CN101035729A

CN101035729A - 粘结膜贴附装置以及粘结膜带馈送机构

Info

Publication number: CN101035729A
Application number: CN200580033432.1A
Authority: CN
Inventors: 铃木正广; 高桥利男
Original assignee: Shibaura Engineering Works Co Ltd
Current assignee: Shibaura Mechatronics Corp
Priority date: 2004-09-30
Filing date: 2005-08-16
Publication date: 2007-09-12
Anticipated expiration: 2025-08-16
Also published as: CN101602446A; JP2006096542A; CN101596988A; CN101035729B; JP4346535B2; CN101602446B; CN101596988B

Abstract

提供一种可提高ACF带的定位精度，同时可避免伴随着ACF带的运送、压接后的覆盖带的剥离、以及ACF带的自动接合等而产生的各种的问题的粘结膜贴附装置。在带运送机构的运送路径上配置供给侧张力机构(31)以及回收侧张力机构(32)，可对由带运送机构的运送的ACF带51施加张力。张力机构(31)、(32)都具有对由可动辊引导机构(31a)、(32a)引导的可动辊(23)、(26)施加驱动力的驱动力赋予装置(61)、和控制驱动力赋予装置(61)以便根据ACF部件的贴附过程的各阶段中需要的ACF带(51)的张力而调整对可动辊(23)、(26)施加的驱动力的控制装置(67)。另外，驱动力赋予装置(61)具有连接在可动辊(23)、(26)上的驱动力传递带(64)、挂绕在驱动力传递带(64)上的从动辊(62)以及驱动辊(63)、对驱动辊(63)赋予扭矩而进行驱动的扭矩赋予装置(65)以及驱动马达(66)(由控制装置(67)控制的驱动马达)。

Description

粘结膜贴附装置以及粘结膜带馈送机构

技术领域

本发明涉及在部件实装装置中使用的粘结膜贴附装置，特别涉及向面板基板或电子部件等的粘结对象部件上贴附各向异性导电膜(ACF)等的粘结膜的粘结膜贴附装置，以及运送含有作为贴附对象的带状的粘结膜的粘结膜带的粘结膜带馈送机构。

背景技术

以往，作为这种粘结膜贴附装置，公知有下述ACF贴附装置：从收容有由ACF部件和覆盖带构成的各向异性导电膜(ACF)带的供给卷轴将ACF带仅拉出需要的长度(应贴附在粘结对象部件上的长度)，并令这样拉出的需要的长度的ACF带中作为贴附对象的ACF部件位于作为粘结对象部件的面板基板上或者电子部件上而进行压接(参照特开2003-103499号公报)。

图13表示这样的以往的ACF贴附装置的一例。

在图13表示的ACF贴附装置360中，ACF带51从被供给侧驱动轴312驱动旋转的供给卷轴311放出，并以下述方式被运送：经由供给侧可动辊313以及固定辊314而位于设置在垫板320上的粘结对象部件52上。另外，ACF带51如图14所示，由ACF部件51a和覆盖带51b构成，位于粘结对象部件52上的ACF带51中，仅由带切断机构(未图示)形成切口的ACF部件51a的一部分借助加压机构319而被压接在粘结对象部件52上，覆盖带51b原样保留。而且通过压接ACF部件51a而仅残留有覆盖带51b的使用后的ACF带51经由固定辊315以及回收侧可动辊316而被运送，最终被卷取在由回收侧驱动轴318驱动旋转的回收卷轴317上而被回收。

在图13所示的以往的ACF贴附装置360中，在ACF带51的运送路径上配置张力机构，在对ACF带51施加一定的张力的状态下进行ACF部件51a的贴附过程的各阶段的动作(ACF带51的运送、ACF带51的定位、压接后的覆盖带51b的剥离、以及ACF带51的自动接合的动作)。

另外，作为图13所示的以往的ACF贴附装置360中的张力机构，使用例如图15所示的机构。在图15所示的张力机构370中，ACF带51挂绕在可动辊371上并被该可动辊371以滚动接触的状态支承。此外，可动辊371被引导机构372在上下方向上移动自如地引导。在此，在可动辊371上，经由挂绕在固定辊373、374上的驱动力传递用绳索375连结有重锤376，可动辊371始终向一定的方向(图15中为上方)受到拉引，由此始终对挂绕在可动辊371上的ACF带51施加一定大小的张力。

此外，作为以往的张力机构，也使用例如图16所示的机构。在图16所示的张力机构380中，挂绕在固定辊391、392等上而被运送的ACF带51挂绕在可动辊381上而被该可动辊381以滚动接触的状态支承。在此，可动辊381经由连结棒382而与重锤383连结，可动辊381经由旋转轴384而向一定的方向(图16中为逆时针)旋转，由此对挂绕在可动辊381上的ACF带51始终施加一定大小的张力。

即，在图13所示的以往的ACF贴附装置360中，借助图15以及图16所示的张力机构370、380，利用重锤376、383被重力吸引的力等而始终对ACF带51施加一定大小的张力。

但是，公知在图13所示的以往的ACF贴附装置360中，ACF部件51a的贴附过程的各阶段的动作(ACF带51的运送、ACF带51的定位、压接后的覆盖带51b的剥离、以及ACF带51的自动接合)时所需要的张力的大小不同，例如在ACF带51的定位时，需要比较高的张力，在运送ACF带51、剥离压接后的覆盖带51b、以及ACF带51的自动接合时需要比较低的张力。

但是，图13所示的以往的ACF贴附装置360中，借助图15以及图16所示的张力机构370、380对ACF带51时常地施加一定大小的张力，所以存在对于ACF带51，不能施加与ACF部件51a的贴附过程的各阶段的动作(ACF带51的运送、ACF带51的定位、压接后的覆盖带51b的剥离、以及ACF带51的自动接合)相应的张力的问题。

该情况下，在例如与ACF部件51a的定位时需要的比较高的张力对应而将对ACF带51赋予的张力设定得较高时，存在下述问题：难以高速进行ACF带51的运送，此外，压接后的覆盖带51b的剥离时，覆盖带51b相对于ACF部件51a的剥离角度变为锐角而易发生ACF部件51a的翻卷，进而，在ACF带51的自动接合时由于作用有过大的应力所以易于在ACF带51的自动接合部发生切断。此外，由于始终对ACF带51施加高的张力，所以存在对于进行ACF带51的供给以及回收的ACF卷轴(供给卷轴311以及回收卷轴317)施加过大应力的问题。

相反，在与ACF带51的运送、压接后的覆盖带51b的剥离、以及ACF带51的自动接合时需要的比较低的张力对应而设定对ACF带51赋予的张力时，存在不能提高定位精度的问题。

此外，在图13所示的以往的ACF贴附装置360中，通过在粘结对象部件52上压接ACF部件51a而仅残留有覆盖带51b的使用后的ACF带51最终被卷取到回收卷轴317上而被回收。

但是，在图13所示的以往的ACF贴附装置360中，由于通过将使用后的ACF带51卷取到回收卷轴317上而回收该ACF带51，所以在回收卷轴317满了时需要将该回收卷317轴更换为新的回收卷轴(没有卷取有使用后的ACF带的回收卷轴)，存在由于回收卷轴317的交换动作的装置的工作效率的降低的问题。

进而，在图13所示的以往的ACF贴附装置360中，被供给侧可动辊313、固定辊314、315以及回收侧可动辊316运送的ACF带51需要在既定的平面(含有相对于粘结对象部件52的ACF部件51a的贴附位置的平面)内限制了向其宽度方向移动的状态下被运送，以便可高精度地进行ACF部件51a对粘结对象部件52的贴附。此外，被这样运送的ACF带51需要以该ACF带51中作为粘结面的ACF部件51a朝向外侧的状态，即在ACF部件51a与供给侧可动辊313、固定辊314、315以及回收侧可动辊316不接触的状态被运送。

因此，在图13所示的以往的ACF贴附装置360中被运送的ACF带51，其可得到的运送路径中没有自由度，存在在对ACF贴附装置360进行各种的构造改变(增加用于将预备的供给卷轴的ACF带自动接合在现在的供给卷轴的ACF带上的接合机构、或增加用于借助真空吸引等回收使用后的ACF带的排出机构等)时，不能柔性地与这样的构造改变对应的问题。

发明内容

本发明是鉴于这样的问题而提出的，目的在于提供一种可提高ACF带的定位精度，同时可避免伴随着ACF带的运送、压接后的覆盖带的剥离、以及ACF带的自动接合等而产生的各种的问题的粘结膜贴附装置。

此外，本发明的目的在于提供一种无需回收卷轴的交换作业而可提高装置的工作效率的粘结膜贴附装置。

进而，本发明的目的在于提供一种粘结膜带馈送机构，以高自由度设定由粘结膜贴附装置运送的粘结膜带的运送路径，可柔性地对应粘结膜贴附装置的构成的变更等。

本发明作为其第1解决方法提供一种粘结膜贴附装置，其特征在于，包括：供给由粘结膜和覆盖带构成的粘结膜带的供给机构；沿既定的运送路径运送从上述供给机构供给的粘结膜带的带运送机构；将由上述带运送机构运送的粘结膜带中作为贴附对象的粘结膜的一部分压接在粘结对象部件上的带压接机构；回收由于粘结膜的一部分被上述带压接机构压接而残留的使用后的粘结膜带的回收机构；配置在上述带运送机构的上述既定的运送路径上且对由上述带运送机构运送的粘结膜带施加张力的张力机构，上述张力机构具有：以滚动接触状态支承由上述带运送机构运送的粘结膜带的可动辊；在对由上述可动辊支承的粘结膜带施加张力的状态下移动自如地引导上述可动辊的引导机构；对由上述引导机构引导的上述可动辊施加驱动力的驱动力赋予装置；控制上述驱动力赋予装置，以便根据粘结膜的贴附过程的各阶段中需要的上述粘结膜带的张力而调整对上述可动辊施加的驱动力的控制装置。

另外，在本发明的第1解决方法中，优选地是上述张力机构的上述控制装置在由上述带运送机构运送上述粘结膜带的阶段中减小对上述可动辊施加的驱动力，对上述粘结膜带赋予比较低的张力。

此外，在本发明的第1解决方法中，优选地是还具有带定位机构，将由上述带运送机构运送到上述带压接机构的粘结膜带向上述粘结对象部件推压而进行该粘结膜带的定位，上述张力机构的上述控制装置在由上述带定位机构进行上述粘结膜带的定位的阶段中增大对上述可动辊施加的驱动力，对上述粘结膜带赋予比较高的张力。

进而，在本发明的第1解决方法中，优选地是还具有带剥离机构，从被上述带压接机构压接在上述粘结对象部件上的粘结膜上剥离覆盖带，上述张力机构的上述控制装置在借助上述带剥离机构从上述粘结膜上剥离上述覆盖带的阶段中减小对上述可动辊施加的驱动力，对上述粘结剂膜带赋予比较低的张力。

进而，在本发明的第1解决方法中，优选地是还具有带自动接合机构，将从上述供给机构供给的粘结膜带的终端部自动接合在从预备供给机构供给的粘结膜带的始端部上，上述张力机构的上述控制装置在由上述带自动接合机构自动接合粘结膜带的阶段中减小对上述可动辊施加的驱动力，对上述粘结膜带赋予比较低的张力。

另外，在本发明的第1解决方法中，上述粘结膜带优选是作为上述粘结膜含有带状的各向异性导电膜的各向异性导电膜带。

根据本发明的第1解决方法，配置在带运送机构的运送路径上的张力机构具有可对由引导机构引导的可动辊施加驱动力的驱动力赋予装置，并在基于控制装置的控制下根据粘结膜的贴附过程的各阶段中需要的粘结膜带的张力而调整对可动辊赋予的驱动力。因此，可在例如基于带运送机构的粘结膜带的运送时，基于带剥离机构的压接后的覆盖带的剥离时，以及基于自动接合机构的粘结膜带的自动接合时，将施加给粘结膜带的张力保持为比较低，另一方面，在粘结膜带的定位时，将对粘结膜带施加的张力保持为比较高。由此，可提高粘结膜带的定位精度，并且可避免伴随粘结膜带的运送、压接后的覆盖带的剥离、以及粘结膜带的自动接合等而产生的各种问题。

本发明作为第2解决方法提供一种粘结膜贴附装置，其特征在于，包括：供给由粘结膜和覆盖带构成的粘结膜带的供给机构；沿既定的运送路径运送从上述供给机构供给的粘结膜带的带运送机构；将由上述带运送机构运送的粘结膜带中作为贴附对象的粘结膜的一部分压接在粘结对象部件上的带压接机构；回收由于粘结膜的一部分被上述带压接机构压接而残留的使用后的粘结膜带的回收机构，上述回收机构是以在使用后的粘结膜带卷绕在其外周部的一部分上的状态下运送该粘结膜带的方式被驱动旋转的回收卷轴，包括：回收卷轴，构成为将拉到该回收卷轴的外周部而被固定的使用后的粘结膜带在既定的拉离位置拉离；回收箱，回收从上述回收卷轴在上述外周部的上述拉离位置被拉离的使用后的粘结膜带。

另外，在本发明的第2解决方法中，优选地是在上述回收卷轴的上述拉离位置被拉离的上述使用后的粘结膜带在基于自重而在上下方向上下垂的状态下被运送到上述回收箱。

此外，在本发明的第2解决方法中，优选地是上述回收卷轴在其外周部设置有多个真空吸引部，并构成为通过与上述回收卷轴的旋转联动地切换上述各真空吸引部的吸引状态，上述外周部中仅位于该回收卷轴的上半部分的部分始终为吸引状态。

进而，在本发明的第2解决方法中，优选地是卷绕在上述回收卷轴上的上述使用后的粘结膜带以该粘结膜带中所含有的覆盖带中没有附着上述粘结膜一侧的面与上述回收卷轴的上述外周部接触的状态被卷绕。

另外，在本发明的第2解决方法中，优选地是上述粘结膜带是作为上述粘结膜含有带状的各向异性导电膜的各向异性导电膜带。

根据本发明的第2解决方法，在借助被驱动旋转的回收卷轴，以使用后的粘结膜带卷绕在其外周部的一部分上的状态运送该粘结膜带后，将粘结膜带在该回收卷轴的下游侧的既定的拉离位置处拉离，并最终借助回收箱进行回收，所以可无需回收卷轴的交换而提高装置的工作效率。

本发明作为其第3解决方法提供一种粘结膜带馈送机构，运送含有带状的粘结膜的粘结膜带，其特征在于，包括：第1带馈送机构，对在第1平面内运送的粘结膜带施加扭转，同时向与上述第1平面不同的第2平面运送该粘结膜带；第2带馈送机构，为了使以被上述第1带馈送机构施加有扭转的状态被运送的粘结膜带在上述第2平面内运送，使施加在该粘结膜带上的扭转复元，同时运送该粘结膜带。

另外，在本发明的第3解决方法中，上述第1带馈送机构优选地是具有位于上述第1平面内的直径比较大的大辊、和以相对于上述第1平面倾斜的状态位于比该大辊靠下游侧的直径比较小的小辊。此外，上述第2带馈送机构优选地是具有位于上述第2平面内的直径比较大的大辊、和以相对于上述第2平面倾斜的状态位于比该大辊靠上游侧的直径比较小的小辊。

此外，在本发明的第3解决方法中，上述大辊优选地是具有凹型槽，该凹型槽具有与粘结膜带的宽度对应的大小且截面为矩形。此外，上述小辊优选地是具有倒梯形槽，该倒梯形槽具有与粘结膜带的宽度对应的大小且截面为倒梯形。

进而，在本发明的第3解决方法中，优选地是被上述第1带馈送机构以及上述第2带馈送机构运送的粘结膜带是其上游侧的部分和下游侧的部分相互立体地交叉。

此外，在本发明的第3解决方法中，优选地是上述粘结膜带是作为上述粘结膜含有带状的各向异性导电膜的各向异性导电膜带。

根据本发明的第3解决方法，借助第1带馈送机构对在第1平面内运送的粘结膜带施加扭转，同时向与第1平面不同的第2平面运送该粘结膜带，之后，借助第2带馈送机构，为了使以被第1带馈送机构施加有扭转的状态下运送的粘结膜带在第2平面内运送，使施加在该粘结膜带上的扭转复元，同时运送该粘结膜带。因此，被第1带馈送机构以及第2带馈送机构运送的粘结膜带的运送路径位于相互不同的两个平面(第1平面以及第2平面)内，粘结膜带能够以其上游侧的部分和下游侧的部分相互立体交叉的状态被运送。因此，能够以高自由度设定在粘结膜贴附装置中运送的粘结膜带的运送路径，即便在设置接合机构或排出机构等而在粘结膜带的运送路径中产生变更时，也可柔性地对应这样的构成变更。此外，通过这样的配置，可将供给粘结膜带的供给机构、和对粘结膜带施加张力的张力机构配置在两个平面上，进而可将粘结膜贴附装置的各机构配置在多个平面上而不是一个平面上，所以可进行小型化以及有效的配置。

此外，根据本发明的第3解决方法，在第1带馈送机构中，使用位于第1平面内的直径比较大的大辊、和以相对于第1平面倾斜的状态位于比该大辊靠下游侧的直径比较小的小辊，对在第1平面内运送的粘结膜带施加扭转，此外，在第2馈送机构中，使用位于第2平面内的直径比较大的大辊、和以相对于第2平面倾斜的状态位于比该大辊靠上游侧的直径比较小的小辊，令由第1带馈送机构施加有扭转的粘结膜带的扭转复元，则可稳定地进行粘结膜带的运送路径的变更。

附图说明

图1是表示本发明的一实施方式的粘结膜贴附装置概略图。

图2是用于详细说明图1所示的粘结膜贴附装置中使用的张力机构的图。

图3是用于详细说明图1所示的粘结膜贴附装置中使用的带定位机构的图。

图4是用于详细说明图1所示的粘结膜贴附装置中使用的带剥离机构的图。

图5是表示图1所示的粘结膜贴附装置的变形例的概略图。

图6A以及图6B是表示图1所示的粘结膜贴附装置的供给侧上设置的粘结膜带馈送机构的详细情况的图。

图7A以及图7B是表示图1所示的粘结膜贴附装置的回收侧上设置的粘结膜带馈送机构的详细情况的图。

图8是表示图6A、图6B、图7A以及图7B所示的粘结膜带馈送机构中含有的大辊的图。

图9是表示图6A、图6B、图7A以及图7B所示的粘结膜带馈送机构中含有的小辊的图。

图10是表示本发明的其他实施方式的粘结膜贴附装置的概略图。

图11是表示图10所示的粘结膜贴附装置中使用的粘结膜带的局部放大剖视图。

图12是表示图10所示的粘结膜贴附装置的回收卷轴的详细情况的图。

图13是表示以往的粘结膜贴附装置的概略图。

图14是表示由粘结膜贴附装置运送的粘结膜带的局部放大图。

图15是表示在以往的粘结膜贴附装置中使用的张力机构的一例的图。

图16是表示在以往的粘结膜贴附装置中使用的张力机构的其他例的图。

具体实施方式

以下，参照附图对本发明的实施方式进行说明。

首先，借助图1以及图9对本发明的一实施方式的粘结膜贴附装置进行说明。

如图1所示，本实施方式的ACF贴附装置(粘结膜贴附装置)10是将作为粘结膜的各向异性导电膜(ACF)贴附在面板基板或电子部件等的粘结对象部件上的装置，包括：供给由ACF部件和覆盖带构成的ACF带(粘结膜带)51的供给机构11；沿既定的运送路径运送从供给机构11供给的ACF带51的带运送机构15；将由带运送机构15运送的ACF带51中作为贴附对象的ACF部件的一部分压接在粘结对象部件52上的带压接机构33；回收由于ACF部件的一部分被带压接机构33压接而主要仅残留覆盖带的使用后的ACF带51的自动回收机构40。

其中，供给机构11具有卷绕并收容ACF带51的供给卷轴12、和以从供给卷轴12放出ACF带51的方式驱动供给卷轴12旋转的供给侧驱动轴13。另外，在供给机构11的供给卷轴12的附近设置自动接合机构38，将从供给卷轴12供给的ACF带51的终端部自动接合在从预备的供给卷轴(未图示)供给的ACF带(未图示)的始端部上。

带运送机构15作为以滚动接触状态支承ACF带51的辊具有固定辊16、17、粘结膜带馈送机构(供给侧立体运送机构)18、固定辊24、25以及粘结膜带馈送机构(回收侧立体运送机构)27，以该顺序拉绕从供给机构11供给的ACF带51。

在此，可在这样的带运送机构15的运送路径上配置供给侧张力机构31以及回收侧张力机构32，对由带运送机构15运送的ACF带51施加张力。

具体而言，如图1以及图2所示，供给侧张力机构31具有：以滚动接触的状态支承由带运送机构15运送的ACF带51的供给侧可动辊23、和在对由供给侧可动辊23支承的ACF带51赋予张力的状态下移动自如地引导供给侧可动辊23的供给侧可动辊引导机构31a。

此外，回收侧张力机构32具有：以滚动接触的状态支承由带运送机构15运送的ACF带51的回收侧可动辊26、和在对由回收侧可动辊26支承的ACF带51赋予张力的状态下移动自如地引导回收侧可动辊26的回收侧可动辊引导机构32a。

另外，供给侧张力机构31以及回收侧张力机构32都如图2所示，具有对由供给侧可动辊引导机构31a(或者回收侧可动辊引导机构32a)引导的供给侧可动辊23(或者回收侧可动辊26)施加驱动力的驱动力赋予装置61、和控制驱动力赋予装置61以便根据ACF部件的贴附过程的各阶段所需要的ACF带51的张力而调整对供给侧可动辊23(或者回收侧可动辊26)施加的驱动力的控制装置67。另外，驱动力赋予装置61具有：连接在供给侧可动辊23(或者回收侧可动辊26)上的驱动力传递带64、挂绕在驱动力传递带64上的从动辊62以及驱动辊63、对驱动辊63施加扭矩而进行驱动的扭矩赋予装置65以及驱动马达66(由控制装置67控制的驱动马达)。

若回到图1继续说明，则包含在带运送机构15中的粘结膜带馈送机构(供给侧立体运送机构)18具有第1带馈送机构121(供给侧立体运送用固定辊123、124)以及第2带馈送机构122(供给侧立体运送用固定辊125、126)，构成为可一边改变运送ACF带51的平面一边立体地运送ACF带51。进而，粘结膜带馈送机构(回收侧立体运送机构)27具有第1带馈送机构127(回收侧立体运送用固定辊129、130)以及回收侧立体运送用固定辊131，构成为可一边改变运送ACF带51的平面一边立体地运送ACF带51。另外，粘结膜带馈送机构(供给侧立体图运送机构18以及回收侧立体运送机构27)的详细描述如后述。

带压接机构33具有ACF粘着机构35，向载置粘结对象部件52的垫板34、和载置在垫板34上的粘结对象部件52推压由带运送机构15运送来的ACF带51，由此将ACF带51中成为贴附对象的ACF部件(参照图3的附图标记51a)的一部分压接在粘结对象部件52上。

在此，在带压接机构33的附近，如图1以及图3所示，设置有：带切断机构36，在ACF带51的ACF部件51a中贴附在粘结对象部件52上的部分的两端位置上形成切口51c；带拉出机构37，令由带运送机构15运送的ACF带51拉出应贴附到粘结对象部件52上的需要的长度并位于粘结对象部件52上。另外，如图3所示，基于带切断机构36的ACF带51的切断仅对ACF部件51a进行，不对覆盖带51b进行。

此外，在带压接机构33的附近，如图1以及图3所示，设置带定位机构39、39，将由带运送机构15运送到带压接机构33的ACF带51向粘结对象部件52推压而进行该ACF带51的定位。

进而，在带压接机构33的附近，如图4所示，设置带剥离机构45，从由带压接机构33压接在粘结对象部件52上的ACF部件51a上剥离覆盖带51b。

若回到图1进而说明，则自动回收机构40具有：回收卷轴41，以使用后的ACF带51卷绕在其外周槽41a的一部分上的状态运送该ACF带51；驱动回收卷轴41旋转的回收侧驱动轴42；回收由回收卷轴41运送的使用后的ACF带51的回收箱44。在此，回收卷轴41中，在卷绕ACF带51的外周槽41a上设置多个真空吸引孔，通过与回收卷轴41的旋转联动地切换各真空吸引孔的吸引状态而使外周槽41a中仅位于回收卷轴41的上半部分的部分始终处于吸引状态。

接着，对这样构成的ACF贴附装置10的动作进行说明。

在图1所示ACF贴附装置10中，ACF带51，借助供给机构11从由供给侧驱动轴13驱动旋转的供给卷轴12被放出，以下述方式运送：经由固定辊16、17、粘结膜带馈送机构(供给侧立体运送机构)18、供给侧可动辊23(供给侧张力机构31)以及固定辊24而位于载置在压接机构33的垫板34上的粘结对象部件52上。

更具体而言，在由带夹紧机构(未图示)夹紧ACF带51的状态下，若令供给卷轴12伴随着供给侧驱动轴13的旋转驱动而向图示方向旋转，则ACF带从供给卷轴12放出，并且该ACF带51经由带运送机构15(特别是固定辊16、17、粘结膜带馈送机构(供给侧立体运送机构)18以及供给侧可动辊23)而被运送，在该ACF带51上产生松弛。在此，在供给侧张力机构31中，在基于控制装置67的控制下，借助驱动马达66以及扭矩赋予装置65对驱动辊63进行驱动，令驱动力传递带64向图2的实线的箭头方向移动，由此在对ACF带51施加一定张力的状态下令由供给侧可动辊引导机构31a引导的供给侧可动辊23上升。另外，此时，供给侧张力机构31的控制装置67以减小对供给侧可动辊23施加的驱动力的方式控制驱动马达66，由此，在由带运送机构15运送ACF带51的阶段中，对ACF带51赋予比较低的张力。

而且，若供给侧可动辊23上升而到达上限位置，则停止供给侧驱动轴13的旋转驱动以及驱动马达66的驱动。由此，成为下述状态，即，从供给机构11的供给卷轴12临时放出应贴附到粘结对象部件52上所需的长度的ACF带51，并储存在供给卷轴12和固定辊24之间。

在该状态下，通过放开带夹紧机构(未图示)而解除ACF带51的夹紧，并且停止供给侧驱动轴13的旋转驱动，若在该状态下，借助带拉出机构37将ACF带51向图示方向拉出，则由供给侧张力机构31的供给侧可动辊引导机构31a保持的供给侧可动辊23开始下降，储存在供给卷轴12和固定辊24之间的ACF带51向图示的方向移动。在此，在供给侧张力机构31中，在基于控制装置67的控制下，借助驱动马达66以及扭矩赋予装置65对驱动辊63进行驱动，令驱动力传递带64向图2的虚线的箭头方向移动，由此，在向ACF带51施加一定的张力的状态下令由供给侧可动辊引导机构31a引导的供给侧可动辊23下降。另外，此时，供给侧张力机构31的控制装置67以减小对供给侧可动辊23施加的驱动力的方式控制驱动马达66，在由带运送机构15运送ACF带51的阶段中，对ACF带51施加比较低的张力。由此，在供给侧可动辊23下降而到达下限位置时，令ACF带51中应贴附在粘结对象部件52上的ACF部件位于粘结对象部件52上。

之后，借助设置在带压接机构33的附近的带定位机构39、39，如图3所示，将由带运送机构15运送到压接机构33处的ACF带15向粘结对象部件52推压，并进行该ACF带51的定位。此时，在供给侧张力机构31中，在基于控制装置67的控制下，由驱动马达66以及扭矩赋予装置65对驱动辊63进行驱动，令驱动力传递带64向图2的实线箭头方向移动而令供给侧可动辊23仅上升既定的距离。由此，在借助带定位机构39、39进行ACF带51的定位的阶段中，可加大对供给侧可动辊23施加的驱动力而对ACF带51赋予比较高的张力。

而且，在带压接机构33中，令ACF粘着机构35向载置在垫板34上的粘结对象部件52移动，推压借助带定位机构39、39定位在粘结对象部件52上的ACF带51，由此将ACF带51中成为贴附对象的ACF部件(图3的附图标记51a)的一部分压接在粘结对象部件52上。另外，此时，在ACF带51的ACF部件51a中贴附在粘结对象部件52上的部分的两端位置上，借助带切断机构36在既定的时刻切入切口51c。

之后，借助设置在带压接机构33的附近的带剥离机构45，如图4所示，从被带压接机构33压接在粘结对象部件52上的ACF部件51a上剥离覆盖带51b。此时，在供给侧张力机构31中，在基于控制装置67的控制下，由驱动马达66以及扭矩赋予装置65对驱动辊63进行驱动，令驱动力传递带64向图2的虚线的箭头方向移动而令供给侧可动辊23仅下降既定的距离。由此，在借助带剥离机构45进行覆盖带51b的剥离的阶段中，减小对供给侧可动辊23施加的驱动力而对ACF带51施加比较低的张力。

而且，最终，这样压接ACF部件51a而主要仅残留覆盖带51b的使用后的ACF带51经由固定辊25、回收侧可动辊26(回收侧张力机构32)以及粘结膜带馈送机构(回收侧立体运送机构)27而被运送，最终，由自动回收机构40回收。

更具体而言，在借助带夹紧机构(未图示)夹紧ACF带51的状态下，若令回收卷轴41伴随回收侧驱动轴24的驱动旋转而向图示的方向旋转，则回收卷轴41以使用后的ACF带51卷绕在其外周槽41a的一部分上的状态运送该ACF带51。即，回收卷轴41通过与其旋转联动地切换各真空吸引孔的吸引状态，使外周槽41a中的仅位于回收卷轴41上半部分的部分始终处于吸引状态，在回收卷轴41的外周槽41a上，仅将在上游侧被拉近并固定的使用后的ACF带51运送小于一周的既定长度，之后在下游侧的既定的拉离位置被拉离。由此，从回收卷轴41在外周槽41a的拉离位置被拉离的使用后的ACF带51在其自重作用下以在上下方向上(可动辊26的移动方向)下垂的状态运送，最终由回收箱44回收。另外，卷绕在回收卷轴41上的使用后的ACF带51以该ACF带51中所包含的覆盖带51b中没有贴附ACF部件51a一侧的面(图3所示的覆盖带51b则为其上表面)与回收卷轴41的外周槽41a接触的状态被卷绕。

另外，在上述这样的借助自动回收机构40回收使用后的ACF带51的过程中，在回收侧张力机构32中，产生向下方拉引使用后的ACF带51的力。在此，在回收侧张力机构32中，在基于控制装置67的控制下，由驱动马达66以及扭矩赋予装置65对驱动辊63进行驱动，令驱动力传递带64向图2的虚线箭头方向移动，由此在对ACF带51施加一定张力的状态下令由回收侧可动辊引导机构32a引导的供给侧可动辊26下降。另外，此时，回收侧张力机构32的控制装置67以减小对回收侧可动辊26施加的驱动力的方式控制驱动马达66，在这样通过带运送机构15运送ACF带51的阶段中，对ACF带51赋予比较低的张力。

而且，若回收侧可动辊26下降而到达下限位置，则停止回收侧驱动轴42的旋转驱动以及驱动马达66的驱动。

在该状态下，通过放开带夹紧机构(未图示)而解除ACF带51的夹紧，并停止回收侧驱动轴42的旋转驱动，在该状态下，若借助带拉出机构37向图示方向拉出ACF带51，则应由自动回收机构40回收的使用后的ACF带51产生松弛。在此，在回收侧张力机构32中，在基于控制装置67的控制下，由驱动马达66以及扭矩赋予装置65对驱动辊63进行驱动，令驱动力传递带64在图2的实线箭头方向移动，由此，在对ACF带51施加一定张力的状态下令由回收侧可动辊引导机构32a引导的供给侧可动辊23上升。另外，此时，回收侧张力机构32的控制装置67以减小对回收侧可动辊26施加的驱动力的方式控制驱动马达66，在这样借助带运送机构15运送ACF带51的阶段中，对ACF带51赋予比较低的张力。而且，若借助带拉出机构37将应贴附在粘结对象部件52上的所需的长度的ACF带51拉出，则回收侧可动辊26上升而到达上限位置，所以该时刻，停止回收侧驱动轴42的旋转驱动以及驱动马达66的驱动。

粘结膜带馈送机构

在此，借助图1、图6A以及图6B对设置在ACF贴附装置10的供给侧的粘结膜带馈送机构(供给侧立体馈送机构)18的详细结构进行说明。另外，图6A是表示图1所示的粘结膜带馈送机构18的详细结构的俯视图，图6B是表示图1以及图6A所示的粘结膜带馈送机构18的ACF带51的运送路径的概略图。

如图1、图6A以及图6B所示，粘结膜带馈送机构18具有：第1带馈送机构121，一边对在第1平面P₁内运送的ACF带51施加扭转一边向与第1平面P₁不同的第2平面P₂运送该ACF带51；第2带馈送机构122，为了使以由第1带馈送机构121施加有扭转的状态被运送的ACF带51在第2平面P₂内运送，使施加在该ACF带51上的扭转复元，同时运送该ACF带51。

其中，第1带馈送机构121具有位于第1平面P₁内的直径比较大的大辊123、和以相对于第1平面P₁倾斜的状态位于比该大辊123还下游侧的直径比较小的小辊124。此外，第2带馈送机构122具有位于第2平面P₂内的直径比较大的大辊126、和以相对于第2平面P₂倾斜的状态位于比该大辊126还上游侧的直径比较小的小辊125。另外，第1带馈送机构121的大辊123以及小辊124分别由固定在支承体137上的支轴123a、124a旋转自如地支承。此外，第2带馈送机构122的大辊126以及小辊125分别由固定在支承体138上的支轴126a、125a旋转自如地支承。

在此，第1带馈送机构121以及第2带馈送机构122中含有的各大辊123、126如图8所示，具有凹型槽141，该凹型槽具有与ACF带51的宽度对应的大小且截面为矩形状。此外，第1带馈送机构121以及第2带馈送机构122中含有的各小辊124、125如图9所示，具有倒梯形槽142，该倒梯形槽142具有与ACF带51的宽度对应的大小且截面为倒梯形。

接着，对由这样的结构构成的粘结膜带馈送机构18的作用进行说明。

首先，从供给机构11的供给卷轴12放出而在第1平面P₁内被运送的ACF带51在第1带馈送机构121中被位于第1平面P₁内的大辊123运送后，由设置在大辊123的下游侧附近的小辊124运送。在此，小辊124以相对于第1平面P₁倾斜的状态布置，从大辊123送出的ACF带51在向其施加有扭转的状态下被送出到第2带送出机构122。另外，为了防止ACF带51从大辊123以及小辊124分离，从大辊123送出ACF带51的位置和向小辊124送入ACF带51的位置优选在同一平面(第1的平面P₁)内(参照图6A)。

接着，从第1带馈送机构121的小辊124以施加有扭转的状态被送出的ACF带51在第2带馈送机构122中被设置在位于第2平面P₂内的大辊126的上游侧附近的小辊124运送，之后，被大辊126运送。另外，由大辊126运送的ACF带51向位于第2平面P₂内的供给侧可动辊23送出。在此，小辊125以相对于第2平面P₂倾斜的状态布置，从第1带馈送机构121的小辊124送出的ACF带51，一边复元施加在其上的扭转一边被送出到大辊126。另外，为了防止ACF带51从小辊125以及大辊126分离，从小辊125送出ACF带51的位置和向大辊126送ACF带51的位置优选在同一平面(第2平面P₂)内(参照图6A)。

另外，如上那样由第1带馈送机构121以及第2带馈送机构122运送的ACF带51，由于其运送路径位于相互不同的两个平面(第1平面P₁以及第2平面P₂)内，所以可在ACF带51的上游侧部分和下游侧部分相互立体交叉的状态下进行运送。

接着，借助图1、图7A以及图7B对设置在ACF贴附装置10的回收侧的粘结膜带馈送机构(回收侧立体运送机构)27的详细结构进行说明。另外，图7A是表示图1所示的粘结膜带馈送机构27的详细结构的俯视图，图7B是表示图1以及图7A所示的粘结膜带馈送机构27的ACF带51的运送路径的概略图。另外，在图7A以及图7B中，在图1所示的粘结膜带馈送机构27中，以在回收侧立体运送用固定辊131的下游侧使用与回收侧立体运送用固定辊129相同的固定辊而不是如图1所示的回收卷轴41的情况为例进行说明。

如图1、图7A以及图7B所示，粘结膜带馈送机构27具有：第1带馈送机构127，一边对在第1平面P₃内运送的ACF带51施加扭转一边向与第1平面P₃不同的第2平面P₄运送该ACF带51；第2带馈送机构128，为了使以由第1带馈送机构127施加有扭转的状态被运送的ACF带51在第2平面P₄内运送，使施加在该ACF带51上的扭转复元，同时运送该ACF带51。

其中，第1带馈送机构127具有位于第1平面P₃内的直径比较大的大辊129、和以相对于第1平面P₃倾斜的状态位于比该大辊129还下游侧的直径比较小的小辊130。此外，第2带馈送机构128具有位于第2平面P₄内的直径比较大的大辊132、和以相对于第2平面P₄倾斜的状态位于比该大辊132还上游侧的直径比较小的小辊131。另外，第1带馈送机构127的大辊129以及小辊130分别由固定在支承体139上的支轴129a、130a旋转自如地支承。此外，第2带馈送机构128的大辊132以及小辊131分别由固定在支承体140上的支轴132a、131a旋转自如地支承。

在此，第1带馈送机构127以及第2带馈送机构128中含有的各大辊129、132如图8所示，具有凹型槽141，该凹型槽具有与ACF带51的宽度对应的大小且截面为矩形状。此外，第1带馈送机构127以及第2带馈送机构128中含有的各小辊130、131如图9所示，具有倒梯形槽142，该倒梯形槽142具有与ACF带51的宽度对应的大小且截面为倒梯形。

接着，对由这样的结构构成的粘结膜带馈送机构27的作用进行说明。

首先，经由回收侧可动辊26而在第1平面P₃内被运送的ACF带51在第1带馈送机构127中被位于第1平面P₃内的大辊129运送后，由设置在大辊129的下游侧附近的小辊130运送。在此，小辊130以相对于第1平面P₃倾斜的状态布置，从大辊129送出的ACF带51以向其施加有扭转的状态被送出到第2带送出机构128。另外，为了防止ACF带51从大辊129或者小辊130分离，从大辊129送出ACF带51的位置和向小辊130送入ACF带51的位置优选在同一平面(第1的平面P₃)内(参照图7A)。

接着，从第1带馈送机构127的小辊130以施加有扭转的状态被送出的ACF带51在第2带馈送机构128中被设置在位于第2平面P₄内的大辊132的上游侧附近的小辊131运送，之后，被大辊132运送。另外，由大辊132运送的ACF带51向作为位于第2平面P₄内的排出机构的回收箱44送出。在此，小辊131以相对于第2平面P₄倾斜的状态布置，从第1带馈送机构127的小辊130送出的ACF带51，一边复元施加在其上的扭转一边被送出到大辊132。另外，为了防止ACF带51从小辊131以及大辊132分离，从小辊131送出ACF带51的位置和向大辊132送入ACF带51的位置优选在同一平面(第2平面P₄)内(参照图7A)。

另外，如上那样由第1带馈送机构127以及第2带馈送机构128运送的ACF带51时，由于ACF带51的运送路径位于相互不同的两个平面(第1平面P₃以及第2平面P₄)内，所以ACF带51可在其上游侧部分和下游侧部分相互立体交叉的状态下进行运送。

根据这样的本实施方式，配置在带运送机构15的运送路径上的供给侧张力机构31以及回收侧张力机构32具有对由供给侧可动辊引导机构31a(或者回收侧可动辊引导机构32a)引导的供给侧可动辊23(或者回收侧可动辊26)施加驱动力的驱动力赋予装置61，在基于控制装置67的控制下，根据ACF部件51a的贴附过程的各阶段中需要的ACF带51的张力来调整对供给侧可动辊23(或回收侧可动辊26)施加的驱动力。因此，在例如基于带运送机构15的ACF带51的运送时，基于带剥离机构45的压接后的覆盖带51b的剥离时、以及基于自动接合机构38的ACF带51的自动接合时，将赋予ACF带51的张力保持为比较低，另一方面，在ACF带51的定位时，将赋予ACF带51的张力保持为比较高。由此，可提高ACF带51的定位精度，并可避免伴随着ACF带51的运送、压接后的覆盖带51b的剥离、以及ACF带51的自动接合等而产生的各种问题。具体而言，由于在基于带运送机构15的ACF带51的运送时对ACF带51赋予的张力低，所以可高速地进行ACF带51的运送。此外，由于在压接后的覆盖带51b的剥离时对ACF带51赋予的张力也低，所以可降低覆盖带51b相对于ACF部件51a的剥离角度为锐角，ACF部件51a翻卷的发生频率。进而，由于在ACF带51的自动接合时对ACF带51施加的张力也低，所以不会对ACF带51施加过大的应力，可降低ACF带51的自动接合部的断开的发生频率。进而，由于不是始终对ACF带51赋予高张力，所以还具有对进行ACF带51的供给以及回收的供给卷轴12以及回收卷轴41不施加过大的应力的优点。

此外，根据本实施方式，在设置在ACF贴附装置10的供给侧以及回收侧的粘结膜带馈送机构18、27中，借助第1带馈送机构121、127，一边对在第1平面P₁、P₃内运送的ACF带51施加扭转一边向与第1平面P₁、P₃不同的第2平面P₂、P₄运送该ACF带51，之后，借助第2带馈送机构122、128，以在由第1带馈送机构121、127施加有扭转的状态下被运送的ACF带51在第2平面P₂、P₄内被运送的方式一边将施加在该ACF带51上的扭转复元一边运送该ACF带51。因此，由第1带馈送机构121、127以及第2带馈送机构122、128运送的ACF带51的运送路径位于相互不同的两个平面(第1平面P₁、P₃以及第2平面P₂、P₄)内，ACF带51可在其上游侧部分和下游侧部分相互立体交叉的状态下进行运送。因此，能够以高自由度设定由ACF贴附装置10运送的ACF带51的运送路径，在向ACF贴附装置10的供给机构11的供给卷轴12和供给侧可动辊23之间设置自动接合机构38而改变ACF带51的运送路径时，在向ACF贴附装置10的回收侧设置作为排出机构的回收箱44而改变ACF带51的运送路径时，也可柔性地对应该结构的改变。

进而，根据本实施方式，在粘结膜带馈送机构18、27的第1带馈送机构121、127中，使用位于第1平面P₁、P₃中的直径比较大的大辊123、129，和以相对于第1平面P₁、P₃倾斜的状态位于比该大辊123、129还下游的直径比较小的小辊124、130，对在第1平面P₁、P₃内运送的ACF带51施加扭转，此外，在粘结膜带馈送机构18、27的第2带馈送机构122、128中，使用位于第2平面P₂、P₄中的直径比较大的大辊126、132，和以相对于第2平面P₂、P₄倾斜的状态位于比该大辊126、132还下游的直径比较小的小辊125、131，令由第1带馈送机构121、127施加了扭转的ACF带51的扭转复元，所以，可稳定地进行ACF带51的运送路径的变更。

进而，根据本实施方式，在粘结膜带馈送机构18、27的第1带馈送机构121、127中，在沿位于第1平面P₁，P₃的大辊123、129的凹型槽141运送ACF带51后，沿设置在大辊123、129的下游侧附近的小辊124、130的倒梯形槽142运送ACF带51，所以，在借助具有截面矩形状的凹型槽141的大辊123、129限制ACF带51的宽度方向的移动的状态下，可确保该ACF带51的稳定的运送，并且借助具有截面倒梯形的倒梯形槽142(特别是形成在其侧面的斜度(V型面))的小辊124、130对ACF带51赋予充分的角度而对ACF带51施加扭转。此外，同样，在粘结膜带馈送机构18、27的第2带馈送机构122、128中，在沿设置在位于第2平面P₂、P₄的大辊126、132的上游侧附近的小辊125、131的倒梯形槽142运送ACF带51后，沿大辊126、132的凹型槽141运送ACF带51，所以在借助具有截面矩形状的凹型槽141的大辊126、132限制ACF带51的宽度方向的移动的状态下，可确保该ACF带51的稳定的运送，并且借助具有截面倒梯形状的倒梯形槽142(特别是形成在其侧面的斜度(V型面))的小辊125、131对ACF带51赋予充分的角度，而令施加在ACF带51上的扭转复元。

另外，在上述实施方式中，分别在供给侧张力机构31以及回收侧张力机构32中设置控制装置67，但不限定于此，作为控制装置67，也可设置一个控制装置，综合地控制供给侧张力机构31以及回收侧张力机构32双方。

此外，在上述实施方式中，举例说明了如图1所示ACF贴附装置10所示那样设置自动接合机构38以及自动回收机构40并借助粘结膜带馈送机构(供给侧立体馈送机构)18以及粘结膜带馈送机构(回收侧立体运送机构)27立体地运送ACF带51的情况，但不限定于此，也可同样地应用于下述情况，即如图5所示的ACF贴附装置10’那样，不设置自动接合机构38以及自动回收机构40，从供给机构11的供给卷轴12放出的ACF带51在一个平面内被运送，借助通常的回收机构46的回收卷轴47卷取而进行回收。

其他实施方式

接着，借助图10至图12对本发明的其他的实施方式的粘结膜贴附装置进行说明。

如图10所示，本实施方式的ACF贴附装置(粘结膜贴附装置)210是将作为粘结膜的各向异性导电膜(ACF)贴附在面板基板或电子部件等的粘结对象部件上的装置，包括：供给由ACF部件和覆盖带构成的ACF带(粘结膜带)51的供给机构211；沿既定的运送路径运送从供给机构211供给的ACF带51的带运送机构215；将由上述带运送机构215运送的ACF带51中作为贴附对象的ACF部件的一部分压接在粘结对象部件52上的带压接机构233；回收由于ACF部件的一部分被上述带压接机构33压接而主要仅残留覆盖带的使用后的ACF带51的自动回收机构240。

其中，供给机构211具有卷绕并收容ACF带51的供给卷轴212、和以从供给卷轴212放出ACF带51的方式驱动供给卷轴212旋转的供给侧驱动轴213。另外，在供给机构211的供给卷轴212的附近设置有自动接合机构238，将从预备的供给卷轴(未图示)供给的ACF带(未图示)自动接合在现在的供给卷轴212的ACF带51上。

带运送机构215，作为在滚动接触的状态下支承ACF带51的辊，具有固定辊216、217、供给侧立体运送机构(粘结膜带馈送机构)218、供给侧可动辊223、固定辊224、225、回收侧可动辊226以及回收侧立体运送机构(粘结膜带运送机构)227，在该顺序下，拉绕从供给机构211供给的ACF带51。另外，供给侧可动辊233以及回收侧可动辊226分别通过供给侧可动辊保持机构231以及回收侧可动辊保持机构232保持成在重锤(未图示)的作用下被施加有向上方的拉引力的状态在上下方向移动自如，分别作为供给侧阶梯辊以及回收侧阶梯辊起作用。此外，供给侧立体运送机构218具有供给侧立体运送用固定辊219、220、211、222，构成为可一边改变运送ACF带51的平面一边立体地运送ACF带51。进而，回收侧立体运送机构227具有回收侧立体运送用固定辊228、229、230，构成为可一边改变ACF带51的运送平面一边立体地运送ACF带51。

带压接机构233具有载置粘结对象部件52的垫板234和ACF粘着机构235，ACF粘着机构235向载置在垫板234上的粘结对象部件52推压由带运送机构215运送来的ACF带51，由此将ACF带51中成为贴附对象的ACF部件(图11的附图标记51a)的一部分压接在粘结对象部件52上。

在此，在ACF粘着机构235的附近设置有：带切断机构236，在ACF带51的ACF部件51a中贴附在粘结对象部件52上的部分的两端位置上形成切口(参照图11的附图标记51c)；带拉出机构237，将由带运送机构215运送的ACF带51仅拉出应贴附到粘结对象部件52上的需要的长度并位于粘结对象部件52上。另外，如图11所示，基于带切断机构236的ACF带51的切断仅对ACF部件51a进行，不对覆盖带51b进行。

自动回收机构240具有：回收卷轴241，以使用后的ACF带51卷绕在其外周槽(外周部)241a的一部分上的状态运送该ACF带51；驱动回收卷轴241旋转的回收侧驱动轴242；回收由回收卷轴241运送的使用后的ACF带51的回收箱244。在此，如图12所示，回收卷轴241中，在卷绕ACF带51的外周槽241a上设置由多个真空吸引孔构成的真空吸引部243，通过与回收卷轴241的旋转联动地切换各真空吸引部243的吸引状态，使外周槽241a中仅位于回收卷轴241的上半部分的部分始终处于吸引状态。

接着，对这样构成的ACF贴附装置210的动作进行说明。

在图10所示的ACF贴附装置210中，ACF带51借助供给机构211从由供给侧驱动轴213驱动旋转的供给卷轴212放出，以下述方式运送：经由固定辊216、217、粘结膜带馈送机构(供给侧立体运送机构)218、供给侧可动辊223以及固定辊224而位于载置在压接机构233的垫板234上的粘结对象部件52上。

更具体而言，在由带夹紧机构(未图示)夹紧ACF带51的状态下，若令供给卷轴212伴随着供给侧驱动轴213的旋转而向图示方向旋转，则ACF带51从供给卷轴212被放出，并且该ACF带51经由带运送机构215(特别是固定辊216、217、供给侧立体运送机构218以及供给侧可动辊223)运送，在该ACF带51上产生松弛。在此，由供给侧可动辊保持机构231保持的供给侧可动辊223在未图示的重锤的作用下上升。此外，在供给侧可动辊223上升而到达上限位置的时刻，停止供给侧驱动轴213的旋转驱动。另外，在该时刻成为从供给机构211的供给卷轴212临时放出应贴附在粘结对象部件52上的所需的长度的ACF带51并储存在供给卷轴212和固定辊224之间的状态。

在该状态下，通过放开带夹紧机构(未图示)而解除ACF带51的夹紧，并且停止供给侧驱动轴213的旋转驱动，若在该状态下，借助带拉出机构237将ACF带51向图示方向拉出，则由供给侧可动辊保持机构231保持的供给侧可动辊223开始下降，储存在供给卷轴212和固定辊224之间的ACF带51向图示的方向移动。由此，在供给侧可动辊223下降而到达下限位置时，令ACF带51中应贴附在粘结对象部件52上的ACF部件位于粘结对象部件52上。

而且，在带压接机构233中，令ACF粘着机构235向载置在垫板234上的粘结对象部件52移动，通过推压位于在粘结对象部件52上的ACF带51而将ACF带51中成为贴附对象的ACF部件(图2的附图标记51a)的一部分压接在粘结对象部件52上。另外，此时，在ACF带51的ACF部件51a中贴附在粘结对象部件52上的部分的两端位置上，借助带切断机构236在既定的时刻切入切口51c。

在此，压接ACF部件51a而主要仅残留覆盖带51b的使用后的ACF带51经由固定辊225、回收侧可动辊226以及粘结膜带馈送机构227而被运送，最终，由自动回收机构40回收。

更具体而言，在借助带夹紧机构(未图示)夹紧ACF带的状态下，若令回收卷轴241伴随回收侧驱动轴242的驱动旋转而向图示的方向旋转，则回收卷轴241以使用后的ACF带51卷绕在其外周槽241a的一部分上的状态运送该ACF带51。即，回收卷轴241通过与其旋转联动地切换各真空吸引部243的吸引状态，使外周槽241a中仅位于回收卷轴241上半部分的部分始终处于吸引状态，在回收卷轴241a的外周槽241a上，在上游侧被拉近并固定的使用后的ACF带51在被运送小于一周的既定长度后，在下游侧的既定的拉离位置(参照图12的附图标记R)被拉离。由此，从回收卷轴241在外周槽241a的拉离位置(参照图12的附图标记R)被拉离的使用后的ACF带51以在其自重作用下在上下方向上(回收侧可动辊226的移动方向)下垂的状态运送，最终由回收箱244回收。另外，卷绕在回收卷轴241上的使用后的ACF带51以该ACF带51中所包含的覆盖带51b中没有贴附ACF部件51a一侧的面(图2所示的覆盖带51b则为其上表面)与回收卷轴241的外周槽241a接触的状态被卷绕。

另外，在上述这样的借助自动回收240回收使用过的ACF带51的过程中，产生向下方拉引使用后的ACF带51的力。由此，由回收侧可动辊保持机构232保持的回收侧可动辊226在未图示的重锤作用下克服向上方被施加的拉引力而下降。另外，若回收侧可动辊226下降而到达下限位置，则停止回收侧驱动轴242的旋转。

在该状态下，通过放开带夹紧机构(未图示)而解除ACF带51的夹紧，并停止回收侧驱动轴242的旋转驱动，在该状态下，若借助带拉出机构237向图示方向拉出ACF带51，则应由自动回收机构240回收的使用后的ACF带51产生松弛，在未图示的重锤的作用下回收侧可动辊226上升。而且，若借助带拉出机构237将应贴附在粘结对象部件52上的所需的长度的ACF带51拉出，则回收侧可动辊26到达上限位置。

根据本实施方式，借助由回收侧驱动轴242驱动旋转的回收侧卷轴241以使用后的ACF带51卷绕在其外周槽241a的一部分上的状态运送该ACF带51，之后，将ACF带51在该回收卷轴241的下游侧的既定的拉离位置(参照图12的附图标记R)拉离，以借助其自重在上下方向(回收侧可动辊226的移动方向)上下垂的状态被运送，最终由回收箱224回收，所以，不需要回收卷轴241的交换作业，可提高装置的工作效率。

此外，根据本实施方式，卷绕在回收卷轴241上的使用后的ACF带51，以该ACF带51中所包含的覆盖带51b中没有贴附ACF部件51a侧的面与回收卷轴241的外周槽241a接触的方式被卷绕，所以，可有效地防止使用后的残留在ACF带51上的ACF部件51a附着在回收卷轴241等上，可无需维修。

Claims

1.一种粘结膜贴附装置，其特征在于，包括：

供给由粘结膜和覆盖带构成的粘结膜带的供给机构；

沿既定的运送路径运送从上述供给机构供给的粘结膜带的带运送机构；

将由上述带运送机构运送的粘结膜带中作为贴附对象的粘结膜的一部分压接在粘结对象部件上的带压接机构；

回收由于粘结膜的一部分被上述带压接机构压接而残留的使用后的粘结膜带的回收机构；

配置在上述带运送机构的上述既定的运送路径上且对由上述带运送机构运送的粘结膜带施加张力的张力机构，

上述张力机构具有：以滚动接触状态支承由上述带运送机构运送的粘结膜带的可动辊；在对由上述可动辊支承的粘结膜带施加张力的状态下移动自如地引导上述可动辊的引导机构；对由上述引导机构引导的上述可动辊施加驱动力的驱动力赋予装置；控制上述驱动力赋予装置，以便根据粘结膜的贴附过程的各阶段中需要的上述粘结膜带的张力而调整对上述可动辊施加的驱动力的控制装置。

2.如权利要求1所述的粘结膜贴附装置，其特征在于，上述张力机构的上述控制装置在由上述带运送机构运送上述粘结膜带的阶段中减小对上述可动辊施加的驱动力，对上述粘结膜带赋予比较低的张力。

3.如权利要求1所述的粘结膜贴附装置，其特征在于，

还具有带定位机构，将由上述带运送机构运送到上述带压接机构的粘结膜带向上述粘结对象部件推压而进行该粘结膜带的定位，

上述张力机构的上述控制装置在由上述带定位机构进行上述粘结膜带的定位的阶段时增大对上述可动辊施加的驱动力，对上述粘结膜带赋予比较高的张力。

4.如权利要求1所述的粘结膜贴附装置，其特征在于，

还具有带剥离机构，从被上述带压接机构压接在上述粘结对象部件上的粘结膜上剥离覆盖带，

上述张力机构的上述控制装置在借助上述带剥离机构从上述粘结膜上剥离上述覆盖带的阶段中减小对上述可动辊施加的驱动力，对上述粘结剂膜带赋予比较低的张力。

5.如权利要求1所述的粘结膜贴附装置，其特征在于，

还具有带自动接合机构，将从上述供给机构供给的粘结膜带的终端部自动接合在从预备供给机构供给的粘结膜带的始端部上，

上述张力机构的上述控制装置在由上述带自动接合机构自动接合粘结膜带的阶段中减小对上述可动辊施加的驱动力，对上述粘结膜带赋予比较低的张力。

6.如权利要求1至5的任意一项所述的粘结膜贴附装置，其特征在于，上述粘结膜带是作为上述粘结膜含有带状的各向异性导电膜的各向异性导电膜带。

7.一种粘结膜贴附装置，其特征在于，包括：

供给由粘结膜和覆盖带构成的粘结膜带的供给机构；

回收由于粘结膜的一部分被上述带压接机构压接而残留的使用后的粘结膜带的回收机构，

上述回收机构是以在使用后的粘结膜带卷绕在其外周部的一部分上的状态下运送该粘结膜带的方式被驱动旋转的回收卷轴，包括：回收卷轴，构成为将拉到该回收卷轴的外周部而被固定的使用后的粘结膜带在既定的拉离位置拉离；回收箱，回收从上述回收卷轴在上述外周部的上述拉离位置被拉离的使用后的粘结膜带。

8.如权利要求7所述的粘结膜贴附装置，其特征在于，在上述回收卷轴的上述拉离位置被拉离的上述使用后的粘结膜带在基于其自重而在上下方向上下垂的状态下被运送到上述回收箱。

9.如权利要求7或8所述的粘结膜贴附装置，其特征在于，上述回收卷轴在其外周部设置有多个真空吸引部，并构成为通过与上述回收卷轴的旋转联动地切换上述各真空吸引部的吸引状态，上述外周部中仅位于该回收卷轴的上半部分的部分始终为吸引状态。

10.如权利要求7至9的任意一项所述的粘结膜贴附装置，其特征在于，卷绕在上述回收卷轴上的上述使用后的粘结膜带以该粘结膜带中所含有的覆盖带中没有附着上述粘结膜一侧的面与上述回收卷轴的上述外周部接触的状态被卷绕。

11.如权利要求7至10的任意一项所述的粘结膜贴附装置，其特征在于，上述粘结膜带是作为上述粘结膜含有带状的各向异性导电膜的各向异性导电膜带。

12.一种粘结膜带馈送机构，运送含有带状的粘结膜的粘结膜带，其特征在于，包括：

第1带馈送机构，对在第1平面内运送的粘结膜带施加扭转，同时向与上述第1平面不同的第2平面运送该粘结膜带；

第2带馈送机构，为了使以被上述第1带馈送机构施加有扭转的状态运送的粘结膜带在上述第2平面内运送，使施加在该粘结膜带上的扭转复元，同时运送该粘结膜带。

13.如权利要求12所述的粘结膜带馈送机构，其特征在于，上述第1带馈送机构具有位于上述第1平面内的直径比较大的大辊、和以相对于上述第1平面倾斜的状态位于比该大辊靠下游侧的直径比较小的小辊。

14.如权利要求12或13所述的粘结膜带馈送机构，其特征在于，上述第2带馈送机构具有位于上述第2平面内的直径比较大的大辊、和以相对于上述第2平面倾斜的状态位于比该大辊靠上游侧的直径比较小的小辊。

15.如权利要求13或14所述的粘结膜带馈送机构，其特征在于，上述大辊具有凹型槽，该凹型槽具有与粘结膜带的宽度对应的大小且截面为矩形。

16.如权利要求13至15的任意一项所述的粘结膜带馈送机构，其特征在于，上述小辊具有倒梯形槽，该倒梯形槽具有与粘结膜带的宽度对应的大小且截面为倒梯形。

17.如权利要求12至16的任意一项所述的粘结膜带馈送机构，其特征在于，被上述第1带馈送机构以及上述第2带馈送机构运送的粘结膜带是其上游侧的部分和下游侧的部分相互立体地交叉。

18.如权利要求12至17的任意一项所述的粘结膜带馈送机构，其特征在于，上述粘结膜带是作为上述粘结膜含有带状的各向异性导电膜的各向异性导电膜带。