JP5553532B2 - 光学検査装置 - Google Patents
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図1は本発明の実施の形態1における光学検査装置の部分を示す図であり、図1(a)は浮上ステージを上方から見た図、図1(b)は浮上ステージを側方から見た断面図、図1(c)は浮上ステージを正面から見た図である。
以下、本発明の実施の形態2における光学検査装置について、前述した実施の形態1と異なる点を説明する。図3は本発明の実施の形態2における光学検査装置の部分を示す図であり、図3(a)は浮上ステージを上方から見た図、図3(b)は浮上ステージを側方から見た断面図、図3(c)は浮上ステージを正面から見た図である。
以下、本発明の実施の形態3における光学検査装置について、前述した実施の形態1および2と異なる点を説明する。図5は本発明の実施の形態3における光学検査装置の部分を示す図であり、図5(a)は浮上ステージを上方から見た図、図5(b)は浮上ステージを側方から見た断面図、図5(c)は浮上ステージを正面から見た図である。
以下、本発明の実施の形態4における光学検査装置について、前述した実施の形態1ないし3と異なる点を説明する。図6は本発明の実施の形態4における光学検査装置の部分を示す図であり、図6(a)は浮上ステージを上方から見た図、図6(b)は浮上ステージを側方から見た断面図、図6(c)は浮上ステージを正面から見た図である。
以下、本発明の実施の形態5における光学検査装置について、前述した実施の形態3と異なる点を説明する。図7は本発明の実施の形態5における光学検査装置の部分を示す図であり、図7(a)は浮上ステージを上方から見た図、図7(b)は浮上ステージを側方から見た断面図、図7(c)は浮上ステージを正面から見た図である。
以下、本発明の実施の形態6における光学検査装置について、前述した実施の形態4と異なる点を説明する。図8は本発明の実施の形態6における光学検査装置の部分を示す図であり、図8(a)は浮上ステージを上方から見た図、図8(b)は浮上ステージを側方から見た断面図、図8(c)は浮上ステージを正面から見た図である。
以下、本発明の実施の形態7における光学検査装置について、前述した実施の形態1および2と異なる点を説明する。図9は本発明の実施の形態7における光学検査装置の部分を示す図であり、図9(a)は浮上ステージを上方から見た図、図9(b)は浮上ステージを側方から見た断面図、図9(c)は浮上ステージを正面から見た図である。
2、102 浮上ステージ
3、108 搬送機構
4、109 照明光学系
5、110 撮像光学系
6 溝部
6a 壁面
7、104 噴出穴
8、105 吸着穴
9、106 噴出用配管
10、107 吸着用配管
11 有効視野
12 封止部材
13 低反射部材
103 ギャップ部
Claims (6)
- 光透過性を有する被検査基板を浮上させる浮上ステージと、
前記浮上ステージ上に浮上している前記被検査基板を搬送する搬送機構と、
前記浮上ステージ上に浮上搬送されている前記被検査基板の表面に照明光を照射する照明光学系と、
前記照明光学系が照射した前記照明光の前記被検査基板からの反射光を捉える撮像光学系と、を備え、
前記被検査基板を透過した前記照明光が照射される前記浮上ステージ上の領域に対応して形成された溝部が、前記溝部の形成方向に垂直かつ相対向する2面を有し、
前記溝部の底に、気体が噴出する噴出穴が設けられていることを特徴とする光学検査装置。 - 光透過性を有する被検査基板を浮上させる浮上ステージと、
前記浮上ステージ上に浮上している前記被検査基板を搬送する搬送機構と、
前記浮上ステージ上に浮上搬送されている前記被検査基板の表面に照明光を照射する照明光学系と、
前記照明光学系が照射した前記照明光の前記被検査基板からの反射光を捉える撮像光学系と、を備え、
前記被検査基板を透過した前記照明光が照射される前記浮上ステージ上の領域に対応して溝部が形成されており、前記溝部の形成方向における前記被検査基板が通過する領域の両端付近に封止部材が嵌合しており、
前記溝部の底に、気体が噴出する噴出穴が設けられていることを特徴とする光学検査装置。 - 前記溝部の両端のみに、前記溝部の形成方向に垂直かつ相対向する2面が設けられていることを特徴とする請求項1に記載の光学検査装置。
- 前記溝部の形成方向における前記被検査基板が通過する領域の両端のみに、前記封止部材が嵌合されていることを特徴とする請求項2記載の光学検査装置。
- 前記溝部の底側に、気体が噴出する噴出穴と気体を吸引する吸着穴が設けられていることを特徴とする請求項1もしくは2のいずれかに記載の光学検査装置。
- 前記噴出穴および前記吸着穴は、前記撮像光学系の撮像視野から外れる位置に配置されていることを特徴とする請求項5記載の光学検査装置。
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