JP2022012849A - 加工装置 - Google Patents

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Abstract

【課題】チャックテーブルの保持面を研削加工する場合と、チャックテーブルの保持面にウエーハを吸引保持して研削加工する場合とで、チャックテーブルを構成する枠体の形態が一定でないことを解決することができる加工装置を提供する。【解決手段】研削装置において、ウエーハを吸引保持する保持手段３は、ウエーハを保持するチャックテーブル３２と、チャックテーブルを着脱自在に支持するテーブルベース３４とを備える。チャックテーブルは、ウエーハを吸着する吸着面３２１ａを備えたポーラスプレート３２１の吸着面以外を囲繞する枠体３２２に形成され、ポーラスプレートの吸着面に吸引力を伝達するウエーハ吸引孔３２２ｃを有する。テーブルベースは、枠体のポーラスプレートが載置される面３２２ｂとは反対側の底面３２２ｇを載置する載置面３４１に、載置面に形成され、枠体を吸引して引き付ける枠体吸引孔３４２を有する。【選択図】図２

Description

本発明は、ウエーハを吸引保持する保持手段と、保持手段に保持されたウエーハを研削する研削ホイールを回転可能に備えた加工手段と、ウエーハに加工液を供給する加工液供給手段と、を少なくとも備えた加工装置に関する。
ＩＣ、ＬＳＩ等の複数のデバイスが分割予定ラインによって区画され表面に形成されたウエーハは、裏面が研削されて所望の厚みに加工された後、ダイシング装置、レーザー加工装置によって個々のデバイスチップに分割され、携帯電話、パソコン等の電気機器に利用される。
研削装置は、ウエーハを吸引保持する保持手段と、該保持手段に保持されたウエーハを研削する研削ホイールを回転可能に備えた加工手段と、ウエーハに加工液として研削水を供給する加工液供給手段と、を少なくとも備えていて、ウエーハを所望の厚みに加工することができる（例えば特許文献１を参照）。
また、特許文献１に開示された加工装置は、ウエーハの裏面に遊離砥粒を加工液として供給し、研磨パッドによってウエーハの裏面を鏡面に加工することができる。そして、ウエーハを吸引保持する保持手段は、ウエーハを保持するチャックテーブルと、該チャックテーブルを着脱自在に支持するテーブルベースと、を備え、該チャックテーブルは、ウエーハを吸着する吸着面を備えたポーラスプレートと、該吸着面以外を囲繞する枠体と、該枠体の底面に形成され該ポーラスプレートの吸着面に吸引力を伝達するウエーハ吸引孔と、該枠体に形成され該テーブルベースに固定するボルト孔と、を含み構成されていて、ウエーハを着実に吸引保持できる構成となっている。
特開２００５－１５３０９０
ところで、研削装置においてウエーハを研削加工する場合、予めチャックテーブルの保持面を該研削装置の研削手段によって研削し、チャックテーブルの保持面の形状と、該チャックテーブルに載置され保持されたウエーハの研削面の形状とが同じになるようにして、ウエーハの厚みを全域において均一になるようにしている。
しかし、上記した加工方法により実際にウエーハを研削加工しても、加工後のウエーハ厚みを計測すると、微小な厚みばらつき（例えば２～３μｍ程度）が発生することが判明した。ウエーハの厚み目標値が大きい（厚い）場合は大きな問題とはならないものの、近年のように目標のウエーハの厚みが極めて薄くなってきている場合、このような微小な厚みばらつきは大きな問題となり得る。
本出願人は、上記の問題について鋭意検討した結果、従来の研削装置においては、チャックテーブルの保持面を研削加工する場合と、チャックテーブルの保持面にウエーハを吸引保持して研削加工する場合とで、チャックテーブルを構成する枠体の形態が一定でないことが判明し、これがウエーハの厚みにばらつきが生じる原因であることを見出した。
本発明は、上記事実に鑑みなされたものであり、その主たる技術課題は、チャックテーブルの保持面を研削加工する場合と、チャックテーブルの保持面にウエーハを吸引保持して研削加工する場合とで、チャックテーブルを構成する枠体の形態が一定でないことを解決することができる加工装置を提供することにある。
上記主たる技術課題を解決するため、本発明によれば、ウエーハを吸引保持する保持手段と、該保持手段に保持されたウエーハを研削する研削ホイールを回転可能に備えた加工手段と、ウエーハに加工液を供給する加工液供給手段と、を少なくとも備えた加工装置であって、該保持手段は、ウエーハを保持するチャックテーブルと、該チャックテーブルを着脱自在に支持するテーブルベースと、を含み、該チャックテーブルは、ウエーハを吸着する吸着面を備えたポーラスプレートと、該ポーラスプレートの吸着面以外を囲繞する枠体と、該枠体に形成され該ポーラスプレートの吸着面に吸引力を伝達するウエーハ吸引孔と、該枠体に形成され該テーブルベースに該枠体を固定するためのボルト孔と、を含み構成され、該テーブルベースは、該枠体の該ポーラスプレートが載置される面とは反対側の面を載置する載置面と、該載置面に形成され該枠体を吸引して引き付ける枠体吸引孔と、から少なくとも構成される加工装置が提供される。
該ウエーハ吸引孔は該枠体の該ポーラスプレートが載置される面とは反対側の面に開口するように形成され、該テーブルベースの載置面に該ウエーハ吸引孔に連通すると共に該枠体吸引孔とは独立した連通孔が形成されるようにすることができる。また、該ウエーハ吸引孔は、該枠体の側面に開口するように形成され、該テーブルベースの側面に該ウエーハ吸引孔に連通される連通孔が形成されるようにしてもよい。
本発明の加工装置は、ウエーハを吸引保持する保持手段と、該保持手段に保持されたウエーハを研削する研削ホイールを回転可能に備えた加工手段と、ウエーハに加工液を供給する加工液供給手段と、を少なくとも備えた加工装置であって、該保持手段は、ウエーハを保持するチャックテーブルと、該チャックテーブルを着脱自在に支持するテーブルベースと、を含み、該チャックテーブルは、ウエーハを吸着する吸着面を備えたポーラスプレートと、該ポーラスプレートの吸着面以外を囲繞する枠体と、該枠体に形成され該ポーラスプレートの吸着面に吸引力を伝達するウエーハ吸引孔と、該枠体に形成され該テーブルベースに該枠体を固定するためのボルト孔と、を含み構成され、該テーブルベースは、該枠体の該ポーラスプレートが載置される面とは反対側の面を載置する載置面と、該載置面に形成され該枠体を吸引して引き付ける枠体吸引孔と、から少なくとも構成されることから、チャックテーブルのポーラスプレートの吸着面を研削する際、及びウエーハを研削する際のいずれにおいても、チャックテーブルの枠体の全域がテーブルベースに確実に固定された状態で、加工手段の研削ホイールよって研削が実施され、チャックテーブルの保持面、すなわち、ポーラスプレートの吸着面の形状と、ウエーハの研削面の形状とが一致し、研削後に生じるウエーハの厚みばらつきの発生が抑制される。
本実施形態の研削装置の全体斜視図である。 図１に示す研削装置のチャックテーブル機構の斜視図、及び分解斜視図である。 図２に示すチャックテーブル機構の一部概略断面図である。 図１に示す研削装置においてチャックテーブルの保持面を研削する態様を示す斜視図である。 図１に示す研削装置においてウエーハを研削する態様を示す斜視図である。 （ａ）チャックテーブル機構の他の実施形態を示す斜視図、及び分解斜視図、（ｂ）（ａ）に示すチャックテーブル機構の一部概略断面図である。
以下、本発明に基づいて構成される加工装置に係る実施形態について添付図面を参照しながら、詳細に説明する。
図１には、本実施形態の加工装置である研削装置１の全体斜視図が示されている。図１に示す研削装置１は、本実施形態の被加工物である板状のウエーハ１０を吸引保持する保持手段としてのチャックテーブル機構３と、チャックテーブル機構３に保持されたウエーハ１０を研削する加工手段としての研削手段４と、ウエーハ１０に加工液を供給する加工液供給手段５と、を備えている。
研削装置１は、装置ハウジング２を備えている。装置ハウジング２は、略直方体形状の本体部２１と、本体部２１の後端部に設けられ上下方向に立設された直立壁２２とを有している。
チャックテーブル機構３は、本体部２１に配設され、矢印Ｘで示すＸ軸方向で両側に接続された蛇腹手段６ａ、６ｂを備えている。本体部２１の内部には、チャックテーブル機構３を、図中矢印Ｘで示す方向に移動させる移動手段（図示は省略する）が収容されている。該移動手段を作動させることにより、蛇腹手段６ａ、６ｂを伸縮、伸長させると共に、チャックテーブル機構３を、未加工のウエーハ１０をチャックテーブル３２上に載置する図中手前側の搬出入領域と、研削手段４の直下で加工が施される図中奥側の加工領域との間で移動させることができる。
図２を参照しながら、本実施形態のチャックテーブル機構３について、さらに具体的に説明する。チャックテーブル機構３は、チャックテーブル３２と、チャックテーブル３２を着脱自在に支持するテーブルベース３４と、を少なくとも含んでいる。チャックテーブル３２は、図中右方側に示すように、ウエーハ１０を吸着する吸着面３２１ａを備えたポーラスプレート３２１と、ポーラスプレート３２１の吸着面３２１ａ以外、すなわち側面３２１ｂ及び吸着面３２１ａの反対側の裏面３２１ｃを囲繞する枠体３２２と、を備える。枠体３２２は、枠上面３２２ａを備え側面を構成する側壁３２２ｈと、ポーラスプレート３２１の裏面３２１ｃが載置されるプレート載置面３２２ｂと、プレート載置面３２２ｂとは反対側の底面３２２ｇに開口するように形成されポーラスプレート３２１の吸着面３２１ａに吸引力（負圧）を伝達する複数のウエーハ吸引孔３２２ｃと、側壁３２２ｈに沿って形成された外周段差部３２２ｄと、外周段差部３２２ｄに形成され枠体３２２をテーブルベース３４に固定するための複数のボルト孔３２２ｅと、を含み構成されている。プレート載置面３２２ｂに開口する複数のウエーハ吸引孔３２２ｃは、環状溝３２２ｆによって連結されている。本実施形態におけるボルト孔３２２ｅは、外周段差部３２２ｄに均等な間隔で４つ（図２では３つのみ示されている）形成されている。本実施形態のポーラスプレート３２１は、例えば通気性を有するポーラスセラミックスから形成されるが、研削可能で通気性を有するその他の材質、例えば、軽石、樹脂製又は金属製の粒状物の集合材で成形することも可能であり、特に限定されるものではない。
図２の左方側に示すように、テーブルベース３４は、枠体３２２のポーラスプレート３２１が載置される面とは反対側の底面３２２ｇが載置される載置面３４１と、載置面３４１に形成され図示しない吸引源を作動することにより枠体３２２の底面３２２ｇを吸引して引き付ける枠体吸引孔３４２と、から少なくとも構成される。本実施形態の枠体吸引孔３４２は、テーブルベース３４の載置面３４１の中央領域に形成され、テーブルベース３４の載置面３４１の外周縁部には、上記したチャックテーブル３２の枠体３２２に形成されたボルト孔３２２ｅと対応する位置に雌ネジが形成されたボルト締結孔３４３が形成されている。枠体吸引孔３４２の載置面３４１側には、枠体吸引孔３４２よりも径が大きい拡径部３４２ａが形成されている。
さらに、テーブルベース３４の載置面３４１には、上記したチャックテーブル３２の枠体３２２に形成されたウエーハ吸引孔３２２ｃに連通すると共に上記した枠体吸引孔３４２とは独立した経路で図示しない吸引源に接続される複数の第一の連通孔３４４が形成されている。また、本実施形態のテーブルベース３４の載置面３４１には、複数の第一の連通孔３４４を連通する環状溝３４４ａが形成されている。
チャックテーブル３２と、テーブルベース３４とは、チャックテーブル３２の枠体３２２に形成されたボルト孔３２２ｅを介して締結ボルト８を挿入し、テーブルベース３４のボルト締結孔３４３に締結することにより一体とされる。
図３には、チャックテーブル３２とテーブルベース３４とを一体としたチャックテーブル機構３の一部概略断面図が示されている。図に示すように、テーブルベース３４は、枠体３２２を載置する載置面３４１に形成された枠体吸引孔３４２を備えており、図示しない吸引源を作動することで、チャックテーブル機構３の枠体３２２の底面３２２ｇに第一の吸引力（負圧）Ｖｍ１を作用させて、枠体３２２を吸引して引き付けることができる。また、仮にポーラスプレート３２１の吸着面３２１ａ上にウエーハ１０を載置して吸引保持する場合は、テーブルベース３４に形成された第一の連通孔３４４及び枠体３２２のウエーハ吸引孔３２２ｃを介して第二の吸引力（負圧）Ｖｍ２をポーラスプレート３２１の吸着面３２１ａに伝達してウエーハ１０を吸引保持することができる。そして。枠体吸引孔３４２と、第一の連通孔３４４とは、独立した吸引経路で図示しない吸引源に接続されており、チャックテーブル３２にウエーハ１０を吸引保持しない場合であっても、枠体３２２のみをテーブルベース３４に引き付けて吸引保持させることができる。
図１に戻り説明を続けると、研削手段４は、直立壁２２の前面に配設される。研削手段４は、移動基台４１と移動基台４１に装着されたスピンドルユニット４２とを備えている。移動基台４１は、後面側で、装置ハウジング２の直立壁２２に配設された一対の案内レール２２１、２２１と係合し、案内レール２２１、２２１に対してＺ軸方向（上下方向）に摺動可能に装着されている。
スピンドルユニット４２は、移動基台４１と一体に形成された支持部４１３に支持されたスピンドルハウジング４２１と、スピンドルハウジング４２１に回転自在に保持された回転スピンドル４２２と、回転スピンドル４２２を回転駆動するための回転駆動手段として配設されたサーボモータ４２３と、を備えている。回転スピンドル４２２の下端部は、スピンドルハウジング４２１の下端側に突出しており、その下端にはマウンター４２４が設けられている。マウンター４２４の下面に研削ホイール４２５が装着され、研削ホイール４２５の下面には、複数の研削砥石４２６が環状に配設されている。
図１に示す研削装置１は、上記した研削手段４を上記一対の案内レール２２１、２２１に沿って上下方向（後述するチャックテーブルの保持面と垂直な方向）に移動させる研削送り手段７を備えている。この研削送り手段７は、直立壁２２の前面側に配設され上下方向に延びる雄ねじロッド７１を備えている。この雄ねじロッド７１は、その上端部及び下端部が直立壁２２に回転自在に支持されている。雄ねじロッド７１の上側端部には雄ねじロッド７１を回転駆動するための駆動源としてのパルスモータ７２が配設されており、このパルスモータ７２の出力軸が雄ねじロッド７１に連結されている。移動基台４１の後面には、ねじ連結部（図示は省略する）が形成されており、該連結部には上下方向に延びる雌ねじ穴が形成されており、この雌ねじ穴に上記雄ねじロッド７１が螺合させられる。このようなねじ機構からなる研削送り手段７は、パルスモータ７２を正転させて移動基台４１と共に研削手段４を下降させ、パルスモータ７４を逆転させて移動基台４１と共に研削手段４を上昇させることができる。
研削装置１には、チャックテーブル機構３上で研削される被加工物に研削水等の加工液Ｌを供給する加工液供給手段５が配設されている。加工液供給手段５は、加工液Ｌを貯留し圧送ポンプを備えた加工液タンク５１と、加工液タンク５１と研削手段４とを接続する加工液供給路５２と、加工液供給路５２上に配設され、加工液供給路５２の開閉を行う開閉バルブ５３とを備えている。加工液タンク５１の圧送ポンプを作動し、開閉バルブ５３を開とすることにより、研削手段４を介して加工液Ｌを加工領域に供給することができる。
本実施形態の研削装置１は、概ね上記したとおりの構成を備えており、その機能、作用について、以下に説明する。
上記したとおり、研削装置１においてウエーハ１０を研削加工するに際しては、図４に示すように、チャックテーブル３２の保持面、すなわち、ポーラスプレート３２１の吸着面３２１ａを研削手段４によって研削する。該研削を実施するに際し、まず、図３に基づいて説明したように、図示しない吸引源を作動することで、チャックテーブル機構３を構成する枠体３２２の底面３２２ｇに第一の吸引力（負圧）Ｖｍ１を作用させて、枠体３２２を吸引して引き付ける。この際、チャックテーブル３２の保持面にはウエーハ１０が載置されないため、テーブルベース３４に形成された第一の連通孔３４４、及び枠体３２２のウエーハ吸引孔３２２ｃを介して第二の吸引力（負圧）Ｖｍ２を伝達する必要はない。
次いで、図示しない移動手段を作動して、チャックテーブル３２を研削手段４の下方の加工領域、すなわち、チャックテーブル３２の回転中心を研削手段４の研削砥石４２６が通る位置に位置付ける。次いで、研削手段４の回転スピンドル４２２を矢印Ｒ１で示す方向に所定の回転速度（例えば４０００ｒｐｍ）で回転させると共に、チャックテーブル３２を図示しない回転駆動手段を作動して、矢印Ｒ２で示す方向に所定の回転速度（例えば３００ｒｐｍ）で回転させる。次いで、上記した研削送り手段７を作動して研削手段４を矢印Ｒ３で示す方向に下降させて、チャックテーブル３２の保持面に加工液Ｌ（研削水）を供給しながら、研削ホイール４２５の下面に配設された研削砥石４２６をチャックテーブル３２のポーラスプレート３２１に当接させ、所定の下降速度（例えば０．１μｍ／秒）で、一定時間、ポーラスプレート３２１の吸着面３２１ａを研削して、研削送り手段７を停止し、その後所定時間の空運転を実施することでチャックテーブル３２の保持面を平坦面とし、研削加工を完了する。なお、チャックテーブル３２の保持面に対する加工液Ｌの供給は、上記した加工液供給手段５を使用して実施すると共に、ウエーハ吸引孔３２２ｃを利用して、ポーラスプレート３２１の吸着面３２１ａからも噴出させるようにすることが好ましい。
上記したように、チャックテーブル３２の枠体３２２は、複数のボルト８によって固定されるのに加え、枠体吸引孔３４２により吸引され引き付けられて、テーブルベース３４の載置面３４１において、枠体３２２の全域が確実に固定された状態となり、その状態で、チャックテーブル３２の保持面を構成するポーラスプレート３２１の吸着面３２１ａが研削される。
上記したように、チャックテーブル３２の保持面が研削され後、図５に示すように、本実施形態の被加工物であるウエーハ１０に対する研削加工を実施する。ウエーハ１０は、複数のデバイス１２が分割予定ライン１４によって区画され表面１０ａに形成されたものであり、ウエーハ１０の表面１０ａには、保護テープＴを貼着して一体とする。このウエーハ１０を反転し、裏面１０ｂ側を上方に、保護テープＴを下方に向けて、搬出入領域に移動したチャックテーブル３２の保持面に載置する。
ウエーハ１０の裏面１０ｂに対する研削加工を実施するに際し、まず、図３に基づいて説明したように、図示しない吸引源を作動することで、チャックテーブル機構３を構成する枠体３２２の底面３２２ｇに第一の吸引力（負圧）Ｖｍ１を作用させて、枠体３２２を吸引して引き付ける。さらに、テーブルベース３４に形成された第一の連通孔３４４、及び枠体３２２のウエーハ吸引孔３２２ｃを介してポーラスプレート３２１の吸着面３２１ａに第二の吸引力（負圧）Ｖｍ２を伝達し、チャックテーブル３２の保持面にウエーハ１０を吸引保持する。
次いで、図示しない移動手段を作動して、チャックテーブル３２を研削手段４の下方の加工領域、すなわち、チャックテーブル３２の回転中心を研削手段４の研削砥石４２６が通る位置に位置付ける。次いで、チャックテーブル３２を図示しない回転駆動手段を作動して、矢印Ｒ４で示す方向に所定の回転速度（例えば３００ｒｐｍ）で回転させると共に、研削手段４の回転スピンドル４２２を矢印Ｒ５で示す方向に所定の回転速度（例えば４０００ｒｐｍ）で回転させる。次いで、加工液供給手段５を作動させながら加工液Ｌ（研削水）を供給し、上記した研削送り手段７を作動して、研削手段４を矢印Ｒ６で示す方向に所定の下降速度（例えば０．１μｍ／秒）で下降させて、研削砥石４２６をウエーハ１０の裏面１０ｂに当接させ、図示しない厚み検出手段によりウエーハ１０の厚みを検出しながら所望の厚みまで研削したならば、研削送り手段７を停止し、その後、チャックテーブル３２の保持面を研削した場合と同様に所定時間の空運転を実施することでウエーハ１０の裏面１０ｂを平坦面とし、研削加工を完了する。
上記した実施形態によれば、チャックテーブル３２のポーラスプレート３２１の吸着面３２１ａを研削する際、及びウエーハ１０を研削する際のいずれにおいても、チャックテーブル３２の枠体３２２の全域がテーブルベース３４に確実に固定された状態で、研削手段４の研削ホイール４２５よって研削が実施され、チャックテーブル３２の保持面、すなわち、ポーラスプレート３２１の吸着面３２１ａの形状と、ウエーハ１０の研削面の形状とが一致し、研削後に生じるウエーハ１０の厚みばらつきの発生が抑制される。
また、上記した実施形態では、チャックテーブル３２の保持面を構成するポーラスプレート３２１の吸着面３２１に吸引力を伝達するウエーハ吸引孔３２２ｃと、チャックテーブル３２の枠体３２２をテーブルベース３４の載置面３４１に吸引して引き付ける枠体吸引孔３４２とが独立していることから、チャックテーブル３２のポーラスプレート３２１から吸引される研削屑が混入した加工液Ｌがテーブルベース３４の載置面３４１と枠体３２２との間に入り込むことが回避され、該研削屑に起因するウエーハ１０の厚みばらつきも抑制される。
更に、ウエーハ１０の裏面１０ｂを研削した後、ウエーハ吸引孔３２２ｃを利用してエアーと水との混合流体をポーラスプレート３２１に供給して噴出させて、ウエーハ１０をチャックテーブル３２から離反させて搬出させる際に、ウエーハ吸引孔３２２ｃに進入した研削屑が混入した加工液Ｌも一緒に噴出されるが、ウエーハ吸引孔３２２ｃと、枠体吸引孔３４２とが独立していることから、研削屑が混入した加工液Ｌがテーブルベース３４の載置面３４１と枠体３２２との間に入り込むことが回避され、上記と同様に、該研削屑に起因するウエーハ１０の厚みばらつきも抑制される。
なお、本発明によれば、上記した実施形態に限定されず、種々の変形例が提供される。例えば、本発明の保持手段として例示した上記チャックテーブル機構３は、以下に説明するような他の実施形態であってもよい。
図６を参照しながら、本発明に基づき構成された他のチャックテーブル機構３’について説明する。なお、先に説明したチャックテーブル機構３と同一の構成については、同一の番号を付し、同一の構成についての説明は適宜省略する。
チャックテーブル機構３’は、チャックテーブル３２’と、チャックテーブル３２’を着脱自在に支持するテーブルベース３４’と、を少なくとも含んでいる。チャックテーブル３２’は、図中右方側に示すように、ウエーハ１０を吸着する吸着面３２１ａを備えたポーラスプレート３２１と、ポーラスプレート３２１の吸着面３２１ａ以外、すなわち側面３２１ｂ及び吸着面３２１ａの反対側の裏面３２１ｃを囲繞する枠体３２２’と、を備える。枠体３２２’は、枠上面３２２ａ’を備え側面を構成する側壁３２２ｈ’と、側壁３２２ｈ’に開口するように形成されポーラスプレート３２１の吸着面３２１ａに吸引力（負圧）を伝達する複数のウエーハ吸引孔３２２ｃ’と、側壁３２２ｈ’に沿って形成された外周段差部３２２ｄ’と、外周段差部３２２ｄ’に形成され枠体３２２’をテーブルベース３４’に固定するための複数のボルト孔３２２ｅ’と、を含み構成されている。枠体３２２’において、ポーラスプレート３２１の裏面３２１ｃが載置されるプレート載置面３２２ｂ’には、枠体３２２’の側壁３２２ｈ’に形成された４つの吸引孔３２２ｃ’を連結し直交する二つの直線溝３２２ｆ’が形成されている。
図６の左方側に示すように、テーブルベース３４’は、枠体３２２’のポーラスプレート３２１が載置されるプレート載置面３２２ｂ’とは反対側の底面３２２ｇ’が載置される載置面３４１’と、載置面３４１’に形成され図示しない吸引源を作動することにより枠体３２２’の底面３２２ｇ’を吸引して引き付ける枠体吸引孔３４２’と、から少なくとも構成される。本実施形態の枠体吸引孔３４２’は、テーブルベース３４’の載置面３４１’の中央領域に形成され、載置面３４１’の外周縁部には、上記したチャックテーブル３２’の枠体３２２’に形成されたボルト孔３２２ｄ’と対応する位置にボルト締結孔３４３’が形成されている。枠体吸引孔３４２’の載置面３４１’側には、枠体吸引孔３４２’よりも径が大きい拡径部３４２ａ’が形成されている。
さらに、図６（ｂ）に示すチャックテーブル機構３’の一部概略断面図も併せて参照することにより理解されるように、テーブルベース３４’の側面３４５には、上記したチャックテーブル３２’の枠体３２２’に形成されたウエーハ吸引孔３２２ｃ’に連通されると共に、上記した枠体吸引孔３４２’とは独立した経路で図示しない吸引源に接続される第二の連通孔３４４’が形成されている。
そして、チャックテーブル３２’と、テーブルベース３４’とは、チャックテーブル３２’の枠体３２２’に形成されたボルト孔３２２ｅ’を介して締結ボルト８が挿入され、テーブルベース３４’のボルト締結孔３４３’に締結することにより一体とされ、さらに、ウエーハ吸引孔３２２ｃ’と、第二の連通孔３４４’とは、連通路３４６によって連通される。
図６に示すチャックテーブル機構３’によれば、テーブルベース３４’は、枠体３２２’の底面３２２ｇ’を載置する載置面３４１’に開口するように形成された枠体吸引孔３４２’を備えており、図示しない吸引源を作動することで、枠体３２２’の底面３２２ｇ’に第一の吸引力（負圧）Ｖｍ１を作用させて、枠体３２２’を吸引して引き付けることができる。また、ポーラスプレート３２１の吸着面３２１ａ上にウエーハ１０を載置して吸引保持する場合は、テーブルベース３４’に形成された第二の連通孔３４４’、連通路３４６、及びウエーハ吸引孔３２２ｃ’を介して第二の吸引力（負圧）Ｖｍ２をポーラスプレート３２１の吸着面３２１ａに伝達してウエーハ１０を吸引保持することができる。
図６に示す実施形態では、枠体吸引孔３４２’と、第二の連通孔３４４’とが、独立した吸引経路で吸引源に接続されており、図２に基づいて説明した先の実施形態と同様の作用効果を奏することができる。さらに、当該実施形態によれば、枠体３２２’に保持されるポーラスプレート３２１の吸着面３２１ａに伝達される吸引力Ｖｍ２は、テーブルベース３４’の載置面３４１’を経由せずに、枠体３２２’の側壁３２２ｈ’に形成されたウエーハ吸引孔３２２ｃ’と、連通路３４６と、第二の連通孔３４４’とにより供給されることから、研削屑が混入した加工液Ｌがテーブルベース３４’の載置面３４１’と枠体３２２’との間に入り込む、という問題がより一層回避され、該研削屑に起因するウエーハ１０の厚みばらつきがさらに抑制される。
１：研削装置
２：装置ハウジング
２１：本体部
２２：直立壁
２２１：案内レール
３、３’：チャックテーブル機構
３１、３１’：テーブルカバー
３２、３２’：チャックテーブル
３２１：ポーラスプレート
３２１ａ：吸着面
３２１ｂ：側面
３２１ｃ：裏面
３２２、３２２’：枠体
３２２ａ、３２２ａ’：枠上面
３２２ｂ、３２２ｂ’：プレート載置面
３２２ｃ、３２２ｃ’：ウエーハ吸引孔
３２２ｄ、３２２ｄ’：外周段差部
３２２ｅ、３２２ｅ’：ボルト孔
３２２ｇ、３２２ｇ’：底面
３２２ｈ、３２２ｈ’：側壁
３４、３４’：テーブルベース
３４１、３４１’：載置面
３４２、３４２’：枠体吸引孔
３４３、３４３’：ボルト締結孔
３４４：第一の連通孔
３４４’：第二の連通孔
３４５：側面
３４６：連通路
４：研削手段
４１：移動基台
４２：スピンドルユニット
４２１：スピンドルハウジング
４２２：回転スピンドル
４２３：サーボモータ
４２４：マウンター
４２５：研削ホイール
４２６：研削砥石
５：加工液供給手段
５１：加工液タンク
５２：加工液供給路
５３：開閉バルブ
６ａ、６ｂ：蛇腹手段
７：研削送り手段
７１：ロッド
７２：パルスモータ
８：ボルト
１０：ウエーハ
Ｖｍ１：第一の吸引力
Ｖｍ２：第二の吸引力

Claims (3)

  1. ウエーハを吸引保持する保持手段と、該保持手段に保持されたウエーハを研削する研削ホイールを回転可能に備えた加工手段と、ウエーハに加工液を供給する加工液供給手段と、
    を少なくとも備えた加工装置であって、
    該保持手段は、ウエーハを保持するチャックテーブルと、該チャックテーブルを着脱自在に支持するテーブルベースと、を含み、
    該チャックテーブルは、ウエーハを吸着する吸着面を備えたポーラスプレートと、該ポーラスプレートの吸着面以外を囲繞する枠体と、該枠体に形成され該ポーラスプレートの吸着面に吸引力を伝達するウエーハ吸引孔と、該枠体に形成され該テーブルベースに該枠体を固定するためのボルト孔と、を含み構成され、
    該テーブルベースは、該枠体の該ポーラスプレートが載置される面とは反対側の面を載置する載置面と、該載置面に形成され該枠体を吸引して引き付ける枠体吸引孔と、から少なくとも構成される加工装置。
  2. 該ウエーハ吸引孔は該枠体の該ポーラスプレートが載置される面とは反対側の面に開口するように形成され、該テーブルベースの載置面に該ウエーハ吸引孔に連通すると共に該枠体吸引孔とは独立した連通孔が形成される請求項１に記載の加工装置。
  3. 該ウエーハ吸引孔は該枠体の側面に開口するように形成され、該テーブルベースの側面に該ウエーハ吸引孔に連通される連通孔が形成される請求項１に記載の加工装置。
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