CN101063831A - 搬运装置 - Google Patents

Abstract

本发明提供一种搬运装置，其是一种不对带状的工件施加负荷、以稳定的状态进行搬运的搬运机构。搬运机构(A)的供给卷筒旋转部(1)配置于比供给侧第一导引滚子(2)高的位置，供给侧第二导引滚子(3)配置于与供给侧第一导引滚子(2)相同或较低的位置，并且该供给侧第二导引滚子(3)配置于比第一搬运滚子(4)高的位置，卷绕卷筒旋转部(9)配置于比卷绕侧第二导引滚子(8)高的位置。卷绕侧第二导引滚子(8)配置于与卷绕侧第一导引滚子(7)相同或较高的位置，并且该卷绕侧第二导引滚子(8)配置于比卷绕卷筒旋转部(9)低的位置。在第一搬运滚子(4)和第二搬运滚子(6)上具有使工件吸附于滚子表面(41a)的吸附单元(42)。

Description

搬运装置

技术领域

本发明涉及一种搬运装置，其从供给侧将薄膜状带工件搬运至处理部，并将由该处理部处理过的工件搬运至卷绕侧。

背景技术

一般而言，用于便携电话、移动设备等各种小型电气设备的电路板(印刷电路板)的电气回路基材，由于机体轻薄短小，因此在其制造工序中，难以用厚板状材料来进行处理，所以不得不用薄的高精度的薄膜状带(以下称为工件)来进行处理。

在这样的工件中，实际上使用的坯料，在现有技术中，其厚度大约为0.1mm左右，在近几年中，有变成0.06mm的薄型化趋势。而且在最近，希望使用厚度在0.05mm以下、宽度为100～250mm的既薄又宽的带状工件。

在由这样的带状的工件来制造电路板时，会产生工件在搬运途中由于松弛而发生左右边缘翘曲等问题。作为解决该问题的搬运机构，已知有将工件在水平状态下进行搬运以便能够可靠地对工件进行处理的水平搬运式的搬运机构(例如参照专利文献1)。

该搬运机构是为了制造电路板而搬运带状工件的装置，其在组装于曝光装置的状态下使用，该搬运机构构成为能够将逐段间歇地搬运的工件在曝光台上曝光成掩模的电路图案。

朝向曝光台送出的工件在水平搬运的部位由于自重而成为松弛状态，为了防止该松弛，在搬运机构中配设有保持机构，该保持机构通过按压滚子夹持工件以调整松弛(例如，参照专利文献1)。

并且，在搬运机构中，在改变搬运方向的部位上，必须是没有负荷作用于工件。在搬运机构中，为了在不施加多余张力的情况下将工件输送至曝光台并使其静止固定于曝光台，设有调整工件张力的所谓的充气容器(专利文献1中的箱体41、51)。

在这样的曝光装置中，几乎都是如专利文献1所公开的那样的、一边水平搬运工件一边照射曝光光的水平搬运垂直曝光式装置。另外，还已知有这样的搬运机构：为了防止空气中的灰尘等附着于工件或掩模以提高分辨率，使曝光台设于铅直方向、并使工件沿垂直方向搬运(例如，参照专利文献2～专利文献4)。

在如专利文献2～专利文献4所公开的搬运机构中，使用了将搬运来的工件供给至曝光台的滚子。

而且，为了将工件沿适当的搬运方向输送至处理部，还已知有使搬运方向转换的方向转换装置。该方向转换装置是这样的装置：从穿设于固定轴表面的薄板的气体喷出孔吹出空气，利用空气压力使工件浮起，以便转换工件的搬运方向(例如参照专利文献5)。

[专利文献1]日本特许第2836787号公报(权利要求书，图1和图2)

[专利文献2]日本特开2005-326550号公报(权利要求书，图1)

[专利文献3]日本特开2005-91903号公报(权利要求1，图1)

[专利文献4]日本特许第2798158号公报(权利要求书，图1)

[专利文献5]日本特许第2788207号公报(第0011～0012段，图1～图3)

但是在现有的搬运机构中，存在着以下的问题。

在如专利文献1所述的搬运机构中，通过充气容器来减少下述情况：从供给卷筒送出的工件由于自重而松弛，从而作用有剩余张力。

但是在如此的搬运机构中，工件在曝光台上呈水平状态，并且掩模与工件接触，因此随着工件变得又薄又宽，其自重增加而容易松弛，因此存在无法消除松弛的问题。

而且，在这样的搬运机构中，由于掩模与工件紧密接合或紧密接触，因而有时会有灰尘等因静电而附着于掩模及工件上从而被转印的情况，因此存在曝光后的图案的分辨率降低的问题。

另外，在专利文献2～专利文献4的搬运机构中，在曝光台的前后位置上，通过夹持工件的两面的按压滚子进行保持，并使掩模、光学系统和工件能够顺利地对准，但由于夹持工件的两面，因而有在工件上作用有多余负荷的问题。

另外，在逐段地间歇搬运并同时处理工件的曝光装置中，必须消除在搬运路径中所产生的工件的松弛。另外，为了不使尘埃等转印至工件上，为了能够曝光高分辨率的掩模图案，希望以不给工件施加负荷的稳定的状态下搬运工件。

发明内容

因此，本发明是鉴于上述问题而提出的，其目的在于提供一种能够在不对带状的工件施加负荷的稳定的状态下进行搬运的搬运机构。

作为解决问题的手段，第一观点的搬运装置是用于将带状的工件搬运至沿铅直方向设置的处理部上进行处理的搬运装置，其包括：供给卷筒旋转部，其使输送工件的供给卷筒旋转；供给侧第一导引滚子和供给侧第二导引滚子，它们引导通过上述供给卷筒旋转部的旋转而从供给卷筒送出的工件；供给侧松弛吸收单元，其对在上述供给侧第一导引滚子与供给侧第二引导滚子之间的工件赋予张力；第一搬运滚子和第二搬运滚子，它们配置于处理部的上方和下方，用于使来自供给侧第二导引滚子的工件沿处理部搬运；卷绕侧第一导引滚子和卷绕侧第二导引滚子，它们引导来自该第二搬运滚子的工件；卷绕侧松弛吸收单元，其对在该卷绕侧第一导引滚子与卷绕侧第二导引滚子之间的工件赋予张力；以及卷绕卷筒旋转部，其使卷绕来自该卷绕侧第二导引滚子的工件的卷绕卷筒旋转。其中供给卷筒旋转部配置于比供给侧第一导引滚子高的位置，供给侧第二导引滚子配置于与供给侧第一导引滚子相同或较低的位置，并且该供给侧第二导引滚子配置于比第一搬运滚子高的位置，卷绕卷筒旋转部配置于比卷绕侧第二导引滚子高的位置，卷绕侧第二导引滚子配置于与卷绕侧第一导引滚子相同或较高的位置，并且该卷绕侧第二导引滚子配置于比卷绕卷筒旋转部低的位置。

根据上述结构，搬运装置中，卷绕于供给卷筒的带状的工件通过卷绕卷筒旋转部以及供给侧第一导引滚子被输送至供给侧松弛吸收单元侧，然后通过供给侧第二导引滚子、第一搬运滚子、第二搬运滚子以及卷绕侧第一导引滚子被向处理部送出。另外，搬运装置将位于卷绕侧松弛吸收单元的工件通过卷绕侧第二导引滚子和卷绕卷筒旋转部而卷绕于卷绕卷筒上。第一搬运滚子和第二搬运滚子当对应于在处理部处理工件的预定的节距而间歇地搬运工件时，在将工件经吸附孔吸附于滚子表面的同时沿铅直方向进行搬运。

而且，在搬运路径中，能够以供给侧松弛吸收单元及卷绕侧松弛吸收单元为界使连续进行的工件搬运不彼此联动地进行输送。

另外，根据从供给卷筒旋转部至第一搬运滚子的位置关系，工件被向斜下方搬运，因此消除了由工件自重而造成的松弛。而且，根据从第二搬运滚子到卷绕卷筒旋转部的位置关系，由于工件被向斜上方搬运，因此消除了因工件的自重而造成的松弛。

第二观点的搬运装置为这样的结构：在供给侧第二导引滚子以及卷绕侧第一导引滚子上设置有工件位置调整单元，该工件位置调整单元根据工件在处理部上的位置偏差量，使工件沿供给侧第二导引滚子和卷绕侧第一导引滚子的轴向移动。

根据上述结构，搬运装置通过利用工件位置调整单元使供给侧第二导引滚子和卷绕侧第一导引滚子沿轴向移动，来调整工件在处理部上的轴向位置以及倾斜度，从而能够进行更高精度的工件定位。

第三观点的搬运装置的发明为这样的结构：第一搬运滚子和第二搬运滚子的滚子本体由合成树脂成形。

根据上述结构，搬运装置中第一搬运滚子和第二搬运滚子的滚子本体由合成树脂成形，因此所搬运的工件的微细的振动被树脂制的滚子本体吸收。

第四观点的搬运装置的发明是这样的结构：在供给卷筒与供给侧第一导引滚子之间，在搬运装置中设有可以自由设置和移除的工件连接单元，该工件连接单元用于将由处理部正在处理的工件的最后尾与下一个新的工件的最前端部连接起来。

根据上述结构，搬运装置通过具有工件连接单元，而能够在搬运路径中将由处理部正在处理的带状的工件的最后尾与接着使用的新的带状的工件的最前端部连接起来。

第五观点的搬运装置的发明是这样的结构：处理部为曝光台，用于将掩模的图案曝光于由搬运装置逐段搬运的工件上。

根据上述结构，搬运装置中，在处理部是曝光台的情况下，可对应于曝光装置的处理而逐段地在稳定的状态下搬运带状的工件，从而能够将掩模的图案曝光在工件上。

第六观点的搬运装置的发明是这样的结构：在第五观点的基础上，当上述工件在处理部上的位置偏差量在阈值以下时，通过移动掩模，使静止于曝光台上的一段工件与掩模的位置偏差量大致为零，当工件在处理部上的位置偏差量大于阈值时，使供给侧第二导引滚子和卷绕侧第一导引滚子沿轴向移动，从而使静止于曝光台上的一段工件的下一段移动至曝光台上的预定位置。

根据上述的结构，通过使供给侧第二导引滚子和卷绕侧第一导引滚子沿轴向移动，接着输送来的一段工件的姿势(倾斜)与曝光台上的预定位置一致。因此，输送至曝光台上的下一段工件与掩模的位置偏差量变小，从而缩短了掩模与工件的对位时间。

第七观点的搬运装置的发明为这样的结构：是在第五观点的基础上，当上述工件在处理部上的位置偏差量在阈值以下时，通过移动掩模，来使静止于曝光台上的一段工件与工件的位置偏差量大致为零，当工件在处理部上的位置偏差量大于阈值时，设定第一搬运滚子和第二搬运滚子对工件的进给量，以使静止于曝光台上的一段工件的下一段移动至上述曝光台上的预定位置。

根据上述结构，利用静止于曝光台上的一段来设定第一搬运滚子和第二搬运滚子对工件的进给量，因此，接着输送来的一段工件与曝光台上的预定位置一致。因此，输送至曝光台上的下一段工件与掩模的位置偏差量变小，从而缩短了掩模与工件的对位时间。

第八观点的搬运装置的发明为这样的结构：第一搬运滚子与第二搬运滚子具有使工件吸附于滚子表面的吸附孔，并且第一搬运滚子与第二搬运滚子与用于经吸附孔来吸附工件的吸附单元连接。

根据上述的结构，搬运装置中，工件在被输送至处理部时在被吸附的同时被搬运，因而工件在滚子表面不会产生滑动，从而能够正确地输送相当于一段的进给量。

第九观点的搬运装置的发明为这样的结构：供给侧第一导引滚子、供给侧第二导引滚子、卷绕侧第一导引滚子以及卷绕侧第二导引滚子具有使工件吸附于滚子表面的吸附孔，并且供给侧第一导引滚子、供给侧第二导引滚子、卷绕侧第一导引滚子以及卷绕侧第二导引滚子与用于经吸附孔来吸附工件的吸附单元连接。

根据上述结构，搬运装置中，工件在吸附于供给侧第一导引滚子、供给侧第二导引滚子、卷绕侧第一导引滚子以及卷绕侧第二导引滚子上的同时被搬运，因此工件在滚子表面不会产生滑动，工件能够从供给卷筒平顺地送出，并且工件能够平顺地卷绕在卷绕卷筒上。

本发明的搬运装置能够在不夹持工件、且不使工件松弛的情况下，从供给卷筒搬运至处理部，并从处理部搬运至卷绕卷筒，因此能够在不对工件施加剩余的负荷的稳定的状态下搬运工件，而且在处理部中可搬运至正确的位置。

附图说明

图1为表示本发明的实施方式的搬运机构的方框图。

图2为表示本发明的实施方式的搬运机构的概略立体图。

图3为表示本发明的实施方式的搬运机构中的供给侧第一导引滚子的放大剖视图。

图4为表示本发明的实施方式的搬运机构中的供给侧第二导引滚子的放大剖视图。

图5为表示本发明的实施方式的搬运机构中的第一搬运滚子的放大剖视图。

图6为表示本发明的实施方式的搬运机构的概略结构图。

图7为表示本发明的实施方式的搬运机构的动作的流程图。

图8为表示本发明的实施方式的搬运机构的变形例的图，是表示工件连接单元的设置状态的主要部分的概略放大图。

标号说明

1：供给卷筒旋转部；2：供给侧第一导引滚子；3：供给侧第二导引滚子；4：第一搬运滚子；5：曝光装置；6：第二搬运滚子；7：卷绕侧第一导引滚子；8：卷绕侧第二导引滚子；9：卷绕卷筒旋转部；11：工件连接单元；32：工件位置调整单元；41、61：滚子本体；41a、61a：滚子表面；41b：吸附孔；42、62：吸附单元；51：处理部；51a：曝光台；A、A1：搬运机构；B1：供给卷筒；B2：卷绕卷筒；D1：供给侧松弛吸收单元；D2：卷绕侧松弛吸收单元；M：掩模；T：带(工件)；T1：新的带(新的工件)；T1a：最前端部；T2：正在处理的带(正在处理的工件)；T2a：最后尾。

具体实施方式

下面，根据图1～图7说明本发明的实施方式的搬运机构的一例。

首先，先说明本发明的实施方式的搬运机构A，然后说明由搬运机构A搬运的带状的工件(以下称为「带」)T。

图1为表示本发明的实施方式的搬运机构的方框图。图2为表示本发明的实施方式的搬运机构的概略立体图。

《带(工件)的结构》

如图1和图2所示，带T由作为电路板使用的可挠性基板、或将树脂成形品滚弯成形(hoop)时使用的卷材等薄膜状带的坯料构成。该带T例如由带宽160mm、带全长200m的薄且宽的部件构成，并且卷绕在供给卷筒旋转部1上。在该带T的左右两边缘部侧，有的形成有穿孔(未图示)，有的则不形成穿孔。

另外，本发明的搬运机构A为搬运带T的机构，以下，作为本发明的实施方式的一例，以搬运作为可挠性基板的坯料使用的带(薄膜状带)T的情况为例进行说明。

《搬运机构的结构》

搬运机构A为这样的装置：配合曝光装置5的处理单位一带T的每一块的处理，将带T朝向设置于铅直方向的曝光台51a(处理部51)逐段地间歇地搬运。该搬运机构A包括：供给卷筒旋转部1，其安装于卷绕有带T的供给卷筒B1的中央的卷筒孔中，用于使供给卷筒B1旋转；引导被搬运的带T的供给侧第一导引滚子2；以及供给侧第二导引滚子3。另外，搬运机构A包括：配置于处理部51的上下位置的、用于搬运带T的第一搬运滚子4和第二搬运滚子6；卷绕侧第一导引滚子7和卷绕侧第二导引滚子8；以及使卷绕带T的卷绕卷筒B2旋转的卷绕卷筒旋转部9。搬运机构A还包括吸收搬运过程中的带T的松弛的供给侧松弛吸收单元D1和卷绕侧松弛吸收单元D2。

<供给卷筒旋转部的结构>

供给卷筒旋转部1为这样的部件：用于轴支承卷绕有电路板坯料的带T的管筒状的供给卷筒B1、并送出带T，该供给卷筒旋转部1配设在装置壳体(未图示)上，并能够以安装有供给卷筒B1的轴筒部的轴部为中心自由旋转，并且由未图示的驱动电动机驱动旋转。

而且，供给卷筒B1由例如卷绕部分的直径为750mm的卷筒构成，在其左右边缘具有突缘部(未图示)。卷绕在该供给卷筒B1上的带T由第一搬运滚子4牵引，由此与供给卷筒旋转部1一起旋转，从而被送出至供给侧第一导引滚子2。

<供给侧第一导引滚子的结构>

如图1和图2所示，供给侧第一导引滚子2为辅助滚子，卷绕在供给卷筒B1上的带T以朝向供给侧松弛吸收单元D1送出的方式卷挂在供给侧第一导引滚子2上，供给侧第一导引滚子2配设成能够以轴部为中心自由旋转。该供给侧第一导引滚子2配置成比供给卷筒旋转部1靠下方，从供给滚子旋转部1向斜下方输送来的带T配设成由于自重而从供给侧第一导引滚子2大致铅直地向下方垂下。

图3为表示本发明的实施方式的搬运机构中的供给侧第一导引滚子2的放大剖视图。

如图3所示，供给侧第一导引滚子2包括：卷挂有带T并与带T面接触的滚子本体21；可自由旋转地轴支承滚子本体21的支轴22；可自由旋转地设于该支轴22上的轴承23；以及保持该轴承23的装置壳体24。

并且，后述的卷绕侧第二导引滚子8(参照图2)例如与该供给侧第一导引滚子2为相同的结构。

<供给侧松弛吸收单元的结构>

再次回到图1和图2，供给侧松弛吸收单元D1配置于收纳供给卷筒旋转部1与供给侧第二导引滚子3之间的带T的位置上，是对从供给卷筒旋转部1供给的带T施加张力以吸收松弛的装置。更进一步详细地说，该供给侧松弛吸收单元D1是这样的装置：对从供给卷筒旋转部1送出的带T施加张力，使该带T在箱体内因自重而呈U字状松弛，以使带T在供给卷筒旋转部1与供给侧第一导引滚子2之间、以及在供给侧第二导引滚子3与第一搬运滚子4之间搬运时，不产生过度的负荷或松弛。该供给侧松弛吸收单元D1包括具有搬运空间的筒状的箱体D1a，在形成于上侧的开口部上通过的带T由于自重而可在搬运空间中呈U字状垂下。在该箱体D1内，在形成于上侧的开口部上通过的带T从带T的搬运方向上游向下侧输送，并由于自重而下垂，然后由第一搬运滚子4牵引而朝带T的搬运方向下游向上侧送出。箱体D1a例如由在上下具有开口部的四角形的有底筒状体构成。

<供给侧第二导引滚子的结构>

图4为表示本发明的实施方式的搬运机构中的供给侧第二导引滚子的放大剖视图。

图4所示的供给侧第二导引滚子3是这样的滚子：将带T从供给侧松弛吸收单元D1向第一搬运滚子4输送(参照图1及图2)，并且具备使带T沿箭头b所示的宽度方向(箭头a所示的轴向)移动的工件位置调整单元32。该供给侧第二导引滚子3包括：电动机M1；保持该电动机M1的装置壳体33；以及固定于电动机轴M1a的滚珠丝杠34。另外，供给侧第二导引滚子3包括：用于搬运带T可自由旋转的滚子本体31；通过滚珠丝杠34的旋转而沿轴向移动的螺母35；与该螺母35一体地动作的键轴36；与该键轴36一体地动作的支轴37；以及夹设于该支轴37与滚子本体31之间的轴承38。

工件位置调整单元32为这样的装置：用于使滚子本体31的位置沿轴向(带T的宽度方向)移动，以便调整带T在处理部51上的位置。该工件位置调整单元32例如包括：电动机M1、滚珠丝杠34、螺母35、键轴36、支轴37以及滚子本体31。

图4所示的电动机M1使滚子本体31在旋转的同时沿箭头a所示的轴向(带T的宽度方向)移动，电动机M1根据控制装置10的信号而正转和反转，从而使卷绕于滚子本体31上的带T沿箭头b所示的宽度方向移动。供给侧第二导引滚子3保持在装置壳体33的预定位置上。

滚珠丝杠34与电动机M1的电动机轴M1a连接并与其一体地旋转。而且，也可以使减速齿轮机构介于该滚珠丝杠34与电动机轴M1a之间。螺母35螺合于滚珠丝杠34，并安装在形成有键槽的键轴36内。通过该滚珠丝杠34的旋转，螺母35沿箭头a所示的轴向移动。

键轴36与螺母35一体地旋转，并且沿箭头a所示的轴向移动。支轴37紧固于键轴36的底面部，支轴37在与键轴36一起沿轴向移动的同时并旋转，其两端部由轴承38轴支承。

轴承38可自由旋转地安装于支轴37，并且组装成与支轴37一体地沿轴向(箭头a所示的方向)移动。滚子本体31为与轴承38一起沿箭头a所示的轴向移动，并且卷挂有带T的滚子，滚子本体31例如为在两端部具有突缘部的管筒状。该滚子本体31为，至少其滚子表面31a由合成树脂形成，以吸收微振动。此时，形成滚子表面31a的合成树脂优选的是具有缓冲性的软质树脂，其也可以只覆盖于滚子表面31a。

以上结构的供给侧第二导引滚子3通过电动机M1的旋转，来使由滚珠丝杠34、键轴36、支轴37以及轴承38构成的中介构件旋转和进行直进运动，从而使滚子本体31沿轴向移动，以便能够调整带T的位置。具有能够这样沿轴向移动的滚子本体31的供给侧第二导引滚子3，通过使滚子本体31的位置沿轴向移动来将其调整至适当的位置，从而能够正确地对准处理部51中带T的定位中的所希望的位置。

此外，图4所示的供给侧第二导引滚子3仅是通过电动机M1直接使支轴37旋转的滚子，也可以是通过其它的电动机或者线性滑动机构等(未图示)来使供给侧第二导引滚子3整体沿轴向移动的结构。

另外，后述的卷绕侧第一导引滚子7(参照图2)例如与该供给侧第二导引滚子3为相同的结构。

<第一搬运滚子的结构>

图5为表示本发明的实施方式的搬运机构中的第一搬运滚子的放大剖视图。

图5所示的第一搬运滚子4为搬运带T从供给侧第二导引滚子3向曝光台51a(处理部51)的滚子(参照图1及图2)，通过电动机M2间歇地驱动该第一搬运滚子4使其旋转，从而逐段地搬运带T。在该第一搬运滚子4上具有使带T吸附在滚子本体41的滚子表面41a上的吸附孔41b，并且在该第一搬运滚子4上连接有经吸附孔41b吸附带T的吸附单元42。因此，第一搬运滚子4可不使由该第一搬运滚子4的旋转而被搬运的带T空转。

而且，第一搬运滚子4包括：使滚子本体41旋转的电动机M2；支承该电动机M2和电动机轴M2a的装置壳体43；与电动机轴M2a连接、并具有吸附单元42的吸气道44a的旋转轴44；与吸气道44a连通、并与抽吸泵(未图示)连接的排气部45。

而且，如图1所示，该第一搬运滚子4配置于供给侧松弛吸收单元D1的搬运方向下游侧，并且配置于曝光台51a的正上方，以使带T以位于曝光台51a的中央位置的方式与曝光台51a的表面平行。

图5所示的滚子本体41是固定于通过电动机M2旋转的旋转轴44上、用于搬运带T的中空状的旋转体，其在轴向的两端构成为具有突缘部的管筒形状。滚子本体41，至少其卷挂带T的滚子表面41a由具有缓冲性的软质树脂等合成树脂成形，以便容易吸收带T的微振动。

在其滚子表面41a上穿设有多个吸附孔41b。因此，带T能够借助于空气在其所卷挂的滚子表面41a的吸附孔41b中的流动，冷却滚子表面41a。

而且，滚子表面41a也可以是不锈钢制品或将不锈钢线材紧密地卷绕而成的制品。

吸附单元42为这样的装置：借助于抽吸泵(未图示)的抽吸力来吸引卷挂在滚子本体41的滚子表面41a上的带T，以使带T与滚子表面41a紧密接触。该吸附单元42具有：吸引带T以使其与滚子表面41a紧密接触的、吸入空气的吸附孔41b；从该吸附孔41b吸入的空气被送入的滚子内空间41c；与该滚子内空间41c连通的吸气道44a；排气部45；以及抽吸泵。

第一搬运滚子4具有上述的树脂制的滚子本体41和吸附单元42，并且构成为将带T通过空气的负压吸附于滚子表面41a并同时能够平顺地进行搬运的结构。

图5所示的电动机M2使滚子本体41旋转，以便间歇地搬运卷挂于滚子本体41的带T。电动机M2与控制装置10电连接，并控制其旋转(参照图1)。

装置壳体43为用于将电动机M2和电动机轴M2a支承在预定位置的组件，通过该装置壳体43，第一搬运滚子4被配设于预定高度(参照图1)。

旋转轴44为发挥以下作用的构件：将电动机M2的旋转传递至滚子本体41以使滚子本体41旋转的轴的作用，以及用于将滚子本体41内的空气送至抽吸泵(未图示)的配管的作用。旋转轴44的一端连接着电动机轴M2a，另一端上则设有吸附单元42的排气部45。旋转轴44在中央部穿设有抽吸滚子本体41内的空气的抽吸口44b，在吸气道44a的端部设有用于将空气排出至排气部45的吐出口44c，从抽吸口44b至吐出口44c呈中空状。

而且，未图示的抽吸泵(真空泵)是这样的负压产生装置：经由配管及泄漏阀而与排气部45连接，并经吸气道44a和吸附孔41b来吸入滚子表面41a的空气，并且借助于负压来吸引卷挂于滚子表面41a的带T。

而且，后述的第二搬运滚子6例如与该第一搬运滚子4为相同的结构。

<处理部的结构>

这里，说明图2所示的处理部51。处理部51配置于第一搬运滚子4的正下方，是对从该第一搬运滚子4供给的带T进行预定处理的装置。该处理部51沿处理面配设于处在第一搬运滚子4与第二搬运滚子6之间的带T铅直地向下方搬运的部位。而且，在本实施方式中，处理部51为后述的曝光装置5中进行曝光处理的曝光台51a。而且，曝光台51a上形成有吸附未图示的带T的吸附孔，其逐段地吸附和保持带T。

<第二搬运滚子的结构>

第二搬运滚子6配置于曝光台51a的搬运方向下游侧，是将由该曝光台51a处理过的带T搬运至卷绕侧的滚子，该第二搬运滚子6配置于第一搬运滚子4和曝光台51a(处理部51)的正下方。该第二搬运滚子6与图5所示的第一搬运滚子4为相同的结构，如图2所示，其具有：吸附带T在滚子本体61的滚子表面61a上的吸附单元62；以及使滚子本体61旋转的电动机M3。

<卷绕侧第一导引滚子的结构>

卷绕侧第一导引滚子7配置于第二搬运滚子6的搬运方向下游侧，是将带T输送至卷绕侧松弛吸收单元D2的滚子。卷绕侧第一导引滚子7与图4所示的第二导引滚子3为相同的结构，如图2所示，其包括：沿带T的宽度方向(轴向)移动以进行带T的位置调整的工件位置调整单元72；以及该工件位置调整单元72的动力源的电动机M4等。

<卷绕侧松弛吸收单元的结构>

卷绕侧松弛吸收单元D2配置于可收纳在卷绕侧第一导引滚子7与卷绕侧第二导引滚子8之间的带T的位置上。卷绕侧松弛吸收单元D2为这样的装置：吸收在第二搬运滚子6与卷绕侧第一导引滚子7之间的带T的松弛、以及在卷绕侧第二导引滚子8与卷绕卷筒B2之间的带T的松弛。在卷绕侧松弛吸收单元D2的搬运方向上游侧，配置有卷绕侧第一导引滚子7，在卷绕侧松弛吸收单元D2的搬运方向下游侧，配置有卷绕侧第二导引滚子8。该卷绕侧松弛吸收单元D2由例如与供给侧松弛吸收单元D1相同的结构构成，即具有箱体D2a。

通过卷绕侧松弛吸收单元D2的带T从卷绕侧第一导引滚子7送入，并因带T的自身重量而在箱体D2a内下垂成U字状，然后被朝向位于上方的卷绕侧第二导引滚子8搬运。

<卷绕侧第二导引滚子的结构>

如图2所示，卷绕侧第二导引滚子8是用于引导需卷绕在卷绕卷筒B2上的带T以将其朝向该卷绕卷筒B2搬运的辅助滚子，其与图3所示的供给侧第一导引滚子2为相同的结构。该卷绕侧第二导引滚子8通过未图示的装置壳体配设在预定位置上，并且能够以轴部为中心自由旋转。卷绕侧第二导引滚子8配设成：将从卷绕侧松弛吸收单元D2搬运来的带T从该卷绕侧第二导引滚子8向斜上方输送。

<卷绕卷筒旋转部的结构>

如图2所示，卷绕卷筒旋转部9轴支承卷绕由处理部51(曝光装置5)处理过的带T的卷绕卷筒B2，并配设成能够以安装有卷绕卷筒B2的轴筒部的轴部为中心自由旋转，该卷绕卷筒旋转部9由驱动电动机(未图示)驱动。

《曝光装置的结构》

回到图1，曝光装置5是将掩模M的图案逐块地曝光在由搬运机构A逐段搬运的带T上的装置。该曝光装置5包括：光源52；反射镜53；复眼透镜L；支承掩模M的支承单元54；投影光学系统(例如戴森光学系统或缩小投影光学系统)55；摄像装置56；以及曝光台51a。另外，曝光装置5包括：摄像机数据输入装置57、图像处理装置58、存储装置59、控制装置10以及开关装置12。

光源52照射包含预定波长的紫外线的光，其包括灯52a和配置成覆盖该灯52a的后部的椭圆镜52b。反射镜53由将从光源52照射的光向掩模M反射的平面镜构成。复眼透镜L是用于调整来自反射镜53的光的照度分布的透镜。

图1所示的掩模M由支承单元54支承，该掩模M设置成与投影光学系统55正对。该支承单元54具有驱动机构(未图示)，以便能够在与投影光学系统55的光轴垂直的平面内移动。

投影光学系统55在这里配置成：入射光轴和出射光轴设置成与装置的设置面平行且水平，其前表面侧与曝光台51a正对。该投影光学系统55由未图示的多个透镜、面镜等组合而成。

图1所示的摄像装置56在投影光学系统55与曝光台51a之间配备有可沿三维方向移动的驱动系统，并配置了多个CCD摄像机。CCD摄像机对在静止于曝光台51a的一段带T上形成的对位标记以及形成于掩模M的对位标记进行摄影。另外，如前所述，曝光台51a配设有：为了经未图示的吸附孔吸附带T而进行真空排气的排气系统；以及用于输送压缩空气的压缩空气系统。

摄像机数据输入装置57取入由摄像装置56所拍摄得到的一段带T的对位标记与掩模M的对位标记。图像处理装置58对对位标记进行运算以便用于曝光装置5的控制。在该图像处理装置58中，将从摄像机数据输入装置57接受的对位标记转换成用于控制曝光装置5的位置数据，并将其结果输送至控制装置10与存储装置59。存储装置59存储由摄像装置56所拍摄得到的位置数据。

控制装置10为控制搬运机构A和整个曝光装置5的装置，其由CPU所构成。该控制装置10根据图像处理机构58的位置数据使一段带T的对位标记的位置与掩模M的对位标记的位置匹配。为了与吸附于曝光台51a的带T匹配，通过利用支承单元54的驱动机构(未图示)使掩模M移动，以使带T与掩模M匹配。但是，当带T的对位标记与掩模M的对位标记的偏差较大时，在每一段的位置匹配中，掩模移动的距离会变大。因此，当带T的对位标记与掩模M的对位标记的偏差在阈值δ以上时，控制供给侧第二导引滚子3、第一搬运滚子4、第二搬运滚子6以及卷绕侧第一导引滚子7来使曝光台51a上的带T的对位标记的位置进入阈值δ以内。

另外，控制装置10控制：对带T在供给侧松弛吸收单元D1和卷绕侧松弛吸收单元D2中的位置的监视；带T在曝光台51a上的装卸；摄像装置56的移动、光源52的亮灭和遮光的控制；以及对上述所有动作的监视等。而且，开关装置12是用于控制搬运机构A的电动机M1、M2、M3和M4、抽吸泵(未图示)、曝光装置5等的ON、OFF的控制器。

<各组件的位置关系的说明>

接着，参照图6说明搬运机构A的各组件的位置关系。

图6为表示本发明的实施方式中的搬运机构的概略结构图。

如图6所示，供给卷筒旋转部1、供给侧第一导引滚子2、供给侧第二导引滚子3、第一搬运滚子4、第二搬运滚子6、卷绕侧第一导引滚子7、卷绕侧第二导引滚子8以及卷绕卷筒旋转部9分别配置在同一个面上，从正面观察，在上下方向上分别配置于大致同一直线上。

在从供给卷筒旋转部1至第一搬运滚子4之间，带T从侧面观察整体上大致向斜下方搬运。在从第一搬运滚子4至第二搬运滚子6之间，带T铅直地向下方搬运。在从第二搬运滚子6至卷绕卷筒B2之间，带T从侧面观察整体上大致向斜上方搬运。

供给卷筒旋转部1配置于比搬运方向下游侧的供给侧第一导引滚子2高了高度H1的位置上。供给侧第一导引滚子2配置于供给卷筒旋转部1的斜下方，该供给侧第一导引滚子2与供给侧第二导引滚子3配置于相同高度，或者是配置在高于供给侧第二导引滚子3的位置上，而且配置在供给侧松弛吸收单元D1的箱体D1a的开口部的上方。

供给侧松弛吸收单元D1设于这样的位置：即，能够收纳在供给侧第一导引滚子2、以及与该供给侧第一导引滚子2配设于相同高度的供给侧第二导引滚子3之间垂下的带T的位置。

供给侧第二导引滚子3配置于与供给侧第一导引滚子2相等或较低的位置上，并且配设在比第一搬运滚子4高了高度H2的位置上。

第一搬运滚子4、曝光台51a(处理部51)与第二搬运滚子6在铅直方向上配置于大致一条直线上。通过第一搬运滚子4的带T从供给侧第二导引滚子3朝向斜下方搬运，然后卷挂在第一搬运滚子4上，从而朝向铅直方向的曝光台51a进行方向转换。

曝光台51a(处理部51)配置于第一搬运滚子4与卷绕侧第一导引滚子7之间的中间位置上。第二搬运滚子6配置于该曝光台51a的正下方。通过第二搬运滚子6的带T铅直地向下方搬运，然后卷挂在第二搬运滚子6上，从而向斜上方进行方向转换。

卷绕侧第一导引滚子7配置于第二搬运滚子6的搬运方向下游侧，并且配置于比第二搬运滚子6高了高度H3的位置上。该卷绕侧第一导引滚子7配置于比卷绕侧松弛吸收单元D2的开口部高的位置上，并且配置于比卷绕卷筒旋转部9低了高度H4的位置上。

卷绕侧第二导引滚子8配置于与卷绕侧第一导引滚子7相等或较高的位置，并且配置于比卷绕卷筒旋转部9低了高度H4的位置上，而且配置于卷绕侧松弛吸收单元D2的箱体D2a的上方。卷绕卷筒旋转部9配置于卷绕侧第二导引滚子8的斜上方。

《搬运机构的作用》

接着，以图7为主，参照各图对搬运机构A的作用进行说明。

图7为表示本发明的实施方式的搬运机构的动作的流程图。

首先，如图1和图2所示，将加工前的新坯料的带T设置于搬运机构A上并使其为可搬运的状态。即，将卷绕有新的带T的供给卷筒B1设置于供给卷筒旋转部1，拉出带T的前端部、并同时将其分别卷挂于供给侧第一导引滚子2、供给侧第二导引滚子3和第一搬运滚子4上，并使其贯穿曝光台51a与摄像装置56之间。然后，将带T卷挂于第二搬运滚子6、卷绕侧第一导引滚子7和卷绕侧第二导引滚子8上，并将带T的前端部卡定于安装在卷绕卷筒旋转部9的卷绕卷筒B2上。接着，使供给侧松弛吸收单元D1以及卷绕侧松弛吸收单元D2上的带T在箱体D1a、D2a内呈U字状松弛。

接着，使图1所示的开关装置12的电源开关(未图示)打开(ON)使曝光装置5及搬运机构A起动(步骤S1)。这样，曝光装置5的灯52a被点亮(步骤S2)。此时，通过未图示的快门机构使来自灯52a的光为遮断状态。

然后，配置于图2所示的第一搬运滚子4及第二搬运滚子6的搬运驱动用的电动机M2、M3被驱动，并且抽吸泵(未图示)也被驱动，从而在使带T吸附于滚子表面41a、61a的同时进行逐块输送的动作。

如图2所示，通过电动机M2、M3的驱动，第一搬运滚子4和第二搬运滚子6旋转，由此来牵引带T进行搬运，所以，供给卷筒旋转部1的供给卷筒B1旋转从而将带T送出(步骤S3)。

该带T从供给卷筒旋转部1向斜下方输送，在有自重作用的状态下，该带T以卷挂的方式由供给侧第一导引滚子2接收，然后通过自重输送至供给侧松弛吸收单元D1的箱体D1a内(步骤S4)。

在位于供给侧第一导引滚子2与供给侧第二导引滚子3之间的供给侧松弛吸收单元D1中，带T由于自重，而变成呈U字形向地面方向垂下的状态。带T在利用供给侧松弛吸收单元D1调整了从供给卷筒旋转部1至第一搬运滚子4之间的松弛而施加张力的状态下，被搬运至供给侧第二导引滚子3(步骤S5)。

即，在供给侧松弛吸收单元D1中，从供给侧第一导引滚子2送入箱体D1a内的带T，如图6所示，由于带T的自重，被向与搬运方向(箭头d方向)相同的箭头e的方向牵引，从而从供给卷筒旋转部1到供给侧第一导引滚子2之间的松弛消失。另外，由第一搬运滚子4牵引而从箱体D1a内输送至供给侧第二导引滚子3的方向(箭头d的方向)输送的带T，在由于带T的自重而被向与搬运方向相反的方向(箭头f方向)牵引(施加了张力的状态)的同时，从箱体D1a搬运至供给侧第二导引滚子3和第一搬运滚子4，从而松弛消失。

另外，带T在供给卷筒旋转部1与供给侧第一导引滚子2之间、以及在供给侧第二导引滚子3与第一搬运滚子4之间，由于分别被向斜下方输送，因而被配置成不易松弛的状态。

第一搬运滚子4在带T被吸附单元42吸附于滚子表面41a的状态下，通过电动机M2的旋转，把带T的一段的方向转换成朝向铅直下方地进行搬运。此时，第一搬运滚子4因为由合成树脂形成，因此吸收了带T的振动。

由搬运机构A所搬运的相当于一段的带T被曝光台51a吸附，一段带T静止于曝光台51a上。然后，移动至投影光学系统55与曝光台51a之间的摄像装置56对显示于带T的曝光部分的对位标记(未图示)与掩模M的对位标记(未图示)进行摄影(步骤S6)。

根据由该摄像装置56所拍摄的两个标记图像来运算出带T与掩模M的位置偏差量及姿态偏差量，并传递至控制装置10(步骤S7)。

在步骤S8中，根据来自控制装置10的位置偏差量，通过支承单元54的驱动机构使掩模M移动，使掩模M与带T匹配。

接着，在曝光台51a上与掩模M完成了匹配的带T，初步固定在位于与投影光学系统55(参照图1)相对的位置上的曝光台51a的表面上，通过释放未图示的快门机构，来从投影光学系统55照射曝光光，从而转印掩模M的图案(步骤S9)。

接着在步骤S10中，控制装置10判断带T的对位标记与掩模M的对位标记的位置偏差量是否在阈值δ以下。若位置偏差量在阈值δ以下，则前进至步骤S13，若位置偏差量在阈值δ以上，则前进至步骤S11。即，位置偏差量大的情况，有很多是由于每一段带T无法笔直地输送至曝光台51a而引起的。因此若控制带T的进给量与姿态，则静止于曝光台51a上的一段带T的下一段，可正确地输送至曝光台51a。若正确地搬运带T，则通过支承掩模M的支承单元54的驱动机构来使掩模M移动的量很小或为零，从而能够提高生产量。因此，在步骤S10中，判断位置偏差量是否在阈值δ以下，当位置偏差量大于阈值δ时，转移至步骤S11和步骤S12，控制导引滚子以使带T的位置偏差量变小。

在步骤S11中，控制装置10将驱动信号送至电动机M1及电动机M4，使供给侧第二导引滚子3与卷绕侧第一导引滚子7分别沿带T的宽度方向移动，以使带T倾斜，从而调整带T的姿态。

例如如图2所示，控制装置10使供给侧第二导引滚子3和卷绕侧第一导引滚子7的电动机M1、M4旋转，当滚子本体31、71沿箭头a所示的轴向移动时，带T沿箭头b所示的宽度方向移动。由于供给侧第二导引滚子3、第一搬运滚子4、第二搬运滚子6以及卷绕侧第一导引滚子7分别平行地配置，因此当使供给侧第二导引滚子3与卷绕侧第一导引滚子7沿箭头a所示的轴向移动时，在第一搬运滚子4与第二搬运滚子6之间(曝光台51a)搬运的带T沿箭头c所示的宽度方向移动，从而调整了带T的宽度方向位置以及倾斜度(姿态)。

另外，在步骤S12中，控制装置10控制第一搬运滚子4的电动机M2和第二搬运滚子6的电动机M3的转数，以便在对进给量进行调整使掩模M的对位标记与带T的对位标记匹配的情况下进行搬运，从而调整上下方向的位置。第一搬运滚子4与第二搬运滚子6由于具有吸附单元42，因此不会在滚子表面产生滑动，可正确地搬运一段带T。

这样，搬运机构A能够调整带T的宽度方向与进给量，从而正确地搬运至曝光台51a。

通过了曝光台51a的带T，随着第一搬运滚子4与第二搬运滚子6的驱动，由第二搬运滚子6的吸附单元62吸附于滚子表面61a，在被向铅直下方牵引的同时将搬运方向转换成大致水平方向，然后经由卷绕侧第一导引滚子7被输送至卷绕侧松弛吸收单元D2(步骤S13)。

在卷绕侧松弛吸收单元D2中，与供给侧松弛吸收单元D1一样地调整了张力的带T，从卷绕侧松弛吸收单元D2由卷绕侧第二导引滚子8接收带T，并且通过安装于卷绕卷筒旋转部9的卷绕卷筒B2的旋转而卷绕在卷绕卷筒B2上(步骤S14)。

这样，搬运机构A通过第一搬运滚子4和第二搬运滚子6来调整带T在曝光台51a上的上下方向的进给量，并且通过供给侧第二导引滚子3及卷绕侧第一导引滚子7，来进行带T在曝光台51a上的倾斜方向的调整。因此，在位置偏差量大于阈值δ时，使掩模M移动的量变小，从而能够提高生产量，并且可高精度地进行与掩模的匹配。另外，在曝光台搬运路径中，在带T沿大致水平方向(斜下方、斜上方)搬运的部位，由于带T的自重而向与搬运方向相反的方向施加牵引力(张力)以吸收松弛。结果，搬运机构A以稳定的状态将带T搬运至曝光装置5，致以能够正确地转印预定的电路图案，并且由曝光装置5处理过的带T可平顺地卷绕在卷绕卷筒旋转部9的卷绕卷筒B2上。

另外，本发明并不限于本实施方式，在其技术思想的范围内，可做各种改造与变更，本发明当然也包括这些经改造与变更而形成的发明。

《变形例》

下面，参照图8，说明本发明的实施方式的搬运机构的变形例。

而且，在变形例中，对于与图1至图7所示的实施方式的搬运机构A具有相同的功能的构件，省略其说明。

图8为表示本发明的实施方式的搬运机构的变形例的图，其是表示工件连接单元的设置状态的主要部分的概略放大图。

如图8所示的变形例的搬运机构A1那样，实施方式的搬运机构A(参照图1和图2)，在供给卷筒旋转部1与供给侧第一导引滚子2之间，可插设工件连接单元11。

此时，工件连接单元11配置在供给侧松弛吸收单元D1的搬运方向上游侧，并配置于比供给侧松弛吸收单元D1高的位置上。

如图8所示，工件连接单元11为用于将由曝光台51a(参照图1)正在处理的带T2的最后尾T2a与下一段新的带T1的最前端T1a连接起来的连接装置。工件连接单元11例如包括：表面涂敷有特氟隆(注册商标)的台11a；配置于该台11a之上的、保持带T1的保持部11c；以及对带T1与带T2进行热压合的压合部11b。

下面，针对带T1、T2的连接进行说明。

当带T2通过一连串的处理工序而接近最终端时，停止搬运机构A的动作，将卷绕于供给卷筒旋转部1的带T2的最后尾T2a载置于供给侧松弛吸收单元D1的上方的台11a上。台11a所配置的、供给侧松弛吸收装置D1上方的位置，位于当前处理过的带T2卷挂到供给侧第一导引滚子2上的附近的位置，因而容易进行带T1、T2的连接作业。

将该带T2的最后尾T2a载置于台11a的中央，通过保持部11c按压该带T2。然后，使新的带T1的最前端部T1a与正在处理的带T2的最后尾T2a重叠，然后压靠于带T1、T2通过热压合来使它们接合在一起。

这样，搬运机构A1由于在搬运路径中具有工件连接单元11，因而可在短时间内连接带T1、T2，所以可以提高作业效率。

《其它的变形例》

图1和图2所示的供给侧松弛吸收单元D1及卷绕侧松弛吸收单元D2吸收在搬运路径中的带T的松弛，它们只要是对带T施加张力的单元即可。例如，供给侧松弛吸收单元D1和卷绕侧松弛吸收单元D2具有：带T被送入的箱体D1a；以及向该箱体D1a的开口部吹出空气以使在开口部上通过的带T为呈U字状垂下的状态的风扇。

另外，供给侧松弛吸收单元D1和卷绕侧松弛吸收单元D2也可以为这样的滚子张力器：将可上下移动和自由旋转的滚子载置于带T的上方，利用该滚子的重量向搬运方向和与搬运方向相反的方向牵引带T，使带T成为呈U字状垂下的状态，从而吸收带T的松弛。

另外，在实施方式中，以将用于搬运带T的电动机M2、M3设置于第一搬运滚子4与第二搬运滚子6的情况为例进行了说明，但是也可以在其它所有的滚子及卷筒上设置搬运用的电动机。即，在供给卷筒旋转部1、供给侧第一导引滚子2、供给侧第二导引滚子3、卷绕侧第一导引滚子7、卷绕侧第二导引滚子8以及卷绕卷筒旋转部9上，都可设置搬运用的电动机。

这样，可以从供给卷筒旋转部1将带T更平顺地送出，另外，在卷绕卷筒旋转部9中，可更平顺地卷绕带T。

在实施方式中，以在第一和第二搬运滚子4、6上设置吸附孔41b、61b和吸附单元42、62的情况为例进行了说明，但在供给侧第一和第二导引滚子2、3以及卷绕侧第一和第二导引滚子7、8上，也可以同样地设置吸附孔和吸附单元。这样，可使带T更平顺地被搬运。

此外，处理部51并不限定于曝光装置5，例如可以是带T的检查装置、滚弯成形装置以及其它的机械。

另外，在将处理部51用作滚弯成形装置的情况下，可以使卷绕卷筒旋转部9是按各部为一块进行切断的切断装置。

Claims (25)

1.一种搬运装置，是将带状的工件在设于铅直方向的处理部上搬运并进行处理的搬运机构，其特征在于，所述搬运装置包括：

供给卷筒旋转部，其使送出上述工件的供给卷筒旋转；

供给侧第一导引滚子和供给侧第二导引滚子，它们引导通过上述供给卷筒旋转部旋转而从上述供给卷筒送出的上述工件；

供给侧松弛吸收单元，其对在上述供给侧第一导引滚子和供给侧第二导引滚子之间的上述工件赋予张力；

第一搬运滚子和第二搬运滚子，它们配置于处理部的上方和下方，使来自上述供给侧第二导引滚子的上述工件沿上述处理部搬运；

卷绕侧第一导引滚子和卷绕侧第二导引滚子，它们引导来自上述第二搬运滚子的上述工件；

卷绕侧松弛吸收单元，其对在上述卷绕侧第一导引滚子和卷绕侧第二导引滚子之间的上述工件赋予张力；以及

卷绕卷筒旋转部，其使卷绕来自上述卷绕侧第二导引滚子的上述工件的卷绕卷筒旋转，

上述供给卷筒旋转部配置于比上述供给侧第一导引滚子高的位置，

上述供给侧第二导引滚子配置于与上述供给侧第一导引滚子相同或较低的位置，并且上述供给侧第二导引滚子配置于比上述第一搬运滚子高的位置，

上述卷绕卷筒旋转部配置于比上述卷绕侧第二导引滚子高的位置，

上述卷绕侧第二导引滚子配置于与上述卷绕侧第一导引滚子相同或较高的位置，并且上述卷绕侧第二导引滚子配置于比上述卷绕卷筒旋转部低的位置。

2.如权利要求1所述的搬运装置，其特征在于，

包括工件位置调整单元，该工件位置调整单元，对应于上述处理部上的上述工件的位置偏差量，利用上述供给侧第二导引滚子和上述卷绕侧第一导引滚子来使上述工件向上述供给侧第二导引滚子和上述卷绕侧第一导引滚子的轴向移动。

3.如权利要求1或2所述的搬运装置，其特征在于，

上述第一搬运滚子和上述第二搬运滚子的滚子本体由合成树脂成形。

4.如权利要求1或2所述的搬运装置，其特征在于，

在上述供给卷筒与上述供给侧第一导引滚子之间，设有可以自由设置或移除的工件连接单元，该工件连接单元用于将由上述处理部正在处理的工件的最后尾与下一个新的工件的最前端部连接起来。

5.如权利要求3所述的搬运装置，其特征在于，

在上述供给卷筒与上述供给侧第一导引滚子之间，设有可以自由设置或移除的工件连接单元，该工件连接单元用于将由上述处理部正在处理的工件的最后尾与下一个新的工件的最前端部连接起来。

6.如权利要求1、2、或5所述的搬运装置，其特征在于，

上述处理部为曝光台，其用于将掩模的图案曝光到由上述搬运装置逐段搬运的工件上。

7.如权利要求3所述的搬运装置，其特征在于，

上述处理部为曝光台，其用于将掩模的图案曝光到由上述搬运装置逐段搬运的工件上。

8.如权利要求4所述的搬运装置，其特征在于，

上述处理部为曝光台，其用于将掩模的图案曝光到由上述搬运装置逐段搬运的工件上。

9.如权利要求6所述的搬运装置，其特征在于，

当上述处理部上的上述工件的位置偏差量在阈值以下时，通过移动上述掩模，使静止于上述曝光台上的一段上述工件与上述掩模的位置偏差量大致为零，

当上述处理部上的上述工件的位置偏差量大于阈值时，使上述供给侧第二导引滚子和上述卷绕侧第一导引滚子沿轴向移动，以使静止于上述曝光台上的一段上述工件的下一段移动至上述曝光台上的预定位置。

10.如权利要求7或8所述的搬运装置，其特征在于，

当上述处理部上的上述工件的位置偏差量在阈值以下时，通过移动上述掩模，使静止于上述曝光台上的一段上述工件与上述掩模的位置偏差量大致为零，

当上述处理部上的上述工件的位置偏差量大于阈值时，使上述供给侧第二导引滚子和上述卷绕侧第一导引滚子沿轴向移动，以使静止于上述曝光台上的一段上述工件的下一段移动至上述曝光台上的预定位置。

11.如权利要求6所述的搬运装置，其特征在于，

当上述处理部上的上述工件的位置偏差量在阈值以下时，通过移动上述掩模，使静止于上述曝光台上的一段上述工件与上述掩模的位置偏差量大致为零，

当上述处理部上的上述工件的位置偏差量大于阈值时，设定上述第一搬运滚子和第二搬运滚子对工件的进给量，以使静止于上述曝光台上的一段上述工件的下一段移动至上述曝光台上的预定位置。

12.如权利要求7或8所述的搬运装置，其特征在于，

当上述处理部上的上述工件的位置偏差量在阈值以下时，通过移动上述掩模，使静止于上述曝光台上的一段上述工件与上述掩模的位置偏差量大致为零，

当上述处理部上的上述工件的位置偏差量大于阈值时，设定上述第一搬运滚子和第二搬运滚子对工件的进给量，以使静止于上述曝光台上的一段上述工件的下一段移动至上述曝光台上的预定位置。

13.如权利要求1、2、5、7-9和11中的任一项所述的搬运装置，其特征在于，

上述第一搬运滚子和上述第二搬运滚子具有使上述工件吸附于滚子表面的吸附孔，并且上述第一搬运滚子和上述第二搬运滚子与用于经上述吸附孔吸附上述工件的吸附单元连接。

14.如权利要求3所述的搬运装置，其特征在于，

上述第一搬运滚子和上述第二搬运滚子具有使上述工件吸附于滚子表面的吸附孔，并且上述第一搬运滚子和上述第二搬运滚子与用于经上述吸附孔吸附上述工件的吸附单元连接。

15.如权利要求4所述的搬运装置，其特征在于，

上述第一搬运滚子和上述第二搬运滚子具有使上述工件吸附于滚子表面的吸附孔，并且上述第一搬运滚子和上述第二搬运滚子与用于经上述吸附孔吸附上述工件的吸附单元连接。

16.如权利要求6所述的搬运装置，其特征在于，

上述第一搬运滚子和上述第二搬运滚子具有使上述工件吸附于滚子表面的吸附孔，并且上述第一搬运滚子和上述第二搬运滚子与用于经上述吸附孔吸附上述工件的吸附单元连接。

17.如权利要求10所述的搬运装置，其特征在于，

上述第一搬运滚子和上述第二搬运滚子具有使上述工件吸附于滚子表面的吸附孔，并且上述第一搬运滚子和上述第二搬运滚子与用于经上述吸附孔吸附上述工件的吸附单元连接。

18.如权利要求12中所述的搬运装置，其特征在于，

上述第一搬运滚子和上述第二搬运滚子具有使上述工件吸附于滚子表面的吸附孔，并且上述第一搬运滚子和上述第二搬运滚子与用于经上述吸附孔吸附上述工件的吸附单元连接。

19.如权利要求1、2、5、7-9、11和14-18中的任一项所述的搬运装置，其特征在于，

上述供给侧第一导引滚子、供给侧第二导引滚子、上述卷绕侧第一导引滚子以及上述卷绕侧第二导引滚子具有使上述工件吸附于滚子表面的吸附孔，并且上述供给侧第一导引滚子、供给侧第二导引滚子、上述卷绕侧第一导引滚子以及上述卷绕侧第二导引滚子与用于经上述吸附孔吸附上述工件的吸附单元连接。

20.如权利要求3所述的搬运装置，其特征在于，

上述供给侧第一导引滚子、供给侧第二导引滚子、上述卷绕侧第一导引滚子以及上述卷绕侧第二导引滚子具有使上述工件吸附于滚子表面的吸附孔，并且上述供给侧第一导引滚子、供给侧第二导引滚子、上述卷绕侧第一导引滚子以及上述卷绕侧第二导引滚子与用于经上述吸附孔吸附上述工件的吸附单元连接。

21.如权利要求4所述的搬运装置，其特征在于，

上述供给侧第一导引滚子、供给侧第二导引滚子、上述卷绕侧第一导引滚子以及上述卷绕侧第二导引滚子具有使上述工件吸附于滚子表面的吸附孔，并且上述供给侧第一导引滚子、供给侧第二导引滚子、上述卷绕侧第一导引滚子以及上述卷绕侧第二导引滚子与用于经上述吸附孔吸附上述工件的吸附单元连接。

22.如权利要求6所述的搬运装置，其特征在于，

上述供给侧第一导引滚子、供给侧第二导引滚子、上述卷绕侧第一导引滚子以及上述卷绕侧第二导引滚子具有使上述工件吸附于滚子表面的吸附孔，并且上述供给侧第一导引滚子、供给侧第二导引滚子、上述卷绕侧第一导引滚子以及上述卷绕侧第二导引滚子与用于经上述吸附孔吸附上述工件的吸附单元连接。

23.如权利要求10所述的搬运装置，其特征在于，

上述供给侧第一导引滚子、供给侧第二导引滚子、上述卷绕侧第一导引滚子以及上述卷绕侧第二导引滚子具有使上述工件吸附于滚子表面的吸附孔，并且上述供给侧第一导引滚子、供给侧第二导引滚子、上述卷绕侧第一导引滚子以及上述卷绕侧第二导引滚子与用于经上述吸附孔吸附上述工件的吸附单元连接。

24.如权利要求12所述的搬运装置，其特征在于，

上述供给侧第一导引滚子、供给侧第二导引滚子、上述卷绕侧第一导引滚子以及上述卷绕侧第二导引滚子具有使上述工件吸附于滚子表面的吸附孔，并且上述供给侧第一导引滚子、供给侧第二导引滚子、上述卷绕侧第一导引滚子以及上述卷绕侧第二导引滚子与用于经上述吸附孔吸附上述工件的吸附单元连接。

25.如权利要求13所述的搬运装置，其特征在于，

上述供给侧第一导引滚子、供给侧第二导引滚子、上述卷绕侧第一导引滚子以及上述卷绕侧第二导引滚子具有使上述工件吸附于滚子表面的吸附孔，并且上述供给侧第一导引滚子、供给侧第二导引滚子、上述卷绕侧第一导引滚子以及上述卷绕侧第二导引滚子与用于经上述吸附孔吸附上述工件的吸附单元连接。

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