JP4479383B2 - パターン検査装置 - Google Patents
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Description
同図において、TABテープ101は、厚さ20〜150μm程度(多くは25〜75μm)の樹脂フィルム102上に、パーフォレーションホール103が形成される幅方向両側のエッジを除いて、銅箔などの金属箔が貼りつけられ、この金属箔(銅箔)を露光およびエッチングにより加工し、配線などのパターンを形成する。
このようなTABテープ101の製造工程においては、配線パターン111が、正しく形成されているかどうかを検査する必要があり、パターン検査装置によって検査が行なわれる。
近年は、あらかじめ検査装置の制御部の記憶部に基準パターンを記憶させておき、記憶している基準パターンと、撮像装置により撮像した実際のパターンとを比較し、自動的に良否を判定する自動検査装置も用いられるようになってきた。
反射光を用いる方法の場合は、TABテープの配線が形成されている面側から照明光を照射し、照明光が照射される側から、TABテープからの反射光によるパターン像を観察する。
一方、透過光を用いる方法の場合は、TABテープに照明光を照射し、テープに対し照明光が照射される側とは反対側から、TABテープを透過した透過光によるパターン像を観察する。
例えば、特許文献1に記載のものは、TABテープを配線パターンが形成されている表面側から照明する落射(反射)照明装置と、裏面側から照明する透過照明装置、および落射(反射)照明によるパターンの画像(落射(反射)照明画像)と透過照明によるパターンの画像(透過照明画像)を撮像する撮像装置を設け、撮像した落射(反射)照明画像と透過照明画像に基づきパターンの検査を行なうものである。
52は透過照明装置であり、TABテープ101の図面下方から照明光を照射する。53は例えばCCDカメラのような撮像装置であり、TABテープ101に対し照明光が照射される側とは反対側(図面上方)からTABテープ101を透過した光によるパターン像を撮像する。
撮像装置53により撮像したパターンの透過照明画像は制御部54に送られ、制御部54において、あらかじめ記憶されているパターンの基準パターン55と比較され、良否が判定される。
したがって、テープに生じるたわみや反り凹凸を矯正して平面に保持するための手段が必要になるが、透過照明により検査を行なうためには、不透明なステージを透過照明の光路内に配置することができない。
テープエッジが脱落してしまうと、グリップ51はエッジを挟持できないので、テープ引っ張り機構50はテープにテンションをかけることができなくなる
フィルム状の帯状ワークに形成されたパターンを、透過照明光により撮像し、該パター
ンの外観を検査するパターン検査装置において、上記帯状ワークの幅方向にテンションを
与えるワーク引っ張り機構と、上記帯状ワークを、パターンが撮像される際には吸着保持し、搬送される際にはエアーを吹き出すことにより浮上させるステージとを備える。
さらに、ステージは交換可能とし、長辺の長さが異なるものを準備しておけば、検査を行なう帯状ワークの幅に応じて交換することにより、幅の異なる帯状ワークの検査も可能になる。
また、帯状ワークの裏面がステージ表面とこすれて、ワーク裏面に傷がつくのを防ぐことができる。
帯状ワークを吸着保持するステージを設けたので、ワーク引っ張り機構によりテンションが与えられた帯状ワークをステージに吸着保持することにより、帯状ワークに反りや凹凸が生じていたとしても、パターンを検査する個所を撮像装置の焦点深度内に維持することができる。
また、ステージが交換可能であるので、長辺の長さが異なるステージを準備しておけば、検査を行なう帯状ワークの幅に応じて交換することにより、一つの装置で幅の異なる帯状ワークの検査を行なうことができる。
また、帯状ワークの裏面がステージ表面とこすれて、ワーク裏面に傷がつくのを防ぐことができる。
図1は検査装置における、ワークの保持手段となるワーク引っ張り機構10とステージ20を示す斜視図、図2は図1の矢印A(ワークの搬送)方向から見た断面図、図3は図1の矢印B(ワークの幅)方向から見た断面図、図4は図1の矢印C(上)方向から見た平面図である。
なお、検査を行なう回路パターンが形成された帯状ワークであるTABテープ1は、図1および図2において点線で示され、図1において矢印Gで示した方向に、不図示のドライブローラとブレーキローラの組み合わせにより搬送される。
15はグリップ駆動部であり、グリップ用上部材13を上下に移動させる。これによりTABテープ1のエッジは狭持または開放される。
20,20’はステージであり、ワーク引っ張り機構10によりテンションがかけられたTABテープ1を吸着保持する。ステージ20は長方形状で、長辺をTABテープ1の幅方向に、短辺をテープの長手方向に対応させ、第1のグリップ部11と第2のグリップ部12の間に複数設けられる。
この間隔で設けられたステージ20と20’の間から、検査を行なうTABテープに対して透過照明光が照射される。
また、ステージ20の表面の高さ方向の位置は、TABテープ1の透過照明画像を撮像する撮像装置(不図示)の焦点位置になるように、支柱21により支持されている。
図5(a)に示すように、ステージ20は支柱21に対し、位置決めピン23により位置決めされ、固定ねじ24により固定される。
ステージ20は、図5(b)に示すように、取り外しが可能であり、図5(c)に示すように、幅の広いTABテープに対応した長辺の長いステージ25に交換することができる。
第2のグリップ部12を、図中矢印方向に移動させて、第1のグリップ部11との間隔を広げ、幅の広いTABテープ1’に対応したステージ25を支柱21に取り付ける。
検査を行なうTABテープ1の幅に合わせて、引っ張り機構10の第2のグリップ部12を、リニアガイド16上で移動させ、第1のグリップ部11との間隔を設定する。即ち、図2に示すように、TABテープ1のエッジ部分が、グリップ用上部材13の狭持面41とグリップ用下部材14の狭持面42の間にあるが、グリップ用下部材14の段差の側面43には触れないような間隔にする。テープ幅が広くなれば、図6のように、間隔が広がるように第2のグリップ部12を移動させる。
図2は、TABテープ1が、エアーのバックブローによりステージ20に対して浮上している状態を示している。同図に示すように、TABテープ1はステージ20に対して浮上するが、同時にテープのエッジ部分もグリップ用下部材14の狭持面42に対して浮上する。
一方、テープの幅方向に関しては、グリップ駆動部15によりグリップ用上部材13が下降し、エープのエッジがグリップ用上部材13の狭持面41とグリップ用下部材14の狭持面42とにより狭持され、第2のグリップ部12がリニアガイド16上をテープ幅方向(図2における矢印P方向)に移動することによりテンションがかけられる。
これにより、TABテープ1は平面に保持される。上記したように、TABテープは露光、現像、エッチング等の各工程により反りや凹凸が発生していることが多いが、このように検査を行なう回路パターンの周辺をステージ20,20’に保持させることにより反りや凹凸が矯正され、検査を行なう回路の配線パターンの部分を、撮像装置の焦点深度内に維持することができる。
装置の制御部は、撮像した配線パターンの透過照明画像と、あらかじめ記憶しておいた基準パターンとを比較し良否を判定する。
11 第1のグリップ部
12 第2のグリップ部
13 グリップ用上部材
14 グリップ用下部材
15 グリップ駆動部
16 リニアガイド
20,20’ ステージ
21 支柱
22 真空吸着孔または溝
23 位置決めピン
24 固定ねじ
25 長辺の長いステージ
30 真空ポンプ
31 圧縮エアー
32 切り換えバルブ
41,42 狭持面
50 テープ引っ張り機構
51 グリップ
52 透過照明装置
53 撮像装置
54 制御部
55 マスターデータ
101 TABテープ
102 樹脂フィルム
103 パーフォレーションホール
110 デバイスホール
111 配線パターン
Claims (2)
- フィルム状の帯状ワークに形成されたパターンを、透過照明光により撮像し、該パターンの外観を検査するパターン検査装置において、
上記帯状ワークの幅方向にテンションを与えるワーク引っ張り機構と、上記帯状ワークを、パターンが撮像される際には吸着保持し、搬送される際にはエアーを吹き出すことにより浮上させるステージとを備え、上記ステージは、長辺が帯状ワークの幅方向に短辺が長手方向に対応する長方形状であり、帯状ワークの検査する個所の搬送方向上流側と下流側に設けられ、ステージとステージの間から帯状ワークに対して透過照明光を照射することを特徴とするパターン検査装置。 - 上記ステージは、交換可能であることを特徴とする請求項1に記載のパターン検査装置。
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