KR20100122643A - 범프 인쇄장치 - Google Patents

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KR20100122643A
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bump
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김준곤
최상순
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삼성전기주식회사
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    • B23—MACHINE TOOLS; METAL-WORKING NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
    • B23K—SOLDERING OR UNSOLDERING; WELDING; CLADDING OR PLATING BY SOLDERING OR WELDING; CUTTING BY APPLYING HEAT LOCALLY, e.g. FLAME CUTTING; WORKING BY LASER BEAM
    • B23K3/00—Tools, devices, or special appurtenances for soldering, e.g. brazing, or unsoldering, not specially adapted for particular methods
    • B23K3/06—Solder feeding devices; Solder melting pans
    • B23K3/0607—Solder feeding devices
    • B23K3/0623—Solder feeding devices for shaped solder piece feeding, e.g. preforms, bumps, balls, pellets, droplets

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Abstract

본 발명은 기판상에 인쇄되는 솔더 범프의 인쇄성을 향상시킬 수 있는 범프 인쇄장치에 관한 것이다.
본 발명에 따른 범프 인쇄장치는 기판이 안착되는 인쇄 테이블; 상기 기판상에 밀착되고, 인쇄 후 분리되면서 상기 기판상에 솔더 범프를 인쇄하는 마스크; 및 상기 인쇄 테이블에서 상기 마스크의 단부까지 연장되며, 상기 마스크의 단부를 흡인하여 상기 마스크의 단부가 진공상태로 밀착하는 마스크 테이블;을 포함한다.
솔더 범프, 메탈 마스크, 인쇄 테이블, 진공 흡착

Description

범프 인쇄장치{Bump Printing Apparatus}
본 발명은 범프 인쇄장치에 관한 것으로, 더욱 상세하게는 회로기판상에 인쇄되는 솔더 범프의 인쇄성을 향상시킬 수 있는 범프 인쇄장치에 관한 것이다.
일반적으로 플립 칩(Flip Chip), 탭(Tape Automated Bonding), 와이어 본딩(Wire Bonding) 방식 등이 인쇄회로기판(PCB)이나 웨이퍼 레벨 패키지(WLP) 등과 같은 외부 기판(substrate)에 칩을 연결하는 방식으로 사용된다.
그 중에서도 단위면적당 패드의 수를 증가시킬 수 있다는 장점때문에 플립 칩 방법이 휴대용 전자제품의 제조에 널리 이용되고 있다.
이러한 플립 칩 방법은 칩과 외부 기판의 양호한 본딩을 위해 웨이퍼에 솔더 범프를 형성하는 것으로, 특히 솔더 범프의 제작 기술은 양호한 전도성과 균일한 높이를 가지며 미세 피치(Fine Pitch)를 갖는 솔더 범프를 형성하는 방법으로 발달해 왔다.
이와 같은 플립 칩의 솔더 범프 형성 기술은 범핑 되는 물질에 따라 솔더 범프의 특성 및 그 응용 범위가 결정되는 특징이 있는데 대표적인 솔더 범프 형성 기 술로는 용융 땝납에 패드 전극을 접촉시키는 용융 땝납 방법, 패드 전극 상에 솔더 범프(Solder Bump)를 스크린 인쇄한 후 리플로우(Reflow)하는 스크린 인쇄법, 패드 전극 상에 솔더 볼(Solder Ball)을 탑재해 리플로우하는 솔더 볼 법, 패드 전극에 땝납 도금을 실시하는 도금법 등이 있다.
이 중 스크린 인쇄법은 솔더 범프를 형성하기 위한 공정이 간단하고, 제조 비용이 저렴하며, 원하는 금속성분을 가진 범프를 형성할 수 있다는 점에서 솔더 범프의 형성 방법으로 가장 많이 사용되고 있다.
이러한 스크린 인쇄법은 홀(hole)이 특정 패턴에 따라 형성된 (메탈)마스크를 인쇄회로기판상에 밀착시킨 상태에서 상기 마스크의 상면으로 스퀴지를 이용하여 솔더 페이스트를 압착 이동시켜 상기 홀을 메우면서 솔더 범프의 인쇄를 실시하게 된다.
그러나, 현재의 스크린 인쇄법은 인쇄회로기판의 상면에 마스크가 놓여져 단순히 밀착만되는 구조로 스크린 인쇄 공정시 기판과 마스크 사이에 틈새(gap)가 발생하는 문제가 발생한다.
이러한 틈새는 특히 마스크와 면접하는 기판의 모서리 부분에서 주로 발생하며, 그 부분을 중심으로 솔더 페이스트의 퍼짐, 쇼트(short), 범프가 형성되지 않는 미싱 범프(Missing Bump) 등과 같은 인쇄불량이 대량으로 발생하는 원인이 된다.
따라서, 솔더 범프의 인쇄성을 저하시켜 회로기판의 제품불량 및 신뢰성을 감소시키는 문제를 발생시킨다.
따라서, 본 발명은 상술한 종래기술의 문제점을 해결하기 위해 안출된 것으로서, 인쇄불량의 발생을 방지하여 솔더 범프의 인쇄성을 향상시킴은 물론, 솔더 범프의 불량발생을 방지하여 기판의 신뢰성을 증가시킬 수 있는 범프 인쇄장치를 제공함을 그 목적으로 한다.
본 발명의 실시예에 따른 범프 인쇄장치는 기판이 안착되는 인쇄 테이블; 상기 기판상에 밀착되고, 인쇄 후 분리되면서 상기 기판상에 솔더 범프를 인쇄하는 마스크; 및 상기 인쇄 테이블에서 상기 마스크의 단부까지 연장되며, 상기 마스크의 단부를 흡인하여 상기 마스크의 단부가 진공상태로 밀착하는 마스크 테이블;을 포함할 수 있다.
또한, 상기 인쇄 테이블 및 상기 마스크 테이블 내에 구비되며, 상기 기판과 마스크가 각각 상기 인쇄 테이블 및 마스크 테이블상에 밀착되도록 에어(air)를 흡인하고, 상기 마스크가 상기 기판과 분리되도록 에어를 분사하는 에어 노즐부를 더 포함할 수 있다.
또한, 상기 마스크 테이블은 상기 인쇄 테이블의 외측면 방향으로 연장되어 일체로 형성될 수 있다.
또한, 상기 마스크 테이블은 상기 인쇄 테이블의 외측면에 분리가능하게 구 비될 수 있다.
또한, 상기 마스크 테이블은 그 상부면이 상기 인쇄 테이블상에 안착되는 상기 기판의 상부면과 동일한 수평면상에 위치할 수 있다.
또한, 상기 마스크 테이블은 상기 인쇄 테이블을 중심으로 서로 대향하여 배치되며, 상기 기판의 두께에 대응하는 높이만큼 돌출되어 상기 인쇄 테이블과 단차를 이룰 수 있다.
또한, 상기 에어 노즐부는, 상기 인쇄 테이블의 상부면을 따라 복수개로 구비되며, 상기 기판이 상기 인쇄 테이블상에 밀착되도록 에어를 흡인하는 기판 노즐; 및 상기 마스크 테이블의 상부면을 따라 복수개로 구비되며, 상기 마스크가 상기 기판과 마스크 테이블상에 밀착되도록 에어를 흡인하고, 상기 마스크가 상기 기판과 분리되도록 에어를 분사하는 마스크 노즐;을 포함할 수 있다.
또한, 상기 마스크 노즐은 상기 마스크 테이블 및 상기 인쇄 테이블의 상부면을 따라 복수개 구비될 수 있다.
또한, 상기 기판은 상기 에어 노즐부에서 분사되는 에어가 상기 기판을 통과하여 상기 기판의 상부측으로 이동하도록 에어 홀(air hole)을 관통형성하여 구비할 수 있다.
또한, 상기 에어 노즐부를 제어하는 제어부를 더 포함할 수 있다.
본 발명에 따른 범프 인쇄장치는 솔더 범프의 불량발생을 효과적으로 방지하 여 인쇄성 및 수율이 향상될 수 있으며, 따라서 기판의 신뢰성을 증가시키는 것이 가능하다.
또한, 제품의 생산성이 향상됨은 물론 장치의 구조가 간단하여 적용 및 공정관리가 용이하다는 장점이 있다.
본 발명에 따른 범프 인쇄장치의 실시예에 관한 구체적인 사항을 도면을 참조하여 설명한다.
도 1a, 1b는 본 발명의 실시예에 따른 범프 인쇄장치를 개략적으로 나타내는 사시도 및 단면도이고, 도 2a, 2b는 도 1에 도시한 범프 인쇄장치에서 마스크 테이블과 인쇄 테이블 일실시예 및 다른 실시예를 개략적으로 나타내는 단면도이며, 도 3a, 3b는 도 1에 도시한 마스크 테이블과 인쇄 테이블에서 마스크 테이블의 일실시예 및 다른 실시예를 개략적으로 나타내는 평면도이고, 도 4a, 4b는 도 1에 도시한 마스크 테이블과 인쇄 테이블에서 기판 노즐 및 마스크 노즐의 일실시예 및 다른 실시예를 개략적으로 나타내는 단면도이다.
그리고, 도 5a는 도 3a에 도시한 마스크 테이블과 인쇄 테이블에서 기판이 안착된 상태를 나타내는 평면도이고, 도 5b는 도 5a에서 y-y축을 따라 절개한 상태를 나타내는 확대단면도이며, 도 6은 도 3b에 도시한 마스크 테이블과 인쇄 테이블에서 기판이 안착된 상태를 나타내는 평면도이다.
도 1 내지 도 6을 참조하면, 본 발명의 실시예에 따른 범프 인쇄장치(1)는 인쇄 테이블(10), 마스크(20), 마스크 테이블(30), 에어 노즐부(40)를 포함하여 구성된다.
상기 인쇄 테이블(10)은 그 상부면에 안착되는 기판(b)을 고정시켜 솔더 범프(70)를 인쇄하기 위한 스크린 프린트 공정을 수행하는 지그부재이다.
상기 인쇄 테이블(10)은 도면에서와 같이 기판(b)의 형상에 대응하는 사각형의 형상을 가지는 것이 일반적이나, 반드시 이에 한정하는 것은 아니다.
그리고, 상기 기판(b)으로는 경성 및 연성 회로기판을 포함하는 수지 재질의 인쇄회로기판(PCB), 세라믹 기판 등 일반적인 기판이 모두 사용될 수 있다.
이때, 상기 기판(b)에는 복수개의 에어 홀(air hole)(h)이 관통형성되어 상기 에어 노즐부(40)에서 분사되는 에어(air)가 상기 기판(b)을 통과하여 상기 기판(b)의 상부측으로 이동할 수 있도록 한다.
상기 에어 홀(h)은 상기 인쇄 테이블(10)에서 분사되는 에어가 상기 기판(b)에 의해 간섭받지 않고 상기 기판(b)상에 밀착된 마스크(20)를 분리시키기 위한 것으로 이에 대한 상세한 설명은 후술한다.
상기 인쇄 테이블(10)상에 안착되는 상기 기판(b)의 상부면으로는 특정 패턴의 패턴홀(21)이 형성되고, 지그(22)에 의해 지지되는 마스크(20)가 구비된다.
상기 마스크(20)는 상기 기판(b)의 상면에 밀착되어 고정되며, 스퀴지(s)를 이용하여 솔더 페이스트(p)를 압착 이동시키면서 솔더 범프(70)를 인쇄한 후에는 다시 상기 기판(b)과 분리되면서 상기 기판(b)상에 솔더 범프(70)를 형성한다.
이때, 상기 마스크(20)와 기판(b)과의 사이에는 실질적으로 진공상태가 형성 되어 스크린 인쇄 공정시 상기 마스크(20)와 기판(b)의 어긋남이 발생하지 않아 설계위치에 솔더 범프(70)를 정밀하게 인쇄할 수 있도록 한다.
상기 마스크(20)는 일반적인 메탈 마스크일 수 있으나, 이에 한정하는 것은 아니며 다른 재질의 마스크로 구비되는 것도 가능하다.
한편, 상기 마스크 테이블(30)은 상기 인쇄 테이블(10)에서 상기 마스크(20)의 단부까지 연장되며, 상기 마스크(20)의 단부를 흡인하여 상기 마스크(20)의 단부가 진공상태로 밀착되도록 한다.
즉, 스크린 인쇄를 위한 마스크(20)는 인쇄 테이블(10)의 크기보다 큰 사이즈로 형성되어 기판(b)이 안착된 상기 인쇄 테이블(10)상에 밀착되는 경우 상기 마스크(20)의 단부는 상기 인쇄 테이블(10)의 외부에 놓이게 된다.
이 경우, 상기 마스크(20)는 수평상태를 유지하지 못하여 상기 마스크(20)와 기판(b) 사이에는 틈새(gap)가 발생할 수 있다.
따라서, 상기 마스크 테이블(30)을 통해 상기 마스크(20)의 단부가 지지되도록 함으로써 상기 마스크(20)가 수평상태를 유지하며 상기 기판(b)상에 밀착되도록 하여 기판(b)과의 사이에 틈새가 발생하지 않도록 한다.
특히, 상기 마스크 테이블(30)은 복수개의 마스크 노즐(42, 44)을 구비하여 상기 마스크(20)의 단부를 흡인하여 상기 마스크(20)의 단부가 진공상태로 밀착되도록 하며, 이에 대한 구체적인 설명은 후술한다.
도 2a에서와 같이, 상기 마스크 테이블(30)은 다이캐스팅 또는 절삭가공 등을 통해 상기 인쇄 테이블(10)의 외측면 방향으로 연장되어 상기 인쇄 테이블(10) 과 일체로 형성될 수 있다.
그리고, 도 2b에서와 같이 상기 마스크 테이블(30)은 상기 인쇄 테이블(10)의 외측면에 분리가능하게 구비되는 것도 가능하다.
이 경우, 상기 인쇄 테이블(10)과는 별도로 형성되는 상기 마스크 테이블(30)을 상기 인쇄 테이블(10)의 외측면에 탈부착하는 구조를 통해 상기 마스크(20) 또는 기판(b)의 크기, 두께 등에 따라서 상기 마스크 테이블(30)을 교체하는 것이 가능하다.
아울러, 장치의 유지보수가 용이하다는 장점이 있다.
상기 마스크 테이블(30)은 상기 인쇄 테이블(10)을 중심으로 서로 대향하여 배치되며, 상기 기판(b)의 두께(t)에 대응하는 높이(h)만큼 돌출되어 상기 인쇄 테이블(10)과 단차를 이룬다.
즉, 도 3a에서와 같이 상기 마스크 테이블(30)은 한쌍이 상기 인쇄 테이블(10)의 좌우 양측면에 배치되어 서로 대향하는 구조로 구비될 수 있다.
그리고, 도 3b에서와 같이 상기 마스크 테이블(30)은 두쌍이 상기 인쇄 테이블(10)을 감싸도록 네 측면에 배치되어 서로 대향하는 구조로 구비될 수도 있다.
이때, 상기 마스크 테이블(30)과 인쇄 테이블(10) 사이의 높이 차이에 해당하는 상기 단차의 높이(h)는 상기 기판(b)의 두께(t)와 실질적으로 동일하다.
따라서, 상기 마스크 테이블(30)은 그 상부면이 상기 인쇄 테이블(10)상에 안착되는 상기 기판(b)의 상부면과 동일한 수평면상에 위치한다.
이를 통해 상기 기판(b)과 마스크 테이블(30)상에 올려지는 상기 마스크(20) 는 처짐없이 수평상태를 유지하며 상기 기판(b)상에 밀착될 수 있다.
한편, 에어 노즐부(40)는 상기 인쇄 테이블(10) 및 상기 마스크 테이블(30) 내에 구비되며, 상기 기판(b)과 마스크(20)가 각각 상기 인쇄 테이블(10) 및 마스크 테이블(30)상에 밀착되도록 에어를 흡인하고, 상기 마스크(20)가 상기 기판(b)과 분리되도록 에어를 분사한다.
도 4a에서와 같이, 상기 에어 노즐부(40)는 상기 기판(b)이 상기 인쇄 테이블(10)상에 밀착되도록 에어를 흡인하는 기판 노즐(41)과, 상기 마스크(20)가 상기 기판(b)과 마스크 테이블(30)상에 밀착되도록 에어를 흡인하고 상기 마스크(20)가 상기 기판(b)과 분리되도록 에어를 분사하는 마스크 노즐(42, 44)로 구성된다.
상기 기판 노즐(41)은 상기 인쇄 테이블(10)의 상부면을 따라 복수개로 구비되어 일정한 압력으로 에어를 흡인하여 상기 인쇄 테이블(10)의 상면에 안착되는 상기 기판(b)을 진공 흡착방식으로 고정시킨다.
그리고, 상기 마스크 노즐(42, 44)은 상기 마스크 테이블(30) 및 상기 인쇄 테이블(10)의 상부면을 따라 복수개로 구비되어 일정한 압력으로 에어를 흡인하여 상기 마스크(20)를 진공 흡착방식으로 상기 기판(b)과 마스크 테이블(30)의 상면에 고정시킨다.
따라서, 상기 마스크 테이블(30)을 통해 수평상태를 유지하는 상기 마스크(20)는 상기 마스크 노즐(42, 44)의 에어 흡인을 통해 상기 기판(b)과 밀착됨으로써 상기 마스크(20)와 기판(b) 사이에 틈새가 발생하는 것을 방지하는 것이 가능하다.
또한, 상기 마스크 노즐(42, 44)은 상기 마스크(20)와 상기 기판(b) 사이로 에어를 분사하여 진공상태로 밀착된 상기 마스크(20)와 상기 기판(b) 사이에 공기압을 발생시켜 상기 마스크(20)와 상기 기판(b)을 서로 분리시킨다.
특히, 상기 마스크 노즐(42, 44)은 상기 기판(b)과 분리되는 상기 마스크(20)가 상기 기판(b)과 수평상태를 유지하며 분리되도록 분사되는 에어의 압력을 조절하며 에어를 분사한다.
즉, 솔더 범프(70)를 인쇄하는 과정에서는 상기 기판 노즐(41)과 같이 에어를 흡인하여 상기 마스크(20)가 기판(b)의 상면에 보다 확실하게 밀착되도록 하고, 인쇄가 완료되는 시점에서 상기 기판(b)과 마스크(20)를 서로 분리시킬 때, 종래와 같이 상기 마스크(20)가 처진 상태에서 강제로 분리되지 않고 에어 블로잉(air blowing)에 의한 공기압력으로 수평상태를 유지하며 판분리가 이루어지도록 함으로써 솔더 범프(70)의 빠짐성을 향상시킬 수 있다.
상기 마스크 노즐(44)은 도 4b에서와 같이 상기 마스크 테이블(30)의 상부면을 따라서만 복수개 구비되는 것도 가능하다. 이는 마스크 노즐의 구조가 간단하여 마스크 테이블(30) 및 인쇄 테이블(10)의 제작이 용이하다는 장점이 있다.
이러한 기판 노즐(41)과 마스크 노즐(42, 44)은 서로 연통하지 않고 개별적으로 에어가 흐르도록 안내하는 도관(47, 48)과 각각 연결되고, 상기 도관(47, 48)은 각각 상기 인쇄 테이블(10)의 외부에 구비되는 에어 펌프(51, 52)와 연결된다.
그리고, 상기 에어 펌프(51, 52)는 서로 독립적으로 제어되어 상기 기판 노즐(41)을 통한 에어 흡인과 상기 마스크 노즐(42, 44)을 통한 에어 흡인 및 분사가 개별적으로 진행되도록 한다.
이러한 에어 펌프(51, 52)의 구동을 통한 에어 노즐부(40)의 제어는 별도로 구비되는 제어부(60)를 통해 보다 정밀하게 제어될 수 있다.
한편, 도 7을 참조하여 본 발명의 실시예에 따른 범프 인쇄장치를 통한 솔더 범프의 인쇄공정에 대해 상세히 설명한다.
도 7a 내지 7d는 본 발명의 실시예에 따른 범프 인쇄장치를 통한 솔더 범프의 인쇄공정 나타내는 개략도이다.
도 7a에서와 같이, 우선 복수개의 기판 노즐(41)과 마스크 노즐(42, 44)을 구비하는 인쇄 테이블(10)의 상면에는 솔더 범프(70)를 인쇄하기 위한 기판(b)이 놓이게 된다.
상기 기판(b)에는 복수개의 에어 홀(h)이 관통형성되어 있어 상기 기판(b)이 상기 인쇄 테이블(10)상에 안착되는 경우, 상기 에어 홀(h)과 마스크 노즐(42)이 서로 중첩되어 연통하도록 상기 기판을 정렬하여 배치한다.
그리고, 상기 기판 노즐(41)과 연결된 에어 펌프(51)를 작동시켜 상기 기판 노즐(41)을 통해 에어를 흡인하여 상기 기판(b)을 상기 인쇄 테이블(10)상에 진공 흡착하여 고정시킨다.
다음으로, 도 7b에서처럼 특정 패턴의 패턴홀(21)이 형성되고 지그(22)에 의해 지지되는 마스크(20)를 상기 기판(b)상에 밀착시킨다.
이때, 상기 마스크 노즐(42, 44)과 연결되는 에어 펌프(52)를 작동시켜 에어를 흡인함으로써 상기 기판(b)상에 밀착되는 상기 마스크(20)가 수평상태를 유지하 며 진공흡착되도록 한다.
이처럼 상기 기판(b)과 마스크(20)가 상호 면접한 상태에서 상기 마스크(20)의 상면으로 스퀴지(s)를 이용하여 솔더 페이스트(p)를 압착 이동시키면, 상기 솔더 페이스트(p)가 상기 마스크(20)의 패턴홀(21)을 메우면서 인쇄를 실시하게 된다.
인쇄 공정이 완료된 후에는 도 7c에서와 같이 상기 마스크 노즐(42, 44)과 연결된 상기 에어 펌프(52)를 역으로 작동시켜 상기 마스크 노즐(42, 44)을 통해 에어를 분사하여 상기 마스크(20)를 상기 기판(b)과 분리시킨다.
여기서, 상기 마스크 노즐(42)은 상기 기판(b)의 에어 홀(h)과 연통하므로 상기 마스크 노즐(42)에서 분사되는 에어는 상기 에어 홀(h)을 통과하여 상기 기판(b)의 상면으로 이동하는 것이 가능하다.
따라서, 상기 기판(b)과 마스크(20) 사이로 유입되는 에어를 통해 상기 마스크(20)가 상기 기판(b)과 분리되도록 하는 공기압을 발생시킨다.
이때, 상기 기판 노즐(41)은 지속적으로 에어를 흡인하여 상기 기판(b)이 상기 인쇄 테이블(10)상에 계속해서 고정되도록 한다.
다음으로, 도 7d에서와 같이 상기 마스크(20)가 기판(b)과 분리된 이후에는 상기 마스크 노즐(42, 44)을 통한 에어 분사를 중단하고, 상기 기판 노즐(41)을 통한 에어 흡인을 중단하여 상기 기판(b)을 상기 인쇄 테이블(10)에서 제거한다.
그리고, 상기 인쇄 테이블(10)상에는 새로운 기판(b)을 배치하여 연속적으로 인쇄 공정을 수행한다.
상기 기판 노즐(41) 및 마스크 노즐(42, 44)과 연결되는 각각의 에어 펌프(51, 52)는 별도의 제어부(60)를 통해 개별적으로 제어될 수 있으며, 특히 마스크 노즐(42, 44)에서 분사되는 에어의 압력을 조절하여 마스크(20)의 수평상태를 유지시킨다.
따라서, 종래와 같이 처짐이 발생한 마스크(20)에서 판 분리를 위한 미세한 관리가 불필요하게 된다.
이와 같이, 마스크 테이블(30)을 통해 상기 마스크(20)가 수평상태를 유지하도록 지지하는 한편, 상기 마스크 노즐(42, 44)의 에어 흡인에 의한 공기압력으로 상기 마스크(20)를 상기 기판(b)에 밀착시킴으로써 상기 마스크(20)와 기판(b) 사이에 틈새가 발생하는 것을 효과적으로 방지할 수 있다.
또한, 상기 마스크 노즐(42, 44)의 에어 블로잉(air blowing)에 의한 공기압력으로 상기 마스크(20)가 수평상태를 유지하며 상기 기판(b)과 분리되도록 함으로써 인쇄된 솔더 범프(70)의 빠짐성을 향상시킬 수 있다.
따라서, 솔더 범프(70)의 불량발생을 효과적으로 방지하여 인쇄성 및 수율이 향상될 수 있으며, 이는 기판(b)의 신뢰성을 증가시키는 효과를 가져올 수 있다.
도 1a, 1b는 본 발명의 실시예에 따른 범프 인쇄장치를 개략적으로 나타내는 사시도 및 단면도이다.
도 2a, 2b는 도 1에 도시한 범프 인쇄장치에서 마스크 테이블과 인쇄 테이블 일실시예 및 다른 실시예를 개략적으로 나타내는 단면도이다.
도 3a, 3b는 도 1에 도시한 마스크 테이블과 인쇄 테이블에서 마스크 테이블의 일실시예 및 다른 실시예를 개략적으로 나타내는 평면도이다.
도 4a, 4b는 도 1에 도시한 마스크 테이블과 인쇄 테이블에서 기판 노즐 및 마스크 노즐의 일실시예 및 다른 실시예를 개략적으로 나타내는 단면도이다.
도 5a는 도 3a에 도시한 마스크 테이블과 인쇄 테이블에서 기판이 안착된 상태를 나타내는 평면도이다.
도 5b는 도 5a에서 y-y축을 따라 절개한 상태를 나타내는 확대단면도이다.
도 6은 도 3b에 도시한 마스크 테이블과 인쇄 테이블에서 기판이 안착된 상태를 나타내는 평면도이다.
도 7a 내지 7d는 본 발명의 실시예에 따른 범프 인쇄장치를 통한 솔더 범프의 인쇄공정 나타내는 개략도이다.

Claims (10)

  1. 기판이 안착되는 인쇄 테이블;
    상기 기판상에 밀착되고, 인쇄 후 분리되면서 상기 기판상에 솔더 범프를 인쇄하는 마스크; 및
    상기 인쇄 테이블에서 상기 마스크의 단부까지 연장되며, 상기 마스크의 단부를 흡인하여 상기 마스크의 단부가 진공상태로 밀착하는 마스크 테이블;
    을 포함하는 범프 인쇄장치.
  2. 제1항에 있어서,
    상기 인쇄 테이블 및 상기 마스크 테이블 내에 구비되며, 상기 기판과 마스크가 각각 상기 인쇄 테이블 및 마스크 테이블상에 밀착되도록 에어(air)를 흡인하고, 상기 마스크가 상기 기판과 분리되도록 에어를 분사하는 에어 노즐부를 더 포함하는 것을 특징으로 하는 범프 인쇄장치.
  3. 제1항 또는 제2항에 있어서,
    상기 마스크 테이블은 상기 인쇄 테이블의 외측면 방향으로 연장되어 일체로 형성되는 것을 특징으로 하는 범프 인쇄장치.
  4. 제1항 또는 제2항에 있어서,
    상기 마스크 테이블은 상기 인쇄 테이블의 외측면에 분리가능하게 구비되는 것을 특징으로 하는 범프 인쇄장치.
  5. 제1항 또는 제2항에 있어서,
    상기 마스크 테이블은 그 상부면이 상기 인쇄 테이블상에 안착되는 상기 기판의 상부면과 동일한 수평면상에 위치하는 것을 특징으로 하는 범프 인쇄장치.
  6. 제1항 또는 제2항에 있어서,
    상기 마스크 테이블은 상기 인쇄 테이블을 중심으로 서로 대향하여 배치되며, 상기 기판의 두께에 대응하는 높이만큼 돌출되어 상기 인쇄 테이블과 단차를 이루는 것을 특징으로 하는 범프 인쇄장치.
  7. 제2항에 있어서,
    상기 에어 노즐부는,
    상기 인쇄 테이블의 상부면을 따라 복수개로 구비되며, 상기 기판이 상기 인쇄 테이블상에 밀착되도록 에어를 흡인하는 기판 노즐; 및
    상기 마스크 테이블의 상부면을 따라 복수개로 구비되며, 상기 마스크가 상기 기판과 마스크 테이블상에 밀착되도록 에어를 흡인하고, 상기 마스크가 상기 기판과 분리되도록 에어를 분사하는 마스크 노즐;
    을 포함하는 것을 특징으로 하는 범프 인쇄장치.
  8. 제7항에 있어서,
    상기 마스크 노즐은 상기 마스크 테이블 및 상기 인쇄 테이블의 상부면을 따라 복수개 구비되는 것을 특징으로 하는 범프 인쇄장치.
  9. 제2항에 있어서,
    상기 기판은 상기 에어 노즐부에서 분사되는 에어가 상기 기판을 통과하여 상기 기판의 상부측으로 이동하도록 에어 홀(air hole)을 관통형성하여 구비하는 것을 특징으로 하는 범프 인쇄장치.
  10. 제1항에 있어서,
    상기 에어 노즐부를 제어하는 제어부를 더 포함하는 것을 특징으로 하는 범프 인쇄장치.
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