JPH04184948A - ワイヤボンディング用基板の支持台 - Google Patents

Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

Description

【発明の詳細な説明】 （産業上の利用分野） 本発明は、半導体業界や光学機器業界などにおいて方向
や高さの位置出しを必要とする機器、例えばワイヤボン
ディング用基板の支持台の改良に関する。

（従来の技術） 従来、この種の支持台は、ワークをのせる回転自在なス
テージを有し、操作の際に作業者が必要に応じて電磁モ
ータを駆動することにより、ステージを回転させてワー
クを位置決めしていた。

（発明が解決しようとする課題） しかし、従来の支持台には、重量があり作業者による操
作性に難点がある上に、その機構が複雑で故障しやすい
という問題があった。

そこで、本発明は、前記問題点を解消することを目的と
する。

（課題を解決するための手段） かかる目的を達成するために、本発明は、以下のように
構成した。・ すなわち、本発明は、台の上面に、環状の内側圧電素子
および環状の外側圧電素子を同心円状に取り付け、 前記内側圧電素子上に環状の内側振動板を取り付け、前
記外側圧電素子上に環状の外側振動板を取り付け、 前記内側振動板上に−は、先端部側の厚さが上面を平坦
にして時計方向に向けて徐々に薄くなる振動部材を複数
個配列し、 前記外側振動板上には、先端側の厚さが上面を平坦にし
て反時計方向に向けて徐々に薄くなる振動部材を複数個
配列し、 前記各振動部材上に、ステージを回転自在に載置する。

（作用） このように構成する本発明の支持台は、たとえばワイヤ
ボンディング装置のＸＹ子テーブル上のせると共に、ス
テージ上にワークをのせて使用する。

内側圧電素子の電極に所定の周波数の電圧を印加すると
、各振動部材が上下動し、各振動部材が上方へ向かって
ステージを押し上げる際に振動部材が歪み振動部材の上
端が楕円運動をし、先端方向に向かって押す摩擦力が生
じ、ステージは時計方向に回転する。

一方、外側圧電素子の電極に所定の周波数の電圧を印加
すると、同様の原理によりステージは反時計方向に回転
する。

従って、本発明では、必要に応じて手動または自動によ
りステージ上のワークを時計方向、または半時計方向に
回転させることができる。

（実施例） 以下、図面を参照して本発明実施例を詳細に説明する。

本発明実施例は、第１図で示すように円柱からなる台１
の平坦な上面に、環状の内側圧電素子２および同じく環
状の外側圧電素子３を同心円状に取り付ける。

内側圧電素子２の上面には環状の内側振動板４を取り付
け、外側圧電素子３の上面には同じく環状の外側振動板
５を取り付ける。

内側振動板４上には、先端部の厚さが上面を平坦にして
時計方向に向けて徐々に薄くなる振動部材６を一体に複
数個配列する（第２図および第３図参照）。

外側振動板５上には、先端部の厚さが上面を平坦にして
反時計方向に向けて徐々に薄くなる振動部材７を一体に
複数個配列する（第２図および第４図参照）。

一列状の各振動部材６，７上には、下部が開放された円
筒型のステージ８を載置する。そして、ステージ８を載
置したときに、ステージ８の筒部の内周に沿って等間隔
に設けた例えば４つの凹部９と、台１の上部外周に沿っ
て設けた凹溝１０とは、その間に４個の小球１１を介在
した状態になるように構成する。このような構成により
、振動部材上６．７でステージ８は回転自在となる。

台１の底部に凹部１２を設け、その凹部１２の内周にめ
ねじ１３を形成し、めねじ１３を高さ調節台１４の中央
に設けたおねじ１５と噛み合わせる。このような構成に
より、台１または高さ調節台１４を回転すれば、例えば
ワイヤボンディング装置においては、ｘＹ子テーブル６
上において、ステージ８の高さを任意に設定できる。

ステージ８の上部の中央に、加工対象であるワークａを
吸着する吸着孔１７を穿ち、この吸着孔１７は吸気通路
１８を介して吸着用ポンプ（図示せず）と接続する。

ところで、内側圧電素子２および外側圧電素子３の駆動
回路（図示せず）は、ワイヤボンディング装置において
は、キャピラリに超音波を供給する超音波振動源の駆動
回路と兼用してもよく、または独立して設けてもよい。

前者の場合は、駆動回路を省略できるので、構成が簡易
になる上に全体の制作費用も安価となる。

次に、このように構成する実施例の動作例について説明
する。

この実施例を、ワイヤボンディング装置のＸＹ子テーブ
ル６上にのせ、ステージ８上にワークａのせて使用する
。

そして、ワークａをワイヤボンディングする際には、例
えば作業者のスイッチ操作または制御装置からの指令信
号により、必要に応じてステージ８を時計方向、または
半時計方向に回転させ、ステージ８上のワークａを時計
方向、または半時計方向に回転させて位置決めする。

すなわち、内側圧電素子２の電極に所定の周波数の電圧
を印加すると、各振動部材６が上下動し、各振動部材６
が上方へ向かってステージを押し上げる際に振動部材６
が歪み振動部材６の上面が楕円運動をし、先端方向に向
かって押す摩擦力が生じ、ステージ８は時計方向に回転
する。

一方、外側圧電素子３の電極に所定の周波数の電圧を印
加すると、各振動部材７が上下動し、同様の原理により
ステージ８は、反時計方向に回転する。

従って、必要に応じて手動または自動によりステージ８
上のワークａを時計方向、または半時針方向に回転させ
ることができる。

次に、本発明の他の実施例について第５図を参照して説
明する。

この第２図で示す内側振動板４を、２つの第１内側振動
板４Ａと第２内側振動板４Ｂに置き換えたものである。

このような構成により、両内側振動板４Ａ、４Ｂにより
得られる時計方向の回転力は、内側振動板４の回転力よ
りも大きくなる。

（発明の効果） 本発明により、内外に環状に配置した圧電素子の電歪効
果により、ステージを時計方向または半時針方向に回転
させるようにしたので、ワークを自動または半自動操作
で位置合わせができ、軽量化して作業者の操作性が向上
する上に、その全体の構成が簡易で制作費用の低減化を
期待できる。

【図面の簡単な説明】

第１図は本発明実施例の全体構成を示す断面図、第２図
はステージを取り外した状態の平面図、第３図は内側振
動板と振動部材の断面図、第４図は外側振動板と振動部
材の断面図、第５図は本発明の他の実施例の第２図に対
応する図である。 １は台、２は内側圧電素子、３は外側圧電素子、４は内
側振動板、５は外側振動板、６，７はそれぞれ振動部材
、８はステージである。 特許出願人　　　日本電素工業株式会社代理人　　　　
　牧　舌部　（他３名）第１図 第２図 第３図　　　　第４図 第５図

Claims (1)

1. 【特許請求の範囲】 台の上面に、複数の環状の圧電素子を同心円状に取り付
   け、 前記各圧電素子上に環状の振動板をそれぞれ取り付け、 前記各振動板上に、ステージを回転自在に載置してなる
   ワイヤボンディング用基板の支持台。