CN101035725A - 基板输送装置 - Google Patents

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Abstract

一种基板输送装置，具有：可以从盒子(CS)搬出基板(W)的盒子侧输送机(3)；可以向对上述基板(W)实施加工的加工装置供给上述基板(W)的加工侧移载手(5)；以及可以在上述盒子侧输送机(3)和上述加工侧移载手(5)之间交接上述基板(W)的基板交接装置(7)。

Description

基板输送装置
技术领域
本发明涉及基板输送装置，尤其涉及使用输送机和移载手，在层叠基板并容纳自如的盒子和对基板施加处理的加工装置之间输送基板的装置。
背景技术
在现有技术中已知如下结构的基板输送装置，即，从层压用于等离子体显示屏等的玻璃基板并容纳它的装载在装载台的规定位置上的盒子，使用移载手(在上述盒子内插入移载手)一张一张取出存在于上述盒子的任意位置上的玻璃基板，并将该取出的玻璃基板转放在辊式输送机上，投入到对上述玻璃基板施加印刷等处理的加工装置中(例如参照特开2002-167039号公报)。
可是，在上述现有的基板输送装置中，在使用移载手从盒子取出玻璃基板时，在玻璃基板之间插入移载手，在进行该插入后使上述移载手相对上述玻璃基板(盒子)相对上升而稍微提升作为输送对象的玻璃基板，从支撑上述玻璃基板的上述盒子的支撑部背离上述玻璃基板并将上述基板载置在上述移载手上，在进行该载置后，将上述移载手移动到上述盒子之外，从而从上述盒子取出玻璃基板。
因而，需要用于将上述移载手插入到玻璃基板之间并且稍微提升作为输送对象的玻璃基板的间隙，必须在一定程度上空开层叠在盒子内的各玻璃基板之间的上下方向的间隔，存在层叠在盒子内的各玻璃基板的上下方向的间距变大的情况，从而有玻璃基板的容纳张数减少，且在盒子中的玻璃基板的容纳效率降低的问题。
另外，若玻璃基板大型化而从移载手外伸的部分变大，则在为了从盒子搬出而稍微提升玻璃基板时上述玻璃基板的挠曲(从上述移载手外伸并与上述盒子的支撑部接触的部位的挠曲)变大，并且为了从上述盒子的上述支撑部背离上述玻璃基板需要进一步提升，所以上述问题变得更明显。
另一方面，在上述现有的基板输送装置中，使用辊式输送机将玻璃基板搬入加工装置中，而在加工装置侧要求利用移载手的情况多。即，例如对基板施加处理的加工装置的部位用罩部件与外部隔开，在搬入上述基板的场合，需要打开开闭自如的上述罩部件的一部分而搬入上述基板，所以若使用辊式输送机，则其所具有的缺点是存在玻璃基板向加工装置的搬入困难的情况。
为了弥补上述缺点，若在上述辊式输送机和上述加工装置之间设置多关节机器人等，则存在基板输送装置的结构变得烦杂，并且基板输送装置的设置面积变大的问题。
另外，上述问题是在用玻璃以外的材质构成的基板上也同样发生的问题。
发明内容
本发明鉴于上述问题做成，其目的在于在自由容纳基板的盒子和对基板施加处理的加工装置之间输送基板的基板输送装置中，提供一种可以提高在上述盒子中的基板的容纳效率，且结构简单，并且能够减小设置面积的基板输送装置。
基于本发明的第一方案的发明是一种基板输送装置，具有：盒子侧输送机，其可以从将基板设为水平可多级容纳的盒子沿水平方向移动上述基板而搬出，或者可以将上述基板沿水平方向移动而搬入到上述盒子；加工侧移载手，其可以将上述基板沿水平方向移动，并向对上述基板实施加工的加工装置供给，或者可以将上述基板沿水平方向移动而从上述加工装置搬出；以及基板交接装置，其可以在上述盒子侧输送机和上述加工侧移载手之间交接上述基板，上述盒子侧输送机、上述加工侧移载手以及上述基板交接装置构成为通过只进行平行移动而移动上述基板。
根据基于第一方案的发明，由于使用盒子侧输送机从盒子搬出基板或将基板搬入盒子中，所以无需将移载手插入基板之间，从而可以减小层叠在金属线盒(ワイヤカセツト)内的各基板之间的间隔(上下方向的间隔)，能够提高在上述盒子上的基板的容纳效率。
再有，由于利用加工侧移载手将基板搬入加工装置中或从加工装置搬出基板，所以可以满足加工装置侧的要求，无需在上述加工装置上另外设置多关节机器人等，所以能够简化基板输送装置的结构，并且能够减小设置面积。
另外，利用盒子侧输送机、加工侧移载手以及上述基板交接装置的基板的移动可以只用不带有改变基板的姿势的转动移动的平行移动来进行，所以不需要用于转动(旋转)基板的间隙，能够减小基板输送装置的设置面积。
基于本发明的第二方案的发明是一种基板输送装置，具有：盒子侧移载手，其可以从将基板设为水平可多级容纳的盒子，保持上述基板的端面或端面近旁并将上述基板沿水平方向移动而搬出，或者可以保持上述基板的端面或端面近旁并将上述基板沿水平方向移动而搬入到上述盒子；加工侧移载手，其可以将上述基板沿水平方向移动，并向对上述基板实施加工的加工装置供给，或者可以将上述基板沿水平方向移动而从上述加工装置搬出；以及基板交接装置，其可以在上述盒子侧移载手和上述加工侧移载手之间交接上述基板，上述盒子侧移载手、上述加工侧移载手以及上述基板交接装置构成为通过只进行平行移动而移动上述基板。
根据基于第二方案的发明，由于使用盒子侧移载手从盒子搬出基板或将基板搬入盒子中，所以在该搬出搬入时无需将基板沿上下方向移动，由于用盒子侧移载手保持基板的端部搬出搬入基板，所以在该搬出搬入时无需将基板沿上下方向移动，而且无需将盒子侧移载手较深地插入基板之间。从而，可以减小层叠在金属线盒内的各基板之间的间隔(上下方向的间隔)，能够提高在上述盒子中的基板的容纳效率。
再有，由于在从盒子搬出基板或向盒子搬入基板时，保持上述基板的端部进行搬出搬入，所以能够进一步避免上述基板损伤或上述基板被污染的危险。另外，由于利用加工侧移载手向加工装置搬入基板或从加工装置搬出基板，所以可以满足加工装置侧的要求，无需在上述加工装置上另外设置多关节机器人等，所以能够简化基板输送装置的结构，并且能够减小设置面积。
另外，利用盒子侧移载手、加工侧移载手以及上述基板交接装置的基板的移动可以只用不带有改变基板的姿势的转动移动的平行移动来进行，所以不需要用于转动(旋转)基板的间隙，能够减小基板输送装置的设置面积。
基于本发明的第三方案的发明是根据第二方案所述的基板输送装置，上述盒子侧移载手具备：沿上述基板的搬出搬入方向较长地延伸的滑动底座；相对上述滑动底座可以沿着上述基板的搬出搬入方向移动的移动部件；以及可以保持上述基板，并且相对上述移动部件可以沿着上述基板的搬出搬入方向移动的保持部件，上述保持部件构成为相对上述滑动底座可自由移动定位。
根据第三方案的发明，由于盒子侧移载手的保持部件相对对于底座部件移动自如的移动部件移动自如地设置，所以能够尽量避免由于较大地设置上述保持部件的移动行程(基板的输送行程)而引起的基板输送装置的设置面积的增大。
基于本发明的第四方案的发明是根据第一方案～第三方案中任何一个方案所述的基板输送装置，利用上述盒子侧输送机或上述盒子侧移载手的基板的搬出搬入方向和利用上述加工侧移载手的基板的搬出搬入方向相互一致，并且具有基板移动定位装置，该基板移动定位装置沿着相对利用上述盒子侧输送机或上述盒子侧移载手、上述加工侧移载手的基板的搬出搬入方向相交的水平方向，自由移动定位用上述盒子侧输送机或上述盒子侧移载手从上述盒子搬出的基板，或者用上述加工侧移载手从加工装置搬出的基板。
根据第四方案所述的发明，由于利用上述盒子侧输送机或上述盒子侧移载手的基板的搬出搬入方向(X轴方向)和利用上述加工侧移载手的基板的搬出搬入方向(X轴方向)相互一致，并且具有沿Y轴方向自由移动定位基板的基板移动定位装置，所以使基板输送装置整体的结构变得更简单，并且即使盒子和加工装置位于在Y轴方向偏离的位置上，也可以在盒子和加工装置之间输送基板。
另外，能够以基板输送装置为间隔，在沿Y轴方向在X轴方向的一端部侧排列的多个盒子和沿Y轴方向在X轴方向的另一端部侧排列的多个加工装置之间输送基板。
基于本发明的第五方案的发明是根据第一方案～第四方案中任何一个方案所述的基板输送装置，上述基板交接装置具备相对上述盒子侧输送机或上述盒子侧移载手和上述加工侧移载手沿上下方向相对自由移动的交接用输送机，并且构成为通过使在上述交接用输送机上的载置上述基板的部位通过设置于上述加工侧移载手上的各切口或各贯通孔，可以在上述盒子侧输送机或上述盒子侧移载手和上述加工侧移载手之间交接上述基板，或者，上述基板交接装置具备相对上述盒子侧输送机或上述盒子侧移载手和上述加工侧移载手沿上下方向相对自由移动的交接用空气浮体装置或交接用超声波浮体装置，并且构成为通过使在上述交接用空气浮体装置或上述交接用超声波浮体装置上的载置上述基板的部位通过设置于上述加工侧移载手上的各切口或各贯通孔，可以在上述盒子侧输送机或上述盒子侧移载手和上述加工侧移载手之间交接上述基板。
根据第五方案所述的发明，由于上述基板交接装置具备沿上下方向自由移动的交接用输送机，并且构成为通过使在上述交接用输送机上的载置基板的部位通过设置于上述加工侧移载手上的各切口或各贯通孔，可以在上述盒子侧输送机和上述加工侧移载手之间交接上述基板，所以能够以简单的结构且只在上下方向移动而交接基板，能够避免基板损伤的危险。
另外，根据第五方案所述的发明，由于上述基板交接装置用交接用空气浮体装置或交接用超声波浮体装置构成，所以能够以简单的结构且只在上下方向移动而交接基板，并且在输送基板时，能够进一步避免上述基板损伤或上述基板被污染的危险。
基于本发明的第六方案的发明是根据第一方案～第五方案中任何一个方案所述的基板输送装置，在上述加工侧移载手的基端部侧，设有用于支撑在上述盒子侧输送机或上述盒子侧移载手和上述加工侧移载手之间沿水平方向移动的上述基板的重量的中间输送机，或者用于支撑在上述盒子侧输送机或上述盒子侧移载手和上述加工侧移载手之间沿水平方向移动的基板的重量的中间空气浮体装置或中间超声波浮体装置。
根据第六方案所述的发明，由于设有中间输送机，所以可以使用该中间输送机在支撑基板的同时，在上述盒子侧输送机和上述交接用输送机之间交接上述基板，能够切实进行基板的交接。
另外，根据第六方案所述的发明，由于设有中间空气浮体装置或中间超声波浮体装置，所以同样能够切实进行基板的交接，再有，在输送基板时，能够进一步避免上述基板损伤或上述基板被污染的危险。
基于本发明的第七方案的发明是根据第一方案～第六方案中任何一个方案所述的基板输送装置，上述加工侧移载手在上下方向排列设置多个。
根据第七方案所述的发明，由于上述加工侧移载手在上下方向排列设置多个，所以可以在短时间内进行基板从加工装置的搬出、基板向加工装置的搬入。
附图说明
图1是表示本发明的第一实施方式的基板输送装置的概略结构的俯视图。
图2是表示本发明的基板输送装置的概略结构的侧视图。
图3是表示本发明的基板输送装置的动作的侧视图。
图4是表示本发明的基板输送装置的动作的侧视图。
图5是表示本发明的基板输送装置的动作的侧视图。
图6是表示本发明的基板输送装置的动作的侧视图。
图7是表示本发明的基板输送装置的动作的侧视图。
图8是表示设置多个基板输送手的状态的图。
图9是表示基板输送装置的变形例的俯视图。
图10是表示本发明的第二实施方式的基板输送装置的概略结构的立体图。
图11是图13的XI向视图。
图12是图10的XII向视图。
图13是表示本发明的第二实施方式的基板输送装置的概略结构的立体图。
图14是表示本发明的第二实施方式的基板输送装置的概略结构的立体图。
图15是表示本发明的第二实施方式的基板输送装置的概略结构的立体图。
图16是表示本发明的第二实施方式的基板输送装置的概略结构的立体图。
具体实施方式
第一实施方式
图1是表示本发明的第一实施方式的基板输送装置1的概略结构的俯视图，图2是表示基板输送装置1的概略结构的侧视图。
另外，为了容易看见，在图2中省略了一方侧(图1的下侧)的侧方部件35、移载手支撑部件39、中间部件41的表示。另外，在本说明书中为了说明的方便，将水平方向的一方向设为X轴方向，将水平方向的另一方向的与上述X轴方向成直角的方向设为Y轴方向，将铅直方向设为Z轴方向。
基板输送装置1是在自由容纳玻璃基板(例如用于等离子体显示屏或液晶显示屏等的矩形且板状的玻璃基板)W的盒子CS和对上述玻璃基板(以下有时称为“基板”)W施加处理(加工)的加工装置(在图1、图2中未图示)之间输送上述基板W的装置，具备盒子侧输送机3和加工侧移载手5。
上述盒子CS通过将成为水平的基板W彼此相互稍微分离并沿上下方向层叠，可以多级容纳上述基板W。
上述盒子侧输送机3可以将容纳在盒子CS内的基板W从存在于最下方的基板开始依次沿水平方向(只在X轴方向)直线移动，而一张一张搬出。另外，上述盒子侧输送机3可以将上述基板W沿水平方向(只在X轴方向)直线移动，将上述基板W一张一张搬入到上述盒子CS。另外，在上述盒子CS内从先搬入的基板开始依次从上往下排列上述基板W。
上述加工侧移载手(transfer hand)5可以将上述基板W一张一张沿水平方向(只在X轴方向)直线移动而向上述加工装置供给，并且将上述基板W一张一张沿水平方向(只在X轴方向)直线移动而从上述加工装置搬出。另外，如已经了解的那样，利用上述盒子侧输送机3的基板W的输送方向和利用上述加工侧移载手5的基板W的输送方向相互一致。
另外，在上述基板输送装置1上设有基板交接装置7，该基板交接装置7通过在上述盒子侧输送机3和上述加工侧移载手5之间只在Z轴方向移动上述基板W，可以交接上述基板W。
上述盒子侧输送机3、上述加工侧移载手5、上述基板交接装置7通过只平行移动上述基板W，换言之，通过不改变上述基板W的姿势而只平行移动上述基板W，来移动上述基板W。
上述盒子侧输送机3在后面详细叙述，构成为在搬出或搬入上述基板W时，在不妨碍上述盒子CS或基板交接装置7的位置，将上述基板从上下方向夹紧而移动。
上述基板交接装置7具备相对上述盒子侧输送机3和上述加工侧移载手5沿上下方向相对自由移动的交接用输送机9，并且构成为通过使在上述交接用输送机9上的载置基板的部位13通过设置于上述加工侧移载手5上的各切口11，可以在上述盒子侧输送机3和上述加工侧移载手5之间只在Z轴方向直线移动上述基板W而进行交接。另外，也可以代替上述切口11设置贯通孔。
在上述加工侧移载手5的基端部侧(盒子CS侧：与加工装置相反的一侧)设有中间输送机19，该中间输送机9用于从上述基板W的下侧支撑在上述盒子侧输送机3和上述加工侧移载手5之间水平方向移动的上述基板W的重量。
另外，上述基板交接装置7构成为使用中间输送机19，可以在上述盒子侧输送机3和上述交接用输送机9之间交接上述基板W，上述中间输送机19在上述盒子侧输送机3和上述交接用输送机9之间设在上述加工侧移载手5(更详细地说是后述移载手支撑部件39)上，并且载置上述基板W的部位15设在比上述加工侧移载手5的基板载置部位17(轨迹线(パスライン)；在用上述加工侧移载手5输送上述基板W时的上述基板W的下表面)还高的位置上。
即，上述交接用输送机9的基板载置部位(在用上述交接用输送机9载置上述基板W时的上述基板W的下表面；上述交接用输送机9的轨迹线)13至少可以在与上述盒子侧输送机3的轨迹线(在用上述盒子侧输送机3载置上述基板W时的上述基板W的下表面)21相同高度的位置和比上述加工侧移载手5的轨迹线17还靠下侧的位置之间上下方向移动。
例如，用辊式输送机构成的上述交接用输送机9的各辊子23可以通过上述切口11在上述范围内沿上下方向移动。
而且，在上述盒子侧输送机3载置基板W且上述加工侧移载手5的轨迹线17位于比上述盒子侧输送机3的轨迹线21还低的位置上，并且上述中间输送机19的工件载置部位(在用上述中间输送机19载置上述基板W时的上述基板W的下表面；上述中间输送机19的轨迹线)15成为与上述盒子侧输送机3的轨迹线21相同高度时，将上述交接用输送机9的基板载置部位13设为与上述盒子侧输送机3的轨迹线21相同的高度，用上述中间输送机19中继(中途接续)从上述盒子侧输送机3向上述交接用输送机9转送基板W，在进行该转送后，通过将上述交接用输送机9的轨迹线13下降到比上述加工侧移载手5的轨迹线17还低的位置上，可以从上述盒子侧输送机3向上述加工侧移载手5交接上述基板W。
另一方面，在上述加工侧移载手5载置基板W且上述加工侧移载手5的轨迹线17位于比上述盒子侧输送机3的轨迹线21还低的位置上，并且上述中间输送机19的轨迹线15成为与上述盒子侧输送机3的轨迹线21相同高度时，使位于比上述加工侧移载手5的轨迹线17还低的位置上的上述交接用输送机9上升到成为与上述盒子侧输送机3的轨迹线21相同的高度，用上述交接用输送机9载置由上述加工侧移载手5载置的基板W，通过将由该交接用输送机9载置的基板W用上述中间输送机19中继而向上述盒子侧输送机3转送，可以从上述加工侧移载手5向上述盒子侧输送机3交接上述基板W。
在这里，更详细说明上述基板输送装置1。
上述盒子CS大致的轮廓构成为长方体形状，在Y轴方向的两端部具备侧部件CS1。为了在上述盒子CS内载置容纳多个基板W，在上述各侧部件CS1之间拉伸设置线状的部件(例如金属线；未图示)。
通过在Z轴方向相同位置(在相同高度)在X轴方向空开规定的间隔沿Y轴方向延伸而设置多个上述金属线，形成一个可以支撑(载置)一张基板W的金属线组。
通过在Z轴方向空开规定的小的间隔设置多个上述金属线组，上述盒子CS可以将基板W设为水平而多级容纳。有时将这样构成的盒子CS称为金属线盒。
另外，在上述盒子CS的X轴方向的一侧面(设有上述加工侧移载手5的一侧的面)上，设有使上述基板W自由出入的开口部。
另外，也可以代替上述金属线盒CS采用通常的盒子(用设在Y轴方向的两端部上的支撑部件支撑上述基板W的结构的盒子)。
上述金属线盒CS使用未图示的堆装起重机或桥式起重机载置在未图示的盒子载置装置上，在Z轴方向移动定位。
上述盒子侧输送机3例如用辊式输送机构成，具备多个辊子27，该辊子27转动自如地设在多个辊支撑部件25的上端部上，该多个辊支撑部件25竖立设置在设置于地面上的底座部件24上。
上述各辊支撑部件25在X轴方向空开规定的间隔竖立设置。而且，将上述金属线盒CS载置在上述盒子载置装置上，若将上述金属线盒CS上下移动，则在未容纳基板W的状态下，可以在上述金属线盒CS的各金属线之间放入上述各辊子27和上述各辊支撑部件25。即，上述各辊子27和上述各辊支撑部件25不会与上述金属线盒CS或上述盒子换装装置干涉，而进入上述金属线盒CS内。
上述盒子侧输送机3的各辊子27以沿Y轴方向延伸的中心轴为转动中心，通过带或链等动力传递部件用马达等驱动器转动而输送基板W。上述各辊子27的上端部形成上述盒子侧输送机3的轨迹线21。
另外，在上述各辊子27中最位于一侧部侧(中间输送机19侧)的辊子27A设在不进入上述盒子CS内的位置上。另外，在上述辊子27A的上方设有辊子26。该辊子26可以用未图示的马达等驱动器转动，并且利用未图示的液压缸等驱动器，相对辊子27A沿接近、背离的方向(Z轴方向)自由移动。
而且，在搬出或搬入上述基板W时，可以将上述基板W用辊子27A和辊子26从上下方向夹紧而移动。另外，也可以消除用于转动驱动上述辊子26的驱动器，构成为使辊子26自由转动。
在上述盒子侧输送机3的X轴方向的一侧部设有加工侧移载手5。该加工侧移载手5大致轮廓形状为长方形形状且薄的板状，并且设为使厚度方向成为Z轴方向。另外，从上述加工侧移载手5的X轴方向的前端部(与设有盒子侧输送机3的一侧相反的一侧的端部)直到X轴方向的基端部侧，在Y轴方向空开规定的间隔形成有多个矩形形状的切口11。通过这样形成切口11，也可以说上述加工侧移载手5形成为梳齿状。
另外，在基板输送装置1上设有基板移动定位装置30，该基板移动定位装置30可以将用上述盒子侧输送机3从上述盒子CS搬出的基板W，或者用上述加工侧移载手5从加工装置搬出的基板W，沿着相对利用上述盒子侧输送机3、上述加工侧移载手5的基板的搬出搬入方向(X轴方向)相交的水平方向(例如正交的Y轴方向)自由移动定位。
若更详细说明，则在上述底座部件24的旁边(X轴方向的一侧部侧)设有底座部件29，通过设在该底座部件29上的导轨31，使基台33沿Y轴方向自由移动。上述基台33通过未图示的滚珠丝杠等动力传递装置用未图示的马达等驱动器沿Y轴方向自由定位。
在上述基台33上的Y轴方向的两端部一体地竖立设置各侧方部件35。在上述各侧方部件35的内侧通过一体设置于上述各侧方部件35上的导轨37，沿Z轴方向移动自如地设有移载手支撑部件39。上述移载手支撑部件39通过未图示的滚珠丝杠等动力传递装置用未图示的马达等驱动器沿Z轴方向自由移动。
在上述移载手支撑部件39的内侧，沿X轴方向移动自如地设有中间部件41。再有，在上述中间部件41的内侧，沿X轴方向移动自如地设有上述加工侧移载手5。再有，上述加工侧移载手5可以通过未图示的滚珠丝杠等动力传递装置用未图示的马达等驱动器沿X轴方向(与上述盒子侧输送机3相反的一侧的方向)，从上述移载手支撑部件39突出到在图1或图2中用双点划线表示的位置而自由移动定位。
另外，在上述盒子侧输送机3的X轴方向的一侧部侧设有交接用输送机9。该交接用输送机9如上所述例如用辊式输送机构成，该辊式输送机的轨迹线13可以在Z轴方向自由移动定位。
若进一步详细说明，则在上述移载手支撑部件39、上述中间部件41、上述加工侧移载手5的下侧，通过一体设置于上述各侧方部件35上的导轨37，沿Z轴方向移动自如地设有交接用输送机底座部件43。上述交接用输送机底座部件43可以通过未图示的滚珠丝杠等动力传递装置用未图示的马达等驱动器(与驱动上述移载手支撑部件39的驱动器不同的驱动器)沿Z轴方向自由定位。
在上述交接用输送机43上，在Y轴方向空开规定的间隔设有多个辊支撑部件45，在该辊支撑部件45的上端部上转动自如地设有多个辊子23。
而且，若相对上述移载手支撑部件39沿上下方向相对移动上述交接用输送机底座部件43，则上述辊支撑部件45或上述交接用输送机9的辊子23通过上述加工侧移载手5的切口11移动。
即，上述交接用输送机9的轨迹线13至少可以在从上述加工侧移载手5向下方背离的规定位置和上述盒子侧输送机3的轨迹线21之间移动。
另外，上述交接用输送机9的各辊子23以沿Y轴方向延伸的中心轴为转动中心，通过带或链等动力传递部件用马达等驱动器转动而输送基板W。
在上述加工侧移载手5的另一端部侧(基端部侧；上述盒子侧输送机3和上述各切口11之间)，设有上述中间输送机(例如辊式输送机)19。
上述中间输送机19的各辊子47相对于设置为使厚度方向成上下方向的矩形的板状的辊支撑部件48可自由转动，上述辊支撑部件48一体设在上述移载手支撑部件39上。从而，上述中间输送机19的各辊子47相对上述移载手支撑部件39可自由转动。
上述中间输送机19的各辊子47以沿Y轴方向延伸的中心轴为转动中心，通过带或链等动力传递部件用马达等驱动器转动而输送基板W。另外，也可以消除用于转动驱动上述中间输送机19的各辊子47的装置(上述带或链等)。
上述加工侧移载手5在上述辊支撑部件48的下侧从上述辊支撑部件48分离设置。另外，在上述加工侧移载手5未向加工装置侧延伸的状态下(图2所示的状态)，上述加工侧移载手5的未形成切口11的部位位于上述辊支撑部件48的下侧。
如上所述通过设置中间输送机19，可以支撑在盒子侧输送机3和加工侧移载手5(交接用输送机9)之间移动的W的重量。
接着，说明基板输送装置1的动作。
图3～图7是表示基板输送装置1的动作的侧视图。另外，图6是在图7所示的状态下的俯视图。
以下说明将基板W从盒子CS输送到加工装置(处理装置)的情况。
首先，如图2所示，假设容纳基板W的盒子CS位于盒子侧输送机3的上方，盒子侧输送机3的轨迹线21和中间输送机19的轨迹线15位于相同的高度上，交接用输送机9的轨迹线13位于比加工侧移载手5的轨迹线17还靠下方的位置上。
在该状态下，使上述盒子CS向下方移动，直到上述盒子CS载置的基板W中位于最下侧的基板W与上述盒子侧输送机3的辊子27接触，并且使上述交接用输送机底座部件43上升，直到上述中间输送机19的轨迹线15和上述交接用输送机9的轨迹线13相互一致(参照图3)。
接着，驱动上述各输送机3、19、9移动基板W，直到上述位于最下方的基板W载置在上述交接用输送机9上(参照图4)。在这样移动基板W时，用上述辊子27A和上述辊子26夹紧基板W。
接着，下降交接用底座部件43，用加工侧移载手5载置由上述交接用输送机9载置的基板W(参照图5)。
接着，伸出上述加工侧移载手5和上述中间部件41，将基板W搬入到加工装置(参照图6、图7)。
另外，即使上述加工侧移载手5和上述中间部件41伸出，转动自如的上述中间输送机19也不移动，但也可以将上述中间输送机19设在上述加工侧移载手5上，在上述加工侧移载手5或上述中间部件41伸出时，使上述中间输送机19也同时移动。
在上述搬入后，缩回上述加工侧移载手5和上述中间部件41，并且下降上述盒子CS，直到上述盒子侧输送机3的辊子27与载置在上述盒子CS上的下一个基板(由上述盒子CS载置的基板W中位于最下侧的基板)W接触，进行上述下一个基板W的搬出。
在从上述加工装置向上述盒子CS输送基板W的场合，以与上述动作大致相反的动作进行基板W的输送。
根据基板输送装置1，由于利用盒子侧输送机3从盒子CS搬出基板W或向盒子CS搬入基板W，所以在该搬出搬入时无需上下方向移动基板W，而且，无需在基板之间插入移载手，从而能够减小层叠在金属线盒CS内的各基板W之间的间隔(上下方向的间隔)，能够提高在上述盒子CS中的基板的容纳效率。
另外，由于使用加工侧移载手5向加工装置搬入基板W或从加工装置搬出基板W，所以能够满足加工装置侧的要求，无需在上述加工装置上另外设置多关节机器人等，所以能够简化基板输送装置1的结构，并且能够减小设置面积。
再有，由于利用盒子侧输送机3、加工侧移载手5以及基板交接装置7的基板W的移动(输送)只用不带有改变基板W的姿势的转动运动的平行移动来进行，所以不需要用于转动(旋转)基板W的间隙，能够减小基板输送装置1的设置面积。
更详细说明，若使矩形形状的基板W以该中心(通过中心沿Z轴方向延伸的轴)为旋转中心进行旋转，则该旋转所需的间隙至少需要相当于以基板W的对角线为直径的圆的部分。再有，若将旋转中心从基板W的中心偏离，则旋转所需的间隙更加变大，并且由于由旋转产生的角加速度(切向加速度)或向心加速度(法向加速度)，产生基板W的位置偏移的危险。
对此若只用平行移动来移动基板W，则不需要如在旋转基板W时所需的间隙，从而能够减小基板输送装置1的设置面积。再有，能够避免因旋转而使基板W位置偏移的危险。
如上所述，若能够减小基板输送装置1的设置面积，则当在无尘室内使用基板输送装置1时，可以减小作为高价设备的无尘室的大小。而且，由于无需旋转基板W，所以不需要如上所述用于旋转基板W的机构。
另外，旋转较大的基板W的机构一般构成为通过用齿轮等构成的减速机并用马达等驱动器旋转载置有基板的载置台。在该结构中存在齿轮的齿隙，所以为了准确对准定位上述载置台需要使用定位销等的定位机构，从而使基板输送装置的结构变得烦杂。再有，为了防止由基板W的旋转引起的基板W的位置偏移或由于在用上述定位销定位载置台时产生的冲击而产生的基板W的位置偏移，需要使上述载置台或上述定位销缓慢动作，从而使基板W的输送效率下降。
本发明的基板输送装置1不需要基板W的旋转机构，所以结构变得简单，而且由于不用旋转基板W，所以在基板旋转时的基板W的偏移消失，能够加快基板W的输送速度并能够提高基板W的输送效率。
另外，根据基板输送载置1，由于构成为当搬出或搬入基板W时，用辊子26和辊子27A从上下方向夹紧基板W而移动，所以即使对基板W施加较大的力进行输送(即使施加在基板W上的加速度(包括负加速度)大)也能够抑制在基板W和盒子侧输送机3之间产生滑动的危险，可以快速输送基板W。
另外，根据基板输送装置1，由于基板交接装置7具备上下方向移动自如的交接用输送机9，并且构成为通过使在上述交接用输送机9上的载置基板W的部位通过设置于上述加工侧移载手5上的各切口11，可以在上述盒子侧输送机3和上述加工侧移载手5之间交接基板W，所以能够以简单的结构且只在上下方向移动而交接基板W，能够避免基板W损伤的危险。
另外，根据基板输送装置1，由于设有中间输送机19，所以可以使用该中间输送机19在支撑基板W的同时，在上述盒子侧输送机3和上述交接用输送机9之间交接基板W，能够切实进行基板W的交接。
另外，如已经了解的那样，为了一体连接互相空开间隔设置的各载置部位(设有切口11的部位)，在加工侧移载手5上的未设置切口11的切口非形成部位是必不可少的。
另一方面，在加工侧移载手5上的上述切口非形成部位，不能通过构成交接装置7的各辊子47，所以在上述切口非形成部位上未设置交接装置7。
从而，假如未设置中间输送机19，则在位于盒子CS和加工侧移载手5的载置部位之间的上述切口非形成部位上，未设置从下方支撑在盒子CS和上述加工侧移载手5之间移动的基板W的装置，从而存在输送的基板W被重力挠曲等基板不能顺利输送的危险。
但是，由于在基板输送装置1上设有中间输送机19，所以即使在上述切口非形成部位上也可以从下方支撑基板W，能够避免在基板输送时的由重力引起的基板W的挠曲，可以顺利输送基板W。
另外，根据基板输送装置1，由于利用盒子侧输送机3的基板W的搬出搬入方向(X轴方向)和利用上述加工侧移载手5的基板W的搬出搬入方向(X轴方向)相互一致，并且具备沿Y轴方向自由移动定位基板W的基板移动定位装置30，所以基板输送装置1整体的结构变得更简单，并且即使盒子CS和加工装置在Y轴方向位于偏移的位置上，也可以在盒子CS和加工装置之间输送基板。
另外，能够以基板输送装置1为间隔，在沿Y轴方向在X轴方向的一端部侧排列的多个盒子CS和沿Y轴方向在X轴方向的另一端部侧排列的多个加工装置之间输送基板W。
另外，如图8(表示设置多个加工侧移载手5的状态的图)所示，也可以在上下方向排列设置多个上述加工侧移载手5(例如两个)。
根据这样构成的基板输送装置，可以在短时间内进行基板从加工装置的搬出、基板W向加工装置的搬入。
例如，在位于下方的加工侧移载手5B上载置未处理的基板W的状态下，将上述各加工侧移载手5A、5B移动到加工装置，在将用上述加工装置处理完的基板W载置在位于上方的加工侧移载手5A上后，将由上述加工侧移载手5B载置的基板搬入到上述加工装置，在进行该搬入后，从上述加工装置分离上述各加工侧移载手5A、5B，则可以在短时间内进行基板W从加工装置的搬出、基板W向加工装置的搬入。
另外，在上述第一实施方式中，如图9(表示基板输送装置的变形例的俯视图)所示，也可以相对利用上述各输送机3、9、19的上述基板W的输送方向(X轴方向)，改变利用上述加工侧移载手5的上述基板W的输送方向(Y轴方向)。
第二实施方式
图10、图11～图16是表示本发明的第二实施方式的基板输送装置101的概略结构的立体图，图11是图13的XI向视图，图12是图10的XII向视图。
第二实施方式的基板输送装置101代替输送机使用移载手，从盒子搬出基板或向盒子搬入基板，而且交接用输送机或中间输送机用空气浮体构成，除此之外与上述第一实施方式的基板输送装置1同样构成而得到大致同样的效果，并且由于基板不接触输送机，所以能够进一步提高基板的净化度等。
若详细说明，则基板输送装置101具备盒子侧移载手102。该盒子侧移载手102构成为可以从将基板W设为水平可多级容纳的盒子，保持上述基板W的端面或端面近旁，将上述基板W搬出到图14所示的位置(第一规定位置PS1)。
另外，上述盒子侧移载手102构成为可以保持上述基板W的端面或端面近旁而将位于图14所示的位置PS1上的上述基板W搬入到上述盒子。
上述盒子侧移载手102具备L字状的移动部件106。该移动部件106沿基板W的搬出搬入方向(X轴方向)较长地延伸，并且相对滑动底座(底座部件)107可以沿基板W的搬出搬入方向自由移动定位。该滑动底座107沿基板的搬入搬出方向(X轴方向)较长地延伸，并且一体设在底座部件104上。
另外，上述底座部件104与上述交接用输送机底座部件43同样，可以在X轴方向、Y轴方向自由移动定位。
在上述移动部件106上设有用于保持上述基板W的保持部件108。该保持部件108相对上述移动部件106可沿X轴方向自由移动定位。
通过这样构成，即使加大保持部件108相对底座部件104的移动行程，也能够缩短基板输送装置101的X轴方向的长度，能够尽量避免设置面积的增大。
上述保持部件108例如具备吸盘110，如图11所示，通过吸附基板W的端面近旁的下表面，可以保持上述基板W。代替上述吸盘110，也可以夹紧上述基板W的端面近旁而保持上述基板W。
另外，为了稳定地输送(转送)基板W，上述移动部件106、上述保持部件108等在Y轴方向分开而设置多个(例如两个)。
另外，设有用于在上述盒子的下部侧支撑用上述盒子侧移载手102搬出或搬入的上述基板W的重量的盒子侧空气浮体装置(未图示)。
上述盒子侧空气浮体装置例如具备用具有透气性的陶瓷形成的支撑部件，可以从上述支撑部件喷出利用压缩空气供给装置供给的压缩空气，以与上述基板W不接触的状态支撑上述基板W的重量。
另外，代替透气性的陶瓷，也可以用透气性的烧结金属等构成上述支撑部件。另外，也可以使用用不具有透气性的材质填充的金属等部件，在该金属等部件上设置多个孔，从这些孔喷出压缩空气而支撑上述基板W。
另外，基板输送装置101具备加工侧移载手112(与上述加工侧移载手5同样构成的移载手)，该加工侧移载手112可以向对上述基板W施加加工的加工装置供给存在于位于上述第一规定位置的下面的第二规定位置(图15所示的位置PS3)上的上述基板W，或者从上述加工装置向上述第二规定位置搬出上述基板W。
上述加工侧移载手112与上述加工侧移载手5同样，通过中间部件115(参照图16)设在移载手支撑部件114(与上述移载手支撑部件39同样，在Y轴、Z轴方向可自由移动定位的移载手支撑部件)上，上述加工侧移载手112相对上述移载手支撑部件114可以沿X轴方向突出而移动。
再有，基板输送装置101具备可以在上述第一规定位置和上述第二规定位置之间交接上述基板W的基板交接装置116。
上述交接装置116具备相对上述盒子侧移载手102和上述加工侧移载手112在上下方向相对自由移动的交接用空气浮体装置118，通过使上述交接用空气浮体装置118的载置上述基板W的部位通过设置于上述加工侧移载手112上的各切口，可以在上述第一规定位置和上述第二规定位置之间交接上述基板W。
若更详细说明，则上述交接用空气浮体装置118具备支撑部件120，该支撑部件120在上述底座部件104的上方沿X轴方向延伸并在Y轴方向空开间隔而在上述底座部件104上一体设置多个。
上述支撑部件120与上述盒子侧空气浮体装置的支撑部件同样构成，可以喷出气体而支撑基板W。
另外，在上述第一规定位置和上述盒子之间设有用于支撑利用上述盒子侧移载手102输送的基板W的中间空气浮体装置122。
上述中间空气浮体装置122具备支撑部件124，该支撑部件124在上述盒子侧且在上述移载手支撑部件114的内侧，在Y轴方向空开间隔而在上述底座部件104上一体设置多个。
另外，为了避开与上述加工侧移载手112或上述支撑部件124的干涉，上述移动部件106在Y轴方向设在上述加工侧移载手112和上述支撑部件124之间。
在这里，说明基板输送装置101的动作。
图10表示初始状态。在该初始状态下，位于上述盒子的最下方的基板W的下表面、上述吸盘110的上端、上述支撑部件124的上表面以及上述支撑部件120的上表面成为大致相同的高度，而且，上述加工侧移载手112的上表面位于比上述各支撑部件120、124的上表面还靠下方的位置上。再有，上述移动部件106未向盒子侧突出，在俯视收纳在上述底座部件104的内侧。
在上述初始状态下，上述移动部件106向盒子侧突出，并且上述保持部件108也向盒子侧移动，用上述吸盘110吸附上述最下方的基板W的端面近旁的下部，从而保持上述基板W(参照图11、图13)。
接着，接通在上述各支撑部件120、124上的空气浮体，并且将上述移动部件106和上述保持部件108向离开上述盒子的方向移动，从而在上述各支撑部件120、124浮上气体而支撑上述基板W的重量，同时将上述基板W输送到第一规定位置PS1(参照图14)。
接着，若将上述底座部件104向下方移动，则伴随该移动，用上述支撑部件120支撑的基板W也向下方移动，在该移动的途中上述基板W载置在上述加工侧移载手112上，该载置的位置成为第二规定位置PS2(参照图15)。
在上述基板W位于PS3位置上的状态下，各支撑部件120、124的空气浮体被断开。
接着，向加工装置侧伸出上述加工侧移载手112，将基板W搬入到上述加工装置(参照图16)，在进行该搬入后，缩回上述加工侧移载手112，并适当调整上述底座部件104、上述移载手支撑部件114的高度等，返回上述初始状态。
反复进行上述各动作，基板W一张一张从上述盒子搬入到上述加工装置。
另外，在从上述加工装置向上述盒子输送基板的场合，进行与上述动作相反的动作。
另外，如已经了解的那样，与上述第一实施方式同样，利用上述各移载手102、112的上述基板W的输送方向相互一致。
根据基板输送装置101，由于利用盒子侧移载手102从盒子搬出基板W或向盒子搬入基板W，所以在该搬出搬入时无需上下方向移动基板W，由于用盒子侧移载手102保持基板W的端部搬出搬入基板，所以在该搬出搬入时无须在上下方向移动基板W，而且，无需将盒子侧移载手102较深地插入到基板W之间。从而，能够减小层叠在盒子内的各基板W之间的间隔(上下方向的间隔)，能够提高在上述盒子中的基板的容纳效率。
再有，由于在从盒子搬出基板W或向盒子搬入基板W时，保持上述基板W的端部进行搬出搬入，所以能够进一步避免上述基板W的中央部损伤或上述基板W被污染的危险。而且，由于使用加工侧移载手112向加工装置搬入基板W或从加工装置搬出基板W，所以能够满足加工装置侧的要求，无需在上述加工装置上另外设置多关节机器人等，所以能够简化基板输送装置101的结构，并且能够减小设置面积。
另外，由于利用盒子侧输送机、加工侧移载手以及上述基板交接装置的基板W的移动只用不带有改变基板W的姿势的转动运动的平行移动来进行，所以不需要用于转动(旋转)基板W的间隙，能够减小基板输送装置101的设置面积。
另外，与上述第一实施方式同样，也可以将上述加工侧移载手112在上下方向排列设置多个。
再有，代替上述各空气浮体装置，也可以采用使用超声波使基板W上浮的超声波浮体装置。
上述超声波浮体装置通过用超声波振子使基板支撑部件振动，可以利用形成于基板W和上述基板支撑部件之间的薄的空气膜，支撑基板W的重量。
若举例详细说明，则上述超声波浮体装置具备超声波发生元件(例如压电元件)。
在上述超声波发生元件的上侧设有用于放大该超声波发生元件发生的振动的喇叭。上述基板支撑部件通过连接部件设在上述喇叭的上部。
而且，由上述超声波发生元件发生的振动传递到上述基板支撑部件，通过该基板支撑部件主要在上述基板W的厚度方向振动，在基板W和上述基板支撑部件之间产生以空气为介质的辐射压力(根据空气的疏密波的辐射压力)，利用该辐射压力，在上述基板W和上述基板支撑部件之间生成薄的空气膜，可以用上述支撑部件支撑上述基板W的重量。
另外，日本专利申请第2005-162225号(2005年6月2日申请)的全部内容作为参照编入本申请说明书中。
另外，本发明不局限于上述发明的实施方式，通过进行适当的变更，可以用其他方式实施。

Claims (7)

1.一种基板输送装置，其特征在于，
具有：盒子侧输送机，其可以从将基板设为水平可多级容纳的盒子将上述基板沿水平方向移动而搬出，或者可以将上述基板沿水平方向移动而搬入到上述盒子；
加工侧移载手，其可以将上述基板沿水平方向移动，并向对上述基板施以加工的加工装置供给，或者可以将上述基板沿水平方向移动而从上述加工装置搬出；以及
基板交接装置，其可以在上述盒子侧输送机和上述加工侧移载手之间交接上述基板，
上述盒子侧输送机、上述加工侧移载手以及上述基板交接装置构成为通过只进行平行移动而移动上述基板。
2.一种基板输送装置，其特征在于，
具有：盒子侧移载手，其可以从将基板设为水平可多级容纳的盒子，保持上述基板的端面或端面近旁并将上述基板沿水平方向移动而搬出，或者可以保持上述基板的端面或端面近旁并将上述基板沿水平方向移动而搬入到上述盒子；
加工侧移载手，其可以将上述基板沿水平方向移动，并向对上述基板施以加工的加工装置供给，或者可以将上述基板沿水平方向移动而从上述加工装置搬出；以及
基板交接装置，其可以在上述盒子侧移载手和上述加工侧移载手之间交接上述基板，
上述盒子侧移载手、上述加工侧移载手以及上述基板交接装置构成为通过只进行平行移动而移动上述基板。
3.根据权利要求2所述的基板输送装置，其特征在于，
上述盒子侧移载手具备：沿上述基板的搬出搬入方向较长地延伸的滑动底座；
相对上述滑动底座可以沿着上述基板的搬出搬入方向移动的移动部件；以及
可以保持上述基板，并且相对上述移动部件可以在上述基板的搬出搬入方向移动的保持部件，
上述保持部件构成为相对上述滑动底座可自由移动定位。
4.根据权利要求1～3中任何一项所述的基板输送装置，其特征在于，
利用上述盒子侧输送机或上述盒子侧移载手的基板的搬出搬入方向和利用上述加工侧移载手的基板的搬出搬入方向相互一致，
并且具有基板移动定位装置，该基板移动定位装置沿着相对利用上述盒子侧输送机或上述盒子侧移载手、上述加工侧移载手的基板的搬出搬入方向相交的水平方向，可自由移动定位用上述盒子侧输送机或上述盒子侧移载手从上述盒子搬出的基板，或者用上述加工侧移载手从加工装置搬出的基板。
5.根据权利要求1～4中任何一项所述的基板输送装置，其特征在于，
上述基板交接装置具备相对上述盒子侧输送机或上述盒子侧移载手和上述加工侧移载手沿上下方向相对自由移动的交接用输送机，并且构成为通过使在上述交接用输送机上的载置上述基板的部位通过设置于上述加工侧移载手上的各切口或各贯通孔，可以在上述盒子侧输送机或上述盒子侧移载手和上述加工侧移载手之间交接上述基板，或者，
上述基板交接装置具备相对上述盒子侧输送机或上述盒子侧移载手和上述加工侧移载手沿上下方向相对自由移动的交接用空气浮体装置或交接用超声波浮体装置，并且构成为通过使在上述交接用空气浮体装置或上述交接用超声波浮体装置上的载置上述基板的部位通过设置于上述加工侧移载手上的各切口或各贯通孔，可以在上述盒子侧输送机或上述盒子侧移载手和上述加工侧移载手之间交接上述基板。
6.根据权利要求1～5中任何一项所述的基板输送装置，其特征在于，
在上述加工侧移载手的基端部侧，设有用于支撑在上述盒子侧输送机或上述盒子侧移载手和上述加工侧移载手之间沿水平方向移动的上述基板的重量的中间输送机，或者用于支撑在上述盒子侧输送机或上述盒子侧移载手和上述加工侧移载手之间沿水平方向移动的基板的重量的中间空气浮体装置或中间超声波浮体装置。
7.根据权利要求1～6中任何一项所述的基板输送装置，其特征在于，
上述加工侧移载手在上下方向排列设置多个。
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