KR100660456B1 - 반도체 소자 테스트용 테스트 트레이 핸들러 - Google Patents
반도체 소자 테스트용 테스트 트레이 핸들러 Download PDFInfo
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Abstract
Description
Claims (11)
- 테스트할 반도체 소자들이 장착된 테스트 트레이가 복수개 적재되는 테스트 트레이 로딩부와;상기 테스트 트레이 로딩부로부터 반송된 테스트 트레이를 수평 상태로 한 스텝씩 반송하면서 반도체 소자들을 소정의 온도 상태로 가열 또는 냉각하는 제 1챔버와;상기 제 1챔버로부터 반송되는 테스트 트레이의 반도체 소자들을 테스트헤드의 테스트소켓에 전기적으로 접속시켜 테스트를 수행하는 제 2챔버와;상기 제 2챔버에 상하로 이동 가능하게 설치되어 상기 테스트 트레이를 가압하여 반도체 소자를 상기 테스트헤드에 접속 및 해제시키는 콘택트 푸쉬유닛과;상기 제 2챔버로부터 반송된 테스트 트레이를 수평 상태로 한 스텝씩 반송하면서 반도체 소자를 냉각 또는 가열하여 상온 상태로 복원시키는 제 3챔버와;상기 제 3챔버로부터 반송된 테스트 완료된 테스트 트레이가 차례로 적재되는 테스트 트레이 언로딩부를 포함하여 구성된 반도체 소자 테스트용 테스트 트레이 핸들러.
- 제 1항에 있어서, 상기 테스트 트레이 로딩부에서 테스트 트레이는 수평 상태로 적층되는 것을 특징으로 하는 반도체 소자 테스트용 테스트 트레이 핸들러.
- 제 1항에 있어서, 상기 테스트 트레이 언로딩부에서 테스트 트레이는 수평 상태로 적층되는 것을 특징으로 하는 반도체 소자 테스트용 테스트 트레이 핸들러.
- 제 1항에 있어서, 상기 테스트헤드는 제 2챔버 내에 복수개가 연속적으로 배열된 것을 특징으로 하는 반도체 소자 테스트용 테스트 트레이 핸들러.
- 제 1항에 있어서, 상기 제 1챔버에서 테스트 트레이는 상측에서 하측으로 한 스텝씩 이동하는 것을 특징으로 하는 반도체 소자 테스트용 테스트 트레이 핸들러.
- 제 1항에 있어서, 상기 제 3챔버에서 테스트 트레이는 하측에서 상측으로 한 스텝씩 이동하는 것을 특징으로 하는 반도체 소자 테스트용 테스트 트레이 핸들러.
- 테스트할 반도체 소자들이 장착된 테스트 트레이가 복수개 적재되는 테스트 트레이 로딩부와;상기 테스트 트레이 로딩부로부터 반송된 테스트 트레이를 수평 상태로 한 스텝씩 반송하면서 반도체 소자들을 소정의 온도 상태로 가열 또는 냉각하는 제 1챔버와;상기 제 1챔버의 하측 또는 상측에 상하로 왕복 이동 가능하게 설치되며, 상기 제 1챔버의 최하측 또는 최상측으로 반송된 테스트 트레이의 반도체 소자들과 전기적으로 접속하는 테스트헤드와;상기 테스트헤드를 테스트 트레이의 반도체 소자와의 접속 위치 및 비접속 위치로 상하로 왕복 이동시키는 메니퓰레이터(manipulator)와;상기 제 1챔버로부터 반송된 테스트 트레이를 수평 상태로 한 스텝씩 반송하면서 반도체 소자를 냉각 또는 가열하여 상온 상태로 복원시키는 제 2챔버와;상기 제 2챔버로부터 반송된 테스트 완료된 테스트 트레이가 차례로 적재되는 테스트 트레이 언로딩부를 포함하여 구성된 반도체 소자 테스트용 테스트 트레이 핸들러.
- 제 7항에 있어서, 상기 테스트 트레이 로딩부에서 테스트 트레이는 수평 상태로 적층되는 것을 특징으로 하는 반도체 소자 테스트용 테스트 트레이 핸들러.
- 제 7항에 있어서, 상기 테스트 트레이 언로딩부에서 테스트 트레이는 수평 상태로 적층되는 것을 특징으로 하는 반도체 소자 테스트용 테스트 트레이 핸들러.
- 제 7항에 있어서, 상기 제 1챔버에서 테스트 트레이는 상측에서 하측으로 한 스텝씩 이동하는 것을 특징으로 하는 반도체 소자 테스트용 테스트 트레이 핸들러
- 제 7항에 있어서, 상기 제 2챔버에서 테스트 트레이는 하측에서 상측으로 한 스텝씩 이동하는 것을 특징으로 하는 반도체 소자 테스트용 테스트 트레이 핸들러.
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KR1020060004925A KR100660456B1 (ko) | 2006-01-17 | 2006-01-17 | 반도체 소자 테스트용 테스트 트레이 핸들러 |
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Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
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KR1020060004925A KR100660456B1 (ko) | 2006-01-17 | 2006-01-17 | 반도체 소자 테스트용 테스트 트레이 핸들러 |
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KR100660456B1 true KR100660456B1 (ko) | 2006-12-22 |
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ID=37815274
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
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KR1020060004925A KR100660456B1 (ko) | 2006-01-17 | 2006-01-17 | 반도체 소자 테스트용 테스트 트레이 핸들러 |
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Cited By (1)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
KR100946695B1 (ko) | 2008-02-12 | 2010-03-12 | 미래산업 주식회사 | 핸들러, 테스트트레이 이송방법, 및 반도체 소자 제조방법 |
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2006
- 2006-01-17 KR KR1020060004925A patent/KR100660456B1/ko active IP Right Grant
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Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
KR100946695B1 (ko) | 2008-02-12 | 2010-03-12 | 미래산업 주식회사 | 핸들러, 테스트트레이 이송방법, 및 반도체 소자 제조방법 |
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