KR100456486B1

KR100456486B1 - 유리기판의 에지검사용 기판고정장치

Info

Publication number: KR100456486B1
Application number: KR10-2004-0056242A
Authority: KR
Inventors: 김종인
Original assignee: (주)미래컴퍼니
Priority date: 2004-07-20
Filing date: 2004-07-20
Publication date: 2004-11-10

Abstract

본 발명은 유리기판의 에지검사장치에 관한 것으로서, 특히 에지검사시 유리기판이 위에 놓여져 고정되는 테이블 장치에 관한 것이다. 본 발명에 의하면, 평행한 두 변을 갖는 판부재의 에지검사를 위하여 상기 판부재를 고정시키는 장치로서, 상기 판부재의 중앙부가 위에 놓여지는 주 받침부와, 상기 주 받침부를 사이에 두고 양쪽에 각각 위치하며 상기 판부재의 가장자리 부분이 위에 놓여지는 제1, 제2 보조 받침부를 포함하며, 상기 제1 보조 받침부와 제2 보조 받침부는 상기 주 받침부와 가까워지거나 멀어지도록 이동이 가능한 기판고정장치가 제공된다. 상기 기판고정장치에 있어서, 상기 제1 보조 받침부와 제2 보조받침부는 상기 판부재의 마주보는 두 변의 연장방향을 따라 길게 연장될 수 있다.

Description

유리기판의 에지검사용 기판고정장치 {SUBSTRATE FIXING DEVICE FOR INSPECTING EDGE OF GLASS SUBSTRATE}

본 발명은 기판의 고정장치에 관한 것으로서, 특히 유리기판의 에지검사시 유리기판이 위에 놓여져 고정되는 기판고정장치에 관한 것이다.

액정디스플레이(LCD) 등의 평판 디스플레이 제조시 사용되는 유리기판은 용해된 용해유리를 평판으로 성형하는 성형공정과 일차규격에 맞게 절단하는 절단공정을 거쳐 가공라인으로 운반되어 가공된다. 가공라인에서는 유리기판을 평판 디스플레이의 규격에 맞는 크기로 재차 절단하고, 절단에 의하여 날카로워진 유리기판의 에지(edge)를 연마하게 된다. 이러한 가공과정에서 유리기판의 에지에 여러 결함이 발생할 가능성이 있다. 절단공정에서는 크기의 오차, 직선성 오차, 칩(chip), 크랙(crack), 버(burr) 등이 발생하며, 연마공정에서는 언베벨(unbevel), 오버베벨(over-bevel), 베벨칩(bevel chip) 등이 발생한다. 이러한 결함들은 평판 디스플레이의 품질에 영향을 미치므로 에지검사를 실시하게 된다. 유리기판의 에지검사는 유리기판이 테이블 위에 고정되고 유리기판의 에지를 검사하는 검사부가 유리기판에 대하여 상대이동하며 이루어진다. 에지검사시 유리기판이 처지는 것을 막기 위해 검사되는 유리기판의 크기에 맞는 테이블이 사용된다. 따라서 검사를 수행하기 전에 유리기판의 크기에 따라 적절한 테이블로 일일이 교체해 주어야 하는 불편함이 따르며, 더욱이 대형의 테이블의 경우에는 다루기가 곤란하다.

본 발명의 목적은 다양한 크기의 기판에 대응할 수 있는 기판고정장치를 제공하는 것이다. 더욱 상세하게는 유리기판의 에지검사용 기판고정장치를 제공하는 것이다. 본 발명의 다른 목적은 다양한 크기의 기판에 대응하여 기판의 테두리 부분이 자중에 의해 아래로 처지는 것을 방지하며 기판을 고정시키는 기판고정장치를 제공하는 것이다. 본 발명의 또 다른 목적은 다양한 크기의 기판에 대응하여 기판을 정위치에 정렬시키며 기판을 고정시키는 기판고정장치를 제공하는 것이다.

도1은 본 발명의 일실시예에 따른 에지검사용 기판고정장치의 사시도

도2는 도1의 기판고정장치에 마련된 제1 이동체의 상부를 도시한 측면도로서, 제1 상하 이동부는 내부가 보이도록 단면으로 도시한 도면

도3은 도1의 기판고정장치의 측면도로서, 제2, 제4 이동체는 도시를 생략하고 지지핀에 유리기판이 놓여진 상태를 도시한 도면

도4의 (a)와 (b)는 도1의 기판고정장치의 측면도와 평면도로서, 유리기판이 정렬되는 상태를 도시한 도면

도5는 도1의 기판고정장치의 측면도로서, 유리기판이 주 받침부와 두 보조 받침부에 의해 고정된 상태를 도시한 도면

도6의 (a)와 (b)는 기판고정장치의 측면도와 평면도로서, 주 받침부 만으로 고정되는 유리기판이 정렬되는 상태를 도시한 도면

<도면의 주요부분에 대한 부호의 설명>

10 : 기판고정장치 24 : 주 받침부

34 : 제1 보조 받침부 54 : 제2 보조 받침부

351, 352, 353, 354, 551, 552, 553, 554 : 지지핀

본 발명의 일측면에 따르면, 평행한 두 변을 갖는 판부재의 에지검사를 위하여 상기 판부재를 고정시키는 장치로서, 상기 판부재의 중앙부가 위에 놓여지는 주 받침부와, 상기 주 받침부를 사이에 두고 양쪽에 각각 위치하며 상기 판부재의 가장자리 부분이 위에 놓여지는 제1, 제2 보조 받침부를 포함하며, 상기 제1 보조 받침부와 제2 보조 받침부는 상기 주 받침부와 가까워지거나 멀어지도록 이동이 가능한 기판고정장치가 제공된다.

상기 기판고정장치에 있어서, 상기 제1 보조 받침부와 제2 보조받침부는 상기 판부재의 마주보는 두 변의 연장방향을 따라 길게 연장될 수 있다.

상기 기판고정장치에 있어서, 상기 판부재를 정렬시키는 정렬장치를 더 포함할 수 있다.

상기 기판고정장치에 있어서, 상기 정렬장치는 상기 주 받침부에 위에 놓여진 상기 판부재의 각 변의 적어도 두 부분과 접하는 접촉부를 구비하며, 상기 각 접촉부는 상기 주 받침부와 가까워지거나 멀어지도록 이동이 가능할 수 있다.

상기 기판고정장치에 있어서, 상기 각 접촉부 중 상기 판부재의 두 변 중 어느 마주보는 두 변과 접촉하는 접촉부는 상기 제1, 제2 보조 받침부와 각각 함께 상기 주 받침부와 가까워지거나 멀어지도록 이동하며 상하로 이동이 가능할 수 있다.

상기 기판고정장치에 있어서, 상기 제1, 제2 보조 받침부는 상하로 이동이 가능하며, 상기 제1, 제2 보조 받침부와 각각 함께 상기 주 받침부와 가까워지거나 멀어지도록 이동하는 접촉부는 상기 제1, 제2 보조 받침부를 기준으로 상기 주 받침부 쪽에 위치하는 내측 접촉부와 상기 주 받침부 반대쪽에 위치하는 외측 접촉부를 구비할 수 있다.

상기 기판고정장치에 있어서, 상기 외측 접촉부가 형성된 구간은 상기 내측 접촉부가 형성된 구간보다 길 수 있다.

상기 기판고정장치에 있어서, 상기 접촉부는 탄성부재에 의해 상기 주 받침부와 가까워지거나 멀어지는 방향으로 이동가능하게 지지될 수 있다.

상기 기판고정장치에 있어서, 상기 접촉부는 롤러일 수 있다.

상기 기판고정장치에 있어서, 상기 판부재가 위에 놓여지는 지지핀을 더 포함하며, 상기 판부재와 닿는 상기 지지핀의 끝단은 상기 판부재가 위에 놓여지는 상기 주 받침부의 윗면보다 높거나 낮은 위치 사이를 이동할 수 있다.

상기 기판고정장치에 있어서, 상기 지지핀은 상기 주 받침부와 가까워지거나 멀어지도록 이동이 가능할 수 있다.

상기 기판고정장치에 있어서, 상기 지지핀은 상기 제1, 제2 보조 받침부와함께 상기 주 받침부와 가까워지거나 멀어지도록 이동할 수 있다.

상기 기판고정장치에 있어서, 상기 주 받침부는 위에 놓여진 유리기판과 대체로 직각인 축선을 중심으로 회전 가능할 수 있다.

상기 기판고정장치에 있어서, 상기 주 받침부와, 제1, 제2 보조 받침부는 윗면의 공기를 흡입하여 위에 놓여진 판부재를 고정시킬 수 있다.

이하, 도면을 참조하여 본 발명의 실시예를 상세히 설명한다.

도1을 참조하면, 기판고정장치(10)는 베이스(12) 위 중앙부에 설치된 중앙 테이블(20)과, 중앙 테이블(20) 주위에 90도 간격으로 차례대로 배치된 제1, 제2, 제3, 제4 이동체(30, 40, 50, 60)를 구비한다. 기판고정장치(10)를 설명하기 위하여 x-y-z 직교좌표계를 도입한다. 수평으로 연장된 베이스(12)는 x-y평면을 따라 형성된다. 베이스(12)의 위쪽이 z축의 (+)방향이다. 도1과 도3을 참조하면, 중앙 테이블(20)은 베이스(12)에 고정된 몸체(22)와, 유리기판(100)이 그 위에 수평으로 놓여지는 주 받침부(24)를 구비한다. 주 받침부(24)는 x-y평면을 따라 연장된 직사각형의 판 형상으로서, 상세히 도시되지는 않았으나 주 받침부(24)는 윗면의 공기를 흡입함으로써, 위에 놓여진 유리기판(100)을 수평상태로 고정시킬 수 있도록 구성되는데 이러한 구성은 당업자라면 이해할 수 있을 것이다. 또한, 주 받침부(24)는 몸체(22)에 대하여 위에 놓여지는 유리기판(100)과 수직인 축선(z축 방향 축선)을 중심으로 회전이 가능하다. 주 받침부(24)는 회전하면서 위에 놓여진 유리기판(100)의 각 변('측변'이라고도 함)(도4의 (a)의 101, 102, 103, 104)을 에지 검사장치(도시되지 않음)가 위치하는 곳으로 이동시킨다.

도1과 도3을 참조하면, 제1 이동체(30)와 제3 이동체(50)는 중앙 테이블(20)을 사이에 두고 x축 방향을 따라 서로 마주보도록 배치된다. 도1과 도2를 참조하면, 제1 이동체(30)는 몸체(32)와, 몸체(32)의 상부에 각각 결합된 제1 보조 받침부(34)와 제1 상하 이동부(35)와 제2 상하 이동부(36)와 제3 상하 이동부(37)를 구비한다. 몸체(32)는 베이스(12)에 대하여 중앙 테이블(20)과 가까워지거나 멀어지게 x축과 평행하게 베이스(12)에 설치된 제1, 제2 가이드(121, 122)에 의해 안내 되면서 직선이동하도록 베이스(12) 위에 설치된다. 상세히 도시되지는 않았으나, 몸체(32)는 제1, 제2 가이드(121, 122)를 따라 중앙 테이블(20)과 가까워지거나 멀어지게 이동하도록 하는 구동장치를 구비한다. 제1 보조 받침부(34)는 몸체(32) 위에 위치하며, 몸체(32)에 대하여 상하이동(승강)이 가능하게 구동된다. 제1 보조 받침부(34)는 윗면이 편평한 막대형상으로서, y축 방향으로 길게 연장된다. 상세히 도시되지는 않았으나, 제1 보조 받침부(34)는 윗면의 공기를 흡입함으로써, 위에 놓여진 유리기판(100)의 가장자리를 고정시킬 수 있도록 구성된다.

도1과 도2를 참조하면, 제1 보조 받침부(34)를 사이에 두고 중앙 테이블(20)과 가까운 쪽에는 제1 상하 이동부(35)가 위치하고, 중앙 테이블(20)과 먼 쪽에는 제2, 제3 상하 이동부(36, 37)가 위치한다. 제1 상하 이동부(35)는 중앙 테이블(20)과 마주보도록 y축 방향 폭의 중앙에 위치한다. 제1 상하 이동부(35)는 y축 방향으로 제1 보조 받침부(34)보다는 짧게 연장된 막대형상으로서, 몸체(32)에 대하여 상하이동이 가능하게 구동된다. 제1 상하 이동부(35)는 후술하는 제1, 제2, 제3, 제4 지지핀(351, 352, 353, 354)의 끝단이 중앙 테이블(20)의 주 받침부(24)의윗면보다 낮은 위치와 높은 위치 사이를 이동하도록 상하이동한다. 더욱 상세하게는 제1, 제2, 제3, 제4 지지핀(351, 352, 353, 354)보다 아래에 위치하는 후술하는 제1, 제2 정렬부(355, 356)가 주 받침부(24)의 윗면과 적어도 같은 높이까지 상승하도록 제1 상하 이동부(35)는 상하이동할 수 있다. 제1 상하 이동부(35)의 윗면(31)에는 위로 돌출된 제1, 제2, 제3, 제4 지지핀(351, 352, 353, 354)이 마련되고, 중앙 테이블(20)을 바라보는 앞면(33)에는 제1, 제2 정렬부(355, 356)가 마련된다. 제1, 제2, 제3, 제4 지지핀(351, 352, 353, 354)은 모두 동일한 형상으로서, 유리기판이 손상되지 않도록 유리기판과 접촉하는 끝단이 둥글게 형성된다. 제1 지지핀(351)과 제2 지지핀(352)이 제1 상하 이동부(35)의 y축 방향 한쪽 끝 부분에 x축 방향을 따라 정렬되어 위치하고, 제3 지지핀(353)과 제4 지지핀(354)은 y축 방향 반대쪽 끝 부분에 x축 방향을 따라 정렬되어 위치한다. 유리기판의 로딩(loading) 또는 언로딩(unloading) 시에 제1, 제2, 제3, 제4 지지핀(351, 352, 353, 354)과 후술하는 제5, 제6, 제7, 제8 지지핀(551, 552, 553, 554) 위에 유리기판이 놓여져 상하이동한다.

제1 정렬부(355)는 y축 방향 한 쪽 끝 부분에 위치하고, 제2 정렬부(356)는 y축 방향 반대측에 위치한다. 제1 정렬부(355)는 제1 상하 이동부(35)에 x축 방향으로 이동가능하게 수용되는 수용부재(3551)와, 수용부재(3551)에 결합되어 제1 상하 이동부(35)의 앞면(33)으로부터 돌출된 접촉롤러(3552)와, 수용부재(3551)를 중앙 테이블(20) 쪽으로 미는 탄성부재(3553)를 구비한다. 수용부재(3551)에는 상하로 연장된 롤러축(3554)이 마련되며, 롤러축(3554)에 접촉롤러(3552)가 회전가능하게 결합된다. 제2 정렬부(356)는 제1 정렬부(355)와 그 구성이 동일하므로 이에 대한 상세한 설명은 생략한다.

도6에 도시된 바와 같이 제1, 제2 정렬부(355, 356)의 각 접촉롤러는 후술하는 제3 상하 이동부(55)의 제7 정렬부(555)와 제8 정렬부(556)의 각 접촉롤러와 함께 비교적 작은 크기의 유리기판(100a)의 마주보는 두 변(101a, 103a)을 형성하는 각 측면과 접하며 유리기판(100a)을 정렬시킨다.

도1과 도2를 참조하면, 제2 상하 이동부(36)와 제3 상하 이동부(37)는 각각 제1 보조 받침판(34)의 양단 쪽에 y축 방향을 따라 정렬되어 배치된다. 제2 상하 이동부(36)는 y축 방향으로 연장된 막대형상으로서, 몸체(32)에 대하여 상하이동이 가능하게 구동된다. 제2 상하 이동부(36)의 윗면의 양측에는 각각 제1 돌출부(361)와 제2 돌출부(362)가 마련된다. 제1 돌출부(361)와 제2 돌출부(362)에는 각각 제3 정렬부(363)와 제4 정렬부(364)가 마련된다. 제3 정렬부(363)와 제4 정렬부(364)의 구성은 제1 상하 이동부(35)의 제1 정렬부(355)와 동일하므로 이에 대한 상세한 설명은 생략한다. 제3 상하 이동부(37)의 구성은 제2 상하 이동부(36)와 동일하므로 이에 대한 상세한 설명은 생략한다. 제3 상하 이동부(37)는 제5, 제6 정렬부(371, 372)를 구비한다. 도4에 도시된 바와 같이, 제2, 제3 상하 이동부(36, 37)의 각 정렬부(363, 364, 371, 372)의 접촉롤러는 후술하는 제5, 제6 상하 이동부(56, 57)의 각 정렬부의 접촉롤러와 함께 비교적 큰 크기의 유리기판(100)의 마주보는 두 변(101, 103)을 형성하는 각 측면과 접하며 유리기판(100)을 정렬시킨다.

다시 도1을 참조하면, 제3 이동체(50)는 제1 이동체(30)와 대칭인 구성으로서 몸체(52)와, 제2 보조 받침부(54)와, 제4 상하 이동부(55)와, 제5 상하 이동부(56)와, 제6 상하 이동부(57)를 구비한다. 몸체(52)는 제3, 제4 가이드(123, 124)를 따라 직선이동하도록 구동된다. 제4 상하 이동부(55)는 제5, 제6, 제7, 제8 지지핀(551, 552, 553, 554)과 제7 정렬부(555)와 제8 정렬부(도4의 (b)의 556)를 구비한다. 제5 상하 이동부(56)는 제9 정렬부(563)와 제10 정렬부(도4의 (b)의 564)를 구비하고, 제6 상하 이동부(57)는 제11 정렬부(도4의 (b)의 571)와 제12 정렬부(도4의 (b)의 572)를 구비한다. 제3 이동체(50)는 제1 이동체(30)와 실질적으로 대칭인 구성이므로, 이에 대한 더 상세한 설명은 생략한다.

도1을 참조하면, 제2 이동체(40)와 제4 이동체(60)는 중앙 테이블(20)을 사이에 두고 y축 방향을 따라 서로 마주보도록 배치된다. 제2 이동체(40)는 몸체(42)와, 몸체(42)의 상부에 결합된 제7 상하 이동부(44)를 구비한다. 몸체(42)는 베이스(12)에 대하여 중앙 테이블(20)과 가까워지거나 멀어지게 y축과 평행하게 베이스(12)에 설치된 제5 가이드(125)에 의해 안내되면서 직선이동하도록 베이스(12) 위에 설치된다. 상세히 도시되지는 않았으나, 몸체(42)는 제5 가이드(125)를 따라 중앙 테이블(20)과 가까워지거나 멀어지게 이동하도록 하는 구동장치를 구비한다. 제7 상하 이동부(44)는 x축 방향으로 연장된 막대형상으로서, 몸체(42)에 대하여 상하 이동이 가능하게 구동된다. 제7 상하 이동부(44)의 윗면의 양측에는 각각 제1 돌출부(441)와 제2 돌출부(442)가 마련된다. 제1 돌출부(441)와 제2 돌출부(442)에는 각각 제13 정렬부(443)와 제14 정렬부(444)가 마련된다. 제13 정렬부(443)와 제14 정렬부(444)의 구성은 제1 상하 이동부(35)의 제1 정렬부(355)와 동일하므로 이에 대한 더 상세한 설명은 생략한다. 제4 이동체(60)는 제2 이동체(40)와 대칭인 구성으로서 몸체(62)와, 제8 상하 이동부(64)를 구비한다. 몸체(62)는 제6 가이드(126)를 따라 직선이동하도록 구동된다. 제8 상하 이동부(64)는 제15 정렬부(도4의 (b)의 643)와 제16 정렬부(도4의 (b)의 644)를 구비한다. 제4 이동체(60)는 제2 이동체(40)와 대칭인 구성이므로, 이에 대한 더 상세한 설명은 생략한다. 도4의 (b)에 도시된 바와 같이 제2 이동체(40)의 제13, 제14 정렬부(443, 444)의 각 접촉롤러와 제4 이동체(60)의 제15, 제16 정렬부(643, 644)의 각 접촉롤러는 유리기판(100)의 마주보는 두 변(102, 104))을 형성하는 각 측면과 접하며 유리기판을 정렬시킨다.

이제, 도3 내지 도6을 참조하여 상기 실시예의 작용을 상세히 설명한다. 에지 검사를 위해 유리기판은 로더(loader, 도시되지 않음)에 의해 이동하여 고정장치(10)의 중앙 테이블(20) 위에 위치하게 된다. 고정장치(10)는 위에 위치한 유리기판을 받기 위해 고정장치(10)의 제1 상하 이동부(35)와 제4 상하 이동부(55)가 유리기판(100)이 위치한 높이까지 상승하여 유리기판을 받아 도3에 도시된 바와 같이, 유리기판(100)은 제1 상하 이동부(35)의 제1, 제2, 제3, 제4 지지핀(551, 552, 나머지는 도시되지 않음)과 제4 상하 이동부(55)의 제5, 제6, 제7, 제8 지지핀(551, 552, 나머지는 도시되지 않음) 위에 놓인다. 다음, 제1 상하 이동부(35)와 제4 상하 이동부(55)가 하강하여 유리기판(100)은 중앙 테이블(20)의 주 받침부(24)에 놓여진다. 이후, 정렬과정을 거치게 된다.

정렬과정은 제1 이동체(30)의 제3, 제4, 제5, 제6 정렬부(363, 364, 371,372)와 제3 이동체(50)의 제9, 제10, 제11, 제12 정렬부(563, 564, 571, 572)와 제2 이동체(40)의 제13, 제14 정렬부(도4(b)의 443, 444)와 제4 이동체(60)의 제15, 제16 정렬부(도4 (b)의 643, 644)가 주 받침부(24)에 놓여진 유리기판(100) 바깥에서 유리기판(100)과 같은 높이에 위치하도록 제2, 제3, 제5, 제6, 제7, 제8 상하 이동부(36, 37, 56, 57, 도4(b)의 44, 도4(b)의 64)가 상승하는 단계와, 각 정렬부가 유리기판(100)의 각 변(도4(b)의 101, 102, 103, 104)에 닿도록 제1, 제2, 제3, 제4 이동체(30, 40, 50, 60)가 중앙 테이블(20) 쪽으로 이동하는 단계를 수행한다. 도4의 (a)와 (b)에는 각 정렬부가 유리기판(100)의 각 변에 닿아 있는 상태가 도시되어 있다. 도4의 (a)와 (b)를 참조하면, 제1 이동체(30)의 제2, 제3 상하 이동부(36, 37)가 상승하여 제3, 제4, 제5, 제6 정렬부(363, 364, 371, 372)의 각 접촉롤러(도시되지 않음)는 유리기판(100)의 제1 장변(101)과 닿게 된다. 제3 이동체(50)의 제5, 제6 상하 이동부(56, 57)는 상승하여 제9, 제10, 제11, 제12 정렬부(563, 534, 571, 572)의 각 접촉롤러(도시되지 않음)는 유리기판(100)의 제2 장변(103)과 닿게 된다. 제2 이동체(40)의 제7 상하 이동부(44)는 상승하여 제13, 제14 정렬부(443, 444)의 각 접촉롤러(도시되지 않음)는 유리기판(100)의 제1 단변(102)과 닿게 된다. 제4 이동체(60)의 제8 상하 이동부(64)는 상승하여 제15, 제16 정렬부(643, 644)의 각 접촉롤러(도시되지 않음)는 제2 단변(104)과 닿게 된다. 이 과정을 통해 유리기판(100)은 정 위치에 정렬된다. 다음, 도5에 도시된 바와 같이 유리기판(100)은 고정장치(10)에 고정된다.

도5를 참조하면, 주 받침부(24)는 유리기판(100)의 중앙부를 받치며, 제1 이동체(30)의 제1 보조 받침부(34)와 제2 이동체(50)의 제2 보조 받침부(54)가 위로 상승하여 유리기판(100)의 두 장변 측의 가장자리를 받쳐준다. 이때, 유리기판(100)의 두 장변(101, 103)은 각각 제1 보조 받침부(34)와 제2 보조 받침부(54) 바깥에 위치한다. 또한, 제2, 제3, 제5, 제6, 제7, 제8 상하 이동부(도4의 36, 37, 56, 57, 44, 64)는 아래로 하강해 있다. 주 받침부(24)와 두 보조 받침부(34, 54)는 윗면의 공기를 흡입함으로써, 위에 놓여진 유리기판(100)을 안정적으로 고정시킨다. 이 상태에서 유리기판(100)의 에지를 검사하는 검사부(도시되지 않음)가 유리기판(100)과 상대 이동하면서 유리기판(100)의 어느 한 변의 에지를 검사하게 된다. 검사한 변과 이웃하는 유리기판(100)의 다른 변의 에지검사는 두 보조 받침부(34, 54)가 아래로 내려가 유리기판(100)과 떨어진 상태에서 주 받침부(24)가 90도 회전하여 상기와 같은 정렬과정과 고정과정을 다시 거친 후 동일한 방법으로 이루어지며, 동일한 방식으로 유리기판의 네 변의 에지검사가 이루어지게 된다.

유리기판의 네 변의 에지검사가 모두 끝나면 고정장치(10)는 다시 도3에 도시된 상태로 돌아간다. 즉, 제1, 제4 상하 이동부(35, 55)가 상승함으로써, 유리기판(100)은 지지핀(351, 352, 353, 354, 551, 552, 553, 554)들에 의해 지지되며 주 받침부(24)와 두 보조 받침부(34, 54)로부터 떨어져 위로 상승하게 된다. 물론 이 이전에 공기 흡입에 의한 고정은 해제되어 있다. 이 상태에서 유리기판(100)은 고정장치(10)로부터 언로딩(unloading)된다.

제1, 제2 보조 받침부(34, 54)가 각각 주 받침부(24)와 가까워지거나 멀어지도록 이동이 가능하므로, 보다 다양한 크기의 유리기판에 대응하여 고정시킬 수 있다. 작은 유리기판의 경우에는 주 받침부(24)만으로 고정된다. 도6의 (a)와 (b)에는 주 받침부(24)만으로 고정되는 작은 유리기판의 경우 정렬하는 방법이 도시되어 있다. 도6의 (a)와 (b)를 참조하면, 유리기판(100a)은 제1 상하 이동부(35)와 제4 상하 이동부(55)와 제7 상하 이동부(44)와 제8 상하 이동부(64)의 각 정렬부(355, 356, 555, 556, 443, 444, 643, 644)에 의해 정렬될 수 있다.

상기 실시예에서는 기판고정장치가 직사각형의 유리기판에 적용되는 것으로 설명하였으나, 본 발명은 이에 제한되는 것은 아니다. 그 외에 마주보는 두 변이 평행인 또는 각 꼭지점이 직각인 사각형의 다른 재료의 판형태의 기판에도 적용될 수 있다.

본 발명의 구성을 따르면 앞에서 기재한 본 발명의 목적을 모두 달성할 수 있다. 구체적으로는 주 받침부를 사이에 두고 서로 가까워지거나 멀어지도록 이동가능한 두 보조 받침부가 구비되므로 다양한 크기의 유리기판에 대응하여 유리기판을 고정시킬 수 있으며, 유리기판이 아래로 처지는 것을 방지할 수 있다. 또한, 정렬부가 다양한 크기의 유리기판에 대응할 수 있도록 구비되므로 크기가 다른 여러 유리기판을 정위치에 정렬시킬 수 있다.

이상 본 발명을 상기 실시예를 들어 설명하였으나, 본 발명은 이에 제한되는 것이 아니다. 당업자라면, 본 발명의 취지 및 범위를 벗어나지 않고 수정, 변경을 할 수 있으며 이러한 수정과 변경 또한 본 발명에 속하는 것임을 알 수 있을 것이다.

Claims

평행한 두 변을 갖는 판부재의 에지검사를 위하여 상기 판부재를 고정시키는 장치로서,

상기 판부재의 중앙부가 위에 놓여지는 주 받침부와,

상기 주 받침부를 사이에 두고 양쪽에 각각 위치하며 상기 판부재의 가장자리 부분이 위에 놓여지는 제1, 제2 보조 받침부를 포함하며,

상기 제1 보조 받침부와 제2 보조 받침부는 상기 주 받침부와 가까워지거나 멀어지도록 이동이 가능한 기판고정장치.
제1항의 기판고정장치에 있어서, 상기 제1 보조 받침부와 제2 보조받침부는 상기 판부재의 마주보는 두 변의 연장방향을 따라 길게 연장된 기판고정장치.
제1항의 기판고정장치에 있어서, 상기 판부재를 정렬시키는 정렬장치를 더 포함하는 기판고정장치.
제3항의 기판고정장치에 있어서, 상기 정렬장치는 상기 주 받침부에 위에 놓여진 상기 판부재의 각 변의 적어도 두 부분과 접하는 접촉부를 구비하며, 상기 각 접촉부는 상기 주 받침부와 가까워지거나 멀어지도록 이동이 가능한 기판고정장치.
제4항의 기판고정장치에 있어서, 상기 각 접촉부 중 상기 판부재의 두 변 중 어느 마주보는 두 변과 접촉하는 접촉부는 상기 제1, 제2 보조 받침부와 각각 함께 상기 주 받침부와 가까워지거나 멀어지도록 이동하며 상하로 이동이 가능한 기판고정장치.
제5항의 기판고정장치에 있어서, 상기 제1, 제2 보조 받침부는 상하로 이동이 가능하며, 상기 제1, 제2 보조 받침부와 각각 함께 상기 주 받침부와 가까워지거나 멀어지도록 이동하는 접촉부는 상기 제1, 제2 보조 받침부를 기준으로 상기 주 받침부 쪽에 위치하는 내측 접촉부와 상기 주 받침부 반대쪽에 위치하는 외측 접촉부를 구비하는 기판고정장치.
제6항의 기판고정장치에 있어서, 상기 외측 접촉부가 형성된 구간은 상기 내측 접촉부가 형성된 구간보다 긴 기판고정장치.
제4항의 기판고정장치에 있어서, 상기 접촉부는 탄성부재에 의해 상기 주 받침부와 가까워지거나 멀어지는 방향으로 이동가능하게 지지되는 기판고정장치.
제8항의 기판고정장치에 있어서, 상기 접촉부는 롤러인 기판고정장치.
제1항의 기판고정장치에 있어서, 상기 판부재가 위에 놓여지는 지지핀을 더포함하며, 상기 판부재와 닿는 상기 지지핀의 끝단은 상기 판부재가 위에 놓여지는 상기 주 받침부의 윗면보다 높거나 낮은 위치 사이를 이동하는 기판고정장치.
제10항의 기판고정장치에 있어서, 상기 지지핀은 상기 주 받침부와 가까워지거나 멀어지도록 이동이 가능한 기판고정장치.
제10항의 기판고정장치에 있어서, 상기 지지핀은 상기 제1, 제2 보조 받침부와 함께 상기 주 받침부와 가까워지거나 멀어지도록 이동하는 기판고정장치.
제1항의 기판고정장치에 있어서, 상기 주 받침부는 위에 놓여진 유리기판과 대체로 직각인 축선을 중심으로 회전 가능한 기판고정장치.
제1항 내지 제13항 중 어느 하나의 청구항의 기판고정장치에 있어서, 상기 주 받침부와, 제1, 제2 보조 받침부는 윗면의 공기를 흡입하여 위에 놓여진 판부재를 고정시키는 기판고정장치.