，从作为基板浮起机构而发挥功能的吸附部9、11，喷出压缩空气，使基板W浮起，在这样的状态下，驱动检查用机械手15，最初，使保持器主体7倾斜，以使长边部7b相对于长边部7a稍微变高。从而，浮起的基板W因自重，沿保持器主体7向长边部7a侧移动，与基准销42a抵接，确定基板W的下侧的位置。在该状态下，驱动检查用机械手15，使保持器主体7倾斜，以使短边部7b相对于短边部7c稍微变高。从而，浮起后的基板W在与2个基准销42a保持抵接的状态下，向短边部7c侧移动，与基准销42b抵接，确定基板W的右侧的位置。这样，通过使保持器主体7稍微倾斜，以使基准销42a、42b处于下部，通过基板W的自重，使基板W与基准销42a、42b抵接，就可以进行定位。

在检查用机械手15中，采用可向多方向进行姿态控制的多关节臂机械手，进行基板W的定位的情况下，可以只用没有驱动机构部的廉价的基准销42a、42b，构成使基板W定位的定位单元中不需要驱动部的基准用定位单元。在此情况下，可以实现进一步降低价格，同时，可以从保持器主体7的周边，将用于安装定位单元的框架全部省略，可以实现整个装置的小型化。其它效果与上述第1实施方式相同。

当采用上述多关节臂机械手，进行基板W的定位时，检查用机械手15也可以使保持器主体7倾斜，以便一次地使长边部7a和短边部7c的角部变得最低，使基板W因其自重，朝向设置在保持器主体7两边的基准销42a、42a、42b移动。在此情况下，用一个动作，就可以使基板W定位。

此外，在上述任意一种情况下，也可以通过检查用机械手15进行驱动，以使基板保持器6微小摆动。基板保持器6摆动，从而基板W快速移动并定位。在此情况下，未必一定要利用喷出空气进行浮起。

此外，为了减少机构部，进一步使装置小型化、轻量化和廉价化，也可以从升降装置24中除去升降机构，将该升降装置24固定在如图1所示那样的预定位置上。在此情况下，升降销25的长度被设定为，其前端部27a固定在比处于水平位置的基板保持器6的下面更低的位置上。当进行基板W的搬入搬出时，驱动检查用机械手15，使基板保持器6下降为比升降销25低。从而，升降销25的前端部从基板保持器6的上面突出，因此，通过搬送用机械手28，将基板W移放到升降销25上，在使搬送用机械手28退避后，通过检查用机械手28使基板保持器8上升，从而可以从搬送用机械手28向检查用机械手15进行基板W的交接。其后，当检查用机械手(多关节臂机械手)15使基板保持器6上升时，基板W从升降销25移放到基板保持器6上。基板W的定位、吸附、以及宏观观察都与上述同样进行。当搬出基板W时，在比升降销25稍高的位置，在解除基板W的吸附保持之后，使基板保持器6下降到比升降销25的前端低的位置。其结果，由于基板W被移放到升降销25上，所以可以用搬送用机械手28搬出基板W。

在采用这种结构的情况下，在基板W的交接位置上，在载置基板W的状态下，通过将水平升降的升降装置的升降功能兼用于检查用机械手15，就没有必要设置使升降销25升降的机构。其结果，可以实现装置的小型化、轻量化。其它效果与上述第1实施方式相同。

也可以将基板保持器6的短边部安装在检查用机械手(多关节臂机械手)15的前端臂16上。

也可以从图6所示的基板保持器6中，省略切口43a、43b。此外，相对于图1所示的基板保持器6，也可以与定位单元20的配置相适应，形成切口43a、43b。

[第3实施方式]

下面，一边参照附图，一边对本发明的宏观检查装置的第3实施方式进行说明。并且，对与上述第1实施方式相同的结构要素赋予同一标号，并省略其说明。

在本实施方式中，作为使基板保持器6旋转·摆动的基板保持器驱动机构，采用检查用多关节臂机械手(检查用机械手15)。进而，为了使由该检查用机械手15自由旋转·摆动地支承的基板保持器6，在基板交接位置上迅速地静止，平稳地进行基板W的交接，缩短生产节拍时间，提高检查效率，而具有静止机构50。除设置该静止机构50以外，与上述第1实施方式相同，省略其重复说明。

连接到检查用机械手15的前端臂16上的基板保持器6如图7所示，在基板交接位置保持为水平姿态。静止机构50具有将基板保持器6限制在基板交接位置的限制器功能，配置在基板保持器6的前端侧(自由端侧)。该静止机构50还具有吸收基板保持器6的冲击、抑制振动的静止功能。

图7所示的静止机构50在沿铅垂方向立设的支柱51的前端部(上端部)上，例如，具有安装了橡胶或海绵等树脂类的弹性体52的限制器53，弹性体52的上面作为抵接部54。该静止机构50被设置在配置于基板交接位置的保持器主体7的前端下方。保持器主体7在被配置于保持为水平姿态的基板交接位置时，其前端部下面与限制器53的抵接部54抵接。

如在上述第1实施方式中所说明的那样，基板保持器6在由检查用机械手15搬入基板W时、以及在宏观检查后搬出基板W时，被移动到与搬送用机械手28之间的基板交接位置。

当通过检查用机械手15，基板保持器6从宏观观察的预定角度移动(旋转)到基板交接位置的水平角度时，保持器主体7的前端部下面与限制器53的抵接部54抵接。从而，保持器主体7不会在前端部产生振动，而迅速地静止在基板交接位置。此时，使检查用机械手15高速地旋转，在基板交接位置的跟前使旋转减速并使保持器主体7缓慢地抵接在限制器53上，从而使保持器主体7对限制器53的冲击力缓和，同时，通过基板保持器6的高速移动，可以缩短基板W的交接所需要的时间。

作为移动到基板交接位置的保持器主体7是否已经静止的判断，例如，可以利用振动传感器等，但也可以通过是否经过预定时间进行判断。在利用传感器或时间确认保持器主体7已经静止后，驱动控制搬送用机械手28，进行从基板保持器6的基板W的交接。

并且，在本实施方式中，通过用静止机构50支承保持器主体7的前端部，阻止基板保持器6的振动，但作为基板保持器6的支承部位，并不限于前端部，也可以采用其它部位。具体地，只要是相对于基板保持器6的重心，从该保持器主体7的由驱动臂16支承的部位的相反侧、即从上述重心的位置到上述前端部的位置之间即可。

如以上说明的那样，根据具有静止机构50的本实施方式的宏观检查装置1，由于相对于向基板交接位置移动的基板保持器6的重心，该保持器主体7的由驱动臂16支承的部位的相反侧，被限制器53保持，因此，可以使基板保持器6在基板交接位置上非常迅速地静止，可以使基板交接位置上的基板W的交接动作快速地进行。

从而，可以削减在基板W的检查中无用的空载时间，可以大幅度地缩短基板W检查的生产节拍时间，可以实现检查的高效化。

此外，在基板交接位置，通过使保持器主体7抵接在预先定位的静止机构50上，可以将基板保持器6高精度地支承为水平，可以平稳地进行基板W的交接。

作为静止机构50，例如，优选使支柱51可伸缩，使抵接部54的高度位置可沿上下调整。在此情况下，可以提高在基板交接位置的抵接部54的高度位置的精度。此外，相对于基板交接位置的变更等，可以容易地对应。

此外，在抵接部54上设置吸附部或磁铁，当保持器主体7抵接时，利用真空吸附或磁力，吸附该保持器主体7的下面，从而可以更加迅速且可靠地使基板保持器6在基板交接位置上静止。

并且，作为静止机构50，不限于上述结构，可以应用各种结构。

此处，对静止机构50的其它例进行说明。

图8所示的静止机构50，是在支柱51的前端部，设置由减震器和弹簧构成的振动衰减部55的情况的例子。

在设置了这样的振动衰减部55的情况下，可以可靠地阻止来自与抵接部54抵接的保持器主体7的振动和冲击，可以迅速地使基板保持器6静止。

图9所示的静止机构50，是在支柱51的前端部，设置具有卡合销56的卡合部57作为抵接部的情况的例子。卡合销56朝向保持器主体7侧突出，可以卡合到形成在保持器主体7的前端部的卡合槽7e中。卡合销56具有前端形成为半球状的圆柱形状，在连接到未图示的螺旋弹簧的状态下，被插入到卡合部57的孔内。其结果，卡合销56被设置为可相对于上述孔出没。

在静止机构50中，当保持器主体7移动到基板交接位置时，卡合销56便卡合到该保持器主体7的卡合槽7e中。其结果，可以迅速地使基板保持器6在基板交接位置上静止。

图10所示的静止机构50，在支柱51的前端部具有：固定托架61和可动托架62，它们侧视时形成为コ字状，一端侧可相互转动地连接起来；和驱动机构(省略图示)，其使可动托架62转动。固定托架61被固定在支柱51上，在与可动托架62的连接侧的相反侧的另一端部，设置有弹性体64，其表面作为抵接部65。在可动托架62的另一端部，也设置有弹性体66，其表面作为夹持部67。

进而，在该静止机构50中，在可动托架62被配置于图10的假想线所示的位置的状态下，保持器主体7向基板交接位置移动。进而，当保持器主体7的前端部下面抵接到固定托架61的抵接部65时，通过上述驱动机构，可动托架62向顺时针方向(图中的箭头α方向)转动。从而，保持器主体7的前端部被固定托架61的抵接部65和可动托架62的夹持部67夹持，基板保持器6可以迅速地静止在基板交接位置上。

图11所示的静止机构50具有支承托架71，其可转动地支承在支柱51的前端部。该支承托架71侧视时形成为V字状，其形成V字状的内侧的面分别作为抵接部72。

在该静止机构50中，在支承托架71配置于图中的假想线所示位置的状态下，保持器主体7向基板交接位置移动，当其前端部接触支承托架71时，支承托架71以旋转轴73为中心，沿顺时针(图中的箭头β方向)转动，抵接在挡销74上，在图中实线所示的位置停止。从而，保持器主体7的前端部中的上下角部抵接在支承托架71的各抵接部72上，因此，基板保持器6迅速地静止在基板交接位置上。

图12所示的静止机构50，在其下部具有移动机构75。该移动机构75通过使限制器53沿未图示的导轨直线地移动，就可以使与基板保持器6抵接的抵接部54被配置在如下位置：从配置在基板交接位置的保持器主体7的前端部的下方位置偏离的位置(图中假想线所示位置)。

在具有该移动机构75的静止机构50中，只在保持器主体7移动到基板交接位置时，限制器53移动到基板交接位置侧，保持器主体7抵接在抵接部54上并静止。

即，为了使限制器53不会对检查时的保持器主体7进行干涉，该静止机构50在必要时以外的时候，通过移动机构75，使限制器53移动到避让位置(图中假想线所示的位置)。

并且，在必要时以外的时候，作为使限制器53向避让位置移动的机构，并不限于直线地水平移动的机构，也可以采用通过以预定的轴为中心旋转，使限制器53在俯视时按圆弧状移动的旋转式。

图13所示的静止机构50，将构成限制器53的支柱51在中途进行分割，从该分割部位起，上部的限制器53相对于下部可转动地连接起来。

在该静止机构50中，只在保持器主体7移动到基板交接位置时，支柱51呈直线状，保持器主体7抵接在抵接部54上并静止。

即，在该静止机构50的情况下，为了使限制器53不会对检查时的保持器主体7进行干涉，在必要时以外的时候，支柱51在连接部位被弯曲，限制器53移动到避让位置(图中假想线所示位置)。

并且，在本实施方式中，以具有形成为框状的基板保持器6的宏观检查装置1为例进行了说明，但作为基板保持器，当然不限于框状。

图14和图15分别是其它基板保持器的俯视图和侧面图。这些图中所示的基板保持器81，具有将多条细长的基板支承部82配设为梳状的保持器主体83，在各基板支承部82的上面，相互隔开间隔地配置有与上述吸附部9相同的吸附部84。进而，在该基板保持器81中，将载置在保持器主体83上的基板W，通过各基板支承部82上的各吸附部84，进行真空吸附并保持。

在采用这种结构的基板保持器81的情况下，移动到基板交接位置的基板保持器81的各基板支承部82的前端部下面侧，由静止机构50的限制器53保持，迅速地静止。

特别地，根据上述结构的基板保持器81，与框状的基板保持器相比较，可实现轻量化和外形尺寸的小型化，因此，可以抑制在基板交接位置上的振动的产生本身，可以更迅速地静止。

[第4实施方式]

下面，一边参照附图，一边对本发明的宏观检查装置的第4实施方式进行说明。并且，对与上述第1实施方式相同的结构要素赋予同一标号，并省略其说明。

图16和图17分别是其它基板保持器的俯视图和侧面图。在本实施方式中，作为使该基板保持器6旋转·摆动的驱动机构，采用检查用多关节臂机械手(检查用机械手15)，以减轻对检查用机械手15的驱动部的负担、实现整个装置的小型化为目的，具有配重90。除设置该配重90之外，与上述第1实施方式相同，故省略其重复说明。

在形成于保持器主体7的一端侧的连接部7f上，以连接轴X为中心，可转动地连接着检查用机械手15的前端臂16，该检查用机械手15采用了检查用多关节臂机械手(基板保持器驱动机构)。从而，该基板保持器6被检查用机械手15悬臂支承着。检查用机械手15例如，从图1中的假想线所示的保持为水平姿态的位置，直至立起到图1中的实线所示的预定倾斜角度的位置为止，可以使基板保持器6摆动或旋转。

在基板保持器6上，在连接着检查用机械手15的前端臂16的连接侧端部，安装有一对配重90。这些配重90被支承在支承臂91的前端，相对于与前端臂16之间的连接轴X，配置在基板保持器6的相反侧，所述支承臂91被固定在基板保持器6的两侧部近旁。

这些配重90分别分配设置在夹着基板保持器6的中心轴Y的两侧，其中中心轴Y通过与前端臂16连接的连接部位，并且，这些配重90以连接轴X为界，分别配置在基板保持器6的重心G的相反侧。

从而，在连接轴X上，由基板保持器6的重量产生的转矩，因基于配重90的重量产生的转矩而减小。并且，也可以设定配重90的重量和配置，以便使由基板保持器6的重量产生的转矩被大致平衡并抵消。

根据具有以上说明的结构的本实施方式的宏观检查装置1，由于在与检查用机械手15的前端臂16的连接侧端部，相对于与前端臂16的连接轴X，在重心G的相反侧设置了配重90，因此，可以使由基板保持器6的重量产生的绕连接轴X的转矩，因基于配重90的重量产生的绕连接轴X的转矩而减小。

其结果，可以大幅度地降低摆动自由地悬臂支承基板保持器6的检查用机械手15的驱动部的负荷，可以实现装置整体的小型化。

此外，由于将各配重90分别分配设置在夹着基板保持器6的中心轴Y的两侧，其中中心轴Y通过与前端臂16连接的连接部位，因此，也可以使由各配重91相对于与前端臂16连接的连接部位产生的转矩得到平衡，从而，可以平稳地进行以中心轴Y为中心的基板保持器6的转动。

并且，配重90也可以沿基板保持器6的中心轴Y进行位置调节，所述中心轴Y通过与检查用机械手15的前端臂16连接的连接部位。在此情况下，通过调节配重90的位置，与保持器主体7的重量变化或倾斜角度相适应，可以更高精度地控制连接轴X上的转矩的平衡。

配重90的安装位置，只要是能够使绕连接轴X的转矩减小的位置，就不限定于本实施方式的位置。对于配重90的安装位置不同的其它例，在以下进行说明。

图18表示将一对配重90接近连接部7f配置的情况。

在此情况下，可以极力地减小绕中心轴Y的基板保持器6的惯性矩，可以平稳地进行以中心轴Y为中心的基板保持器6的转动。

图19和图20表示具有下述部件的情况：支承臂91，其将连接前端臂16的连接部7f，相对于连接轴X向保持器主体7的相反侧延伸；和一个配重90，其支承在该支承臂91上。配重90被配设在基板保持器6的中心轴Y上。

根据上述结构，可以进一步减小绕中心轴线Y的基板保持器6的惯性矩，可以更平稳地进行以中心轴Y为中心的基板保持器6的转动。

并且，在此情况下，为了使前端臂16不对支承臂91和配重90进行干涉，例如，优选连接成驱动臂16与保持器主体7的连接部7f基本正交，使可动范围尽量不被限制。

并且，在本实施例中，以具有形成为框状的基板保持器6的宏观检查装置1为例进行了说明，但作为基板保持器，当然并不限于框状。

图21和图22所示的，是与图14所示相同的基板保持器81，其将多个细长的基板支承部82配设为梳状，在各基板支承部82的上面，相互隔开间隔地设置有各吸附部84。

进而，在该基板保持器81上，在前端臂16和保持器主体83的连接部83a的连接侧端部上，经由一对支承臂91，安装有一对配重90，这些配重90以连接轴X为界，被配置在基板保持器81的重心G的相反侧。

从而，绕连接轴X的由基板保持器81的重量产生的转矩与由配重90的重量产生的转矩基本平衡并抵消。

特别地，根据上述结构的基板保持器81，与框状的基板保持器相比较，实现了于谋求小型轻量化，因此，即使作为配重90，也可以利用重量轻的，因此可以进一步实现装置的小型化。

根据本发明，由于可以迅速地进行基板保持器上的基板的定位，因此，就可以缩短生产节拍时间，可以实现检查的高效化。

此外，根据本发明，例如，在将基板定位机构设置在基板保持器以外的位置的情况下，与基板定位机构没有被设置在基板保持器上相应，就可以使基板保持器小型化、轻量化。从而，由于可以减小施加到基板保持器驱动机构上的负荷，因此，可以使基板保持器驱动机构小型化，可以使整个宏观检查装置小型化、轻量化。

此外，根据本发明，如上所述，由于可以减小施加到基板保持器驱动机构上的负荷，因此，可以实现采用多关节臂机械手作为驱动机构的宏观检查装置。

Claims (28)

1.一种宏观检查装置，其特征在于，具有：

基板保持器，其保持接受检查的基板；

宏观照明光学系统，其将照明光照射到所述基板上；

基板保持器驱动机构，其支承所述基板保持器，同时，在所述基板被所述照明光照射的状态下，控制所述基板保持器的姿态；

基板搬送机构，其在与所述基板保持器之间进行所述基板的交接；

基板浮起机构，其通过对交接到所述基板保持器上的所述基板进行空气的喷出，使该基板从所述基板保持器上浮起；

基板定位机构，其使通过该基板浮起机构而处于浮起状态的所述基板，定位在所述基板保持器上的基准位置；以及

基板固定机构，其将由该基板定位机构定位后的所述基板，固定在所述基板保持器上。

2.如权利要求1所述的宏观检查装置，其特征在于，

所述基板保持器驱动机构，具有多关节臂机械手。

3.如权利要求1所述的宏观检查装置，其特征在于，

所述基板定位机构，被设置在所述基板保持器以外的位置。

4.如权利要求3所述的宏观检查装置，其特征在于，

所述基板定位机构通过将所述基板从其周围夹持，进行所述定位。

5.如权利要求3所述的宏观检查装置，其特征在于，

所述基板定位机构具有：定位部件，其被固定在与到达所述基准位置时的所述基板抵接的位置；以及施力装置，其使所述基板朝向所述定位部件施力。

6.如权利要求3所述的宏观检查装置，其特征在于，

在所述基板保持器上形成有第1切口，其避免与所述基板定位机构之间的干涉。

7.如权利要求1所述的宏观检查装置，其特征在于，

所述基板定位机构具有：定位部件，其设置在所述基板保持器上，并固定在与到达所述基准位置时的所述基板接触的位置；以及施力装置，其设置在所述基板保持器以外的位置，使所述基板朝向所述定位部件施力。

8.如权利要求1所述的宏观检查装置，其特征在于，

在所述基板定位机构中具有定位部件，在由所述基板浮起机构使所述基板从所述基板保持器浮起的状态下，在通过所述基板保持器驱动机构使所述基板保持器倾斜时，沿该基板保持器的倾斜移动的所述基板在到达所述基准位置时，与该定位部件抵接。

9.如权利要求1所述的宏观检查装置，其特征在于，

从正面观察所述基板保持器时的外形尺寸，小于从正面观察所述基板时的外形尺寸。

10.如权利要求1所述的宏观检查装置，其特征在于，

还具有静止机构，其使移动到与所述基板搬送机构之间的所述基板交接位置上的所述基板保持器停止。

11.如权利要求10所述的宏观检查装置，其特征在于，

所述静止机构具有弹性体，其与到达所述交接位置时的所述基板保持器抵接，使该基板保持器的振动衰减。

12.如权利要求11所述的宏观检查装置，其特征在于，

所述静止机构还具有弹簧，其在预定位置上被固定成轴线与基板保持器大致垂直，在该弹簧上设置有所述弹性体。

13.如权利要求10所述的宏观检查装置，其特征在于，

在所述基板保持器的侧部形成有第2切口，

所述静止机构具有卡定部，其卡定在到达所述交接位置时的所述基板保持器的所述第2切口中。

14.如权利要求10所述的宏观检查装置，其特征在于，

所述静止机构具有夹持单元，其夹持到达所述交接位置时的所述基板保持器。

15.如权利要求10所述的宏观检查装置，其特征在于，

所述静止机构具有：转动部件，其具有接受到达所述交接位置时的所述基板保持器的凹部，同时，使所述基板沿朝向所述交接位置的方向转动；以及转动限制部件，使所述转动部件停止在被该转动部件接受的所述基板保持器到达所述交接位置时的旋转位置。

16.如权利要求10所述的宏观检查装置，其特征在于，

所述静止机构在下述2个位置之间移动：阻挡位置，阻挡到达所述交接位置的所述基板保持器；避让位置，其离开该阻挡位置。

17.如权利要求16所述的宏观检查装置，其特征在于，

所述静止机构在所述阻挡位置与所述避让位置之间水平移动。

18.如权利要求16所述的宏观检查装置，其特征在于，

所述静止机构在所述阻挡位置与所述避让位置之间旋转移动。

19.如权利要求1所述的宏观检查装置，其特征在于，

所述基板保持器驱动机构支承所述基板保持器的一边，以使所述基板保持器可绕与该边平行的第1轴线转动；

以所述第1轴线为旋转中心并位于所述基板保持器的位置的相反侧的平衡块，被设置在所述基板保持器上。

20.如权利要求19所述的宏观检查装置，其特征在于，

所述保持器驱动机构将所述基板保持器支承成可绕第2轴线转动，该第2轴线与所述第1轴线正交，同时，与所述基板保持器形成的平面平行；

所述基板保持器的重心位置、所述第1轴线与所述第2轴线间的交点、以及所述平衡块的重心位置，基本被配置在一条直线上。

21.如权利要求19所述的宏观检查装置，其特征在于，

所述保持器驱动机构将所述基板保持器支承成可绕第2轴线转动，该第2轴线与所述第1轴线正交，同时，与所述基板保持器形成的平面平行；

一对所述平衡块被设置成将所述第2轴线夹在中间并相互接近。

22.一种宏观检查方法，具有下述步骤：

基板保持器停止步骤，其使基板保持器停止在接受检查的基板的交接位置；

基板载置步骤，其将所述基板载置在所述基板保持器上；

基板浮起步骤，其对所述基板喷出空气，使该基板从所述基板保持器上浮起；

基板定位步骤，其将处于浮起状态的所述基板，定位在所述基板保持器上的基准位置；以及

基板固定步骤，其将所述基板定位步骤后的所述基板，固定在所述基板保持器上。

23.如权利要求22所述的宏观检查方法，其特征在于，

在所述基板定位步骤中，通过将所述基板从其周围夹持，进行所述定位。

24.如权利要求22所述的宏观检查方法，其特征在于，

将所述基板在到达所述基准位置时所抵触的定位部件，设置在所述基板保持器上；

在所述基板定位步骤中，使所述基板保持器倾斜，以使处于浮起状态的所述基板抵接在所述定位部件上。

25.如权利要求22所述的宏观检查方法，其特征在于，

在所述基板保持器停止步骤中，通过使移动到所述交接位置的所述基板保持器的振动衰减，来使所述基板保持器停止。

26.如权利要求22所述的宏观检查方法，其特征在于，

在所述基板保持器停止步骤中，通过夹持移动到所述交接位置的所述基板保持器，使所述基板保持器停止。

27.如权利要求22所述的宏观检查方法，其特征在于，

在基板保持器停止步骤中，通过使移动到所述交接位置的所述基板保持器卡定在预定位置上，使所述基板保持器停止。

28.如权利要求22所述的宏观检查方法，其特征在于，

利用产生与该转矩平衡的转矩的平衡块，与所述基板保持器的转矩抵消。

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