JP6217070B2 - 金属薄板の寸法測定装置及び金属薄板の寸法測定方法 - Google Patents
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Description
13 測定機構
131 測定用カメラ
132 画像処理装置
21 載置板
211 載置板中央部
211a 載置板中央部
211b 載置板中央部
212a 第1載置板縁部
212b 第1載置板縁部
213 載置板枠体
214 軸受
215 偏心棒
216 載置板下降機構
22a 一方の第1保持機構
22b 他方の第1保持機構
221a クランプ基台
221b クランプ基台
222 クランプ部
223 押圧レバー
224 ワッシャー
225 バネ
23 第1引張機構
231 引張牽引部
232 引張牽引アーム
233 エアシリンダ
234 エアシリンダヘッド
24 第1揺動機構
241 揺動牽引部
242 揺動牽引アーム
243 マイクロメータ
244 マイクロメータヘッド
31 金属薄板
32 測定マーク
33 メタルマスク作製領域
34 メタルマスク
35 メタルマスク開口部
41 吸引機構
411 エア吸引孔
412 エア吸引部
42a 一方の第2保持機構
42b 他方の第2保持機構
421a クランプ基台
421b クランプ基台
422 クランプ部
423 押圧レバー
424 ワッシャー
425 バネ
43 第2引張機構
431 引張牽引部
432 引張牽引アーム
433 エアシリンダ
434 エアシリンダヘッド
44 第2揺動機構
441 揺動牽引部
442 揺動牽引アーム
443 マイクロメータ
444 マイクロメータヘッド
51 吸着信号検出器
61a レール
61b レール
62a レール
62b レール
63a レール
63b レール
64a レール
64b レール
71 ロードセル
72 ロードセル
73 ロードセル
74 ロードセル
82a 一方の第3保持機構
82b 他方の第3保持機構
821a クランプ基台
821b クランプ基台
822 クランプ部
823 押圧レバー
824 ワッシャー
825 バネ
83 第3引張機構
831 引張牽引部
832 引張牽引アーム
833 エアシリンダ
834 エアシリンダヘッド
84 第3揺動機構
841 揺動牽引部
842 揺動牽引アーム
843 マイクロメータ
844 マイクロメータヘッド
92a 一方の第4保持機構
92b 他方の第4保持機構
921a クランプ基台
921b クランプ基台
922 クランプ部
923 押圧レバー
924 ワッシャー
925 バネ
93 第4引張機構
931 引張牽引部
932 引張牽引アーム
933 エアシリンダ
934 エアシリンダヘッド
94 第4揺動機構
941 揺動牽引部
942 揺動牽引アーム
943 マイクロメータ
944 マイクロメータヘッド
Claims (21)
- 金属薄板が載置される載置板と、
前記載置板上に載置される前記金属薄板の第1方向について対向する各縁部領域を保持するようになっている一対の第1保持機構と、
前記一対の第1保持機構の互いに対する距離を拡げることによって前記金属薄板に対し前記第1方向に第1引張力を与えるようになっている第1引張機構と、
前記一対の第1保持機構の少なくとも一方を前記第1方向に揺動させることによって前記第1引張力を与えられた状態の前記金属薄板を前記第1方向に揺動させるようになっている第1揺動機構と、
前記載置板上に載置される前記金属薄板の前記第1方向とは異なる第2方向について対向する各縁部領域を保持するようになっている一対の第2保持機構と、
前記一対の第2保持機構の互いに対する距離を拡げることによって前記金属薄板に対し前記第2方向に第2引張力を与えるようになっている第2引張機構と、
前記一対の第2保持機構の少なくとも一方を前記第2方向に揺動させることによって前記第2引張力を与えられた状態の前記金属薄板を前記第2方向に揺動させるようになっている第2揺動機構と、
前記第1引張力及び前記第2引張力を与えられた状態の前記金属薄板であって、前記第1方向及び前記第2方向に揺動された前記金属薄板を前記載置板に吸着させるようになっている吸着機構と、
平面視において前記載置板と重なる領域において、前記載置板に吸着された状態の前記金属薄板の少なくとも1つの寸法を測定する測定機構と、
を備えたことを特徴とする金属薄板の寸法測定装置。 - 前記第1方向と前記第2方向とは、直交関係にある
ことを特徴とする請求項1に記載の金属薄板の寸法測定装置。 - 前記載置板上に載置される前記金属薄板の前記第1方向及び前記第2方向と鋭角をなす第3方向について対向する各縁部領域を保持するようになっている一対の第3保持機構と、
前記一対の第3保持機構の互いに対する距離を拡げることによって前記金属薄板に対し前記第3方向に第3引張力を与えるようになっている第3引張機構と、
前記一対の第3保持機構の少なくとも一方を前記第3方向に揺動させることによって前記第3引張力を与えられた状態の前記金属薄板を前記第3方向に揺動させるようになっている第3揺動機構と、
前記載置板上に載置される前記金属薄板の前記第3方向とは異なり前記第1方向及び前記第2方向と鋭角をなす第4方向について対向する各縁部領域を保持するようになっている一対の第4保持機構と、
前記一対の第4保持機構の互いに対する距離を拡げることによって前記金属薄板に対し前記第4方向に第4引張力を与えるようになっている第4引張機構と、
前記一対の第4保持機構の少なくとも一方を前記第4方向に揺動させることによって前記第4引張力を与えられた状態の前記金属薄板を前記第4方向に揺動させるようになっている第4揺動機構と、
を更に備えたことを特徴とする請求項1または2に記載の金属薄板の寸法測定装置。 - 前記測定機構は、前記載置板に吸着された状態の前記金属薄板の画像を撮像する測定用カメラと、撮像された画像を処理する画像処理装置と、を有している
ことを特徴とする請求項1乃至3のいずれかに記載の金属薄板の寸法測定装置。 - 前記吸着機構は、前記第1引張力及び前記第2引張力を与えられた状態の前記金属薄板と前記載置板との間のエアを吸引して、前記金属薄板と前記載置板とを吸着させるようになっている
ことを特徴とする請求項1乃至4のいずれかに記載の金属薄板の寸法測定装置。 - 前記吸着機構は、前記第1引張力及び前記第2引張力を与えられた状態の前記金属薄板と前記載置板とを静電吸着させるようになっている
ことを特徴とする請求項1乃至4のいずれかに記載の金属薄板の寸法測定装置。 - 前記吸着機構は、前記第1引張力及び前記第2引張力を与えられた状態の前記金属薄板と前記載置板とを磁力により吸着させるようになっている
ことを特徴とする請求項1乃至4のいずれかに記載の金属薄板の寸法測定装置。 - 金属薄板が載置される載置板と、
前記載置板上に載置される前記金属薄板の第1方向について対向する各縁部領域を各対が保持するようになっている複数対の第1保持機構と、
各対の第1保持機構の互いに対する距離を拡げることによって前記金属薄板に対し前記第1方向に第1引張力を与えるようになっている複数の第1引張機構と、
各対の第1保持機構の少なくとも一方を前記第1方向に揺動させることによって前記第1引張力を与えられた状態の前記金属薄板を前記第1方向に揺動させるようになっている複数の第1揺動機構と、
前記載置板上に載置される前記金属薄板の前記第1方向とは異なる第2方向について対向する各縁部領域を各対が保持するようになっている複数対の第2保持機構と、
各対の第2保持機構の互いに対する距離を拡げることによって前記金属薄板に対し前記第2方向に第2引張力を与えるようになっている複数の第2引張機構と、
各対の第2保持機構の少なくとも一方を前記第2方向に揺動させることによって前記第2引張力を与えられた状態の前記金属薄板を前記第2方向に揺動させるようになっている複数の第2揺動機構と、
前記第1引張力及び前記第2引張力を与えられた状態の前記金属薄板であって、前記第1方向及び前記第2方向に揺動された前記金属薄板を前記載置板に吸着させるようになっている吸着機構と、
平面視において前記載置板と重なる領域において、前記載置板に吸着された状態の前記金属薄板の少なくとも1つの寸法を測定する測定機構と、
を備えたことを特徴とする金属薄板の寸法測定装置。 - 前記第1方向と前記第2方向とは、直交関係にある
ことを特徴とする請求項8に記載の金属薄板の寸法測定装置。 - 前記載置板上に載置される前記金属薄板の前記第1方向及び前記第2方向と鋭角をなす第3方向について対向する各縁部領域を保持するようになっている一対の第3保持機構と、
前記一対の第3保持機構の互いに対する距離を拡げることによって前記金属薄板に対し前記第3方向に第3引張力を与えるようになっている第3引張機構と、
前記一対の第3保持機構の少なくとも一方を前記第3方向に揺動させることによって前記第3引張力を与えられた状態の前記金属薄板を前記第3方向に揺動させるようになっている第3揺動機構と、
前記載置板上に載置される前記金属薄板の前記第3方向とは異なり前記第1方向及び前記第2方向と鋭角をなす第4方向について対向する各縁部領域を保持するようになっている一対の第4保持機構と、
前記一対の第4保持機構の互いに対する距離を拡げることによって前記金属薄板に対し前記第4方向に第4引張力を与えるようになっている第4引張機構と、
前記一対の第4保持機構の少なくとも一方を前記第4方向に揺動させることによって前記第4引張力を与えられた状態の前記金属薄板を前記第4方向に揺動させるようになっている第4揺動機構と、
を更に備えたことを特徴とする請求項8または9に記載の金属薄板の寸法測定装置。 - 金属薄板を載置板に載置する工程と、
一対の第1保持機構によって前記載置板に載置された前記金属薄板の第1方向について対向する各縁部領域を保持する工程と、
一対の第2保持機構によって前記載置板に載置された前記金属薄板の第1方向とは異なる第2方向について対向する各縁部領域を保持する工程と、
第1引張機構によって前記金属薄板を保持した状態の前記一対の第1保持機構の互いに対する距離を拡げることによって前記金属薄板に対し前記第1方向に第1引張力を与える工程と、
第2引張機構によって前記金属薄板を保持した状態の前記一対の第2保持機構の互いに対する距離を拡げることによって前記金属薄板に対し前記第2方向に第2引張力を与える工程と、
第1揺動機構によって前記一対の第1保持機構の少なくとも一方を前記第1方向に揺動させることによって前記第1引張力を与えられた状態の前記金属薄板を前記第1方向に揺動させる工程と、
第2揺動機構によって前記一対の第2保持機構の少なくとも一方を前記第2方向に揺動させることによって前記第2引張力を与えられた状態の前記金属薄板を前記第2方向に揺動させる工程と、
吸着機構によって前記第1引張力及び前記第2引張力を与えられた状態の前記金属薄板であって、前記第1方向及び前記第2方向に揺動された前記金属薄板を前記載置板に吸着させる工程と、
測定機構によって、平面視において前記載置板と重なる領域において、前記載置板に吸着された状態の前記金属薄板の少なくとも1つの寸法を測定する工程と、
を備えたことを特徴とする金属薄板の寸法測定方法。 - 前記第1方向と前記第2方向とは、直交関係にある
ことを特徴とする請求項11に記載の金属薄板の寸法測定方法。 - 前記吸着させる工程の前に、
一対の第3保持機構によって前記載置板上に載置された前記金属薄板の前記第1方向及び前記第2方向と鋭角をなす第3方向について対向する各縁部領域を保持する工程と、
一対の第4保持機構によって前記載置板上に載置された前記金属薄板の前記第3方向とは異なり前記第1方向及び前記第2方向と鋭角をなす第4方向について対向する各縁部領域を保持する工程と、
第3引張機構によって前記金属薄板を保持した状態の前記一対の第3保持機構の互いに対する距離を拡げることによって前記金属薄板に対し前記第3方向に第3引張力を与える工程と、
第4引張機構によって前記金属薄板を保持した状態の前記一対の第4保持機構の互いに対する距離を拡げることによって前記金属薄板に対し前記第4方向に第4引張力を与える工程と、
第3揺動機構によって前記一対の第3保持機構の少なくとも一方を前記第3方向に揺動させることによって前記第3引張力を与えられた状態の前記金属薄板を前記第3方向に揺動させる工程と、
第4揺動機構によって前記一対の第4保持機構の少なくとも一方を前記第4方向に揺動させることによって前記第4引張力を与えられた状態の前記金属薄板を前記第4方向に揺動させる工程と、
を更に備えたことを特徴とする請求項11または12に記載の金属薄板の寸法測定方法。 - 前記測定する工程は、前記載置板に吸着された状態の前記金属薄板の画像を撮像する工程と、撮像された画像を処理する工程と、を含んでいる
ことを特徴とする請求項11乃至13のいずれかに記載の金属薄板の寸法測定方法。 - 前記金属薄板を前記載置板に吸着させる工程の後に、前記第1引張機構及び前記第2引張機構によって前記金属薄板に対し与えられる前記第1引張力及び前記第2引張力を低減させる工程を更に備えた
ことを特徴とする請求項11乃至14のいずれかに記載の金属薄板の寸法測定方法。 - 前記金属薄板を前記載置板に吸着させる工程において、前記第1引張力及び前記第2引張力を与えられた状態の前記金属薄板と前記載置板との間のエアを吸引して、前記金属薄板と前記載置板とを吸着させる
ことを特徴とする請求項11乃至15のいずれかに記載の金属薄板の寸法測定方法。 - 金属薄板を載置板に載置する工程と、
複数対の第1保持機構の各対によって前記載置板に載置された前記金属薄板の第1方向について対向する各縁部領域を保持する工程と、
複数対の第2保持機構の各対によって前記載置板に載置された前記金属薄板の前記第1方向とは異なる第2方向について対向する各縁部領域を保持する工程と、
複数の第1引張機構によって前記金属薄板を保持した状態の前記複数対の第1保持機構の各対の互いに対する距離を拡げることによって前記金属薄板に対し前記第1方向に第1引張力を与える工程と、
複数の第2引張機構によって前記金属薄板を保持した状態の前記複数対の第2保持機構の各対の互いに対する距離を拡げることによって前記金属薄板に対し前記第2方向に第2引張力を与える工程と、
複数の第1揺動機構によって前記複数対の第1保持機構の各対の少なくとも一方を前記第1方向に揺動させることによって前記第1引張力を与えられた状態の前記金属薄板を前記第1方向に揺動させる工程と、
複数の第2揺動機構によって前記複数対の第2保持機構の各対の少なくとも一方を前記第2方向に揺動させることによって前記第2引張力を与えられた状態の前記金属薄板を前記第2方向に揺動させる工程と、
前記第1引張力及び前記第2引張力を与えられた状態の前記金属薄板であって、前記第1方向及び前記第2方向に揺動された前記金属薄板を前記載置板に吸着させる工程と、
測定機構によって、平面視において前記載置板と重なる領域において、前記載置板に吸着された状態の前記金属薄板の少なくとも1つの寸法を測定する工程と、
を備えたことを特徴とする金属薄板の寸法測定方法。 - 前記第1方向と前記第2方向とは、直交関係にある
ことを特徴とする請求項17に記載の金属薄板の寸法測定方法。 - 前記吸着させる工程の前に、
一対の第3保持機構によって前記載置板上に載置された前記金属薄板の前記第1方向及び前記第2方向と鋭角をなす第3方向について対向する各縁部領域を保持する工程と、
一対の第4保持機構によって前記載置板上に載置された前記金属薄板の前記第3方向とは異なり前記第1方向及び前記第2方向と鋭角をなす第4方向について対向する各縁部領域を保持する工程と、
一対の第3引張機構によって前記金属薄板を保持した状態の前記一対の第3保持機構の互いに対する距離を拡げることによって前記金属薄板に対し前記第3方向に第3引張力を与える工程と、
一対の第4引張機構によって前記金属薄板を保持した状態の前記一対の第4保持機構の互いに対する距離を拡げることによって前記金属薄板に対し前記第4方向に第4引張力を与える工程と、
第3揺動機構によって前記一対の第3保持機構の少なくとも一方を前記第3方向に揺動させることによって前記第3引張力を与えられた状態の前記金属薄板を前記第3方向に揺動させる工程と、
第4揺動機構によって前記一対の第4保持機構の少なくとも一方を前記第4方向に揺動させることによって前記第4引張力を与えられた状態の前記金属薄板を前記第4方向に揺動させる工程と、
を更に備えたことを特徴とする請求項17または18に記載の金属薄板の寸法測定方法。 - 前記金属薄板を前記載置板に吸着させる工程の後に、前記複数の第1引張機構及び前記複数の第2引張機構によって前記金属薄板に対し与えられる前記第1引張力及び前記第2引張力を低減させる工程を更に備えた
ことを特徴とする請求項17乃至19のいずれかに記載の金属薄板の寸法測定方法。 - 前記金属薄板を前記載置板に吸着させる工程において、前記第1引張力及び前記第2引張力を与えられた状態の前記金属薄板と前記載置板との間のエアを吸引して、前記金属薄板と前記載置板とを吸着させる
ことを特徴とする請求項17乃至20のいずれかに記載の金属薄板の寸法測定方法。
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JP2004311336A (ja) * | 2003-04-10 | 2004-11-04 | Dainippon Printing Co Ltd | 金属薄板の枠貼り方法及び装置 |
EP1548147A1 (en) * | 2003-12-26 | 2005-06-29 | Seiko Epson Corporation | Thin film formation method |
JP4479383B2 (ja) * | 2004-07-05 | 2010-06-09 | ウシオ電機株式会社 | パターン検査装置 |
JP2009088375A (ja) * | 2007-10-02 | 2009-04-23 | Nippon Avionics Co Ltd | テープキャリアの保持装置 |
KR100971753B1 (ko) * | 2007-11-23 | 2010-07-21 | 삼성모바일디스플레이주식회사 | 평판 표시장치의 박막 증착용 마스크 조립체 |
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