JP4334895B2

JP4334895B2 - 大型基板ステージ

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Publication number: JP4334895B2
Application number: JP2003079756A
Authority: JP
Inventors: 守安田; 暢夫藤崎
Original assignee: Olympus Corp
Current assignee: Olympus Corp
Priority date: 2003-03-24
Filing date: 2003-03-24
Publication date: 2009-09-30
Anticipated expiration: 2023-03-24
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Description

【０００１】
【発明の属する技術分野】
本発明は、例えば液晶ディスプレイ（ＬＣＤ）などのフラットディスプレイ（ＦＰＤ）の大型ガラス基板を搬送する大型基板ステージに関する。
【０００２】
【従来の技術】
図６は液晶ディスプレイ等の大型基板検査装置に用いられる大型基板ステージの構成図である。この大型基板ステージは、主軸側直動案内２と従動側直動案内３とを、所定の間隔に平行に敷設し、これら主軸側直動案内２及び従動側直動案内３上に複数例えば４つの移動接触部４を介して移動テーブル５が移動可能に設けられている。
【０００３】
この移動テーブル５は、透過照明用の開口部６を有する枠状に形成され、大型ガラス基板１を保持する。この移動テーブル５の開口部６の周縁部上には、大型ガラス基板１を吸着保持するための複数の吸着孔が形成されている。
【０００４】
移動テーブル５における片辺の主軸側直動案内２側には、駆動部７が設けられている。この駆動部７は、移動テーブル５を片駆動して移動テーブル５を移動させるもので、モータにより回転するボールネジ８に螺合し、このボールネジ８の回転により当該ボールネジ８上を移動する。ボールネジ８は、主軸側直動案内２及び従動側直動案内３に対して平行に設けられており、従って、移動テーブル５は、主軸側直動案内２及び従動側直動案内３上をＸ軸方向に移動する。
【０００５】
このように駆動部７を移動テーブル５の中央部に設けずに片駆動するのは、例えば大型ガラス基板１を検査する場合、移動テーブル５上に大型ガラス基板１を保持した状態で透過照明光を開口部６を通して大型ガラス基板１の下方から照射し、この状態で大型ガラス基板１の上方から顕微鏡を用いて大型ガラス基板１を顕微鏡を用いて検査することがあり、このような基板検査では、移動テーブル５の下方の空間は透過照明光の照射に割り当てられるため、移動テーブル５の中央部に駆動部７を配置できないからである。
【０００６】
近年の液晶ディスプレイの技術の進歩により大型ガラス基板１は、サイズの大型化の傾向が進み、現在では例えば１ｍ強×１ｍ強のサイズが実現している。こに伴って大型基板ステージのサイズも大型化している。
【０００７】
大型基板ステージのサイズを大型化した場合、例えば移動テーブル５などを大型化に伴って例えば板厚を大きくするなどして大型基板ステージを堅固に作製すればよいが、そうすると大型基板ステージ自体が大型化すると共に重量が大きくなり、駆動部７にも大きな駆動力が必要になる。
【０００８】
又、搬送ロボットは、大型基板ステージに対してＸ方向からロボットハンドＨを伸縮移動して大型ガラス基板１の受け渡しを行うので、移動テーブル５におけるＹ軸方向の辺の板厚Ｗは、出来るだけ細く形成したい要求がある。
【０００９】
このため、大型基板ステージは、大型化の見合う剛性を有するものでなくなり、剛性不足により搬送して停止したときの大型ガラス基板１の座標が停止位置の座標からずれてしまう。
【００１０】
この座標ずれのメカニズムを図７を参照して説明すると、大型ガラス基板１の搬送開始時に、大型ガラス基板１を移動させるためにボールネジ８を回転することによって駆動部７からＸ軸方向に駆動力Ｆを加えると、移動テーブル５は、Ｘ軸方向に移動する。このとき、移動テーブル５の主軸側直動案内２側は、駆動部７との距離が短いので大きな抵抗が加わることなく、Ｘ軸方向に移動する。なお、Ｓはスケールである。
【００１１】
これに対して移動テーブル５の従動側直動案内３側には、駆動部７でＸ軸方向に加わる駆動力Ｆが駆動部７との距離に応じたθｚ方向の回転モーメントとして伝達される。従って、移動テーブル５の従動側直動案内３側は、当該従動側直動案内３によってＸ軸方向のみの移動が許されているので、θｚ方向の回転モーメントに対する抵抗力Ｒａが発生する。このため、抵抗力Ｒａを超えた分のθｚ方向の回転モーメントＦａが従動側直動案内３側におけるＸ軸方向への直進力になる。
【００１２】
一方、大型ガラス基板１が所定の座標位置に到達して停止するときについて図８を参照して説明すると、駆動部７から移動テーブル５に加わる駆動力Ｆが次第に減少することによって、移動テーブル５は減速を開始する。
【００１３】
移動テーブル５の減速がある程度進むと、移動テーブル５の従動側直動案内３側の反力Ｒがθｚ方向の回転モーメントよりも大きくなる。このときに移動テーブル５の従動側直動案内３側は停止する。
【００１４】
【発明が解決しようとする課題】
ところが、移動テーブル５は、大型化に見合う剛性に作製されていないために剛性不足となり、従動側直動案内３側において生じる反力Ｒによって図８に示すように平行四辺形に似た形状に歪んだ形状で停止することになる。このために移動テーブル５の従動側直動案内３側は、所定の座標位置よりも手前で停止してしまう。すなわち、移動テーブル５の従動側直動案内３側は、主軸側直動案内２側よりも遅れた動きになり、あたかもバックラッシュのような状態になる。
【００１５】
この結果、大型ガラス基板１は、移動テーブル５上で吸着保持されているだけなので、移動テーブル５の歪みの影響を受けて当該移動テーブル５上で移動し、所定の座標位置から位置ずれしてしまう。
【００１６】
このような移動テーブル５の歪みを無くす方法としては、大型基板ステージの剛性を大きくすればよいが、しかしながら移動テーブル５が大型化、大重量化になるために、フットプリントの拡大、並びに駆動部７及びボールネジ８からなる駆動系の負担が大きくなる。
【００１７】
又、駆動部７を移動テーブル５の中央部に設けると、移動テーブル５が平行四辺形になる程歪んだ形状にはならないが、大型ガラス基板１に対して透過照明光を照射できなくなり、大型ガラス基板１に対する顕微鏡検査ができなくなる。
【００１８】
さらに、駆動部７を移動テーブル５の両側にそれぞれ設ければ、移動テーブル５が平行四辺形になる程歪んだ形状にはならないが、駆動部７が２台必要になり、装置全体が大型化すると共に、高コスト化になる。
【００１９】
そこで本発明は、大型ガラス基板を所定の座標位置に対して位置ずれすることなく搬送できる大型基板ステージを提供することを目的とする。
【００２０】
【課題を解決するための手段】
本発明は、互いに平行に敷設された２本の案内を設け、このうち一方の案内を主軸側直動案内とし、他方の案内を従動側直動案内とし、主軸側直動案内側から加わる駆動力により主軸側及び従動側直動案内上を移動する大型基板ステージにおいて、主軸側直動案内上に移動可能に設けられ、駆動力が加わる主軸側移動テーブルと、従動側直動案内上に移動可能に設けられた従動側移動テーブルと、主軸側移動テーブルと従動側移動テーブルとを結合するバー状に形成された結合部材と、主軸側移動テーブルと従動側移動テーブルとの間に配置され、矩形状に形成された基板の周縁部で当該基板を載置する開口部を有する四辺形の枠状に形成された基板固定ホルダとを備え、基板固定ホルダは、四辺形の枠状の各辺のうち主軸側直動案内が敷設された側の一方の辺を主軸側移動テーブルに連結し、かつ一方の辺に対向する他方の辺を従動側移動テーブル上に移動可能に載置する大型基板ステージである。
【００２１】
【発明の実施の形態】
以下、本発明の一実施の形態について図面を参照して説明する。なお、図６と同一部分には同一符号を付してその詳しい説明は省略する。
【００２２】
図１は大型基板ステージの構成図である。主軸側直動案内２上には、主軸側移動テーブル１０が各移動接触部４を介して移動可能に設けられている。この主軸側移動テーブル１０は、主軸側直動案内２の幅よりも若干幅が広く形成されたバー状のもので、従動側直動案内３の敷設された側に凸状部１１を有する。この主軸側移動テーブル１０には、駆動部７が設けられている。なお、駆動部７は、ボールネジ８に螺合しており、このボールネジ８は、移動用モータＭａの回転駆動によって回転する。
【００２３】
従動側直動案内３上には、従動側移動テーブル１２が各移動接触部４を介して移動可能に設けられている。この従動側移動テーブル１２は、従動側直動案内３の幅よりも若干幅が広く形成されたバー状のもので、上部にＬ字形状の受け部１３が形成されている。
【００２４】
これら主軸側移動テーブル１０と従動側移動テーブル１２とは、主動−従動テーブル結合部材１４により結合され、移動用テーブルを構成する。主動−従動テーブル結合部材１４は、主軸側移動テーブル１０又は従動側移動テーブル１２の各板幅と略同一板幅のバー状に形成され、主軸側移動テーブル１０と従動側移動テーブル１２との間におけるＸ軸方向のいずれか一方側、例えばロボットハンドＨが伸縮動作する側の反対側（図面上左側）に設けられる。この主動−従動テーブル結合部材１４には、従動側移動テーブル１２と同様に、検査基板固定ホルダ１６を載置するためのＬ字形状の受け部を形成してもよい。
【００２５】
なお、これら主軸側移動テーブル１０、従動側移動テーブル１２及び主動−従動テーブル結合部材１４は、それぞれ３部分に分かれずに一体的に形成してもよい。
【００２６】
主軸側移動テーブル１０の凸状部１１には、主軸側直動案内２に対して平行方向に設けれた回転軸１５を介して検査基板固定ホルダ１６が回転可能に設けられている。
【００２７】
この検査基板固定ホルダ１６は、開口部１７を有する四辺形の枠状に形成され、かつその上面に大型ガラス基板１を吸着保持するための例えば複数の吸着孔が開口部１７に沿って設けられている。
【００２８】
検査基板固定ホルダ１６における主軸側直動案内２側の辺の両端には、それぞれ各回転支持部１８、１９が突出している。これら回転支持部１８、１９には、回転軸１５に軸支される。これら回転支持部１８、１９の間隔は、主軸側移動テーブル１０の凸状部１１のＸ軸方向の長さよりも若干長く形成されている。従って、検査基板固定ホルダ１６は、各回転支持部１８、１９の間に形成される凹部内に凸状部１１を嵌合させて当該凸状部１１に軸支している。
【００２９】
検査基板固定ホルダ１６の従動側直動案内３側の辺には、その下部に逆Ｌ字形状の載置部２０が形成されている。この載置部２０は、従動側移動テーブル１２の受け部１３上に載置される。
【００３０】
これら受け部１３と載置部２０とは、それぞれ従動側移動テーブル１２、検査基板固定ホルダ１６の各厚みの２分の１の厚みで各Ｌ字形状に形成されている。
【００３１】
一方、回転軸１５は、検査基板固定ホルダ１６の厚み方向の２分の１の位置に設けられている。従って、検査基板固定ホルダ１６の上面は、載置部２０が受け部１３上に載置されることにより水平方向（ＸＹ平面上）に保持される。
【００３２】
なお、検査基板固定ホルダ１６は、自重により受け部１３上に載置される。
【００３３】
又、検査基板固定ホルダ１６の回転軸１５には、揺動用モータＭｂの回転軸が連結されている。この揺動用モータＭｂは、例えば検査基板固定ホルダ１６又は主軸側移動テーブル１０などに設けられる。従って、検査基板固定ホルダ１６は、揺動用モータＭｂの駆動によって回転軸１５を中心に揺動し、大型ガラス基板１をマクロ観察する傾き角θｘに傾斜可能になっている。
【００３４】
なお、検査基板固定ホルダ１６の回転軸１５の駆動方法は、揺動用モータＭｂの回転軸を直接回転軸１５に接続して駆動したり、又は揺動用モータＭｂの回転軸と回転軸１５との間にベルト又は連結部材などを介して回転力を伝達するようにしてもよい。
【００３５】
従動側移動テーブル１２上の受け部１３には、転動部材（変位円滑部材）２１が設けられている。この転動部材２１は、検査基板固定ホルダ１６の載置部２０と面接触し、載置部２０との間の摩擦を小さくし、載置部２０のＸ軸方向への移動の抵抗力を小さくする。この転動部材２１は、例えば複数の円柱状のローラをＸ軸方向に配列している。なお、個々のローラは、その回転軸がＹ軸方向に設けられている。
【００３６】
この転動部材２１は、受け部１３に設けるに限らず、載置部２０に設けてもよい。又、転動部材２１は、ローラに限らず、複数のボールを配列したり、又は受け部１３と載置部２０との各接触面上にそれぞれ含油樹脂等の滑り材を貼り付けてもよい。
【００３７】
以上の構造であれば、検査基板固定ホルダ１６は、主軸側移動テーブル１０に対して回転軸１５を介して第１の回転方向θｘへの回転が許容される。換言すれば、検査基板固定ホルダ１６は、主軸側移動テーブル１０に対してＸ軸方向（第１の方向）と、Ｙ軸方向（第２の方向）と、Ｚ軸方向（第３の方向）への各移動が規制され、かつＹ軸方向を回転軸とする第２の回転方向θｙと、Ｚ軸方向を回転軸とする第３の回転方向θｚへの各回転が規制される。又、検査基板固定ホルダ１６は、従動側移動テーブル１２に対して第１の回転方向θｘへの回転が規制される。
【００３８】
又、検査基板固定ホルダ１６の側面に対向する主軸側移動テーブル１０の側面、従動側移動テーブル１２の側面及び主動−従動テーブル結合部材１４の側面との各間は、それぞれ主軸側移動テーブル１０、従動側移動テーブル１２及び主動−従動テーブル結合部材１４の移動動作時に形状の歪みが生じても、この歪みにより検査基板固定ホルダ１６の側面が主軸側移動テーブル１０の側面、従動側移動テーブル１２の側面又は主動−従動テーブル結合部材１４の側面に接触しないように、歪み量に応じた分だけの隙間が開けられている。
【００３９】
次に、上記の如く構成された装置の動作について説明する。
【００４０】
大型ガラス基板１の搬送開始時に、モータＭａの駆動によってボールネジ８が回転すると、このボールネジ８の回転によって駆動部７がＸ軸方向に移動する。これにより、駆動部７から主軸側移動テーブル１０に対してＸ軸方向に駆動力Ｆが加わり、主軸側移動テーブル１０はＸ軸方向に移動する。
【００４１】
このとき、主軸側移動テーブル１０は、駆動部７との距離が短いので大きな抵抗が加わることなく、Ｘ軸方向に移動する。
【００４２】
これに対して従動側移動テーブル１２には、駆動部７でＸ軸方向に加わる駆動力Ｆが駆動部７との距離（主動−従動テーブル結合部材１４の長さ分）に応じたθｚ方向の回転モーメントとして伝達される。
【００４３】
従って、従動側移動テーブル１２側は、図２に示すように従動側直動案内３によってＸ軸方向のみの移動が許されているので、θｚ方向の回転モーメントに対する抵抗力Ｒａが発生する。このため、抵抗力Ｒａを超えた分のθｚ方向の回転モーメントＦａが従動側移動テーブル１２側におけるＸ軸方向への直進力になる。
【００４４】
一方、大型ガラス基板１が所定の座標位置に到達して停止するときについて図３を参照して説明すると、駆動部７から主軸側移動テーブル１０に加わる駆動力Ｆが次第に減少することによって、主軸側移動テーブル１０、従動側移動テーブル１２及び主動−従動テーブル結合部材１４の一体は減速を開始する。
【００４５】
これら主軸側移動テーブル１０、従動側移動テーブル１２及び主動−従動テーブル結合部材１４の減速がある程度進むと、従動側移動テーブル１２側の反力Ｒがθｚ方向の回転モーメントよりも大きくなる。このときに従動側移動テーブル１２側は停止する。
【００４６】
ところが、主軸側移動テーブル１０、従動側移動テーブル１２及び主動−従動テーブル結合部材１４は、大型化に見合う剛性に作製されていないために剛性不足となり、従動側移動テーブル１２において生じる反力Ｒによって平行四辺形に似た形状に歪んだ形状で停止することになる。このために従動側移動テーブル１２は、所定の座標位置よりも手前で停止する。
【００４７】
ところが、検査基板固定ホルダ１６は、主軸側移動テーブル１０、従動側移動テーブル１２及び主動−従動テーブル結合部材１４が平行四辺形に似た形状に歪んでも、従動側移動テーブル１２との間に転動部材２１が介在することから、従動側移動テーブル１２側の反力Ｒを受けずに、受け部１３が歪んだ分だけ載置部２０の下部で滑らかに移動する。
【００４８】
これは、検査基板固定ホルダ１６は、主軸側移動テーブル１０に対してＸ軸方向と、Ｙ軸方向と、Ｚ軸方向への各移動が規制され、かつＹ軸方向を回転軸とする第２の回転方向θｙと、Ｚ軸方向を回転軸とする第３の回転方向θｚへの各回転が規制され、かつ従動側移動テーブル１２に対して第１の回転方向θｘへの回転が規制されることによる。
【００４９】
この結果、検査基板固定ホルダ１６は、所定の座標位置に停止する。
【００５０】
この停止位置が例えば搬送ロボットとの基板受け渡し位置であれば、搬送ロボットは、ロボットハンドＨを伸縮動作し、検査基板固定ホルダ１６上の大型ガラス基板１を受け取り、この大型ガラス基板１を検査装置に渡す。
【００５１】
この場合、検査基板固定ホルダ１６におけるＹ軸方向の辺の板厚Ｗを細くすることが可能なので、基板受け渡し動作時、搬送ロボットは、図４に示すようにロボットアームＬＡが検査基板固定ホルダ１６に接触せずに、ロボットハンドＨを検査基板固定ホルダ１６の上方まで伸ばすことができる。
【００５２】
又、停止位置が例えばマクロ観察位置であれば、モータＭｂの駆動によって検査基板固定ホルダ１６は、回転軸１５を中心として第１の回転方向θｘに回転し、所定の傾斜角に傾く。この状態に大型ガラス基板１の表面にマクロ照明光が照射されてマクロ観察が行なわれる。
【００５３】
又、停止位置が例えばミクロ観察位置であれば、開口部１７を通して透過照明光が大型ガラス基板１の下方から照射され、一方、大型ガラス基板１の上方に顕微鏡が配置される。この顕微鏡は、大型ガラス基板１表面上の欠陥部分の拡大像を得るので、この拡大像を観察することによりミクロ観察が行なわれる。
【００５４】
このように上記一実施の形態においては、駆動部７が設けられた主軸側移動テーブル１０と従動側移動テーブル１２と主動−従動テーブル結合部材１４とを結合し、このうち主軸側移動テーブル１０に対して検査基板固定ホルダ１６を回転軸１５を介して軸支し、かつこの検査基板固定ホルダ１６と従動側移動テーブル１２との間に転動部材２１を介在する構成にしたので、検査基板固定ホルダ１６は、主軸側移動テーブル１０に対してＸ軸方向と、Ｙ軸方向と、Ｚ軸方向への各移動が規制されると共に第２の回転方向θｙと第３の回転方向θｚへの各回転が規制され、かつ従動側移動テーブル１２に対して第１の回転方向θｘへの回転が規制される。
【００５５】
この結果、大型ガラス基板１の搬送開始時、又は所定の座標位置に到達して停止するときに、主軸側移動テーブル１０、従動側移動テーブル１２及び主動−従動テーブル結合部材１４が剛性不足となって平行四辺形に似た形状に歪んだ形状になっても、従動側移動テーブル１２の受け部２０は、歪んだ分だけ検査基板固定ホルダ１６の載置部２０の下部で滑らかに移動するので、検査基板固定ホルダ１６に対してθｚ方向の回転モーメントが加わることはなく、検査基板固定ホルダ１６は変形することがない。これにより、検査基板固定ホルダ１６は、例えば搬送ロボットとの基板受け渡し位置、マクロ観察位置、ミクロ観察位置などの所定の座標位置へ正確に停止できる。
【００５６】
なお、主軸側移動テーブル１０、従動側移動テーブル１２及び主動−従動テーブル結合部材１４は、移動中であっても剛性不足により平行四辺形に似た形状に歪んだ形状になる。このときも検査基板固定ホルダ１６に対してθｚ方向の回転モーメントが加わらず、検査基板固定ホルダ１６は変形することがない。
【００５７】
しかるに、主軸側移動テーブル１０に駆動部７を設けた片駆動の構成であっても、検査基板固定ホルダ１６を所定の座標位置に停止でき、従来のように両側に各駆動部７を設けることにより装置全体が大型化することなく、かつ高コスト化することもない。又、検査基板固定ホルダ１６の中央部に駆動部７を設けて透過照明の配置が出来なくなることもない。
【００５８】
大型ガラス基板１のサイズは、例えば１ｍ強×１ｍ強として説明したが、これからの技術の進歩によりさらにサイズが大型化しても、上記構成の基板ステージであれば、検査基板固定ホルダ１６は、変形することなく、所定の座標位置に精度高く停止できる。
【００５９】
このように主軸側移動テーブル１０、従動側移動テーブル１２及び主動−従動テーブル結合部材１４は、θｚ方向の回転モーメントを受けて形状を変形させてもよいものとし、一方の検査基板固定ホルダ１６には、θｚ方向の回転モーメントを加えないようにしたので、大型ガラス基板１を載置する検査基板固定ホルダ１６自体の耐久性を向上できる。
【００６０】
又、これら主軸側移動テーブル１０、従動側移動テーブル１２及び主動−従動テーブル結合部材１４は、その形状が変形してよいことから、例えば主軸側直動案内２と従動側直動案内３との平行度などの敷設位置の精度が高くなく、これら案内２、３の敷設位置の影響を受けて主軸側移動テーブル１０、従動側移動テーブル１２及び主動−従動テーブル結合部材１４の形状が変形しても、検査基板固定ホルダ１６は、この影響受けることなく、所定の座標位置に停止できる。従って、主軸側直動案内２及び従動側直動案内３は、高さの精度のみ確保していればよい。
【００６１】
又、検査基板固定ホルダ１６には、θｚ方向の回転モーメントが加わることがないので、検査基板固定ホルダ１６の各辺の板厚Ｗを細くできる。これにより、検査基板固定ホルダ１６の重量を軽量化でき、駆動部７やボールネジ８、モータＭａからなる駆動系の負担を小さくできる。これと共に、基板受け渡し動作時に、搬送ロボットのロボットアームＬＡが検査基板固定ホルダ１６に接触せずにロボットハンドＨを検査基板固定ホルダ１６の上方まで伸ばすことができ、大型ガラス基板１の受け渡しが容易にできる。
【００６２】
又、検査基板固定ホルダ１６は、第１の回転方向θｘに対して回転を許容しているので、マクロ観察位置において揺動用モータＭｂを駆動することによって検査基板固定ホルダ１６を所定の傾斜角に傾斜でき、マクロ照明光を照射することによってマクロ観察ができる。
【００６３】
なお、本発明は、上記一実施の形態に限定されるものでなく、実施段階ではその要旨を逸脱しない範囲で種々に変形することが可能である。
【００６４】
さらに、上記実施形態には、種々の段階の発明が含まれており、開示されている複数の構成要件における適宜な組み合わせにより種々の発明が抽出できる。例えば、実施形態に示されている全構成要件から幾つかの構成要件が削除されても、発明が解決しようとする課題の欄で述べた課題が解決でき、発明の効果の欄で述べられている効果が得られる場合には、この構成要件が削除された構成が発明として抽出できる。
【００６５】
例えば、主軸側直動案内２及び従動側直動案内３の形状は、四角柱に限らず、例えば三角柱などに形成してもよい。又、これら主軸側直動案内２及び従動側直動案内３は、互いに平行な直線上に敷設されるのに限らず、ある曲率半径でカーブを描いて敷設してもよい。さらに、主軸側直動案内２及び従動側直動案内３は、それぞれ１本でなく、複数本づつ設けてもよい。これにより第２の回転方向θｙ及び第３の回転方向θｚに対する剛性を強くできる。
【００６６】
又、検査基板固定ホルダ１６における大型ガラス基板１の保持手段は、吸着孔を通して真空吸着するのに限らず、例えば大型ガラス基板１の外周縁を押えピン等により数箇所で押え込むようにしてもよく、如何なる手段によって保持してもよい。
【００６７】
駆動系は、ボールネジ８を用いたが、例えばリニアモータやアクチュエータを用いて駆動してもよく、如何なる方式の駆動を用いてもよい。
【００６８】
主動−従動テーブル結合部材１４は、主軸側移動テーブル１０と従動側移動テーブル１２との間を結合するのであれば、図５に示すように検査基板固定ホルダ１６の枠の真下に設けてもよい。この場合、主動−従動テーブル結合部材１４は、検査基板固定ホルダ１６のＸ軸方向の両辺の真下、又はいずれか一方の辺の真下に設ける。このように構成すれば、検査基板固定ホルダ１６のＸ軸方向の両辺における板厚Ｗを細くでき、これら辺側から搬送ロボットにより大型ガラス基板１の受け渡しができる。
【００６９】
転動部材２１は、ローラやボール、含油樹脂などの滑り材を貼り付けるのに限らず、受け部１３と載置部２０との間の摩擦が小さくなればよく、例えば受け部１３と載置部２０との間の接触面積を小さくしたり、又は空気を噴出させたり、正と負との磁極の反発力を利用して受け部１３と載置部２０との間に空間を形成するようにしてもよい。
【００７０】
上記一実施の形態では、例えば液晶ディスプレイの大型ガラス基板１の搬送に適用した場合について説明したが、半導体ウエハや各種部材の搬送にも適用できる。
【００７１】
なお、スケールＳは、主軸側移動テーブル１０側に設けるのがよい。従動側移動テーブル１２側は、形状に歪みが生じるからである。
【００７２】
【発明の効果】
以上詳記したように本発明によれば、大型ガラス基板を載置する基板固定ホルダが変形することなく、かつ大型ガラス基板を所定の座標位置に対して位置ずれすることなく正確に停止できる大型基板ステージを提供できる。
【図面の簡単な説明】
【図１】本発明に係わる大型基板ステージの一実施の形態を示す構成図。
【図２】本発明に係わる大型基板ステージの一実施の形態における移動開始時の動作を説明するための図。
【図３】本発明に係わる大型基板ステージの一実施の形態における停止時における動作を説明するための図。
【図４】本発明に係わる大型基板ステージの一実施の形態における基板受け渡し動作時時の検査基板固定ホルダ上方のロボットアームの位置を示す図。
【図５】本発明に係わる大型基板ステージの一実施の形態における変形例を示す構成図。
【図６】液晶ディスプレイ等の大型基板検査装置に用いられる従来の大型基板ステージの構成図。
【図７】大型基板ステージの移動開始時における動作を説明するための図。
【図８】大型基板ステージにおける移動テーブルの停止時における歪みを示す図。
【符号の説明】
１：大型ガラス基板、２：主軸側直動案内、３：従動側直動案内、４：移動接触部、７：駆動部、８：ボールネジ、１０：主軸側移動テーブル、１１：凸状部、１２：従動側移動テーブル、１３：受け部、１４：主動−従動テーブル結合部材、１５：回転軸、１６：検査基板固定ホルダ、１７：開口部、１８，１９：回転支持部、２０：載置部、２１：転動部材、Ｍｂ：揺動用モータ、Ｍａ：移動用モータ、Ｈ：ロボットハンド、ＬＡ：ロボットアーム、Ｓ：スケール。

Claims

互いに平行に敷設された２本の案内を設け、このうち一方の前記案内を主軸側直動案内とし、他方の前記案内を従動側直動案内とし、前記主軸側直動案内側から加わる駆動力により前記主軸側及び前記従動側直動案内上を移動する大型基板ステージにおいて、
前記主軸側直動案内上に移動可能に設けられ、前記駆動力が加わる主軸側移動テーブルと、
前記従動側直動案内上に移動可能に設けられた従動側移動テーブルと、
前記主軸側移動テーブルと前記従動側移動テーブルとを結合するバー状に形成された結合部材と、
前記主軸側移動テーブルと前記従動側移動テーブルとの間に配置され、矩形状に形成された基板の周縁部で当該基板を載置する開口部を有する四辺形の枠状に形成された基板固定ホルダと、
を備え、
前記基板固定ホルダは、前記四辺形の枠状の各辺のうち前記主軸側直動案内が敷設された側の一方の前記辺を前記主軸側移動テーブルに連結し、かつ前記一方の辺に対向する他方の前記辺を前記従動側移動テーブル上に移動可能に載置する、
ことを特徴とする大型基板ステージ。
前記従動側移動テーブルと前記基板固定ホルダとの接触面には、ローラ、ボール又は樹脂製滑り材からなる滑部材を介在させたことを特徴とする請求項１記載の大型基板ステージ。
前記従動側移動テーブルと前記基板固定ホルダとの接触面間には、空気又は磁極の反発力により空間を形成して摩擦を小さくする滑部材を設けたことを特微とする請求項１記載の大型基板ステージ。
前記基板固定ホルダは、前記主軸側直動案内が敷設される方向に対して平行方向に設けられた回転軸を介して前記主軸側移動テーブルに軸支され、かつ前記回転軸に揺動用モータが連結され、前記揺動用モータを駆動して前記回転軸を中心に前記基板固体ホルダをマクロ観察する傾き角度に傾斜可能にしたことを特微とする請求項１又は２記載の大型基板ステージ。
前記基板固定ホルダの側面と対向する前記結合部材の側面との間は、前記主軸側移動テーブルの移動動作時に生ずる前記結合部材の歪みにより接触しない程度の隙間を有することを特微とする請求項１記載の大型基板ステージ。