JP5018062B2 - ハンダボール印刷装置 - Google Patents
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Description
21を含み全体をマスク20と称する。本マスクを使用した事例としては、電極パッド部直径120μm,ピッチ150μmで、1個のCPUチップのパッド数が数千個となる電極パッド群が数十個も配置される多数個取り基板等に対し、印刷法によりバンプ形成に用いられている。図1(a)の四角形状が1つの電極パッド群20aを示している。すなわち、1つの電極パッド群に対応して設けてあるマスク開口部20cは、電極パッドの大きさに対応した径で多数開口されている。このマスク20を使用して印刷を行い、印刷終了後、印刷テーブル10を降下させて、印刷テーブル10に固定された基板5が下降することで、版離れ動作を実施し、印刷する。
2 充填・印刷ヘッド
3 スクレーパ
5 基板
10 印刷テーブル
11 XYθテーブル
15 カメラ
20 マスク
45 シブ状体
Claims (7)
- ハンダボールをマスクを介して基板電極上に印刷するハンダボール印刷装置において、ハンダボールを所定のパターンで充填・転写する開口を有するマスクと、マスクを載置・固定するマスク固定手段と、バンプ形成する基板を搬入・固定し所定の印刷・転写完了後に搬出する基板固定手段と、マスクと基板の各々の基準マークを画像処理しマスクと基板を位置合せする認識位置決め手段と、基板をマスクに対して密着させるための密着手段と、マスクを通して所定の位置にハンダボールを充填するための印刷する手段と、印刷する手段をマスク面に対し平行運動させる平行移動手段と、マスク開口に充填されたハンダボールを基板上に固着し印刷テーブルを降下させて版離れすることによりハンダボールを基板上に転写する手段とを有し、
前記印刷する手段にはハンダボールを載置するシブ状体であって、網目状等の複数の開口を底面に有し取付け用の折り曲げ部を両端部に有する伸縮変形可能な極薄のメタル板で構成されたシブ状体と、前記シブ状体に垂直若しくは水平振動を与える加振手段とを具備したハンダボール印刷装置。 - 請求項1に記載のハンダボール印刷装置において、
前記シブ状体に印刷に必要な量のハンダボールが収納され、印刷動作中に前記シブ状体を前記加振手段で振動させることで、ハンダボールを収納したシブ状体を伸縮させて収納されたハンダボールをマスク面上に供給することを特徴とするハンダボール印刷装置。 - 請求項1に記載のハンダボール印刷装置において、
前記シブ状体は底面に網目状、又は連続した円形、楕円形、長方形、又はスリット状の開口が設けられていることを特徴とするハンダボール印刷装置。 - 請求項1に記載のハンダボール印刷装置において、
前記印刷する手段にシブ状体と併設若しくは独立したはけ状体又はスクレーパ手段を具備し、印刷動作中にはけ状体又はスクレーパ手段を振動させることを特徴とするハンダボール印刷装置。 - 基板上に形成された電極にマスクを介してハンダボールを供給し印刷するハンダボール印刷装置において、ハンダボールを所定のパターンで充填・転写する開口を有するマスクと、マスクを載置・固定するマスク固定手段と、バンプ形成する基板を搬入・固定し所定の印刷・転写完了後に搬出する基板固定手段と、マスクと基板の各々の基準マークを画像処理しマスクと基板を位置合せする認識位置決め手段と、基板をマスクに対して密着させるための密着手段と、マスクを通して所定の位置にハンダボールを充填するための印刷手段と、印刷手段をマスク面に対し平行運動させる平行移動手段と、マスク開口に充填されたハンダボールを基板上に固着し印刷テーブルを降下させて版離れすることによりハンダボールを基板上に転写する手段とを有し、
前記印刷手段は、ハンダボールを載置するシブ状体であって、網目状等の複数の開口を底面に有し、取付け用の折り曲げ部を両端部に有する伸縮変形可能な極薄のメタル板で構成されたシブ状体と、前記シブ状体に垂直若しくは水平振動を加える加振手段とを備え、前記加振手段によりシブ状体を加振することで前記シブ状体の開口を広げ、前記シブ状体上に収納したハンダボールを、前記マスクを介して基板上の電極に供給する構成としたことを特徴とするハンダボール印刷装置。 - 基板上に形成された電極にマスクを介してハンダボールを供給し印刷するハンダボール印刷装置において、ハンダボールを所定のパターンで充填・転写する開口を有するマスクと、マスクを載置・固定するマスク固定手段と、バンプ形成する基板を搬入・固定し所定の印刷・転写完了後に搬出する基板固定手段と、マスクと基板の各々の基準マークを画像処理しマスクと基板を位置合せする認識位置決め手段と、基板をマスクに対して密着させるための密着手段と、マスクを通して所定の位置にハンダボールを充填するための印刷手段と、印刷手段をマスク面に対し平行運動させる平行移動手段と、マスク開口に充填されたハンダボールを基板上に固着し印刷テーブルを降下させて版離れすることによりハンダボールを基板上に転写する手段とを有し、
前記印刷手段は、ハンダボールを載置するシブ状体であって、網目状等の複数の開口を底面に有し、取付け用の折り曲げ部を両端部に有する伸縮変形可能な極薄のメタル板で構成されたシブ状体と、前記シブ状体に垂直若しくは水平振動を加える加振手段と、基板を支え固定する基板固定手段とを備え、前記基板固定手段には磁石を内蔵し、印刷手段がマスク面上を平行移動時に基板を通して前記金属製マスクと金属製シブ状体に対し磁力を作用させシブ状体の開口を広げ、前記シブ状体上に収納したハンダボールを、前記マスクを介して基板上の電極に供給する構成としたことを特徴とするハンダボール印刷装置。 - 請求項5又は6に記載のハンダボール印刷装置において、
前記印刷手段にシブ状体と併設若しくは独立したはけ状体又はスクレーパ手段を具備し、印刷動作中にはけ状体又はスクレーパ手段を垂直若しくは水平振動させることを特徴とするハンダボール印刷装置。
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