JP2009154354A - スクリーン印刷装置およびスクリーン印刷方法ならびに基板保持装置および基板保持方法 - Google Patents
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Abstract
【解決手段】下受け部材5の上面をスキージ移動方向に沿って複数に区分して単位吸着領域34A,34B,34Cを設定し、単位吸着領域毎に吸引孔5bからの真空吸引を個別にオン・オフ、強弱調節可能に構成する。マスクプレート12上でスキージ16Aを摺動させるスキージング工程において、スキージ16Aが摺動している位置に対応する単位吸着領域の吸引孔5bからの真空吸引をオフまたは弱に設定する。これにより、スキージング位置において基板7が窪むことによる印刷不具合を防止する。
【選択図】図5
Description
孔から真空吸引するために個別に設けられた個別吸引回路と、前記個別吸引回路を介して行われる前記吸引孔からの真空吸引を、個別にオン・オフおよびまたは強弱調節する吸引調節部と、前記スキージによる印刷動作において前記吸引調節部を前記スキージの位置と関連付けて制御する制御部とを備えた。
ってモータ25の回転を検出することにより、マスクプレート12の上面におけるスキージ16A、16Bの印刷方向(Y方向)の位置を検出することができるようになっている。
および真空調節弁マニフォールド35Rは吸引調節部35を構成し、制御部26は、オンオフ弁V1、V2、V3および真空調節弁R1、R2、R3を、それぞれ個別に制御することが可能となっている。
をヘッド移動機構49によって水平歩行に移動させる構成となっている。基板位置決め部42は、XYZテーブル43上に昇降部材44を介して下受け部材45を配置して構成されており、下受け部材45上には基板47を保持したキャリア46が保持されている。XYZテーブル43および昇降部材44は、基板保持部である下受け部材45を基板47に対して相対的に昇降させる昇降手段となっている。
2、42 基板位置決め部
3、43 XYZテーブル
4、44 昇降部材
5、45 下受け部材
5b 吸引孔
6、46 キャリア
6b 吸着孔
7、47 基板
10 スクリーン印刷部
12 マスクプレート
16A,16B スキージ
17 クリーム半田
31 内部吸引孔
34A、34B、34C、53A、53B、53C 単位吸着領域
35 吸引調節部
36 真空吸引源
49 ヘッド移動機構
50 搭載ヘッド
51 部品搭載機構
52 電子部品
Claims (6)
- パターン孔が形成されたマスクプレートの下面に基板を当接させ、前記マスクプレートの上面でスキージを摺動させることにより前記パターン孔を介して基板にペーストを印刷するスクリーン印刷装置であって、
前記基板の下面側に位置してこの基板を真空吸着により前記マスクプレートの下面側の印刷位置に保持する基板保持部と、前記基板保持部を前記基板に対して相対的に昇降させる昇降手段と、
前記基板保持部の上面を前記スキージの移動方向に沿って区分して設定された複数の単位吸着領域毎に設けられ前記基板を真空吸着するための吸引孔と、
前記各単位吸着領域の前記吸引孔から真空吸引するために個別に設けられた個別吸引回路と、
前記個別吸引回路を介して行われる前記吸引孔からの真空吸引を、個別にオン・オフおよびまたは強弱調節する吸引調節部と、
前記スキージによる印刷動作において前記吸引調節部を前記スキージの位置と関連付けて制御する制御部とを備えたことを特徴とするスクリーン印刷装置。 - 前記基板は薄型の樹脂基板であり、板状のキャリアを介して前記基板保持部に保持されることを特徴とする請求項1記載のスクリーン印刷装置。
- 作業ヘッドを水平方向に移動させることにより基板に対して電子部品実装用の所定の作業を実行する電子部品実装用装置において、前記基板を保持する基板保持装置であって、
前記基板の下面側に位置してこの基板を真空吸着により前記作業ヘッドによる作業位置に保持する基板保持部と、前記基板保持部を前記基板に対して相対的に昇降させる昇降手段と、前記基板保持部の上面を前記作業ヘッドの移動範囲に関連付けて区分して設定された複数の単位吸着領域毎に設けられ前記基板を真空吸着するための吸引孔と、
前記各単位吸着領域の前記吸引孔から真空吸引するために個別に設けられた個別吸引回路と、
前記個別吸引回路を介して行われる前記吸引孔からの真空吸引を、個別にオン・オフおよびまたは強弱調節する吸引調節部と、
前記作業ヘッドによる作業動作において、前記吸引調節部を前記作業ヘッドの位置と関連付けて制御する制御部とを備えたことを特徴とする基板保持装置。 - 前記基板は薄型の樹脂基板であり、板状のキャリアを介して前記基板保持部に保持されることを特徴とする請求項3記載の基板保持装置。
- 基板の下面側に位置してこの基板を真空吸着によりマスクプレートの下面側の印刷位置に保持する基板保持部と、前記基板保持部を前記基板に対して相対的に昇降させる昇降手段と、前記基板保持部の上面を前記スキージの移動方向に沿って区分して設定された複数の単位吸着領域毎に設けられ前記基板を真空吸着するための吸引孔と、前記各単位吸着領域の前記吸引孔から真空吸引するために個別に設けられた個別吸引回路と、前記個別吸引回路を介して行われる前記吸引孔からの真空吸引を個別にオン・オフおよびまたは強弱調節する吸引調節部と、前記スキージによる印刷動作において前記吸引調節部を前記スキージの位置と関連付けて制御する制御部とを備えたスクリーン印刷装置によって、パターン孔が形成されたマスクプレートの下面と前記基板を当接させ、前記マスクプレート上面でスキージを摺動させることにより前記パターン孔を介して前記基板にペーストを印刷するスクリーン印刷方法であって、
前記基板を前記基板保持部によって下受けして前記マスクプレートの下面側の印刷位置に保持する基板下受け工程と、前記マスクプレートの上面でスキージを摺動させることにより前記パターン孔を介して基板にペーストを印刷するスキージング工程と、印刷後の前
記基板をマスクプレートの下面から離隔させる版離れ工程とを含み、
前記スキージング工程において、前記マスクプレート上で前記スキージが摺動している位置に対応する前記単位吸着領域の吸引孔からの真空吸引を、前記吸引調節部によってオフまたは弱に設定することを特徴とするスクリーン印刷方法。 - 作業ヘッドを水平方向に移動させることにより基板に対して電子部品実装用の所定の作業を実行する電子部品実装用装置において、前記基板の下面側に位置してこの基板を真空吸着により作業ヘッドによる作業位置に保持する基板保持部と、前記基板保持部を前記基板に対して相対的に昇降させる昇降手段と、前記基板保持部の上面を前記作業ヘッドの移動範囲に関連付けて区分して設定された複数の単位吸着領域毎に設けられ前記基板を真空吸着するための吸引孔と、各単位吸着領域の前記吸引孔から真空吸引するために個別に設けられた個別吸引回路と、前記個別吸引回路を介して行われる前記吸引孔からの真空吸引を個別にオン・オフおよびまたは強弱調節する吸引調節部と、前記作業ヘッドによる作業動作において前記吸引調節部を前記作業ヘッドの位置と関連付けて制御する制御部とを備えた基板保持装置によって、前記基板を保持する基板保持方法であって、
前記基板を前記基板保持部によって下受けして前記作業ヘッドによる作業位置に保持する基板下受け工程と、前記作業ヘッドを水平方向に移動させることにより基板に対して電子部品実装用の所定の作業を実行する作業実行工程とを含み、
前記作業実行工程において、前記作業位置に対応する前記単位吸着領域の吸引孔からの真空吸引を、前記吸引調節部によってオフまたは弱に設定することを特徴とする基板保持方法。
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JP2007333766A JP2009154354A (ja) | 2007-12-26 | 2007-12-26 | スクリーン印刷装置およびスクリーン印刷方法ならびに基板保持装置および基板保持方法 |
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