JP5928771B2

JP5928771B2 - 基板検査装置および基板検査方法

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Publication number: JP5928771B2
Application number: JP2011219297A
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Inventors: 智一木内
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Also published as: JP2013079847A

Description

本発明は、大型ガラス基板の検査装置および基板検査方法に関する。

近年、液晶ディスプレイ（ＬＣＤ）やプラズマディスプレイ（ＰＤＰ）等のフラットパネルディスプレイ（ＦＰＤ）に使用するガラス基板（以下、基板という）の外観の検査として、基板全体を目視により観察するマクロ検査と、顕微鏡やＣＣＤ等を用いて微視的に検査するミクロ検査が行われている。基板の大型化に伴い、マクロ検査装置およびミクロ検査装置も大型化するため、省フットプリント可能な検査装置が種々開発されている。

例えば、下記特許文献１に記載の基板検査装置は、マクロ検査とミクロ検査とが行える兼用装置であって、基板の浮上ステージを有し、浮上搬送された基板をミクロ検査する検査ヘッドと、マクロ検査に適した角度に基板を回動することが可能なマクロ検査用ステージとを備える。

特開２００７−２７８７１５号公報

上述した特許文献１に記載の技術において、搬入された基板を搬送部によりマクロ検査用ステージまで搬送し、マクロフレームで基板を持ち替えた後マクロ検査を行い、再度搬送部によりミクロ検査ステージまで基板を搬送後、ミクロ検査を行なう。この検査装置では、基板の搬送方向に対して垂直であり、かつ搬送面と平行な回動軸を中心として、この軸に基板の短手方向の一端をあわせた状態で基板を回動する。このため装置上部に基板の長手方向を立ち上げるための空間を要することとなる。

また、基板を搬入する際の基板搬入領域が必要となるため、省フットプリントの効果は小さく、基板の持ち替えに要する時間が長くなるという問題を有する。

本発明は、上記に鑑みてなされたものであって、マクロ検査とミクロ検査とを行う検査装置であって、省スペースかつ省フットプリントが図れるだけでなく、タクトタイムの短縮化が可能な基板検査装置を提供することを目的とする。

上記した課題を解決し、目的を達成するために、本発明に係る基板検査装置は、検査する基板を載置する基板載置部と、前記基板載置部の基板搬送方向と平行な一方の端部に設けられ、前記基板を保持して搬送する基板搬送部と、前記基板搬送方向と直交する方向に前記基板載置部を跨ぐように設置された門型アームを有し、前記基板搬送部により搬送される前記基板をミクロ検査するミクロ検査部と、前記ミクロ検査部の下流側に設けられた基板搬出領域に対して出没可能に設けられ、前記基板搬送部と反対側の前記基板載置部の他方の端部に平行に設けられた回動軸を中心にして回動可能に設けられたマクロ検査用ホルダと、前記回動軸を中心に前記マクロ検査用ホルダを所望の角度に回動させた状態で該マクロ検査用ホルダに保持された前記基板をマクロ照明するマクロ照明部と、を備え、前記回動軸を中心にして前記マクロ検査用ホルダを回動させ前記基板を検査位置まで立ち上げ前記基板載置部の側方から検査者の目視によるマクロ検査を行うことを特徴とする基板検査装置。

また、本発明の基板検査方法は、検査する基板を載置する基板載置部と、前記基板載置部の基板搬送方向と平行な一方の端部に設けられ、前記基板を保持して搬送する基板搬送部と、前記基板搬送方向と直交する方向に前記基板載置部を跨ぐように設置された門型アームを有し、前記基板搬送部により搬送される前記基板をミクロ検査するミクロ検査部と、前記基板載置に対して出没可能に設けられ、前記基板搬送部と反対側の前記基板載置部の他方の端部に平行に設けられた回動軸を中心にして回動可能に設けられたマクロ検査用ホルダと、前記回動軸を中心に前記マクロ検査用ホルダを所望の角度に回動させた状態で該マクロ検査用ホルダに保持された前記基板をマクロ照明するマクロ照明部と、を備える基板検査装置における基板検査方法であって、前記基板載置部の基板搬入領域に前記基板を搬入する搬入ステップと、前記基板搬送部により前記基板を保持する第１基板保持ステップと、前記基板を前記基板搬送部により前記ミクロ検査部に搬送する第１搬送ステップと、前記基板を前記ミクロ検査部でミクロ検査するミクロ検査ステップと、
前記ミクロ検査が終了した前記基板を前記基板搬送部により前記基板載置部に埋没している前記マクロ検査用ホルダの上まで搬送する第２搬送ステップと、前記基板搬送部による前記基板の保持を解除する第１保持解除ステップと、前記基板を前記マクロ検査用ホルダで保持する第２基板保持ステップと、前記基板搬送部と反対側の前記基板載置部の他方の端部に平行に設けられた回動軸を中心にして前記マクロ用検査ホルダを回動させ前記基板を検査位置まで立ち上げ、上方からマクロ照明部によりマクロ照明して前記基板をマクロ検査するマクロ検査ステップと、マクロ検査終了後、前記マクロ検査用ホルダを水平位置まで回動させた状態で、前記マクロ検査用ホルダによる前記基板の保持を解除する第２保持解除ステップと、前記第２保持解除ステップ後に前記基板を搬出する搬出ステップと、
を含むことを特徴とする基板検査方法。

また、本発明の基板検査方法は、検査する基板を載置する基板載置部と、前記基板載置部の基板搬送方向と平行な一方の端部に設けられ、前記基板を保持して搬送する基板搬送部と、前記基板搬送方向と直交する方向に前記基板載置部を跨ぐように設置された門型アームを有し、前記基板搬送部により搬送される前記基板をミクロ検査するミクロ検査部と、前記基板載置に対して出没可能に設けられ、前記基板搬送部と反対側の前記基板載置部の他方の端部に平行に設けられた回動軸を中心にして回動可能に設けられたマクロ検査用ホルダと、前記回動軸を中心に前記マクロ検査用ホルダを所望の角度に回動させた状態で該マクロ検査用ホルダに保持された前記基板をマクロ照明するマクロ照明部と、を備える基板検査装置における基板検査方法であって、前記基板載置部の基板搬入領域に前記基板を搬入する搬入ステップと、前記基板を前記マクロ検査用ホルダで保持する第１基板保持ステップと、前記基板搬送部と反対側の前記基板載置部の他方の端部に平行に設けられた回動軸を中心にして前記マクロ用検査ホルダを回動させ前記基板を検査位置まで立ち上げ、上方からマクロ照明部によりマクロ照明して前記基板をマクロ検査するマクロ検査ステップと、マクロ検査終了後、前記マクロ検査用ホルダを水平位置まで回動させた状態で、前記マクロ検査用ホルダによる前記基板の保持を解除する第１保持解除ステップと、前記基板搬送部により前記基板を保持する第２基板保持ステップと、前記基板搬送部により前記マクロ検査が終了した前記基板を前記ミクロ検査部に搬送する第１搬送ステップと、前記基板を前記ミクロ検査部でミクロ検査するミクロ検査ステップと、前記基板搬送部による前記基板の保持を解除する第２保持解除ステップと、前記基板搬を搬出する搬出ステップと、を含むことを特徴とする。

本発明の基板検査装置は、検査する基板を載置し、該基板を浮上させる機構を有する基板載置部内にマクロ検査用ホルダを収容し、マクロ検査時に、マクロ検査用ホルダにより前記基板を保持し、前記基板の搬送方向に対し平行な回動軸で基板が持ち上がるように回動することにより、基板検査装置の省フットプリントを図ることができる。

図１は、本発明の実施の形態に係る基板検査装置の要部の構成を示す上面図である。図２は、本発明の実施の形態に係る基板検査装置の要部の構成を示す一部側面図である。図３は、図２に示す基板検査装置のＡ−Ａ断面図である。図４は、本発明の実施の形態に係る基板検査装置のマクロ検査時の側面図である。図５は、本発明の実施の形態に係る基板検査装置のマクロ検査時の側面図である。図６は、本発明の実施の形態に係る基板検査装置内にマクロ検査用ホルダが収容された状態を示す斜視図である。図７は、本発明の実施の形態に係る基板検査装置のマクロ検査用ホルダを回動して持ち上げた状態を示す斜視図である。図８は、本発明の実施の形態に係る基板検査装置における基板検査工程のフローチャートである。図９は、図８のフローチャートの基板搬入工程のフローチャートである。図１０は、図８のマクロ検査工程のフローチャートである。図１１は、本発明の実施の形態に係る基板検査装置における基板検査工程他の例のフローチャートである。図１２は、図１１のフローチャートの基板搬入工程のフローチャートである。図１３は、図１１のマクロ検査工程のフローチャートである。図１４は、本発明の実施の形態の変形例に係る基板検査装置の要部の構成を示す上面図である。

以下、添付図面を参照して、本発明を実施するための形態（以下、「実施の形態」という）を説明する。なお、以下の説明で参照する図面は模式的なものであって、同じ物体を異なる図面で示す場合には、寸法や縮尺等が異なる場合もある。

（実施の形態）
図１は、本発明の実施の形態に係る基板検査装置１の要部の構成を示す上面図である。図２は、本発明の実施の形態に係る基板検査装置１の要部の構成を示す一部側面図である。図３は、図２に示す基板検査装置１のＡ−Ａ断面図である。図４は、本発明の実施の形態に係る基板検査装置１のマクロ検査時の側面図である。図５は、本発明の実施の形態に係る基板検査装置１のマクロ検査時の側面図である。図６は、本発明の実施の形態に係る基板検査装置１内にマクロ検査用ホルダ５が収容された状態を示す斜視図である。図７は、本発明の実施の形態に係る基板検査装置１のマクロ検査用ホルダ５を回動して持ち上げた状態を示す斜視図である。なお、図６および図７においては、エアを吐出する吐出口は省略している。図１〜図５に示す基板検査装置１は、ＬＣＤやＰＤＰ等のＦＰＤに使用する矩形状の基板Ｇを浮上させながら搬送してミクロ検査およびマクロ検査を行う検査装置である。

基板検査装置１は、基板Ｇを載置する基板載置部２と、基板Ｇをミクロ検査するミクロ検査機器３と、基板Ｇを搬送する基板搬送部４と、基板Ｇを基板載置部２の上面に対して傾斜して起こした状態で保持するマクロ検査用ホルダ５と、基板Ｇをマクロ照明するマクロ照明部１５と、を備える。

基板載置部２は、図示しないリフター等の基板搬入ロボットにより搬入された検査用の基板Ｇを載置する基板搬入領域２１と、ミクロ検査機器３により基板Ｇをミクロ検査する基板検査領域２２と、からなる。本実施の形態では、基板搬入領域２１は、搬入された基板Ｇを受け取る搬入領域であるとともに、マクロ検査用ホルダ５を収容するマクロ検査用ホルダ収容部であり、また検査が終了した基板Ｇをリフター等の基板搬出ロボットにより搬出する基板搬出領域でもある。

基板載置部２の基板載置面ｐには、基板Ｇの下方から基板Ｇの下面に向けて気体を吐出することによって基板Ｇを浮上させる複数の浮上プレート６が設けられる。浮上プレート６は、基板Ｇの搬送方向Ｘに沿って細長い帯状をなして延びている。複数の浮上プレート６は、互いに平行であり、かつ互いの高さが等しい状態で基板載置部２に取り付けられている。浮上プレート６には、上面に開口を有し、気体を上方へ吐出する複数の吐出孔６１が、全面にわたってほぼ均一に設けられている。吐出孔６１から吐出される気体は、例えばクリーンドライエアであり、吐出孔６１から吐出された気体により基板載置面ｐから基板Ｇを浮上させた状態で、基板搬送部４が基板Ｇを保持して基板載置部２上を搬送する。

基板搬入領域２１の浮上プレート６には、複数のリフトピン７が昇降するための孔部７１が設けられる。リフトピン７は、基板載置面ｐから昇降可能に設けられ、基板Ｇの搬入時および搬出時に上昇することにより、搬入出時の基板Ｇとの接触を低減して基板Ｇへの傷の発生を防止する。リフトピン７は、基板搬送部４による基板Ｇの搬送の際は、基板載置面ｐより下降される。

基板搬入領域２１には、マクロ検査用ホルダ５が収容されている。マクロ検査用ホルダ５は、基板載置部２（基板搬入領域２１）に対して出没可能に設けられ、基板載置部２に載置された基板Ｇを基板載置部２の載置面ｐに対して傾斜して起こした状態で保持する。基板搬入領域２１上の浮上プレート６には、基板搬入領域２１内でマクロ検査用ホルダ５が出没可能とする溝部が形成される。マクロ検査用ホルダ５は、基板支持部（縦）５１と、基板支持部５１に井桁状に嵌合されて基板を保持する基板支持部（横）５２と、基板支持部（横）５２上に設けられ、図示しない吸引部により吸引することにより基板Ｇを吸着する吸着部５３と、マクロ検査用ホルダ５を回動する回動軸５４と、基板支持部（縦）５１と基板支持部（横）５２とからなるホルダ本体部を、回動軸５４を介して支持するホルダ支持部５５と、マクロ検査用ホルダ５を回動する駆動部５６と、駆動部５６と連結されてホルダを立ち上げる連結部５７とを備える。マクロ検査用ホルダ５の回動軸５４は、基板載置部２の端部であって基板の搬送方向Ｘと平行な端部であり、かつ基板搬送部４が設けられる端部とは異なる端部に設けられる。マクロ検査用ホルダ５は、基板搬送部４による搬送方向Ｘと平行な回動軸５４を中心に回動する。

駆動部５６は、ボールねじ等により構成され、マクロ検査時にねじ軸を回転駆動することにより駆動部５６のナットを上昇させ、ナットと連結された連結部５７を介して、マクロ検査用ホルダ５を、目視によるマクロ検査に適した角度θまで回動軸５４を軸として回動して基板Ｇを持ち上げる。角度θは、マクロ検査の種類や検査者２０に応じて、図示しない入力部により変更することができる。

ミクロ検査領域２２には、基板載置部２を搬送方向Ｘと直交する方向Ｙに跨いで門型アーム８が設置され、門型アーム８に、顕微鏡、ラインセンサまたはＣＣＤカメラ等のミクロ検査機器３が設けられる。ミクロ検査機器３は、門型アーム８上を基板Ｇの搬送方向と直行するＹ方向に移動可能な移動機構（図示せず）により移動可能である。

基板搬送部４は、基板載置部２の端部であって、基板Ｇの搬送方向と平行（矢印Ｘ方向）な端部に設けられる。また、基板搬送部４が設置される基板載置部２の端部は、マクロ検査用ホルダ５の回動軸５４が設置される端面と対向している。基板搬送部４は、基板Ｇの搬送方向Ｘに沿って直線的に延びるレール４０と、レール４０上を搬送方向に沿って駆動する駆動部４１と、駆動部４１の上面に、昇降部４２を介して取り付けられて基板Ｇの端部を吸着する複数の基板保持部４３とを有する。駆動部４１は、リニアモータや、ベルト、ボールネジ、ラック・アンド・ピニオンなどにより構成されるが、等速性に優れるリニアモータを使用することが好ましい。

マクロ照明部１５は、マクロ検査用ホルダ５の上方に位置し、マクロ検査用の照明光を照明するマクロ照明光源９と、このマクロ照明光源９から出射される照明光を下方に向ける反射ミラー１０と、この反射ミラー１０により反射した照明光を収束させる収束レンズとしてのフレネルレンズ１１と、このフレネルレンズ１１により収束された照明光を透過させる透明な状態及び照明光を散乱させる不透明状態に切替える液晶散乱板１２とを備える。マクロ照明光源９は、基板Ｇ全体をマクロ検査するために基板の搬送方向Ｘに移動可能な構成としてもよく、または基板Ｇ全体を照明できれば複数個備えていてもよい。

続いて、図８〜図１０を参照して、本実施の形態に係る基板検査装置１の基板検査工程を説明する。図８は、本発明の実施の形態に係る基板検査装置１における基板検査工程のフローチャートである。図９は、図８のフローチャートの基板搬入工程のフローチャートである。図１０は、図８のマクロ検査工程のフローチャートである。

まず、リフターにより検査する基板Ｇを基板搬入領域２１に搬入する（ステップＳ１０１）。

基板Ｇの搬入は、図９の工程で行われる。まず、リフトピン７を上昇して（ステップＳ２０１）、リフターにより検査する基板Ｇを基板搬入領域２１に搬入する（ステップＳ２０２）。続いて、吐出口６１からエアを吐出させ（ステップＳ２０３）、リフトピン７を降下して（ステップＳ２０４）、吐出されたエアにより基板Ｇを基板載置部２上に浮上させる。浮上された基板Ｇを位置決め機構により位置決めをした後（ステップＳ２０５）、基板搬送部４の昇降部４２を上昇させるとともに、吸引口４４を吸引して、基板保持部４３により基板Ｇを密着保持する（ステップＳ２０６）。

基板保持部４３により基板Ｇを保持した後、駆動部４１の駆動により基板搬送部４は基板Ｇをミクロ検査領域２２に搬送する（ステップＳ１０２）。

ミクロ検査領域２２のミクロ検査機器３の下まで運ばれた基板Ｇについて、ミクロ検査機器３によりミクロ検査を行う（ステップＳ１０３）。ミクロ検査機器３を、門型アーム８に沿って移動させ、かつ基板搬送部４により基板Ｇを進行方法に移動させることにより、基板Ｇ全体をミクロ検査する。

ミクロ検査終了後、基板搬送部４はミクロ検査が終了した基板Ｇをマクロ検査用ホルダ５上まで搬送する（ステップＳ１０４）。

基板搬送部４により基板Ｇがマクロ検査用ホルダ５上に搬送された後、マクロ照明部１５により基板Ｇに照明してマクロ検査を行う（ステップＳ１０５）。

マクロ検査は、図１０の工程で行われる。まず、基板保持部４３による基板Ｇの保持が解除される（ステップＳ３０１）。基板保持部４３による基板Ｇの保持解除は、吸引口４４の吸引を停止するとともに、昇降部４２を下降させることにより行う。基板保持部４３による保持が解除された基板Ｇは、吐出口６１から吐出されているエアにより、基板載置面ｐから浮上する。

続いて、駆動部５６の駆動により、マクロ検査用ホルダ５を水平位置（基板載置面ｐから基板Ｇが浮上する位置）まで回動し（ステップＳ３０２）、吸着部５３を吸着して基板Ｇを密着保持する（ステップＳ３０３）。

その後、駆動部５６の駆動により、マクロ検査用ホルダ５を検査位置まで回動して基板Ｇを持ち上げる（ステップＳ３０４）。

検査位置まで持ち上げられた基板Ｇに、マクロ照明部１５により照明光を照射して、検査者２０は基板Ｇをマクロ検査する（ステップＳ３０５）。

マクロ検査終了後、駆動部５６の駆動により、マクロ検査用ホルダ５を水平位置（基板載置面ｐから基板Ｇが浮上する位置）まで回動する（ステップＳ３０６）。

マクロ検査用ホルダ５を水平位置まで回動後、吸着部５３の吸引を停止して、吸着部５３による基板Ｇの保持を解除する（ステップＳ３０７）。吸着部５３により保持が解除された基板Ｇは、吐出口６１から吐出されているエアにより、基板載置面ｐから浮上する。

基板Ｇの保持を解除したマクロ検査用ホルダ５は、駆動部５６の駆動により回動され、基板載置部２内に収容されて（ステップＳ３０８）、マクロ検査工程は終了する。

浮上状態の基板Ｇを、リフトピン７を上昇させることによりリフトピン７で保持した後、リフター等により基板Ｇを搬出して基板検査工程を終了する（ステップＳ１０６）。

以上、本実施の形態にかかる基板検査装置１の基板検査工程について説明したが、基板検査装置１では、基板搬入後、マクロ検査を行い、その後ミクロ検査を行ってもよい。以下、図１１〜図１３を参照して、マクロ検査を先に行う基板検査工程について説明する。図１１は、本発明の実施の形態に係る基板検査装置１における基板検査工程一例のフローチャートである。図１２は、図１１のフローチャートの基板搬入工程のフローチャートである。図１３は、図１１のマクロ検査工程のフローチャートである。

まず、リフターにより検査する基板Ｇを基板搬入領域２１に搬入する（ステップＳ４０１）。

基板Ｇの搬入は、図１２の工程で行われ、基板保持部４３による基板Ｇの保持を除き、図９の基板搬入工程と同様の工程で行う。まず、リフトピン７を上昇して（ステップＳ５０１）、リフターにより検査する基板Ｇを基板搬入領域２１に搬入し（ステップＳ５０２）、吐出口６１からエアを吐出させて基板Ｇを浮上させる（ステップＳ５０３）。リフトピン７を降下して（ステップＳ５０４）、浮上された基板Ｇを位置決め機構により位置決めをして（ステップＳ５０５）、基板搬入工程を終了する。

基板Ｇの位置決め後、マクロ検査を行う（ステップＳ４０２）。

マクロ検査は、図１３の工程で行われ、基板保持部４３による基板Ｇの保持解除を除き、図１０のマクロ検査工程と同様の工程で行う。まず、駆動部５６の駆動により、マクロ検査用ホルダ５を水平位置（基板載置面ｐから基板Ｇが浮上する位置）まで回動し（ステップＳ６０１）、基板載置面ｐから浮上している基板Ｇを、吸着部５３を吸着することにより密着保持する（ステップＳ６０２）。

その後、駆動部５６の駆動により、マクロ検査用ホルダ５を検査位置まで回動して基板Ｇを持ち上げ（ステップＳ６０３）、マクロ照明部１５により基板Ｇに照明光を照射して、検査者２０は基板Ｇをマクロ検査する（ステップＳ６０４）。

マクロ検査終了後、駆動部５６の駆動により、マクロ検査用ホルダ５を水平位置（基板載置面ｐから基板Ｇが浮上する位置）まで回動し（ステップＳ６０５）、吸着部５３の吸引を停止して、吸着部５３による基板Ｇの保持を解除する（ステップＳ６０６）。吸着部５３により保持が解除された基板Ｇは、吐出口６１から吐出されているエアにより、基板載置面ｐから浮上する。

基板Ｇの保持を解除したマクロ検査用ホルダ５は、駆動部５６の駆動により回動され、基板載置部２内に収容されて（ステップＳ６０７）、マクロ検査工程は終了する。

マクロ検査終了後、基板搬送部４の昇降部４２を上昇させるとともに、吸引口４４を吸引して、基板保持部４３により基板Ｇを密着保持し（ステップＳ４０３）、駆動部４１の駆動により基板搬送部４は基板Ｇをミクロ検査領域２２に搬送する（ステップＳ４０４）。

検査領域２２のミクロ検査機器３の下まで運ばれた基板Ｇについて、ミクロ検査機器３によりミクロ検査を行い（ステップＳ４０５）、ミクロ検査終了後、基板搬送部４は基板Ｇを基板搬出領域でもある基板搬入領域２１まで搬送する（ステップＳ４０６）。

基板搬送部４により基板Ｇを基板搬入領域２１に搬送した後、吸引口４４の吸引を停止するとともに、昇降部４２を下降させて、基板保持部４３による基板Ｇの保持を解除し、保持が解除されて浮上状態の基板Ｇを、リフトピン７を上昇させることによりリフトピン７で保持した後、リフター等により基板Ｇを搬出して基板検査工程を終了する（ステップＳ４０７）。

本実施の形態に係る基板検査装置１は、マクロ検査用ホルダ５を基板載置部２に対して出没可能に設け、マクロ検査を行う際に、マクロ検査用ホルダ５を、基板搬送部４による基板Ｇの搬送方向Ｘと平行な回動軸５５を中心に回動して、基板載置部２上の基板Ｇの短手方向を基板載置部２の基板載置面ｐに対して傾斜して起こした状態で検査するため、基板検査装置１上に基板Ｇ立ち上げのための余分な空間を必要とせず、省スペース化できる。

さらに、マクロ検査用ホルダ５が出没可能な領域を基板搬入領域２１としているため、基板搬入領域をあらたに設ける必要がなく、省フットプリント化が可能である。さらにまた、マクロ検査用ホルダ５が出没可能な領域が基板搬出領域となるため、基板Ｇの持ち替えや搬送に要する時間を短縮でき、タクトタイムの低減が可能となる。

また、本実施の形態にかかる基板検査装置１の変形例として、ミクロ検査を行うミクロ検査領域２２の基板搬送方向の下流側に隣接して、基板搬出領域２３が設けられる基板検査装置１Ａが例示される。

基板搬出領域２３は、基板検査装置１Ａによりミクロ検査およびマクロ検査が終了した基板Ｇを、図示しないリフター等の基板搬出ロボットにより搬出するために基板を載置する。ミクロ検査領域２２の基板搬出領域２３側の一部は、基板搬出領域２３として機能する。基板搬出領域２３には、基板Ｇの搬出時に上昇して基板Ｇを保持するリフトピン７およびリフトピン７が昇降するための孔部７１が設けられる。

基板検査装置１Ａでは、ミクロ検査後にマクロ検査をすることもできるが、マクロ検査後にミクロ検査を行うことにより、インラインの基板検査装置として使用することができる。また、マクロ検査後にミクロ検査を行うことにより、基板Ｇを基板搬入方向と逆方向に搬送することがなくなるため、複数の基板Ｇを基板検査装置１Ａ内に搬入して、マクロ検査とミクロ検査とを同時に行うことができる。これにより、検査のタクトタイムを大幅に低減することも可能である。

また、基板検査装置１Ａは、基板搬入領域２１にマクロ検査用ホルダ５を出没可能に設けているが、ミクロ検査機器３を門型アーム８の左側に設置し、領域２３を基板Ｇを搬入する基板搬入部とし、ミクロ検査機器３でミクロ検査を行った後、領域２１まで基板Ｇを搬送し、マクロ検査用ホルダを回動させて基板を持ち上げてマクロ検査を行った後、領域２１から基板Ｇを搬出させても同様の効果を得ることができる。

１、１Ａ基板検査装置
２基板載置部
３ミクロ検査機器
４基板搬送部
５マクロ検査用ホルダ
６浮上プレート
７リフトピン
８門型アーム
９マクロ照明光源
１０反射ミラー
１１フレネルネンズ
１２液晶散乱板
１５マクロ照明部
２１基板搬入領域
２２ミクロ検査領域
２３基板搬出領域
４０レール
４１駆動部
４２昇降部
４３基板保持部
４４吸引口
５１基板支持部（縦）
５２基板支持部（横）
５３吸着部
５４回動軸
５５ホルダ支持部
５６駆動部
５７駆動部
６１吐出口
７１孔部

Claims

長手方向および短手方向を有する基板を載置する基板載置部と、
前記基板載置部の基板搬送方向と平行な一方の端部に設けられ、長手方向が基板搬送方向と一致するように載置された前記基板を保持して搬送する基板搬送部と、
前記基板搬送方向と直交する方向に前記基板載置部を跨ぐように設置された門型アームを有し、前記基板搬送部により搬送される前記基板をミクロ検査するミクロ検査部と、
前記基板載置部に対して出没可能に設けられ、前記基板搬送部と反対側の前記基板載置部の他方の端部に平行、かつ前記基板載置部に載置された基板の下部に設けられた回動軸を中心にして回動可能に設けられたマクロ検査用ホルダと、
前記回動軸を中心に前記マクロ検査用ホルダを所望の角度に回動させた状態で該マクロ検査用ホルダに保持された前記基板をマクロ照明するマクロ照明部と、
を備え、前記回動軸を中心にして前記マクロ検査用ホルダを回動させ前記基板の短手方向を基板載置面に対して傾斜させてマクロ検査位置まで立ち上げ可能であることを特徴とする基板検査装置。
前記マクロ検査用ホルダは、前記基板の短手方向の両側を支持する2本の縦支持部と、これら縦支持部に嵌合された複数本の横支持部で構成され、
前記基板載置部は、上面に複数の吐出孔を全面に形成し気体を噴出して前記基板を浮上させる浮上プレート構成され、該浮上プレートに前記マクロ検査用ホルダを収容する溝部が形成されていることを特徴とする請求項１に記載の基板検査装置。
前記基板載置部は、前記基板搬送方向に沿って細長い帯状に延びた複数の浮上プレートが互いに平行に設けられ、これらの複数の浮上プレートの間に前記マクロ検査用ホルダの横支持部を収容する溝部が形成されることを特徴とする請求項２に記載の基板検査装置。
長手方向および短手方向を有する基板を載置する基板載置部と、前記基板載置部の基板搬送方向と平行な一方の端部に設けられ、長手方向が基板搬送方向と一致するように載置された前記基板を保持して搬送する基板搬送部と、前記基板搬送方向と直交する方向に前記基板載置部を跨ぐように設置された門型アームを有し、前記基板搬送部により搬送される前記基板をミクロ検査するミクロ検査部と、前記基板載置部に対して出没可能に設けられ、前記基板搬送部と反対側の前記基板載置部の他方の端部に平行、かつ前記基板載置部に載置された基板の下部に設けられた回動軸を中心にして回動可能に設けられたマクロ検査用ホルダと、前記回動軸を中心に前記マクロ検査用ホルダを所望の角度に回動させた状態で該マクロ検査用ホルダに保持された前記基板をマクロ照明するマクロ照明部と、を備える基板検査装置における基板検査方法であって、
前記基板載置部の基板搬入領域に前記基板を搬入する搬入ステップと、
前記基板搬送部により前記基板を保持する第１基板保持ステップと、
前記基板を前記基板搬送部により前記ミクロ検査部に搬送する第１搬送ステップと、
前記基板を前記ミクロ検査部でミクロ検査するミクロ検査ステップと、
前記ミクロ検査が終了した前記基板を前記基板搬送部により前記基板載置部に埋没している前記マクロ検査用ホルダの上まで搬送する第２搬送ステップと、
前記基板搬送部による前記基板の保持を解除する第１保持解除ステップと、
前記基板を前記マクロ検査用ホルダで保持する第２基板保持ステップと、
前記基板搬送部と反対側の前記基板載置部の他方の端部に平行に設けられた回動軸を中心にして前記マクロ用検査ホルダを回動させ前記基板の短手方向を基板載置面に対して傾斜させて前記基板を検査位置まで立ち上げ、上方からマクロ照明部によりマクロ照明して前記基板をマクロ検査するマクロ検査ステップと、
マクロ検査終了後、前記マクロ検査用ホルダを水平位置まで回動させた状態で、前記マクロ検査用ホルダによる前記基板の保持を解除する第２保持解除ステップと、
前記第２保持解除ステップ後に前記基板を搬出する搬出ステップと、
を含むことを特徴とする基板検査方法。
長手方向および短手方向を有する基板を載置する基板載置部と、前記基板載置部の基板搬送方向と平行な一方の端部に設けられ、長手方向が基板搬送方向と一致するように載置された前記基板を保持して搬送する基板搬送部と、前記基板搬送方向と直交する方向に前記基板載置部を跨ぐように設置された門型アームを有し、前記基板搬送部により搬送される前記基板をミクロ検査するミクロ検査部と、前記基板載置部に対して出没可能に設けられ、前記基板搬送部と反対側の前記基板載置部の他方の端部に平行、かつ前記基板載置部に載置された基板の下部に設けられた回動軸を中心にして回動可能に設けられたマクロ検査用ホルダと、前記回動軸を中心に前記マクロ検査用ホルダを所望の角度に回動させた状態で該マクロ検査用ホルダに保持された前記基板をマクロ照明するマクロ照明部と、を備える基板検査装置における基板検査方法であって、
前記基板載置部の基板搬入領域に前記基板を搬入する搬入ステップと、
前記基板を前記マクロ検査用ホルダで保持する第１基板保持ステップと、
前記基板搬送部と反対側の前記基板載置部の他方の端部に平行に設けられた回動軸を中心にして前記マクロ用検査ホルダを回動させ前記基板の短手方向を基板載置面に対して傾斜させて前記基板を検査位置まで立ち上げ、上方からマクロ照明部によりマクロ照明して前記基板をマクロ検査するマクロ検査ステップと、
マクロ検査終了後、前記マクロ検査用ホルダを水平位置まで回動させた状態で、前記マクロ検査用ホルダによる前記基板の保持を解除する第１保持解除ステップと、
前記基板搬送部により保持する第２基板保持ステップと、
前記基板搬送部により前記マクロ検査が終了した前記基板を前記ミクロ検査部に搬送する第１搬送ステップと、
前記基板を前記ミクロ検査部でミクロ検査するミクロ検査ステップと、
前記基板を前記基板搬送部による前記基板の保持を解除する第２保持解除ステップと、
前記基板搬を搬出する搬出ステップと、
を含むことを特徴とする基板検査方法。