JP3180591B2 - 半田ボールの搭載装置 - Google Patents
半田ボールの搭載装置Info
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- JP3180591B2 JP3180591B2 JP29953294A JP29953294A JP3180591B2 JP 3180591 B2 JP3180591 B2 JP 3180591B2 JP 29953294 A JP29953294 A JP 29953294A JP 29953294 A JP29953294 A JP 29953294A JP 3180591 B2 JP3180591 B2 JP 3180591B2
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- Japan
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- container
- solder
- head
- solder balls
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-
- H—ELECTRICITY
- H05—ELECTRIC TECHNIQUES NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
- H05K—PRINTED CIRCUITS; CASINGS OR CONSTRUCTIONAL DETAILS OF ELECTRIC APPARATUS; MANUFACTURE OF ASSEMBLAGES OF ELECTRICAL COMPONENTS
- H05K3/00—Apparatus or processes for manufacturing printed circuits
- H05K3/30—Assembling printed circuits with electric components, e.g. with resistor
- H05K3/32—Assembling printed circuits with electric components, e.g. with resistor electrically connecting electric components or wires to printed circuits
- H05K3/34—Assembling printed circuits with electric components, e.g. with resistor electrically connecting electric components or wires to printed circuits by soldering
- H05K3/3457—Solder materials or compositions; Methods of application thereof
- H05K3/3478—Applying solder preforms; Transferring prefabricated solder patterns
Landscapes
- Electric Connection Of Electric Components To Printed Circuits (AREA)
- Wire Bonding (AREA)
Description
【０００１】
【産業上の利用分野】本発明は、バンプを形成するため
の半田ボールを基板などのワークに搭載するための半田
ボールの搭載装置に関するものである。
の半田ボールを基板などのワークに搭載するための半田
ボールの搭載装置に関するものである。
【０００２】
【従来の技術】基板やチップなどのワークの電極にバン
プ（突出電極）を形成する手段として、半田ボールをワ
ークに搭載した後、半田ボールを加熱して溶融固化させ
る方法が知られている。一般に、ワークには多数個のバ
ンプが形成されるものであり、したがって半田ボールは
ワークに多数個搭載される。以下、半田ボールをワーク
に一括して多数個搭載するための従来の半田ボールの搭
載装置に用いられる半田ボールの供給部について説明す
る。
プ（突出電極）を形成する手段として、半田ボールをワ
ークに搭載した後、半田ボールを加熱して溶融固化させ
る方法が知られている。一般に、ワークには多数個のバ
ンプが形成されるものであり、したがって半田ボールは
ワークに多数個搭載される。以下、半田ボールをワーク
に一括して多数個搭載するための従来の半田ボールの搭
載装置に用いられる半田ボールの供給部について説明す
る。
【０００３】図５は従来の半田ボールの搭載装置に備え
られた半田ボールの供給部の断面図である。１は半田ボ
ールであり、容器２に貯留されている。容器２の下面に
は振動器３が装着されている。容器２は振動が可能なよ
うに、弾性部材４を介して支持部５に支持されている。
７はヘッドであり、その下面には半田ボール１を真空吸
着する吸着孔８が形成されている。
られた半田ボールの供給部の断面図である。１は半田ボ
ールであり、容器２に貯留されている。容器２の下面に
は振動器３が装着されている。容器２は振動が可能なよ
うに、弾性部材４を介して支持部５に支持されている。
７はヘッドであり、その下面には半田ボール１を真空吸
着する吸着孔８が形成されている。
【０００４】振動器３を駆動して容器２を振動させるこ
とにより、ヘッド７が多数個の吸着孔８に半田ボール１
を真空吸着しやすいように半田ボール１を流動化させ、
その状態でヘッド７を下降・上昇させることにより、吸
着孔８に半田ボール１を真空吸着してピックアップす
る。次いでヘッド７は基板などのワーク（図外）の上方
へ移動し、半田ボール１をワークに搭載する。
とにより、ヘッド７が多数個の吸着孔８に半田ボール１
を真空吸着しやすいように半田ボール１を流動化させ、
その状態でヘッド７を下降・上昇させることにより、吸
着孔８に半田ボール１を真空吸着してピックアップす
る。次いでヘッド７は基板などのワーク（図外）の上方
へ移動し、半田ボール１をワークに搭載する。
【０００５】図６は他の従来の半田ボールの搭載装置に
備えられた半田ボールの供給部の断面図である。容器６
内には半田ボール１が貯溜されている。容器６にはチュ
ーブ９が接続されており、このチューブ９からエアを吹
き出し、容器６の底部の孔部６ａから吹き上げることに
より（矢印参照）、ヘッドが半田ボール１を真空吸着し
やすいように半田ボール１を流動化させる。
備えられた半田ボールの供給部の断面図である。容器６
内には半田ボール１が貯溜されている。容器６にはチュ
ーブ９が接続されており、このチューブ９からエアを吹
き出し、容器６の底部の孔部６ａから吹き上げることに
より（矢印参照）、ヘッドが半田ボール１を真空吸着し
やすいように半田ボール１を流動化させる。
【０００６】
【発明が解決しようとする課題】しかしながら図５に示
す従来例では、半田ボール１を十分に流動化させるため
には、振動器３で強く半田ボール１を振動させる必要が
あるが、半田ボール１を強く振動させると、半田ボール
１は互いに強く衝突して傷つきやすく、傷ついた箇所か
ら酸化が進行して半田ボール１の材質が劣化しやすいと
いう問題点があった。また半田ボール１同士が互いに強
くこすり合う結果、金属粉が発生し、この金属粉がヘッ
ド７の吸着孔８に付着して吸着孔８が詰まりやすいとい
う問題点があった。
す従来例では、半田ボール１を十分に流動化させるため
には、振動器３で強く半田ボール１を振動させる必要が
あるが、半田ボール１を強く振動させると、半田ボール
１は互いに強く衝突して傷つきやすく、傷ついた箇所か
ら酸化が進行して半田ボール１の材質が劣化しやすいと
いう問題点があった。また半田ボール１同士が互いに強
くこすり合う結果、金属粉が発生し、この金属粉がヘッ
ド７の吸着孔８に付着して吸着孔８が詰まりやすいとい
う問題点があった。
【０００７】また図６に示す従来例では、半田ボール１
を十分に流動化させるためには、チューブ９から大量の
エアを吹き出さねばならず、エアの消費量が甚大になる
という問題点があった。しかも半田ボールの搭載装置が
設置される工場内には、半田ボールの搭載装置以外にも
エアを消費する諸装置が設置されることが多く、これら
の諸装置と半田ボールの搭載装置は共用のエア供給装置
からエアが供給されることが多いため、半田ボールの搭
載装置が大量のエアを消費すると、他の諸装置はエア不
足になってしまいやすいという問題点があった。
を十分に流動化させるためには、チューブ９から大量の
エアを吹き出さねばならず、エアの消費量が甚大になる
という問題点があった。しかも半田ボールの搭載装置が
設置される工場内には、半田ボールの搭載装置以外にも
エアを消費する諸装置が設置されることが多く、これら
の諸装置と半田ボールの搭載装置は共用のエア供給装置
からエアが供給されることが多いため、半田ボールの搭
載装置が大量のエアを消費すると、他の諸装置はエア不
足になってしまいやすいという問題点があった。
【０００８】そこで本発明は、上記従来例の問題点を解
消し、半田ボールを傷つけることなく十分に流動化させ
ることができ、またエアの消費量も少なくて済む半田ボ
ールの供給部を有する半田ボールの搭載装置を提供する
ことを目的とする。
消し、半田ボールを傷つけることなく十分に流動化させ
ることができ、またエアの消費量も少なくて済む半田ボ
ールの供給部を有する半田ボールの搭載装置を提供する
ことを目的とする。
【０００９】
【課題を解決するための手段】このために本発明は、半
田ボールの供給部を、半田ボールが貯溜される容器の内
部にエアを吹き出すエア吹出手段と、この容器に斜め方
向の振動を付与する振動付与手段とから構成し、この振
動付与手段が振動器と傾斜姿勢の複数のばね材から成る
ものである。また望ましくは、前記容器の平面形状は４
角形であり、また前記ばね材は４個あり、これらの４個
のばね材は前記容器の４つの辺に対応して設けられてい
るものである。
田ボールの供給部を、半田ボールが貯溜される容器の内
部にエアを吹き出すエア吹出手段と、この容器に斜め方
向の振動を付与する振動付与手段とから構成し、この振
動付与手段が振動器と傾斜姿勢の複数のばね材から成る
ものである。また望ましくは、前記容器の平面形状は４
角形であり、また前記ばね材は４個あり、これらの４個
のばね材は前記容器の４つの辺に対応して設けられてい
るものである。
【００１０】
【作用】上記構成によれば、振動付与手段で比較的弱く
半田ボールを振動させながら、容器内に比較的少量のエ
アを吹き出すことにより、半田ボールを十分に流動化さ
せることができる。
半田ボールを振動させながら、容器内に比較的少量のエ
アを吹き出すことにより、半田ボールを十分に流動化さ
せることができる。
【００１１】
【実施例】次に、本発明の実施例を図面を参照しながら
説明する。図１は本発明の一実施例の半田ボールの搭載
装置の側面図、図２は同半田ボールの搭載装置に備えら
れた半田ボールの供給部の断面図、図３は同平面図、図
４は同ヘッドの部分断面図である。
説明する。図１は本発明の一実施例の半田ボールの搭載
装置の側面図、図２は同半田ボールの搭載装置に備えら
れた半田ボールの供給部の断面図、図３は同平面図、図
４は同ヘッドの部分断面図である。
【００１２】図１において、１１は半田ボールの供給部
であり、図２および図３を参照しながら詳細に説明す
る。１２は容器であり、半田ボール１が貯溜されてい
る。１０は容器１２の下部に設けられたエア吹出部であ
って、チューブ１３を介してガス供給装置２０（図１）
に接続されている。容器１２の内部には上下２段のメッ
シュ２１，２２が設けられている。半田ボール１は上方
のメッシュ２２上に貯溜されている。また下方のメッシ
ュ２１は、エア吹出部１０から吹き出されて吹き上げる
エアの流れを均一化させる。
であり、図２および図３を参照しながら詳細に説明す
る。１２は容器であり、半田ボール１が貯溜されてい
る。１０は容器１２の下部に設けられたエア吹出部であ
って、チューブ１３を介してガス供給装置２０（図１）
に接続されている。容器１２の内部には上下２段のメッ
シュ２１，２２が設けられている。半田ボール１は上方
のメッシュ２２上に貯溜されている。また下方のメッシ
ュ２１は、エア吹出部１０から吹き出されて吹き上げる
エアの流れを均一化させる。
【００１３】１４は台板である。台板１４上と容器１２
の下面には止具１５，１６が取り付けられている。台板
１４上の止具１５と容器１２の下面の止具１６には板ば
ねから成るばね材１７の上下両端部がビス１８で固着さ
れている。ばね材１７は４個あり、それぞれ傾斜姿勢で
止具１５，１６に固着されている。図３に示すように、
４個のばね材１７は、平面形状が４角形の容器１２の４
つの辺に対応するように設けられている。また容器１２
の下面中央には振動器１９が装着されている。
の下面には止具１５，１６が取り付けられている。台板
１４上の止具１５と容器１２の下面の止具１６には板ば
ねから成るばね材１７の上下両端部がビス１８で固着さ
れている。ばね材１７は４個あり、それぞれ傾斜姿勢で
止具１５，１６に固着されている。図３に示すように、
４個のばね材１７は、平面形状が４角形の容器１２の４
つの辺に対応するように設けられている。また容器１２
の下面中央には振動器１９が装着されている。
【００１４】図２において、振動器１９が振動すると、
ばね材１７はその長さ方向と直交する斜め方向Ｎ１に振
動し、ばね材１７に結合された容器１２も同じ斜め方向
に振動する。この斜め方向Ｎ１は上下方向Ｎ２と水平方
向Ｎ３の成分を有しており、したがって容器１２の振動
方向も上下方向Ｎ２の成分と水平方向Ｎ３の成分を含
む。したがって容器１２に貯留された半田ボール１は上
下方向Ｎ２だけでなく、水平方向Ｎ３にも振動する。
ばね材１７はその長さ方向と直交する斜め方向Ｎ１に振
動し、ばね材１７に結合された容器１２も同じ斜め方向
に振動する。この斜め方向Ｎ１は上下方向Ｎ２と水平方
向Ｎ３の成分を有しており、したがって容器１２の振動
方向も上下方向Ｎ２の成分と水平方向Ｎ３の成分を含
む。したがって容器１２に貯留された半田ボール１は上
下方向Ｎ２だけでなく、水平方向Ｎ３にも振動する。
【００１５】ここで、上下方向Ｎ２の振動は、図５に示
すように半田ボール１の上面を波打たせるように作用す
るが、水平方向Ｎ３の振動は、この波打ちを分散させる
ように作用するので、振動器１９を駆動して容器１２を
振動させることにより半田ボール１を流動化させると、
半田ボール１の上面はほぼ水平面を保持する。また４個
のばね材１７は容器１２の中央部から見て同一方向に傾
斜しており、したがって水平方向Ｎ３の振動成分のため
に、容器１２内の半田ボール１は、図３において矢印Ｑ
で示すように、全体として同一方向に回動する。
すように半田ボール１の上面を波打たせるように作用す
るが、水平方向Ｎ３の振動は、この波打ちを分散させる
ように作用するので、振動器１９を駆動して容器１２を
振動させることにより半田ボール１を流動化させると、
半田ボール１の上面はほぼ水平面を保持する。また４個
のばね材１７は容器１２の中央部から見て同一方向に傾
斜しており、したがって水平方向Ｎ３の振動成分のため
に、容器１２内の半田ボール１は、図３において矢印Ｑ
で示すように、全体として同一方向に回動する。
【００１６】図１において、供給部１１の側方にはワー
クの位置決め部としての可動テーブル２５が設置されて
いる。可動テーブル２５上にはクランパ２６が設けられ
ており、基板２７がクランパ２６にクランプされて位置
決めされている。可動テーブル２５が駆動すると、基板
２７は水平方向に移動し、その位置が調整される。
クの位置決め部としての可動テーブル２５が設置されて
いる。可動テーブル２５上にはクランパ２６が設けられ
ており、基板２７がクランパ２６にクランプされて位置
決めされている。可動テーブル２５が駆動すると、基板
２７は水平方向に移動し、その位置が調整される。
【００１７】図１において、３０はヘッドであり、シャ
フト３１を介してブロック３２に保持されている。図示
しないが、ブロック３２はヘッド３０を上下動させるた
めの上下動手段を備えている。図２において、２９はヘ
ッド３０の下面に形成された吸着孔である。３３は移動
テーブルであって、供給部１１と可動テーブル２５の間
に架設されている。移動テーブル３３には水平な送りね
じ３４が設けられている。ブロック３２の背面に設けら
れたナット３５は送りねじ３４に螺合している。モータ
３６が駆動して送りねじが回転すると、ブロック３２や
ヘッド３０は送りねじ３４に沿って横方向へ移動する。
ヘッド３０はチューブ３７を介してバキューム装置３８
に接続されている。
フト３１を介してブロック３２に保持されている。図示
しないが、ブロック３２はヘッド３０を上下動させるた
めの上下動手段を備えている。図２において、２９はヘ
ッド３０の下面に形成された吸着孔である。３３は移動
テーブルであって、供給部１１と可動テーブル２５の間
に架設されている。移動テーブル３３には水平な送りね
じ３４が設けられている。ブロック３２の背面に設けら
れたナット３５は送りねじ３４に螺合している。モータ
３６が駆動して送りねじが回転すると、ブロック３２や
ヘッド３０は送りねじ３４に沿って横方向へ移動する。
ヘッド３０はチューブ３７を介してバキューム装置３８
に接続されている。
【００１８】この半田ボールの搭載装置は上記のように
構成されており、次に動作を説明する。図１および図３
において、ヘッド３０はボックス１２へ向かって下降
し、バキューム装置３８の吸引力によって、容器２１内
に貯溜された半田ボール１をその吸着孔２９に真空吸着
する。次にヘッド３０は上昇した後、モータ３６が駆動
して送りねじ３４は回転し、ヘッド３０は基板２７の上
方へ移動する。そこでヘッド３０は下降して、その下面
に真空吸着された半田ボール１を基板２７に搭載し、真
空吸着状態を解除したうえで、ヘッド３０は上昇する。
次いでモータ３６が駆動することによりヘッドは容器１
２の上方へ移動し、上述した動作が繰り返される。
構成されており、次に動作を説明する。図１および図３
において、ヘッド３０はボックス１２へ向かって下降
し、バキューム装置３８の吸引力によって、容器２１内
に貯溜された半田ボール１をその吸着孔２９に真空吸着
する。次にヘッド３０は上昇した後、モータ３６が駆動
して送りねじ３４は回転し、ヘッド３０は基板２７の上
方へ移動する。そこでヘッド３０は下降して、その下面
に真空吸着された半田ボール１を基板２７に搭載し、真
空吸着状態を解除したうえで、ヘッド３０は上昇する。
次いでモータ３６が駆動することによりヘッドは容器１
２の上方へ移動し、上述した動作が繰り返される。
【００１９】図２において、ヘッド３０が下降して容器
１２内の半田ボール１を真空吸着するときは、真空吸着
しやすいように、エア吹出部１０からエアを容器１２内
に吹き出すとともに、振動器１９を駆動して容器１２を
振動させることにより半田ボール１を流動化させる。こ
の場合、上述したように容器１２の振動方向には上下方
向Ｎ２の成分だけでなく水平方向Ｎ３の成分もあるの
で、半田ボール１の上面はほぼ水平面を保持し、したが
ってすべての吸着孔２９に半田ボール１を確実に真空吸
着してピックアップできる。
１２内の半田ボール１を真空吸着するときは、真空吸着
しやすいように、エア吹出部１０からエアを容器１２内
に吹き出すとともに、振動器１９を駆動して容器１２を
振動させることにより半田ボール１を流動化させる。こ
の場合、上述したように容器１２の振動方向には上下方
向Ｎ２の成分だけでなく水平方向Ｎ３の成分もあるの
で、半田ボール１の上面はほぼ水平面を保持し、したが
ってすべての吸着孔２９に半田ボール１を確実に真空吸
着してピックアップできる。
【００２０】また図４に示すように、吸着孔７には複数
個の半田ボール１が真空吸着されやすいが、半田ボール
１は水平方向Ｎ３にも振動するので、吸着孔２９に直接
強く真空吸着された半田ボール（黒塗りしている）１以
外の付随した余分の半田ボール１は、真空吸着力は小さ
いので、水平方向Ｎ３の振動によってふり落とされる。
したがって１つの吸着孔２９に複数個の半田ボール１が
真空吸着されることはなく、吸着孔２９に直接真空吸着
された１個の半田ボール１のみがピックアップされて基
板２７に搭載される。さらに本実施例では、容器１２内
の半田ボール１を水平方向（図３矢印Ｑ）へ移動させて
いるので吸着孔２９に直接吸着されず付随する半田ボー
ル１をふり落す効果を一層高めている。
個の半田ボール１が真空吸着されやすいが、半田ボール
１は水平方向Ｎ３にも振動するので、吸着孔２９に直接
強く真空吸着された半田ボール（黒塗りしている）１以
外の付随した余分の半田ボール１は、真空吸着力は小さ
いので、水平方向Ｎ３の振動によってふり落とされる。
したがって１つの吸着孔２９に複数個の半田ボール１が
真空吸着されることはなく、吸着孔２９に直接真空吸着
された１個の半田ボール１のみがピックアップされて基
板２７に搭載される。さらに本実施例では、容器１２内
の半田ボール１を水平方向（図３矢印Ｑ）へ移動させて
いるので吸着孔２９に直接吸着されず付随する半田ボー
ル１をふり落す効果を一層高めている。
【００２１】また半田ボール１は、エア吹出部１０から
吹き出されるエアの圧力と、振動器１９の振動力の２つ
の力の合力により流動化させるので、エアの圧力と振動
器１９の振動力は比較的弱くてよい。すなわち振動器１
９の振動力は図５に示す従来例の場合よりも弱くてよ
く、したがって半田ボール１同士が強く衝突して傷つい
たり、強くこすり合って金属粉を発生することはない。
またエアの消費量は図６に示す従来例よりも少なくてよ
く、比較的少量のエアを吹き出せばよい。
吹き出されるエアの圧力と、振動器１９の振動力の２つ
の力の合力により流動化させるので、エアの圧力と振動
器１９の振動力は比較的弱くてよい。すなわち振動器１
９の振動力は図５に示す従来例の場合よりも弱くてよ
く、したがって半田ボール１同士が強く衝突して傷つい
たり、強くこすり合って金属粉を発生することはない。
またエアの消費量は図６に示す従来例よりも少なくてよ
く、比較的少量のエアを吹き出せばよい。
【００２２】
【発明の効果】以上説明したように本発明によれば、振
動手段で比較的弱く半田ボールを振動させながら、容器
内に比較的少量のエアを吹き出すことにより、半田ボー
ルを十分に流動化させて、ヘッドの吸着孔に真空吸着し
てピックアップできる。また容器に上下方向と水平方向
の成分を有する振動を付与することにより、余分の半田
ボールはふり落として、１つの吸着孔に１個の半田ボー
ルを真空吸着し、ワークに搭載できる。
動手段で比較的弱く半田ボールを振動させながら、容器
内に比較的少量のエアを吹き出すことにより、半田ボー
ルを十分に流動化させて、ヘッドの吸着孔に真空吸着し
てピックアップできる。また容器に上下方向と水平方向
の成分を有する振動を付与することにより、余分の半田
ボールはふり落として、１つの吸着孔に１個の半田ボー
ルを真空吸着し、ワークに搭載できる。
【図１】本発明の一実施例の半田ボールの搭載装置の側
面図
面図
【図２】本発明の一実施例の半田ボールの搭載装置に備
えられた半田ボールの供給部の断面図
えられた半田ボールの供給部の断面図
【図３】本発明の一実施例の半田ボールの搭載装置に備
えられた半田ボールの供給部の平面図
えられた半田ボールの供給部の平面図
【図４】本発明の一実施例の半田ボールの搭載装置に備
えられたヘッドの部分断面図
えられたヘッドの部分断面図
【図５】従来の半田ボールの搭載装置に備えられた半田
ボールの供給部の断面図
ボールの供給部の断面図
【図６】他の従来の半田ボールの搭載装置に備えられた
半田ボールの供給部の断面図
半田ボールの供給部の断面図
１ 半田ボール １０ エア吹出部 １１ 供給部 １２ 容器 １７ ばね材 １９ 振動器 ２５ 可動テーブル（位置決め部） ２７ 基板（ワーク） ２９ 吸着孔 ３０ ヘッド ３３ 移動テーブル
Claims (2)
- 【請求項１】半田ボールの供給部と、ワークの位置決め
部と、半田ボールを真空吸着する吸着孔が下面に複数個
形成されたヘッドと、このヘッドを前記供給部と前記位
置決め部の間を移動させる移動手段とを備えた半田ボー
ルの搭載装置であって、 前記供給部が、半田ボールを貯溜する容器と、この容器
の内部にエアを吹き出すエア吹出手段と、この容器に斜
め方向の振動を付与する振動付与手段とを備え、この振
動付与手段が振動器と傾斜姿勢の複数のばね材から成る
ことを特徴とする半田ボールの搭載装置。 - 【請求項２】前記容器の平面形状は４角形であり、また
前記ばね材は４個あり、これらの４個のばね材は前記容
器の４つの辺に対応して設けられていることを特徴とす
る請求項１記載の半田ボールの搭載装置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP29953294A JP3180591B2 (ja) | 1994-12-02 | 1994-12-02 | 半田ボールの搭載装置 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP29953294A JP3180591B2 (ja) | 1994-12-02 | 1994-12-02 | 半田ボールの搭載装置 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH08162495A JPH08162495A (ja) | 1996-06-21 |
| JP3180591B2 true JP3180591B2 (ja) | 2001-06-25 |
Family
ID=17873828
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP29953294A Expired - Fee Related JP3180591B2 (ja) | 1994-12-02 | 1994-12-02 | 半田ボールの搭載装置 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JP3180591B2 (ja) |
Families Citing this family (4)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| US6003753A (en) * | 1997-07-14 | 1999-12-21 | Motorola, Inc. | Air-blow solder ball loading system for micro ball grid arrays |
| KR100326524B1 (ko) * | 1999-05-13 | 2002-03-12 | 김종기 | 볼그리드어레이 반도체칩 제조용 볼 공급장치 |
| JP5018062B2 (ja) * | 2006-12-15 | 2012-09-05 | 株式会社日立プラントテクノロジー | ハンダボール印刷装置 |
| KR20220014399A (ko) * | 2020-07-24 | 2022-02-07 | 삼성전자주식회사 | 볼 점핑 장치 및 이를 이용한 볼 흡착 방법 |
-
1994
- 1994-12-02 JP JP29953294A patent/JP3180591B2/ja not_active Expired - Fee Related
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JPH08162495A (ja) | 1996-06-21 |
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