KR101045277B1 - 테스트 핸들러용 하이픽스보드 클램핑장치 - Google Patents

테스트 핸들러용 하이픽스보드 클램핑장치 Download PDF

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Abstract

본 발명은 테스트 핸들러용 하이픽스보드 클램핑장치에 관한 것으로, 본 발명에 따르면, 하이픽스보드들의 마주보는 변들 사이에 설치되는 한 쌍의 이동바 및 클램프들을 포함하는 가동식 클램핑장치를 적용함으로써, 클램핑장치의 설치에 요구되는 공간을 최소한으로 줄일 수 있게 되어 테스트 핸들러의 전체적인 사이즈를 축소시킬 수 있는 기술이 개시된다.
테스트 핸들러, 하이픽스보드, 클램핑, 클램프

Description

테스트 핸들러용 하이픽스보드 클램핑장치{HIFIX BOARD CLAMPING APPARATUS FOR TEST HANDLER}
본 발명은 테스트핸들러용 하이픽스보드 클램핑장치에 관한 것이다.
테스트핸들러는 소정의 제조공정을 거쳐 제조된 반도체소자들을 테스터에 의해 테스트될 수 있도록 지원하는 기기로서, 고객트레이에 적재된 반도체소자들을 테스트트레이로 로딩시켜 테스트트레이에 적재된 상태의 반도체소자들을 테스터에 공급하고, 테스트가 완료된 반도체소자들을 테스트트레이로부터 고객트레이로 언로딩시키도록 되어 있다.
도 1은 일반적인 테스트핸들러(100)를 도시한 개략도이고, 도 2는 테스트핸들러의 주요부위를 상측에서 바라본 개념도이다.
도 1 및 도 2를 참조하면, 테스트핸들러(100)는 로딩장치(110), 소크챔버(120), 테스트챔버(130), 디소크챔버(140), 언로딩장치(150) 및 프레스장치(160)를 구비한다.
테스트챔버(130)의 후방으로는 테스트챔버(130)에 위치한 테스트트레이(T1, T2) 상의 반도체소자를 테스트하기 위한 테스터(170)가 배치된다.
계속해서 도 3에 도시된 바와 같이, 테스터(170)는 행렬형태로 배열된 다수의 테스트소켓(171-1)을 가지는 두 개의 하이픽스보드(171a, 171b)가 하나의 테스트헤드(172)에 상하로 배치되는 구성을 가지며, 하이픽스보드(171a, 171b) 각각이 하나씩의 테스트트레이(T1, T2)를 담당하도록 하고 있다.
이와 같은 종래 테스트핸들러의 작동을 살펴보면 다음과 같다.
먼저, 고객트레이(C1)에 적재된 반도체소자가 로딩장치(110)에 의해 로딩위치에 있는 테스트트레이로 로딩되면, 반도체소자를 적재한 테스트트레이를 예열 또는 예냉을 위해 마련되는 소크챔버(120)를 경유시킨 후 테스트챔버(130)로 이송한다.
테스트챔버(130) 내에서 테스트트레이(T1, T2)는 상하 2단 배열된 상태에서 프레스장치(160)에 의해 테스터(170)의 하이픽스보드(171a, 171b)에 밀착(테스트트레이에 적재된 반도체소자들과 하이픽스보드에 배열된 테스트소켓들 간의 교합)된다.
이후, 테스터(170)에 의해 반도체소자의 테스트가 이루어지면, 테스트트레이의 온도를 회복시키기 위해 마련되는 디소크챔버(140)를 경유시킨 후 언로딩위치로 이송한다. 그리고 언로딩장치(150)에 의해 언로딩위치에 있는 테스트트레이에 적재된 반도체소자가 고객트레이(C2)로 언로딩되면, 언로딩위치에 있는 테스트트레이를 다시 로딩위치로 이송한다.
위와 같은 과정에서 프레스장치(160)가 테스트트레이(T1, T2)를 테스터(170) 측으로 밀어서 하이픽스보드(171a, 171b)에 밀착시킬 경우, 하이픽스보드(171a, 171b)가 테스트챔버(130) 측에 견고히 결합되어 있지 아니하면, 테스트트레이(T1, T2)와 하이픽스보드(171a, 171b)의 긴밀한 밀착이 이루어지지 않아 반도체소자들과 테스트소켓(171-1)들 간의 적절한 교합이 이루어지지 않게 되므로, 클램핑장치에 의해 하이픽스보드(171a, 171b)가 테스트챔버(130) 측에 견고히 결합될 수 있도록 하고 있다.
도 4를 참조하면, 종래 클램핑장치는 하나의 하이픽스보드(171a, 171b) 당 4개의 클램핑 유닛(190, 설명의 편의상 각 클램핑유닛의 구성이 모두 동일하므로 동일부호를 부여함)을 구비한다. 그리고 각 클램핑유닛(190)은, 실린더(191)와, 실린더(191)의 피스톤로드(191a)와 결합되어 전·후진함으로써 하이픽스보드(171a, 171b)의 변을 클램핑하는 클램퍼(192)를 포함하여 구성된다.
여기서, 두 개의 하이픽스보드(171a, 171b)는 테스트챔버에 상하로 배치되도록 마련되는데, 동일시간당 테스트될 수 있는 반도체소자의 개수를 늘리기 위해서 테스트챔버에 두 개 이상의 하이픽스보드들을 장착할 수 있을 것이다.
즉, 도 5에 도시된 바와 같이, 테스트챔버에 하이픽스보드(511a 내지 511d)를 2 × 2의 행렬 형태로 배치시키고, 각 하이픽스보드(511a 내지 511d) 당 4개의 클램핑 유닛(512, 설명의 편의상 각 클램핑유닛의 구성이 모두 동일하므로 동일부호를 부여함)을 구비토록 할 수 있다.
그러나, 이와 같이 구현하는 경우 좌우로 배치되는 하이픽스보드(511a 및 511b, 511c 및 511d)들 사이에 클램핑유닛(512)을 설치하기 위한 충분한 공간을 확보하여야만 함으로, 테스트 핸들러의 전체적인 사이즈가 증대되는 문제가 있다.
본 발명은 M × N (M, N : 2이상의 자연수)의 행렬 형태로 배치되는 하이픽스보드를 클램핑 하기 위한 클램핑 유닛의 구조를 개선하여 테스트 핸들러의 전체적인 사이즈를 축소시킬 수 있는 테스트핸들러용 하이픽스보드 클램핑장치를 제공하기 위한 것이다.
상기한 목적을 달성하기 위한 본 발명에 따른 테스트핸들러용 하이픽스보드 클램핑장치는, 하이픽스보드들의 마주보는 변들을 클램핑할 수 있도록 마련되는 하나 이상의 가동식 클램핑장치; 및 상기 하이픽스보드들의 상기 마주보는 변들을 제외한 이외의 변들을 클램핑할 수 있도록 마련되는 클램핑유닛들; 을 포함하며, 상기 가동식 클램핑장치는, 상기 하이픽스보드들의 상기 마주보는 변들 사이에서 상기 마주보는 변들과 멀어지거나 가까워지는 방향으로 이동하는 한 쌍의 이동바; 상기 이동바들의 이동방향에 따라 상기 하이픽스보드들의 상기 마주보는 변들을 클램핑하거나 클램핑을 해제하도록 각각의 이동바에 마련되는 하나 이상의 클램프; 및 상기 이동바들을 이동시키기 위한 동력을 제공하는 동력원들; 을 포함하는 것을 특징으로 한다.
또한, 상기 한 쌍의 이동바는 서로 반대 방향으로 이동하는 것을 특징으로 한다.
또한, 상기 이동바와 상기 클램프는 상기 하이픽스보드 사이에 설치되고, 상기 이동바를 이동시키기 위한 동력원은 상기 하이픽스보드 상측과 하측에 설치되는 것을 특징으로 한다.
또한, 상기 이동바들은 서로 반대 방향으로 이동하는 제 1이동바 및 제 2이동바로 마련되고, 상기 클램프들은 상기 제 1이동바에 마련되는 하나 이상의 제 1클램프 및 상기 제 2이동바에 마련되는 하나 이상의 제 2클램프로 마련되고, 상기 클램프들의 이동을 가이드 하기 위한 클램프 가이딩부재들은 상기 제 1클램프의 이동을 가이드 하기 위한 하나 이상의 제 1클램프 가이딩부재 및 상기 제 2클램프의 이동을 가이드 하기 위한 하나 이상의 제 2클램프 가이딩부재로 마련되며, 상기 제 1클램프 가이딩부재와 상기 제 2클램프 가이딩부재는 상기 이동바의 길이방향을 따라 교번되게 배치되는 것을 특징으로 한다.
또한, 상기 제 1이동바는 상기 제 2클램프와 교차하여 설치되고, 상기 제 2이동바는 상기 제 1클램프와 교차하여 설치되는 것을 특징으로 한다.
또한, 상기 한 쌍의 이동바 간의 간격을 조절하고 휘는 것을 방지하기 위한 간격조절부재를 더 구비하는 것을 특징으로 한다.
본 발명에 따르면, 하이픽스보드들의 마주보는 변들 사이에 설치되는 한 쌍 의 이동바 및 클램프들을 포함하는 가동식 클램핑장치를 적용함으로써, 클램핑장치의 설치에 요구되는 공간을 최소한으로 줄일 수 있게 되어 테스트 핸들러의 전체적인 사이즈를 축소시킬 수 있는 효과가 있다.
또한, 이동바의 길이방향을 따라 제 1클램핑 가이드부재와 제 2클램핑 가이드부재가 교번되게 설치됨에 따라 제 1클램핑 가이드부재 및 제 2클램핑 가이드부재 간의 간섭을 방지함으로써, 클램핑 가이드부재의 설치에 요구되는 공간을 최소한으로 줄일 수 있는 효과가 있다.
또한, 간격조절부재를 통해 이동바들 간의 간격을 조절함으로써 하이픽스보드의 클램핑 및 클램핑 해제 작업을 정밀하게 수행할 수 있게 되는 효과가 있다.
이하, 본 발명에 따른 하나의 바람직한 실시예를 첨부도면을 참조하여 상세히 설명하되, 중복되는 설명이나 자명한 사항에 대한 설명은 가급적 생략하거나 압축하기로 한다.
도 6은 본 발명에 따른 테스트핸들러용 테스트챔버를 도시한 정면도이다.
도 6을 참조하여 설명하면, 테스터챔버(610)의 전면에는 제 1 내지 제 4 하이픽스보드(621 내지 624)가 2 × 2 행렬 형태로 배치된다.
본 실시예에서는 하이픽스보드(621 내지 624)들이 2 × 2 행렬 형태로 배치된 상태를 설명하고 있으나, 실시 형태에 따라 하이픽스보드(621 내지 624)들이 M × N (M, N : 2이상의 자연수) 행렬 형태로 배치될 수 있다.
하이픽스보드(621 내지 624)들은 클랭핑유닛(630, 설명의 편의상 각 클램핑유닛의 구성이 모두 동일하므로 동일부호를 부여함)과, 가동식 클랭핑장치(640)에 의해 지지되는데, 클램핑유닛(630)은 테스트챔버(610)의 좌우 양단에 설치되어 하이픽스보드(621 내지 624)들의 외측변을 지지하며, 가동식 클램핑장치(640)는 하이픽스보드(621 내지 624)들의 내측변을 지지한다.
클램핑유닛(630)은 실린더부(631)와 피스톤로드(632)을 포함하여 구성되며, 실린더부(631)를 통해 피스톤로드(632)를 이동시킴으로써 하이픽스보드(621 내지 624)들의 내측변을 지지하게 된다.
가동식 클램핑장치(640)는 이동바(641a, 641b)들, 클램프(642a, 642b)들, 클램프 가이딩부재(643a, 643b)들 및 동력원(644a, 644b)들을 포함하여 구성된다.
각 이동바(641a, 641b)는 종방향으로 연장된 바(Bar) 형태를 갖는 것으로, 한 쌍으로 마련되어 횡방향으로 나란하게 배치된다.
이러한 이동바(641a, 641b)들은 하이픽스보드(621 내지 624) 사이에 배치되는 제 1이동바(641a) 및 제 2이동바(641b)로 나뉘는데, 제 1이동바(641a)와 제 2이동바(641b)는 서로 반대 방향으로 이동된다.
이동바(641a, 641b)들은 길이가 길어지면 힘전달이 원활하지 않기 때문에 제 1하이픽스보드(621)와 제 2하이픽스보드(622)만을 제어하는 것과, 제 3하이픽스보드(623)와 제4하이픽스보드(624)를 제어하는 이동바(641a, 641b)를 개별적으로 설치하는 것이 좋으나, 필요에 따라서는 하나의 종방향으로 길게 연장하여도 무방하다.
클램프(642a, 642b)들은 이동바(641a, 641b)들과 결합되어 이동바(641a, 641b)들과 함께 이동하며, 하이픽스보드(621 내지 624)들 사이에 배치된다.
이러한 클램프(642a, 642b)들은 제 1이동바(641a)와 결합되는 제 1클램프(642a)와 제 2이동바(641b)와 결합되는 제 2클램프(642b)로 나뉘어진다.
여기서, 제 1클램프(642a) 및 제 2클램프(642b)는 하나 이상으로 마련될 수 있으며, 하이픽스보드(621 내지 624)들을 안정적으로 지지할 수 있도록 하이픽스보드(621 내지 624) 당 한 쌍으로 구비되는 것이 바람직하다.
이때, 제 1이동바(641a)는 제 2클램프(642b)와 교차하여 설치되고, 제 2이동바(641b)는 제 1클램프(642a)와 교차하여 설치된다.
클램프 가이딩부재(643a, 643b)들은 테스트챔버(610)에 설치되며, 제 1클램프(642a)의 이동을 가이드 하기 위한 제 1클램프 가이딩부재(643a)와, 제 2클램프(642b)의 이동을 가이드 하기 위한 제 2클램프 가이딩부재(643b)로 나뉜다.
이와 같은 클램프 가이딩부재(643a, 643b)들은 이동바(641a, 641b)들의 길이방향을 따라 교번되게 배치되며, 이를 통해 제 1클램프 가이딩부재(643a)와 제 2클램프 가이딩부재(643b)가 간섭되는 것을 방지할 수 있게 된다.
계속해서, 도 7을 참조하여 설명하면, 클램프 가이딩부재(643a, 643b)는 클램프(642a, 642b)를 수용할 수 있도록 전체적으로 'ㄷ'자 형태로 마련된다.
제 1클램프 가이딩부재(643a)와 제 2클램프 가이딩부재(643b)의 구성은 실질적으로 동일함으로, 이하 제 1클램프 가이딩부재(643a)의 구성만을 설명하기로 한다.
제 1클램프 가이딩부재(643a)는 제 1이동바(641a) 측으로 개구된 개구부(643a-1)를 구비하며, 제 1클램프 가이딩부재(643a) 일측면에는 제 1클램프(642a)가 제 1하이픽스보드(621) 측으로 이동될 수 있도록 제 1클램프(642a)의 일측단(642a-1)과 대응되는 형태의 가이드구(643a-2)가 형성된다.
그리고 제 1클램프(642a)의 타측단부에는 개구부(643a-1)측으로 단차지도록 연장된 단차부(642a-2)가 형성되며, 단차부(642a-2)는 나사 등과 체결부재(B)를 통해 제 1이동바(641a)와 결합된다.
이때, 단차부(642a-2)에는 제 1이동바(641a)의 유동을 방지할 수 있도록 제 1이동바(641a)의 양측면을 지지하는 한 쌍의 지지턱(642a-3)이 형성된다.
또한, 제 1클램프 가이딩부재(643a)의 개구부(643a-1)에는 제 1클램프(642a)의 원활한 이동을 위해 제 1클램프(642a)의 일측단을 지지하는 제 1롤러부재(643a-3)가 설치될 수 있다.
도 8을 참조하여 설명하면, 구동원(644a, 644b)들은 이동바(641a, 641b)를 이동시키기 위한 동력을 제공하는 것으로, 하이픽스보드(621 내지 624)들의 상측이나, 하측 또는 상측과 하측 모두에 설치될 수 있다.
이와 같은 구동원(644a, 644b)은 제 1이동바(641a)를 구동하기 위한 제 1구동원(644a)과 제 2이동바(641b)를 구동하기 위한 제 2구동원(644b)으로 나뉜다.
제 1구동원(644a)은 제 1피스톤로드(644a-1) 및 제 1실린더(644a-2)를 구비하고, 제 2구동원(644b)은 제 2피스톤로드(644b-1) 및 제 2실린더(644b-2)를 포함하여 구성된다.
각 실린더(644a-2, 644b-2)는 고정브라켓(644a-3, 644b-3)을 통해 테스트챔버(610)에 결합되며, 각 피스톤로드(644a-1, 644b-1)는 연결브라켓(644a-4, 644b-4)을 통해 이동바(641a, 641b)와 결합된다.
또한, 본 발명에 따른 가동식 클램프장치(640)는 이동바(641a, 641b)들 간의 간격을 조절하고 이동바(641a, 641b)들의 휨을 방지하기 위한 간격조절부재(645)를 더 구비할 수 있다.
간격조절부재(645)는 테스트챔버(610)의 상단부와 하단부에 각각 마련될 수 있으며, 각각의 간격조절부재(645)는 이동바(641a, 641b)들의 일단 및 타단을 각각 수용할 수 있도록 마련된다.
그리고 간격조절부재(645)는 제 1이동바(641a)에 마련된 제 1간격조절핀(641a-1)의 이동을 제한하기 위한 제 1간격조절구(645a)와, 제 2이동바(641b)에 마련된 제 2간격조절핀(641b-1)의 이동을 제한하기 위한 제 2간격조절구(645b)를 구비한다.
즉, 한 쌍의 간격조절핀(641a-1, 641b-1)이 간격조절부재(645)의 간격조절구(645a, 645b)를 따라 이동하면서 이동바(641a, 641b)들 간의 최대간격 및 최소간격을 결정하게 되는 것이다.
다음은 도 9 및 도 10을 참조하여, 본 발명에 따른 가동식 클램핑장치 및 클램핑유닛의 작동을 설명하기로 한다.
가동식 클램핑장치(640) 및 클램핑유닛(630)에 대한 작동 설명의 편의를 위하여 테스트챔버(610)의 상부의 구성만을 발췌하여 설명하기로 하며, 이와 대응되 는 테스트챔버(610)의 하부의 구성은 그 설명을 생략하기로 한다.
먼저, 도 9에 도시된 바와 같이, 제 1구동원(644a) 및 제 2구동원(644b)을 구동하여 제 1이동바(641a)와 제 2이동바(641b) 간의 간격이 최대 간격을 이루도록 한다.
이때, 제 1이동바(641a)의 제 1간격조절핀(641a-1)은 간격조절부재(645)의 제 1간격조절구(645a)를 따라 테스트챔버(610)의 제 2개방구(612)측으로 이동되고, 제 2이동바(641b)의 제 2간격조절핀(641b-1)은 간격조절부재(645)의 제 2간격조절구(645b)를 따라 테스트챔버(610)의 제 1개방구(611)측으로 이동된다.
이와 동시에, 제 1클램프(642a)는 제 1개방구(611)와 멀어지는 측으로 이동되며, 제 2클램프(642b)는 제 2개방구(612)와 멀어지는 측으로 이동된다.
그리고 클램핑유닛(630)의 피스톤로드부(632)는 제 1개방구(611) 및 제 2개방구(612)에서 멀어지는 측으로 이동된다.
이후, 도 10에 도시된 바와 같이, 제 1하이픽스보드(621)를 제 1개방구(611)에 위치시키고, 제 2하이픽스보드(622)를 제 2개방구(612)에 위치시킨 상태에서 제 1구동원(644a) 및 제 2구동원(644b)을 구동하여 제 1이동바(641a)와 제 2이동바 (641b)간의 간격이 최소 간격을 이루도록 한다.
이때, 제 1이동바(641a)의 제 1간격조절핀(641a-1)은 간격조절부재(645)의 제 1간격조절구(645a)를 따라 테스트챔버(610)의 제 1하이픽스보드(621)측으로 이동되고, 제 2이동바(641b)의 제 2간격조절핀(641b-1)은 간격조절부재(645)의 제 2간격조절구(645b)를 따라 테스트챔버(610)의 제 2하이픽스보드(622)측으로 이동된 다.
이와 동시에, 제 1클램프(642a)는 제 1하이픽스보드(621) 측으로 이동되며, 제 2클램프(642b)는 제 2하이픽스보드(622) 측으로 이동된다. 그리고, 클램핑유닛(630)의 피스톤로드부(632)는 제 1하이픽스보드(621) 및 2하이픽스보드(622) 측으로 이동되어 테스트챔버(610)에 하이픽스보드(621, 622)를 견고히 고정할 수 있게 된다.
한편, 도 11에 도시된 바와 같이, 본 발명의 하이픽스보드(621 내지 624)는 다수의 커넥터(1111)를 구비하는 타입의 하이픽스보드(1110)로 마련될 수 있다.
상기 하이픽스보드(1110)는 테스트챔버(610) 내에 수평으로 놓여지는 테스트 보드(1120)와 접속된다. 여기서, 테스트 보드(1120)는 반도체소자가 적재되는 소켓(1121)과, 각각의 소켓(1121)에 대응되는 단자그룹(1122)들을 갖도록 마련된다.
이러한 구성을 통해 적층되게 배치되는 다수의 테스트 보드(1120)는 상기 하이픽스보드(1110)의 각 커넥터(1111)와 대응하여 결합되며, 테스트 보드(1120)의 단자그룹(1122)과 하이픽스보드(1110)의 표고핀(1112)이 전기적 접속을 이루게 된다.
이상과 같이 본 발명에 대한 구체적인 설명은 첨부된 도면을 참조한 실시예에 의해서 이루어졌지만, 상술한 실시예는 본 발명의 바람직한 예를 들어 설명하였을 뿐이기 때문에, 본 발명이 상기의 실시예에만 국한되는 것으로 이해되어져서는 아니되며, 본 발명의 권리범위는 후술하는 청구범위 및 그 등가개념으로 이해되어 져야 할 것이다.
도 1은 종래의 테스트핸들러에 대한 개략적인 사시도이다.
도 2는 도 1의 테스트핸들러의 주요부위를 상측에서 바라본 개념도이다.
도 3은 도 1의 테스트핸들러에 결합되는 종래의 테스터에 대한 개략적인 사시도이다.
도 4는 도 1의 테스트핸들러에 채용된 종래의 클램핑장치에 대한 개략도이다.
도 5는 도 4와 다른 형태의 종래 클램핑장치에 대한 개략도이다.
도 6은 본 발명에 따른 테스트 핸들러의 테스트챔버를 도시한 전면도이다.
도 7은 도 6의 주요 구성을 발췌하여 도시한 분해 사시도이다.
도 8은 도 6의 'A' 부를 확대하여 도시한 확대도이다.
도 9 및 도 10은 본 발명에 따른 테스트 핸들러에 적용되는 가동식 클램핑장치 및 클램핑유닛의 작동을 도시한 작동도이다.
도 11은 본 발명의 하이픽스보드와 테스트 보드의 결합을 개략적으로 도시한 개략도이다.
*도면의 주요 부위에 대한 부호의 설명*
610 : 테스트챔버 621 : 제 1하이픽스보드
622 : 제 2하이픽스보드 623 : 제 3하이픽스보드
624 : 제 4하이픽스보드 630 : 클램핑유닛
640 : 가동식 클램핑장치 641a : 제 1이동바
641b : 제 2이동바 642a : 제 1클램프
642b : 제 2클램프 643a : 제 1클램프 가이딩부재
643b : 제 2클램프 가이딩부재 644a : 제 1동력원
644b : 제 2동력원 645 : 간격조절부재

Claims (6)

  1. 하이픽스보드들의 마주보는 변들을 클램핑할 수 있도록 마련되는 하나 이상의 가동식 클램핑장치; 및
    상기 하이픽스보드들의 상기 마주보는 변들을 제외한 이외의 변들을 클램핑할 수 있도록 마련되는 클램핑유닛들; 을 포함하며,
    상기 가동식 클램핑장치는,
    상기 하이픽스보드들의 상기 마주보는 변들 사이에서 상기 마주보는 변들과 멀어지거나 가까워지는 방향으로 이동하는 한 쌍의 이동바;
    상기 이동바들의 이동방향에 따라 상기 하이픽스보드들의 상기 마주보는 변들을 클램핑하거나 클램핑을 해제하도록 각각의 이동바에 마련되는 하나 이상의 클램프; 및
    상기 이동바들을 이동시키기 위한 동력을 제공하는 동력원들; 을 포함하는 것을 특징으로 하는
    테스트핸들러용 하이픽스보드 클램핑장치.
  2. 제 1항에 있어서,
    상기 한 쌍의 이동바는 서로 반대 방향으로 이동하는 것을 특징으로 하는
    테스트핸들러용 하이픽스보드 클램핑장치.
  3. 제 1항에 있어서,
    상기 이동바와 상기 클램프는 상기 하이픽스보드 사이에 설치되고, 상기 이동바를 이동시키기 위한 동력원은 상기 하이픽스보드 상측과 하측에 설치되는 것을 특징으로 하는
    테스트핸들러용 하이픽스보드 클램핑장치.
  4. 제 1항에 있어서,
    상기 이동바들은 서로 반대 방향으로 이동하는 제 1이동바 및 제 2이동바로 마련되고,
    상기 클램프들은 상기 제 1이동바에 마련되는 하나 이상의 제 1클램프 및 상기 제 2이동바에 마련되는 하나 이상의 제 2클램프로 마련되고,
    상기 클램프들의 이동을 가이드 하기 위한 클램프 가이딩부재들은 상기 제 1클램프의 이동을 가이드 하기 위한 하나 이상의 제 1클램프 가이딩부재 및 상기 제 2클램프의 이동을 가이드 하기 위한 하나 이상의 제 2클램프 가이딩부재로 마련되며,
    상기 제 1클램프 가이딩부재와 상기 제 2클램프 가이딩부재는 상기 이동바의 길이방향을 따라 교번되게 배치되는 것을 특징으로 하는
    테스트핸들러용 하이픽스보드 클램핑장치.
  5. 제 4항에 있어서,
    상기 제 1이동바는 상기 제 2클램프와 교차하여 설치되고, 상기 제 2이동바는 상기 제 1클램프와 교차하여 설치되는 것을 특징으로 하는
    테스트핸들러용 하이픽스보드 클램핑장치.
  6. 제 1항에 있어서,
    상기 한 쌍의 이동바 간의 간격을 조절하고 휘는 것을 방지하기 위한 간격조절부재를 더 구비하는 것을 특징으로 하는
    테스트핸들러용 하이픽스보드 클램핑장치.
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