JP6142486B2 - 金属薄板の寸法測定装置及び金属薄板の寸法測定方法 - Google Patents
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Description
13 測定機構
131 測定用カメラ
132 画像処理装置
21 載置板
211a 載置板中央部
211b 載置板中央部
212a 載置板縁部
212b 載置板縁部
213 載置板枠体
214 軸受
215 偏心棒
216 載置板下降機構
22a 一方の保持機構
22b 他方の保持機構
221 クランプ基台
222 クランプ部
223 押圧レバー
224 ワッシャー
225 バネ
23 引張機構
231 引張牽引部
232 引張牽引アーム
233 エアシリンダ
234 エアシリンダヘッド
24 揺動機構
241 揺動牽引部
242 揺動牽引アーム
243 マイクロメータ
244 マイクロメータヘッド
31 金属薄板
32 測定マーク
33 メタルマスク作製領域
34 メタルマスク
35 メタルマスク開口部
61a レール
61b レール
71 ロードセル
Claims (6)
- 金属薄板が載置される載置板と、
前記載置板上に載置される前記金属薄板の対向する両端側の各辺を保持するようになっている一対の保持機構と、
前記一対の保持機構の互いに対する距離を拡げることによって前記金属薄板に対し引張力を与えるようになっている引張機構と、
前記引張力を与えられた状態の前記金属薄板の少なくとも1つの寸法を測定する測定機構と、
を備えた金属薄板の寸法測定装置であって、
前記載置板は、前記一対の保持機構の間に配置され、前記一対の保持機構を結ぶ方向に少なくとも2つの載置板部分に分離されており、
前記金属薄板の寸法測定装置は、前記載置板の少なくとも一部を前記一対の保持機構に対して下降させる載置板下降機構をさらに備え、
前記載置板下降機構は、前記引張機構によって前記金属薄板に対し引張力を与える前に、前記載置板の少なくとも一部を下降させる
ことを特徴とする金属薄板の寸法測定装置。 - 前記測定機構は、前記引張力を与えられた状態の前記金属薄板の画像を撮像する測定用カメラと、撮像された画像を処理する画像処理装置と、を有している
ことを特徴とする請求項1に記載の金属薄板の寸法測定装置。 - 前記載置板には、帯電防止処理が施されている
ことを特徴とする請求項1または2に記載の金属薄板の寸法測定装置。 - 金属薄板を載置板に載置する工程と、
一対の保持機構によって前記載置板に載置された前記金属薄板の対向する両端側の各辺を保持する工程と、
引張機構によって前記金属薄板を保持した状態の前記一対の保持機構の互いに対する距離を拡げることによって前記金属薄板に対し引張力を与える工程と、
測定機構によって前記引張力を与えられた状態の前記金属薄板の少なくとも1つの寸法を測定する工程と、
を備え、
前記引張力を与える工程の前に、前記載置板の少なくとも一部を前記一対の保持機構に対して下降させる工程をさらに備えた
ことを特徴とする金属薄板の寸法測定方法。 - 前記測定する工程は、前記引張力を与えられた状態の前記金属薄板の画像を撮像する工程と、撮像された画像を処理する工程と、を含んでいる
ことを特徴とする請求項4に記載の金属薄板の寸法測定方法。 - 金属薄板を複数の載置板に載置する工程と、
複数対の保持機構の各対によって前記複数の載置板に載置された前記金属薄板の対向する両端側の各辺を保持する工程と、
複数の引張機構によって前記金属薄板を保持した状態の前記複数対の保持機構の各対の互いに対する距離を拡げることによって前記金属薄板に対し引張力を与える工程と、
測定機構によって前記引張力を与えられた状態の前記金属薄板の少なくとも1つの寸法を測定する工程と、
を備え、
前記引張力を与える工程の前に、前記複数の載置板の少なくとも一部を前記複数対の保持機構に対して下降させる工程をさらに備えた
ことを特徴とする金属薄板の寸法測定方法。
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