JP6481804B1 - ボールねじ装置の軸方向すきま測定方法及び測定装置、並びに、ボールねじ装置、車両、及び機械装置の製造方法 - Google Patents

Abstract

ボールねじ装置の軸方向すきま測定装置は、特別な注意を要することなく測定対象のボールねじ装置を容易に取り付けて高精度に軸方向すきまを測定できる。この装置は、互いに螺合されたナット及びねじ軸の一方の部材であるナットを支持する支持部と、他方の部材であるねじ軸の軸線方向の変位量を測定する測定部と、ねじ軸に対して軸線方向に沿う互いに反する方向に荷重を付加する荷重付加部と、ねじ軸と荷重付加部との間に設けられ、ナットとねじ軸とを、相対変位可能に保持する姿勢補正部と、を備える。

Description

本発明は、ボールねじ装置の軸方向すきま測定方法及び測定装置、並びに、ボールねじ装置、車両、及び機械装置の製造方法に関する。

特許文献１には、ボールねじのねじ軸にナットを螺合させた状態における、ねじ軸とナットとの間の軸方向すきまを測定するボールねじのすきま測定方法及びその装置が開示されている。この装置によりボールねじの軸方向すきまを測定するには、ねじ軸に螺合させたナットを板ばねに固定する。この状態で、ねじ軸を一方向に回転させてナットを一方向に移動させることで、板ばねを一方向に撓ませる。これにより、ナットからねじ軸に押圧力を作用させる。この状態を初期状態とし、更にこの初期状態からねじ軸を他方向に回転させてナットを他方向へ移動させる。このときの、板ばねが中立状態を経由して他方向へ撓んだ際の、ねじ軸の回転角とナットの移動量を検出する。そして、中立状態においてナットの移動が停止する不感領域の長さを測定することで、ボールねじの軸方向のすきまを得る。

日本国特公平４−７６４０１号公報

特許文献１の測定技術では、ナットとねじ軸の中心軸同士に生じる、偏心や傾きなどの姿勢のずれが測定誤差となり、測定精度の低下を招くおそれがある。このため、ナットとねじ軸の中心軸同士に偏心や倒れがないように、ナット及びねじ軸を精密に装置へ取り付ける必要がある。したがって、ナット及びねじ軸の装置への取り付けには、手間を要し、短時間での測定、量産工程での利用や自動装置化に困難が予想される。

本発明の目的は、特別な注意を要することなく測定対象のボールねじ装置を容易に取り付けて高精度に軸方向すきまを測定することが可能なボールねじ装置の軸方向すきま測定方法及び測定装置、並びに、ボールねじ装置、車両、及び機械装置の製造方法を提供することにある。

本発明は下記構成からなる。
（１） 互いに螺合されたナット及びねじ軸の一方の部材を支持し、
前記ナット及び前記ねじ軸の他方の部材に対して、前記一方の部材及び前記他方の部材を相対変位可能に保持しながら、軸線方向に沿う互いに反する方向に荷重を付加し、
前記他方の部材の変位量を測定する
ボールねじ装置の軸方向すきま測定方法。
このボールねじ装置の軸方向すきま測定方法によれば、軸線方向の互いに反する方向に荷重を付加してねじ軸又はナットの軸線方向に沿う変位量を測定することで、ナットとねじ軸の軸方向すきまを容易に測定できる。
このとき、ナット及びねじ軸を相対変位可能に保持することで、ナットとねじ軸とが均一に螺合した姿勢に保持される。したがって、ナット及びねじ軸の中心軸同士の偏心や傾きなどの姿勢のずれによる測定誤差の発生を極力抑えることができる。これにより、ナット及びねじ軸の中心軸の偏心や傾きがないように精密に装置へ取り付けるための手間を抑えつつ、ナットとねじ軸の軸方向すきまを高い精度で測定できる。したがって、容易にかつ短時間に、ナットとねじ軸の軸方向すきまを測定でき、量産工程での利用や自動装置化が可能である。

（２） 前記他方の部材に荷重を付加する際に、前記軸線方向に垂直な平面内の互いに異なる二方向の並進自由度と、前記軸線方向に垂直な平面内の互いに異なる二方向を回転軸とする少なくとも二つの回転自由度で、前記他方の姿勢を補正する（１）に記載のボールねじ装置の軸方向すきま測定方法。
このボールねじ装置の軸方向すきま測定方法によれば、軸線方向に垂直な平面内の互いに異なる二方向の並進自由度と、軸線方向に垂直な平面内の互いに異なる二方向を回転軸とする少なくとも二つの回転自由度でナット又はねじ軸の姿勢を補正する。これにより、荷重を付加した際に、それぞれの中心軸の偏心及び傾きを円滑に補正することができ、ナット及びねじ軸をより均一に螺合した姿勢に保持させることができる。したがって、ナットとねじ軸の軸方向すきまをさらに高い精度で測定できる。

（３） 互いに螺合されたナット及びねじ軸の一方の部材を支持する支持部と、
前記ナット及び前記ねじ軸の他方の部材の軸線方向の変位量を測定する測定部と、
前記他方の部材に対して軸線方向に沿う互いに反する方向に荷重を付加する荷重付加部と、
前記他方の部材と前記荷重付加部との間又は前記一方の部材と前記支持部との間に設けられ、前記一方の部材と前記他方の部材とを、相対変位可能に保持する姿勢補正部と、
を備えるボールねじ装置の軸方向すきま測定装置。
このボールねじ装置の軸方向すきま測定装置によれば、荷重付加部によって軸線方向に沿う互いに反する方向に荷重を付加してねじ軸又はナットの軸線方向の位置を測定部で測定して変位量を求めることで、ナットとねじ軸の軸方向すきまを容易に測定できる。
このとき、姿勢補正部によってナット及びねじ軸が相対変位可能に保持されるので、荷重付加部によって荷重が付加された際に、ナット及びねじ軸の姿勢が規制されることがなく、それぞれの中心軸の偏心及び傾きが補正される。これにより、ナットとねじ軸とが均一に螺合した姿勢に保持され、ナット及びねじ軸の中心軸同士の偏心や傾きなどの姿勢のずれによる測定誤差の発生が抑えられる。したがって、ナット及びねじ軸の中心軸の偏心や傾きがないように、精密に装置へ取り付けるための手間を抑えつつ、ナット及びねじ軸の軸方向すきまを高い精度で測定できる。これにより、容易にかつ短時間に、ナットとねじ軸の軸方向すきまを測定することができ、量産工程での利用や自動装置化が可能となる。

（４） 前記姿勢補正部は、前記軸線方向に垂直な平面内の互いに異なる二方向の並進自由度を有する並進補正部と、前記軸線方向に垂直な平面内の互いに異なる二方向を回転軸とする少なくとも二つの回転自由度を有する回転補正部とを備える（３）に記載のボールねじ装置の軸方向すきま測定装置。
このボールねじ装置の軸方向すきま測定装置によれば、荷重付加部が荷重を付加した際に、姿勢補正部の並進補正部及び回転補正部によって、軸線方向に垂直な平面内の互いに異なる二方向の並進自由度と、軸線方向に垂直な平面内の互いに異なる二方向を回転軸とする少なくとも二つの回転自由度とで、ナット及びねじ軸の中心軸同士の偏心及び傾きが補正される。これにより、ナット及びねじ軸をより均一に螺合した姿勢に保持させることができ、ナット及びねじ軸の軸方向すきまをさらに高い精度で測定できる。

（５） 前記ナットは、前記支持部に支持され、前記ねじ軸は、前記姿勢補正部を介して荷重が付加されて変位量が前記測定部で測定される（３）又は（４）に記載のボールねじ装置の軸方向すきま測定装置。
このボールねじ装置の軸方向すきま測定装置によれば、支持部に支持されたナットに螺合されたねじ軸に対して姿勢補正部を介して荷重が付加される。したがって、ナットの中心軸に対するねじ軸の中心軸の偏心及び傾きを抑制しつつねじ軸に荷重を付加させて、ナットとねじ軸の軸方向すきまを高い精度で測定できる。

（６） 前記ねじ軸は、前記支持部に支持され、前記ナットは、前記姿勢補正部を介して荷重が付加されて変位量が前記測定部で測定される（３）又は（４）に記載のボールねじ装置の軸方向すきま測定装置。
このボールねじ装置の軸方向すきま測定装置によれば、支持部に支持されたねじ軸が螺合されたナットに対して姿勢補正部を介して荷重が付加される。したがって、ねじ軸の中心軸に対するナットの中心軸の偏心及び傾きを抑制しつつナットに荷重を付加させて、ナットとねじ軸の軸方向すきまを高い精度で測定できる。

（７） （１）又は（２）に記載のボールねじ装置の軸方向すきま測定方法を用いる測定工程を含む、ボールねじ装置の製造方法。
このボールねじ装置の製造方法によれば、容易にかつ短時間に、ナットとねじ軸の軸方向すきまを測定でき、ボールねじ装置の生産性を向上できる。

（８） （３）から（６）のいずれか一つに記載のボールねじ装置の軸方向すきま測定装置によって、軸方向のすきまを測定する測定工程を含む前記ボールねじ装置の製造方法。
このボールねじ装置の製造方法によれば、ナットとねじ軸の軸方向すきまが高精度に測定された高品質なボールねじ装置を製造できる。

（９） （８）に記載のボールねじ装置の製造方法を用いる車両の製造方法。
この車両の製造方法によれば、高品質なボールねじ装置を備える車両を製造できる。

（１０） （８）に記載のボールねじ装置の製造方法を用いる機械装置の製造方法。
この機械装置の製造方法によれば、高品質なボールねじ装置を備える機械装置を製造できる。

本発明によれば、特別な注意を要することなく測定対象のボールねじ装置を容易に取り付けて高精度に軸方向すきまを測定できる。

実施形態に係るボールねじ装置の軸方向すきま測定装置の断面図である。 実施形態に係るボールねじ装置の軸方向すきま測定装置の姿勢補正部付近の拡大断面図である。

以下、本発明の実施形態について、図面を参照して詳細に説明する。
図１は実施形態に係るボールねじ装置の軸方向すきま測定装置である。

図１に示すように、実施形態に係るボールねじ装置の軸方向すきま測定装置１１は、主に、支持部１３と、測定部１５と、荷重付加部１７と、姿勢補正部１９とを備える。

測定装置１１は、互いに螺合されたナット２１及びねじ軸２３の軸方向のすきまを測定する装置である。ナット２１は、ナット本体部２５と、ナット本体部２５の一端に形成されたフランジ部２７とを有する。ねじ軸２３は、ナット２１のねじ孔にねじ込まれて螺合される。ナット２１及びねじ軸２３を含むボールねじ装置は、ナット２１とねじ軸２３との間に複数の転動体（例えばボール）が無限循環可能に設けられた構造を有する。なお、ナット２１は、フランジ部２７の存在しない形態であってもよい。その場合、ナット本体部２５の上端面を押さえる、又はナット本体部２５の外径部を把持することにより、支持部１３に固定される。

支持部１３は、測定装置１１の基台を構成するもので、脚部３１を備える。支持部１３は、テーブル３３と、押え板３５と、保持部材３７とを備える。テーブル３３は、脚部３１によって床面に支持された矩形状の平板であり、その中心には、挿通孔３９が形成される。押え板３５は、テーブル３３の上方に配置されており、複数のボルト４１によってテーブル３３に固定される。押え板３５には、その中心に、嵌合孔４３を有しており、この嵌合孔４３に、フランジ部２７を下方に向けたナット２１のナット本体部２５が下方側から嵌合される。保持部材３７は、円板状に形成されており、その中心に貫通孔４５が形成される。保持部材３７は、貫通孔４５がテーブル３３の挿通孔３９に連通するように、テーブル３３の上部に配置される。互いに連通された保持部材３７の貫通孔４５及びテーブル３３の挿通孔３９には、ナット２１に螺合されたねじ軸２３が挿通される。

測定部１５は、支持部１３のテーブル３３に設けられる。測定部１５は、ステー５１と、測定具５３とを有する。ステー５１は、棒体に形成され、一端がテーブル３３の下面における挿通孔３９の近傍に固定される。ステー５１は、他端に取付部５７を有するＬ字状に形成される。ステー５１の他端の取付部５７には、測定具５３が取り付けられる。また、ステー５１には、ブラケット５９が設けられる。このブラケット５９には、測定具５３の測定子６１が支持される。測定子６１は、その先端部が支持部１３に支持されたねじ軸２３の下端に当接される。測定部１５では、ねじ軸２３が軸線方向Ａに沿って変位することで、測定具５３の測定子６１が変位する。これにより、測定具５３の測定値からねじ軸２３の軸線方向Ａに沿う変位量が求められる。

荷重付加部１７は、姿勢補正部１９を介して支持部１３の上方に配置される。荷重付加部１７は、姿勢補正部１９とともに、枠体７１に支持される。枠体７１は、一対の側板部７３と、天板部７５とを有する。側板部７３は、支持部１３のテーブル３３に立設されており、その上端部が天板部７５で連結される。

荷重付加部１７は、駆動部７７と、押圧部７９とを備える。駆動部７７は、枠体７１の天板部７５に固定される。駆動部７７は、例えばベロフラム式のエアシリンダや駆動モータ等の駆動源によって昇降するロッド８１を備える。ロッド８１は、天板部７５の下方側へ突出される。押圧部７９は、スライドレール８５と、押圧ブロック８７とを備える。スライドレール８５は、枠体７１の側板部７３に固定されており、上下方向に沿って配置される。押圧ブロック８７は、枠体７１の側板部７３同士の間において、スライドレール８５によって上下方向へスライド可能に支持される。駆動部７７のロッド８１は、押圧部７９の押圧ブロック８７に連結される。これにより、荷重付加部１７では、駆動部７７のロッド８１が進退されることで、押圧部７９の押圧ブロック８７が昇降駆動される。

図２に示すように、姿勢補正部１９は、ブラケット９１と、チャック部９３と、並進補正部９５と、回転補正部９７とを備える。並進補正部９５は、ブラケット９１の上部に設けられ、荷重付加部１７の押圧ブロック８７とブラケット９１との間に配置される。回転補正部９７は、ブラケット９１とチャック部９３との間に設けられる。

ブラケット９１は、矩形状の上板部１０１と、上板部１０１の周囲から下方へ延出する周壁部１０３とを有する。

並進補正部９５は、支持板１０５と、スライド板１０７と、複数のスライダ１０９とを有する。スライダ１０９は、支持板１０５とスライド板１０７との間及びスライド板１０７の上部に設けられる。並進補正部９５は、支持板１０５をブラケット９１の上板部１０１に固定することで、ブラケット９１に取り付けられる。これにより、ブラケット９１と押圧ブロック８７との間に、並進補正部９５が配置される。スライド板１０７は、ブラケット９１の上板部１０１との間のスライダ１０９によって、上板部１０１に対して、軸線方向Ａに垂直な平面内におけるＸ方向へスライド可能となる。また、スライド板１０７は、押圧ブロック８７との間のスライダ１０９によって、押圧ブロック８７に対して、軸線方向Ａに垂直な平面内におけるＸ方向と直交するＹ方向（図１，図２における紙面と直交する方向）へスライド可能となる。これにより、姿勢補正部１９のブラケット９１は、軸線方向Ａに垂直な平面内の互いに直交する二方向（Ｘ，Ｙ方向）の並進自由度を有する。なお、姿勢補正部１９の並進自由度は、互いに直交する二方向としたが、互いに異なる二方向であればよい。

チャック部９３は、チャック本体部１１１と、把持部１１３とを有する。チャック部９３は、把持部１１３が、支持部１３に支持されるねじ軸２３の上端部を把持する。把持部１１３は、チャック本体部１１１に設けられた駆動部によって、ねじ軸２３の把持及び把持の解除を行う。

回転補正部９７は、フレーム１１５を有する。フレーム１１５は、ブラケット９１に支持されており、チャック部９３は、フレーム１１５に支持される。フレーム１１５は、ブラケット９１の周壁部１０３に対して、軸線方向Ａに垂直な平面内におけるＸ方向の回転軸αを中心として回動可能に支持される。また、チャック部９３は、フレーム１１５に対して、軸線方向Ａに垂直な平面内におけるＹ方向の回転軸βを中心として回動可能に支持される。これにより、姿勢補正部１９のチャック部９３は、軸線方向Ａに垂直な平面内の互いに直交する二方向（Ｘ，Ｙ方向）の回転軸α，βを中心に回転する回転自由度を有する。

次に、上記構造のボールねじ装置の軸方向すきま測定装置１１によるボールねじ装置の軸方向すきまの測定の仕方について説明する。

（ボールねじ装置のセット）
測定対象のボールねじ装置を構成するナット２１及びねじ軸２３を、互いに螺合させる。ナット２１のナット本体部２５を、押え板３５の嵌合孔４３に下方側から嵌め込む。ねじ軸２３を、テーブル３３の上部に配置させた保持部材３７の貫通孔４５及びこの挿通孔３９に連通したテーブル３３の挿通孔３９へ挿し込む。押え板３５をボルト４１によってテーブル３３に締結し、互いに螺合したナット２１及びねじ軸２３をテーブル３３に固定する。このようにすると、ナット２１及びねじ軸２３が支持部１３に支持され、テーブル３３の下方へ突出されたねじ軸２３の下端部が、測定部１５の測定子６１に当接される。その後、支持部１３に支持させたねじ軸２３の上端部を、姿勢補正部１９のチャック部９３に把持させる。

（軸方向すきまの測定）
ボールねじ装置を構成するナット２１及びねじ軸２３を測定装置１１にセットしたら、荷重付加部１７の駆動部７７によってロッド８１を突出させ、押圧部７９の押圧ブロック８７を下降させる。すると、下降する押圧ブロック８７によって姿勢補正部１９が押し下げられ、姿勢補正部１９のチャック部９３に把持されたねじ軸２３が押し下げられる。この状態で、測定部１５の測定具５３によってねじ軸２３の下端位置を測定する。

次に、荷重付加部１７の駆動部７７によってロッド８１を引き込ませ、押圧部７９の押圧ブロック８７を上昇させる。すると、上昇する押圧ブロック８７によって姿勢補正部１９が引き上げられ、姿勢補正部１９のチャック部９３に把持されたねじ軸２３が引き上げられる。この状態で、測定部１５の測定具５３によってねじ軸２３の下端位置を測定する。

荷重付加部１７による押し下げ時及び引き上げ時における測定部１５の測定値から、ボールねじ装置におけるナット２１に対するねじ軸２３の軸線方向Ａの変位量を求める。そして、荷重付加部１７による押し下げ時及び引き上げ時における測定部１５の測定値から求めた変位量が、ナット２１とねじ軸２３の軸方向すきまに相当することとなる。

ところで、ナット２１に対するねじ軸２３の軸線方向Ａの変位量を測定する際に、ナット２１及びねじ軸２３の中心軸同士に偏心や傾きなどの姿勢のずれがあると、測定誤差が生じて測定精度の低下を招くおそれがある。

これに対して、本実施形態によれば、荷重付加部１７によって軸線方向Ａに沿う互いに反する方向に荷重を付加し、ねじ軸２３の軸線方向Ａの位置を測定部１５で測定して変位量を求めることで、ナット２１とねじ軸２３の軸方向すきまを容易に測定できる。

このとき、姿勢補正部１９によってナット２１に対してねじ軸２３が相対変位可能に保持される。具体的には、軸線方向Ａに垂直な平面内の互いに直交する二方向（Ｘ方向，Ｙ方向）の並進自由度を有する並進補正部９５と、軸線方向Ａに垂直な平面内の互いに直交する二方向（Ｘ方向，Ｙ方向）を回転軸α，βとする二つの回転自由度を有する回転補正部９７と、によって、ナット２１及びねじ軸２３が相対変位可能となる。したがって、荷重付加部１７によって荷重が付加された際に、ナット２１及びねじ軸２３の姿勢が規制されることがなく、それぞれの中心軸の偏心及び傾きが補正される。つまり、姿勢補正部１９は、上記した自由度によって、ナット２１及びねじ軸２３の姿勢を自然に補正する。

これにより、ナット２１とねじ軸２３とが均一に螺合した姿勢に保持され、ナット２１及びねじ軸２３の中心軸同士の偏心や傾きなどの姿勢のずれによる測定誤差の発生を極力抑えることができる。したがって、ナット２１及びねじ軸２３の中心軸の偏心や傾きがないように精密に装置へ取り付けるための手間を抑えつつ、ナット２１及びねじ軸２３の軸方向すきまを高い精度で測定できる。これにより、容易にかつ短時間に、ナット２１とねじ軸２３の軸方向すきまを測定でき、量産工程での利用や自動装置化が可能になる。

なお、上記実施形態では、上方に設置した荷重付加部１７によって姿勢補正部１９を介してねじ軸２３へ荷重を付加したが、荷重付加部１７を下方に設置して下方から姿勢補正部１９を介してねじ軸２３へ荷重を付加してもよい。

また、それぞれ姿勢補正部１９を介して上下に荷重付加部１７を設置し、これら上下の荷重付加部１７によってねじ軸２３へ荷重を付加してもよい。この場合、ねじ軸２３への荷重の付加の仕方としては、上下の荷重付加部１７によってねじ軸２３に交互に押圧力を付加したり、上下の荷重付加部１７によってねじ軸２３に交互に引張力を付加したり、あるいは、上下の荷重付加部１７によってねじ軸２３へ押圧力及び引張力をそれぞれ負荷する。

また、上記実施形態では、測定部１５は、ねじ軸２３の下端部に測定子６１を接触させてねじ軸２３の変位を測定したが、ねじ軸２３の上方に設けた測定部１５の測定子１６をねじ軸２３の上端に接触させて、ねじ軸２３の変位を測定してもよい。

また、上記実施形態では、支持部１３にナット２１を固定してねじ軸２３に荷重を付加したが、ねじ軸２３を支持部１３に固定してナット２１に荷重を付加してナット２１の変位量を測定部１５で測定してもよい。

また、上記実施形態では、姿勢補正部１９を介して荷重付加部１７によってねじ軸２３に荷重を付加したが、これに限らない。例えば、姿勢補正部１９を介してナット２１を支持部１３に支持させ、ねじ軸２３に荷重付加部１７によって直接荷重を付加し、ねじ軸２３の中心軸付近の変位を測定部１５で測定してもよい。

また、測定部１５は、軸方向の変位が測定できればよく、一般的な種々の変位計を適用できる。更に、測定部１５は非接触式の変位計であってもよい。

本発明は上記の実施形態に限定されるものではなく、実施形態の各構成を相互に組み合わせることや、明細書の記載、並びに周知の技術に基づいて、当業者が変更、応用することも本発明の予定するところであり、保護を求める範囲に含まれる。

例えば、本発明のボールねじ装置の軸方向すきま測定装置及び測定方法は、ボールねじ装置を有する各種製造装置等の機械装置（動力の種別を問わない）、及び、自動車、オートバイ、鉄道等の車両の製造装置、製造方法に適用可能である。

また、本発明のボールねじ装置の軸方向すきま測定装置及び測定方法で軸方向すきまを測定する測定工程を行って製造したボールねじ装置を機械装置（動力の種別を問わない）や車両に組み込むことにより、高品質な機械装置や車両が得られる。

本出願は２０１７年１０月２６日出願の日本国特許出願（特願２０１７−２０７１８５）に基づくものであり、その内容はここに参照として取り込まれる。

１１ 軸方向すきま測定装置
１３ 支持部
１５ 測定部
１７ 荷重付加部
１９ 姿勢補正部
２１ ナット
２３ ねじ軸
９５ 並進補正部
９７ 回転補正部
Ａ 軸線方向
α，β 回転軸

Claims (10)

1. 互いに螺合されたナット及びねじ軸の一方の部材を支持し、
   前記ナット及び前記ねじ軸の他方の部材に対して、前記一方の部材及び前記他方の部材を相対変位可能に保持しながら、軸線方向に沿う互いに反する方向に荷重を付加し、
   前記他方の部材の変位量を測定する、
   ボールねじ装置の軸方向すきま測定方法。
2. 前記他方の部材に荷重を付加する際に、前記軸線方向に垂直な平面内の互いに異なる二方向の並進自由度と、前記軸線方向に垂直な平面内の互いに異なる二方向を回転軸とする少なくとも二つの回転自由度で、前記他方の姿勢を補正する請求項１に記載のボールねじ装置の軸方向すきま測定方法。
3. 互いに螺合されたナット及びねじ軸の一方の部材を支持する支持部と、
   前記ナット及び前記ねじ軸の他方の部材の軸線方向の変位量を測定する測定部と、
   前記他方の部材に対して軸線方向に沿う互いに反する方向に荷重を付加する荷重付加部と、
   前記他方の部材と前記荷重付加部との間又は前記一方の部材と前記支持部との間に設けられ、前記一方の部材と前記他方の部材とを、相対変位可能に保持する姿勢補正部と、
   を備えるボールねじ装置の軸方向すきま測定装置。
4. 前記姿勢補正部は、前記軸線方向に垂直な平面内の互いに異なる二方向の並進自由度を有する並進補正部と、前記軸線方向に垂直な平面内の互いに異なる二方向を回転軸とする少なくとも二つの回転自由度を有する回転補正部とを備える請求項３に記載のボールねじ装置の軸方向すきま測定装置。
5. 前記ナットは、前記支持部に支持され、前記ねじ軸は、前記姿勢補正部を介して荷重が付加されて変位量が前記測定部で測定される請求項３又は請求項４に記載のボールねじ装置の軸方向すきま測定装置。
6. 前記ねじ軸は、前記支持部に支持され、前記ナットは、前記姿勢補正部を介して荷重が付加されて変位量が前記測定部で測定される請求項３又は請求項４に記載のボールねじ装置の軸方向すきま測定装置。
7. 請求項１又は請求項２に記載のボールねじ装置の軸方向すきま測定方法を用いる測定工程を含む、ボールねじ装置の製造方法。
8. 請求項３から請求項６のいずれか一項に記載のボールねじ装置の軸方向すきま測定装置によって、軸方向のすきまを測定する測定工程を含む前記ボールねじ装置の製造方法。
9. 請求項８に記載のボールねじ装置の製造方法を用いる車両の製造方法。
10. 請求項８に記載のボールねじ装置の製造方法を用いる機械装置の製造方法。

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