CN1727880A - 多种玻璃衬底检查装置及利用该装置的多种玻璃衬底检查方法 - Google Patents

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Abstract

本发明披露一种可对多种尺寸的玻璃衬底进行检查的多种玻璃衬底检查的技术。本发明包括:主工作台,配置在平台的上部,包括可安置玻璃衬底的主工作台框架;不少于一个的动力生成部,生成用于调整玻璃衬底位置的动力;位置调整支撑部,连接于动力生成部,并由动力生成部进行移送;位置调整夹具部,安装在位置调整支撑部上、用于夹住玻璃衬底的边缘并调整玻璃衬底的位置;控制部,根据输入的玻璃衬底的尺寸信息,判断玻璃衬底的尺寸,从而控制动力生成部以及位置调整夹具部。

Description

多种玻璃衬底检查装置及 利用该装置的多种玻璃衬底检查方法
技术领域
本发明涉及一种玻璃衬底检查装置,更具体而言,本发明涉及一种多种玻璃衬底检查装置及利用该装置的多种玻璃衬底检查方法。该多种玻璃衬底检查装置在进行有关玻璃衬底的异物、渗入以及表面不良等检查时,除了可以检查单一尺寸的玻璃衬底以外,还能够检查多种尺寸的玻璃衬底。
背景技术
对于CRT(Cathode Ray Tube)、LCD(Liquid Crystal Display)、PDP(Plasma Display Panel)等,作为以视觉形式提供像TV、监视器这样的显示信息的图像界面装置,尽管在各装置上显示图像信息的原理互不相同,但作为实现显示的核心部件之一,都使用了玻璃衬底。
例如,在制造TFT-LCD(Thin Film Transistor-Liquide CrystalDisplay)的显示装置的工序中,就有针对用于显示装置的玻璃衬底的一部分工序。用于显示装置的玻璃衬底需要从大尺寸的玻璃衬底上切割下来,切割后的玻璃衬底经过涂覆铬、涂覆黑底(BlackMatrix)、涂覆ITO等多道局部处理工序。在这些局部处理工序前后,在玻璃衬底上会发生其表面由于异物或渗入等产生的不良现象。因为这些玻璃衬底上的异物或渗入会给TFT-LCD显示装置的性能带来致命的影响,所以必须对其进行彻底的检查。因此,玻璃衬底检查装置就是查找出这类由玻璃衬底上的异物或渗入等导致的损伤和缺陷的装置,在制造各种显示装置前,必须进行玻璃衬底的检查工序。
玻璃衬底检查装置一般分为用肉眼搜寻异物等的宏观(Macro)检查装置和利用显微镜精密地搜寻不良状态的微观(Micro)检查装置。虽然有时根据检查项目必须从宏观检查和微观检查中做出选择,但一般做法是,首先操作者用肉眼检查整个玻璃衬底,查看是否存在异物附着等不良状态,然后根据宏观检查的结果仅对需要精细检查的部分,放大约25-100倍后进行微观检查。
图1是现有微观检查装置的立体图。如图1所示,现有微观检查装置包括:用于安置玻璃衬底等的主工作台11、支承主工作台11的平台12、安装在平台12一表面上的光源装置13、以及显微镜照相机之类的光学装置(图中未示出)。光源装置13包括为光学装置提供观测玻璃衬底表面状态所需光线的光源和移送光源的光源输送装置。
主工作台11包括形成框架的主工作台框架,在主工作台框架的一表面上具有多个真空加压的弹性吸附衬垫,用于固定及保持利用机器人手臂等那样的玻璃衬底转送装置所转送、并安置在主工作台11上的玻璃衬底。
平台12由具有规定厚度的自然石构成,目的是使在检查过程中由热产生的热膨胀最小、振动最小,并起到支撑整个检查装置的作用。
主工作台11的主工作台框架的内侧具有结合槽,在结合槽内可以配置横跨主工作台11宽度的玻璃棒(图中未示出)。玻璃棒作为被固定在主工作台框架的下部、用于从下部支承玻璃衬底、维持玻璃衬底的一定的平坦度的构件,在棒状的玻璃上具有多个按一定间隔配置的突出部,与玻璃衬底下表面接触的滚珠可旋转地与各突出部结合。
如显微镜照相机那样的光学装置在平台12的上部,向前后左右移动,精细地检查玻璃衬底的不良等。光学装置也可以与光源同步,与光源一同移动。
根据这种现有技术的玻璃衬底检查装置,由于构成主工作台11的主工作台框架的规格固定成一种,所以其能够检查的玻璃衬底仅限于与主工作台11一致的玻璃衬底。因此,在使用现有技术的玻璃衬底检查装置检查玻璃衬底的过程中,如果放入检查的玻璃衬底属于不同种类的衬底时,就必须选择替换适合各玻璃衬底尺寸的主工作台,从而需要相当多的操作时间,导致生产成本明显提高。这种微观检查装置的利用度,与检查装置的价格相比,导致利用率大大滞后的后果。
发明内容
本发明目的在于提供一种多种玻璃衬底检查装置以及利用该装置的多种玻璃衬底检查方法。作为用于解决上述技术缺陷而提出的该装置和方法,不仅可以检查单一尺寸的玻璃衬底,还可以对多种尺寸的玻璃衬底进行检查。
为达到上述目的,本发明提供一种多种玻璃衬底检查装置,其特征在于包括:主工作台,设置在平台上部,包括可安置玻璃衬底的主工作台框架;不少于一个的动力生成部,生成用以调整玻璃衬底位置的动力;位置调整支撑部,连接在动力生成部上,并通过动力生成部输送;位置调整夹具部,安装在位置调整支撑部上,夹住玻璃衬底的边缘,并调整玻璃衬底的位置;控制部,根据输入的玻璃衬底的尺寸信息判断玻璃衬底的尺寸,从而控制动力生成部以及位置调整夹具部。
根据上述多种玻璃衬底检查装置的例子之一,动力生成部可以配置在平台的上表面。位置调整支撑部包括不少于两个的对称移动部,对称移动部的至少一个连接在动力生成部上,而至少另外一个与其相对,可以同时远离或靠近地平行移动。位置调整夹具部,安装在对称移动部的上部,在开启信号时被垂直竖立,并夹住所述玻璃衬底的边缘,在断开信号时则倾斜成规定的角度。
根据该多种玻璃衬底检查装置的另一个例子,动力生成部配置在主工作台框架上。位置调整支撑部分别配置在主工作台框架的各边上,并包括为垂直于主工作台框架的各边可在内侧移动的移动杆。位置调整夹具部安装在移动杆上。
而且,根据本发明的其他的实施例之一,提供了一种多种玻璃衬底检查方法,其特征在于,使用多种玻璃衬底检查装置检查玻璃衬底的多种玻璃衬底检查方法包括如下步骤:将玻璃衬底的尺寸信息信号输入到控制部;控制部将预先设定的玻璃衬底的尺寸信息信号与输入的玻璃衬底的尺寸信息信号比较,并判断玻璃衬底的尺寸;根据玻璃衬底的尺寸输出用于调整所述玻璃衬底位置的控制信号;根据控制部输出的控制信号,调整配置在所述主工作台上的玻璃衬底的位置。
附图说明
图1为根据现有技术的玻璃衬底检查装置概略分解立体图;图2为根据本发明第一实施例的多种玻璃衬底检查装置概略分解立体图;
图3a为根据本发明第一实施例的多种玻璃衬底检查装置的动力生成部的概要局部分解立体图;图3b为根据本发明第一实施例的多种玻璃衬底检查装置的位置调整支撑部以及位置调整夹具部的概要局部分解立体图;图3c为根据本发明第一实施例的多种玻璃衬底检查装置的传动带部的概要局部分解立体图;图3d为表示根据本发明第一实施例的多种玻璃衬底检查装置的位置调整夹具部的工作状态的局部分解立体图;图4a为表示根据本发明第一实施例的多种玻璃衬底检查装置的工作状态的流程图;图4b为根据本发明第一实施例的四种玻璃衬底检查装置的工作状态中的分解立体图;图5a为根据本发明第二实施例的多种玻璃衬底检查装置的主工作台部的概要分解立体图;图5b为对于图5a的附图标记“A”处的概要局部放大平面图;图5c为对于图5a的主工作台夹具部的其它形态的局部放大立体图;图5d为对于图5a的附图标记“B”处的概要局部放大平面图;图6a为表示根据本发明第一实施例的多种玻璃衬底检查装置的局部工作状态的局部放大平面图;
图6b为表示根据本发明第一实施例的多种玻璃衬底检查装置的局部工作状态的局部放大平面图;图7a为表示根据本发明第一实施例的多种玻璃衬底检查装置的局部工作状态的局部放大平面图;及图7b为表示根据本发明第一实施例的多种玻璃衬底检查装置的局部工作状态的局部放大平面图。
具体实施方式
下面,参照附图,对本发明的实施例进行详细说明。
图2示出了根据本发明一实施例的多种玻璃衬底检查装置的立体图。如图2所示,根据本发明的多种玻璃衬底检查装置包括:主工作台500、动力生成部200、位置调整支撑部300、位置调整夹具部400、控制部120、光学装置、玻璃棒等。在此,为了更清楚地说明本发明,图示中省略了类似于光学装置及玻璃棒的构成要素。
主工作台500配置在平台110的上部,包括可安置玻璃衬底的主工作台框架510(参照图5a)。在主工作台500的主工作台框架上,面向主工作台框架的内侧中心配置结合槽501,所以在该结合槽501内配置横跨主工作台框架的两对边的玻璃棒(未图示)。虽然图中用虚线502示出了玻璃棒(未图示)的排列方向的一个例子,但其配置方向及玻璃棒的构成不仅限于此种情况。也可以是在玻璃棒的一表面上包括一端配置有支撑滚珠的支撑销,用以支承放入装置中的玻璃衬底。
主工作台500,即主工作台框架510通过主工作台支撑部而被保持在平台110上,所以,为在图2中进行清楚地说明,主工作台支撑部被省略。
在平台110的上面,配置有超过一个的动力生成部200,动力生成部200连接到位置调整支撑部300。动力生成部200既可以直接配置在平台110的一表面上,也可以配置在置于平台110一表面的金属板上等,动力生成部200的配置位置不限于上述任一种情况。位置调整支撑部300包括不少于两个的对称移动部310,至少不少于一个的对称移动部310连接在动力生成部200上,并通过动力生成部200生成的动力移动。依靠动力生成部200移动的对称移动部310与至少另一个对称移动部相对,可以同时远离或靠近地平行移动。
在如图2所示的本实施例中,在平台110的上表面上平行配置有两个动力生成部200。位置调整支撑部300由包括两个对称移动部的相互平行的两个对称移动部对构成,两个对称移动部接受各自的动力生成部200提供的动力,相对配置,同时远离或靠近地在同一条线上移动。但是,也可以有能够将动力生成部200配备在每一个位置调整支撑部300的各对称移动部310、相互垂直地配置对称移动部对等多种变形。
位置调整夹具部400安装在各对称移动部的上部,根据开启信号使其垂直竖立,夹住玻璃衬底的边缘,从而将玻璃衬底的位置定位,根据关闭信号使其倾斜到规定的角度,回归至原位置,从而不影响其它结构部件的运作。
控制部120连接在动力生成部200以及位置调整夹具部400上,根据输入控制部120的玻璃衬底的尺寸信息判断玻璃衬底的尺寸,至少输出控制信号到动力生成部200及位置调整夹具部400,从而对安置在主工作台500上的玻璃衬底的位置进行定位。输入控制部120的玻璃衬底的尺寸信息可以通过多种方法获得。例如,作为玻璃衬底的尺寸信息,可以使用通过配置在主工作台500上或主工作台500上部的位置传感器之类的检测装置获得的玻璃衬底的位置信息;根据情况,也可以使用通过键盘输入控制部120的被动的输入信息。
第一实施例如图2及图3a所示,根据本发明的第一实施例的动力生成部200包括流体动作部210和动力生成液压缸驱动部220,动力生成液压缸驱动部220包括动力生成液压缸221和动力生成活塞222。
流体动作部210将加压后的工作流体传送到动力生成液压缸驱动部220。作为工作流体,根据设计可以多样地选择,既可以是空气、氮气那样的气体,也可以是液压油那样的液体。在工作流体由液体构成的情况下,为防止在动力生成液压缸221和动力生成活塞222之间发生工作流体泄漏,还可以在它们之间配备活塞环。
动力生成液压缸221是中空的圆筒,在动力生成液压缸221的外侧包括多个动力生成流出流入口223。动力生成流出流入口223的个数由动力生成液压缸221的级数、即工作行程数决定,但是,动力生成流出流入口223的个数也可以多于工作行程数。
动力生成流出流入口223通过连接软管224连接在流体动作部210上,或使加压后的流体从流体动作部210流入动力生成液压缸221内,或使动力生成液压缸221内的工作流体排到流体动作部210。多个流经动力生成流出流入口223的工作流体的流出口可以有多种变形,既可以分别独立地构成,也可以根据各自的行程分阶段构成。
流入动力生成液压缸221内以及/或者从动力生成液压缸221流出的工作流体引发动力生成液压缸221内的动力生成活塞222一侧的压力变动,从而使动力生成活塞222作直线运动。
动力生成活基222的一端配置在动力生成液压缸221内,另一端连接到位置调整支撑部300,即对称移动部310的一侧。动力生成活塞222作直线运动,所以与其连接的对称移动部310同时也作直线运动。在本实施例中,动力生成液压缸驱动部220由多级液压缸驱动部构成,所以,分为多个阶段限定动力生成活塞222的直线移动距离。动力生成活塞222的移动阶段及移动距离由安置在主工作台框架510(参照图5a)上作为被检查体的玻璃衬底的个数及尺寸决定。例如图2中所示,根据本发明的玻璃衬底装置除了符合主工作台500的主工作台框架510规格的尺寸的玻璃衬底外,还包括比其小的三种其他尺寸,如果对该三种其他尺寸的玻璃衬底进行位置调整时,动力生成活塞222分为三个阶段作直线运动,在各阶段的动力生成活塞222的移动距离与各个玻璃衬底的大小对应并被决定。这种作为多级液压缸驱动部的动力生成液压缸驱动部220的优点在于,由于在被划分成多个阶段的各个行程的动力生成活塞222的移动距离是一定的,因而在使对称移动部310移动时,可以进行准确控制。
动力生成液压缸驱动部220除多级液压缸驱动部之外,还可以利用伺服马达,线性控制动力生成活塞222,使连接在动力生成活塞222一端的对称移动部310连续移动。而且,根据本发明的动力生成部除动力生成液压缸驱动部以外,还可以由动力生成马达驱动部等构成,动力生成马达驱动部由动力生成马达、安装在动力生成马达旋转轴上的齿轮、通过与齿轮的相互作用作直线往返运动且一端连接到对称移动部的齿条构成。根据本发明的动力生成部不仅限于图2及图4a所示的形式,可以有多种变形。
位置调整支撑部300包括:对称移动部对301,包括两个对称移动部310,且相互平行配置;导轨部320,引导对称移动部对(301)的对称移动部310的移动;及,传动带部330,使构成对的对称移动部310同时靠近或远离地同步移动。
图3b示出对称移动部对301的其中任一对称移动部的局部放大图。构成对称移动部对301的各个对称移动部310不仅相互对称地配置,而且还具有几乎相同的结构。但是并非只限于这种情况。
在平台110以及/或者配置在平台110一表面上的金属板上设置用于引导对称移动部310的导轨部320。导轨部320包括用于引导主对称移动部310a的主对称移动部导轨320a,及,用于引导辅助对称移动部310b的辅助对称移动部导轨320b。在图3b中示出了对称移动部310,包括主对称移动部310a、辅助对称移动部310b、和安装在主对称移动部310a的一表面上的主对称移动部金属板310c。这些部件既可以各自独立构成,也可以一体构成。主对称移动部310a和辅助对称移动部310b配置在与导轨部320的长度方向平行的平行线上,但主对称移动部310a及辅助对称移动部310b的结构也可以是,移动方向与导轨部320在同一直线,但配置在与导轨部320的长度方向垂直的平行线上等多种变形。
主对称移动部310a的一侧与动力生成活塞222的一端连接。这里,如图2及图3b所示,示出对称移动部对301中只有一个对称移动部310与动力生成活塞222的一端连接,但如上所述,还可以包括针对对称移动部310的各自的动力生成驱动部220,并将对称移动部310连接在各自的动力生成活塞222上。
在主对称移动部310a的下端包括与主对称移动部导轨320a卡合的主对称移动部导杆310`a,在主对称移动部310a的上表面上包括用于安装位置调整夹具部400的对称移动部金属板310c。
辅助对称移动部310b通过连接部件连接到主对称移动部310a的一侧,将位置调整夹具部400的至少一部分配置在辅助对称移动部310b的上表面上。在辅助对称移动部310b的下表面,包括辅助对称移动部导杆310`b,辅助对称移动部导杆310`b与辅助对称移动部导轨320b卡合,而辅助对称移动部导轨320b或直接地配置在平台110的一表面上,或通过金属板间接地配置在平台110的一表面上。
构成各个对称移动部对301的两个对称移动部310的直线运动,通过各个传动带部330实现同步。如图2及图3c所示,传动带部330包括不少于两个的皮带轮331和传动带33。
皮带轮331由安装在平台110以及/或平台110一表面上的金属板上的皮带轮支撑体331b支承,并可以以皮带轮中心轴331a为中心转动。图中示出包括两个皮带轮331,但并不限于此,也可以是能够包括不少于一个等的多种变形。两个皮带轮331配置在与对称移动部对301以及/或者导轨部320平行的平行线上。皮带轮331的皮带轮中心轴331a与平台110平行,并垂直于各对称移动部对301的行进方向。皮带轮331的外周面通过与传动带332内周面的至少一部分接触而保持传动带332。
为将通过皮带轮331被旋转保持的传动带332的张力维持在合适程度,传动带部330还可以包括调整传动带332张力的张紧轮333。张紧轮333和传动带332的接触位置可以有多种变形,可以在传动带332的上部332a、也可以在传动带332的下部332b等。
由皮带轮331保持的传动带332通过传动带连接装置334和对称移动部对301的各对称移动部310连接。即,如图2及图3c所示,连接在动力生成活塞222上的对称移动部310通过传动带连接装置334连接到传动带332的上部332a。
而且,其它没有连接在动力生成活塞222上的对称移动部310通过传动带连接装置334对称地与传动带332的下部332b连接。传动带连接装置334既可以是另一个构成要素,也可以是从对称移动部310延长形成的延长部;传动带连接装置334和对称移动部310以及/或者传动带332的连接也可以通过铆钉、螺栓等多种结合方式形成。
为了提高皮带轮331和传动带332之间的动力传递,可以采用皮带轮331的外周面与传动带332的内周面相互卡合的结构。即,如图3c所示,也可以是在传动带332的内周面上包括类似于螺纹的突出部333,而在皮带轮331的外周面上包括与形成于传动带332内周面上的突出部333卡合的凹槽部。与此相反,也可以在皮带轮331的外周面上包括突出部,而在传动带332的内周面上包括与其卡合的凹槽部。
这种位置调整支撑部300的工作过程如下:通过动力生成部200的动力生成活塞222作直线运动,连接到动力生成活塞222一端的主对称移动部310a在主对称移动部导轨320a上沿着主对称移动部导轨320a的长度方向作直线运动。此时,连接在主对称移动部310a上的辅助对称移动部310b沿着辅助对称移动部导轨320b与主对称移动部310a一起作直线运动,从而直接或间接配置在主对称移动部310a及辅助对称移动部310b上的位置调整夹具部400也一同作直线运动。
依靠动力生成活塞222作直线运动的对称移动部310的一侧,通过传动带连接装置334连接在传动带332的上端332a,传动带332随着对称移动部310的运动一同运动。传动带332通过皮带轮331可以转动并被保持,所以,传动带332沿着配置在传动带332内侧的皮带轮331作回转运动。
在构成对称移动部对301的对称移动部中,其它没有连接在动力生成活塞222上的对称移动部310通过传动带连接装置334连接在传动带332的下端332b。没有连接在动力生成活塞222上的其它对称移动部310和传动带332的下端332b的连接位置,与连接在动力生成活塞222上的对称移动部310和传动带332的上端332a的连接位置相对称。组成对称移动部对301的两个对称移动部310因为同时移动相同距离,从而能够同时在相互间靠近或远远的方向上作直线运动。
位置调整夹具部400包括夹具部主体410、夹具部拉伸装置420和夹具430。图3b表示夹具部拉伸装置420在闭合状态时的位置调整夹具部400概要局部立体图。图3d表示夹具部拉伸装置420在接通状态时的位置调整夹具部400概要局部立体图。
安装夹具部主体410,使其在主对称移动部金属板310c上以夹具部主体旋转轴412为中心可以转动。其中,主对称移动部金属板310c配置在主对称移动部310a的一表面上。
夹具部拉伸装置420,其一端配置在对称移动部310上,且可以旋转,更具体说,配置在辅助对称移动部310b的一表面上,且可以旋转,另一端安装在夹具部主体410的前端,且可旋转,而且根据拉伸与否,夹具部主体410或垂直竖立或按规定的角度倾斜。如图3b所示,夹具部拉伸装置420包括夹具部液压缸421以及夹具部活塞422。夹具部液压缸421的外侧表面上包括不少于一个的夹具部流出流入口423,夹具部流出流入口423通过连接软管424连接在流体动作部上(图中未标示)。夹具部活塞422的一端配置在夹具部液压缸421内,另一端连接在夹具部主体410的前端,并可以旋转。根据来自控制部120(参照图2)的控制信号,由流体动作部(未标示)加压后的流体流经连接软管424,通过夹具部流出流入口423流入夹具部液压缸421内;或者与此相反,从夹具部液压缸421排出到流体动作部。夹具部活塞422根据夹具部液压缸421内的流体压力变化拉伸或收缩。这里,夹具部拉伸装置为液压缸-活塞驱动装置,但是,也可以是包括夹具部旋转马达、连接到夹具部旋转马达中心轴的齿轮、及随着齿轮的旋转作直线往返运动的齿条的齿条-齿轮型结构夹具等,但是本发明并不限于此,也可以有多种变形。
夹具430配置在夹具部主体410的端部。当通过夹具部拉伸装置420的拉伸,夹具部主体410垂直于平台110竖立时,夹具430与安装在主工作台500上的玻璃衬底的边缘接触。
夹具430与玻璃衬底的边缘接触时,为防止玻璃衬底以及夹具430的磨损及损伤,可以含有具有弹性的弹性材料。在此,作为弹性材料,可从多种材料中进行选择,也可以含有PEEK(polyetheretherketone)。PEEK具有良好的拉伸及弯曲强度、韧性及耐蠕变性等机械特性、化学特性及电气特性,含有PEEK的夹具430可以具有耐磨损性、耐热性、耐蒸气性、耐放射性、耐燃性等优点。
而且,为防止磨损导致的费用增大,夹具430还可以在夹具430的与玻璃衬底接触的部分配备夹具衬垫431。根据情况,为方便夹具衬垫431的安装,夹具430也可以在夹具430的安装夹具衬垫431的位置上形成夹具衬垫的插入槽432,形成将夹具衬垫431插入安装于插入槽432中的结构,且可以替换。而且,夹具衬垫431也可以从具有优良的无静电特性的无静电衬垫中选取,无静电衬垫也可以含有胶合板以及氯丁合成橡胶。
下面,对根据本发明的第一实施例的多种玻璃衬底检查装置的检查方法进行说明。图4a表示在根据本发明第一实施例的多种玻璃衬底检查方法中,玻璃衬底位置调整的过程。为清楚地说明本发明的特征,在玻璃衬底检查方法中,省略玻璃衬底位置调整过程后的检查过程。
首先,将玻璃衬底放到多种玻璃衬底检查装置100中。放入检查的玻璃衬底的尺寸信息输入到控制部120(S600)。这里的玻璃衬底的尺寸信息,既可以通过位置传感器那样的检测装置输入,也可以通过操作者手动操作输入。
根据输入到控制部120的玻璃衬底的尺寸信息,与预先设定尺寸的玻璃衬底的信号加以比较,判断是否符合(S700)。然后,从控制部120输出玻璃衬底位置调整控制信号(S800)。
从控制部120输出的玻璃衬底位置调整控制信号传送到动力生成部200以及/或者位置调整夹具部400,用于调整放入的玻璃衬底的位置(S900),然后,通过光学装置等进行玻璃衬底检查。
图4b具体表示在针对四种玻璃衬底的玻璃衬底检查方法中,玻璃衬底位置调整的例子之一。为了进一步明确地说明,在图4a表示的步骤(S700)以后的过程中,只图示与多种玻璃衬底的位置调整相关的部分。在根据本发明的多种玻璃衬底检查装置中,玻璃衬底的位置调整也适用于玻璃衬底长度、宽度完全不同的多种玻璃衬底。在本实施例中,只说明一方的边缘长度相同,而另一方的边缘长度变化的情况。设定四种玻璃衬底的尺寸为:第一尺寸(1870×2200mm)、第二尺寸(1870×1456mm)、第三尺寸(1870×1100mm)、第四尺寸(1870×728mm)。这里的尺寸是随意选择的,本发明的技术特征不只限于这些玻璃衬底的尺寸。在此,主工作台框架510的规格为1870×2200mm。
首先,根据通过检测装置输入的玻璃衬底的尺寸信息,控制器120将放入的玻璃衬底的尺寸与第一尺寸比较,判断是否一致(S710)。在放入的玻璃衬底的尺寸与第一尺寸一致的情况下,不向动力生成部200以及位置调整夹具部400另外输出玻璃衬底位置调整控制信号,在主工作台框架510上调整好位置后(S910),开始玻璃衬底的检查。
在步骤(S710)中,当放入的玻璃衬底的尺寸与第一尺寸不一致时,将放入的玻璃衬底的尺寸与第二尺寸比较,判断是否一致(S720)。当玻璃衬底与第二尺寸一致时,控制器120向动力生成部200及位置调整夹具部400输出玻璃衬底位置调整控制信号(S820)。根据输入动力生成部200的玻璃衬底位置调整控制信号,多级液压缸形式的动力生成驱动部220工作一个行程,使连接在动力生成驱动部220上的对称移动部310移动一个行程的距离,其它通过传动带部330连接的对称移动部310也移动一个行程的距离。如果对称移动部310的移动结束,就使位置调整夹具部400的夹具部拉伸装置420动作,使夹具部主体410垂直于平台110竖立,装配在夹具部主体410一端的夹具430接触到玻璃衬底边缘的侧面,使玻璃衬底的位置与预先设定的中心位置一致(S921)。玻璃衬底的位置调整好后,夹具部拉伸装置420关闭,夹具部主体410按规定的角度倾斜,返回原位(S922),以避免和后面用于玻璃衬底的微观检查的光源131的移动线路发生干涉。之后利用肉眼以及/或者光学装置检查玻璃衬底表面的检查过程根据通常的方法即可实施。
在步骤(S720)中,当放入的玻璃衬底的尺寸与第二尺寸不一致时,玻璃衬底的尺寸与第三尺寸比较,判断是否一致(S730)。随后的过程中,除动力生成驱动部220的工作步骤(S930)移动两个行程的距离外,输出玻璃衬底位置调整控制信号步骤(S830)、夹具部拉伸装置420的开启步骤(S931)、及夹具部拉伸装置420的关闭步骤(S932)都与放入的玻璃衬底的尺寸与第二尺寸一致时的过程相同。
在步骤(S730)中,当放入的玻璃衬底的尺寸与第二尺寸不一致时,玻璃衬底的尺寸与第三尺寸比较,判断是否一致(S740)。随后的过程中,动力生成驱动部220的工作步骤(S940)除移动三个行程的距离外,输出玻璃衬底位置调整控制信号步骤(S840)、夹具部拉伸装置420的开启步骤(S941)、及夹具部拉伸装置420的关闭步骤(S942)都与放入的玻璃衬底的尺寸与第二尺寸一致时的过程相同。
在步骤(S740)中,当放入的玻璃衬底的尺寸与第三尺寸不一致时,判断为放入的玻璃衬底与预先设定的尺寸范围不一致,并输出错误信息(error message)(S850)。
图4b表示的流程图表示按递减的顺序判断玻璃衬底的尺寸的过程。然而,也可以是按照递增的顺序判断玻璃衬底的尺寸等,根据本发明的构成方法可以有多种变化。
第二实施例图5a表示根据本发明第二实施例的多种玻璃衬底检查装置的主工作台的概要局部立体图。在主工作台500的主工作台框架510上,包括配置在主工作台框架510的各边上的不少于一个的动力生成部520、连接到动力生成部520一端并通过动力生成部520生成的动力进行移动的位置调整支撑部530、以及安装在位置调整支撑部530上且用于夹住玻璃衬底边缘以调整玻璃衬底位置的位置调整夹具部540。
在该实施例中,表述为在主工作台框架510的各边上包括不少于一个的动力生成部520、位置调整支撑部530、及位置调整夹具部540,但本发明不只限于这种情况。即,动力生成部520等也可以只配置在主工作台框架510的相对的两个边上。而且,配置在主工作台框架510的相对的边上的动力生成部520等既可以是相互对称配置的结构,也可以是非对称配置的结构,并且为了便于由机器人手臂放入的玻璃衬底的流入,也可以按照局部结构互不相同等设计进行多种变形。在本实施例中,配置在相对的两个边上的动力生成部520视为是几乎相同的结构,所以集中说明安装在相邻两边上的构成要素等。
图5b表示图5a所示的主工作台500的某一边以附图标记“A”标记的部分的局部放大立体图。动力生成部520a可以用电动马达以及液压马达等多种形式构成,在图5b所示的实施例中,动力生成部520a由通过气-液装置可在多个分段上动作的多级液压缸型动力生成部构成,在动力生成部520的一侧具有流出流入口(图中未标示),由外部的液压动作部(未标示)提供的流体通过流出流入口传送到多级液压缸型动力生成部520,从而动力生成部520的活塞可以作直线运动。
位置调整支撑部530a连接在动力生成部520活塞的一表面上,随着动力生成部520的活塞的直线运动一同作直线运动。位置调整支撑部530a包括移动杆531a,移动杆531a的一端连接在动力生成部520a的一端上。如图5b所示,通过移动杆连接部件521a,移动杆531a的一端也可以是采用螺栓紧固在动力生成部520a的活塞上的结构。然而本发明并不只限于这种结构。
移动杆531a通过动力生成部520的动作能够在垂直于主工作台框架510的方向上移动。为了使移动杆531a顺利地移动,在与移动杆531a的下表面相对的主工作台框架510的一表面上包括移动杆导杆532a,在与移动杆导杆532a对应的移动杆531a的下表面上包括移动杆导杆卡合部533a。这里,移动杆导杆卡合部533a形成滑动导轨型,但并非只限于这种结构。
在移动杆531a的一表面上包括位置调整夹具部540a。随着移动杆531a的移动,位置调整夹具部540a也一同移动。位置调整夹具部540a包括安装在移动杆531a上的调准装置(alignment means)541a、通过调准装置541a可移动的调准杆(alignment bar)542a、以及安装在调准杆542a一端的夹具543a。
调准装置541a由通过气-液装置工作的液压缸型调准装置构成。但并非只限于此种情况,也可以是由电动马达构成等多种变形。调准装置541a的活塞的一端连接到调准杆542a的一侧。调准杆542a,根据调准装置541a运动,与移动杆531a的运动独立地与调准装置541a一同作直线运动。为了使调准杆542a更顺利地移动,在与调准杆542a下表面对应的移动杆531a的一表面上包括不少于一个的调准杆导杆545a,在与调准杆导杆545a对应的调准杆542a的下表面包括调准杆导杆卡合部546a。在此,调准杆导杆545a和调准杆导杆卡合部546a由滑轮导轨型构成,但并非只限于此种结构,也可以有多种构成。
在面对调准杆542a的内侧的一侧上包括不少于一个的夹具543a。当夹具543a与玻璃衬底的边缘接触时,为防止玻璃衬底以及夹具543a的磨损及损伤,夹具543a可以含有具有弹性的弹性材料。作为这种弹性材料含有PEEK(polytheretherketone)。PEEK如上述实施例所述,具有良好的拉伸及弯曲强度、韧性及耐蠕变性等机械特性、化学特性以及电气特性,而含有PEEK的夹具430则具有耐磨损性、耐热性、耐蒸气性、耐放射性、耐燃性等优点。
根据情况,如图5c所示,为防止磨损导致的费用增大,夹具543a还可以在夹具543a的与玻璃衬底接触的部分上配备夹具衬垫544a。夹具衬垫544a可以是具有优良的无静电特性的无静电衬垫,无静电衬垫也可以包括胶合板和氯丁合成橡胶。但也并非只限于这种类型。
为方便夹具衬垫544a的安装,在夹具543a的夹具衬垫544a安装的位置上形成有夹具衬垫的插入槽543`a,形成可在插入槽543`a中替换的插入安装夹具衬垫431的结构。当然,在这种情况下,夹具衬垫544a也可以通过螺栓之类的紧固装置544`a安装在夹具543a上。
夹具543a与调准杆542a的结合可以采用多种形式构成,也可以如图5c所示,将从夹具543a的一侧延长的夹具连接部件543``a与在调准杆542a的一侧形成的夹具连接部件542`a相结合构成。如果在夹具连接部件542`a内可移动地连接夹具连接部件543``a时,在它们之间采用弹簧547a之类的弹性部件,这样,在夹具543接触玻璃衬底的边缘时,能够防止玻璃衬底和夹具543发生磨损及损伤。即,在连接部件543``a和夹具连接部件542`a之间采用弹簧547a时,在适当预加压的状态下安装弹簧547a,这样,在夹具543至夹具衬垫544a接触玻璃衬底的边缘时,由于夹具543至夹具衬垫544a是弹性加压结构,从而可防止由于夹具543至夹具衬垫544a骤然接触所导致的玻璃衬底以及/或者夹具543的损伤。但是,考虑到作为检查体的玻璃衬底的厚度可能是薄膜形状,所以施加在弹簧547a上的预压力以及弹簧547a的弹性系数等必须设定为不会对玻璃衬底施加不合理压力的数值。
图5d表示图5a所示的主工作台500的另一边用附图标记“B”标记的部分的局部放大立体图。图5d所示的动力生成部520b、位置调整支撑部530b、及位置调整夹具部540b与图5b所示的比较,除位置调整支撑部530b的移动杆531b包括多个、及各自通过独立的动力生成部520b移动以外,其它均大致相同。
动力生成部520b也是由通过气-液装置可以在多个阶段上运动的多级液压缸型动力生成部520b构成。在动力生成部520b的一侧具有流出流入口(未标示),由外部的液压动作部(未标示)提供的流体通过流出流入口传送导多级液压缸型动力生成部520b,因而动力生成部520b的活塞可以作直线运动。
位置调整支撑部530b连接在动力生成部520b的活塞的一侧,它随着动力生成部520b的活塞的直线运动一同作直线运动。位置调整支撑部530b具有移动杆531b,移动杆531b的一端连接在动力生成部520b)的一端。如图5d所示,通过移动杆连接部件521b,也可以采用将移动杆531b的一端通过螺栓紧固在动力生成部520b的活塞上的结构,但本发明并不仅限于这种结构。
为了使移动杆531b顺利地移动,在面对移动杆531b的下表面的主工作台框架510b的一表面上,包括移动杆导杆532b,而在与移动杆导杆532b对应的移动杆531b的下表面则具有移动杆导杆卡合部533b。
在移动杆531b的一表面上包括位置调整夹具部540b,通过移动杆531b的移动,位置调整夹具部540b也一同移动。位置调整夹具部540b包括安装在移动杆531b上的调准装置541b、通过调准装置541b而可移动的调准杆542b、以及安装在调准杆542b一端的夹具543b。
调准装置541b,由通过气-液装置工作的液压缸型调准装置所构成。但也可以不限于此,比如可以采用由电动马达构成等多种变形。调准装置541b的活塞的一端连接到调准杆542b的一侧。调准杆542b通过调准装置541b的运动,与移动杆531b的运动相独立地跟随调准装置541b一同作直线运动。为了使调准杆542b更顺利地移动,在与调准杆542b下表面对应的移动杆531b的一表面上包括不少于一个的调准杆导杆545b;在与调准杆导杆545b对应的调准杆542b的下表面具有调准杆导杆卡合部546b。在此,调准杆导杆545b和调准杆导杆卡合部546b采用滑轮导轨型的结构,但并非只限于此种情况,也可以采用多种结构。
在面向调准杆542b内侧的一侧,包括不少于一个的夹具543b。夹具543b与玻璃衬底的边缘接触时,为防止玻璃衬底及夹具543b的磨损及损伤,可以包括PEEK(polyetheretherketone)这样的弹性材料。
根据情况,夹具543b还可以包括夹具衬垫(未图示)。它与上述夹具543a的说明及结构几乎相同。
下面,就根据本发明第二实施例的多种玻璃衬底检查装置的工作过程进行说明。在图6a及图6b中,示出了安装在根据本发明第二实施例的主工作台500各边上的动力生成部、位置调整支撑部、以及位置调整夹具部工作前状态的概要的局部放大平面图。图7a以及图7b示出了工作后状态的概要的局部放大平面图。在此,用虚线表示移动杆导杆532a、532b和移动杆导杆卡合部533a、533b、以及调准杆导杆545a、545b和调准杆导杆卡合部546a、546b。
首先,如图6a及图6b所示,动力生成部520a、520b及调准装置541a、541b在没有从控制部120输入的玻璃衬底位置调整控制信号时,保持非工作状态,连接在动力生成部520a、520b及调准装置541a、541b一端上的移动杆531a、531b及调准杆542a、542b处于原位。
然后,如果判断出放入的玻璃衬底的尺寸以及是否需要调整位置,从控制部120输出的玻璃衬底位置调整控制信号传送到动力生成部520a、520b以及调准装置541a、541b中,如图7a及图7b所示,各自的动力生成部520a、520b以及调准装置541a、541b动作。在动力生成部520a、520b动作的情况下,连接在动力生成部520a、520b一端上的移动杆531a、531b垂直于主工作台框架510的各边移动。通过安装在移动杆531a、531b下表面的移动杆导杆卡合部533a、533b和安装在主工作台框架510上的移动杆导杆532a、532b,使移动杆531a、531b的移动能够更加稳定地进行。
在移动杆531a、531b通过动力生成部520a、520b移动到预先设定的位置后,通过调准装置541a、541b的动作,安装在移动杆531a、531b上的调准杆542a、542b在垂直于主工作台框架510的边的长度方向的方向上移动。在调准杆542a、542b移动时,与移动杆531a、531b的移动相同,通过配置在调准杆542a、542b及主工作台框架510上的调准杆导杆545a、545b以及调准杆导杆卡合部546a、546b,可以做到更加稳定。在此,移动杆531a、531b的移动和调准杆542a、542b的移动是依次地进行,然而发明并非只限于该顺序。
通过调准杆542a、542b的移动,连接在调准杆542a、542b一端上的夹具543a、543b与玻璃衬底(未图示)边缘的侧面接触,玻璃衬底通过夹具543a、543b的移动与其一同移动,从而可以排列在预先设定的位置上。
在上述实施例中所描述的动力生成部以及位置调整夹具部由多级液压缸型以及/或者单级液压缸型构成,但本发明并非只限于此种情形。例如,第一实施例中的位置调整支撑部300的对称移动部310也可以采用以下的构成方式:它不依靠传动带部,而是依靠对应各自对称移动部的独立的线性马达动力生成部来移动,并包括用于检测由线性马达动力生成部输送的对称移动部的位置的限位开关以及/或者位置传感器。但是,优选上述实施例所描述的多级以及/或者单级液压缸型动力生成部以及/或者位置调整夹具部,在可分步骤地正确控制位置的情况下,使用多级以及/或者单级液压缸型驱动装置。
而且,在上述多种玻璃衬底检查装置的买施例中,分别描述了安装在平台上的情况和安装在主工作台上的情况,但是,也可以是结合该两种情况加以实施等,在包括动力生成部、位置调整支撑部、位置调整夹具部、以及用于控制它们的控制部的范围内,可以进行本发明的多种变形。
[效果]根据包括上述结构组成的本发明,可以获得如下效果。
第一,根据本发明的多种玻璃衬底检查装置是一种玻璃衬底检查装置,能够对多种尺寸的玻璃衬底做表面检查,因此可以将高价格装备的利用率最大化。
第二,根据本发明的多种玻璃衬底检查装置是一种玻璃衬底检查装置,能够对多种尺寸的玻璃衬底做表面检查,所以可以免除必须根据放入的玻璃衬底尺寸替换主工作台的烦琐工序,具有节减工序时间提高生产性的效果。
第三,根据本发明的多种玻璃衬底检查装置,具有单级以及/或者多级液压缸型动力生成部、以及位置调整夹具部,从而能够对玻璃衬底进行正确的位置控制及排列。
第四,根据本发明的多种玻璃衬底检查装置,能够不管放入的玻璃衬底的横纵方向而进行玻璃衬底的位置调整及排列,可以适应快速检查多种尺寸的玻璃衬底的要求。
根据本发明的多种玻璃衬底检查装置,能够用于检查在多种尺寸图的玻璃衬底上形成的损伤和缺陷,多种尺寸图的玻璃衬底被用于PDP、TFT-LCD、有机EL等这样的平面显示装置。
符号说明110  平台120  控制部200、520  动力生成部210  流体动作部220  动力生成驱动部300、530  位置调整支撑部310  对称移动部320  导轨部(rail part)330  传动带部(belt part)400、540  位置调整夹具部410  夹具部主体(clamping part body)420  夹具部拉伸装置(clamping part extension means)430、543  夹具(clamper)500  主工作台(main stage)510  主工作台框架(main stage frame)
531  移动杆(moving bar)541  调准装置(alignment means)542  调准杆(alignment bar)

Claims (26)

1.一种多种玻璃衬底检查装置,其特征在于包括:主工作台,配置在平台的上部,包括可安置玻璃衬底的主工作台框架;不少于一个的动力生成部,生成用于调整所述玻璃衬底的位置的动力;位置调整支撑部,连接于所述动力生成部,由所述动力生成部进行移送;位置调整夹具部,安装在所述位置调整支撑部上,用于夹住所述玻璃衬底的边缘并调整所述玻璃衬底的位置;及控制部,根据输入的所述玻璃衬底的尺寸信息,判断所述玻璃衬底的尺寸,从而控制所述动力生成部以及所述位置调整夹具部。
2.根据权利要求1所述的多种玻璃衬底检查装置,其特征在于:所述动力生成部配置在所述平台的上面;所述位置调整支撑部包括不少于两个的对称移动部,连接于所述动力生成部的至少一个对称移动部和至少另一个对称移动部相对,同时远离或靠近地平行移动;所述位置调整夹具部安装在所述对称移动部的上部,通过开启信号被垂直竖立,并夹住所述玻璃衬底的边缘,通过关闭信号被倾斜成规定的角度。
3.根据权利要求2所述的多种玻璃衬底检查装置,其特征在于:所述位置调整支撑部包括具有相对并可同时远离或靠近的两个对称移动部的多个对称移动部对;所述各对称移动部对所包括的两个对称移动部被配置在同一条线上,多个对称移动部对相互平行地配置。
4.根据权利要求3所述的多种玻璃衬底检查装置,其特征在于所述动力生成部包括:流体动作部,提供及容纳工作流体;动力生成液压缸,连接于所述流体动作部,并包括所述工作流体流入或流出的不少于一个的动力生成流出流入口;及动力生成液压缸驱动部,包括动力生成活塞,所述动力生成活塞配置在所述动力生成液压缸内,通过所述工作流体可以拉伸或压缩,且一端连接于位置调整支撑部,所述工作流体根据所述动力生成流出流入口的选择,有选择性地被提供给所述动力生成液压缸内部。
5.根据权利要求3所述的多种玻璃衬底检查装置,其特征在于所述位置调整支撑部还包括:不少于一个的导轨部,设置在平台的一表面上,与所述各对称移动部的一端卡合,并引导所述各对称移动部;及传动带部,所述传动带部包括:不少于两个的皮带轮,所述皮带轮在所述平台的一表面上,可转动地安装在与所述各对称移动部对平行的平行线上,其中心轴平行于所述平台,并垂直于所述各对称移动部对的行进方向;传动带,通过所述皮带轮保持成至少两端的内侧面可运动;在所述各对称移动部对所包括的两个对称移动部中,只有一个连接于所述流体动作部,在所述各对称移动部对中,各对称移动部与所述传动带连接,且不与所述传动带在同一层。
6.根据权利要求5所述的多种玻璃衬底检查装置,其特征在于:在所述皮带轮的外周面上形成凹槽部及突出部中的一个,在所述传动带的内侧面,形成与所述皮带轮的外周面对应的各凹槽部及突出部中的另一个,所述皮带轮的外周面与所述传动带的内侧面相互卡合。
7.根据权利要求5所述的多种玻璃衬底检查装置,其特征在于所述传动带部还包括:不少于一个的张紧轮,所述张紧轮在所述平台的上表面上,与所述传动带配置在同一条线上,对所述传动带的外侧面进行面加压。
8.根据权利要求2所述的多种玻璃衬底检查装置,所述位置调整夹具部包括:夹具部主体,一端可旋转地连接于所述对称移动部上面;夹具拉伸装置,一端可旋转地连接于所述对称移动部上面,另一端可旋转地连接于所述夹具部主体的前端,根据拉伸与否,或使所述夹具部主体垂直于所述平台的一表面竖立,或以规定的角度倾斜;及夹具,在夹具部主体垂直于所述平台一表面竖立时,与所述玻璃衬底的边缘的侧面相接触。
9.根据权利要求8所述的多种玻璃衬底检查装置,其特征在于所述夹具部拉伸装置包括:夹具部液压缸,包括液体流出流入的夹具部流出流入口;夹具部活塞,内置于所述液压缸内,通过利用所述夹具部流出流入口流动的工作流体而拉伸或压缩;所述夹具部液压缸的一端可旋转地安装在所述对称移动部的一表面上,所述夹具部活塞的一端可旋转地连接在夹具部主体的前端。
10.根据权利要求8所述的多种玻璃衬底检查装置,其特征在于:所述夹具包括PEEK。
11.根据权利要求8所述的多种玻璃衬底检查装置,其特征在于:在所述夹具的至少与所述玻璃衬底接触的部分包括夹具衬垫。
12.根据权利要求11所述的多种玻璃衬底检查装置,其特征在于:在所述夹具的面对所述玻璃衬底边缘的剖面上包括夹具衬垫的插入槽,所述夹具衬垫可拆卸地安装在所述夹具衬垫的插入槽内。
13.根据权利要求11所述的多种玻璃衬底检查装置,其特征在于:所述夹具衬垫为无静电衬垫。
14.根据权利要求13所述的多种玻璃衬底检查装置,其特征在于:所述无静电衬垫包括胶合板以及氯丁合成橡胶。
15.根据权利要求1所述的多种玻璃衬底检查装置,其特征在于:所述动力生成部配置在所述主工作台框架上;所述位置调整支撑部分别配置在所述主工作台框架的各边上,并且包括垂直于所述主工作台框架的各边、可在内侧移动的移动杆;所述位置调整夹具部安装在所述移动杆上。
16.根据权利要求15所述的多种玻璃衬底检查装置,其特征在于:所述位置调整支撑部还包括移动杆导杆,用于引导所述移动杆的移动,并配置在垂直于所述主工作台框架的边的方向上;在所述移动杆的一侧还包括与所述移动杆导杆卡合的移动杆导杆卡合部。
17.根据权利要求15所述的多种玻璃衬底检查装置,其特征在于:所述位置调整夹具部包括:不少于一个的调准装置,安装在所述移动杆上;及夹具,依靠所述调准装置移动,并接触所述玻璃衬底边缘的侧面。
18.根据权利要求17所述的多种玻璃衬底检查装置,其特征在于:所述位置调整夹具部还包括调准杆,所述调准杆的一端连接在所述调准装置上,而另一端则连接在所述夹具上。
19.根据权利要求18所述的多种玻璃衬底检查装置,其特征在于:所述位置调整夹具部还包括调准杆导杆,为引导所述调准杆的移动,配置在垂直于所述主工作台框架的边的方向上;在所述调准杆的一侧包括与所述调准杆卡合的调准杆导杆卡合部。
20.根据权利要求17所述的多种玻璃衬底检查装置,其特征在于:所述夹具包括PEEK。
21.根据权利要求17所述的多种玻璃衬底检查装置,其特征在于:在所述夹具的至少与所述玻璃衬底接触的部分包括夹具衬垫。
22.根据权利要求21所述的多种玻璃衬底检查装置,其特征在于:在所述夹具的面对所述玻璃衬底边缘的剖面上包括夹具衬垫的插入槽,所述夹具衬垫可拆卸地安装在所述夹具衬垫的插入槽内。
23.根据权利要求22所述的多种玻璃衬底检查装置,其特征在于:所述夹具衬垫为无静电衬垫。
24.根据权利要求23所述的多种玻璃衬底检查装置,其特征在于:所述无静电衬垫包括胶合板及氯丁合成橡胶。
25.一种多种玻璃衬底检查方法,其特征在于:在使用根据权利要求1所述的多种玻璃衬底检查装置检查玻璃衬底的多种玻璃衬底检查方法中,包括以下步骤:将所述玻璃衬底的尺寸信息信号输入到所述控制部;所述控制部将所述输入的玻璃衬底的尺寸信息信号与预先设定的玻璃衬底的尺寸信息信号比较,判断所述玻璃衬底的尺寸;根据所述玻璃衬底的尺寸,输出用于调整所述玻璃衬底位置的控制信号;及根据所述控制部输出的控制信号,调整配置在所述主工作台上的玻璃衬底的位置。
26.根据权利要求25所述的多种玻璃衬底检查方法,其特征在于:调整配置在所述主工作台上的玻璃衬底的位置的步骤包括:当所述玻璃衬底的尺寸符合预先设定的某个尺寸时,使所述动力生成部动作,并使所述对称移动部移动到规定的位置;向安装在所述对称移动部的上表面上的所述位置调整夹具部输入开启信号,从而所述位置调整夹具部夹住所述玻璃衬底的边缘;通过所述动力生成部,调整被安装在所述对称移动部上的所述位置调整夹具部的位置;及向所述位置调整夹具部输入关闭信号,使所述位置调整夹具部从所述玻璃衬底上分离后隔开。
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