JP4947408B2 - 配列マスク支持装置 - Google Patents
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Description
第1に、中央部に導電性ボールの挿入される貫通孔が所定の配列パターンに形成された配列マスクを、被搭載物の上面に形成される導電性ボールの搭載面から適宜の間隔を介して支持する配列マスク支持装置とする。
第2に、被搭載物を囲むように配置されるベース部材を設け、該ベース部材の上端部が被搭載面よりわずかに高くなるように該ベース部材を支持する。
第3に、上記配列マスクを上記ベース部材上端部に張力をかけるように当接させて保持する。
2......半田ボール
3......配列マスク
4......ボールカップ
5......フレーム枠
6......貫通孔形成領域
7......支点
8......貫通孔
9......ウエハ載置テーブル
10.....保持用ブロック部材
11.....バックアッププレート
12.....バックアッププレート支持部
13.....引っ張り機構
14.....開口部
15.....引っ掛け部
16.....フレーム
17.....スタンド
18.....アーム
19.....保持部
20.....エアーシリンダ
Claims (4)
- 中央部に導電性ボールの挿入される貫通孔が所定の配列パターンに形成された配列マスクを、被搭載物の上面に形成される導電性ボールの搭載面から適宜の間隔を介して支持する配列マスク支持装置において、
被搭載物を囲むように配置されるベース部材を設け、該ベース部材の上端部が被搭載面よりわずかに高くなるように該ベース部材を支持し、
上記配列マスクを上記ベース部材上端部に張力をかけるように当接させて保持したことを特徴とする配列マスク支持装置。 - 上記配列マスクを多角形に形成するとともに、該配列マスクの角部に保持用ブロック部材を取り付け、該保持用ブロック部材を外方へ引っ張るように保持したことを特徴とする請求項1記載の配列マスク支持装置。
- 上記保持用ブロック部材を外方へ引っ張るように保持する保持手段を設け、該保持手段に対して上記保持用ブロック部材を着脱自在に装着したことを特徴とする請求項2記載の配列マスク支持装置。
- 上記ベース部材が石材で形成されたものである請求項1または2または3記載の配列マスク支持装置。
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JP2006153542A JP4947408B2 (ja) | 2006-06-01 | 2006-06-01 | 配列マスク支持装置 |
Applications Claiming Priority (1)
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JP2006153542A JP4947408B2 (ja) | 2006-06-01 | 2006-06-01 | 配列マスク支持装置 |
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JP4947408B2 true JP4947408B2 (ja) | 2012-06-06 |
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Family Applications (1)
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