JP4013860B2 - スクリーン印刷装置およびスクリーン印刷方法 - Google Patents
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Description
リアに保持された薄型の基板に当接させ、マスクプレート上にペーストを供給してスキージを摺動させることにより、前記パターン孔を介して前記基板にペーストを印刷するスクリーン印刷装置であって、前記マスクプレートの下方に配設された基板位置決め部と、この基板位置決め部に設けられ前記キャリアに保持された基板を下受けして吸着保持する基板保持部と、この基板保持部に前記基板を前記キャリアとともに搬入しまた基板保持部から前記基板を前記キャリアとともに搬出する基板搬送手段と、この基板搬送手段による搬送過程においては前記基板上に錘部材を載置して当該基板を前記キャリアに錘部材の自重により押し付けて基板の反り変形を矯正し、またペーストの印刷工程においては前記錘部材を前記キャリア上から除去する錘移載手段とを備えた。
段となっている。
6 下受け部
8 キャリア
9 ウェハ
10 押さえ部材
11 スクリーン印刷部
12 マスクプレート
13 スキージユニット
23 押さえ部材移載機構
Claims (2)
- パターン孔が設けられたマスクプレートを板状のキャリアに保持された薄型の基板に当接させ、マスクプレート上にペーストを供給してスキージを摺動させることにより、前記パターン孔を介して前記基板にペーストを印刷するスクリーン印刷装置であって、前記マスクプレートの下方に配設された基板位置決め部と、この基板位置決め部に設けられ前記キャリアに保持された基板を下受けして吸着保持する基板保持部と、この基板保持部に前記基板を前記キャリアとともに搬入しまた基板保持部から前記基板を前記キャリアとともに搬出する基板搬送手段と、この基板搬送手段による搬送過程においては前記基板上に錘部材を載置して当該基板を前記キャリアに錘部材の自重により押し付けて基板の反り変形を矯正し、またペーストの印刷工程においては前記錘部材を前記キャリア上から除去する錘移載手段とを備えたことを特徴とするスクリーン印刷装置。
- パターン孔が設けられたマスクプレートを板状のキャリアに保持された薄型の基板に当接させ、マスクプレート上にペーストを供給してスキージを摺動させることにより、前記パターン孔を介して前記基板にペーストを印刷するスクリーン印刷方法であって、前記マスクプレートの下方に配設された基板位置決め部に設けられた基板保持部に前記キャリアに保持された基板を下受けして吸着保持する基板保持工程と、前記基板を吸着保持した状態でスクリーン印刷を実行する印刷工程と、前記基板保持部に前記基板を前記キャリアとともに搬入しまた基板保持部から前記基板を前記キャリアとともに搬出する基板搬送工程とを含み、この基板搬送工程においては前記基板上に錘移載手段により錘部材を載置して当該基板を前記キャリアに錘部材の自重により押し付けて基板の反り変形を矯正し、また前記印刷工程においては錘移載手段により錘部材を前記基板上から除去することを特徴とするスクリーン印刷方法。
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