JP2022092275A - 加工装置 - Google Patents

Abstract

【課題】テーブルカバーを外さなくともチャックテーブルのメンテナンス作業を可能にする。【解決手段】保持手段３が加工室４の通過口４３０を通る際にテーブル３０の側面と通過口４３０との隙間を狭くするカバー７と、カバー７を上下動する機構５と、を備え、カバー７は、上板７０と、上板７０外周から垂下する側板７１と、を備え、上下機構５は、固定具５１により上板７０を上面７０２がテーブル保持面３０２より僅かに下でテーブル３０が配置されたチャックベース３５の上面３５０より上位置で固定する下固定面５５０、及び上板７０を上面７００がチャックベース上面３５０以下の下位置で固定する上固定面５５３を有するカバー支持部５５を備え、カバー７は、上位置に上板７０を固定しテーブル３０の側面と通過口４３０との隙間を狭くして加工液噴霧噴出を抑制し、下位置に上板７０を固定しテーブル３０の側面を露出させテーブル３０を水平移動可能とし交換容易にする、加工装置１。【選択図】図２

Description

本発明は、半導体ウェーハ等の被加工物に研削加工、又は研磨加工を施す加工装置に関する。

特許文献１や特許文献２に開示されているようにチャックテーブルの保持面が保持した被加工物を例えば研削する研削装置は、加工室にチャックテーブルと研削砥石とを収容している。そして、チャックテーブルを加工室内の被加工物を研削する際の研削位置と、加工室外の保持面に被加工物を搬入、又は保持面に保持された被加工物を搬出する搬入出位置とに移動させる移動手段を備えている。また、研削位置と搬入出位置とにチャックテーブルを移動させるために加工室の前板には開口（進入口）を形成している。

特開２０１２-０７６１７１号公報 特開２０１３-２５５９５２号公報

そして、加工装置は、チャックテーブルが加工室の開口を通過している際に、開口とチャックテーブル側面との間に隙間ができないようにチャックテーブルを囲繞するテーブルカバーを備えている。このテーブルカバーは、チャックテーブルを交換しメンテナンスする作業の際に取り外す必要がある。しかし、テーブルカバーは、加工屑が付着しているため、加工装置の外に出すと、加工装置を設置しているクリーンルームを汚してしまうという問題がある。

よって、加工装置においては、テーブルカバーを取り外さなくてもチャックテーブルの交換等のメンテナンス作業を可能にするという課題がある。

上記課題を解決するための本発明は、保持面で被加工物を保持するチャックテーブルを有する保持手段と、被加工物を加工具で加工する加工手段と、該チャックテーブルと該加工具とを収容して被加工物を加工する加工室と、該加工具が被加工物を加工する加工位置と該保持面に被加工物を搬入または該保持面から被加工物を搬出可能な搬入出位置とに該保持手段を水平移動させる水平移動手段と、を備える加工装置であって、該加工室は、該加工位置と該搬入出位置とに水平移動する該保持手段が通過可能な通過口を備え、該保持手段は、該チャックテーブルを配置する上面を有するチャックベースを備え、該保持手段が該通過口を通過する際に該チャックテーブルの側面と該通過口との隙間を狭くするテーブルカバーと、該テーブルカバーを該保持面に垂直な上下方向に移動可能な上下機構と、を備え、該テーブルカバーは、該保持面を露出させる開口を有する上板と、該上板の外周から該通過口に沿って垂下する側板と、を備え、該上下機構は、固定具と、該固定具により該上板を該上板の上面が該保持面より僅かに下で該チャックベースの上面より上の上位置で固定する下固定面、及び該上板を該上板の上面が該チャックベースの上面以下の下位置で固定する上固定面を有するカバー支持部と、を備え、該テーブルカバーは、該上位置に該上板の上面が位置するように該上板を固定することによって、該チャックテーブルの側面と該通過口との隙間を狭くして加工液の噴霧の該加工室からの噴出を抑制し、該下位置に該上板の上面が位置するように該上板を固定することによって、該チャックテーブルの側面を露出させ該チャックベースの上面に平行な方向に該チャックテーブルを移動可能とし該チャックテーブルのメンテナンスを容易にする、加工装置である。

本発明に係る加工装置は、被加工物に加工液を供給する加工液供給部を備えると好ましい。

本発明に係る加工装置は、加工室は、加工位置と搬入出位置とに水平移動する保持手段が通過可能な通過口を備え、保持手段は、チャックテーブルを配置する上面を有するチャックベースを備え、保持手段が通過口を通過する際にチャックテーブルの側面と通過口との隙間を狭くするテーブルカバーと、テーブルカバーを保持面に垂直な上下方向に移動可能な上下機構と、を備え、テーブルカバーは、保持面を露出させる開口を有する上板と、上板の外周から通過口に沿って垂下する側板と、を備え、上下機構は、固定具と、固定具により上板を上板の上面が保持面より僅かに下でチャックベースの上面より上の上位置で固定する下固定面、及び上板を上板の上面がチャックベースの上面以下の下位置で固定する上固定面を有するカバー支持部と、を備え、テーブルカバーは、上位置に上板の上面が位置するように上板を固定することによって、チャックテーブルの側面と通過口との隙間を狭くして加工液の噴霧の加工室からの噴出を抑制し、下位置に上板の上面が位置するように上板を固定することによって、チャックテーブルの側面を露出させチャックベースの上面に平行な方向にチャックテーブルを移動可能としチャックテーブルのメンテナンスを容易にする。即ち、テーブルカバーを下降させることで、チャックテーブルの交換作業が可能となり、チャックテーブルのメンテナンス時にテーブルカバーを取り外さなくてもよくなり、加工装置を設置しているクリーンルーム内がテーブルカバーに付着していた加工屑等によって汚されることが無くなる。

加工装置の一例を示す斜視図である。 チャックテーブルが加工室内にある状態の加工装置の一例を示す断面図である。 上位置に上板の上面が位置するように上板を固定した状態のテーブルカバーの一部を示す断面図である。 図４（Ａ）は、加工室からチャックテーブルが退出し始める状態を説明する平面図である。図４（Ｂ）は、加工室からチャックテーブルが退出している状態を説明する平面図である。 チャックテーブルが加工室外にある状態の加工装置の一例を示す断面図である。 下位置に上板の上面が位置するように上板を固定した状態のテーブルカバーの一部を示す断面図である。

図１に示す加工装置１は、チャックテーブル３０の保持面３０２に吸引保持された被加工物８０を加工手段１６によって研削加工する装置であり、加工装置１の装置ベース１０上の前方（－Ｙ方向側）は、チャックテーブル３０に対して被加工物８０の着脱が行われる着脱領域であり、装置ベース１０上の後方（＋Ｙ方向側）の加工室４内は、加工手段１６によってチャックテーブル３０上に保持された被加工物８０の研削加工が行われる加工領域である。
なお、本発明に係る加工装置は、加工装置１のような加工手段１６が１軸の研削装置に限定されるものではなく、粗研削手段と仕上げ研削手段とを備え、回転するターンテーブルで被加工物８０を粗研削手段又は仕上げ研削手段の下方に位置づけ可能な２軸の研削装置等であってもよい。
また、本発明に係る加工装置は、研磨パッドで被加工物８０に研磨加工（ドライ研磨、又は研磨液を用いるＣＭＰ研磨）を施し、被加工物８０の被研磨面を鏡面化したり、被加工物８０の抗折強度を高めたりする研磨加工装置であってもよい。
また、本発明に係る加工装置は、バイトで被加工物８０の表面８０１を旋削する旋削加工装置であってもよい。
また、本発明に係る加工装置は、研削砥石で被加工物８０を研削した後、研磨パッドで被加工物８０を研磨する研削研磨装置であってもよいし、バイトで被加工物８０の表面８０１を旋削した後、研磨パッドで被加工物８０を研磨する旋削研磨装置であってもよい。

図１に示す被加工物８０は、例えば、シリコン等を母材とする円形の半導体ウェーハであり、被加工物８０の下側に向けられた表面８０１には複数の図示しない分割予定ラインがそれぞれ直交するように設定されている。そして、図示しない分割予定ラインによって区画された格子状の領域には、図示しないデバイスがそれぞれ形成されている。表面８０１は、保護テープ８２が貼着されて保護されている。表面８０１の反対面である裏面８０３は、研削される面となる。なお、被加工物８０の構成は、本実施形態に示す例に限定されるものではない。例えば、被加工物８０はガラス、サファイア、ガリウムヒ素、セラミックス、樹脂、窒化ガリウム又はシリコンカーバイド等で構成されていてもよい。また、被加工物８０は、デバイスが形成される前のアズスライスウェーハ等であってもよい。

加工領域には、例えば四角柱状のコラム１１が立設されており、コラム１１の－Ｙ方向側の前面には、加工手段１６を保持面３０２に垂直な方向（Ｚ軸方向）に研削送りさせる研削送り手段１７が配設されている。研削送り手段１７は、軸方向がＺ軸方向であるボールネジ１７０と、ボールネジ１７０と平行に配設された一対のガイドレール１７１と、ボールネジ１７０の上端に連結しボールネジ１７０を回動させる昇降モータ１７２と、内部のナットがボールネジ１７０に螺合し側部がガイドレール１７１に摺接する昇降板１７３とを備えており、昇降モータ１７２がボールネジ１７０を回動させると、これに伴い昇降板１７３がガイドレール１７１にガイドされてＺ軸方向に往復移動し、昇降板１７３に固定された加工手段１６がＺ軸方向に研削送りされる。

チャックテーブル３０の保持面３０２に保持された被加工物８０を研削加工する図１、２に示す加工手段１６は、例えば、軸方向がＺ軸方向であり研削ホイールである加工具１６４の中心を軸とする回転軸１６０と、回転軸１６０を回転可能に支持するハウジング１６１と、回転軸１６０を回転駆動するモータ１６２と、回転軸１６０の下端に接続された円環状のマウント１６３と、マウント１６３の下面に着脱可能に装着された加工具１６４と、ハウジング１６１を支持し研削送り手段１７の昇降板１７３に固定されたホルダ１６５と、を備える。

図２に示すように、研削ホイールである加工具１６４は、ホイール基台１６４３と、ホイール基台１６４３の底面に環状に配置された研削砥石１６４４と、を備える。本実施形態において、研削砥石１６４４は、所定のボンドでダイヤモンド砥粒等が固着されて形成されており、ホイール基台１６４３の下面に、略直方体形状の複数の研削砥石チップを研削砥石チップ間に所定の間隔を空けて環状に配列したセグメント砥石である。なお、研削砥石１６４４は、研削砥石チップ間に間隔を空けないコンテニュアス配列であってもよい。

回転軸１６０の内部には、加工液供給源１８０に連通し加工液である研削水の通り道となる図示しない流路が、回転軸１６０の軸方向（Ｚ軸方向）に貫通して設けられており、図示しない該流路は、さらにマウント１６３を通り、ホイール基台１６４３の底面において研削砥石１６４４と被加工物８０との接触部位に向かって研削水を噴出できるように開口している。
このように、加工装置１においては、例えば、加工液供給源１８０と加工手段１６の内部の加工液流路とによって、被加工物８０に加工液を供給する加工液供給部１８が形成される。なお、研削時に、加工具１６４は、チャックテーブル３０から水平方向に一部がはみ出すように位置づけられているため、そのはみ出した部分の加工具１６４の内側に配設され研削水を噴射する外部ノズルを加工液供給部としてもよい。
なお、加工装置１が研磨装置である場合には、加工液供給部は、例えば加工手段の内部を通して被加工物８０と研磨パッドとの接触部位に加工液としてスラリーを供給する。

図１、２に示すように加工装置１は、被加工物８０を研削加工する際に被加工物８０を吸引保持したチャックテーブル３０と加工具１６４とを収容する加工室４を備えている。
図１に示すように、加工室４は、装置ベース１０上のコラム１１の前方かつ加工手段１６の下方となる位置に配設されており、その全体が直方体の箱状となっている。加工室４は、加工具１６４の加工室４内への進入を可能とする開口４００を有する天板４０と、天板４０から－Ｚ方向に垂下した４枚の側板と、を備えている。
そして、加工室４内に、加工具１６４が被加工物８０を加工する加工位置Ｐ２が設定されている。

図１でＸ軸方向において対向する２枚の側板を側板４１、及び側板４２として、Ｙ軸方向において対向する２枚の側板を正面板４３、及び背板４４とする。水平面（Ｘ軸Ｙ軸平面）に平行な天板４０の下面に垂直板である側板４１、側板４２、正面板４３、及び背板４４の上端が連結しており、側板４１、側板４２、正面板４３、及び背板４４の下端は装置ベース１０の上面に連結している。

図１に示すように、例えば、－Ｙ方向側に位置する正面板４３は、その下部側が略矩形状に切り欠かれて通過口４３０が形成されており、例えば着脱領域に設定された搬入出位置Ｐ１から＋Ｙ方向に向かって移動する保持手段３がこの通過口４３０を通過することで、チャックテーブル３０は加工室４内に収容され加工位置Ｐ２に位置付けされる。

天板４０の略中央部には、加工具１６４を加工室４に出入可能とする開口４００が形成されている。開口４００は、例えば、加工具１６４及びマウント１６３よりも少し大径の円形に形成されている。なお、天板４０は、図示しない丁番等によって一部が上側に持ち上げて開閉可能となっていてもよい。

装置ベース１０の内部には、加工具１６４が被加工物８０を加工する加工位置Ｐ２とチャックテーブル３０の保持面３０２に被加工物８０を搬入または保持面３０２から被加工物８０を搬出可能な搬入出位置Ｐ１とに保持手段３を水平移動させる水平移動手段１３が配設されている。水平移動手段１３は、Ｙ軸方向の軸心を有するボールネジ１３０と、ボールネジ１３０と平行に配設された一対のガイドレール１３１と、ボールネジ１３０の一端に連結しボールネジ１３０を回動させるモータ１３２と、内部のナットがボールネジ１３０に螺合し底部がガイドレール１３１に摺接する可動板１３３とを備えており、モータ１３２がボールネジ１３０を回動させると、これに伴い可動板１３３がガイドレール１３１にガイドされてＹ軸方向に直動し、図２に示すように可動板１３３上に傾き調整手段２４、テーブル回転手段２０、及びチャックベース３５を介して配設されたチャックテーブル３０をＹ軸方向に移動させることができる。
なお、水平移動手段１３は、チャックテーブル３０が上面に複数配設されたターンテーブルであってもよい。

加工装置１は、保持面３０２で被加工物８０を保持するチャックテーブル３０を有する保持手段３を備えている。
図１、２に示す平面視円形状のチャックテーブル３０は、例えば、ポーラス部材等からなり被加工物８０を吸着する吸着部３００と、吸着部３００を支持する枠体３０１とを備える。吸着部３００は、エジェクター機構又は真空発生装置等の図示しない吸引源に連通し、吸引源が吸引することで生み出された吸引力が、吸着部３００の露出面である保持面３０２に伝達されることで、チャックテーブル３０は保持面３０２上で被加工物８０を吸引保持することができる。例えば、保持面３０２は、回転中心を頂点とし肉眼では判断できない程度の極めて緩やかな円錐斜面に形成されている。

図２に示すように、保持手段３は、チャックテーブル３０を配置する上面３５０を有しチャックテーブル３０と略同径のチャックベース３５を備えている。例えば、図３に示すように、チャックテーブル３０の枠体３０１の上面は外周側に一段低い段差面を備えている。チャックテーブル３０の平坦な下面をチャックベース３５の上面に接触させ、図３に示すチャックベース３５の上面に形成されたねじ穴３５１とチャックテーブル３０の段差面に形成されたボルト挿通穴３０９とを重ね合わせて、ボルト挿通穴３０９を通した固定ボルト３０８をねじ穴３５１に螺合させ締め付けることにより、チャックテーブル３０がチャックベース３５に固定された状態になる。そして、固定ボルト３０８の頭部はチャックテーブル３０の保持面３０２よりも低い位置となり、加工具１６４が接触しないようになる。

チャックテーブル３０は、その下方に配設されたテーブル回転手段２０（図２参照）により回転可能である。
テーブル回転手段２０は、チャックベース３５の下面に接続されＺ軸方向に延在する回転軸２００と、回転軸２００を回転させる図示しないモータ等の回転駆動源と、回転軸２００を囲繞し内側面側に配設されたベアリング２２０によって回転軸２００を回転可能に支持する回転ベース２２１とを備えている。
なお、テーブル回転手段２０はプーリー機構等であってもよい。

回転ベース２２１は、例えば、図２に示すチャックテーブル３０の肉眼では確認できない程度の極めて緩やかな円錐面である保持面３０２の傾きを調整する傾き調整手段２４によって支持されている。
水平移動手段１３の可動板１３３上に、傾き調整手段２４は、例えば、回転ベース２２１の底面に周方向に等間隔空けて２つ以上設けられている。即ち、例えば該周方向に１２０度間隔で、２つの傾き調整手段２４と、回転ベース２２１を固定する図示しない支持柱とが配設されている。２つの傾き調整手段２４は、例えば、ピストンロッド２４５がＺ軸方向に上下動可能である電動シリンダやエアシリンダ等である。２つの傾き調整手段２４のピストンロッド２４５が上下動することで、保持面３０２の加工手段１６の研削砥石１６４４の研削面（下面）に対する傾きを調整することができる。

図１、２に示すように、加工装置１は、保持手段３が加工室４の通過口４３０を通過する際にチャックテーブル３０の側面３０６と通過口４３０との隙間Ｖを狭くするテーブルカバー７と、テーブルカバー７を保持面に垂直な上下方向に移動可能な上下機構５と、を備えている。

テーブルカバー７は、チャックテーブル３０の保持面３０２を露出させる開口７００を有する上板７０と、上板７０の外周から通過口４３０の側面に沿って垂下する側板７１とを備えている。

図２、３に示す略一様な厚みの上板７０は、例えば図１に示すように平面視矩形状に形成されており、その中央領域にチャックテーブル３０よりも少し大径の円形の開口７００が厚み方向に貫通形成されている。また、図３に示すように、上板７０には固定具挿通孔７０３が貫通形成されている。
なお、ターンテーブルによって研削手段の研削位置にチャックテーブル３０を位置づける研削装置の場合のテーブルカバー７の上板７０は、平面視扇形または、平面視扇形台に形成されており、その中央領域に円形の開口７００を貫通形成している。

上板７０の下面の外周側の領域には－Ｚ方向に平行に垂下する側板７１が一体的に形成されている。側板７１は、図２に示すように、少なくとも－Ｙ方向側、即ち、保持手段３が加工室４に進入する際の後方側に１枚形成されていてもよく、本実施形態においては、さらに、＋Ｙ方向側に１枚、Ｘ軸方向において対向するように２枚、計４枚形成されていている。図２、３に示す－Ｙ方向側の側板７１の幅（Ｘ軸方向長さ）は、例えば、加工室４の通過口４３０のＸ軸方向の幅よりも僅かに小さく設定されている。
例えば、図３に示すように、側板７１の下端側は、保持手段３側に向かって水平に延在する板状の固定部７１１が形成されており、該固定部７１１には固定具挿通孔７０３に対応する雌ネジ７１３が形成されている。
なお、固定具挿通孔７０３及び雌ネジ７１３は、それぞれ複数形成されている。

図３に示す上下機構５は、固定具５１と、固定具５１により上板７０を上板７０の上面７０２がチャックテーブル３０の保持面３０２より僅か（例えば、数ｍｍ）に下でチャックベース３５の上面３５０より上の上位置Ｚ１で固定する下固定面５５０、及び図６に示すように上板７０を上板７０の上面７０２がチャックベース３５の上面３５０以下の下位置Ｚ２で固定する上固定面５５４を有するカバー支持部５５と、を備えている。

図３に示すように、カバー支持部５５は、例えば、チャックテーブル３０よりも大径の開口を有する円筒５５２と、円筒５５２の上端から円筒５５２の径方向外側に向かって水平に延びるフランジ５５３とを備えており、フランジ５５３の平坦な下面が下固定面５５０となり、フランジ５５３の平坦な上面が上固定面５５４となる。なお、円筒５５２ではなく、保持手段３の周方向に等間隔を空けて複数（又は１つ）のフランジを備える柱部が配設されていてもよい。

フランジ５５３には厚み方向（Ｚ軸方向）に支持部挿通孔５５５が貫通形成されており、支持部挿通孔５５５は、雌ネジ７１３に対応している。なお、支持部挿通孔５５５は、固定ボルトである固定具５１が螺合する雌ネジであってもよい。

固定具５１は、本実施形態においては、固定具挿通孔７０３、及び支持部挿通孔５５５に挿通され、雌ネジ７１３に螺合する固定ボルトであるが、これに限定されるものではなく、例えば、固定具５１は、フランジ５５３の下固定面５５０と側板７１の固定部７１１の上面に対向するように配設された、磁力を固定するための力として用いる一対の磁石であったり、一対のワンタッチジョイント等であったりしてもよい。

カバー支持部５５の円筒５５２の下端には平面視で上板７０と合同又は相似である桶状の桶部５７が連結されている。そして、チャックベース３５のカバーとしても機能する桶部５７の外壁５７３には、蛇腹カバー５９が連結されており、蛇腹カバー５９は図１に示す保持手段３のＹ軸方向における移動に追従してＹ軸方向に伸縮する。なお、カバー支持部５５を支持する桶部５７は、蛇腹カバー５９に連結されることで支持されていてもよいし、例えば、図示しない接続部材によって回転ベース２２１の外側面等に接続され支持されていてもよい。

例えば、円筒５５２の下部及び桶部５７の外壁５７３には、排水口５５８及び排水口５７８が形成されており、研削加工中にチャックテーブル３０の保持面３０２上から流下する加工屑を含んだ加工液を蛇腹カバー５９側へと排出する。また、図１に示す蛇腹カバー５９の幅方向（Ｘ軸方向）の両脇には、該加工屑を含んだ加工液（廃液）を受け止めるウォーターケースの廃液流入口が形成されている。

例えば、図３に示すように、チャックベース３５の外側面には、平面視円環状のスカートカバー３５８が取り付けられており、スカートカバー３５８の外周縁から－Ｚ方向に向かって垂下するスカート部３５９が、上下機構５の桶部５７の内壁５７０の周囲を囲んだ状態になる。スカート部３５９は、チャックベース３５と内壁５７０の外側面との隙間に、チャックテーブル３０の保持面３０２上から流下する加工屑を含んだ加工液を入り込ませないようにしている。

以下に、図１に示すチャックテーブル３０に保持された被加工物８０を研削加工する場合の加工装置１の動作について説明する。
まず、保持手段３が搬入出位置Ｐ１に位置付けされ、例えば１枚目の被加工物８０が、チャックテーブル３０の保持面３０２に互いの中心を略合致させた状態で載置され吸引保持される。次いで、水平移動手段１３が、被加工物８０を保持した保持手段３を加工室４に向かって＋Ｙ方向へ移動させる。

上記のように保持手段３のチャックテーブル３０が加工室４に進入させるために、１枚目の被加工物８０をチャックテーブル３０に吸引保持させる前に、例えば作業者によって、予めテーブルカバー７は上下機構５を機能させて図３に示す上位置Ｚ１に上板７０の上面７０２が位置するように上板７０を固定される。具体的には、図３に示す上板７０を作業者が把持して上側に向かって持ち上げるように力を加えつつ、固定具挿通孔７０３からドライバー等の作業工具を挿し入れて、固定ボルトである固定具５１を例えば＋Ｚ方向側から見て反時計回り方向に回すことで、固定具５１が雌ネジ７１３に螺合しており図６に示す下位置Ｚ２に位置していたテーブルカバー７を固定具５１に対して相対的に上昇させることができる。なお、作業者が上板７０を持ち上げる力を加えなくてもよい。

そして、図３に示すように、カバー支持部５５の下固定面５５０に固定部７１１の上面を当接させることで、上板７０の上面７０２を保持面３０２より僅かに下でチャックベース３５の上面３５０より上の上位置Ｚ１に位置付けた状態で、上板７０を固定できる。その後、作業工具が固定具挿通孔７０３から引き抜かれる。その結果、これから、先に説明したように加工室４に進入させるチャックテーブル３０の側面３０６と通過口４３０との隙間Ｖ（図２参照）を狭くする状態をつくることができる。

先に説明した通り、図２に示す水平移動手段１３が、被加工物８０をチャックテーブル３０によって吸引保持した保持手段３を＋Ｙ方向へ移動させる。そして、チャックテーブル３０が正面板４３の通過口４３０を通り加工室４内に搬入される。さらに、被加工物８０を保持したチャックテーブル３０が加工手段１６の下の加工位置Ｐ２まで移動して、加工具１６４の回転中心が被加工物８０の回転中心に対して所定の距離だけ水平方向にずれ、研削砥石１６４４の回転軌跡が被加工物８０の回転中心を通るように位置合わせされる。そして、例えば、通過口４３０の直下にテーブルカバー７の上板７０が位置し、正面板４３の通過口４３０の上端と上板７０の上面７０２との距離が例えば数ｍｍ程度になり、チャックテーブル３０の側面３０６と通過口４３０との隙間Ｖが狭くなった状態になる。

次いで、加工手段１６が研削送り手段１７により所定の研削送り速度で－Ｚ方向へと送られ、加工手段１６が天板４０の開口４００を通り加工室４内に進入していく。そして、所定の回転速度で回転する加工具１６４の研削砥石１６４４が被加工物８０の上側を向いた裏面８０３に当接することで研削加工が行われる。また、チャックテーブル３０が所定の回転速度で回転することに伴い保持面３０２上に保持された被加工物８０も回転するので、被加工物８０の裏面８０３の全面が研削される。研削加工中は、加工液を例えば加工手段１６内部の流路を通して研削砥石１６４４と被加工物８０との接触部位に対して供給して、接触部位を冷却・洗浄する。

研削加工が開始されることで研削屑が生成されて、加工液に混じり、回転する研削砥石１６４４によって噴霧となって図２に示す加工室４内に飛散するが、正面板４３の通過口４３０の上端と上板７０の上面７０２との距離が例えば数ｍｍ程度になり、チャックテーブル３０の側面３０６と通過口４３０との隙間Ｖが狭くなった状態となっているため、加工室４からの加工液の噴霧の噴出が抑制される。
また、研削加工中にチャックテーブル３０の保持面３０２上から流下する加工屑を含んだ加工液は、スカートカバー３５８を流れ落ちて桶部５７に至り、さらに、排水口５５８、テーブルカバー７の側板７１の下部である固定部７１１と桶部５７との隙間、及び排水口５７８を通り、蛇腹カバー５９側へと排出される。このように、加工屑を含んだ加工液が継続的に蛇腹カバー５９側へと排出されることで、テーブルカバー７やカバー支持部５５、及び桶部５７に加工屑が溜まりにくく、これらの清掃頻度を少なくすることが可能となる。

被加工物８０が仕上げ厚さに達すると、加工手段１６が＋Ｚ方向へと上昇して、研削砥石１６４４を被加工物８０の裏面８０３から離間させて研削加工が終了する。そして、図５に示すように保持手段３が－Ｙ方向へ移動して、加工室４から出て、搬入出位置Ｐ１に位置付けされる。そして、研削済みの被加工物８０がチャックテーブル３０から搬出され、新たな被加工物８０がチャックテーブル３０に搬入されて吸引保持される。
なお、通過口４３０は矩形であり、チャックテーブル３０は円柱である。そのため、図４（Ａ）、（Ｂ）に示すように、通過口４３０をチャックテーブル３０が通過する際に、仮に、チャックテーブル３０がテーブルカバー７で囲繞されていない場合には、図４（Ａ）に示すように、チャックテーブル３０が加工室４を通過口４３０から退出し始める際には、チャックテーブル３０の側面３０６と通過口４３０の側面との隙間Ｖ１が大きく、図４（Ｂ）に示すように、チャックテーブル３０が加工室４を通過口４３０から退出している途中においては、チャックテーブル３０の側面３０６と通過口４３０の側面との隙間Ｖが小さくなる。従来は、図４（Ａ）に示す段階においては、加工室４内に残留している加工屑を含む加工液の噴霧が、広い隙間Ｖ１から加工室４外に噴出してしまう場合があった。しかし、本発明に係る加工装置１は、テーブルカバー７を備えていることで、図４（Ａ）に示す場合においても、通過口４３０の側面とチャックテーブル３０の側面３０６との間の隙間を隙間Ｖまで狭くすることができ、図４（Ａ）、（Ｂ）に示すように、チャックテーブル３０が通過口４３０を通過している際に、隙間Ｖの狭さを均一にすることができる。そして、加工室４から加工液の噴霧を噴出させないようにすることが可能となる。

上記のように被加工物８０に対して研削砥石１６４４で研削加工を施していくことで、チャックテーブル３０の詰まり等の問題が発生する場合があるため、適宜のタイミング（例えば、複数枚の被加工物８０を研削した後等）でチャックテーブル３０のメンテナンスを行う必要がある。メンテナンスにあたっては、例えば、複数枚目の研削済みの被加工物８０を吸引保持した保持手段３が図５に示すように－Ｙ方向へ移動して、加工室４から出て、搬入出位置Ｐ１に位置付けされると、保持手段３の吸引等の機能が一度停止される。なお、加工室４の天板４０が開閉可能である場合には、該メンテナンスは加工室４内で行ってもよい。

そして、例えば作業者によって、テーブルカバー７は上下機構５を機能させて、図６に示す下位置Ｚ２に上板７０の上面７０２が位置するように上板７０を固定される。具体的には、図６に示す上板７０を作業者が把持して下側に向かって押すように力を加えつつ、固定具挿通孔７０３からドライバー等の作業工具を挿し入れて、固定具５１を例えば＋Ｚ方向側から見て時計回り方向に回すことで、固定具５１が雌ネジ７１３に螺合しているテーブルカバー７を、図３に示す上位置Ｚ１にテーブルカバー７が位置している状態から図６に示すように固定具５１に対して相対的に下降させることができる。なお、作業者が上板７０を押す力を加えなくてもよい。

そして、カバー支持部５５の上固定面５５４に上板７０の下面を当接させることで、上板７０の上面７０２をチャックベース３５の上面３５０以下の下位置Ｚ２に位置付けた状態で、上板７０を固定できる。その後、作業工具が固定具挿通孔７０３から引き抜かれる。なお、図６においては、チャックベース３５のスカートカバー３５８の上面に上板７０の下面が接触しているが、接触していなくてもよい。

これによって、図６に示すように、チャックテーブル３０の側面３０６をテーブルカバー７から露出させチャックベース３５の上面３５０に平行な方向（水平方向）にチャックテーブル３０を、テーブルカバー７に邪魔されずに自由に移動可能となる。また、作業者がチャックテーブル３０の側面３０６を把持することも可能となる。その後、例えば、固定ボルト３０８によるチャックテーブル３０のチャックベース３５に対する固定が解除されて、チャックテーブル３０が例えば新たなチャックテーブル３０に交換される。
なお、テーブルカバー７を、例えばチャックテーブル３０の中心を中心として２分割させ、その片側だけを上下方向に移動可能にしてもよい。

上記のように、本発明に係る加工装置１は、加工室４は、加工位置Ｐ２と搬入出位置Ｐ１とに水平移動する保持手段３が通過可能な通過口４３０を備え、保持手段３は、チャックテーブル３０を配置する上面３５０を有するチャックベース３５を備え、保持手段３が通過口４３０を通過する際にチャックテーブル３０の側面３０６と通過口４３０との隙間Ｖを狭くするテーブルカバー７と、テーブルカバー７を保持面３０２に垂直な上下方向（Ｚ軸方向）に移動可能な上下機構５と、を備え、テーブルカバー７は、保持面３０２を露出させる開口７００を有する上板７０と、上板７０の外周から通過口４３０に沿って垂下する側板７１と、を備え、上下機構５は、固定具５１と、固定具５１により上板７０を上板７０の上面７０２が保持面３０２より僅かに下でチャックベース３５の上面３５０より上の上位置Ｚ１で固定する下固定面５５０、及び上板７０を上板７０の上面７０２がチャックベース３５の上面３５０以下の下位置Ｚ２で固定する上固定面５５４を有するカバー支持部５５と、を備え、テーブルカバー７は、上位置Ｚ１に上板７０の上面７０２が位置するように上板７０を固定することによって、チャックテーブル３０の側面３０６と通過口４３０との隙間Ｖを狭くして加工液の噴霧の加工室４からの噴出を抑制し、下位置Ｚ２に上板７０の上面７０２が位置するように上板７０を固定することによって、チャックテーブル３０の側面３０６を露出させチャックベース３５の上面３５０に平行な水平方向にチャックテーブル３０を移動可能としチャックテーブル３０の交換を含むメンテナンスを容易にする。即ち、テーブルカバー７を下降させることで、チャックテーブル３０の交換作業が可能となり、チャックテーブル３０のメンテナンス時にテーブルカバー７を取り外さなくてもよくなり、加工装置１を設置しているクリーンルーム内がテーブルカバー７に付着していた加工屑等によって汚されることが無くなる。
また、固定具５１をドライバー等を使ってテーブルカバー７及びカバー支持部５５から取り外せば、テーブルカバー７自体をカバー支持部５５から取り外すことができる。

本発明に係る加工装置１は上記実施形態に限定されず、その技術的思想の範囲内において種々異なる形態にて実施されてよいことは言うまでもない。また、添付図面に図示されている加工装置１の構成等についても、これに限定されず、本発明の効果を発揮できる範囲内で適宜変更可能である。

８０：被加工物 ８０１：表面 ８０３：裏面 ８２：保護テープ
１：加工装置 １０：装置ベース Ｐ１：搬入出位置
１１：コラム １７：研削送り手段
１６：加工手段 １６４：加工具 １６４４：研削砥石
１８：加工液供給部 １８０：加工液供給源
４：加工室 ４０：天板 ４００：開口 ４３：正面板 ４３０：通過口 Ｐ２：加工位置
１３：水平移動手段 １３０：ボールネジ １３２：モータ １３３：可動板
３：保持手段 ３０：チャックテーブル ３００：吸着部 ３０２：保持面
３０１：枠体 ３０８：固定ボルト
３５：チャックベース ３５０：チャックベースの上面 ３５８：スカートカバー
２０：テーブル回転手段 ２００：回転軸 ２２０：ベアリング ２２１：回転ベース
２４：傾き調整手段
７：テーブルカバー ７０：上板 ７００：開口 ７０３：固定具挿通孔
７１：側板 ７１１：固定部 ７１３：雌ネジ
５９：蛇腹カバー
５：上下機構 ５１：固定具（固定ボルト）
５５：カバー支持部 ５５２：円筒 ５５３：フランジ ５５０：下固定面 ５５４：上固定面 ５５５：支持部挿通孔 ５５８：排水口
５７：桶部 ５７３：桶部の外壁 ５７８：排水口

Claims (2)

1. 保持面で被加工物を保持するチャックテーブルを有する保持手段と、被加工物を加工具で加工する加工手段と、該チャックテーブルと該加工具とを収容して被加工物を加工する加工室と、該加工具が被加工物を加工する加工位置と該保持面に被加工物を搬入または該保持面から被加工物を搬出可能な搬入出位置とに該保持手段を水平移動させる水平移動手段と、を備える加工装置であって、
   該加工室は、該加工位置と該搬入出位置とに水平移動する該保持手段が通過可能な通過口を備え、
   該保持手段は、該チャックテーブルを配置する上面を有するチャックベースを備え、
   該保持手段が該通過口を通過する際に該チャックテーブルの側面と該通過口との隙間を狭くするテーブルカバーと、該テーブルカバーを該保持面に垂直な上下方向に移動可能な上下機構と、を備え、
   該テーブルカバーは、該保持面を露出させる開口を有する上板と、該上板の外周から該通過口に沿って垂下する側板と、を備え、
   該上下機構は、固定具と、該固定具により該上板を該上板の上面が該保持面より僅かに下で該チャックベースの上面より上の上位置で固定する下固定面、及び該上板を該上板の上面が該チャックベースの上面以下の下位置で固定する上固定面を有するカバー支持部と、を備え、
   該テーブルカバーは、該上位置に該上板の上面が位置するように該上板を固定することによって、該チャックテーブルの側面と該通過口との隙間を狭くして加工液の噴霧の該加工室からの噴出を抑制し、該下位置に該上板の上面が位置するように該上板を固定することによって、該チャックテーブルの側面を露出させ該チャックベースの上面に平行な方向に該チャックテーブルを移動可能とし該チャックテーブルのメンテナンスを容易にする、加工装置。
2. 被加工物に加工液を供給する加工液供給部を備える請求項１記載の加工装置。

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