KR100582345B1 - 유리기판의 검사를 위한 클램핑장치 - Google Patents

유리기판의 검사를 위한 클램핑장치 Download PDF

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Abstract

본 발명은 유리기판의 검사를 위한 클램핑장치로서, 검사 존에 설치되는 고정프레임(140)과, 고정프레임(140)의 상측에 각각 설치되어 유리기판(1)의 상단 에지부분을 클램핑하는 제 1 및 제 2 상부클램프(111,112)로 이루어지고, 제 1 상부클램프(111)는 고정프레임(140)의 상측에 고정되며, 제 2 상부클램프(112)는 고정프레임(140)의 상측을 따라 좌우로 이동 가능하도록 설치되는 상부클램핑수단(110)과, 고정프레임(140)의 하측에 각각 설치되어 유리기판(1)의 하단 에지부분을 클램핑함과 아울러 유리기판(1)이 상하로 펴지도록 유리기판(1)을 하방으로 당기는 제 1 및 제 2 하부클램프(121,122)로 이루어지고, 제 1 하부클램프(121)는 고정프레임(140)의 하측에 고정되며, 제 2 하부클램프(122)는 고정프레임(140)의 하측을 따라 좌우로 이동 가능하도록 설치되는 하부클램핑수단(120)과, 고정프레임(140)의 양측에 각각 설치되어 유리기판(1)의 양단 에지부분을 클램핑함과 아울러 유리기판(1)이 좌우로 펴지도록 유리기판(1)을 양측으로 당기는 복수의 측부클램프(131)로 이루어지는 측부클램핑수단(130)을 포함한다. 따라서, 본 발명은, 유리기판을 검사 존으로 로딩/언로딩하는 작업이 간편하게 이루어지도록 하고, 소요되는 시간을 단축시키며, 유리기판에 물리적인 접촉을 최소화하여 결함의 발생을 억제하고, 유리기판의 진동을 방지하여 정확한 검사가 이루어지도록 하는 효과를 가지고 있다.

Description

유리기판의 검사를 위한 클램핑장치{APPARATUS FOR CLAMPING A GLASS SUBSTRATE FOR INSPECTION}
도 1은 본 발명에 따른 유리기판의 검사를 위한 클램핑장치를 도시한 정면도이고,
도 2는 본 발명에 따른 유리기판의 검사를 위한 클램핑장치의 제 1 상부클램프를 도시한 정면도이고,
도 3은 본 발명에 따른 유리기판의 검사를 위한 클램핑장치의 제 1 상부클램프를 도시한 측면도이고,
도 4는 본 발명에 따른 유리기판의 검사를 위한 클램핑장치의 제 2 상부클램프를 도시한 정면도이고,
도 5는 본 발명에 따른 유리기판의 검사를 위한 클램핑장치의 제 2 상부클램프를 도시한 저면도이고,
도 6은 본 발명에 따른 유리기판의 검사를 위한 클램핑장치의 제 1 하부클램프를 도시한 정면도이고,
도 7은 본 발명에 따른 유리기판의 검사를 위한 클램핑장치의 제 1 하부클램프를 도시한 측면도이고,
도 8은 본 발명에 따른 유리기판의 검사를 위한 클램핑장치의 제 2 하부클램 프를 도시한 정면도이고,
도 9는 본 발명에 따른 유리기판의 검사를 위한 클램핑장치의 제 2 하부클램프를 도시한 평면도이고,
도 10은 본 발명에 따른 유리기판의 검사를 위한 클램핑장치의 측부클램프를 도시한 정면도이고,
도 11은 본 발명에 따른 유리기판의 검사를 위한 클램핑장치의 측부클램프를 도시한 측면도이고,
도 12는 본 발명에 따른 유리기판의 검사를 위한 클램핑장치를 이용한 유리기판의 검사장치를 도시한 정면도이고,
도 13은 본 발명에 따른 유리기판의 검사를 위한 클램핑장치를 이용한 유리기판의 검사장치를 도시한 측면도이고,
도 14는 본 발명에 따른 유리기판의 검사를 위한 클램핑장치를 이용한 유리기판의 검사장치를 도시한 평면도이고,
도 15는 본 발명에 따른 유리기판의 검사를 위한 클램핑장치를 이용한 유리기판의 검사장치에서 비젼어셈블리를 도시한 사시도이고,
도 16은 본 발명에 따른 유리기판의 검사를 위한 클램핑장치를 이용한 유리기판의 검사장치를 도시한 구성도이다.
< 도면의 주요 부분에 대한 부호의 설명 >
110 : 상부클램핑수단 111 : 제 1 상부클램프
111a : 제 1 공압실린더 111c : 그립퍼
112 : 제 2 상부클램프 112a : 가이드레일
112b : 제 2 공압실린더 112d : 그립퍼
112e : 탄성부재 120 : 하부클램핑수단
121 : 제 1 하부클램프 121a : 제 3 공압실린더
121b : 이동부재 121d : 제 4 공압실린더
121f : 그립퍼 122 : 제 2 하부클램프
122a : 가이드레일 122b : 제 5 공압실린더
122c : 이동부재 122e : 제 6 공압실린더
122g : 그립퍼 130 : 측부클램핑수단
131 : 측부클램프 131a : 제 7 공압실린더
131b : 이동부재 131d : 제 8 공압실린더
131f : 그립퍼 140 : 고정프레임
141 : 상부프레임 142 : 하부프레임
143 : 측부프레임
본 발명은 유리기판의 검사를 위한 클램핑장치에 관한 것으로서, 보다 상세하게는 성형공정에서 유리기판을 검사시 유리기판을 검사 존으로 로딩/언로딩하는 작업이 간편하게 이루어지도록 하고, 소요되는 시간을 단축시키며, 유리기판에 물 리적인 접촉을 최소화하여 결함의 발생을 억제하고, 유리기판의 진동을 방지하여 정확한 검사가 이루어지도록 하는 유리기판의 검사를 위한 클램핑장치에 관한 것이다.
일반적으로 TFT-LCD(Thin film transistor-liquid crystal display), PDP(Plasma display panel), EL(Electro luminescent) 등 평판디스플레이(Flat display)의 제조 분야에서 사용되는 유리기판은 성형공정에서 유리 용해로(Glass melting furnace)에 용해된 유리물을 용해성형기에 공급하여 제조되고, 커팅기에 의해 일차 규격에 맞도록 절단되며, 컨베이어 시스템에 의해 가공라인으로 운반된다.
성형공정에서의 유리기판의 검사는 후공정으로의 불량품 투입을 사전에 차단함으로써 원가를 절감하며, 양품의 생산성을 향상시키는 효과가 있다.
성형공정에서 컨베이어 시스템에 의해 이송되는 유리기판을 검사하기 위해서는 유리기판을 컨베이어 시스템으로부터 분리하여 검사위치에 설치하여야 하는데 이 때, 다음과 같은 점들을 충분히 고려하여야 한다.
첫째, 유리기판을 검사위치에 로딩하거나 언로딩하는 작업이 간편하여야 하고, 소요되는 시간이 단축되어야 하며, 검사시 유리기판에 물리적인 접촉을 방지하여 유리기판의 결함 발생을 최대한 억제하여야 한다.
둘째, 검사시 유리기판의 진동을 최소화하여 정확한 검사가 이루어지도록 하여야 한다.
따라서, 상기와 같은 점들을 고려하여 성형공정에서 유리기판의 검사가 가능하도록 검사위치에서 유리기판을 클램핑하는 장치의 개발이 필요하며, 이로 인해 성형공정에서 유리기판의 검사가 간편하고, 신속하며, 정확하게 이루어지도록 하여야 한다.
본 발명은 상술한 종래의 문제점을 해결하기 위한 것으로서, 본 발명의 목적은 성형공정에서 유리기판을 검사시 유리기판을 검사 존으로 로딩/언로딩하는 작업이 간편하게 이루어지도록 하고, 소요되는 시간을 단축시키며, 유리기판에 물리적인 접촉을 최소화하여 결함의 발생을 억제하고, 유리기판의 진동을 방지하여 정확한 검사가 이루어지도록 하는 유리기판의 검사를 위한 클램핑장치를 제공하는데 있다.
이와 같은 목적을 실현하기 위한 본 발명은, 유리기판을 검사하기 위하여 검사 존에 클램핑하는 장치로서, 검사 존에 설치되는 고정프레임과, 고정프레임의 상측에 설치되는 제 1 공압실린더 끝단에 공압으로 회전하여 유리기판 상단을 클램핑하는 한 쌍의 그립퍼가 결합되는 제 1 상부클램프와, 고정프레임의 상측에 좌우로 이동가능하도록 설치되는 제 2 공압실린더 끝단에 공압으로 회전하여 유리기판 상단을 클램핑하는 한 쌍의 그립퍼가 결합되는 제 2 상부클램프로 이루어지는 상부클램핑수단과, 고정프레임의 하측에 설치되는 제 3 공압실린더 끝단에 공압으로 상하 이동하는 이동부재가 결합되며 제 3 공압실린더의 이동부재에 설치되는 제 4 공압실린더 끝단에 공압으로 회전하여 유리기판 하단을 클램핑하는 한 쌍의 그립퍼가 결합되는 제 1 하부클램프와, 고정프레임의 하측에 좌우로 이동가능하도록 설치되는 제 5 공압실린더 끝단에 공압으로 상하로 이동하는 이동부재가 결합되며 제 5 공압실린더의 이동부재에 설치되는 제 6 공압실린더 끝단에 공압으로 회전하여 유리기판 하단을 클램핑하는 한 쌍의 그립퍼가 결합되는 제 2 하부클램프로 이루어져서 유리기판을 상하로 펴지도록 하방으로 당기는 하부클램핑수단과, 고정프레임의 양측에 각각 설치되는 제 7 공압실린더 끝단에 공압으로 좌우로 이동하는 이동부재가 결합되며 제 7 공압실린더의 이동부재 각각에 설치되는 제 8 공압실린더 끝단에 공압으로 회전하여 유리기판 양단을 각각 클램핑하는 복수의 측부클램프로 이루어져 유리기판을 좌우로 펴지도록 양측으로 당기는 측부클램핑수단을 포함하는 것을 특징으로 한다.
이하, 본 발명의 가장 바람직한 실시예를 첨부한 도면을 참조하여 본 발명의 기술분야에서 통상의 지식을 가진 자가 용이하게 실시할 수 있도록 더욱 상세히 설명하기로 한다.
도 1은 본 발명에 따른 유리기판의 검사를 위한 클램핑장치를 도시한 정면도이다.
도시된 바와 같이, 본 발명에 따른 유리기판의 검사를 위한 클램핑장치(100)는 성형공정에서 유리기판(1)을 검사하기 위하여 검사 존에 클램핑하는 장치(100)로서, 고정프레임(140)과, 고정프레임(140)의 상측에 각각 설치되어 유리기판(1)의 상단 에지부분을 클램핑하는 상부클램핑수단(110)과, 고정프레임(140)의 하측에 각각 설치되어 유리기판(1)의 하단 에지부분을 클램핑함과 아울러 유리기판(1)이 상하로 펴지도록 유리기판(1)을 하방으로 당기는 하부클램핑수단(120)과, 고정프레임(140)의 양측에 각각 설치되어 유리기판(1)의 양단 에지부분을 클램핑함과 아울러 유리기판(1)이 좌우로 펴지도록 유리기판(1)을 양측으로 당기는 측부클램핑수단(130)을 포함한다.
고정프레임(140)은 성형공정에서 유리기판(1)을 검사하기 위한 위치에 설치되고, 상측과 하측에 각각 위치하는 상부 및 하부프레임(141,142)이 한 쌍의 측부프레임(143)에 의해 연결된다.
상부클램핑수단(110)은 고정프레임(140)의 상측, 즉 상부프레임(141)에 각각 설치되어 유리기판(1)의 상단 에지부분을 클램핑하는 제 1 및 제 2 상부클램프(111,112)로 이루어지고, 제 1 상부클램프(111)는 고정프레임(140)의 상부프레임(141)에 고정되며, 제 2 상부클램프(112)는 고정프레임(140)의 상부프레임(141)을 따라 좌우로 이동 가능하도록 설치된다.
도 2 및 도 3에서 나타낸 제 1 상부클램프(111)는 고정프레임(140)의 상측프레임(141)에 브라켓(141a)에 의해 제 1 공압실린더(111a)가 설치되며, 제 1 공압실린더(111a)의 끝단, 즉 하단에 회전 가능하게 결합되는 한 쌍의 그립퍼(111c)를 공압에 의해 유리기판(1)의 상단 에지부분을 잡거나 놓기 위하여 서로 접거나 펼쳐지도록 한다.
제 1 공압실린더(111a)는 한 쌍의 포트(111b)를 통해 공압을 선택적으로 공급받아 한 쌍의 그립퍼(111c)를 회전시켜서 서로 접거나 펼쳐지도록 함으로써 그립퍼(111c)가 접힐 때 그 끝단이 유리기판(1)의 상단 에지부분을 잡도록 한다.
도 4 및 도 5에서 나타낸 제 2 상부클램프(112)는 고정프레임(140)의 상측, 즉 상부프레임(141)에 설치되는 가이드레일(112a)을 따라 슬라이딩되도록 제 2 공압실린더(112b)가 설치되며, 제 2 공압실린더(112b)는 끝단에 회전 가능하게 결합되는 한 쌍의 그립퍼(112d)를 공압에 의해 유리기판(1)의 상단 에지부분을 잡거나 놓기 위하여 서로 접거나 펼쳐지도록 한다.
제 2 공압실린더(112b)는 상부프레임(141)에 일정 간격을 유지하도록 좌우로 설치되는 가이드레일(112a)에 슬라이딩 가능하도록 설치되며, 한 쌍의 포트(112c) 에 선택적으로 공급되는 공압에 의해 그립퍼(112d)를 회전시켜서 서로 접거나 펼쳐지도록 함으로써 그립퍼(112d)가 접힐 때 그 끝단이 유리기판(1)의 상단 에지부분을 잡도록 한다.
제 2 상부클램프(112)는 제 2 공압실린더(112b)가 가이드레일(112a)에 슬라이딩 가능하도록 설치됨으로써 측부클램핑수단(130)에 의해 유리기판(1)이 양측으로 펴질 경우 유리기판(1)의 펴지는 방향으로 이동함으로써 유리기판(1)이 전영역에 걸쳐 펴지도록 한다.
제 2 상부클램프(112)는 유리기판(1)이 좌우로 펴지게 됨으로써 이동했던 제 2 공압실린더(112b)가 원위치로 복귀하도록 고정프레임(140)의 상측, 즉 상부프레임(141)과 제 2 공압실린더(112b)에 코일스프링 등과 같은 탄성부재(112e)가 설치된다.
하부클램핑수단(120)은 고정프레임(140)의 하측, 즉 하부프레임(142)에 각각 설치되어 유리기판(1)의 하단 에지부분을 클램핑함과 아울러 유리기판(1)이 상하로 펴지도록 유리기판(1)을 하방으로 당기는 제 1 및 제 2 하부클램프(121,122)로 이루어지고, 제 1 하부클램프(121)는 하부프레임(142)에 고정되며, 제 2 하부클램프(122)는 하부프레임(142)을 따라 좌우로 이동 가능하도록 설치된다.
도 6 및 도 7에서 나타낸 제 1 하부클램프(121)는 고정프레임(140)의 하측, 즉 하부프레임(142)에 공압에 의해 상하로 왕복 이동하는 이동부재(121b)를 가지는 제 3 공압실린더(121a)가 설치되고, 제 3 공압실린더(121a)의 이동부재(121b) 끝단에 제 4 공압실린더(121d)가 설치되며, 제 4 공압실린더(121d)는 끝단에 회전 가능 하게 결합되는 한 쌍의 그립퍼(121f)를 공압에 의해 유리기판(1)의 하단 에지부분을 잡거나 놓기 위하여 서로 접거나 펼쳐지도록 한다.
제 3 공압실린더(121a)는 한 쌍의 포트(121c)를 통해 공압을 선택적으로 공급받아 이동부재(121b)를 왕복 이동하도록 함으로써 제 4 공압실린더(121d)를 상하로 왕복 이동시킨다.
제 4 공압실린더(121d)는 한 쌍의 포트(121e)를 통해 공압을 선택적으로 공급받아 한 쌍의 그립퍼(121f)를 회전시켜서 서로 접거나 펼쳐지도록 함으로써 그립퍼(121f)가 접힐 때 그 끝단이 유리기판(1)의 하단 에지부분을 잡도록 한다.
도 8 및 도 9에서 나타낸 제 2 하부클램프(122)는 고정프레임(140)의 하측, 즉 하부프레임(142)에 설치되는 가이드레일(122a)을 따라 슬라이딩되도록 제 5 공압실린더(122b)가 설치되고, 제 5 공압실린더(122b)는 공압에 의해 상하로 왕복 이동하는 이동부재(122c)를 가지며, 제 5 공압실린더(122b)의 이동부재(122c) 끝단에 제 6 공압실린더(122e)가 설치되고, 제 6 공압실린더(122e)는 끝단에 회전 가능하게 결합되는 한 쌍의 그립퍼(122g)를 공압에 의해 유리기판(1)의 하단 에지부분을 잡거나 놓기 위하여 서로 접거나 펼쳐지도록 한다.
제 5 공압실린더(122b)는 하부프레임(142)에 일정 간격을 유지하도록 좌우로 설치되는 가이드레일(122a)에 슬라이딩 가능하도록 설치되며, 한 쌍의 포트(미도시)를 통해 공압을 선택적으로 공급받아 이동부재(122c)를 왕복 이동함으로써 이동부재(122c)에 결합된 제 6 공압실린더(122e)를 상하로 왕복이동시킨다.
제 6 공압실린더(122e)는 한 쌍의 포트(122f)를 통해 공압을 선택적으로 공 급받아 한 쌍의 그립퍼(122g)를 회전시켜서 서로 접거나 펼쳐지도록 함으로써 그립퍼(122g)가 접힐 때 그 끝단이 유리기판(1)의 하단 에지부분을 잡도록 한다.
제 2 하부클램프(122)는 제 5 공압실린더(122b)가 가이드레일(122a)에 슬라이딩 가능하도록 설치됨으로써 측부클램핑수단(130)에 의해 유리기판(1)이 양측으로 펴질 경우 유리기판(1)의 펴지는 방향으로 이동함으로써 유리기판(1)이 전영역에 걸쳐 펴지도록 한다.
제 2 하부클램프(122)는 유리기판(1)이 좌우로 펴지게 됨으로써 이동했던 제 5 공압실린더(122b)가 원위치로 복귀하도록 고정프레임(140)의 하측, 즉 하부프레임(142)과 제 5 공압실린더(122b)에 코일스프링 등과 같은 탄성부재(122h)가 설치된다.
측부클램핑수단(130)은 고정프레임(140)의 양측, 즉 측부프레임(143)마다 각각 설치되어 유리기판(1)의 양단 에지부분을 클램핑함과 아울러 유리기판(1)이 좌우로 펴지도록 유리기판(1)을 양측으로 당기는 복수의 측부클램프(131)로 이루어진다.
도 10 및 도 11에 나타낸 측부클램프(131)는 고정프레임(140)의 일측, 즉 측부프레임(143)에 공압에 의해 좌우로 왕복 이동하는 이동부재(131b)를 가지는 제 7 공압실린더(131a)가 설치되고, 제 7 공압실린더(131a)의 이동부재(131b) 끝단에 제 8 공압실린더(131d)가 설치되며, 제 8 공압실린더(131d)는 끝단에 회전 가능하게 결합되는 한 쌍의 그립퍼(131f)를 공압에 의해 유리기판(1)의 측단 에지부분을 잡거나 놓기 위하여 서로 접거나 펼쳐지도록 한다.
제 7 공압실린더(131a)는 한 쌍의 포트(131c)를 통해 공압을 선택적으로 공급받아 이동부재(131b)를 왕복 이동함으로써 이동부재(131b)에 결합된 제 8 공압실린더(131d)를 좌우로 왕복 이동시킨다.
제 8 공압실린더(131d)는 한 쌍의 포트(131e)를 통해 공압을 선택적으로 공급받아 한 쌍의 그립퍼(131f)를 회전시켜서 서로 접거나 펼쳐지도록 함으로써 그립퍼(131f)가 접힐 때 그 끝단이 유리기판(1)의 하단 에지부분을 잡도록 한다.
하부클램핑수단(120)의 제 1 및 제 2 하부클램프(121,122)와 측부클램핑수단(130)의 측부클램프(131)는 유리기판(1)을 클램핑시 유리기판(1)이 클램핑되는 위치에 얼라인(align)되도록 유리기판(1)의 에지부분을 지지하는 얼라이너(121g,122i,131g)가 구비된다.
얼라이너(121g,122i,131g) 각각은 제 3 공압실린더(121a), 제 5 공압실린더(122b), 및 제 7 공압실린더(131a) 각각의 끝단에 결합되는 브라켓(121h,122j,131h)마다 양측으로 한 쌍씩 설치된다.
도 12 내지 도 16은 본 발명에 따른 유리기판의 검사를 위한 클램핑장치를 사용하여 성형공정에서 유리기판(1)을 검사하기 위한 장치를 도시한 도면이다. 도시된 바와 같이, 본 발명에 따른 유리기판의 검사를 위한 클램핑장치를 사용한 유리기판의 검사장치는, 유리기판의 검사를 위해 클램핑장치(100)에 의해 고정된 유리기판(1)을 스캔하는 비젼어셈블리(200)와, 비젼어셈블리(200)를 유리기판(1)의 일측으로부터 타측으로 이동시키는 비젼어셈블리이동수단(300)과, 비젼어셈블리(200)에 의해 스캔한 이미지로부터 유리기판(1)의 결함을 데이터로 처 리하는 결함데이터처리부(400)와, 결함데이터처리부(400)로부터 처리된 데이터를 디스플레이하는 디스플레이부(500)를 포함한다.
도 15에서 나타낸 바와 같이, 비젼어셈블리(200)는 유리기판의 검사를 위한 클램핑장치(100)에 의해 고정된 유리기판(1)의 일측에 위치하며, 조명(210)으로 광을 조사하여 복수의 카메라(220)로 유리기판(1)을 스캔한다.
비젼어셈블리(200)는 일측이 개방된 비젼프레임(230)의 내측 양쪽에 카메라고정부재(240)와 조명고정부재(250)가 수직되게 각각 설치되고, 카메라고정부재(240)에 복수의 카메라(220)가 개방된 일측을 통해 유리기판(1)을 스캔하도록 고정되며, 조명고정부재(250)에 조명(210)이 복수의 카메라(220)의 스캔 영역에 광을 조사하도록 설치된다.
비젼어셈블리이동수단(300)은 비젼어셈블리(200)의 카메라(220)가 유리기판(1)의 전영역을 스캔하도록 비젼어셈블리(200)를 유리기판(1)의 일측으로부터 타측으로 이동시킨다.
비젼어셈블리이동수단(300)은 유리기판의 검사를 위한 클램핑장치(100) 일측의 바닥면에 제 1 리드스크루(310)가 회전가능하게 설치되고, 제 1 리드스크루(310)에 카트(320)가 나사 결합되어 설치되며, 카트(320)의 상측에 비젼어셈블리(200)가 결합되고, 제 1 리드스크루(310)에 제 1 이송모터(미도시)가 연결되고, 카트(320)의 상측에 제 1 리드스크루(310)와 평행을 이루도록 제 2 리드스크루(340)가 회전가능하게 설치되며, 제 2 리드스크루(340)에 나사결합되는 볼너트(350)가 비젼어셈블리(200)의 비젼프레임(230)에 고정되고, 제 2 리드스크루(340)를 회전시키는 제 2 이동모터(360)가 제 2 리드스크루(340)에 기계적으로 연결된다.
제 2 리드스크루(340)는 카트(320)의 상측에 설치되는 지지프레임(330)에 양단이 지지됨으로써 회전 가능하게 설치된다.
결함데이터처리부(400)는 비젼어셈블리(200)의 카메라(220)로부터 전송되는 이미지로부터 유리기판(1)의 결함을 개수, 크기, 위치 등의 데이터로 처리한다.
디스플레이부(500)는 결함데이터처리부(400)로부터 처리된 유리기판(1)의 결함에 대한 개수, 크기, 위치 등의 데이터를 외부로 디스플레이한다.
이와 같은 구조로 이루어진 유리기판의 검사를 위한 클램핑장치(100)의 작용은 다음과 같이 이루어진다.
성형공정에서 성형된 상단이 이송그립퍼(미도시)에 고정되어 이송레일(미도시)을 따라 이송되던 유리기판(1)을 정지시킨 다음 이송그립퍼(미도시)로부터 유리기판(1)을 분리하여 고정프레임(140)의 내측에 위치시킨 다음 상부클램핑수단(110)의 제 1 및 제 2 상부클램프(111,112)로 유리기판(1)의 상단 에지부분을 클램핑한다.
즉, 제 1 및 제 2 상부클램프(111,112)의 제 1 및 제 2 공압실린더(111a,112b)를 동작시켜 그립퍼(111c,112d)로 하여금 유리기판(1)의 상단 에지부분을 클램핑하도록 한다.
한편, 유리기판(1)을 고정프레임(140)의 내측에 위치시킬 때 유리기판(1)을 하부클램핑수단(120) 및 측부클램핑수단(130)의 얼라이너(121g,122h,131g)에 위치 시킴으로써 용이하게 클램핑 위치로 얼라인할 수 있다.
상부클램핑수단(110)에 의해 유리기판(1)의 상단 에지부분이 클램핑되면 하부클램핑수단(120)으로 유리기판(1)의 하단 에지부분을 클램핑한다.
즉, 하부클램핑수단(120)의 제 4 및 제 6 공압실린더(121d,122e)를 동작시켜서 하부클램핑수단(120)의 그립퍼(121f,122g)로 유리기판(1)의 하단 에지부분을 클램핑한다.
유리기판(1)의 상단과 하단이 각각 상부 및 하부클램핑수단(110,120)에 의해 클램핑되면, 하부클램핑수단(120)의 제 3 및 제 5 공압실린더(121a,122b)를 동작시켜 유리기판(1)을 하방으로 일정한 힘으로 당겨서 상하로 펴지도록 한다.
유리기판(1)이 상하로 펴지면 측부클램핑수단(130)의 제 8 공압실린더(131d)가 동작하여 그립퍼(131f)로 유리기판(1)의 측단 에지부분을 각각 클램핑하고, 제 7 공압실린더(131a)를 동작시켜 유리기판(1)을 양측으로 잡아당겨서 유리기판(1)이 좌우로 펴지도록 한다.
측부클램핑수단(130)의 제 7 공압실린더(131a)에 의해 유리기판(1)이 좌우로 펴질 때, 상부 및 하부클램핑수단(110,120)의 제 1 상부 클램프(111)와 제 1 하부클램프(121)에 의해 유리기판(1)은 일정 위치에 고정된 상태에서 제 2 상부클램프(112)와 제 1 하부클램프(122) 각각이 가이드레일(112a,122a)을 따라 이동함으로써 유리기판(1)이 전영역에 걸쳐 좌우로 펴지도록 한다. 따라서, 유리기판(1)이 휘지 않도록 함과 아울러 진동을 최소화하여 비젼어셈블리(200)로 스캔시 선명한 이미지를 획득하도록 한다.
유리기판(1)이 상부 및 하부클램프(110,120)와 측부클램프(130)에 의해 클램핑되어 펴지면 비젼어셈블리이동수단(300)에 의해 비젼어셈블리(200)를 유리기판(1)의 일측으로부터 타측으로 이동시켜서 비젼어셈블리(200)의 조명(210)과 복수의 카메라(220)로 유리기판(1)의 전영역을 스캔한 다음 결함데이터처리부(400)에 의해 스캔하여 획득한 이미지로부터 유리기판(1)의 결함의 개수, 크기, 위치 등의 데이터로 처리하여 디스플레이부(500)에 의해 디스플레이한다.
이상과 같이 본 발명의 바람직한 실시예에 따르면, 성형공정에서 유리기판을 검사시 유리기판을 검사 존으로 로딩/언로딩하는 작업이 간편하게 이루어지도록 하고, 소요되는 시간을 단축시키며, 유리기판에 물리적인 접촉을 최소화하여 결함의 발생을 억제하고, 유리기판의 진동을 방지하여 정확한 검사가 이루어지도록 한다.
상술한 바와 같이, 본 발명에 따른 유리기판의 검사를 위한 클램핑장치는 성형공정에서 유리기판을 검사시 유리기판을 검사 존으로 로딩/언로딩하는 작업이 간편하게 이루어지도록 하고, 소요되는 시간을 단축시키며, 유리기판에 물리적인 접촉을 최소화하여 결함의 발생을 억제하고, 유리기판의 진동을 방지하여 정확한 검사가 이루어지도록 하는 효과를 가지고 있다.
이상에서 설명한 것은 본 발명에 따른 유리기판의 검사를 위한 클램핑장치를 실시하기 위한 하나의 실시예에 불과한 것으로서, 본 발명은 상기한 실시예에 한정되지 않고, 이하의 특허청구범위에서 청구하는 바와 같이 본 발명의 요지를 벗어남 이 없이 당해 발명이 속하는 분야에서 통상의 지식을 가진 자라면 누구든지 다양한 변경 실시가 가능한 범위까지 본 발명의 기술적 정신이 있다고 할 것이다.

Claims (9)

  1. 유리기판을 검사하기 위하여 검사 존에 클램핑하는 장치로서,
    상기 검사 존에 설치되는 고정프레임과,
    상기 고정프레임의 상측에 설치되는 제 1 공압실린더 끝단에 공압으로 회전하여 상기 유리기판 상단을 클램핑하는 한 쌍의 그립퍼가 결합되는 제 1 상부클램프와, 상기 고정프레임의 상측에 좌우로 이동가능하도록 설치되는 제 2 공압실린더 끝단에 공압으로 회전하여 상기 유리기판 상단을 클램핑하는 한 쌍의 그립퍼가 결합되는 제 2 상부클램프로 이루어지는 상부클램핑수단과,
    상기 고정프레임의 하측에 설치되는 제 3 공압실린더 끝단에 공압으로 상하 이동하는 이동부재가 결합되며 상기 제 3 공압실린더의 이동부재에 설치되는 제 4 공압실린더 끝단에 공압으로 회전하여 상기 유리기판 하단을 클램핑하는 한 쌍의 그립퍼가 결합되는 제 1 하부클램프와, 상기 고정프레임의 하측에 좌우로 이동가능하도록 설치되는 제 5 공압실린더 끝단에 공압으로 상하로 이동하는 이동부재가 결합되며 상기 제 5 공압실린더의 이동부재에 설치되는 제 6 공압실린더 끝단에 공압으로 회전하여 상기 유리기판 하단을 클램핑하는 한 쌍의 그립퍼가 결합되는 제 2 하부클램프로 이루어져서 상기 유리기판을 상하로 펴지도록 하방으로 당기는 하부클램핑수단과,
    상기 고정프레임의 양측에 각각 설치되는 제 7 공압실린더 끝단에 공압으로 좌우로 이동하는 이동부재가 결합되며 상기 제 7 공압실린더의 이동부재 각각에 설치되는 제 8 공압실린더 끝단에 공압으로 회전하여 상기 유리기판 양단을 각각 클램핑하는 복수의 측부클램프로 이루어져 상기 유리기판을 좌우로 펴지도록 양측으로 당기는 측부클램핑수단
    을 포함하는 유리기판의 검사를 위한 클램핑장치.
  2. 삭제
  3. 삭제
  4. 제 1 항에 있어서,
    상기 상부클램핑수단의 제 2 상부클램프는
    상기 유리기판이 좌우로 펴지게 됨으로써 이동했던 상기 제 2 공압실린더가 원위치로 복귀하도록 상기 고정프레임의 상측과 상기 제 2 공압실린더에 탄성부재가 설치되는 것
    을 특징으로 하는 유리기판의 검사를 위한 클램핑장치.
  5. 삭제
  6. 삭제
  7. 제 1 항에 있어서,
    상기 하부클램핑수단의 제 2 하부클램프는
    상기 유리기판이 좌우로 펴지게 됨으로써 이동했던 상기 제 5 공압실린더가 원위치로 복귀하도록 상기 고정프레임의 하측과 상기 제 5 공압실린더에 탄성부재가 설치되는 것
    을 특징으로 하는 유리기판의 검사를 위한 클램핑장치.
  8. 삭제
  9. 제 1 항 또는 제 7 항에 있어서,
    상기 하부클램핑수단의 제 1 또는 제 2 하부클램프, 또는 상기 측부클램핑수단의 측부클램프는,
    유리기판을 클램핑시 유리기판이 클램핑되는 위치에 얼라인되도록 유리기판의 에지부분을 지지하는 얼라이너가 구비되는 것
    을 특징으로 하는 유리기판의 검사를 위한 클램핑장치.
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