JP2006294981A - 基板支持装置および基板支持方法 - Google Patents
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Abstract
【解決手段】基板Wを支持する基板支持部27を複数備える。各基板支持部27は、基板Wの下面W2に接触することにより、基板Wの下面W2の形状に応じて変位する接触ピン271と、接触ピン271の位置を固定する固定手段とを備える。基板Wの下面W2に実装済みの部品C1,C2が存在しても、各部品の高さに対応して接触ピン271は変位するため、基板Wの下面W2における部品配置等に応じて、基板支持部27の配置を変更する必要がない。
【選択図】図10
Description
前記基板支持部は、基板の下面に接触することにより、基板の下面形状に応じて変位する接触子と、前記接触子の位置を固定する固定手段と、を備えたことを特徴とする基板支持装置。
24 昇降テーブル
27 基板支持部
271 接触ピン(接触子)
272 軸部
273 筒体
274 第1永久磁石(付勢手段、磁気バネ)
275 第2永久磁石(付勢手段、磁気バネ)
276 固定手段
281 吸着管路(吸着手段)
51 ステンシル
61 スキージ
S クリーム半田(ペースト)
W 基板
W2 基板の下面
Claims (7)
- 複数の基板支持部を備え、
前記基板支持部は、基板の下面に接触することにより、基板の下面形状に応じて変位する接触子と、前記接触子の位置を固定する固定手段と、を備えたことを特徴とする基板支持装置。 - 前記接触子を上方に付勢する付勢手段を備えた請求項1に記載の基板支持装置。
- 前記付勢手段は磁気バネからなる請求項2に記載の基板支持装置。
- 前記固定手段は、流体圧によって接触子の位置を固定する請求項1〜3のいずれか1項に記載の基板支持装置。
- 前記各接触子に基板の下面を吸着する吸着手段を備えた請求項1〜4のいずれかに1項に記載の基板支持装置。
- 請求項1〜5のいずれか1項に記載の基板支持装置を備えた印刷装置。
- 基板の下面に複数の接触子を接触させることにより、各接触子を基板の下面形状に応じて変位させる一方、変位した接触子の位置を固定することにより、基板の下面を支持することを特徴とする基板支持方法。
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Cited By (4)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
WO2015063950A1 (ja) * | 2013-11-01 | 2015-05-07 | 富士機械製造株式会社 | 回路基材支持システム |
JP2015223696A (ja) * | 2014-05-26 | 2015-12-14 | パナソニックIpマネジメント株式会社 | スクリーン印刷装置 |
JPWO2016203561A1 (ja) * | 2015-06-17 | 2018-04-05 | 富士機械製造株式会社 | 基板保持装置 |
JP2018069467A (ja) * | 2016-10-25 | 2018-05-10 | 富士機械製造株式会社 | スクリーン印刷機 |
Families Citing this family (6)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP5003350B2 (ja) * | 2007-08-23 | 2012-08-15 | パナソニック株式会社 | 電子部品実装装置および電子部品実装方法 |
JP2010143085A (ja) * | 2008-12-18 | 2010-07-01 | Hitachi High-Tech Instruments Co Ltd | 基板支持装置及びスクリーン印刷機 |
JP6207997B2 (ja) * | 2013-01-30 | 2017-10-04 | 株式会社Screenホールディングス | パターン形成装置およびパターン形成方法 |
CN103481646B (zh) * | 2013-08-16 | 2015-05-20 | 常州天合光能有限公司 | 丝网印刷装置 |
EP3804992A4 (en) * | 2018-06-11 | 2021-05-26 | Fuji Corporation | CLAMP RAIL UNIT |
CN110774733B (zh) * | 2019-11-05 | 2021-11-05 | 桐乡市常新农机专业合作社 | 一种面料用印花机 |
Citations (13)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPS6378496A (ja) * | 1986-09-19 | 1988-04-08 | 株式会社日立製作所 | 静電破壊防止装置 |
JPH01120899A (ja) * | 1987-11-05 | 1989-05-12 | Sanyo Electric Co Ltd | 電子部品装着方法 |
JPH01123499A (ja) * | 1987-11-06 | 1989-05-16 | Sanyo Electric Co Ltd | 電子部品装着方法 |
JPH04293300A (ja) * | 1991-03-22 | 1992-10-16 | Fuji Mach Mfg Co Ltd | プリント基板支持装置 |
JPH0532342A (ja) * | 1991-06-13 | 1993-02-09 | Ricoh Co Ltd | 枚葉状フレキシブル基板の搬送装置 |
JPH0523598U (ja) * | 1991-09-03 | 1993-03-26 | 三洋電機株式会社 | 基板支持具の供給・収納装置 |
JPH0554834U (ja) * | 1991-11-05 | 1993-07-23 | 松下電器産業株式会社 | 磁気アクチュエータ |
JPH06208898A (ja) * | 1992-08-25 | 1994-07-26 | Takasago Thermal Eng Co Ltd | 帯電物品の中和装置 |
JPH06275366A (ja) * | 1993-03-22 | 1994-09-30 | Takasago Thermal Eng Co Ltd | 帯電物品の中和装置 |
JPH0773991A (ja) * | 1993-08-31 | 1995-03-17 | Takasago Thermal Eng Co Ltd | 基板搬送装置 |
JPH0973992A (ja) * | 1995-09-05 | 1997-03-18 | Sanki Eng Co Ltd | 除電方法及びその装置 |
JPH0973993A (ja) * | 1995-09-05 | 1997-03-18 | Sanki Eng Co Ltd | 除電方法及びその装置 |
JP2001349374A (ja) * | 2000-06-02 | 2001-12-21 | Delta Tooling Co Ltd | 磁気バネ構造及び該磁気バネ構造を用いた除振機構 |
-
2005
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-
2006
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Patent Citations (13)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPS6378496A (ja) * | 1986-09-19 | 1988-04-08 | 株式会社日立製作所 | 静電破壊防止装置 |
JPH01120899A (ja) * | 1987-11-05 | 1989-05-12 | Sanyo Electric Co Ltd | 電子部品装着方法 |
JPH01123499A (ja) * | 1987-11-06 | 1989-05-16 | Sanyo Electric Co Ltd | 電子部品装着方法 |
JPH04293300A (ja) * | 1991-03-22 | 1992-10-16 | Fuji Mach Mfg Co Ltd | プリント基板支持装置 |
JPH0532342A (ja) * | 1991-06-13 | 1993-02-09 | Ricoh Co Ltd | 枚葉状フレキシブル基板の搬送装置 |
JPH0523598U (ja) * | 1991-09-03 | 1993-03-26 | 三洋電機株式会社 | 基板支持具の供給・収納装置 |
JPH0554834U (ja) * | 1991-11-05 | 1993-07-23 | 松下電器産業株式会社 | 磁気アクチュエータ |
JPH06208898A (ja) * | 1992-08-25 | 1994-07-26 | Takasago Thermal Eng Co Ltd | 帯電物品の中和装置 |
JPH06275366A (ja) * | 1993-03-22 | 1994-09-30 | Takasago Thermal Eng Co Ltd | 帯電物品の中和装置 |
JPH0773991A (ja) * | 1993-08-31 | 1995-03-17 | Takasago Thermal Eng Co Ltd | 基板搬送装置 |
JPH0973992A (ja) * | 1995-09-05 | 1997-03-18 | Sanki Eng Co Ltd | 除電方法及びその装置 |
JPH0973993A (ja) * | 1995-09-05 | 1997-03-18 | Sanki Eng Co Ltd | 除電方法及びその装置 |
JP2001349374A (ja) * | 2000-06-02 | 2001-12-21 | Delta Tooling Co Ltd | 磁気バネ構造及び該磁気バネ構造を用いた除振機構 |
Cited By (5)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
WO2015063950A1 (ja) * | 2013-11-01 | 2015-05-07 | 富士機械製造株式会社 | 回路基材支持システム |
JPWO2015063950A1 (ja) * | 2013-11-01 | 2017-03-09 | 富士機械製造株式会社 | 回路基材支持システム |
JP2015223696A (ja) * | 2014-05-26 | 2015-12-14 | パナソニックIpマネジメント株式会社 | スクリーン印刷装置 |
JPWO2016203561A1 (ja) * | 2015-06-17 | 2018-04-05 | 富士機械製造株式会社 | 基板保持装置 |
JP2018069467A (ja) * | 2016-10-25 | 2018-05-10 | 富士機械製造株式会社 | スクリーン印刷機 |
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Publication number | Publication date |
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