KR101160174B1

KR101160174B1 - 스크린 인쇄 장치 및 스크린 인쇄 방법

Info

Publication number: KR101160174B1
Application number: KR1020067026398A
Authority: KR
Inventors: 타카아키 사카우에; 유지 오타케; 마사후미 니시다; 테쯔야 타나카
Original assignee: 파나소닉 주식회사
Priority date: 2004-05-17
Filing date: 2005-05-13
Publication date: 2012-06-26
Also published as: KR20070015616A; CN100477884C; EP1757176B1; DE602005010247D1; US20050252395A1; WO2005112530A1; CN1954649A; US7281472B2; EP1757176A1

Abstract

마스크 플레이트의 아랫면을 기판과 접촉시키고 상기 마스크 플레이트의 윗면에 스퀴즈를 이동시켜, 상기 기판 상에 페이스트(paste)를 인쇄하는 스크린 프린팅 장치에 있어서, 마스크 휨 방지 부재들은 상기 기판을 Y 방향으로 크램핑하는 클램프 부재들의 앞과 뒷부분에서 이송 레일에 장착되고, 프린팅 후 마스크 분리 작업 시, 상기 기판은 상기 마스크 플레이트의 아랫면이 상기 크램프 부재들과 상기 마스크 휨 방지 부재들에 의해 지지되어 있는 동안 내려진다. 따라서, 상기 마스크 플레이트가 상기 기판의 네 측면들 아래 측에서 지지되어 있고 아래 방향으로의 휘어짐이 방지되어 있는 상태에서, 마스크 분리가 얻어질 수 있으며, 충분한 마스크 분리 특성은 상기 기판 전체에 걸쳐 확보될 수 있다.

Description

스크린 인쇄 장치 및 스크린 인쇄 방법{SCREEN PRINTING APPARATUS AND SCREEN PRINTING METHOD}

본 발명은 크림 땜납과 같은 페이스트(paste)를 기판에 인쇄하는 스크린 인쇄 장치 및 스크린 인쇄 방법에 관한 것이다.

전자 부품의 납땜을 위해, 땜납 범프(solder bump) 또는 땜납 프리코팅(solder precoating)을 이용하는 방법이 알려져 있다. 이러한 방법에서, 땜납 전극이 돌출되는 땜납 범프 또는 땜납 필름(solder film)인 땜납 프리코팅은 전자 부품 또는 기판 등의 대상물(work)의 전극에 납땜을 위해 형성된다. 이러한 땜납 형성 단계에서, 스크린 인쇄는 땜납 공급의 한 방법으로 넓게 이용되고 있다. 이러한 인쇄 방법에서, 크림 땜납은 마스크 플레이트에 마련된 구멍 패턴을 통해 대상물의 윗면에 인쇄된다. 스크린 인쇄 작업에서, 스퀴즈를 이동하는 스퀴징(squeezing) 단계 후, 마스크 플레이트의 아랫면에서 기판을 분리하는 마스크 분리 단계를 실행한다. 이러한 마스크 분리 작업에서, 기판은 인쇄 위치에서 기판의 양 측면을 클램프하는 클램프 부재들에 의해 내려져, 마스크 플레이트의 아랫면이 지지된 상태에서, 마스크 플레이트로부터 분리된다(예, 특허문헌 1).

특허문헌 1: 일본공개특허 평7-214748호(JP-A-7-214748)

최근, 전자 부품들은 대상물에 형성된 전극간격이 좁아짐에 따라 정교해지고 있으며, 다수의 전극들은 고밀도로 정렬되고 있다. 따라서, 범프(bump) 형성을 이용한 마스크 플레이트의 전극들은 인쇄 회로 기판에 땜납 인쇄를 이용한 마스크 플레이트의 전극들에 비해 현저하게 얇은 두께를 갖는다. 그러나, 높은 밀도의 전극들을 갖는 대상물을 위한 이러한 얇은 두께의 마스크 플레이트는, 스크린 인쇄 방법을 이용할 경우, 다음과 같은 단점을 야기한다.

스크린 인쇄에서 충분한 인쇄품질을 얻기 위해서는, 구멍 패턴에 크림 땜납을 확실하게 충진시키는 충진 품질과, 충진 후 대상물로부터 마스크 플레이트를 분리할 때, 크림 땜납이 구멍 패턴으로부터 형태의 파괴 없이 분리될 수 있는 마스크 분리 품질의 만족이 요구된다. 그러나, 인쇄 작업은 전극밀도의 증가와 얇아진 마스크로 인하여 더욱 어려운데, 특히 대상물의 전역에 걸쳐 마스크 분리 품질을 확실하게 만족시키는 것이 어렵다.

따라서, 본 발명의 목적은 마스크 분리 품질의 만족을 보장할 수 있는 스크린 인쇄 장치 및 스크린 인쇄 방법을 제공하는 것이다.

위 목적을 달성하기 위하여, 본 발명의 스크린 인쇄 장치 및 스크린 인쇄 방법은 다음 구성을 갖는 것을 특징으로 한다.

(1) 마스크 플레이트의 패턴 구멍을 통해 페이스트(paste)를 상기 마스크 플레이트와 접촉하고 있는 기판에 인쇄하는 스크린 인쇄 장치로서:

상기 기판이 상기 마스크 플레이트의 아랫면과 위치 결정부의 사이에 위치하고 있는 상태에서 상기 기판을 지지하고, 인쇄를 위해 상기 기판을 반입하고 인쇄 후 상기 기판을 반출하도록 상기 기판을 제1방향으로 이송하며, 인쇄를 위해 상기 마스크 플레이트의 아랫면에 상기 기판이 접촉되도록 상기 기판을 상기 마스크 플레이트 쪽으로 이송시키고, 인쇄 후 상기 마스크 플레이트의 아랫면으로부터 상기 기판을 분리시키는 위치 결정부;

상기 기판을 상기 제1방향에 대하여 수직인 제2방향으로 클램프하고, 상기 기판이 상기 마스크 플레이트의 아랫면으로부터 분리되었을 때, 상기 기판의 바깥 측으로 향하는 상기 마스크 플레이트의 아랫면을 상기 제2방향으로 지지하는 한 쌍의 클램프 부재들; 및

상기 기판이 상기 마스크 플레이트의 아랫면으로부터 분리되었을 때, 상기 기판의 바깥 측으로 향하는 상기 마스크 플레이트의 아랫면을 상기 제1방향으로 지지하는 한 쌍의 마스크 휨 방지 부재들을 포함한다.

(2) (1)에 따른 스크린 인쇄 장치로서, 상기 위치 결정부는 상기 기판을 흡착하는 방식으로 상기 기판을 지지한다.

(3) (1)에 따른 스크린 인쇄 장치로서, 상기 위치 결정부는 상기 제1방향으로 마련된 2개의 이송 레일들을 포함하고,

상기 한 쌍의 클램프 부재들은 상기 이송 레일들과 결합되어 있고, 상기 한 쌍의 마스크 휨 방지 부재들은 각각 상기 이송 레일들과 결합되어 있으며,

상기 이송 레일들은 상기 한 쌍의 클램프 부재들과 상기 한 쌍의 마스크 휨 방지 부재들이 상기 기판의 바깥 측을 향하는 상기 마스크 플레이트의 아랫면에 접촉되도록 이동된다.

(4) (3)에 따른 스크린 인쇄 장치로서, 상기 한 쌍의 마스크 휨 방지 부재들은 상기 마스크 플레이트의 아랫면과 접촉한 상기 한 쌍의 마스크 휨 방지 부재들의 윗면 높이와, 상기 마스크 플레이트의 아랫면과 접촉한 상기 한 쌍의 클램프 부재들의 윗면 높이가 일치되도록 장착되어 있다.

(5) (1)에 따른 스크린 인쇄 장치로서, 상기 한 쌍의 마스크 휨 방지 부재들은 상기 위치 결정부에 수직으로 이동가능하게 필수적으로 마련되고,

상기 스크린 인쇄 장치는 상기 기판이 상기 마스크 플레이트에서 분리되기 시작할 때, 상기 한 쌍의 마스크 휨 방지 부재들의 윗면의 높이를 상기 한 쌍의 클램프 부재들의 윗면 높이와 같게 유지하는 한 쌍의 유지 부재를 더 구비한다.

(6) (5)에 따른 스크린 인쇄 장치로서, 상기 한 쌍의 유지 부재는 상기 기판이 상기 마스크 플레이트로부터 분리되는 동안, 상기 한 쌍의 마스크 휨 방지 부재들의 윗면 높이를 상기 한 쌍의 클램프 부재들의 윗면 높이와 같게 유지한다.

(7) (5)에 따른 스크린 인쇄 장치로서, 상기 한 쌍의 유지 부재는 상기 한 쌍의 마스크 휨 방지 부재들을 상기 마스크 플레이트 방향으로 상승시키고, 상기 한 쌍의 마스크 휨 방지 부재들의 상한 위치를 한정한다.

(8) 구멍 패턴을 갖는 마스크 플레이트를 제공하는 공정;

기판이 상기 마스크 플레이트의 아랫면과 기판 지지부의 사이에 위치되도록 상기 기판을 상기 기판 지지부의 제1방향으로 반입하는 공정;

상기 기판을 한 쌍의 클램프 부재들을 이용하여 상기 제1방향의 수직한 제2방향으로 클램핑하는 공정;

상기 기판, 상기 클램프 부재들, 및 상기 기판 바깥 측의 상기 제1방향에 위치한 한 쌍의 마스크 휨 방지 부재들을 상기 마스크 플레이트의 아랫면과 접촉시키는 공정;

상기 구멍 패턴을 통해 상기 마스크 플레이트와 접촉하고 있는 상기 기판에 페이스트(paste)를 인쇄하는 공정; 및

상기 마스크 플레이트의 아랫면이 상기 클램프 부재들과 상기 마스크 휨 방지 부재들에 의해 지지되어 있는 상태에서, 상기 기판을 상기 마스크 플레이트의 아랫면으로부터 분리하는 공정을 포함하는 스크린 인쇄 방법.

(9) (8)에 따른 스크린 인쇄 방법으로서, 상기 접촉 단계에서, 상기 기판, 상기 클램프 부재들, 및 상기 마스크 휨 방지 부재들의 윗면들은 동일 평면상에서 상기 마스크 플레이트의 아랫면에 접촉된다.

본 발명에 따르면, 마스크 휨 방지 부재들은 상기 기판의 이송방향의 바깥쪽에서 상기 마스크 플레이트의 아랫면과 접촉하도록 마련되고, 이에 따라 이송방향에 수직한 방향으로 상기 기판을 클램프하는 클램프 부재들과 함께 상기 기판의 4 측면의 아랫면으로부터 상기 마스크 플레이트를 지지하고, 상기 마스크 분리는 상기 마스크 플레이트가 아래 방향으로의 휘어짐이 방지되어 있는 상태에서 얻어질 수 있으며, 충분한 마스크 분리 특성은 상기 기판 전체에 걸쳐 확보할 수 있다.

도 1은 본 발명을 구체화한 스크린 인쇄 장치의 측면을 나타낸다.

도 2는 본 발명을 구체화한 스크린 인쇄 장치의 평면을 나타낸다.

도 3a 및 도 3b는 본 발명을 구체화한 스크린 인쇄 장치의 부분 단면을 나타낸다.

도 4는 본 발명을 구체화한 스크린 인쇄 장치의 마스크 플레이트 지지상태를 나타낸다.

도 5a, 도 5b, 및 도 5c는 본 발명을 구체화한 스크린 인쇄 장치의 기능을 설명하는 도면들을 나타낸다.

도 6a, 도 6b, 및 도 6c는 본 발명을 구체화한 스크린 인쇄 장치의 기능을 설명하는 도면들을 나타낸다.

도 7은 본 발명을 구체화한 스크린 인쇄 장치의 평면도를 나타낸다.

도 8a 및 도 8b은 본 발명을 구체화한 스크린 인쇄 장치의 부분 단면을 나타낸다.

도 9는 본 발명을 구체화한 스크린 인쇄 장치에서 마스크 플레이트의 지지 상태를 나타낸다.

도 10a, 도 10b, 및 도 10c은 본 발명을 구체화한 스크린 인쇄 장치의 기능을 설명하는 도면들을 나타낸다.

도 11a, 도 11b, 및 도 11c은 본 발명을 구체화한 스크린 인쇄 장치의 기능을 설명하는 도면들을 나타낸다.

다음에서, 본 발명의 실시예들을 동봉된 도면들을 참조하여 설명하겠다. 도 1은 본 발명을 구체화한 스크린 인쇄 장치의 측면을 나타낸다; 도 2는 본 발명을 구체화한 스크린 인쇄 장치의 평면을 나타낸다; 도 3a 및 도 3b는 본 발명을 구체화한 스크린 인쇄 장치의 부분 단면을 나타낸다; 도 4는 본 발명을 구체화한 스크린 인쇄 장치의 마스크 플레이트 지지상태를 나타낸다; 도 5a, 도 5b, 도 5c, 도 6a, 도 6b, 및 도 6c는 본 발명을 구체화한 스크린 인쇄 장치의 기능을 설명하는 도면들을 나타낸다; 도 7은 본 발명을 구체화한 스크린 인쇄 장치의 평면도를 나타낸다; 도 8a 및 도 8b은 본 발명을 구체화한 스크린 인쇄 장치의 부분 단면을 나타낸다; 도 9는 본 발명을 구체화한 스크린 인쇄 장치에서 마스크 플레이트의 지지 상태를 나타낸다; 도 10a, 도 10b, 도 10c, 도 11a, 도 11b, 및 도 11c은 본 발명을 구체화한 스크린 인쇄 장치의 기능을 설명하는 도면들을 나타낸다.

(실시예 1)

스크린 인쇄 장치의 제1구조를 도 1 및 도 2를 참조하여 설명한다. 도 1을 참조하면, 기판 위치 결정부(1)는 Y-축 테이블(2), X-축 테이블(3), 및 Z-축 테이블(4)에 의해 형성된 이동가능한 테이블 위에 기판 지지부(5)가 놓인 형태로 구성된다. 상기 기판 지지부(5)는 윗면에 기판(6) 흡입용 및 지지용 기판 지지면이 마 련되어, 상기 기판(6)을 후술할 스크린 인쇄부의 마스크 플레이트 아랫면의 인쇄 위치의 아래쪽에서 지지한다.

Y-축 테이블(2)과 X-축 테이블(3)은 상기 기판 지지부(5)에 의해 지지된 기판(6)을 X-방향 및 Y-방향으로 이동시켜, 이를 통해 스크린 인쇄에서 상기 기판(6)의 위치를 조정할 수 있도록 제어된 방법으로 구동된다. 또한, 상기 Z-축 테이블(4)은 상기 기판 지지부(5)에 의해 지지된 상기 기판(6)이 높이방향의 임의의 위치로 수직하게 이동할 수 있도록 제어된 방법으로 구동된다.

상기 기판 위치 결정부(1)의 위에, 한 쌍의 이송 레일들(7)은 상류 측으로부터 제공된 기판(6)을 상기 기판 위치 결정부(1)까지 X-방향(제1방향)으로 이송하기 위해 수평방향으로 마련되어 있다. 또한, 상기 기판(6)은, 후술할 스크린 인쇄부(10)에 의해 상기 기판 위치 결정부(1)에서 인쇄된 후, 이송 레일들(7)에 의해 하류 측으로 유사하게 이송된다. 따라서, 이송 레일들(7)은 상기 기판(6)을 X-방향으로 이송하기 위한 기판 이송부를 구비하여, 상기 기판(6)을 상기 기판 지지부(5)로 반입하고, 인쇄 후 상기 기판 지지부(5)로부터 상기 기판을 반출한다.

상기 한 쌍의 이송 레일들(7)은 클램프 부재들(8)과 함께 각각 제공되며, 이들 중 하나는 클램프 구동 장치(9)의 이동 막대(9a)와 결합되어 수평하게 이동가능하다. 상기 이동 막대(9a)의 돌출 상태에서, 상기 클램프 부재(8)는 상기 기판(6)의 측면 모서리로부터 분리된 상태, 즉 클램프 해제 상태에 있다. 상기 이동 막대(9a)의 귀환 이동에 의해, 이동 가능한 쪽의 상기 클램프 부재(8)는 화살표 a로 표시된 바와 같이 Y-방향(제2방향)으로 이동하고, 상기 기판 지지부(5)에 의해 지 지된 상기 기판(6)은 양 측면에서부터 측면 모서리의 단면이 끼워져 클램프된다. 상기 이송 레일들(7)은 이송부 승강 장치(도시되지 않음)에 의해 수직으로 이동가능므로, 인쇄 작업에서, 클램프 부재들(8)에 의해 클램프된 상기 기판(6)을 마스크 플레이트(12)의 아랫면과 접촉시킬 수 있다.

스크린 인쇄부(10)는 상기 기판 위치 결정부(1)의 위에 마련되어 있으며, 직사각 홀더(11)까지 확장되고 다수의 구멍 패턴(12a)을 갖는 마스크 플레이트(12)와, 이들 위에 마련된 스퀴즈 유닛(13)으로 구성되어 있다. 상기 스퀴즈 유닛(13)은 수평 베이스(14) 상에 수직으로 마련된 2개의 스퀴즈 승강 장치(15)에 의해 수직하게 이동가능한 스퀴즈(16)를 제공하고, 미 도시된 스퀴즈 이동 장치에 의해 Y-방향으로 왕복운동을 수행한다.

상기 기판(6)은 상기 기판 위치 결정부(1)에 의해 상기 마스크 플레이트(12)에 대하여 일치되게 정렬되고, 상기 마스크 플레이트(12)의 아랫면에 접촉되어 유지된다. 상기 기판(6)이 상기 마스크 플레이트(12)의 아랫면에 접촉한 채로 유지되어 있는 상태에서, 크림 땜납 페이스트(cream solder paste)는 상기 마스크 플레이트(12)에 공급되고, 상기 스퀴즈(16)는 상기 마스크 플레이트(12)의 윗면에 접촉하도록 슬라이드 되어, 상기 크림 땜납을 상기 구멍 패턴(12a)을 통해 상기 기판(6) 상에 인쇄한다. 이러한 스크린 인쇄 작업에서, 상기 기판(6)은 상기 클램프 부재들(8)에 의해 양 측면들이 클램프 되어, 수평 위치로 유지된다.

이송 레일들(7) 상에, 도 2에 도시된 바와 같이, 긴 판 형상을 갖는 2개의 마스크 휨 방지 부재들(117)은 상기 마스크 휨 방지 부재들(117)의 윗면의 높이가 상기 클램프 부재들(8)의 윗면의 높이와 일치된 채, 상기 클램프 부재(8)의 앞뒤 끝에 각각 대응하여 장착되어 있다. 상기 마스크 휨 방지 부재들(117)은 상기 이송 레일들(7)에 의한 상기 기판(6)의 이송 작업을 방해하지 않도록 상기 이송 레일들(7)의 윗면 위에 위치되어 있다. 따라서, 상기 클램프 부재들(8)과 상기 마스크 휨 방지 부재들(117)은 상기 기판 이송부(5)에 X-방향으로 마련된 상기 이송 레일들(7)과 결합되어 있다.

상기 마스크 휨 방지 부재(117)는 이동 가능한 쪽의 상기 이송 레일(7, 도 1에서 오른쪽)이 폭 방향에서의 위치를 변경할 수 있도록 수직으로 관통되고 대체로 전장의 반 이상인 장홈(117a)을 제공하고 있다. 도 3a는 도 2의 A-A 단면을 묘사한다. 상기 마스크 휨 방지 부재(117)는 볼트(118)에 의해 고정된 쪽의 상기 이송 레일(7, 도 1에서 왼쪽)에 고정되어 있는 한편, 상기 장홈(117a)을 관통하는 볼트(118)에 의해 이동가능한 쪽의 상기 이송 레일(7)에 유지되어, 상기 이송 레일(7)의 수직한 방향에서의 이동을 제한받는다. 상기 볼트(118)는 상기 기판(6)의 폭 너비에 따라 이동 가능한 쪽의 상기 이송 레일(7)을 Y-방향으로 옮겨 놓는 경우에 상기 장홈(117a)을 따라 슬라이드 된다.

도 3b는 상기 기판 지지부(5)에 의해 지지된 상기 기판(6)에 상기 스크린 인쇄부(10)에 의해 인쇄 작업이 수행될 때, 상기 클램프 부재들(8)과 상기 마스크 휨 방지 부재들(117)의 높이 방향으로의 위치들을 나타낸다. 이러한 인쇄 작업에서, 상기 기판(6)을 지지하는 상기 기판 지지부(5)는 Z-축 테이블(4)에 의해 승강하고, 이송 레일들(7)은 이송부 승강 장치에 의해 승강되어, 상기 클램프 부재들(8)과 상 기 마스크 휨 방지 부재들(117)은 상기 마스크 플레이트(12)의 아랫면에 접촉된다.

따라서, 도 4에 도시된 바와 같이, 상기 마스크 플레이트(12)는, 상기 아랫면에 접촉한 상기 기판(6)의 주변에서, X-방향의 2면들이 상기 클램프 부재들(8)에 의해, 그리고 Y-방향의 2면이 상기 마스크 휨 방지 부재들(117)에 의해 바깥 위치의 아래 측에서 지지되어 있다. 상기 스크린 인쇄부(10)에 의한 인쇄 작업은 이와 같이 지지된 상태에서 수행된다. 또한, 인쇄 작업 후 상기 기판(6)을 상기 마스크 플레이트(12)의 아랫면으로부터 분리하는 마스크 분리 작업은 도 4에 도시된 바와 같이 상기 마스크 플레이트(12)의 지지된 상태에서 상기 Z-축 테이블(4)에 의해 상기 기판 지지부(5)를 내림으로써 수행된다.

따라서, 전술된 구성에서, 상기 Z-축 테이블(4)은, 상기 기판 지지부(5)에 의해 지지되고 상기 마스크 플레이트(12)의 아랫면과 접촉한 상태로 유지된 상기 기판(6)을, 상기 마스크 플레이트(12)의 아랫면으로부터 분리하는 마스크 분리 기능을 갖는다. 또한, 상기 클램프 부재들(8)은 상기 기판 지지부(5)에 의해 지지된 상기 기판(6)을 X-방향에 대하여 수직한 Y-방향으로 클램프하고, 상기 마스크 플레이트(12)의 아랫면으로부터 상기 기판(6)을 분리하는 상기 마스크 분리 작업 시, 상기 기판(6)의 바깥쪽에서 Y-방향으로 상기 마스크 플레이트의 아랫면을 지지한다. 또한, 상기 마스크 휨 방지 부재들(117)은 상기 기판 지지부(5)에서 상기 기판(6)의 이송을 방해하지 않는 위치에 마련되어 있으며, 마스크 분리 작업 시, 상기 기판(6)의 바깥쪽에서 상기 마스크 플레이트의 아랫면을 Y-방향으로 지지한다.

도 4를 참조하면, 상기 기판(6)이 X-방향에서 상기 클램프 부재들(8)의 길이 보다 작은 경우, 상기 마스크 휨 방지 부재(117)와 상기 기판(6) 사이에, 상기 마스크 플레이트(12)가 아래 측에서 지지되지 않는 비 지지 영역(쇄선으로 표시된 영역) C가 발생한다. 이 경우, 이러한 비 지지 영역은 예들 들어 상기 마스크 휨 방지 부재(117)에 상기 비 지지 영역 C를 덮기 위한 평면 형태(예들 들어, 상기 기판 측으로 향한 돌출부를 갖는 형태)를 상기 기판(6)의 크기에 따라 구비하고, 상기 기판(6)에 따라 상기 부재(117)를 교체함으로써 최소화시킬 수 있다.

다음에서는 전술한 스크린 인쇄 장치에 의한 스크린 인쇄 작업을 도 5a, 도 5b, 도 5c, 도 6a, 도 6b, 및 도 6c를 참조하여 설명한다. 도 5a, 도 5b, 도 5c, 도 6a, 도 6b, 및 6c에서, 중심선의 왼쪽 부분은 도 2의 B-B 절단면의 구성상태를 나타내고, 오른쪽 부분은 도 2의 A-A 절단면의 구성상태를 나타낸다. 먼저, 도 5a에 도시된 바와 같이, 인쇄될 기판(6)은 상기 이송 레일들(7)에 의해 상기 제1방향으로 이송되어, 상기 기판 위치 결정부(1)의 상기 기판 지지부(5)로 반입되고(기판 반입 단계), 그 다음 상기 기판 지지부(5)는 상기 기판(6)의 아랫면과 접촉하도록 상기 Z-축 테이블(4)에 의해 승강되어 상기 기판(6)을 아래 측에서 지지한다.

그 후, 도 5b에 도시된 바와 같이, 상기 기판 지지부(5)는 상기 기판(6)의 윗면이 상기 클램프 부재들(8) 및 상기 마스크 휨 방지 부재들(117)의 윗면과 동일 평면상에 위치되도록 상기 Z-테이블에 의해 더 승강되고, 상기 기판(6)의 양 단면들은 상기 클램프 부재들(8)에 의해 Y-방향으로 클램프된다(클램핑 단계). 그러면, 도 5c에 도시된 바와 같이, 상기 이송 레일들(7)은 상기 마스크 플레이트(12)의 아랫면이 상기 기판(6), 상기 클램프 부재들(8), 및 X-방향에서 상기 기판(6)의 바깥 쪽에 마련된 상기 마스크 휨 방지 부재들(117)과 상대적으로 접촉하도록 상기 이송부 승강 장치에 의해 승강된다(마스크 장착 단계). 따라서, 상기 마스크 플레이트(12)는 도 4에 도시된 평면도와 같이 장치의 아래 측에서 지지된다.

이 상태에서, 상기 스퀴즈(16)는 상기 구멍 패턴(12a)을 통해 상기 기판(6)에 크림 땜납을 인쇄할 수 있도록 도 6a에 도시된 바와 같이 상기 마스크 플레이트(12)의 윗면에 슬라이드 된다(스퀴징 단계). 그 다음 상기 마스크 분리가 수행된다. 도 6b에 도시된 바와 같이, 상기 기판 지지부(5)는 상기 마스크 플레이트(12)의 아랫면이 상기 클램프 부재들(8)과 상기 마스크 휨 방지 부재들(117)에 의해 지지되어 있는 상태에서, 상기 Z-축 테이블(4)에 의해 내려져, 상기 기판 지지부(5)의 윗면에 흡착 지지된 상기 기판(6)이 상기 마스크 플레이트(12)의 아랫면으로부터 분리되고(마스크 분리 단계), 상기 기판(6)은 상기 이송 레일들(7) 위에 위치된다.

그 후, 상기 이송 레일들(7)은 상기 클램프 부재들(8)과 상기 마스크 휨 방지 부재들(117)이 상기 마스크 플레이트(12)의 아랫면으로부터 분리될 수 있도록 도 6c에 도시된 바와 같이 내려지고, 상기 기판(6)은 인쇄 작업 후 이송 레일들(7)에 의해 하류 측으로 이송되어, 상기 기판(6)의 연속적인 스크린 인쇄 작업들이 종료된다.

전술된 스크린 인쇄 작업들에서, 상기 마스크 분리는 상기 마스크 플레이트(12)의 지지 상태에서 수행되기 때문에, 클램핑 부재(8) 및 상기 마스크 휨 방지 부재들(117)의 동일 평면상의 윗면들이 도 4에 도시된 바와 같이 상기 기판(6)의 4 면의 바깥 부분에서 상기 마스크 플레이트(12)의 아랫면을 지지하므로, 상기 마스크 플레이트(12)의 아랫면과 접촉한 상태에서, 상기 마스크 플레이트(12)의 아랫면과 상기 기판(6)의 윗면을 분리하기 위해 상기 기판(6)이 내려질 때 발생하는 소위 '마스크 접착'이라 일컫는 결함을 피할 수 있다.

더욱 상세하게는, 일반적으로 스퀴징 이후 상태에서, 상기 기판의 윗면과 상기 마스크 플레이트의 아랫면은 상기 구멍 패턴의 크림 땜납뿐만 아니라 상기 기판의 윗면과 상기 마스크 플레이트의 아랫면 사이로 크림 땜납이 누설됨에 의해 상호 접속상태가 되며, 상기 마스크 분리 작업 초기에, 상기 기판의 끌어당김에 의해 상기 마스크 플레이트는 아래쪽으로 휘어지는 경향이 있다. 그리고, 마스크 플레이트의 휨 정도가 특정 한계에 이르고, 휨 상태에서 원래 상태로 회복하려는 복원력이 상기 마스크 플레이트와 상기 기판 사이의 접착력을 넘어서면, 마스크 플레이트의 아랫면으로부터 상기 기판의 윗면이 분리된다.

휨 정도가 큰 경우에는, 상기 패턴 구멍으로부터 상기 크림 땜납의 추출 상태가 상기 마스크 플레이트의 전역에 걸쳐 일정하지 않게 되고, 인쇄 형상 파괴와 같은 인쇄 결점이 상기 패턴 구멍에서의 크림 땜납의 잔존 또는 불규칙한 형태로의 크림 땜납의 추출 등으로 발전하는 경향이 있다. 따라서, 마스크 분리 시 상기 마스크 플레이트의 휨을 최소화하기 위해, 가능한 상기 기판(6)의 바깥쪽 모서리에 가까운 위치에서 상기 마스크 플레이트(12)의 아랫면을 지지하는 것이 바람직하다.

본 실시예에서, 상기 마스크 플레이트(12)는 위에서 설명한 바와 같이 상기 기판(6)의 4 측면의 바깥 부분에서, 즉 X-방향의 두 측면들은 상기 클램프 부재 들(8)에 의해 그리고 Y-방향의 두 측면들은 상기 마스크 휨 방지 부재들(117)에 의해 지지되어 있어, 마스크 분리 시 상기 마스크 플레이트(12)의 휨이 최소화된다. 이 방법에서는, 고밀도의 미세 간격의 전극을 갖는 기판의 경우에서도 균일하고 만족스런 마스크 분리 품질이 보장될 수 있다.

(실시예 2)

본 실시예에서, 스크린 인쇄 장치의 구조는 상기 실시예 1와 같으며, 따라서 이러한 부분은 설명하지 않겠다.

Z-축 테이블(4)의 윗면에, 도 7에 도시된 바와 같이, 2개의 마스크 휨 방지 부재들(217)은 연장된 판 형태를 가지며, X-방향으로 마련된 상기 클램프 부재들(8)의 앞쪽과 뒤쪽에 각각 Y-방향으로 마련된다. 상기 마스크 휨 방지 부재(217)의 양 단부 위에, 높이 제한 부재들(218)은 Y-방향으로 연장되어 있는 2개의 이송 레일들(7)에 고정된다. 도 8a에서는 도 7의 A-A 단면을 보여주며, 여기서 상기 마스크 휨 방지 부재들(217)은 상기 Z-축 테이블(4)의 윗면 상에 수직으로 이동가능하게 필수적으로 상기 기판 지지부(5)에 마련된다.

상기 마스크 휨 방지 부재들(217)은 압축 스프링들(219)에 의해 위쪽으로 상승되며, 상기 압축 스프링들(219)의 압축 범위에 의해 연장 및 수축된다. 또한, 상기 마스크 휨 방지 부재들(217)의 양단부로부터 바깥쪽으로 연장된 스토퍼들(217a) 위에, 높이 제한 면들(218a)이 상기 높이 제한 부재들(218)의 아랫면에 부분적인 노칭에 의해 형성되어 있다. 상기 Z-축 테이블(4)의 승강에 의해, 상기 마스크 휨 방지 부재들(217)은 승강되고, 상기 스토퍼들(217a)은 상기 높이 제한 면들(218a)에 접한다.

상기 마스크 휨 방지 부재들(217) 및 상기 높이 제한 부재들(218)의 크기는, 접한 상태에서, 상기 마스크 휨 방지 부재들(217)의 윗면들이 상기 클램프 부재들(8)의 아랫면과 동일평면상에 위치되도록 정해진다. 상기 마스크 휨 방지 부재들(217)이 상기 압축 스프링들(219)에 의해 위쪽으로 상승되므로, 일단 상기 스토퍼들(217a)이 상기 높이 제한 면들(218a)에 접한 후에는, 상기 마스크 휨 방지 부재들(217)의 높이는 상기 Z-축 테이블(4) 높이의 위치에 관계없이 기설정된 높이로 유지된다.

도 8b는 인쇄 작업이 상기 기판 지지부(5)에 의해 지지된 상기 기판(6) 상에 상기 스크린 인쇄부(10)에 의해 수행될 때, 상기 클램프 부재들(8)과 상기 마스크 휨 방지 부재(217)의 높이의 위치를 보여준다. 이 인쇄 작업에서, 상기 이송 레일들(7)은 상기 이송부 승강 장치에 의해 상기 클램프 부재들(8)과 함께 승강되어, 상기 클램프 부재들(8)은 상기 마스크 플레이트(12)와 접촉된다. 또한, 상기 기판(6)을 지지하는 상기 기판 지지부(5)와 상기 마스크 휨 방지 부재들(217)은 상기 Z-축 테이블(4)에 의해 승강되고, 상기 스토퍼들(217a)의 높이가 상기 높이 제한 면들(218a)에 의해 제한됨에 따라, 상기 마스크 휨 방지 부재(217)는 상기 클램프 부재들(8)의 윗면과 동일평면상에 위치되어 상기 마스크 플레이트(12)의 윗면과 거의 접촉된다.

따라서, 도 9에 도시된 바와 같이, 상기 마스크 플레이트(12)는 상기 기 판(6)의 둘레의 아랫면에서, 상기 X-방향의 2 면들은 상기 클램프 부재들(8)에 의해 그리고 상기 Y-방향의 2면들은 상기 마스크 휨 방지 부재들(217)에 의해 지지되어 있다. 상기 스크린 인쇄부(10)에 의한 인쇄 작업은 이러한 지지 상태에서 수행된다.

또한, 상기 기판(6)을 상기 마스크 플레이트(12)의 아랫면으로부터 분리하는 마스크 분리 작업은 상기 인쇄 작업 후 도 9에 도시된 바와 같이 상기 마스크 플레이트(12)의 지지 상태에서, 상기 Z-축 테이블(4)에 의해 상기 기판 지지부(5)를 내림으로서 수행된다. 이러한 마스크 분리 작업 상태에서, 상기 Z-축 테이블(4)은 상기 압축 스프링들(219)의 압축된 높이만큼 내려지는 반면, 상기 스토퍼들(217a)은 상기 압축 스프링들(219)의 미는 힘에 의해 상기 높이 제한 면들(218a)에 접촉한 상태로 유지한다. 따라서, 상기 마스크 플레이트(12)로부터 상기 기판(6)이 분리되기 시작하는 상기 마스크 분리 작업의 시작 시기에, 상기 마스크 휨 방지 부재(217)의 윗면은 상기 클램프 부재들(8)의 윗면의 높이와 동일평면상에 위치된 상태로 유지되어, 상기 마스크 플레이트(12)의 아랫면을 아래 측에서 지지한다.

따라서, 전술된 구성에서, 상기 Z-축 테이블(4)은, 상기 기판 지지부(5)에 의해 지지되고 상기 마스크 플레이트(12)의 아랫면과 접촉한 상태로 유지된 상기 기판(6)을, 상기 마스크 플레이트(12)의 아랫면으로부터 분리하는 마스크 분리 기능을 갖는다. 또한, 상기 클램프 부재들(8)은 상기 기판 지지부(5)에 의해 지지된 상기 기판(6)을 X-방향에 대하여 수직한 Y-방향으로 클램프하고, 상기 마스크 플레이트(12)의 아랫면으로부터 상기 기판(6)을 분리하는 상기 마스크 분리 작업 시, 상기 기판(6)의 바깥쪽에서 Y-방향으로 상기 마스크 플레이트의 아랫면을 지지한다.

또한, 상기 마스크 휨 방지 부재들(217)은 상기 Z-축 테이블(4)에 의해 수직으로 이동가능하고, 상기 기판 지지부(5)와 일체되며, 인쇄 작업 시, 상기 기판(6)의 바깥쪽에서 상기 마스크 플레이트(12)의 아랫면을 X-방향으로 지지하도록 마련된다. 상기 압축 스프링들(219)은 상기 마스크 휨 방지 부재들(217)을 위쪽으로 밀어올리는 미는 수단을 구비하고, 상기 높이 제한 면들(218a)은 상기 마스크 휨 방지 부재들(217)의 위쪽 한계 위치를 제한하는 높이 제한 수단을 구비한다. 아울러, 상기 압축 스프링들(219)과 상기 높이 제한 면들(218a)은 상기 마스크 분리 작업 중, 상기 기판(6)이 상기 마스크 플레이트(12)로부터 분리되기 시작하는 적어도 상기 마스크 분리의 시작 단계에서, 상기 클램프 부재들(8)의 윗면과 동일한 높이로 상기 마스크 휨 방지 부재들(217)의 윗면을 유지하는 부재 높이 유지 수단을 구비한다.

도 9를 참조하면, 상기 기판(6)이 X-방향에서 상기 클램프 부재들(8)의 길이보다 작은 경우, 상기 마스크 휨 방지 부재(117)와 상기 기판(6) 사이에, 상기 마스크 플레이트(12)가 아래 측에서 지지되지 않는 비 지지 영역(쇄선으로 표시된 영역) C가 발생한다. 이 경우, 이러한 비 지지 영역은 예들 들어 상기 마스크 휨 방지 부재(117)에 상기 비 지지 영역 C를 덮기 위한 평면 형태(예들 들어, 상기 기판 측으로 향한 돌출부를 갖는 형태)를 상기 기판(6)의 크기에 따라 구비하고, 상기 기판(6)에 따라 상기 부재(117)를 교체함으로써 최소화시킬 수 있다.

또한, 상기 기판(6)이 X-방향으로 대체로 일정한 크기를 갖는 경우, 상기 기판(6)과의 틈새를 최소화할 수 있도록 상기 마스크 휨 방지 부재(217)를 상기 영역 C에 위치시키는 것이 바람직하다. 이러한 경우, 상기 이송 레일들(7)에 고정된 상기 높이 제한 부재(218) 대신에 클램프 부재(8)에 높이 제한 면이 마련된다.

다음에서는 전술한 스크린 인쇄 장치에 의한 스크린 인쇄 작업을 도 10a, 도 10b, 도 10c, 도 11a, 도 11b, 및 도 11c를 참조하여 설명한다. 도 10a, 도 10b, 도 10c, 도 11a, 도 11b, 및 11c에서, 중심선의 왼쪽 부분은 도 7의 B-B 절단면의 구성상태를 나타내고, 오른쪽 부분은 도 7의 A-A 절단면의 구성상태를 나타낸다. 먼저, 도 10a에 도시된 바와 같이, 인쇄될 기판(6)은 상기 이송 레일들(7)에 의해 상기 제1방향으로 이송되어, 상기 기판 위치 결정부(1)의 상기 기판 지지부(5)로 반입되고(기판 반입 단계), 그 다음 상기 기판 지지부(5)는 상기 기판(6)의 아랫면과 접촉하도록 상기 Z-축 테이블(4)에 의해 승강되어 상기 기판(6)을 아래 측에서 지지한다. 이 상태에서, 상기 마스크 휨 방지 부재들(217)은 상기 압축 스프링들(219)에 의해 상방으로 제한되어 있지 않으며, 위쪽으로 신장되어 있다.

그 후, 도 10b에 도시된 바와 같이, 상기 기판 지지부(5)는 상기 기판(6)의 윗면이 상기 클램프 부재들(8) 및 상기 마스크 휨 방지 부재들(117)의 윗면과 동일 평면상에 위치되도록 상기 Z-테이블에 의해 더 승강되고, 상기 기판(6)의 양 단면들은 상기 클램프 부재들(8)에 의해 Y-방향으로 클램프된다(클램핑 단계). 이 상태에서, 또한 상기 마스크 휨 방지 부재들(217)은 상기 스토퍼들(217a)들이 상기 높 이 제한 면들(218a)에 접할 때까지 승강되어, 상기 마스크 휨 방지 부재들(217)의 윗면이 또한 상기 클램프 부재들(8)의 윗면과 동일평면상에 위치된다.

그러면, 도 10c에 도시된 바와 같이, 상기 이송 레일들(7)은 상기 마스크 플레이트(12)의 아랫면이 X-방향에서 상기 기판(6)의 바깥쪽에 마련된 상기 마스크 휨 방지 부재들(217), 상기 클램프 부재들(8), 및 상기 기판(6)과 상대적으로 접촉하도록 상기 이송부 승강 장치에 의해 승강된다(마스크 장착 단계). 따라서, 상기 마스크 플레이트(12)는 도 9에 도시된 평면도와 같이 장치의 아래 측에서 지지되어 있다. 이 상태에서, 상기 스퀴즈(16)는 상기 구멍 패턴(12a)을 통해 상기 기판(6)에 크림 땜납을 인쇄할 수 있도록 상기 마스크 플레이트(12)의 윗면에 슬라이드 된다(스퀴징 단계).

그 다음 상기 마스크 분리가 수행된다. 도 11a에 도시된 바와 같이, 상기 기판 지지부(5)는 상기 Z-축 테이블(4)에 의해 내려져, 상기 기판 지지부(5)의 윗면에 흡착 지지된 상기 기판(6)이 상기 마스크 플레이트(12)의 아랫면으로부터 분리된다(마스크 분리 단계).

이 작업에서, 상기 클램프 부재들(8)은 상기 마스크 플레이트(12)의 아랫면에 접촉한 상태로 유지되고, 상기 마스크 휨 방지 부재들(217)은 상기 Z-축 테이블(4)이 상기 압축 스프링들(219)의 압축 양의 이하로 내려질 때까지 유지되어, 상기 스토퍼들(217a)이 상기 압축 스프링들(219)의 상방 신장에 의해 상기 높이 제한 면들(218a)과 접하는 상태에서, 상기 마스크 휨 방지 부재들(217)의 윗면이 상기 마스크 플레이트(12)의 아랫면과 접촉한 상태로 유지되고, 아랫면으로부터 지지된 상태로 유지된다.

그러면, 상기 Z-축 테이블(4)을 더 내림에 따라, 상기 기판 지지부(5)에 의해 지지된 상기 기판(6)은 도 11b에 도시된 바와 같이 내려져, 상기 이송 레일들(7) 위에 위치된다. 동시에, Z-축 테이블(4)이 상기 압축 스프링들(219)의 압축 양 이하로 내림에 따라, 상기 마스크 휨 방지 부재들(217)은 상기 마스크 플레이트(12)의 아랫면으로부터 분리된다. 따라서, 상기 이송 레일들(7)은 상기 클램프 부재들(8)과 상기 마스크 휨 방지 부재들(117)이 상기 마스크 플레이트(12)의 아랫면으로부터 분리될 수 있도록 도 11c에 도시된 바와 같이 내려지고, 상기 기판(6)은 인쇄 작업 후 이송 레일들(7)에 의해 하류 측으로 이송되어, 상기 기판(6)의 연속적인 스크린 인쇄 작업들이 종료된다.

전술된 스크린 인쇄 작업들에서, 상기 마스크 분리는 도 9에 도시된 바와 같이 상기 마스크 플레이트(12)의 지지 상태에서 수행되므로, 상기 마스크 플레이트(12)의 아랫면과 접촉한 상태에서, 상기 마스크 플레이트(12)의 아랫면과 상기 기판(6)의 윗면을 분리하기 위해 상기 기판(6)이 내려질 때 발생하는 소위 '마스크 접착'이라 일컫는 결함을 피할 수 있다.

더욱 상세하게는, 일반적으로 스퀴징 이후 상태에서, 상기 기판의 윗면과 상기 마스크 플레이트의 아랫면은 상기 구멍 패턴의 크림 땜납뿐만 아니라 상기 기판의 윗면과 상기 마스크 플레이트의 아랫면 사이로 크림 땜납이 누설됨에 의해 상호 접속상태가 되며, 상기 마스크 분리 작업 초기에, 상기 기판의 끌어당김에 의해 상 기 마스크 플레이트는 아래쪽으로 휘어지는 경향이 있다. 그리고, 마스크 플레이트의 휨 정도가 특정 한계에 이르고, 휨 상태에서 원래 상태로 회복하려는 복원력이 상기 마스크 플레이트와 상기 기판 사이의 접착력을 넘어서면, 마스크 플레이트의 아랫면으로부터 상기 기판의 윗면이 분리된다.

휨 정도가 큰 경우에는, 상기 패턴 구멍으로부터 상기 크림 땜납의 추출 상태가 상기 마스크 플레이트의 전역에 걸쳐 일정하지 않게 되고, 인쇄 형상 파괴와 같은 인쇄 결점이 상기 패턴 구멍에서의 크림 땜납의 잔존 또는 불규칙한 형태로의 크림 땜납의 추출 등으로 발전하는 경향이 있다. 따라서, 마스크 분리 시 상기 마스크 플레이트의 휨을 최소화하기 위해, 가능한 상기 기판(6)의 바깥쪽 모서리에 가깝게 위치에서 상기 마스크 플레이트(12)의 아랫면을 지지하는 것이 바람직하다.

본 실시예에서, 상기 마스크 플레이트(12)는 위에서 설명한 바와 같이 상기 기판(6)의 4 측면의 바깥 부분에서, 즉 X-방향의 두 측면들은 상기 클램프 부재들(8)에 의해 그리고 Y-방향의 두 측면들은 상기 마스크 휨 방지 부재들(217)에 의해 지지되어 있어, 마스크 분리 시 상기 마스크 플레이트(12)의 휨이 최소화된다. 이 방법에서는, 고밀도의 미세 간격의 전극을 갖는 기판의 경우에서도 균일하고 만족스런 마스크 분리 품질이 보장될 수 있다.

본 발명에 따른 스크린 인쇄 장치 및 스크린 인쇄 방법은 만족할만한 마스크 분리 품질을 보장할 수 있는 효과가 있으며, 기판상에 크림 땜납 또는 전도성 페이스트 등의 페이스트를 인쇄하는 분야에서 유용하다.

Claims

마스크 플레이트의 패턴 구멍을 통해 페이스트(paste)를 상기 마스크 플레이트와 접촉하고 있는 기판에 인쇄하는 스크린 인쇄 장치로서:

상기 기판이 상기 마스크 플레이트의 아랫면과 위치 결정부의 사이에 위치하고 있는 상태에서 상기 기판을 지지하고, 인쇄를 위해 상기 기판을 반입하고 인쇄 후 상기 기판을 반출하도록 상기 기판을 제1방향으로 이송하며, 인쇄를 위해 상기 마스크 플레이트의 아랫면에 상기 기판이 접촉되도록 상기 기판을 상기 마스크 플레이트 쪽으로 이송시키고, 인쇄 후 상기 마스크 플레이트의 아랫면으로부터 상기 기판을 분리시키는 위치 결정부;

상기 기판을 상기 제1방향에 대하여 수직인 제2방향으로 클램프하고, 상기 기판이 상기 마스크 플레이트의 아랫면으로부터 분리되었을 때, 상기 기판의 바깥 측으로 향하는 상기 마스크 플레이트의 아랫면을 상기 제2방향으로 지지하는 한 쌍의 클램프 부재들; 및

상기 기판이 상기 마스크 플레이트의 아랫면으로부터 분리되었을 때, 상기 기판의 바깥 측으로 향하는 상기 마스크 플레이트의 아랫면을 상기 제1방향으로 지지하는 한 쌍의 마스크 휨 방지 부재들을 포함하는 스크린 인쇄 장치.
청구항 1에 있어서,

상기 위치 결정부는 상기 기판을 흡착하는 방식으로 상기 기판을 지지하는 것을 특징으로 하는 스크린 인쇄 장치.
청구항 1에 있어서,

상기 위치 결정부는 상기 제1방향으로 마련된 2개의 이송 레일들을 포함하고,

상기 한 쌍의 클램프 부재들은 상기 이송 레일들과 결합되어 있고, 상기 한 쌍의 마스크 휨 방지 부재들은 각각 상기 이송 레일들과 결합되어 있으며,

상기 이송 레일들은 상기 한 쌍의 클램프 부재들과 상기 한 쌍의 마스크 휨 방지 부재들이 상기 기판의 바깥 측을 향하는 상기 마스크 플레이트의 아랫면에 접촉되도록 이동되는 것을 특징으로 하는 스크린 인쇄 장치.
청구항 3에 있어서,

상기 한 쌍의 마스크 휨 방지 부재들은 상기 마스크 플레이트의 아랫면과 접촉한 상기 한 쌍의 마스크 휨 방지 부재들의 윗면 높이와, 상기 마스크 플레이트의 아랫면과 접촉한 상기 한 쌍의 클램프 부재들의 윗면 높이가 일치되도록 장착되어 있는 것을 특징으로 하는 스크린 인쇄 장치.
청구항 1에 있어서,

상기 한 쌍의 마스크 휨 방지 부재들은 상기 위치 결정부에 수직으로 이동가능하게 필수적으로 마련되고,

상기 스크린 인쇄 장치는 상기 기판이 상기 마스크 플레이트에서 분리되기 시작할 때, 상기 한 쌍의 마스크 휨 방지 부재들의 윗면의 높이를 상기 한 쌍의 클램프 부재들의 윗면 높이와 같게 유지하는 한 쌍의 유지 부재를 더 구비하는 것을 특징으로 하는 스크린 인쇄 장치.
청구항 5에 있어서,

상기 한 쌍의 유지 부재는 상기 기판이 상기 마스크 플레이트로부터 분리되는 동안, 상기 한 쌍의 마스크 휨 방지 부재들의 윗면 높이를 상기 한 쌍의 클램프 부재들의 윗면 높이와 같게 유지하는 것을 특징으로 하는 스크린 인쇄 장치.
청구항 5에 있어서,

상기 한 쌍의 유지 부재는 상기 한 쌍의 마스크 휨 방지 부재들을 상기 마스크 플레이트 방향으로 상승시키고, 상기 한 쌍의 마스크 휨 방지 부재들의 상한 위치를 한정하는 것을 특징으로 하는 스크린 인쇄 장치.
구멍 패턴을 갖는 마스크 플레이트를 제공하는 공정;

기판이 상기 마스크 플레이트의 아랫면과 기판 지지부의 사이에 위치되도록 상기 기판을 상기 기판 지지부의 제1방향으로 반입하는 공정;

상기 기판을 한 쌍의 클램프 부재들을 이용하여 상기 제1방향의 수직한 제2방향으로 클램핑하는 공정;

상기 기판, 상기 클램프 부재들, 및 상기 기판 바깥 측의 상기 제1방향에 위치한 한 쌍의 마스크 휨 방지 부재들을 상기 마스크 플레이트의 아랫면과 접촉시키는 공정;

상기 구멍 패턴을 통해 상기 마스크 플레이트와 접촉하고 있는 상기 기판에 페이스트(paste)를 인쇄하는 공정; 및

상기 마스크 플레이트의 아랫면이 상기 클램프 부재들과 상기 마스크 휨 방지 부재들에 의해 지지되어 있는 상태에서, 상기 기판을 상기 마스크 플레이트의 아랫면으로부터 분리하는 공정을 포함하는 스크린 인쇄 방법.
청구항 8에 있어서,

상기 접촉 단계에서, 상기 기판, 상기 클램프 부재들, 및 상기 마스크 휨 방지 부재들의 윗면들은 동일 평면상에서 상기 마스크 플레이트의 아랫면에 접촉되는 것을 특징으로 하는 스크린 인쇄 방법.