JP3188250B2 - 目視観察装置とそれを用いた目視・顕微鏡観察装置 - Google Patents
目視観察装置とそれを用いた目視・顕微鏡観察装置Info
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Description
【０００１】
【発明の属する技術分野】本発明は、液晶表示用ガラス
基板等の透明試料の表面の傷、塵付着などの欠陥を発
見、観察に適した（目視観察装置とそれを用いた）目視
・顕微鏡観察装置に関する。
基板等の透明試料の表面の傷、塵付着などの欠陥を発
見、観察に適した（目視観察装置とそれを用いた）目視
・顕微鏡観察装置に関する。
【０００２】
【従来の技術】液晶表示用ガラス基板及び半導体ウエハ
等の外観検査では、先ず裸眼による目視検査にて表面の
傷、塵付着等の異常を観察し、しかる後に目視検査で発
見した異常部分を顕微鏡検査するのが一般的である。
等の外観検査では、先ず裸眼による目視検査にて表面の
傷、塵付着等の異常を観察し、しかる後に目視検査で発
見した異常部分を顕微鏡検査するのが一般的である。
【０００３】この種の外観検査に用いられる目視・顕微
鏡観察装置の構成例を図４に示す。この目視・顕微鏡観
察装置は、本体ベース１と、この本体ベース１の板面端
部に固定されたＬ字状のアーム２と、このアーム２に支
持され対物レンズ３及び接眼レンズ４を有する顕微鏡本
体５と、アーム２に固定されたステージ支持台６と、こ
のステージ支持台６にＸ，Ｙ方向に任意に移動可能に支
持され、液晶表示用ガラス基板等の試料Ｓを載置する
Ｘ，Ｙステージ７と、本体ベース１の近傍に配設される
スタンド８に支持され、対物レンズ３の近傍に目視観察
用照明光を照射する目視観察用照明装置９から構成され
ている。
鏡観察装置の構成例を図４に示す。この目視・顕微鏡観
察装置は、本体ベース１と、この本体ベース１の板面端
部に固定されたＬ字状のアーム２と、このアーム２に支
持され対物レンズ３及び接眼レンズ４を有する顕微鏡本
体５と、アーム２に固定されたステージ支持台６と、こ
のステージ支持台６にＸ，Ｙ方向に任意に移動可能に支
持され、液晶表示用ガラス基板等の試料Ｓを載置する
Ｘ，Ｙステージ７と、本体ベース１の近傍に配設される
スタンド８に支持され、対物レンズ３の近傍に目視観察
用照明光を照射する目視観察用照明装置９から構成され
ている。
【０００４】このように構成された目視・顕微鏡観察装
置において、目視観察で試料Ｓに傷等の欠陥を発見した
ら対物レンズ３の視野内と思われる位置に、該欠陥を位
置決めするようにＸＹステージ７を移動させ、低倍率の
対物レンズ３で該欠陥を視野内に入れ、さらに視野中心
に位置決めした後、所望の倍率の対物レンズ３に交換
後、試料Ｓの欠陥の顕微鏡観察を行う。
置において、目視観察で試料Ｓに傷等の欠陥を発見した
ら対物レンズ３の視野内と思われる位置に、該欠陥を位
置決めするようにＸＹステージ７を移動させ、低倍率の
対物レンズ３で該欠陥を視野内に入れ、さらに視野中心
に位置決めした後、所望の倍率の対物レンズ３に交換
後、試料Ｓの欠陥の顕微鏡観察を行う。
【０００５】
【発明が解決しようとする課題】図４に示す従来の目視
・顕微鏡観察装置は、次の様な問題点がある。すなわ
ち、顕微鏡本体５がアーム２に固定されていること、お
よび対物レンズ３は試料Ｓに対して僅かな上下動は可能
であるものの対物レンズ３と試料Ｓの離間距離が短いこ
とから、目視観察の場所は、顕微鏡本体に視野を遮られ
ない対物レンズ３から離れた位置にならざるを得ない。
このため、目視観察で発見した欠陥を顕微鏡観察するた
めには、先ず欠陥個所をステージ７を移動して対物レン
ズ３下にもっていく。続いて、低倍の対物レンズで接眼
レンズをのぞきながらステージ７を微動送りし、視野内
に欠陥を入れ、さらに視野中心に位置決めする。その
後、所望の倍率の対物レンズ３に交換し観察する。即
ち、顕微鏡の視野内に位置させるのに、勘による作業が
あるためかなりの時間を必要とし、操作者の眼の疲労等
の肉体的苦痛、精神的苦痛が多大である。
・顕微鏡観察装置は、次の様な問題点がある。すなわ
ち、顕微鏡本体５がアーム２に固定されていること、お
よび対物レンズ３は試料Ｓに対して僅かな上下動は可能
であるものの対物レンズ３と試料Ｓの離間距離が短いこ
とから、目視観察の場所は、顕微鏡本体に視野を遮られ
ない対物レンズ３から離れた位置にならざるを得ない。
このため、目視観察で発見した欠陥を顕微鏡観察するた
めには、先ず欠陥個所をステージ７を移動して対物レン
ズ３下にもっていく。続いて、低倍の対物レンズで接眼
レンズをのぞきながらステージ７を微動送りし、視野内
に欠陥を入れ、さらに視野中心に位置決めする。その
後、所望の倍率の対物レンズ３に交換し観察する。即
ち、顕微鏡の視野内に位置させるのに、勘による作業が
あるためかなりの時間を必要とし、操作者の眼の疲労等
の肉体的苦痛、精神的苦痛が多大である。
【０００６】本発明は、以上のような実情に鑑みてなさ
れたもので、透明試料の欠陥部等の所望の箇所を顕微鏡
の視野内へ極めて容易かつ正確に位置決めでき、操作者
の負担を軽減できると共に作業性を大幅に向上できる目
視観察装置とそれを用いた目視・顕微鏡観察装置を提供
することを目的とする。
れたもので、透明試料の欠陥部等の所望の箇所を顕微鏡
の視野内へ極めて容易かつ正確に位置決めでき、操作者
の負担を軽減できると共に作業性を大幅に向上できる目
視観察装置とそれを用いた目視・顕微鏡観察装置を提供
することを目的とする。
【０００７】
【課題を解決するための手段】上記目的を達成するた
め、請求項１に対応する発明は、指標を表示可能な液晶
ディスプレイ、ＥＬディスプレイ、ＬＥＤをマトリクス
状に並べたディスプレイのいずれかからなり、透明試料
を載置して目視観察を行うための試料載置台と、前記試
料載置台に載置された試料面上に目視観察用の照明光を
照射する照明手段と、前記試料面上の所定位置に対応し
た位置に指標を表示させる表示制御手段と、前記表示制
御手段で表示させた指標の位置に対応した座標を記憶す
る記憶手段とを具備した目視観察装置である。
め、請求項１に対応する発明は、指標を表示可能な液晶
ディスプレイ、ＥＬディスプレイ、ＬＥＤをマトリクス
状に並べたディスプレイのいずれかからなり、透明試料
を載置して目視観察を行うための試料載置台と、前記試
料載置台に載置された試料面上に目視観察用の照明光を
照射する照明手段と、前記試料面上の所定位置に対応し
た位置に指標を表示させる表示制御手段と、前記表示制
御手段で表示させた指標の位置に対応した座標を記憶す
る記憶手段とを具備した目視観察装置である。
【０００８】上記目的を達成するため、請求項２に対応
する発明は、請求項１記載のである試料載置台は、試料
を載置した状態で、水平方向に回転可能又は載置面を所
望の方向に傾斜可能であることを特徴とする請求項１記
載の目視観察装置である。
する発明は、請求項１記載のである試料載置台は、試料
を載置した状態で、水平方向に回転可能又は載置面を所
望の方向に傾斜可能であることを特徴とする請求項１記
載の目視観察装置である。
【０００９】上記目的を達成するため、請求項３に対応
する発明は、指標を表示可能な液晶ディスプレイ、ＥＬ
ディスプレイ、ＬＥＤをマトリクス状に並べたディスプ
レイのいずれかからなり、透明試料を載置して目視観察
を行うための試料載置台と、前記試料載置台に載置され
た試料面上に目視観察用の照明光を照射する照明手段
と、前記試料面上の所定位置に対応した位置に指標を表
示させる表示制御手段と、前記表示制御手段で表示させ
た指標の位置に対応した座標を記憶する記憶手段と、前
記試料を顕微鏡観察するための対物レンズを備えた顕微
鏡本体と、前記試料面上の座標の位置に前記対物レンズ
の光軸を位置合わせ可能な観察部移動手段と、前記試料
を前記試料載置台へ搬送すると共に、該試料載置台上の
前記試料を前記観察部移動手段へ搬送するための試料搬
送手段と、前記記憶手段に記憶された座標に基づいて前
記対物レンズの光軸が試料面上の座標の位置に位置合わ
せされるように前記観察部移動手段を制御する制御手段
とを具備した目視・顕微鏡観察装置である。
する発明は、指標を表示可能な液晶ディスプレイ、ＥＬ
ディスプレイ、ＬＥＤをマトリクス状に並べたディスプ
レイのいずれかからなり、透明試料を載置して目視観察
を行うための試料載置台と、前記試料載置台に載置され
た試料面上に目視観察用の照明光を照射する照明手段
と、前記試料面上の所定位置に対応した位置に指標を表
示させる表示制御手段と、前記表示制御手段で表示させ
た指標の位置に対応した座標を記憶する記憶手段と、前
記試料を顕微鏡観察するための対物レンズを備えた顕微
鏡本体と、前記試料面上の座標の位置に前記対物レンズ
の光軸を位置合わせ可能な観察部移動手段と、前記試料
を前記試料載置台へ搬送すると共に、該試料載置台上の
前記試料を前記観察部移動手段へ搬送するための試料搬
送手段と、前記記憶手段に記憶された座標に基づいて前
記対物レンズの光軸が試料面上の座標の位置に位置合わ
せされるように前記観察部移動手段を制御する制御手段
とを具備した目視・顕微鏡観察装置である。
【００１０】本発明によれば、目視観察が顕微鏡ステー
ジ上ではなく、液晶ディスプレイ、ＥＬディスプレイ、
ＬＥＤをマトリクス状に並べたディスプレイのいずれか
からなる、目視観察用のディスプレイからなる試料載置
台上で行われ、目視観察で発見した試料の欠陥位置は座
標として記憶手段に記憶される。
ジ上ではなく、液晶ディスプレイ、ＥＬディスプレイ、
ＬＥＤをマトリクス状に並べたディスプレイのいずれか
からなる、目視観察用のディスプレイからなる試料載置
台上で行われ、目視観察で発見した試料の欠陥位置は座
標として記憶手段に記憶される。
【００１１】また該試料載置台を揺動又は回転させて透
明試料を任意の角度から観察でき透明試料の欠陥等の発
見が容易となる。
明試料を任意の角度から観察でき透明試料の欠陥等の発
見が容易となる。
【００１２】さらに、記憶手段に記憶されている座標を
基に、観察部移動手段を制御し、前記座標位置が顕微鏡
の視野内に位置合わせされる。
基に、観察部移動手段を制御し、前記座標位置が顕微鏡
の視野内に位置合わせされる。
【００１３】
【発明の実施の形態】以下、本発明の実施形態について
図面を参照して説明する。
図面を参照して説明する。
【００１４】図１（ａ）、（ｂ）は本発明による目視・
顕微鏡観察装置の一例を示す図である。本実施形態は、
試料準備ユニット１０と、目視観察部２０と、顕微鏡観
察部３０とから構成されている。
顕微鏡観察装置の一例を示す図である。本実施形態は、
試料準備ユニット１０と、目視観察部２０と、顕微鏡観
察部３０とから構成されている。
【００１５】試料準備ユニット１０は、薄板基板等から
なる透明な試料１１を複数枚収納した試料収納箱（以
下、「キャリア」と呼称する）１２が箱台１３に載置さ
れている。キャリア１２は目視観察部２０に対向する側
面に開口が形成されていて、この開口から任意の試料１
１を取出すことができるようになっている。
なる透明な試料１１を複数枚収納した試料収納箱（以
下、「キャリア」と呼称する）１２が箱台１３に載置さ
れている。キャリア１２は目視観察部２０に対向する側
面に開口が形成されていて、この開口から任意の試料１
１を取出すことができるようになっている。
【００１６】目視観察部２０は、揺動及び回転可能な試
料載置台２１と、この試料載置台２１を揺動駆動（傾斜
方向）及び回転駆動する試料載置台駆動制御部と、この
試料載置台駆動制御部に回転制御信号を与える回転調節
部と、試料ハンドラ２２をＸ，Ｙ及びθ（回転）方向に
移動させてキャリア１２内の任意の試料１１を目視観察
部および顕微鏡観察部へロード及びアンロードする試料
搬送装置２３と、アーム２４によって試料載置台２１斜
め上方に取付けられた指標投影装置２５と、アーム２４
に取付けられた目視観察試料照明装置２６と、試料載置
台駆動制御部に対して試料載置台２１の傾斜角の指示を
与えるジョイスティック２７と、指標投影装置２５に対
して指標投影方向（指標投影角）の指示を与えるジョイ
スティック２８とからなる。指標投影装置２５は、ジョ
イスティック２８から与えられる制御信号に応じて所定
の投影角でレーザビーム光等の指標を試料表面上に投影
するものである。
料載置台２１と、この試料載置台２１を揺動駆動（傾斜
方向）及び回転駆動する試料載置台駆動制御部と、この
試料載置台駆動制御部に回転制御信号を与える回転調節
部と、試料ハンドラ２２をＸ，Ｙ及びθ（回転）方向に
移動させてキャリア１２内の任意の試料１１を目視観察
部および顕微鏡観察部へロード及びアンロードする試料
搬送装置２３と、アーム２４によって試料載置台２１斜
め上方に取付けられた指標投影装置２５と、アーム２４
に取付けられた目視観察試料照明装置２６と、試料載置
台駆動制御部に対して試料載置台２１の傾斜角の指示を
与えるジョイスティック２７と、指標投影装置２５に対
して指標投影方向（指標投影角）の指示を与えるジョイ
スティック２８とからなる。指標投影装置２５は、ジョ
イスティック２８から与えられる制御信号に応じて所定
の投影角でレーザビーム光等の指標を試料表面上に投影
するものである。
【００１７】顕微鏡観察部３０は、ベース３１に固定さ
れた支持アーム３２ａ，３２ｂに顕微鏡３３が支持され
ている。顕微鏡３３の対物レンズと対向する位置には互
いに直交するＸ，Ｙ方向へ移動可能な観察部調整手段で
あるＸＹステージ３４が設けられている。このＸＹステ
ージ３４は不図示のステージ制御装置によって移動制御
される。さらに顕微鏡観察部３０には、試料載置台２１
において指標投影装置２５で投影された指標の座標を算
出する座標認識装置及びこの座標認識装置で認識された
座標位置を記憶する記憶装置が設けられている。
れた支持アーム３２ａ，３２ｂに顕微鏡３３が支持され
ている。顕微鏡３３の対物レンズと対向する位置には互
いに直交するＸ，Ｙ方向へ移動可能な観察部調整手段で
あるＸＹステージ３４が設けられている。このＸＹステ
ージ３４は不図示のステージ制御装置によって移動制御
される。さらに顕微鏡観察部３０には、試料載置台２１
において指標投影装置２５で投影された指標の座標を算
出する座標認識装置及びこの座標認識装置で認識された
座標位置を記憶する記憶装置が設けられている。
【００１８】図２を参照して前述の目視観察部２０（目
視観察装置）の一例について説明する。
視観察装置）の一例について説明する。
【００１９】ジョイステッィク２８から指標投影装置２
５へ与えられた指標投影角制御信号と、ジョイスティッ
ク２７及び回転調節部２１ａから試料載置台駆動制御部
２１ｂへ与えられた試料載置台２１の傾斜角度制御信
号、回転量制御信号とが、座標認識装置３５へ与えられ
る。座標認識装置３５は、これら入力情報に基づいて試
料のある基準からの指標投影点の（Ｘ，Ｙ）座標を演算
する機能を有する。この算出結果は、外部からトリガ信
号が入力すると読出されて記憶装置３６へ記憶されるよ
うになっている。記憶装置３６には複数の座標情報を記
憶できる。
５へ与えられた指標投影角制御信号と、ジョイスティッ
ク２７及び回転調節部２１ａから試料載置台駆動制御部
２１ｂへ与えられた試料載置台２１の傾斜角度制御信
号、回転量制御信号とが、座標認識装置３５へ与えられ
る。座標認識装置３５は、これら入力情報に基づいて試
料のある基準からの指標投影点の（Ｘ，Ｙ）座標を演算
する機能を有する。この算出結果は、外部からトリガ信
号が入力すると読出されて記憶装置３６へ記憶されるよ
うになっている。記憶装置３６には複数の座標情報を記
憶できる。
【００２０】また、顕微鏡観察部３０のステージ制御部
には、顕微鏡観察部３０の操作部３７によって記憶装置
３６に記憶されている座標情報が与えられる。このステ
ージ制御部は、座標情報に応じてＸＹステージ３４を移
動させることによって、顕微鏡３３の対物レンズ光軸が
上記座標位置に位置合わせされるように設定されてい
る。
には、顕微鏡観察部３０の操作部３７によって記憶装置
３６に記憶されている座標情報が与えられる。このステ
ージ制御部は、座標情報に応じてＸＹステージ３４を移
動させることによって、顕微鏡３３の対物レンズ光軸が
上記座標位置に位置合わせされるように設定されてい
る。
【００２１】次に、以上のように構成された本実施形態
の動作について説明する。
の動作について説明する。
【００２２】試料搬送装置２３によりキャリア１２内の
任意の試料１１を目視観察部２０の試料載置台２１上に
搬送する。試料載置台２１上には目視観察照明装置２６
から照明光が照射された状態で、ジョイスティック２７
から傾斜角制御信号を与えると共に、回転調節部２１ａ
から回転制御信号を与えて試料載置台２１を任意の方向
へ移動させて試料１１にある傷や塵付着等の欠陥を発見
する。傷や塵付着等の欠陥を発見した場合には、ジョイ
スティック２８を操作して、欠陥部分に指標を投影し、
座標データの取込みを行う。座標認識装置３５には、試
料載置台駆動制御部２１ｂから試料載置台２１の傾斜情
報および回転情報が入力され、指標投影装置２５から指
標の投影角情報が入力される。例えば、傾斜情報とし
て、αｘ，αｙ及び基準からの回転角γ、即ちｆ（α
ｘ，αｙ，γ）の情報が入力され、投影角情報としてβ
ｘ，βｙ、即ちｇ（βｘ，βｙ）の情報が入力される。
座標認識装置３５では、これらの入力情報から投影指標
が投影された位置を試料の基準からの座標（Ｘ，Ｙ）と
して算出する。操作者が、座標認識装置３５に対してト
リガ信号を入力することによりこの座標情報が記憶装置
３６に記憶される。欠陥を発見する度に、同様に指標を
投影してトリガ信号を入力して座標情報を記憶装置３６
に記憶していく。
任意の試料１１を目視観察部２０の試料載置台２１上に
搬送する。試料載置台２１上には目視観察照明装置２６
から照明光が照射された状態で、ジョイスティック２７
から傾斜角制御信号を与えると共に、回転調節部２１ａ
から回転制御信号を与えて試料載置台２１を任意の方向
へ移動させて試料１１にある傷や塵付着等の欠陥を発見
する。傷や塵付着等の欠陥を発見した場合には、ジョイ
スティック２８を操作して、欠陥部分に指標を投影し、
座標データの取込みを行う。座標認識装置３５には、試
料載置台駆動制御部２１ｂから試料載置台２１の傾斜情
報および回転情報が入力され、指標投影装置２５から指
標の投影角情報が入力される。例えば、傾斜情報とし
て、αｘ，αｙ及び基準からの回転角γ、即ちｆ（α
ｘ，αｙ，γ）の情報が入力され、投影角情報としてβ
ｘ，βｙ、即ちｇ（βｘ，βｙ）の情報が入力される。
座標認識装置３５では、これらの入力情報から投影指標
が投影された位置を試料の基準からの座標（Ｘ，Ｙ）と
して算出する。操作者が、座標認識装置３５に対してト
リガ信号を入力することによりこの座標情報が記憶装置
３６に記憶される。欠陥を発見する度に、同様に指標を
投影してトリガ信号を入力して座標情報を記憶装置３６
に記憶していく。
【００２３】この様にして任意の試料１１に対して欠陥
位置の座標情報を取込んだならば、次にこの座標情報を
用いて顕微鏡観察を行う。即ち、目視観察の終了した試
料１１を試料搬送装置２３によって顕微鏡観察部３０の
ＸＹステージ３４上にセットして、その試料の基準位置
にＸＹステージ３４の基準位置を合わせる。次に、その
試料１１の欠陥位置の座標情報を記憶装置３６から一つ
づつ読出す。記憶装置３６から読出された座標情報はス
テージ移動制御部へ与えられる。ステージ移動制御部
は、入力した座標位置へＸＹステージを移動させること
によって、対物レンズの光軸上に試料１１の欠陥位置が
位置合わせされる。次に、顕微鏡３３の倍率を所望の倍
率にして顕微鏡観察する。試料中の全ての欠陥または所
望の欠陥について顕微鏡観察の終了した試料はキャリア
１２へ戻される。
位置の座標情報を取込んだならば、次にこの座標情報を
用いて顕微鏡観察を行う。即ち、目視観察の終了した試
料１１を試料搬送装置２３によって顕微鏡観察部３０の
ＸＹステージ３４上にセットして、その試料の基準位置
にＸＹステージ３４の基準位置を合わせる。次に、その
試料１１の欠陥位置の座標情報を記憶装置３６から一つ
づつ読出す。記憶装置３６から読出された座標情報はス
テージ移動制御部へ与えられる。ステージ移動制御部
は、入力した座標位置へＸＹステージを移動させること
によって、対物レンズの光軸上に試料１１の欠陥位置が
位置合わせされる。次に、顕微鏡３３の倍率を所望の倍
率にして顕微鏡観察する。試料中の全ての欠陥または所
望の欠陥について顕微鏡観察の終了した試料はキャリア
１２へ戻される。
【００２４】この様に本実施形態によれば、目視観察部
２０と顕微鏡観察部３０を分離して、目視観察で発見し
た欠陥は、その欠陥位置を座標情報として取り込み、顕
微鏡観察時にこの座標情報に基づいてＸＹステージ３４
を移動制御して顕微鏡３３の対物レンズ光軸上に試料の
欠陥位置が位置合わせされるようにした。従って、試料
の所望の箇所（欠陥位置等）を顕微鏡の視野内へ極めて
容易かつ正確に位置決めでき、操作者の負担を大幅に軽
減できると共に作業性を向上できる。
２０と顕微鏡観察部３０を分離して、目視観察で発見し
た欠陥は、その欠陥位置を座標情報として取り込み、顕
微鏡観察時にこの座標情報に基づいてＸＹステージ３４
を移動制御して顕微鏡３３の対物レンズ光軸上に試料の
欠陥位置が位置合わせされるようにした。従って、試料
の所望の箇所（欠陥位置等）を顕微鏡の視野内へ極めて
容易かつ正確に位置決めでき、操作者の負担を大幅に軽
減できると共に作業性を向上できる。
【００２５】図３は前述の目視観察部２０（目視観察装
置）の第２の実施形態を示す概略構成図である。
置）の第２の実施形態を示す概略構成図である。
【００２６】図３に示す第２の実施形態は、ガラス基板
等の透明な試料１１の検査に適している。試料載置台は
走査線表示装置４０で構成されており、走査線表示装置
４０としては、液晶ディスプレイやＥＬ（エレクトロル
ミネセンス）ディスプレイが用いられる。走査線表示装
置４０上のＸ，Ｙ走査線４１ａ，４１ｂは、ジョイステ
ィック４３から制御信号に基づいて走査線表示駆動装置
４２で表示制御して、任意の位置へ移動させるようにす
る。
等の透明な試料１１の検査に適している。試料載置台は
走査線表示装置４０で構成されており、走査線表示装置
４０としては、液晶ディスプレイやＥＬ（エレクトロル
ミネセンス）ディスプレイが用いられる。走査線表示装
置４０上のＸ，Ｙ走査線４１ａ，４１ｂは、ジョイステ
ィック４３から制御信号に基づいて走査線表示駆動装置
４２で表示制御して、任意の位置へ移動させるようにす
る。
【００２７】このように構成された実施形態において、
透明な試料１１を用いた場合には、試料を通してＸ，Ｙ
走査線４１ａ，４１ｂが見えるので、Ｘ，Ｙ走査線４１
ａ，４１ｂの交点を指標として試料の任意の位置を指定
することができる。この交点座標（Ｘ，Ｙ）を、図２に
示す記憶装置３６に記憶させておけば、試料１１の所望
の箇所を顕微鏡の視野内へ極めて容易に位置合わせでき
る。
透明な試料１１を用いた場合には、試料を通してＸ，Ｙ
走査線４１ａ，４１ｂが見えるので、Ｘ，Ｙ走査線４１
ａ，４１ｂの交点を指標として試料の任意の位置を指定
することができる。この交点座標（Ｘ，Ｙ）を、図２に
示す記憶装置３６に記憶させておけば、試料１１の所望
の箇所を顕微鏡の視野内へ極めて容易に位置合わせでき
る。
【００２８】なお、本発明は上記実施例および変形例に
限定されるものではなく、種々変形可能である。
限定されるものではなく、種々変形可能である。
【００２９】例えば、走査線表示装置４０として、ＬＥ
Ｄをマトリクス状に並べたものを用いることもできる。
Ｄをマトリクス状に並べたものを用いることもできる。
【００３０】
【発明の効果】以上詳述したように本発明によれば、透
明試料の欠陥部等の所望の箇所を顕微鏡の視野内へ極め
て容易かつ正確に位置決めでき、操作者の負担を軽減で
きると共に作業性を大幅に向上できる目視観察装置とそ
れを用いた目視・顕微鏡観察装置を提供できる。
明試料の欠陥部等の所望の箇所を顕微鏡の視野内へ極め
て容易かつ正確に位置決めでき、操作者の負担を軽減で
きると共に作業性を大幅に向上できる目視観察装置とそ
れを用いた目視・顕微鏡観察装置を提供できる。
【図１】（ａ）及び（ｂ）はそれぞれ本発明の目視・顕
微鏡観察装置の第１の実施形態を示す上面図及び正面
図。
微鏡観察装置の第１の実施形態を示す上面図及び正面
図。
【図２】本発明の目視観察装置の第１の実施形態を示す
ブロック図。
ブロック図。
【図３】本発明の目視観察装置の第２の実施形態を示す
ブロック図。
ブロック図。
【図４】従来の目視・顕微鏡観察装置の斜視図。
１０…試料準備ユニット １１…試料 １２…試料収納箱 ２０…目視観察部 ２１…試料載置台 ２３…試料搬送装置 ２５…指標投影装置 ２６…試料照明装置 ２７，２８…ジョイスティック ３０…顕微鏡観察部 ３３…顕微鏡 ３４…ＸＹステージ ３５…座標認識装置 ３６…記憶装置
───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (58)調査した分野(Int.Cl.7，ＤＢ名) G01N 21/84 - 21/958
Claims (3)
- 【請求項１】 指標を表示可能な液晶ディスプレイ、Ｅ
Ｌディスプレイ、ＬＥＤをマトリクス状に並べたディス
プレイのいずれかからなり、透明試料を載置して目視観
察を行うための試料載置台と、 前記試料載置台に載置された試料面上に目視観察用の照
明光を照射する照明手段と、 前記試料面上の所定位置に対応した位置に指標を表示さ
せる表示制御手段と、 前記表示制御手段で表示させた指標の位置に対応した座
標を記憶する記憶手段とを具備した目視観察装置。 - 【請求項２】 前記試料載置台は、試料を載置した状態
で、水平方向に回転可能又は載置面を所望の方向に傾斜
可能であることを特徴とする請求項１記載の目視観察装
置。 - 【請求項３】 指標を表示可能な液晶ディスプレイ、Ｅ
Ｌディスプレイ、ＬＥＤをマトリクス状に並べたディス
プレイのいずれかからなり、透明試料を載置して目視観
察を行うための試料載置台と、 前記試料載置台に載置された試料面上に目視観察用の照
明光を照射する照明手段と、 前記試料面上の所定位置に対応した位置に指標を表示さ
せる表示制御手段と、 前記表示制御手段で表示させた指標の位置に対応した座
標を記憶する記憶手段と、 前記試料を顕微鏡観察するための対物レンズを備えた顕
微鏡本体と、 前記試料面上の座標の位置に前記対物レンズの光軸を位
置合わせ可能な観察部移動手段と、 前記試料を前記試料載置台へ搬送すると共に、該試料載
置台上の前記試料を前記観察部移動手段へ搬送するため
の試料搬送手段と、 前記記憶手段に記憶された座標に基づいて前記対物レン
ズの光軸が試料面上の座標の位置に位置合わせされるよ
うに前記観察部移動手段を制御する制御手段とを具備し
た目視・顕微鏡観察装置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP15286899A JP3188250B2 (ja) | 1999-05-31 | 1999-05-31 | 目視観察装置とそれを用いた目視・顕微鏡観察装置 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP15286899A JP3188250B2 (ja) | 1999-05-31 | 1999-05-31 | 目視観察装置とそれを用いた目視・顕微鏡観察装置 |
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| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP2275966A Division JP3021599B2 (ja) | 1990-10-15 | 1990-10-15 | 目視観察装置とそれを用いた目視・顕微鏡観察装置 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH11352069A JPH11352069A (ja) | 1999-12-24 |
| JP3188250B2 true JP3188250B2 (ja) | 2001-07-16 |
Family
ID=15549885
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP15286899A Expired - Fee Related JP3188250B2 (ja) | 1999-05-31 | 1999-05-31 | 目視観察装置とそれを用いた目視・顕微鏡観察装置 |
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| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JP3188250B2 (ja) |
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| CN106556607A (zh) * | 2015-09-30 | 2017-04-05 | 苍南县三维电子塑胶有限公司 | 识别显示面板表面灰尘的装置及方法 |
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-
1999
- 1999-05-31 JP JP15286899A patent/JP3188250B2/ja not_active Expired - Fee Related
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| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| CN106556607A (zh) * | 2015-09-30 | 2017-04-05 | 苍南县三维电子塑胶有限公司 | 识别显示面板表面灰尘的装置及方法 |
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