WO2018168962A1 - 基板搬送装置 - Google Patents

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WO2018168962A1
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substrate
sensor
light
control device
substrate transfer
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吉田　哲也
崇行 福島
真也 木下
翔吾 松岡
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川崎重工業株式会社
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    • H01L21/687—Apparatus specially adapted for handling semiconductor or electric solid state devices during manufacture or treatment thereof; Apparatus specially adapted for handling wafers during manufacture or treatment of semiconductor or electric solid state devices or components ; Apparatus not specifically provided for elsewhere for supporting or gripping using mechanical means, e.g. chucks, clamps or pinches
    • H01L21/68714—Apparatus specially adapted for handling semiconductor or electric solid state devices during manufacture or treatment thereof; Apparatus specially adapted for handling wafers during manufacture or treatment of semiconductor or electric solid state devices or components ; Apparatus not specifically provided for elsewhere for supporting or gripping using mechanical means, e.g. chucks, clamps or pinches the wafers being placed on a susceptor, stage or support
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Definitions

  • the present invention relates to a substrate transfer apparatus.
  • a semiconductor wafer (semiconductor substrate; hereinafter, also simply referred to as a wafer or a substrate) is manufactured by performing a plurality of processes in a clean room. Further, the semiconductor wafer is transferred between the processes by a robot arranged in a clean room.
  • a plurality of protrusions are provided at the tip of the robot hand, a recess that fits into the protrusion is provided at the bottom of the article, and the recess is fitted into the plurality of protrusions.
  • the reflector provided at the tip of the robot hand is configured to be pushed down.
  • the reflector is not pushed down sufficiently, and the article is placed normally because the light or ultrasonic sensor cannot detect the light or ultrasonic wave reflected from the reflector. It is detected whether it was done.
  • the present invention solves the above-described conventional problems, and can easily detect that the substrate gripping hand holds the substrate in a horizontal state as compared with the conventional substrate transfer device.
  • the purpose is to provide.
  • a substrate transport apparatus includes a substrate gripping hand, a first holding member that is provided at a distal end portion of the substrate gripping hand and holds the substrate, and the substrate gripping hand.
  • a second holding member that holds the substrate and a base end portion of the substrate gripping hand, and is configured to detect the substrate by irradiating light or ultrasonic waves.
  • the thickness direction of the substrate is a first direction
  • the direction from the base end portion to the tip end portion of the substrate gripping hand is a second direction
  • the second holding member is in the first direction.
  • a plurality of second claw portions arranged at predetermined intervals along the plurality of second claw portions, and the substrate transport device includes a plurality of first claw portions and a plurality of second claw portions.
  • substrate may be hold
  • the said 1st sensor is comprised so that the said light or the said ultrasonic wave may be irradiated toward the said 2nd direction
  • the said control apparatus is the said adjacent board
  • the first sensor is irradiated with the light or the ultrasonic wave toward the space between the two to determine whether or not the substrate is normally held.
  • the first sensor detects light or ultrasonic waves when the first sensor irradiates light or ultrasonic waves toward the space between adjacent substrates, May be determined to be in a horizontal state (the substrate is normally placed).
  • the first sensor does not detect the light or the ultrasonic wave when the first sensor irradiates the light or the ultrasonic wave toward the space between the adjacent substrates, It may be determined that the substrate is tilted (the substrate is abnormally placed).
  • the substrate transport apparatus operating method is a substrate transport apparatus operating method for transporting a substrate, wherein the substrate transport apparatus is provided at a substrate gripping hand and a tip portion of the substrate gripping hand, A first holding member that holds the substrate; a second holding member that holds the substrate; a second holding member that holds the substrate; and a proximal end portion of the substrate holding hand.
  • a first sensor configured to detect the substrate, wherein a thickness direction of the substrate is a first direction, and a direction from the base end portion to the tip end portion of the substrate gripping hand is defined as a first direction.
  • the first holding members are spaced apart from each other along the first direction.
  • the second holding member has a plurality of second claw portions arranged at predetermined intervals along the first direction
  • the substrate transport apparatus includes a plurality of the first holding members.
  • the claw portion and the plurality of second claw portions are configured to hold the plurality of substrates, and the first sensor irradiates the light or the ultrasonic wave in the second direction (A ) And irradiating the first sensor with the light or the ultrasonic wave toward the space between the adjacent substrates, and determining whether the substrate is normally held (B), Is provided.
  • the substrate transfer apparatus and the operation method of the substrate transfer apparatus of the present invention it is possible to easily detect that the substrate gripping hand is holding the substrate in a horizontal state as compared with the conventional substrate transfer apparatus.
  • FIG. 1 is a perspective view showing a schematic configuration of the substrate transfer apparatus according to the first embodiment.
  • FIG. 2 is a functional block diagram schematically showing the configuration of the control device of the substrate transfer apparatus shown in FIG.
  • FIG. 3 is a right side view of the substrate gripping hand in the substrate transport apparatus shown in FIG.
  • FIG. 4 is a perspective view illustrating a schematic configuration of the first holding member in the substrate transfer apparatus illustrated in FIG. 1.
  • FIG. 5 is a flowchart showing an example of the operation of the substrate transfer apparatus according to the first embodiment.
  • FIG. 6 is a schematic diagram showing a schematic configuration of a main part of the substrate transfer apparatus according to the second embodiment.
  • FIG. 7 is a schematic diagram illustrating a schematic configuration of a main part of the substrate transfer apparatus according to the second embodiment.
  • FIG. 1 is a perspective view showing a schematic configuration of the substrate transfer apparatus according to the first embodiment.
  • FIG. 2 is a functional block diagram schematically showing the configuration of the control device of the substrate transfer apparatus shown in
  • FIG. 8 is a schematic diagram showing a schematic configuration of a main part of the substrate transfer apparatus according to the second embodiment.
  • FIG. 9 is a flowchart showing an example of the operation of the substrate transfer apparatus according to the second embodiment.
  • FIG. 10 is a schematic diagram illustrating a schematic configuration of a main part of the substrate transfer apparatus according to the first modification of the second embodiment.
  • FIG. 11 is a schematic diagram illustrating a schematic configuration of a main part of the substrate transfer apparatus according to the first modification of the second embodiment.
  • FIG. 12 is a schematic diagram illustrating a schematic configuration of a main part of the substrate transfer apparatus according to the first modification of the second embodiment.
  • FIG. 13 is a schematic diagram illustrating a schematic configuration of a main part of the substrate transfer apparatus according to the second modification of the second embodiment.
  • FIG. 10 is a schematic diagram illustrating a schematic configuration of a main part of the substrate transfer apparatus according to the first modification of the second embodiment.
  • FIG. 11 is a schematic diagram illustrating a schematic configuration of
  • FIG. 14 is a schematic diagram illustrating a schematic configuration of a main part of the substrate transfer apparatus according to the second modification of the second embodiment.
  • FIG. 15 is a schematic diagram illustrating a schematic configuration of a main part of the substrate transfer apparatus according to the second modification of the second embodiment.
  • FIG. 16 is a flowchart illustrating an example of the operation of the substrate transfer apparatus according to the second modification example in the second embodiment.
  • FIG. 17 is a schematic diagram showing a schematic configuration of the substrate transfer apparatus according to the third embodiment.
  • FIG. 18A is a flowchart showing an example of the operation of the substrate transfer apparatus according to the third embodiment.
  • FIG. 18B is a flowchart illustrating an example of the operation of the substrate transfer apparatus according to the third embodiment.
  • FIG. 19 is a schematic diagram showing a schematic configuration of the substrate transfer apparatus according to the fourth embodiment.
  • FIG. 20 is a flowchart showing an example of the operation of the substrate transfer apparatus according to the fourth embodiment.
  • FIG. 21 is a schematic diagram showing a schematic configuration of the substrate transfer apparatus according to the fifth embodiment.
  • FIG. 22 is a schematic diagram showing a schematic configuration of the substrate transfer apparatus according to the sixth embodiment.
  • FIG. 23 is a flowchart showing an example of the operation of the substrate transfer apparatus according to the sixth embodiment.
  • the substrate transfer apparatus is provided at a substrate gripping hand, a distal end portion of the substrate gripping hand, is provided at a base end portion of the substrate gripping hand, and a first holding member that holds the substrate.
  • a second holding member for holding, a first sensor provided at a base end portion of the substrate gripping hand and configured to detect a substrate by irradiating light or ultrasonic waves, and a control device,
  • the thickness direction of the substrate is defined as the first direction
  • the direction from the base end to the tip of the substrate gripping hand is defined as the second direction
  • the direction orthogonal to the first direction and the second direction is defined as the third direction.
  • the first holding member has a plurality of first claw portions arranged at predetermined intervals along the first direction, and the second holding member is mutually attached along the first direction.
  • a substrate transfer device having a plurality of second claw portions arranged at a predetermined interval The plurality of first claw portions and the plurality of second claw portions are configured to hold a plurality of substrates, and the first sensor is configured to emit light or ultrasonic waves in the second direction. Then, the control device determines whether or not the substrate is normally held by irradiating the first sensor with light or ultrasonic waves toward the space between the adjacent substrates.
  • the substrate transfer apparatus further includes a retroreflector provided on the first holding member so as to face the first sensor, and the control device includes a space between adjacent substrates.
  • the first sensor may be irradiated with light or ultrasonic waves, and it may be determined whether or not the substrate is normally placed by the light or ultrasonic waves reflected by the retroreflector.
  • the substrate transfer apparatus may further include a first driver configured to move the first sensor along the first direction.
  • the first sensor when the control device causes the first sensor to emit light or ultrasonic waves toward the space between adjacent substrates, the first sensor Alternatively, when ultrasonic waves are detected, it is determined that the substrate is normally held, and the first sensor is irradiated with light or ultrasonic waves toward the space between adjacent substrates. If the sensor does not detect light or ultrasonic waves, it may be determined that the substrate is held abnormally.
  • the first claw member and the second claw member may each be formed in an inverted L shape.
  • FIG. 1 is a perspective view showing a schematic configuration of the substrate transfer apparatus according to the first embodiment.
  • FIG. 2 is a functional block diagram schematically showing the configuration of the control device of the substrate transfer apparatus shown in FIG.
  • the vertical direction, the front-rear direction, and the left-right direction in the substrate transport apparatus are represented as the vertical direction, the front-rear direction, and the left-right direction in the drawing.
  • the substrate transport apparatus 1 includes a manipulator 2, a substrate gripping hand 3, first sensors 11A and 11A, a first driver 12, a control device 200,
  • the substrate 9 accommodated in the hoop 90 is held (held) by the first holding member 4A and the second holding member 4B and is transported.
  • the first sensors 11 ⁇ / b> A and 11 ⁇ / b> A are configured to detect the substrate 9 by irradiating light or ultrasonic waves while moving in the vertical direction by the first driver 12. .
  • the substrate 9 may be a circular thin plate used as a material for a semiconductor device substrate such as a semiconductor substrate and a glass substrate.
  • the semiconductor substrate may be, for example, a silicon substrate, a sapphire (single crystal alumina) substrate, or other various substrates.
  • the glass substrate may include a glass substrate for FPD (Flat Panel Display), a glass substrate for MEMS (Micro Electro Mechanical Systems), and the like.
  • the manipulator 2 is not limited to a horizontal articulated robot, and may be based on a vertical articulated robot.
  • the manipulator 2 includes an arm 20, a base 21, a support base 22, a support shaft 23, and a shaft body 24.
  • a control device 200 is disposed inside the support base 22. Note that the control device 200 may be provided at a place other than the inside of the support base 22.
  • the support base 22 is provided with a support shaft 23.
  • the support shaft 23 includes, for example, a ball screw mechanism, a drive motor, a rotation sensor that detects the rotation position of the drive motor, a current sensor that detects a current that controls the rotation of the drive motor, and the like (all not shown). Thus, it is configured to expand and contract in the vertical direction and to rotate.
  • the drive motor may be a servo motor that is servo-controlled by the control device 200, for example.
  • the rotation sensor may be an encoder, for example.
  • the lower end of the arm 20 is connected to the upper end of the support shaft 23 so as to be rotatable around the axis of the rotation shaft passing through the axis of the support shaft 23.
  • a rear end portion of the base 21 is connected to the rear end portion of the arm 20 via a shaft body 24 so as to be rotatable.
  • a substrate gripping hand 3 is disposed on the upper surface of the base 21.
  • the manipulator 2 also has a drive motor, a power transmission mechanism, a rotation sensor, and a current sensor (none of which are shown) for rotating the base 21 around the axis of the shaft body 24.
  • the drive motor may be a servo motor that is servo-controlled by the control device 200, for example.
  • the rotation sensor may be an encoder, for example.
  • the control device 200 includes a calculation unit 200a such as a CPU, a storage unit (storage device) 200b such as a ROM and a RAM, and a servo control unit 200c.
  • the control device 200 is a robot controller including a computer such as a microcontroller.
  • the storage unit 200b stores information such as a basic program as a robot controller and various fixed data.
  • the calculation unit 200a controls various operations of the manipulator 2 by reading and executing software such as a basic program stored in the storage unit 200b. That is, the arithmetic unit 200a generates a control command for the manipulator 2 and outputs it to the servo control unit 200c.
  • the servo control unit 200c is configured to control the driving of the servo motor that rotates the rotation shafts corresponding to the support shaft 23 and the shaft body 24 of the manipulator 2 based on the control command generated by the calculation unit 200a. ing.
  • the optical information or the ultrasonic information detected by the first sensors 11A and 11A is input to the control device 200, and the control device 200 determines that the substrate 9 is normal based on the input optical information or ultrasonic information. It is determined whether or not it is placed.
  • the control device 200 may be configured by a single control device 200 that performs centralized control, or may be configured by a plurality of control devices 200 that perform distributed control in cooperation with each other.
  • the storage unit 200b is arranged in the control device 200.
  • the present invention is not limited to this, and the storage unit 200b is provided separately from the control device 200. You may employ
  • FIG. 3 is a right side view of the substrate gripping hand in the substrate transport apparatus shown in FIG. In FIG. 3, a part of the rear end side of the substrate gripping hand is omitted. In FIG. 3, the vertical and front / rear directions in the substrate transport apparatus are shown in the vertical and front / rear directions in the drawing.
  • the substrate gripping hand 3 includes a first housing 31 disposed on the front end side of the base 21 and a second housing disposed on the rear end side of the base 21. 30.
  • the first casing 31 and the second casing 30 are connected so that their internal spaces communicate with each other.
  • the first driver 12 for moving the first sensors 11A, 11A in the vertical direction is arranged.
  • the first driver 12 may be constituted by, for example, a servo motor and an appropriate power transmission mechanism such as a rack and a pinion gear, or may be constituted by an air cylinder or the like.
  • the first driver 12 is disposed in the internal space of the second housing 30.
  • the present invention is not limited to this, and the first driver 12 is not limited to the first driver 12.
  • casing 31 may be employ
  • the 1st sensor 11A, 11A is arrange
  • the first sensor 11A irradiates light or ultrasonic waves in a second direction (here, the front-rear direction) that is a direction from the base end (rear end) portion of the first housing 31 toward the front end (front end) portion. And it is comprised so that the light or the ultrasonic wave reflected by the regression reflector 45 mentioned later may be detected.
  • the first sensor 11A disposed on the left side may irradiate light or ultrasonic waves toward the first holding member 4A disposed on the left side, and the first holding member disposed on the right side. You may irradiate light or an ultrasonic wave toward 4A.
  • the first sensor 11A arranged on the right side may irradiate light or ultrasonic waves toward the first holding member 4A arranged on the right side, and the first holding unit arranged on the left side.
  • Light or ultrasonic waves may be irradiated toward the member 4A. That is, the pair of first sensors 11A and 11A may irradiate light or ultrasonic waves so as to be substantially parallel to each other, or may irradiate light or ultrasonic waves so as to cross each other.
  • the first sensor 11A is configured as a reflection type sensor.
  • the first sensor 11 ⁇ / b> A may be configured as a transmission type sensor.
  • a configuration is adopted in which an irradiator that irradiates light or ultrasonic waves is provided at the proximal end portion of the first housing 31 and a detector that detects light or ultrasonic waves is provided at the distal end portion of the first housing 31 Alternatively, an irradiator that irradiates light or ultrasonic waves is provided at the distal end portion of the first housing 31, and a detector that detects light or ultrasonic waves is provided at the proximal end portion of the first housing 31. Also good.
  • first holding members 4A and 4A are provided on the front end (tip) side
  • second holding members 4B and 4B are provided on the rear end (base end) side.
  • one first holding member 4 ⁇ / b> A is provided at the left end portion of the first housing 31
  • the other first holding member 4 ⁇ / b> A is provided at the right end portion of the first housing 31.
  • one second holding member 4B is provided at the left base end portion of the first housing 31, and the other second holding member 4B is provided at the right base end portion of the first housing 31.
  • the first holding members 4A and 4A and the second holding members 4B and 4B are configured to be movable in the front-rear direction and the vertical direction by a second driver 13 described later.
  • the first holding member 4A includes a plurality (here, five) of first claw portions 40A to 40E
  • the second holding member 4B includes a plurality (here, 5) second claw portions 50A to 50E.
  • the first claw portions 40A to 40E are formed in an inverted L shape when viewed from the left-right direction.
  • the second claw portions 50A to 50E are formed in an inverted L shape when viewed from the left-right direction.
  • first claw portions 40A to 40E of the first holding member 4A will be described in detail with reference to FIGS.
  • the second claw portions 50A to 50E of the second holding member 4B are configured in the same manner as the first claw portions 40A to 40E of the first holding member 4A, and thus detailed description thereof is omitted.
  • the first claw portions 40A to 40E of the first holding member 4A arranged on the left side will be described.
  • FIG. 4 is a perspective view showing a schematic configuration of the first holding member in the substrate transfer apparatus shown in FIG.
  • the first claw portion 40A has a columnar first portion 41A and a guide portion 42A provided on the upper portion of the first portion 41A.
  • the first claw portions 40B to 40E have columnar first portions 41B to 41E and guide portions 42B to 42E, respectively.
  • the guide portion 42A is formed in a step shape on the rear end side, and the peripheral edge portion of the lower surface of the substrate 9 is placed on the bottom surface 43A.
  • the first claw portions 40A to 40E are positioned (arranged) by the second driver 13 at a predetermined interval along the first direction (here, the vertical direction) that is the thickness direction of the substrate 9. ) As you go up and down. Similarly, the second claw portions 50A to 50E are moved up and down by the second driver 13 so as to be positioned at predetermined intervals along the vertical direction.
  • first claw portions 40A to 40E are moved up and down by the second driver 13 so that the guide portions 42A to 42E are spaced apart from each other along the vertical direction when viewed from the horizontal direction.
  • the second claw portions 50A to 50E are moved up and down by the second driver 13 so that the guide portions have a predetermined distance from each other along the vertical direction.
  • the second driver 13 may be composed of, for example, a servo motor and an appropriate power transmission mechanism, or may be composed of an air cylinder or the like.
  • the second driver 13 causes the first You may raise / lower the sensor 11A, the 1st holding member 4A, and the 2nd holding member 4B. That is, a form in which the second driver 13 also functions as the first driver 12 may be employed.
  • the first holding member 4A is arranged in the order of the first claw portions 40A to 40E so that the height thereof becomes smaller.
  • the second holding member 4B is arranged in the order of the second claw portions 50A to 50E so that the height thereof becomes smaller. That is, the first claw part 40A and the second claw part 50A are driven by the second driver 13 so that the first claw part 40E and the second claw part 50E are located lowest. .
  • a regressive reflector 45 is disposed on the side surface on the rear end side of the first portion 41A.
  • a reflector that reflects known light or ultrasonic waves can be used.
  • the form in which the regression reflector 45 is disposed in the first portion 41A of the first claw portion 40A is adopted, but the present invention is not limited to this.
  • Each of the first portions 41A to 41E may adopt a form in which a return reflector 45 is disposed.
  • the return reflector 45 is provided at the tip of the substrate gripping hand 3. You may employ
  • FIG. 5 is a flowchart showing an example of the operation of the substrate transfer apparatus according to the first embodiment.
  • control device 200 moves the manipulator 2 until the substrate gripping hand 3 is positioned in front of the hoop 90 (step S ⁇ b> 101). At this time, the control device 200 operates the manipulator 2 so that the substrate gripping hand 3 is positioned below the portion where the substrate 9 to be gripped is placed.
  • control device 200 operates the manipulator 2 until the substrate gripping hand 3 is positioned below the substrate 9 in the hoop 90 (step S102). At this time, the control device 200 moves the substrate gripping hand 3 into the hoop 90 to a position where the substrate 9 can be placed at the guide portion of the substrate gripping hand 3.
  • control device 200 operates the manipulator 2 so that the substrate gripping hand 3 moves upward, places the substrate 9 on the bottom surface of the guide portion, scoops up the substrate 9, and lifts the substrate 9 into the substrate gripping hand. 3 (step S103).
  • control device 200 moves the first sensors 11A and 11A up and down by the first driver 12 (step S104).
  • the control device 200 causes the first sensor 11A to irradiate light or ultrasonic waves and detect the light or ultrasonic waves reflected by the regressive reflector 45 (step). S105).
  • the control device 200 may acquire the light or ultrasonic information detected by the first sensor 11A together with the position information.
  • the control device 200 determines whether or not the substrate 9 is normally held (placed) based on the light or ultrasonic information detected by the first sensor 11A in step S105. . Specifically, in the control device 200, when the first sensor 11A irradiates light or ultrasonic waves toward the space between the adjacent substrates 9 and 9, the first sensor 11A causes the regressive reflector 45 to Whether or not the substrate 9 is normally held is determined based on whether or not the reflected light or ultrasonic wave is detected (step S106).
  • the first sensor 11A is placed in the space between the adjacent substrates 9 and 9.
  • the light or the ultrasonic wave is irradiated toward the light
  • the light or the ultrasonic wave irradiated from the first sensor 11A reaches the recursive reflector 45, as indicated by a one-dot chain line, and is reflected and reflected by the reflected light or the ultrasonic wave.
  • the sound wave can reach the first sensor 11A.
  • the first sensor 11 ⁇ / b> A can detect light or ultrasonic waves reflected by the regressive reflector 45.
  • the first sensor 11 ⁇ / b> A is located between the adjacent substrates 9 and 9.
  • the first sensor 11 ⁇ / b> A cannot detect light or ultrasonic waves reflected by the regressive reflector 45.
  • the control device 200 irradiates the first sensor 11A with light or ultrasonic waves toward the space between the adjacent substrates 9 and 9, the first sensor 11A is reflected by the regressive reflector 45. Whether or not the substrate 9 is normally held can be determined based on whether or not light or ultrasonic waves are detected.
  • the substrate 9 is normally held based on the light or ultrasonic information acquired from the first sensor 11A together with the position information. It may be determined whether or not it is done.
  • control device 200 compares the number of times the light or ultrasonic information is acquired from the first sensor 11A with the number between the adjacent substrates 9 and 9 to determine whether or not the substrate 9 is normally held. It may be determined. Specifically, when the number of times the light or ultrasonic information is acquired from the first sensor 11A and the number between the adjacent substrates 9 and 9 match, the control device 200 is normal. If the number of times that the light or ultrasonic information is acquired from the first sensor 11A is less than the number between the adjacent substrates 9 and 9, the substrate 9 is abnormally held ( For example, it is determined that the substrate 9 is held inclined.
  • the control device 200 returns from the first sensor 11 ⁇ / b> A when the first sensor 11 ⁇ / b> A irradiates light or ultrasonic waves toward the space between the adjacent substrates 9 and 9.
  • the control device 200 operates the manipulator 2 to transport the substrate 9 to a device or the like that executes the next process, and ends this program.
  • the control device 200 reflects the light reflected by the regressive reflector 45 from the first sensor 11A.
  • the control device 200 notifies an operator or the like that the substrate 9 is abnormally placed by a not-shown alarm device (for example, a display device such as a display, a speaker, a siren, or the like) (step S109). Exit this program.
  • the control device 200 irradiates the first sensor 11A with light or ultrasonic waves toward the space between the adjacent substrates 9 and 9. Thus, it is determined whether or not the substrate 9 is normally held. Thus, it is possible to determine whether or not the substrate 9 is normally held by simply irradiating the first sensor 11A with light or ultrasonic waves toward the space between the adjacent substrates 9 and 9. it can.
  • the retroreflector 45 is disposed on the first claw portion 40A of the first holding member 4A.
  • the substrate 9 is normally held with a simple configuration. It can be determined whether or not.
  • the substrate transfer device according to the second embodiment is configured to move the first claw portion and the second claw portion along the first direction in the substrate transfer device according to the first embodiment.
  • the apparatus further includes a driver, and the control device controls the second driver so as to vary the interval between adjacent substrates.
  • the first sensor when the interval between the adjacent substrates is changed, the first sensor is directed toward the space between the adjacent substrates that is different from that before the change. You may be comprised so that a sound wave may be irradiated.
  • the first sensor may be provided on the second claw portion.
  • a regression reflector is provided in the 1st nail
  • FIG. 6 to 8 are schematic views showing a schematic configuration of a main part of the substrate transfer apparatus according to the second embodiment
  • FIG. 6 is a schematic view showing a state in which the interval between adjacent substrates is the smallest.
  • FIG. 8 is a schematic diagram showing a state where the distance between adjacent substrates is the largest.
  • FIG. 7 is a schematic diagram showing a state between the state where the interval between adjacent substrates is the smallest and the largest. 6 to 8, the vertical and longitudinal directions in the substrate transfer apparatus are shown in the vertical and longitudinal directions in the drawings.
  • the substrate transfer apparatus 1 according to the second embodiment has the same basic configuration as the substrate transfer apparatus 1 according to the first embodiment, but the first sensors 11A and 11B are The difference is that the second claw portion 50A of the second holding member 4B is disposed.
  • the control device 200 controls the second driver 13 so as to vary the interval between the adjacent substrates 9 and 9. Specifically, the control device 200 performs the second drive so as to vary the heights of the first claw portions 40A to 40D of the first holding member 4A and the second claw portions 50A to 50D of the second holding member 4B. The device 13 is driven.
  • the first sensors 11A and 11B emit light or ultrasonic waves toward the space between the adjacent substrates 9 and 9 that is different from that before the change. Can be irradiated.
  • FIG. 9 is a flowchart showing an example of the operation of the substrate transfer apparatus according to the second embodiment.
  • control device 200 operates the manipulator 2 to move it until the substrate gripping hand 3 is positioned in front of the hoop 90 (step S201). At this time, the control device 200 operates the manipulator 2 so that the substrate gripping hand 3 is positioned below the portion where the substrate 9 to be gripped is placed.
  • control device 200 operates the manipulator 2 until the substrate gripping hand 3 is positioned below the substrate 9 in the hoop 90 (step S202). At this time, the control device 200 moves the substrate gripping hand 3 into the hoop 90 to a position where the substrate 9 can be placed at the guide portion of the substrate gripping hand 3.
  • control device 200 operates the manipulator 2 so that the substrate gripping hand 3 moves upward, places the substrate 9 on the bottom surface of the guide portion, scoops up the substrate 9, and lifts the substrate 9 into the substrate gripping hand. 3 (step S203).
  • control device 200 drives the second driver 13 so as to change the interval between the substrates 9 and 9 (step S204). Specifically, the control device 200 performs the second drive so that the heights of the first claw portions 40A to 40D of the first holding member 4A and the second claw portions 50A to 50D of the second holding member 4B vary. The first holding member 4A and the second holding member 4B are moved up and down by the vessel 13.
  • the control device 200 irradiates the first sensors 11 ⁇ / b> A and 11 ⁇ / b> B with light or ultrasonic waves and reflects the light reflected by the return reflector 45. Alternatively, ultrasonic waves are detected (step S205).
  • control apparatus 200 when the control apparatus 200 can acquire the position information of the first sensors 11A and 11B, the control apparatus 200 acquires the light or ultrasonic information detected by the first sensors 11A and 11B together with the position information. Also good.
  • the control device 200 determines whether or not the substrate 9 is normally held (placed) based on the light or ultrasonic information detected by the first sensors 11A and 11B in step S205. judge. Specifically, when the first sensor 11A, 11B irradiates light or ultrasonic waves toward the space between the adjacent substrates 9, 9, the control device 200 detects that the first sensor 11A, 11B It is determined whether or not the substrate 9 is normally held based on whether or not the light or ultrasonic wave reflected by the retroreflector 45 is detected (step S206).
  • the space between adjacent substrates 9, 9 is defined as a first space 71, a second space 72, a third space 73, and a fourth space 74 in order from the bottom to the top.
  • the first sensor 11 ⁇ / b> A can irradiate light or ultrasonic waves toward the third space 73 when the distance between the adjacent substrates 9 and 9 is the smallest.
  • the first sensor 11 ⁇ / b> B is disposed so as to irradiate light or ultrasonic waves toward the first space 71.
  • the first sensor 11 ⁇ / b> B emits light or ultrasonic waves toward the second space 72. can do.
  • the first sensor 11A irradiates light or ultrasonic waves toward the substrate 9 placed on the first claw portion 40B and the second claw portion 50B.
  • the control device 200 does not acquire the light or ultrasonic information detected by the first sensor, It may be determined that the substrate 9 is normally held by acquiring light or ultrasonic information from the first sensor only when light or ultrasonic waves are irradiated toward the space between the nine.
  • the first sensor 11 ⁇ / b> A is directed toward the fourth space 74 with light or ultrasonic waves.
  • the first sensor 11 ⁇ / b> B can irradiate light or ultrasonic waves toward the third space 73.
  • the first sensor is driven by the second driver 13 so that the distance between the substrates 9 and 9 is changed, so that the first sensor is different from the adjacent substrate.
  • Light or ultrasonic waves can be irradiated toward the space between the nine.
  • the first sensors 11A and 11B are directed toward the space between the four adjacent substrates 9 and 9 (first space 71 to fourth space 74). Light or ultrasonic waves can be irradiated.
  • the first sensors 11A and 11B are connected to the adjacent substrates.
  • the light or ultrasonic waves irradiated from the first sensors 11A and 11B reach the recursive reflector 45 as indicated by a one-dot chain line, Therefore, the reflected light or the ultrasonic wave is reflected and can reach the first sensors 11A and 11B.
  • the first sensors 11 ⁇ / b> A and 11 ⁇ / b> B can detect light or ultrasonic waves reflected by the regression reflector 45.
  • the first sensors 11A and 11B When light or ultrasonic waves are irradiated toward the space between 9 and 9, the light or ultrasonic waves irradiated from the first sensors 11 ⁇ / b> A and 11 ⁇ / b> B are blocked by the substrate 9 and reach the return reflector 45. I can't. For this reason, the first sensors 11 ⁇ / b> A and 11 ⁇ / b> B cannot detect light or ultrasonic waves reflected by the regression reflector 45.
  • the control device 200 irradiates the first sensor 11A, 11B with light or ultrasonic waves toward the space between the adjacent substrates 9, 9, the first sensor 11A, 11B Whether or not the substrate 9 is normally held can be determined based on whether or not the light or ultrasonic wave reflected by 45 is detected.
  • the first sensor 11A can irradiate light or ultrasonic waves toward the third space 73 when the distance between the adjacent substrates 9 and 9 is the smallest.
  • the 1st sensor 11B has been arrange
  • the arrangement position of the first sensor can be appropriately set according to the number of arrangement of the first sensor, the number of holding the substrates 9, the size of the interval between the adjacent substrates 9, 9.
  • the control device 200 detects the first sensor 11 ⁇ / b> A when the first sensors 11 ⁇ / b> A and 11 ⁇ / b> B emit light or ultrasonic waves toward the space between the adjacent substrates 9 and 9.
  • the control device 200 operates the manipulator 2 to transport the substrate 9 to a device or the like that executes the next process, and ends this program.
  • the control device 200 returns the recursive reflector 45 from the first sensor 11A, 11B. If the reflected light or ultrasonic information is not acquired (No in step S206), it is determined that the substrate 9 is held abnormally (step S208). Next, the control device 200 notifies an operator or the like that the substrate 9 is abnormally placed by a not-shown alarm device (for example, a display device such as a display, a speaker, a siren, or the like) (step S209). Exit this program.
  • a not-shown alarm device for example, a display device such as a display, a speaker, a siren, or the like
  • the substrate transport apparatus 1 according to the second embodiment configured as described above has the same effects as the substrate transport apparatus 1 according to the first embodiment.
  • the first sensors 11A and 11B are disposed on the second holding member 4B, as the second holding member 4B moves up and down, the first sensor 11A and 11B can be moved up and down. For this reason, it is possible to determine whether or not the substrate 9 is normally held with a simpler configuration.
  • the irradiation unit that irradiates the light or ultrasonic waves of the first sensors 11A and 11B and the detection unit that detects the light or ultrasonic waves reflected by the regressive reflector 45 are in the vertical direction.
  • positions so that it may line up is employ
  • a configuration may be adopted in which the irradiation unit and the detection unit are arranged so as to be aligned in the horizontal direction (the left-right direction of the substrate transport apparatus 1).
  • FIG. 10 to 12 are schematic views showing a schematic configuration of the main part of the substrate transfer apparatus according to the first modification of the second embodiment
  • FIG. 10 is a schematic view showing a state in which the interval between adjacent substrates is the smallest.
  • FIG. 12 is a schematic diagram showing a state in which the interval between adjacent substrates is the largest.
  • FIG. 11 is a schematic diagram showing a state between a state where the interval between adjacent substrates is the smallest and a state where the distance is the largest.
  • the vertical and longitudinal directions in the substrate transport apparatus are shown in the vertical and longitudinal directions in the drawings.
  • the substrate transport apparatus 1 according to the first modification of the second embodiment has the same basic configuration as the substrate transport apparatus 1 according to the second embodiment, but the first sensor 11A. , 11B differs from the second claw portion 50A of the second holding member 4B in that it is independently provided.
  • the first sensors 11A and 11B are not disposed on the second claw portion 50A of the second holding member 4B. It does not move with the raising and lowering of the holding member 4B. That is, in the board
  • the irradiation unit that irradiates the light or ultrasonic waves of the first sensors 11A and 11B, the detection unit that detects the light or ultrasonic waves reflected by the regression reflector 45, and are arranged in a horizontal direction.
  • the first sensors 11A and 11B are not disposed on the second holding member 4B and the second claw portion 50A, and move in the vertical direction. There is no.
  • FIGS. 10 to 12 the reason why it is possible to determine whether or not the substrate 9 is normally held even in the substrate transfer apparatus 1 of Modification 1 configured as described above will be described. ,explain.
  • the first sensor 11 ⁇ / b> A can irradiate light or ultrasonic waves toward the fourth space 74 when the distance between the adjacent substrates 9 and 9 is the smallest.
  • the first sensor 11B is arranged to irradiate light or ultrasonic waves toward the substrate 9 placed on the first claw portion 40D and the second claw portion 50D.
  • the first sensor 11 ⁇ / b> A emits light or ultrasonic waves toward the third space 73.
  • the first sensor 11 ⁇ / b> B can irradiate light or ultrasonic waves toward the first space 71.
  • the first sensor 11 ⁇ / b> A when the second driver 13 is driven so as to maximize the distance between the substrates 9, the first sensor 11 ⁇ / b> A is directed toward the second space 72 with light or ultrasonic waves.
  • the first sensor 11 ⁇ / b> B can irradiate light or ultrasonic waves toward the first space 71.
  • the first sensors are adjacent to each other by driving the second driver 13 so as to change the distance between the substrates 9 and 9.
  • Light or ultrasonic waves can be irradiated toward the space between the substrates 9 and 9.
  • the substrate transfer apparatus 1 of the first modification has the same effects as the substrate transfer apparatus 1 according to the second embodiment.
  • FIGS. 13 to 15 are schematic views showing a schematic configuration of a main part of the substrate transfer apparatus according to the second modification of the second embodiment
  • FIG. 13 is a schematic view showing a state in which the interval between adjacent substrates is the smallest.
  • FIG. 15 is a schematic diagram showing a state in which the interval between adjacent substrates is the largest.
  • FIG. 14 is a schematic diagram illustrating a state between a state where the distance between adjacent substrates is the smallest and a state where the distance is the largest.
  • the vertical and front / rear directions in the substrate transfer apparatus are shown in the vertical and front / rear directions in the drawings.
  • the substrate transfer apparatus 1 according to the second modification has the same basic configuration as the substrate transfer apparatus 1 according to the second embodiment, but the first sensor 11 ⁇ / b> A has a second holding function. Apart from the second claw portion 50A of the member 4B, it is different in that it is arranged independently.
  • the first sensor 11A is configured to be moved up and down by the first driver 12.
  • the irradiation unit that irradiates the light or ultrasonic waves of the first sensor 11A and the detection unit that detects the light or ultrasonic waves reflected by the regression reflector 45 are horizontal. It is arranged to line up in the direction.
  • the first sensor may be arranged in the first housing 31 with a predetermined interval between the pair of first sensors 11A and 11A, like the substrate transfer apparatus 1 according to the first embodiment.
  • the first sensor 11 ⁇ / b> A may be arranged so as to be embedded in the front side surface of the second housing 30.
  • FIG. 16 is a flowchart illustrating an example of the operation of the substrate transfer apparatus according to the second modification of the second embodiment.
  • the operation of the substrate transfer apparatus 1 according to the second modification is basically the same as the operation of the substrate transfer apparatus 1 according to the second embodiment, but step S205A is replaced with step S205A. It is executed differently.
  • control device 200 drives the second driver 13 to raise and lower the first sensor 11A when the first holding member 4A and the second holding member 4B are raised and lowered, and
  • the first sensor 11A is irradiated with light or ultrasonic waves, and the light or ultrasonic waves reflected by the regression reflector 45 are detected (step S205A).
  • the control device 200 drives the second driver 13 so as to maximize the distance between the substrates 9 and 9, and then toward the second space 72.
  • One sensor 11A is irradiated with light or ultrasonic waves.
  • the control device 200 drives the first driver 12 to lower the first sensor 11 ⁇ / b> A, and irradiates the first sensor 11 ⁇ / b> A with light or ultrasonic waves toward the first space 71.
  • the controller 200 irradiates the first sensor 11 ⁇ / b> A with light or ultrasonic waves toward the first space 71 when the distance between the substrates 9 and 9 is the largest, and then the first driver 12. Is driven to raise the first sensor 11A. Thereafter, the control device 200 drives the second driver 13 so as to reduce the interval between the substrates 9 and 9 after irradiating the first sensor 11 ⁇ / b> A with light or ultrasonic waves toward the second space 72. Let Further, the control device 200 may drive the second driver 13 to irradiate the first sensor 11A with light or ultrasonic waves when the first holding member 4A and the second holding member 4B are lowered. Good.
  • the second driver 13 is driven and the first sensor 11A is moved up and down so that the distance between the substrates 9 and 9 varies.
  • the first sensor 11A can irradiate light or an ultrasonic wave toward a space between different adjacent substrates 9 and 9.
  • the substrate transfer apparatus 1 according to the second modification has the same effects as the substrate transfer apparatus 1 according to the second embodiment.
  • the irradiation unit that irradiates light or ultrasonic waves of the first sensor 11A and the detection unit that detects light or ultrasonic waves reflected by the regression reflector 45 are horizontal.
  • the configuration in which the components are arranged in the direction (the left-right direction of the substrate transport apparatus 1) is employed, the present invention is not limited to this. You may employ
  • the substrate transfer apparatus according to the third embodiment is provided at the base end portion of the substrate gripping hand in the substrate transfer apparatus according to the first or second embodiment (including the modified example), and moves along the first direction.
  • the control device further includes a second sensor configured to detect the substrate by irradiating light or ultrasonic waves in the third direction, and the control device is configured to be set at a predetermined first position. Then, the second sensor is irradiated with light or ultrasonic waves to determine whether or not the substrate is normally held.
  • the second sensor detects light or ultrasonic waves.
  • the second sensor does not detect the light or the ultrasonic wave when the second sensor is irradiated with the light or the ultrasonic wave at the first position, It may be determined that the substrate is abnormally held.
  • FIG. 17 is a schematic diagram showing a schematic configuration of the substrate transfer apparatus according to the third embodiment.
  • the vertical direction, the front-rear direction, and the left-right direction in the substrate transport apparatus are represented as the vertical direction, the front-rear direction, and the left-right direction in the drawing.
  • the substrate transport apparatus 1 according to the third embodiment has the same basic configuration as the substrate transport apparatus 1 according to the first embodiment, but the second sensor 6, the regressive reflector 45, And the third driver 14 is further different.
  • the second sensor 6 and the regressive reflector 45 are disposed on the upper surface of the base 21 so as to face each other with the substrate 9 interposed therebetween.
  • the second sensor 6 and the retroreflector 45 are arranged on the base end side of the first housing 31, that is, on the base end side of the substrate 9. More specifically, the second sensor 6 and the retroreflector 45 are disposed in the vicinity of the second holding members 4B and 4B.
  • the second sensor 6 and the retroreflector 45 are arranged in the vicinity of the proximal end portion of the first housing 31, but the present invention is not limited to this.
  • the second sensor 6 and the regressive reflector 45 may be arranged so as to face each other with the center portion of the substrate 9 interposed therebetween. Further, the second sensor 6 and the retroreflector 45 may be arranged so as to face each other with the tip portion of the substrate 9 interposed therebetween.
  • the second sensor 6 has a third direction (here, a direction orthogonal to a first direction that is the thickness direction of the substrate 9 and a second direction that is a direction from the base end portion to the tip end portion of the substrate gripping hand 3). Then, light or an ultrasonic wave is irradiated toward the left and right directions of the substrate transfer apparatus 1, the light or the ultrasonic wave reflected by the regression reflector 45 is detected, and the detected light or the ultrasonic information is sent to the control apparatus 200. It is configured to output.
  • a third direction here, a direction orthogonal to a first direction that is the thickness direction of the substrate 9 and a second direction that is a direction from the base end portion to the tip end portion of the substrate gripping hand 3.
  • the third driver 14 is configured to move (lift) the second sensor 6 in the vertical direction, and is disposed inside the second housing 30.
  • the third driver 14 may be constituted by, for example, a servo motor and an appropriate power transmission mechanism such as a rack and a pinion gear, or may be constituted by an air cylinder or the like.
  • the third driver 14 is arranged in the internal space of the second housing 30.
  • the present invention is not limited to this.
  • casing 31 may be employ
  • the third driver 14 may move the second sensor 6 in conjunction (synchronization) with the movement of the first sensors 11A and 11A by the first driver 12.
  • a mode in which the first driver 12 moves the second sensor 6 by an appropriate driving mechanism may be employed. That is, a form in which the first driver 12 also functions as the third driver 14 may be employed.
  • the third driver 14 may move the second sensor 6 separately from the movement of the first sensors 11A and 11A by the first driver 12.
  • the third driver 14 may move the second sensor 6 before the movement of the first sensors 11A and 11A by the first driver 12, and the second driver 6 may move the second sensor 6 during the movement of the first sensors 11A and 11A.
  • the movement of the sensor 6 may be started, and the second sensor 6 may be moved after the movement of the first sensors 11A and 11A is completed.
  • the second sensor 6 is configured by a reflective sensor, but the present invention is not limited to this.
  • the second sensor 6 may be configured as a transmission type sensor.
  • 18A and 18B are flowcharts showing an example of the operation of the substrate transfer apparatus according to the third embodiment.
  • control device 200 moves the manipulator 2 until the substrate gripping hand 3 is positioned in front of the hoop 90 (step S301). At this time, the control device 200 operates the manipulator 2 so that the substrate gripping hand 3 is positioned below the portion where the substrate 9 to be gripped is placed.
  • control device 200 operates the manipulator 2 until the substrate gripping hand 3 is positioned below the substrate 9 in the hoop 90 (step S302). At this time, the control device 200 moves the substrate gripping hand 3 into the hoop 90 to a position where the substrate 9 can be placed at the guide portion of the substrate gripping hand 3.
  • control device 200 operates the manipulator 2 so that the substrate gripping hand 3 moves upward, places the substrate 9 on the bottom surface of the guide portion, scoops up the substrate 9, and lifts the substrate 9 into the substrate gripping hand. 3 (step S303).
  • control device 200 raises and lowers the first sensors 11A and 11A by the first driver 12, and raises and lowers the second sensor 6 by the third driver 14 (step S304).
  • the control device 200 causes the first sensor 11A to emit light or ultrasonic waves and detect the light or ultrasonic waves reflected by the regression reflector 45 when the first sensors 11A and 11A are moving up and down.
  • the control device 200 causes the second sensor 6 to irradiate light or ultrasonic waves while the second sensor 6 is moving up and down, and detects light or ultrasonic waves reflected by the regression reflector 45 (step S305). .
  • the control device 200 may acquire the light or ultrasonic information detected by the first sensor 11A together with the position information.
  • the control device 200 acquires the light or ultrasonic information detected by the second sensor 6 together with the position information of the second sensor 6.
  • the control device 200 determines whether or not the substrate 9 is normally held (placed) on the basis of the light or ultrasonic information detected by the second sensor 6 in step S305. Specifically, when the second sensor 6 irradiates light or ultrasonic waves toward the respective substrates 9, the control device 200 outputs the light or ultrasonic waves reflected by the regression reflector 45. It is determined whether or not the substrate 9 is normally held based on whether or not it has been detected (step S306).
  • the second sensor 6 when the substrate 9 is placed in a horizontal state (normally held), the second sensor 6 is irradiated when light or ultrasonic waves are irradiated toward the substrate 9. Light or ultrasonic waves hits the peripheral surface (side surface) of the substrate 9 and does not reach the retroreflector 45. For this reason, the second sensor 6 cannot detect light or ultrasonic waves reflected by the regressive reflector 45.
  • the second sensor 6 when the substrate 9 is placed at an angle (abnormally held), when the second sensor 6 irradiates light or ultrasonic waves toward the substrate 9, The sound wave does not hit the peripheral surface of the substrate 9 and reaches the regressive reflector 45, where it is reflected and the reflected light or ultrasonic wave can reach the second sensor 6. For this reason, the second sensor 6 can detect light or ultrasonic waves reflected by the regressive reflector 45.
  • control device 200 irradiates the second sensor 6 with light or ultrasonic waves toward the peripheral surface of each substrate 9, the light or ultrasonic waves reflected by the return reflector 45 by the second sensor 6. Whether or not the substrate 9 is normally held can be determined based on whether or not the signal is detected.
  • control device 200 causes the second sensor 6 to irradiate light or ultrasonic waves toward the space between the adjacent substrates 9 and 9, and the second sensor 6 returns to the space. You may perform the process which determines whether the board
  • the control device 200 reflects the light reflected by the regressive reflector 45 from the second sensor 6 when the second sensor 6 irradiates light or ultrasonic waves toward the peripheral surface of the substrate 9.
  • the control device 200 notifies an operator or the like that the substrate 9 is abnormally placed by an alarm (not shown) (step S308), and ends this program.
  • the control device 200 irradiates light or ultrasonic waves toward the peripheral surface of the substrate 9.
  • the base end side of the substrate 9 is positioned below the front end side. It may be determined that the vehicle is inclined.
  • step S309 the process of step S309 is executed.
  • step S309 the control device 200 determines whether or not the substrate 9 is normally held (mounted) based on the light or ultrasonic information detected by the first sensor 11A in step S305. To do. Specifically, in the control device 200, when the first sensor 11A irradiates light or ultrasonic waves toward the space between the adjacent substrates 9 and 9, the first sensor 11A causes the regressive reflector 45 to Whether or not the substrate 9 is normally held is determined based on whether or not the reflected light or ultrasonic wave is detected.
  • the control device 200 When the first sensor 11A irradiates light or an ultrasonic wave toward the space between the adjacent substrates 9 and 9, the control device 200 reflects the light or the ultrasonic wave reflected by the return reflector 45 from the first sensor 11A.
  • the control device 200 operates the manipulator 2 to transport the substrate 9 to a device or the like that executes the next process, and ends this program.
  • the control device 200 reflects the light or ultrasonic waves reflected from the return reflector 45 from the first sensor 11A.
  • the information is not acquired (No in step S309), it is determined that the substrate 9 is held abnormally (step S311).
  • control device 200 notifies an operator or the like that the substrate 9 is abnormally placed by a not-shown alarm device (for example, a display device such as a display, a speaker, a siren, or the like) (step S312). End this program.
  • a not-shown alarm device for example, a display device such as a display, a speaker, a siren, or the like
  • control device 200 may determine in step S311 as follows.
  • the substrate 9 is inclined so that the distal end side is positioned below the proximal end side.
  • the base end side of the substrate 9 has a small variation due to the inclination, when the second sensor 6 irradiates light or ultrasonic waves toward the peripheral surface of the substrate 9, light or ultrasonic waves are applied to the peripheral surface of the substrate 9. Therefore, the second sensor 6 may not detect the light or the ultrasonic wave reflected by the regressive reflector 45.
  • the front end side of the substrate 9 has a greater variation due to the inclination than the base end side, when the first sensor 11A irradiates light or ultrasonic waves toward the space located below the substrate 9, The light or ultrasonic wave emitted from the first sensor 11 ⁇ / b> A is blocked by the substrate 9 and cannot reach the regressive reflector 45. For this reason, the first sensor 11 ⁇ / b> A cannot detect light or ultrasonic waves reflected by the regressive reflector 45.
  • the control device 200 does not acquire the light or ultrasonic information reflected by the regression reflector 45 from the second sensor 6 in the process of step S306, and returns from the first sensor 11A in the process of step S309.
  • the control device 200 notifies an operator or the like that the substrate 9 is placed with an inclination so that the front end side of the substrate 9 is positioned below the base end side. You may let them.
  • the substrate transfer apparatus 1 according to the third embodiment configured as described above has the same operational effects as the substrate transfer apparatus 1 according to the first embodiment.
  • substrate conveyance apparatus 1 which concerns on this Embodiment 3, even if any one sensor fails by detecting the board
  • the second sensor 6 when the second sensor 6 is disposed on the base end side of the substrate 9, the second sensor 6 is inclined and placed so that the front end side of the substrate 9 is positioned below the base end side. It is possible to detect whether the substrate 9 is placed or is tilted so that the base end side of the substrate 9 is positioned below the tip end side. For this reason, more accurate information about the state of the substrate 9 can be notified to an operator or the like.
  • the substrate transport apparatus is provided at the base end portion of the substrate gripping hand in the substrate transport apparatus according to any one of the first to third embodiments (including the modified example).
  • the camera further includes a first camera arranged so that a photographing direction is directed to the second direction, and the first camera photographs a plurality of substrates held by the plurality of first claw portions and the plurality of second claw portions.
  • the captured video information is configured to be output to the control device, and the control device determines whether the substrate is normally held based on the first video information that is the video information input from the first camera. Determine whether or not.
  • the substrate transfer apparatus further includes a storage unit that stores first position information that is position information when each of the plurality of substrates is normally held, and a control device May compare the first video information and the first position information to determine whether or not the substrate is normally held.
  • FIG. 19 is a schematic diagram showing a schematic configuration of the substrate transfer apparatus according to the fourth embodiment.
  • the vertical direction, the front-rear direction, and the left-right direction in the substrate transport apparatus are represented as the vertical direction, the front-rear direction, and the left-right direction in the drawing.
  • the substrate transfer apparatus 1 according to the fourth embodiment has the same basic configuration as the substrate transfer apparatus 1 according to the first embodiment. The difference is that one camera 15 is provided.
  • the first camera 15 is arranged so that its photographing direction is in the second direction, and is configured to photograph the board 9 and output the photographed video information to the control device 200.
  • movement is performed when the calculating part 200a of the control apparatus 200 reads the program stored in the memory
  • the following operations may be executed independently of the operations of the substrate transfer apparatus 1 according to the first embodiment. Further, the following operation may be executed in parallel with the operation of the substrate transfer apparatus 1 according to the first embodiment.
  • FIG. 20 is a flowchart showing an example of the operation of the substrate transfer apparatus according to the fourth embodiment.
  • control device 200 operates the manipulator 2 to move the substrate gripping hand 3 until it is positioned in front of the hoop 90 (step S401). At this time, the control device 200 operates the manipulator 2 so that the substrate gripping hand 3 is positioned below the portion where the substrate 9 to be gripped is placed.
  • control device 200 operates the manipulator 2 until the substrate gripping hand 3 is positioned below the substrate 9 in the hoop 90 (step S402). At this time, the control device 200 moves the substrate gripping hand 3 into the hoop 90 to a position where the substrate 9 can be placed at the guide portion of the substrate gripping hand 3.
  • control device 200 operates the manipulator 2 so that the substrate gripping hand 3 moves upward, places the substrate 9 on the bottom surface of the guide portion, scoops up the substrate 9, and lifts the substrate 9 into the substrate gripping hand. 3 (step S403).
  • control device 200 acquires first video information that is video information captured by the first camera 15 from the first camera 15 (step S404). Next, the control device 200 determines whether or not the substrate 9 is normally placed based on the first video information (step S405).
  • the control device 200 performs image analysis on the first video information using known image analysis software or the like, and determines whether or not the substrate 9 is placed normally (horizontal). May be. Further, the first position information that is the position information of the substrate 9 when the substrate 9 is normally placed in the storage unit 200b is stored in advance, and the control device 200 includes the first video information, the storage unit, The first position information acquired from 200b may be compared to determine whether or not the substrate 9 is mounted normally (horizontal).
  • control device 200 determines that the substrate 9 is normally placed based on the first video information (step S406), the control device 200 ends the program as it is. On the other hand, when it is determined that the substrate 9 is abnormally placed based on the first video information (step S407), the control device 200 places the substrate 9 abnormally by a not-shown alarm. The operator is notified (step S408), and the program is terminated.
  • the substrate transport apparatus 1 according to the fourth embodiment configured as described above has the same effects as the substrate transport apparatus 1 according to the first embodiment.
  • the substrate transfer apparatus is provided at the front end portion of the substrate gripping hand and the substrate gripping hand, and is provided at the base end portion of the substrate gripping hand and the first holding member that holds the substrate.
  • the holding member has a plurality of first claw portions that are arranged at predetermined intervals along the first direction, and the second holding member is at predetermined intervals along the first direction.
  • the substrate transport device has a plurality of second claw portions disposed in the plurality of second claw portions.
  • the first camera is configured to hold a plurality of substrates by one claw portion and a plurality of second claw portions, and the plurality of first cameras are held by the plurality of first claw portions and the plurality of second claw portions.
  • the board is configured to output the photographed video information to the control device, and the control device is configured so that the board is normally operated based on the first video information that is the video information input from the first camera. It is determined whether or not it is held.
  • the substrate transfer apparatus further includes a storage unit that stores first position information that is position information when each of the plurality of substrates is normally held, and includes a control device. May compare the first video information and the first position information to determine whether or not the substrate is normally held.
  • FIG. 21 is a schematic diagram showing a schematic configuration of the substrate transfer apparatus according to the fifth embodiment.
  • the vertical direction, the front-rear direction, and the left-right direction in the substrate transport apparatus are represented as the vertical direction, the front-rear direction, and the left-right direction in the drawing.
  • the substrate transport apparatus 1 according to the fifth embodiment has the same basic configuration as the substrate transport apparatus 1 according to the first embodiment, but instead of the first sensors 11A and 11A, The difference is that the first camera 15 is provided at the base end of the substrate gripping hand 3.
  • the first camera 15 is arranged so that its photographing direction is in the second direction, and is configured to photograph the board 9 and output the photographed video information to the control device 200.
  • the operation of the substrate transfer apparatus 1 according to the fifth embodiment is executed in the same manner as the operation of the substrate transfer apparatus 1 according to the fourth embodiment shown in FIG.
  • the substrate transport apparatus 1 according to the fifth embodiment configured as described above has the same effects as the substrate transport apparatus 1 according to the first embodiment.
  • the substrate transfer apparatus is provided at the base end portion of the substrate gripping hand in the substrate transfer apparatus according to any one of the first to fifth embodiments (including the modified example).
  • the camera further includes a second camera arranged so that the photographing direction is directed to the third direction, and the second camera photographs a plurality of substrates held by the plurality of first claw portions and the plurality of second claw portions.
  • the captured video information is configured to be output to the control device, and the control device determines whether the substrate is normally held based on the second video information input from the second camera. Determine whether or not.
  • the substrate transfer apparatus further includes a storage device that stores second position information that is position information when each of the plurality of substrates is normally held, and includes a control device. May compare the second video information and the second position information to determine whether or not the substrate is normally held.
  • FIG. 22 is a schematic diagram showing a schematic configuration of the substrate transfer apparatus according to the sixth embodiment.
  • the vertical direction, the front-rear direction, and the left-right direction in the substrate transport apparatus are represented as the vertical direction, the front-rear direction, and the left-right direction in the drawing.
  • the substrate transport apparatus 1 according to the sixth embodiment has the same basic configuration as the substrate transport apparatus 1 according to the first embodiment, but instead of the first sensors 11A and 11A, The difference is that the first camera 15 is provided at the base end of the substrate gripping hand 3 and the second camera 16 is provided on the base 21.
  • the first camera 15 is arranged so that its photographing direction is in the second direction, and is configured to photograph the substrate 9 and output the photographed video information to the control device 200.
  • the second camera 16 is arranged so that its shooting direction is in the third direction, and is configured to take a picture of the substrate 9 and output the taken video information to the control device 200.
  • FIG. 23 is a flowchart showing an example of the operation of the substrate transfer apparatus according to the sixth embodiment.
  • the operation of the substrate transfer apparatus 1 according to the sixth embodiment is basically the same as the operation of the substrate transfer apparatus 1 according to the fourth embodiment, but in steps S404 and S405. Instead, step S404A and step S405A are executed.
  • control device control apparatus 200 includes first video information that is video information captured by the first camera 15 from the first camera 15 and video information captured by the second camera 16 from the second camera 16.
  • the second video information is acquired (step S404A).
  • the control device 200 determines whether or not the substrate 9 is normally placed based on the first video information and the second video information (step S405A).
  • the control device 200 performs image analysis on the first video information and the second video information using known image analysis software or the like, and the substrate 9 is placed normally (horizontal). It may be determined whether or not. Further, the first position information and the second position information, which are the position information of the substrate 9 when the substrate 9 is normally placed, are stored in the storage unit 200b in advance, and the control device 200 displays the first video. Whether the substrate 9 is placed normally (horizontal) by comparing the information and the first position information acquired from the storage unit 200b and comparing the second video information and the second position information. May be determined.
  • control program 200 ends the program as it is.
  • control device 200 determines that the substrate 9 is normally placed based on the first video information and the second video information (step S406)
  • the control program 200 ends the program as it is.
  • the control device 200 determines that the substrate 9 is abnormally placed based on the first video information and the second video information (step S407)
  • the control device 200 causes the notifier to show that the substrate 9 is An operator or the like is informed of the abnormal placement (step S408), and the program is terminated.
  • the substrate transfer apparatus 1 according to the sixth embodiment configured as described above has the same effects as the substrate transfer apparatus 1 according to the first embodiment.
  • the substrate 9 is normally operated based on the first video information acquired from the first camera 15 and the second video information acquired from the second camera 16. It is determined whether it is mounted. For this reason, in the board
  • the substrate transfer device and the method of operating the substrate transfer device of the present invention can easily detect that the substrate gripping hand is holding the substrate in a horizontal state as compared with the conventional substrate transfer device. Useful in the field of robots.

Landscapes

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Abstract

基板把持ハンド（３）と、基板把持ハンド（３）の先端部に設けられ、複数の第１爪部を有する第１保持部材（４Ａ）と、基板把持ハンド（３）の基端部に設けられ、複数の第２爪部を有する第２保持部材（４Ｂ）と、基板把持ハンド（３）の基端部に設けられ、光又は超音波を照射して、基板（９）を検知するように構成されている第１センサ（１１Ａ）と、隣接する基板（９）の間の空間に向けて、第１センサ（１１Ａ）に光又は超音波を照射させて、基板（９）が正常に保持されているか否かを判定する制御装置（２００）と、を備える、基板搬送装置。

Description

基板搬送装置
　本発明は、基板搬送装置に関する。
　半導体ウエハ（半導体基板；以下、単にウエハ又は基板ということもある）は、クリーンルーム内で複数の処理がなされて、製造される。また、半導体ウエハは、各処理間をクリーンルーム内に配置されているロボットにより搬送される。
　クリーンルーム内に配置されているロボットとして、ロボットハンドの基部に光又は超音波センサを設けて、ロボットハンドの先端部に、物品が載置されると押下する反射体を設けた物品移載装置が知られている（例えば、特許文献１参照）。
　特許文献１に開示されている物品移載装置では、ロボットハンドの先端部に複数の突部を設け、物品の底部に突部と嵌合する凹部を設け、複数の突部に凹部が嵌合したときに、ロボットハンドの先端部に設けた反射体が押し下がるように構成されている。そして、物品が傾いて載置された場合には、反射体が充分に押し下がらず、光又は超音波センサが反射体から反射された光又は超音波を検知できないため、物品が正常に載置されたか否かを検知している。
特開２０００－２９６４９３号公報
　しかしながら、上記特許文献１に開示されている物品移載装置では、物品が正常に載置されたか否か、すなわち、物品が傾いて載置されているか否かを検知するために、物品に凹部を設ける工程が必要となる。このため、半導体ウエハの製造作業が煩雑となる。また、物品に凹部を設ける工程で、凹部を正確な位置に設けないと、物品が傾いて載置されるおそれがあった。
　本発明は、上記従来の課題を解決するもので、従来の基板搬送装置に比して、基板把持ハンドが基板を水平状態で保持していることを容易に検知することができる、基板搬送装置を提供することを目的とする。
　上記従来の課題を解決するために、本発明に係る基板搬送装置は、基板把持ハンドと、前記基板把持ハンドの先端部に設けられ、前記基板を保持する第１保持部材と、前記基板把持ハンドの基端部に設けられ、前記基板を保持する第２保持部材と、前記基板把持ハンドの基端部に設けられ、光又は超音波を照射して、前記基板を検知するように構成されている第１センサと、制御装置と、を備え、前記基板の厚み方向を第１方向とし、前記基板把持ハンドの基端部から先端部に向かう方向を第２方向とし、前記第１方向及び前記第２方向のそれぞれに直交する方向を第３方向と定義した場合に、前記第１保持部材は、前記第１方向に沿って、互いに所定の間隔をおいて配置される、複数の第１爪部を有し、前記第２保持部材は、前記第１方向に沿って、互いに所定の間隔をおいて配置される、複数の第２爪部を有し、前記基板搬送装置は、複数の前記第１爪部と複数の前記第２爪部により、複数の前記基板を保持するように構成されていて、前記第１センサは、前記光又は前記超音波を前記第２方向に向けて照射するように構成されていて、前記制御装置は、隣接する前記基板の間の空間に向けて、前記第１センサに前記光又は前記超音波を照射させて、前記基板が正常に保持されているか否かを判定する。
　このとき、制御装置は、隣接する基板の間の空間に向けて、第１センサに光又は超音波を照射させたときに、第１センサが、光又は超音波を検知した場合には、基板が水平状態にある（基板が正常に載置されている）と判定してもよい。
　また、制御装置は、第１センサが、隣接する基板の間の空間に向けて、光又は前記超音波を照射したときに、当該第１センサが、光又は超音波を検知しない場合には、基板が傾いている（基板が異常に載置されている）と判定してもよい。
　これにより、従来の基板搬送装置に比して、基板把持ハンドが基板を水平状態で保持していることを容易に検知することができる。
　また、本発明に係る基板搬送装置の運転方法は、基板を搬送する基板搬送装置の運転方法であって、前記基板搬送装置は、基板把持ハンドと、前記基板把持ハンドの先端部に設けられ、前記基板を保持する第１保持部材と、前記基板把持ハンドの基端部に設けられ、前記基板を保持する第２保持部材と、前記基板把持ハンドの基端部に設けられ、光又は超音波を照射して、前記基板を検知するように構成されている第１センサと、を備え、前記基板の厚み方向を第１方向とし、前記基板把持ハンドの基端部から先端部に向かう方向を第２方向とし、前記第１方向及び前記第２方向のそれぞれに直交する方向を第３方向と定義した場合に、前記第１保持部材は、前記第１方向に沿って、互いに所定の間隔をおいて配置される、複数の第１爪部を有し、前記第２保持部材は、前記第１方向に沿って、互いに所定の間隔をおいて配置される、複数の第２爪部を有し、前記基板搬送装置は、複数の前記第１爪部と複数の前記第２爪部により、複数の前記基板を保持するように構成されていて、前記第１センサが、前記光又は前記超音波を前記第２方向に向けて照射する（Ａ）と、隣接する前記基板の間の空間に向けて、前記第１センサに前記光又は前記超音波を照射させて、前記基板が正常に保持されているか否かを判定する（Ｂ）と、を備える。
　これにより、従来の基板搬送装置に比して、基板把持ハンドが基板を水平状態で保持していることを容易に検知することができる。
　本発明の基板搬送装置及び基板搬送装置の運転方法によれば、従来の基板搬送装置に比して、基板把持ハンドが基板を水平状態で保持していることを容易に検知することができる。
図１は、本実施の形態１に係る基板搬送装置の概略構成を示す斜視図である。 図２は、図１に示す基板搬送装置の制御装置の構成を概略的に示す機能ブロック図である。 図３は、図１に示す基板搬送装置における基板把持ハンドの右側面図である。 図４は、図１に示す基板搬送装置における第１保持部材の概略構成を示す斜視図である。 図５は、本実施の形態１に係る基板搬送装置の動作の一例を示すフローチャートである。 図６は、本実施の形態２に係る基板搬送装置の要部の概略構成を示す模式図である。 図７は、本実施の形態２に係る基板搬送装置の要部の概略構成を示す模式図である。 図８は、本実施の形態２に係る基板搬送装置の要部の概略構成を示す模式図である。 図９は、本実施の形態２に係る基板搬送装置の動作の一例を示すフローチャートである。 図１０は、本実施の形態２における変形例１の基板搬送装置の要部の概略構成を示す模式図である。 図１１は、本実施の形態２における変形例１の基板搬送装置の要部の概略構成を示す模式図である。 図１２は、本実施の形態２における変形例１の基板搬送装置の要部の概略構成を示す模式図である。 図１３は、本実施の形態２における変形例２の基板搬送装置の要部の概略構成を示す模式図である。 図１４は、本実施の形態２における変形例２の基板搬送装置の要部の概略構成を示す模式図である。 図１５は、本実施の形態２における変形例２の基板搬送装置の要部の概略構成を示す模式図である。 図１６は、本実施の形態２における変形例２の基板搬送装置の動作の一例を示すフローチャートである。 図１７は、本実施の形態３に係る基板搬送装置の概略構成を示す模式図である。 図１８Ａは、本実施の形態３に係る基板搬送装置の動作の一例を示すフローチャートである。 図１８Ｂは、本実施の形態３に係る基板搬送装置の動作の一例を示すフローチャートである。 図１９は、本実施の形態４に係る基板搬送装置の概略構成を示す模式図である。 図２０は、本実施の形態４に係る基板搬送装置の動作の一例を示すフローチャートである。 図２１は、本実施の形態５に係る基板搬送装置の概略構成を示す模式図である。 図２２は、本実施の形態６に係る基板搬送装置の概略構成を示す模式図である。 図２３は、本実施の形態６に係る基板搬送装置の動作の一例を示すフローチャートである。
　以下、本発明の実施の形態を、図面を参照しながら説明する。なお、全ての図面において、同一又は相当部分には同一符号を付し、重複する説明は省略する。また、全ての図面において、本発明を説明するための構成要素を抜粋して図示しており、その他の構成要素については図示を省略している場合がある。さらに、本発明は以下の実施の形態に限定されない。
　（実施の形態１）
　本実施の形態１に係る基板搬送装置は、基板把持ハンドと、基板把持ハンドの先端部に設けられ、基板を保持する第１保持部材と、基板把持ハンドの基端部に設けられ、基板を保持する第２保持部材と、基板把持ハンドの基端部に設けられ、光又は超音波を照射して、基板を検知するように構成されている第１センサと、制御装置と、を備え、基板の厚み方向を第１方向とし、基板把持ハンドの基端部から先端部に向かう方向を第２方向とし、第１方向及び第２方向のそれぞれに直交する方向を第３方向と定義した場合に、第１保持部材は、第１方向に沿って、互いに所定の間隔をおいて配置される、複数の第１爪部を有し、第２保持部材は、第１方向に沿って、互いに所定の間隔をおいて配置される、複数の第２爪部を有し、基板搬送装置は、複数の第１爪部と複数の第２爪部により、複数の基板を保持するように構成されていて、第１センサは、光又は超音波を第２方向に向けて照射するように構成されていて、制御装置は、隣接する基板の間の空間に向けて、第１センサに光又は超音波を照射させて、基板が正常に保持されているか否かを判定する。
　また、本実施の形態１に係る基板搬送装置では、第１センサと対向するように、第１保持部材に設けられている回帰反射体をさらに備え、制御装置は、隣接する基板の間の空間に向けて、第１センサに光又は超音波を照射させて、回帰反射体で反射された光又は超音波により、基板が正常に載置されているか否かを判定してもよい。
　また、本実施の形態１に係る基板搬送装置では、第１センサを第１方向に沿って移動させるように構成されている、第１駆動器をさらに備えていてもよい。
　また、本実施の形態１に係る基板搬送装置では、制御装置が、隣接する基板の間の空間に向けて、第１センサに光又は超音波を照射させたときに、第１センサが、光又は超音波を検知した場合には、基板が正常に保持されていると判定し、隣接する基板の間の空間に向けて、第１センサに光又は超音波を照射させたときに、第１センサが、光又は超音波を検知しない場合には、基板が異常に保持されていると判定してもよい。
　さらに、本実施の形態１に係る基板搬送装置では、第１爪部材及び第２爪部材は、それぞれ、逆Ｌ字状に形成されていてもよい。
　以下、本実施の形態１に係る基板搬送装置の一例について、図１～図５を参照しながら説明する。
　［基板搬送装置の構成］
　図１は、本実施の形態１に係る基板搬送装置の概略構成を示す斜視図である。図２は、図１に示す基板搬送装置の制御装置の構成を概略的に示す機能ブロック図である。なお、図１においては、基板搬送装置における上下方向、前後方向、及び左右方向を図における上下方向、前後方向、及び左右方向として表している。
　図１に示すように、本実施の形態１に係る基板搬送装置１は、マニピュレータ２と、基板把持ハンド３と、第１センサ１１Ａ、１１Ａと、第１駆動器１２と、制御装置２００と、を備えていて、フープ９０内に収納されている基板９を第１保持部材４Ａ及び第２保持部材４Ｂにより、把持（保持）して、搬送するように構成されている。また、基板搬送装置１では、第１センサ１１Ａ、１１Ａが、第１駆動器１２により、上下方向に移動しながら、光又は超音波を照射して、基板９を検知するように構成されている。
　基板９は、例えば、半導体基板及びガラス基板等の半導体デバイスの基板の材料となる円形の薄板であってもよい。半導体基板としては、例えば、シリコン基板、サファイヤ（単結晶アルミナ）基板、その他の各種の基板等であってもよい。ガラス基板としては、例えば、ＦＰＤ（Ｆｌａｔ　Ｐａｎｅｌ　Ｄｉｓｐｌａｙ）用ガラス基板、ＭＥＭＳ（Ｍｉｃｒｏ　Ｅｌｅｃｔｒｏ　Ｍｅｃｈａｎｉｃａｌ　Ｓｙｓｔｅｍｓ）用ガラス基板等であってもよい。
　なお、以下においては、マニピュレータ２として、水平多関節ロボットの構成について説明するが、マニピュレータ２は、水平多関節ロボットに限定されず、垂直多関節ロボットをベースにしたものであってもよい。
　マニピュレータ２は、アーム２０、基台２１、支持台２２、支持軸２３、及び軸体２４を備えている。支持台２２の内部には、制御装置２００が配置されている。なお、制御装置２００は、支持台２２の内部以外の場所に設けられていてもよい。
　また、支持台２２には、支持軸２３が設けられている。支持軸２３は、例えば、ボールネジ機構、駆動モータ、駆動モータの回転位置を検出する回転センサ、及び駆動モータの回転を制御する電流を検出する電流センサ等（いずれも図示せず）を有していて、上下方向に伸縮し、かつ、回動するように構成されている。なお、駆動モータは、例えば、制御装置２００によってサーボ制御されるサーボモータであってもよい。また、回転センサは、例えば、エンコーダであってもよい。
　支持軸２３の上端部には、当該支持軸２３の軸心を通る回転軸の軸回りに回動可能にアーム２０の下端部が接続されている。アーム２０の後端部には、軸体２４を介して、回動可能に基台２１の後端部が接続されている。また、基台２１の上面には、基板把持ハンド３が配設されている。
　また、マニピュレータ２は、軸体２４の軸心回りに基台２１を回転移動させるための駆動モータ、動力伝達機構、回転センサ、及び電流センサ（いずれも図示せず）を有している。なお、駆動モータは、例えば、制御装置２００によってサーボ制御されるサーボモータであってもよい。また、回転センサは、例えば、エンコーダであってもよい。
　図２に示すように、制御装置２００は、ＣＰＵ等の演算部２００ａと、ＲＯＭ、ＲＡＭ等の記憶部（記憶器）２００ｂと、サーボ制御部２００ｃと、を備える。制御装置２００は、例えばマイクロコントローラ等のコンピュータを備えたロボットコントローラである。
　記憶部２００ｂには、ロボットコントローラとしての基本プログラム、各種固定データ等の情報が記憶されている。演算部２００ａは、記憶部２００ｂに記憶された基本プログラム等のソフトウェアを読み出して実行することにより、マニピュレータ２の各種動作を制御する。すなわち、演算部２００ａは、マニピュレータ２の制御指令を生成し、これをサーボ制御部２００ｃに出力する。サーボ制御部２００ｃは、演算部２００ａにより生成された制御指令に基づいて、マニピュレータ２の支持軸２３及び軸体２４のそれぞれに対応する回転軸を回転させるサーボモータの駆動を制御するように構成されている。
　また、制御装置２００には、第１センサ１１Ａ、１１Ａが検知した光情報又は超音波情報が入力され、制御装置２００は、入力された光情報又は超音波情報に基づいて、基板９が正常に載置されているか否かを判断する。
　なお、制御装置２００は、集中制御する単独の制御装置２００によって構成されていてもよいし、互いに協働して分散制御する複数の制御装置２００によって構成されていてもよい。また、本実施の形態１においては、記憶部２００ｂが、制御装置２００内に配置されている形態を採用したが、これに限定されず、記憶部２００ｂが、制御装置２００と別体に設けられている形態を採用してもよい。
　次に、基板把持ハンド３の構成について、図１及び図３を参照しながら、詳細に説明する。
　図３は、図１に示す基板搬送装置における基板把持ハンドの右側面図である。なお、図３においては、基板把持ハンドの後端側の一部を省略している。また、図３においては、基板搬送装置における上下及び前後方向を図における上下及び前後方向を示している。
　図１及び図３に示すように、基板把持ハンド３は、基台２１の前端側に配置されている第１筐体３１と、基台２１の後端側に配置されている第２筐体３０と、を有している。第１筐体３１と第２筐体３０は、それぞれの内部空間が連通するように接続されている。
　第２筐体３０の内部には、第１センサ１１Ａ、１１Ａを上下方向に移動させるための第１駆動器１２が配置されている。第１駆動器１２としては、例えば、サーボモータと、ラック、及びピニオンギヤ等の適宜な動力伝達機構と、で構成されていてもよく、エアシリンダ等で構成されていてもよい。なお、本実施の形態１においては、第１駆動器１２が第２筐体３０の内部空間に配置されている形態を採用したが、これに限定されず、第１駆動器１２が、第１筐体３１の内部空間に配置されている形態を採用してもよい。
　第１筐体３１の基端（後端）側の中央部には、第１センサ１１Ａ、１１Ａが配設されている。第１センサ１１Ａは、第１筐体３１の基端（後端）部から先端（前端）部に向かう方向である第２方向（ここでは、前後方向）に向けて、光又は超音波を照射し、後述する回帰反射体４５で反射された光又は超音波を検知するように構成されている。
　なお、左側に配置されている第１センサ１１Ａが、左側に配置されている第１保持部材４Ａに向けて、光又は超音波を照射してもよく、右側に配置されている第１保持部材４Ａに向けて、光又は超音波を照射してもよい。同様に、右側に配置されている第１センサ１１Ａが、右側に配置されている第１保持部材４Ａに向けて、光又は超音波を照射してもよく、左側に配置されている第１保持部材４Ａに向けて、光又は超音波を照射してもよい。すなわち、一対の第１センサ１１Ａ、１１Ａは、互いに略平行となるように光又は超音波を照射してもよく、互いにクロスするように光又は超音波を照射してもよい。
　また、本実施の形態１においては、第１センサ１１Ａを反射型のセンサで構成されている形態を採用したが、これに限定されない。第１センサ１１Ａを透過型のセンサで構成されている形態を採用してもよい。この場合、第１筐体３１の基端部に光又は超音波を照射する照射器を設け、第１筐体３１の先端部に光又は超音波を検知する検知器を設ける形態を採用してもよく、第１筐体３１の先端部に光又は超音波を照射する照射器を設け、第１筐体３１の基端部に光又は超音波を検知する検知器を設ける形態を採用してもよい。
　また、第１筐体３１の上面には、前端（先端）側に第１保持部材４Ａ、４Ａが設けられていて、後端（基端）側に第２保持部材４Ｂ、４Ｂが設けられている。具体的には、一方の第１保持部材４Ａは、第１筐体３１の左側先端部に設けられていて、他方の第１保持部材４Ａは、第１筐体３１の右側先端部に設けられている。また、一方の第２保持部材４Ｂは、第１筐体３１の左側基端部に設けられていて、他方の第２保持部材４Ｂは、第１筐体３１の右側基端部に設けられている。
　第１保持部材４Ａ、４Ａ及び第２保持部材４Ｂ、４Ｂは、それぞれ、後述する第２駆動器１３により、前後、及び上下方向に移動可能に構成されている。そして、図３に示すように、第１保持部材４Ａは、複数（ここでは、５つ）の第１爪部４０Ａ～４０Ｅを有していて、第２保持部材４Ｂは、複数（ここでは、５つ）の第２爪部５０Ａ～５０Ｅを有している。第１爪部４０Ａ～４０Ｅは、左右方向から見て、逆Ｌ字状に形成されている。同様に、第２爪部５０Ａ～５０Ｅは、左右方向から見て、逆Ｌ字状に形成されている。
　ここで、第１保持部材４Ａの第１爪部４０Ａ～４０Ｅについて、図３～図４を参照しながら、詳細に説明する。なお、第２保持部材４Ｂの第２爪部５０Ａ～５０Ｅは、第１保持部材４Ａの第１爪部４０Ａ～４０Ｅと同様に構成されているので、その詳細な説明は省略する。また、以下においては、左側に配置されている第１保持部材４Ａの第１爪部４０Ａ～４０Ｅについて、説明する。
　図４は、図１に示す基板搬送装置における第１保持部材の概略構成を示す斜視図である。
　図４に示すように、第１爪部４０Ａは、柱状の第１部分４１Ａと、第１部分４１Ａの上部に設けられているガイド部分４２Ａと、を有している。同様に、第１爪部４０Ｂ～４０Ｅは、それぞれ、柱状の第１部分４１Ｂ～４１Ｅと、ガイド部分４２Ｂ～４２Ｅと、を有している。ガイド部分４２Ａは、後端側が段状に形成されていて、その底面４３Ａに基板９の下面の周縁部が載置される。
　第１爪部４０Ａ～４０Ｅは、第２駆動器１３により、基板９の厚み方向である第１方向（ここでは、上下方向）に沿って、互いに所定の間隔をおいて位置する（配置される）ように、昇降する。同様に、第２爪部５０Ａ～５０Ｅは、第２駆動器１３により、上下方向に沿って、互いに所定の間隔をおいて位置するように、昇降する。
　より詳細には、第１爪部４０Ａ～４０Ｅは、水平方向から見て、第２駆動器１３により、ガイド部分４２Ａ～４２Ｅが、上下方向に沿って、互いに所定の間隔を有するように、昇降する。同様に、第２爪部５０Ａ～５０Ｅは、水平方向から見て、第２駆動器１３により、ガイド部分が、上下方向に沿って、互いに所定の間隔を有するように、昇降する。
　第２駆動器１３としては、例えば、サーボモータと適宜な動力伝達機構で構成されていてもよく、エアシリンダ等で構成されていてもよい。また、本実施の形態１においては、第１保持部材４Ａ及び第２保持部材４Ｂを昇降させるタイミングと、第１センサ１１Ａを昇降させるタイミングをずらすことができれば、第２駆動器１３により、第１センサ１１Ａと第１保持部材４Ａ及び第２保持部材４Ｂを昇降させてもよい。すなわち、第２駆動器１３が第１駆動器１２の機能を兼ねる形態を採用してもよい。
　なお、本実施の形態１においては、第１保持部材４Ａは、第１爪部４０Ａ～４０Ｅの順で、その高さが小さくなるように配置される。同様に、第２保持部材４Ｂは、第２爪部５０Ａ～５０Ｅの順で、その高さが小さくなるように、配置される。すなわち、第１爪部４０Ａ及び第２爪部５０Ａが最も上方に位置し、第１爪部４０Ｅ及び第２爪部５０Ｅが最も下方に位置するように、第２駆動器１３により、駆動される。
　第１部分４１Ａの後端側の側面には、回帰反射体４５が配設されている。回帰反射体４５としては、公知の光又は超音波を反射する反射板等を用いることができる。なお、本実施の形態１においては、第１爪部４０Ａの第１部分４１Ａに、回帰反射体４５が配設されている形態を採用したが、これに限定されない。第１部分４１Ａ～４１Ｅのそれぞれに、回帰反射体４５が配設されている形態を採用してもよく、第１保持部材４Ａとは別に、回帰反射体４５が基板把持ハンド３の先端部に配設されている形態を採用してもよい。
　［基板搬送装置の動作及び作用効果］
　次に、本実施の形態１に係る基板搬送装置１の動作及び作用効果について、図１～図５を参照しながら説明する。なお、基板搬送装置１のマニピュレータ２が、複数の工程からなる一連の作業を行う動作については、公知のマニピュレータと同様に実行されるため、その詳細な説明は省略する。また、以下の動作は、制御装置２００の演算部２００ａが、記憶部２００ｂに格納されているプログラムを読み出すことにより実行される。
　図５は、本実施の形態１に係る基板搬送装置の動作の一例を示すフローチャートである。
　まず、制御装置２００に、オペレータから図示されない入力装置を介して、一連の作業を実行することを示す指示情報が入力されたとする。すると、図５に示すように、制御装置２００は、マニピュレータ２を動作させて、基板把持ハンド３がフープ９０の前方に位置するまで移動させる（ステップＳ１０１）。このとき、制御装置２００は、基板把持ハンド３が、把持する基板９が載置されている部分よりも下方に位置するように、マニピュレータ２を動作させる。
　次に、制御装置２００は、基板把持ハンド３がフープ９０内の基板９の下方に位置するまで、マニピュレータ２を動作させる（ステップＳ１０２）。このとき、制御装置２００は、基板把持ハンド３のガイド部分で基板９を載置できる位置にまで、基板把持ハンド３をフープ９０内に進入させる。
　次に、制御装置２００は、基板把持ハンド３が上方に移動するように、マニピュレータ２を動作させ、基板９をガイド部分の底面に載置させて、基板９をすくい上げ、基板９を基板把持ハンド３で保持させる（ステップＳ１０３）。
　次に、制御装置２００は、第１駆動器１２により、第１センサ１１Ａ、１１Ａを昇降させる（ステップＳ１０４）。ついで、制御装置２００は、第１センサ１１Ａ、１１Ａが昇降しているときに、第１センサ１１Ａに光又は超音波を照射させ、回帰反射体４５で反射した光又は超音波を検知させる（ステップＳ１０５）。
　このとき、制御装置２００は、第１センサ１１Ａの位置情報を取得することができる場合には、当該位置情報と共に、第１センサ１１Ａが検知した光又は超音波情報を取得してもよい。
　次に、制御装置２００は、ステップＳ１０５で第１センサ１１Ａが検知した光又は超音波情報を基に、基板９が正常に（水平状態で）保持（載置）されているか否かを判定する。具体的には、制御装置２００は、第１センサ１１Ａが、隣接する基板９、９の間の空間に向けて、光又は超音波を照射したときに、第１センサ１１Ａが、回帰反射体４５で反射した光又は超音波を検知したか否かにより、基板９が正常に保持されているか否かを判定する（ステップＳ１０６）。
　ここで、図３を参照しながら、基板９が正常に保持されているか否かの判定方法について、説明する。
　図３の実線で示されるように、基板９が水平状態で載置されている（正常に保持されている）場合には、第１センサ１１Ａが、隣接する基板９、９の間の空間に向けて、光又は超音波を照射すると、第１センサ１１Ａから照射された光又は超音波は、一点鎖線で示すように、回帰反射体４５に到達し、そこで反射して、反射した光又は超音波は、第１センサ１１Ａまで到達することができる。このため、第１センサ１１Ａは、回帰反射体４５で反射した光又は超音波を検知することができる。
　一方、図３の二点鎖線で示されるように、基板９が傾いて載置されている（異常に保持されている）場合には、第１センサ１１Ａが、隣接する基板９、９の間の空間に向けて、光又は超音波を照射すると、第１センサ１１Ａから照射された光又は超音波は、基板９に遮られて、回帰反射体４５に到達することができない。このため、第１センサ１１Ａは、回帰反射体４５で反射した光又は超音波を検知することができない。
　したがって、制御装置２００は、隣接する基板９、９の間の空間に向けて、第１センサ１１Ａに光又は超音波を照射させたときに、第１センサ１１Ａが、回帰反射体４５で反射した光又は超音波を検知したか否かにより、基板９が正常に保持されているか否かを判定することができる。
　なお、制御装置２００は、第１センサ１１Ａの位置情報を取得することができる場合には、当該位置情報と共に第１センサ１１Ａから取得した光又は超音波情報を基に、基板９が正常に保持されているか否かを判定してもよい。
　また、制御装置２００は、第１センサ１１Ａから光又は超音波情報を取得した回数と、隣接する基板９、９間の数と、を比較することにより、基板９が正常に保持されているか否かを判定してもよい。具体的には、制御装置２００は、第１センサ１１Ａから光又は超音波情報を取得した回数と、隣接する基板９、９間の数と、が、一致する場合には、基板９が正常に保持されていると判定し、第１センサ１１Ａから光又は超音波情報を取得した回数が、隣接する基板９、９間の数よりも少ない場合には、基板９が異常に保持されている（例えば、基板９が傾いて保持されている）と判定する。
　このような判定方法にすると、第１センサ１１Ａの位置情報が取得できない場合であっても、基板９が正常に保持されているか否かを判定することができる。
　そして、図５に示すように、制御装置２００は、第１センサ１１Ａが、隣接する基板９、９の間の空間に向けて、光又は超音波を照射したときに、第１センサ１１Ａから回帰反射体４５で反射した光又は超音波情報を取得した場合（ステップＳ１０６でＹｅｓ）には、基板９が正常に保持されていると判定する（ステップＳ１０７）。その後、制御装置２００は、マニピュレータ２を動作させ、基板９を次の処理を実行する装置等に搬送させ、本プログラムを終了する。
　一方、制御装置２００は、第１センサ１１Ａが、隣接する基板９、９の間の空間に向けて、光又は超音波を照射したときに、第１センサ１１Ａから回帰反射体４５で反射した光又は超音波情報を取得しなかった場合（ステップＳ１０６でＮｏ）には、基板９が異常に保持されていると判定する（ステップＳ１０８）。ついで、制御装置２００は、図示されない報知器（例えば、ディスプレイ等の表示装置、スピーカ、サイレン等）により、基板９が異常に載置されていることを作業者等に報知させ（ステップＳ１０９）、本プログラムを終了する。
　このように構成された、本実施の形態１に係る基板搬送装置１では、制御装置２００が、隣接する基板９、９の間の空間に向けて、第１センサ１１Ａに光又は超音波を照射させて、基板９が正常に保持されているか否かを判定する。これにより、単に、隣接する基板９、９の間の空間に向けて、第１センサ１１Ａに光又は超音波を照射させるだけで、基板９が正常に保持されているか否かを判定することができる。
　このため、上記特許文献１に開示されている物品移載装置のように、物品（基板）に凹部を設ける工程が不要となり、半導体ウエハの製造作業の効率化を図ることができる。
　また、本実施の形態１に係る基板搬送装置１では、回帰反射体４５を第１保持部材４Ａの第１爪部４０Ａに配設している。これにより、上記特許文献１に開示されている物品移載装置のように、物品が載置されると反射体を押下させる機構を設ける必要がなく、簡易な構成で、基板９が正常に保持されているか否かを判定することができる。
　（実施の形態２）
　本実施の形態２に係る基板搬送装置は、実施の形態１に係る基板搬送装置において、第１爪部及び第２爪部を第１方向に沿って移動させるように構成されている、第２駆動器をさらに備え、制御装置は、隣接する基板の間隔を変動するように、第２駆動器を制御する。
　また、本実施の形態２に係る基板搬送装置では、第１センサは、隣接する基板の間隔が変動されると、変動前とは異なる、隣接する基板の間の空間に向けて、光又は超音波を照射するように構成されていてもよい。
　また、本実施の形態２に係る基板搬送装置では、第１センサが、第２爪部に設けられていてもよい。
　さらに、本実施の形態２に係る基板搬送装置では、回帰反射体が、最も高さの高い第１爪部に設けられ、第１センサは、最も高さの高い第２爪部に設けられていてもよい。
　以下、本実施の形態２に係る基板搬送装置の一例について、図６～図９を参照しながら説明する。
　［基板搬送装置の構成］
　図６～図８は、本実施の形態２に係る基板搬送装置の要部の概略構成を示す模式図であり、図６は、隣接する基板の間隔が最も小さい状態を示す模式図であり、図８は、隣接する基板の間隔が最も大きい状態を示す模式図である。また、図７は、隣接する基板の間隔が最も小さい状態と最も大きい状態の間の状態を示す模式図である。なお、図６～図８においては、基板搬送装置における上下及び前後方向を図における上下及び前後方向を示している。
　図６～図８に示すように、本実施の形態２に係る基板搬送装置１は、実施の形態１に係る基板搬送装置１と基本的構成は同じであるが、第１センサ１１Ａ、１１Ｂが、第２保持部材４Ｂの第２爪部５０Ａに配設されている点が異なる。
　また、本実施の形態２に係る基板搬送装置１では、第１センサ１１Ａ、１１Ｂが、第２保持部材４Ｂの第２爪部５０Ａに配設されているため、第１センサ１１Ａ、１１Ｂが、第２保持部材４Ｂの昇降と共に移動する。
　さらに、本実施の形態２に係る基板搬送装置１では、制御装置２００が、隣接する基板９、９の間隔を変動するように、第２駆動器１３を制御する。具体的には、制御装置２００は、第１保持部材４Ａの第１爪部４０Ａ～４０Ｄと、第２保持部材４Ｂの第２爪部５０Ａ～５０Ｄの高さを変動するように、第２駆動器１３を駆動させる。
　これにより、第１センサ１１Ａ、１１Ｂは、隣接する基板９、９の間隔が変動されると、変動前とは異なる、隣接する基板９、９の間の空間に向けて、光又は超音波を照射することができる。
　［基板搬送装置の動作及び作用効果］
　次に、本実施の形態２に係る基板搬送装置１の動作及び作用効果について、図６～図９を参照しながら説明する。なお、以下の動作は、制御装置２００の演算部２００ａが、記憶部２００ｂに格納されているプログラムを読み出すことにより実行される。
　図９は、本実施の形態２に係る基板搬送装置の動作の一例を示すフローチャートである。
　まず、制御装置２００に、オペレータから図示されない入力装置を介して、一連の作業を実行することを示す指示情報が入力されたとする。すると、図９に示すように、制御装置２００は、マニピュレータ２を動作させて、基板把持ハンド３がフープ９０の前方に位置するまで移動させる（ステップＳ２０１）。このとき、制御装置２００は、基板把持ハンド３が、把持する基板９が載置されている部分よりも下方に位置するように、マニピュレータ２を動作させる。
　次に、制御装置２００は、基板把持ハンド３がフープ９０内の基板９の下方に位置するまで、マニピュレータ２を動作させる（ステップＳ２０２）。このとき、制御装置２００は、基板把持ハンド３のガイド部分で基板９を載置できる位置にまで、基板把持ハンド３をフープ９０内に進入させる。
　次に、制御装置２００は、基板把持ハンド３が上方に移動するように、マニピュレータ２を動作させ、基板９をガイド部分の底面に載置させて、基板９をすくい上げ、基板９を基板把持ハンド３で保持させる（ステップＳ２０３）。
　次に、制御装置２００は、基板９、９間の間隔を変動するように、第２駆動器１３を駆動させる（ステップＳ２０４）。具体的には、制御装置２００は、第１保持部材４Ａの第１爪部４０Ａ～４０Ｄと、第２保持部材４Ｂの第２爪部５０Ａ～５０Ｄの高さが変動するように、第２駆動器１３により、第１保持部材４Ａ及び第２保持部材４Ｂを昇降させる。
　次に、制御装置２００は、第１保持部材４Ａ及び第２保持部材４Ｂが昇降しているときに、第１センサ１１Ａ、１１Ｂに光又は超音波を照射させ、回帰反射体４５で反射した光又は超音波を検知させる（ステップＳ２０５）。
　このとき、制御装置２００は、第１センサ１１Ａ、１１Ｂの位置情報を取得することができる場合には、当該位置情報と共に、第１センサ１１Ａ、１１Ｂが検知した光又は超音波情報を取得してもよい。
　次に、制御装置２００は、ステップＳ２０５で第１センサ１１Ａ、１１Ｂが検知した光又は超音波情報を基に、基板９が正常に（水平状態で）保持（載置）されているか否かを判定する。具体的には、制御装置２００は、第１センサ１１Ａ、１１Ｂが、隣接する基板９、９の間の空間に向けて、光又は超音波を照射したときに、第１センサ１１Ａ、１１Ｂが、回帰反射体４５で反射した光又は超音波を検知したか否かにより、基板９が正常に保持されているか否かを判定する（ステップＳ２０６）。
　ここで、図６～図８を参照しながら、基板９が正常に保持されているか否かの判定方法について、説明する。
　まず、図６～図８に示すように、隣接する基板９、９の間の空間を下から上に順に、第１空間７１、第２空間７２、第３空間７３、第４空間７４とする。また、図６に示すように、隣接する基板９、９の間の間隔が最も小さい状態のときに、第１センサ１１Ａが、第３空間７３に向けて、光又は超音波を照射できるように配設されていて、第１センサ１１Ｂが、第１空間７１に向けて、光又は超音波を照射できるように配設されている。
　そして、図７に示すように、第２駆動器１３が、基板９、９間の間隔を大きくするように駆動すると、第１センサ１１Ｂは、第２空間７２に向けて光又は超音波を照射することができる。
　なお、このとき、第１センサ１１Ａは、第１爪部４０Ｂ及び第２爪部５０Ｂに載置されている基板９に向けて、光又は超音波を照射しているが、制御装置２００は、第１センサ１１Ａが検知した光又は超音波情報を取得することにより、基板９が正常に保持されていると判定してもよい。また、制御装置２００は、第１センサが、基板９に向けて、光又は超音波を照射したときに、第１センサが検知した光又は超音波情報を取得せずに、隣接する基板９、９間の空間に向けて、光又は超音波を照射したときのみ、第１センサから光又は超音波情報を取得することにより、基板９が正常に保持されていると判定してもよい。
　さらに、図８に示すように、第２駆動器１３が、基板９、９間の間隔を最大にするように駆動すると、第１センサ１１Ａは、第４空間７４に向けて、光又は超音波を照射することができ、第１センサ１１Ｂは、第３空間７３に向けて、光又は超音波を照射することができる。
　このように、本実施の形態２に係る基板搬送装置１では、基板９、９間の間隔を変動するように、第２駆動器１３を駆動させることにより、第１センサは、異なる隣接する基板９、９間の空間に向けて、光又は超音波を照射することができる。そして、本実施の形態２に係る基板搬送装置１では、第１センサ１１Ａ、１１Ｂは、４つの隣接する基板９、９の間の空間（第１空間７１～第４空間７４）に向けて、光又は超音波を照射することができる。
　このため、図６～図８の実線で示されるように、基板９が水平状態で載置されている（正常に保持されている）場合には、第１センサ１１Ａ、１１Ｂが、隣接する基板９、９の間の空間に向けて、光又は超音波を照射すると、第１センサ１１Ａ、１１Ｂから照射された光又は超音波は、一点鎖線で示すように、回帰反射体４５に到達し、そこで反射して、反射した光又は超音波は第１センサ１１Ａ、１１Ｂまで到達することができる。このため、第１センサ１１Ａ、１１Ｂは、回帰反射体４５で反射した光又は超音波を検知することができる。
　一方、図６～図８の二点鎖線で示されるように、基板９が傾いて載置されている（異常に保持されている）場合には、第１センサ１１Ａ、１１Ｂが、隣接する基板９、９の間の空間に向けて、光又は超音波を照射すると、第１センサ１１Ａ、１１Ｂから照射された光又は超音波は、基板９に遮られて、回帰反射体４５に到達することができない。このため、第１センサ１１Ａ、１１Ｂは、回帰反射体４５で反射した光又は超音波を検知することができない。
　したがって、制御装置２００は、隣接する基板９、９の間の空間に向けて、第１センサ１１Ａ、１１Ｂに光又は超音波を照射させたときに、第１センサ１１Ａ、１１Ｂが、回帰反射体４５で反射した光又は超音波を検知したか否かにより、基板９が正常に保持されているか否かを判定することができる。
　なお、本実施の形態２においては、隣接する基板９、９の間の間隔が最も小さい状態のときに、第１センサ１１Ａが、第３空間７３に向けて、光又は超音波を照射できるように配設されていて、第１センサ１１Ｂが、第１空間７１に向けて、光又は超音波を照射できるように配設されている形態を採用したが、これに限定されない。第１センサの配置位置は、第１センサの配置数、基板９の保持数、及び隣接する基板９、９の間隔の大きさ等により、適宜、設定することができる。
　そして、図９に示すように、制御装置２００は、第１センサ１１Ａ、１１Ｂが、隣接する基板９、９の間の空間に向けて、光又は超音波を照射したときに、第１センサ１１Ａ、１１Ｂから回帰反射体４５で反射した光又は超音波情報を取得した場合（ステップＳ２０６でＹｅｓ）には、基板９が正常に保持されていると判定する（ステップＳ２０７）。その後、制御装置２００は、マニピュレータ２を動作させ、基板９を次の処理を実行する装置等に搬送させ、本プログラムを終了する。
　一方、制御装置２００は、第１センサ１１Ａ、１１Ｂが、隣接する基板９、９の間の空間に向けて、光又は超音波を照射したときに、第１センサ１１Ａ、１１Ｂから回帰反射体４５で反射した光又は超音波情報を取得しなかった場合（ステップＳ２０６でＮｏ）には、基板９が異常に保持されていると判定する（ステップＳ２０８）。ついで、制御装置２００は、図示されない報知器（例えば、ディスプレイ等の表示装置、スピーカ、サイレン等）により、基板９が異常に載置されていることを作業者等に報知させ（ステップＳ２０９）、本プログラムを終了する。
　このように構成された、本実施の形態２に係る基板搬送装置１であっても、実施の形態１に係る基板搬送装置１と同様の作用効果を奏する。
　また、本実施の形態２に係る基板搬送装置１では、第１センサ１１Ａ、１１Ｂが、第２保持部材４Ｂに配設されているため、第２保持部材４Ｂの昇降に伴って、第１センサ１１Ａ、１１Ｂを昇降させることができる。このため、より簡易な構成により、基板９が正常に保持されているか否かを判定することができる。
　なお、本実施の形態２においては、第１センサ１１Ａ、１１Ｂの光又は超音波を照射する照射部と、回帰反射体４５で反射された光又は超音波を検知する検知部と、が上下方向に並ぶように配置する形態を採用したが、これに限定されない。照射部と、検知部と、が水平方向（基板搬送装置１の左右方向）に並ぶように配置する形態を採用してもよい。
　［変形例１］
　次に、本実施の形態２に係る基板搬送装置１の変形例について、説明する。
　［基板搬送装置の構成］
　図１０～図１２は、本実施の形態２における変形例１の基板搬送装置の要部の概略構成を示す模式図であり、図１０は、隣接する基板の間隔が最も小さい状態を示す模式図であり、図１２は、隣接する基板の間隔が最も大きい状態を示す模式図である。また、図１１は、隣接する基板の間隔が最も小さい状態と最も大きい状態の間の状態を示す模式図である。なお、図１０～図１２においては、基板搬送装置における上下及び前後方向を図における上下及び前後方向を示している。
　図１０～図１２に示すように、本実施の形態２における変形例１の基板搬送装置１は、実施の形態２に係る基板搬送装置１と基本的構成は同じであるが、第１センサ１１Ａ、１１Ｂが、第２保持部材４Ｂの第２爪部５０Ａとは別に、独立して配設されている点が異なる。
　また、本変形例１の基板搬送装置１では、第１センサ１１Ａ、１１Ｂが、第２保持部材４Ｂの第２爪部５０Ａに配設されていないため、第１センサ１１Ａ、１１Ｂが、第２保持部材４Ｂの昇降と共に移動することがない。すなわち、本変形例１の基板搬送装置１では、第１センサ１１Ａ、１１Ｂは、上下方向に移動しない態様を例示している。
　さらに、本変形例１の基板搬送装置１では、第１センサ１１Ａ、１１Ｂの光又は超音波を照射する照射部と、回帰反射体４５で反射された光又は超音波を検知する検知部と、が水平方向に並ぶように配置されている。
　［基板搬送装置の動作及び作用効果］
　次に、本変形例１の基板搬送装置１の動作及び作用効果について、図１０～図１２を参照しながら説明する。なお、本変形例１の基板搬送装置１の動作は、実施の形態２に係る基板搬送装置１と同様に動作するため、その詳細な説明は省略する。
　上述したように、本変形例１の基板搬送装置１では、第１センサ１１Ａ、１１Ｂが、第２保持部材４Ｂ第２爪部５０Ａに配設されておらず、また、上下方向に移動することがない。このように構成されている本変形例１の基板搬送装置１であっても、基板９が正常に保持されているか否かを判定することができる理由について、図１０～図１２を参照しながら、説明する。
　まず、図１０に示すように、隣接する基板９、９の間の間隔が最も小さい状態のときに、第１センサ１１Ａが、第４空間７４に向けて、光又は超音波を照射できるように配設されていて、第１センサ１１Ｂが、第１爪部４０Ｄ及び第２爪部５０Ｄに載置されている基板９に向けて、光又は超音波を照射するように配設されている。
　そして、図１１に示すように、第２駆動器１３が、基板９、９間の間隔を大きくするように駆動すると、第１センサ１１Ａは、第３空間７３に向けて、光又は超音波を照射することができ、第１センサ１１Ｂは、第１空間７１に向けて、光又は超音波を照射することができる。
　さらに、図１２に示すように、第２駆動器１３が、基板９、９間の間隔を最大にするように駆動すると、第１センサ１１Ａは、第２空間７２に向けて、光又は超音波を照射することができ、第１センサ１１Ｂは、第１空間７１に向けて、光又は超音波を照射することができる。
　このように、本変形例１の基板搬送装置１であっても、基板９、９間の間隔を変動するように、第２駆動器１３を駆動させることにより、第１センサは、異なる隣接する基板９、９間の空間に向けて、光又は超音波を照射することができる。
　このため、本変形例１の基板搬送装置１であっても、実施の形態２に係る基板搬送装置１と同様の作用効果を奏する。
　なお、本変形例１の基板搬送装置１では、第１センサ１１Ａ、１１Ｂの光又は超音波を照射する照射部と、回帰反射体４５で反射された光又は超音波を検知する検知部と、が水平方向（基板搬送装置１の左右方向）に並ぶように配置する形態を採用したが、これに限定されない。照射部と、検知部と、が上下方向に並ぶように配置する形態を採用してもよい。
　［変形例２］
　［基板搬送装置の構成］
　図１３～図１５は、本実施の形態２における変形例２の基板搬送装置の要部の概略構成を示す模式図であり、図１３は、隣接する基板の間隔が最も小さい状態を示す模式図であり、図１５は、隣接する基板の間隔が最も大きい状態を示す模式図である。また、図１４は、隣接する基板の間隔が最も小さい状態と最も大きい状態の間の状態を示す模式図である。なお、図１３～図１５においては、基板搬送装置における上下及び前後方向を図における上下及び前後方向を示している。
　図１３～図１５に示すように、本変形例２の基板搬送装置１は、実施の形態２に係る基板搬送装置１と基本的構成は同じであるが、第１センサ１１Ａが、第２保持部材４Ｂの第２爪部５０Ａとは別に、独立して配設されている点が異なる。
　また、本変形例２の基板搬送装置１では、第１センサ１１Ａが、第１駆動器１２により、昇降されるように構成されている。
　さらに、本変形例２の基板搬送装置１では、第１センサ１１Ａの光又は超音波を照射する照射部と、回帰反射体４５で反射された光又は超音波を検知する検知部と、が水平方向に並ぶように配置されている。
　なお、第１センサは、実施の形態１に係る基板搬送装置１のように、一対の第１センサ１１Ａ、１１Ａが所定の間隔をあけて、第１筐体３１に配置されていてもよい。また、第１センサ１１Ａは、第２筐体３０の前側側面に埋め込まれるように、配置されていてもよい。
　［基板搬送装置の動作及び作用効果］
　次に、本変形例２の基板搬送装置１の動作及び作用効果について、図１３～図１６を参照しながら説明する。
　図１６は、本実施の形態２における変形例２の基板搬送装置の動作の一例を示すフローチャートである。
　図１６に示すように、本変形例２の基板搬送装置１の動作は、実施の形態２に係る基板搬送装置１の動作と基本的に同じであるが、ステップＳ２０５に代えて、ステップＳ２０５Ａが実行される点が異なる。
　具体的には、制御装置２００は、第２駆動器１３を駆動させることにより、第１保持部材４Ａ及び第２保持部材４Ｂが昇降しているときに、第１センサ１１Ａを昇降させ、かつ、第１センサ１１Ａに光又は超音波を照射させ、回帰反射体４５で反射した光又は超音波を検知させる（ステップＳ２０５Ａ）。
　より詳細には、図１５に示すように、制御装置２００は、基板９、９間の間隔を最大にするように第２駆動器１３を駆動させた後に、第２空間７２に向けて、第１センサ１１Ａに光又は超音波を照射させる。その後、制御装置２００は、第１駆動器１２を駆動させて、第１センサ１１Ａを降下させ、第１空間７１に向けて、第１センサ１１Ａに光又は超音波を照射させる。
　また、制御装置２００は、基板９、９間の間隔が最も大きい状態のときに、第１空間７１に向けて、第１センサ１１Ａに光又は超音波を照射させた後に、第１駆動器１２を駆動させて、第１センサ１１Ａを上昇させる。その後、制御装置２００は、第２空間７２に向けて、第１センサ１１Ａに光又は超音波を照射させた後、基板９、９間の間隔を小さくするように、第２駆動器１３を駆動させる。また、制御装置２００は、第２駆動器１３を駆動させて、第１保持部材４Ａ及び第２保持部材４Ｂが降下しているときに、第１センサ１１Ａに光又は超音波を照射させてもよい。
　これにより、本変形例２の基板搬送装置１であっても、基板９、９間の間隔を変動するように、第２駆動器１３を駆動させ、かつ、第１センサ１１Ａを昇降させることにより、第１センサ１１Ａは、異なる隣接する基板９、９間の空間に向けて、光又は超音波を照射することができる。
　このため、本変形例２の基板搬送装置１であっても、実施の形態２に係る基板搬送装置１と同様の作用効果を奏する。
　なお、本変形例２の基板搬送装置１では、第１センサ１１Ａの光又は超音波を照射する照射部と、回帰反射体４５で反射された光又は超音波を検知する検知部と、が水平方向（基板搬送装置１の左右方向）に並ぶように配置する形態を採用したが、これに限定されない。照射部と、検知部と、が上下方向に並ぶように配置する形態を採用してもよい。
　（実施の形態３）
　本実施の形態３に係る基板搬送装置は、実施の形態１又は２（変形例を含む）に係る基板搬送装置において、基板把持ハンドの基端部に設けられ、第１方向に沿って移動しながら、第３方向に向けて光又は超音波を照射して、基板を検知するように構成されている、第２センサをさらに備え、制御装置は、予め設定されている所定の第１位置において、第２センサに光又は超音波を照射させて、基板が正常に保持されているか否かを判定する。
　また、本実施の形態３に係る基板搬送装置では、制御装置は、第１位置において、第２センサに光又は超音波を照射させたときに、第２センサが光又は超音波を検知した場合には、基板が正常に保持されていると判定し、第１位置において、第２センサに光又は超音波を照射させたときに、第２センサが光又は超音波を検知しない場合には、基板が異常に保持されていると判定してもよい。
　以下、本実施の形態３に係る基板搬送装置の一例について、図１７～図１８Ｂを参照しながら説明する。
　［基板搬送装置の構成］
　図１７は、本実施の形態３に係る基板搬送装置の概略構成を示す模式図である。なお、図１７においては、基板搬送装置における上下方向、前後方向、及び左右方向を図における上下方向、前後方向、及び左右方向として表している。
　図１７に示すように、本実施の形態３に係る基板搬送装置１は、実施の形態１に係る基板搬送装置１と基本的構成は同じであるが、第２センサ６、回帰反射体４５、及び第３駆動器１４をさらに備える点が異なる。
　具体的には、第２センサ６と回帰反射体４５は、基台２１の上面に、基板９を挟んで互いに対向するように配設されている。また、第２センサ６と回帰反射体４５は、本実施の形態３においては、第１筐体３１の基端部側、すなわち、基板９の基端部側に配置されている。より詳細には、第２センサ６と回帰反射体４５は、第２保持部材４Ｂ、４Ｂ近傍に配置されている。
　なお、本実施の形態３においては、第２センサ６と回帰反射体４５は、第１筐体３１の基端部近傍に配設されている形態を採用したが、これに限定されない。第２センサ６と回帰反射体４５は、基板９の中心部を挟んで対向するように配置されていてもよい。また、第２センサ６と回帰反射体４５は、基板９の先端部を挟んで対向するように配置されていてもよい。
　第２センサ６は、基板９の厚み方向である第１方向、及び基板把持ハンド３の基端部から先端部に向かう方向である第２方向のそれぞれに直交する方向である第３方向（ここでは、基板搬送装置１の左右方向）に向けて、光又は超音波を照射し、回帰反射体４５で反射された光又は超音波を検知し、検知した光又は超音波情報を制御装置２００に出力するように構成されている。
　第３駆動器１４は、第２センサ６を上下方向に移動させる（昇降させる）ように構成されていて、第２筐体３０の内部に配置されている。第３駆動器１４としては、例えば、サーボモータと、ラック、及びピニオンギヤ等の適宜な動力伝達機構と、で構成されていてもよく、エアシリンダ等で構成されていてもよい。なお、本実施の形態３においては、第３駆動器１４が第２筐体３０の内部空間に配置されている形態を採用したが、これに限定されず、第３駆動器１４が、第１筐体３１の内部空間に配置されている形態を採用してもよい。
　また、第３駆動器１４は、第１駆動器１２による第１センサ１１Ａ、１１Ａの移動と連動（同期）して、第２センサ６を移動させてもよい。この場合、適宜な駆動機構により、第１駆動器１２が第２センサ６を移動させる形態を採用してもよい。すなわち、第１駆動器１２が第３駆動器１４の機能を兼ねる形態を採用してもよい。
　さらに、第３駆動器１４は、第１駆動器１２による第１センサ１１Ａ、１１Ａの移動とは別に、第２センサ６を移動させてもよい。例えば、第３駆動器１４は、第１駆動器１２による第１センサ１１Ａ、１１Ａの移動前に、第２センサ６を移動させてもよく、第１センサ１１Ａ、１１Ａの移動中に、第２センサ６の移動を開始してもよく、第１センサ１１Ａ、１１Ａの移動終了後に、第２センサ６を移動させてもよい。
　なお、本実施の形態３においては、第２センサ６を反射型のセンサで構成されている形態を採用したが、これに限定されない。第２センサ６を透過型のセンサで構成されている形態を採用してもよい。
　［基板搬送装置の動作及び作用効果］
　次に、本実施の形態３に係る基板搬送装置１の動作及び作用効果について、図１７～図１８Ｂを参照しながら説明する。なお、以下の動作は、制御装置２００の演算部２００ａが、記憶部２００ｂに格納されているプログラムを読み出すことにより実行される。
　図１８Ａ及び図１８Ｂは、本実施の形態３に係る基板搬送装置の動作の一例を示すフローチャートである。
　まず、制御装置２００に、オペレータから図示されない入力装置を介して、一連の作業を実行することを示す指示情報が入力されたとする。すると、図１８Ａに示すように、制御装置２００は、マニピュレータ２を動作させて、基板把持ハンド３がフープ９０の前方に位置するまで移動させる（ステップＳ３０１）。このとき、制御装置２００は、基板把持ハンド３が、把持する基板９が載置されている部分よりも下方に位置するように、マニピュレータ２を動作させる。
　次に、制御装置２００は、基板把持ハンド３がフープ９０内の基板９の下方に位置するまで、マニピュレータ２を動作させる（ステップＳ３０２）。このとき、制御装置２００は、基板把持ハンド３のガイド部分で基板９を載置できる位置にまで、基板把持ハンド３をフープ９０内に進入させる。
　次に、制御装置２００は、基板把持ハンド３が上方に移動するように、マニピュレータ２を動作させ、基板９をガイド部分の底面に載置させて、基板９をすくい上げ、基板９を基板把持ハンド３で保持させる（ステップＳ３０３）。
　次に、制御装置２００は、第１駆動器１２により、第１センサ１１Ａ、１１Ａを昇降させ、第３駆動器１４により、第２センサ６を昇降させる（ステップＳ３０４）。ついで、制御装置２００は、第１センサ１１Ａ、１１Ａが昇降しているときに、第１センサ１１Ａに光又は超音波を照射させ、回帰反射体４５で反射した光又は超音波を検知させる。また、制御装置２００は、第２センサ６が昇降しているときに、第２センサ６に光又は超音波を照射させ、回帰反射体４５で反射した光又は超音波を検知させる（ステップＳ３０５）。
　このとき、制御装置２００は、第１センサ１１Ａの位置情報を取得することができる場合には、当該位置情報と共に、第１センサ１１Ａが検知した光又は超音波情報を取得してもよい。また、制御装置２００は、第２センサ６の位置情報と共に、第２センサ６が検知した光又は超音波情報を取得する。
　次に、制御装置２００は、ステップＳ３０５で第２センサ６が検知した光又は超音波情報を基に、基板９が正常に（水平状態で）保持（載置）されているか否かを判定する。具体的には、制御装置２００は、第２センサ６が、各基板９に向けて光又は超音波を照射したときに、第２センサ６が、回帰反射体４５で反射した光又は超音波を検知しなかったか否かにより、基板９が正常に保持されているか否かを判定する（ステップＳ３０６）。
　上述したように、基板９が水平状態で載置されている（正常に保持されている）場合に、第２センサ６が、基板９に向けて光又は超音波を照射したときには、照射された光又は超音波は、基板９の周面（側面）に当たり、回帰反射体４５まで到達しない。このため、第２センサ６は、回帰反射体４５で反射した光又は超音波を検知することができない。
　一方、基板９が傾いて載置されている（異常に保持されている）場合には、第２センサ６が、基板９に向けて光又は超音波を照射したときには、照射された光又は超音波は、基板９の周面には当たらず、回帰反射体４５まで達し、そこで反射して、反射した光又は超音波は、第２センサ６まで到達することができる。このため、第２センサ６は、回帰反射体４５で反射した光又は超音波を検知することができる。
　したがって、制御装置２００は、各基板９の周面に向けて、第２センサ６に光又は超音波を照射させたときに、第２センサ６が、回帰反射体４５で反射した光又は超音波を検知しなかったか否かにより、基板９が正常に保持されているか否かを判定することができる。
　なお、制御装置２００は、ステップＳ３０６の処理に加えて、隣接する基板９、９の間の空間に向けて、第２センサ６に光又は超音波を照射させて、第２センサ６が、回帰反射体４５で反射した光又は超音波を検知したか否かにより、基板９が正常に保持されているか否かを判定する処理を実行してもよい。また、制御装置２００は、ステップＳ３０６の処理に代えて、隣接する基板９、９の間の空間に向けて、第２センサ６に光又は超音波を照射させて、第２センサ６が、回帰反射体４５で反射した光又は超音波を検知したか否かにより、基板９が正常に保持されているか否かを判定する処理を実行してもよい。
　図１８Ｂに示すように、制御装置２００は、第２センサ６が、基板９の周面に向けて、光又は超音波を照射したときに、第２センサ６から回帰反射体４５で反射した光又は超音波情報を取得した場合（ステップＳ３０６でＮｏ）には、基板９が異常に保持されていると判定する（ステップＳ３０７）。ついで、制御装置２００は、図示されない報知器により、基板９が異常に載置されていることを作業者等に報知させ（ステップＳ３０８）、本プログラムを終了する。
　なお、制御装置２００は、第２センサ６が基板９の基端部側に配設されている場合には、第２センサ６が、基板９の周面に向けて、光又は超音波を照射したときに、第２センサ６から回帰反射体４５で反射した光又は超音波情報を取得した場合（ステップＳ３０６でＮｏ）には、基板９の基端側が先端側に比して、下方に位置するように、傾斜していると判定してもよい。
　一方、制御装置２００は、第２センサ６が、基板９の周面に向けて、光又は超音波を照射したときに、第２センサ６から回帰反射体４５で反射した光又は超音波情報を取得しなかった場合（ステップＳ３０６でＹｅｓ）には、ステップＳ３０９の処理を実行する。
　ステップＳ３０９では、制御装置２００は、ステップＳ３０５で第１センサ１１Ａが検知した光又は超音波情報を基に、基板９が正常に（水平状態で）保持（載置）されているか否かを判定する。具体的には、制御装置２００は、第１センサ１１Ａが、隣接する基板９、９の間の空間に向けて、光又は超音波を照射したときに、第１センサ１１Ａが、回帰反射体４５で反射した光又は超音波を検知したか否かにより、基板９が正常に保持されているか否かを判定する。
　制御装置２００は、第１センサ１１Ａが、隣接する基板９、９の間の空間に向けて、光又は超音波を照射したときに、第１センサ１１Ａから回帰反射体４５で反射した光又は超音波情報を取得した場合（ステップＳ３０９でＹｅｓ）には、基板９が正常に保持されていると判定する（ステップＳ３１０）。その後、制御装置２００は、マニピュレータ２を動作させ、基板９を次の処理を実行する装置等に搬送させ、本プログラムを終了する。
　一方、制御装置２００は、第１センサ１１Ａが、隣接する基板９、９の間の空間に光又は超音波を照射したときに、第１センサ１１Ａから回帰反射体４５で反射した光又は超音波情報を取得しなかった場合（ステップＳ３０９でＮｏ）には、基板９が異常に保持されていると判定する（ステップＳ３１１）。
　次に、制御装置２００は、図示されない報知器（例えば、ディスプレイ等の表示装置、スピーカ、サイレン等）により、基板９が異常に載置されていることを作業者等に報知させ（ステップＳ３１２）、本プログラムを終了する。
　なお、制御装置２００は、第２センサ６が、基板９の基端部側に配置されている場合には、ステップＳ３１１において、以下のように判定してもよい。
　まず、基板９が、先端側が基端側に比して、下方に位置するように、傾斜しているとする。この場合、基板９の基端側は傾斜による変動が小さいため、第２センサ６が、基板９の周面に向けて、光又は超音波を照射すると、基板９の周面に光又は超音波が当たって、第２センサ６が、回帰反射体４５で反射した光又は超音波を検知しないおそれがある。
　一方、基板９の先端側は基端側に比して、傾斜による変動が大きいため、第１センサ１１Ａが、当該基板９の下方に位置する空間に向けて、光又は超音波を照射すると、第１センサ１１Ａから照射された光又は超音波は、基板９に遮られて、回帰反射体４５に到達することができない。このため、第１センサ１１Ａは、回帰反射体４５で反射した光又は超音波を検知することができない。
　このため、制御装置２００は、ステップＳ３０６の処理において、第２センサ６から回帰反射体４５で反射した光又は超音波情報を取得せず、かつ、ステップＳ３０９の処理において、第１センサ１１Ａから回帰反射体４５で反射した光又は超音波情報を取得しなかった場合には、基板９が、先端側が基端側に比して、下方に位置するように、傾斜していると判定してもよい。そして、制御装置２００は、ステップＳ３１２において、報知器により、基板９の先端側が基端側に比して、下方に位置するように、傾斜して載置されていることを作業者等に報知させてもよい。
　このように構成された、本実施の形態３に係る基板搬送装置１であっても、実施の形態１に係る基板搬送装置１と同様の作用効果を奏する。
　また、本実施の形態３に係る基板搬送装置１では、第１センサ１１Ａと第２センサ６により、基板９を検知することにより、いずれか一方のセンサが故障しても、基板９が正常に保持されているか否かを判定することができ、冗長性を確保することができる。
　さらに、第２センサ６が、基板９の基端部側に配設されている場合には、基板９の先端側が基端側に比して、下方に位置するように、傾斜して載置されているか、それとも、基板９の基端側が先端側に比して、下方に位置するように、傾斜して載置されているか、を検知することができる。このため、基板９の状態について、より正確な情報を作業者等に報知することができる。
　（実施の形態４）
　本実施の形態４に係る基板搬送装置は、実施の形態１～３（変形例を含む）のいずれかの実施の形態に係る基板搬送装置において、基板把持ハンドの基端部に設けられ、その撮影方向が第２方向に向くように配置されている第１カメラをさらに備え、第１カメラは、複数の第１爪部と複数の第２爪部により、保持されている複数の基板を撮影し、撮影した映像情報を制御装置に出力するように構成されていて、制御装置は、第１カメラから入力された映像情報である第１映像情報を基に、基板が正常に保持されているか否かを判定する。
　また、本実施の形態４に係る基板搬送装置では、複数の基板のそれぞれについて、正常に保持されているときの位置情報である第１位置情報が記憶されている記憶器をさらに備え、制御装置は、第１映像情報と第１位置情報を比較して、基板が正常に保持されているか否かを判定してもよい。
　以下、本実施の形態４に係る基板搬送装置の一例について、図１９及び図２０を参照しながら説明する。
　［基板搬送装置の構成］
　図１９は、本実施の形態４に係る基板搬送装置の概略構成を示す模式図である。なお、図１９においては、基板搬送装置における上下方向、前後方向、及び左右方向を図における上下方向、前後方向、及び左右方向として表している。
　図１９に示すように、本実施の形態４に係る基板搬送装置１は、実施の形態１に係る基板搬送装置１と基本的構成は同じであるが、基板把持ハンド３の基端部に第１カメラ１５が設けられている点が異なる。第１カメラ１５は、その撮影方向が第２方向に向くように配置されていて、基板９を撮影し、撮影した映像情報を制御装置２００に出力するように構成されている。
　［基板搬送装置の動作及び作用効果］
　次に、本実施の形態４に係る基板搬送装置１の動作及び作用効果について、図１９及び図２０を参照しながら説明する。
　なお、以下の動作は、制御装置２００の演算部２００ａが、記憶部２００ｂに格納されているプログラムを読み出すことにより実行される。また、以下の動作は、実施の形態１に係る基板搬送装置１の動作とは別に、単独で実行されてもよい。さらに、以下の動作は、実施の形態１に係る基板搬送装置１の動作と並行して実行されてもよい。
　図２０は、本実施の形態４に係る基板搬送装置の動作の一例を示すフローチャートである。
　まず、制御装置２００に、オペレータから図示されない入力装置を介して、一連の作業を実行することを示す指示情報が入力されたとする。すると、図２０に示すように、制御装置２００は、マニピュレータ２を動作させて、基板把持ハンド３がフープ９０の前方に位置するまで移動させる（ステップＳ４０１）。このとき、制御装置２００は、基板把持ハンド３が、把持する基板９が載置されている部分よりも下方に位置するように、マニピュレータ２を動作させる。
　次に、制御装置２００は、基板把持ハンド３がフープ９０内の基板９の下方に位置するまで、マニピュレータ２を動作させる（ステップＳ４０２）。このとき、制御装置２００は、基板把持ハンド３のガイド部分で基板９を載置できる位置にまで、基板把持ハンド３をフープ９０内に進入させる。
　次に、制御装置２００は、基板把持ハンド３が上方に移動するように、マニピュレータ２を動作させ、基板９をガイド部分の底面に載置させて、基板９をすくい上げ、基板９を基板把持ハンド３で保持させる（ステップＳ４０３）。
　次に、制御装置２００は、第１カメラ１５から当該第１カメラ１５が撮影した映像情報である第１映像情報を取得する（ステップＳ４０４）。ついで、制御装置２００は、第１映像情報を基に、基板９が正常に載置されているか否かを判定する（ステップＳ４０５）。
　具体的には、制御装置２００は、例えば、第１映像情報について、公知の画像解析ソフト等を用いて、画像解析を行い、基板９が正常（水平）に載置されているか否かを判定してもよい。また、予め、記憶部２００ｂに基板９が正常に載置されているときの基板９の位置情報である第１位置情報を記憶させておき、制御装置２００は、第１映像情報と、記憶部２００ｂから取得した第１位置情報と、を比較して、基板９が正常（水平）に載置されているか否かを判定してもよい。
　制御装置２００は、第１映像情報を基に、基板９が正常に載置されていると判定した場合（ステップＳ４０６）には、そのまま、本プログラムを終了する。一方、制御装置２００は、第１映像情報を基に、基板９が異常に載置されていると判定した場合（ステップＳ４０７）には、図示されない報知器により、基板９が異常に載置されていることを作業者等に報知させ（ステップＳ４０８）、本プログラムを終了する。
　このように構成された、本実施の形態４に係る基板搬送装置１であっても、実施の形態１に係る基板搬送装置１と同様の作用効果を奏する。
　また、本実施の形態４に係る基板搬送装置１では、第１センサ１１Ａから取得した情報に基づいて、基板９が正常に載置されているかを判定することに加えて、第１カメラ１５から取得した第１映像情報を基に、基板９が正常に載置されているかを判定する。このため、本実施の形態４に係る基板搬送装置１では、冗長性を確保することができる。
　（実施の形態５）
　本実施の形態５に係る基板搬送装置は、基板把持ハンドと、基板把持ハンドの先端部に設けられ、基板を保持する第１保持部材と、基板把持ハンドの基端部に設けられ、基板を保持する第２保持部材と、基板把持ハンドの基端部に設けられ、その撮影方向が第２方向に向くように配置されている第１カメラと、制御装置と、を備え、基板の厚み方向を第１方向とし、基板把持ハンドの基端部から先端部に向かう方向を第２方向とし、第１方向及び第２方向のそれぞれに直交する方向を第３方向と定義した場合に、第１保持部材は、第１方向に沿って、互いに所定の間隔をおいて配置される、複数の第１爪部を有し、第２保持部材は、第１方向に沿って、互いに所定の間隔をおいて配置される、複数の第２爪部を有し、基板搬送装置は、複数の第１爪部と複数の第２爪部により、複数の基板を保持するように構成されていて、第１カメラは、複数の第１爪部と複数の第２爪部により、保持されている複数の基板を撮影し、撮影した映像情報を制御装置に出力するように構成されていて、制御装置は、第１カメラから入力された映像情報である第１映像情報を基に、基板が正常に保持されているか否かを判定する。
　また、本実施の形態５に係る基板搬送装置では、複数の基板のそれぞれについて、正常に保持されているときの位置情報である第１位置情報が記憶されている記憶器をさらに備え、制御装置は、第１映像情報と第１位置情報を比較して、基板が正常に保持されているか否かを判定してもよい。
　以下、本実施の形態５に係る基板搬送装置の一例について、図２１を参照しながら説明する。
　［基板搬送装置の構成］
　図２１は、本実施の形態５に係る基板搬送装置の概略構成を示す模式図である。なお、図２１においては、基板搬送装置における上下方向、前後方向、及び左右方向を図における上下方向、前後方向、及び左右方向として表している。
　図２１に示すように、本実施の形態５に係る基板搬送装置１は、実施の形態１に係る基板搬送装置１と基本的構成は同じであるが、第１センサ１１Ａ、１１Ａに代えて、第１カメラ１５が基板把持ハンド３の基端部に設けられている点が異なる。第１カメラ１５は、その撮影方向が第２方向に向くように配置されていて、基板９を撮影し、撮影した映像情報を制御装置２００に出力するように構成されている。
　なお、本実施の形態５に係る基板搬送装置１の動作は、図２０に示す、実施の形態４に係る基板搬送装置１の動作と同様に実行されるので、その詳細な説明は省略する。
　このように構成された、本実施の形態５に係る基板搬送装置１であっても、実施の形態１に係る基板搬送装置１と同様の作用効果を奏する。
　（実施の形態６）
　本実施の形態６に係る基板搬送装置は、実施の形態１～５（変形例を含む）のいずれかの実施の形態に係る基板搬送装置において、基板把持ハンドの基端部に設けられ、その撮影方向が第３方向に向くように配置されている第２カメラをさらに備え、第２カメラは、複数の第１爪部と複数の第２爪部により、保持されている複数の基板を撮影し、撮影した映像情報を制御装置に出力するように構成されていて、制御装置は、第２カメラから入力された映像情報である第２映像情報を基に、基板が正常に保持されているか否かを判定する。
　また、本実施の形態６に係る基板搬送装置では、複数の基板のそれぞれについて、正常に保持されているときの位置情報である第２位置情報が記憶されている記憶器をさらに備え、制御装置は、第２映像情報と第２位置情報を比較して、基板が正常に保持されているか否かを判定してもよい。
　以下、本実施の形態６に係る基板搬送装置の一例について、図２２及び図２３を参照しながら説明する。
　［基板搬送装置の構成］
　図２２は、本実施の形態６に係る基板搬送装置の概略構成を示す模式図である。なお、図２２においては、基板搬送装置における上下方向、前後方向、及び左右方向を図における上下方向、前後方向、及び左右方向として表している。
　図２２に示すように、本実施の形態６に係る基板搬送装置１は、実施の形態１に係る基板搬送装置１と基本的構成は同じであるが、第１センサ１１Ａ、１１Ａに代えて、第１カメラ１５が基板把持ハンド３の基端部に設けられている点と、第２カメラ１６が基台２１の上に設けられている点と、が異なる。
　第１カメラ１５は、その撮影方向が第２方向に向くように配置されていて、基板９を撮影し、撮影した映像情報を制御装置２００に出力するように構成されている。また、第２カメラ１６は、その撮影方向が第３方向に向くように配置されていて、基板９を撮影し、撮影した映像情報を制御装置２００に出力するように構成されている。
　［基板搬送装置の動作及び作用効果］
　次に、本実施の形態６に係る基板搬送装置１の動作及び作用効果について、図２２及び図２３を参照しながら説明する。なお、以下の動作は、制御装置２００の演算部２００ａが、記憶部２００ｂに格納されているプログラムを読み出すことにより実行される。
　図２３は、本実施の形態６に係る基板搬送装置の動作の一例を示すフローチャートである。
　図２３に示すように、本実施の形態６に係る基板搬送装置１の動作は、実施の形態４に係る基板搬送装置１の動作と基本的には同じであるが、ステップＳ４０４及びステップＳ４０５に代えて、ステップＳ４０４Ａ及びステップＳ４０５Ａが実行される点が異なる。
　具体的には、制御装置制御装置２００は、第１カメラ１５から当該第１カメラ１５が撮影した映像情報である第１映像情報と、第２カメラ１６から当該第２カメラ１６が撮影した映像情報である第２映像情報と、を取得する（ステップＳ４０４Ａ）。ついで、制御装置２００は、第１映像情報と第２映像情報を基に、基板９が正常に載置されているか否かを判定する（ステップＳ４０５Ａ）。
　具体的には、制御装置２００は、例えば、第１映像情報及び第２映像情報について、公知の画像解析ソフト等を用いて、画像解析を行い、基板９が正常（水平）に載置されているか否かを判定してもよい。また、予め、記憶部２００ｂに基板９が正常に載置されているときの基板９の位置情報である第１位置情報と第２位置情報を記憶させておき、制御装置２００は、第１映像情報と、記憶部２００ｂから取得した第１位置情報と、を比較、及び第２映像情報と第２位置情報と、を比較して、基板９が正常（水平）に載置されているか否かを判定してもよい。
　制御装置２００は、第１映像情報及び第２映像情報を基に、基板９が正常に載置されていると判定した場合（ステップＳ４０６）には、そのまま、本プログラムを終了する。一方、制御装置２００は、第１映像情報及び第２映像情報を基に、基板９が異常に載置されていると判定した場合（ステップＳ４０７）には、図示されない報知器により、基板９が異常に載置されていることを作業者等に報知させ（ステップＳ４０８）、本プログラムを終了する。
　このように構成された、本実施の形態６に係る基板搬送装置１であっても、実施の形態１に係る基板搬送装置１と同様の作用効果を奏する。
　また、本実施の形態６に係る基板搬送装置１では、第１カメラ１５から取得した第１映像情報と、第２カメラ１６から取得した第２映像情報と、を基に、基板９が正常に載置されているかを判定する。このため、本実施の形態６に係る基板搬送装置１では、冗長性を確保することができる。
　上記説明から、当業者にとっては、本発明の多くの改良又は他の実施形態が明らかである。従って、上記説明は、例示としてのみ解釈されるべきであり、本発明を実行する最良の態様を当業者に教示する目的で提供されたものである。本発明の精神を逸脱することなく、その構造及び／又は機能の詳細を実質的に変更できる。
　本発明の基板搬送装置及び基板搬送装置の運転方法は、従来の基板搬送装置に比して、基板把持ハンドが基板を水平状態で保持していることを容易に検知することができるため、産業ロボットの分野において有用である。
　１　基板搬送装置
　２　マニピュレータ
　３　基板把持ハンド
　４Ａ　第１保持部材
　４Ｂ　第２保持部材
　６　第２センサ
　９　基板
　１１Ａ　第１センサ
　１１Ｂ　第１センサ
　１２　第１駆動器
　１３　第２駆動器
　１４　第３駆動器
　１５　第１カメラ
　１６　第２カメラ
　２０　アーム
　２１　基台
　２２　支持台
　２３　支持軸
　２４　軸体
　３０　第２筐体
　３１　第１筐体
　４０Ａ　第１爪部
　４０Ｂ　第１爪部
　４０Ｃ　第１爪部
　４０Ｄ　第１爪部
　４０Ｅ　第１爪部
　４１Ａ　第１部分
　４１Ｂ　第１部分
　４２Ａ　ガイド部分
　４２Ｂ　ガイド部分
　４３Ａ　底面
　４５　回帰反射体
　５０Ａ　第２爪部
　５０Ｂ　第２爪部
　５０Ｃ　第２爪部
　５０Ｄ　第２爪部
　５０Ｅ　第２爪部
　７１　第１空間
　７２　第２空間
　７３　第３空間
　７４　第４空間
　９０　フープ
　２００　制御装置
　２００ａ　演算部
　２００ｂ　記憶部
　２００ｃ　サーボ制御部
 

Claims (30)

  1. 　基板把持ハンドと、
    　前記基板把持ハンドの先端部に設けられ、前記基板を保持する第１保持部材と、
    　前記基板把持ハンドの基端部に設けられ、前記基板を保持する第２保持部材と、
    　前記基板把持ハンドの基端部に設けられ、光又は超音波を照射して、前記基板を検知するように構成されている第１センサと、
    　制御装置と、を備え、
    　前記基板の厚み方向を第１方向とし、前記基板把持ハンドの基端部から先端部に向かう方向を第２方向とし、前記第１方向及び前記第２方向のそれぞれに直交する方向を第３方向と定義した場合に、
    　前記第１保持部材は、前記第１方向に沿って、互いに所定の間隔をおいて配置される、複数の第１爪部を有し、
    　前記第２保持部材は、前記第１方向に沿って、互いに所定の間隔をおいて配置される、複数の第２爪部を有し、
    　前記基板搬送装置は、複数の前記第１爪部と複数の前記第２爪部により、複数の前記基板を保持するように構成されていて、
    　前記第１センサは、前記光又は前記超音波を前記第２方向に向けて照射するように構成されていて、
    　前記制御装置は、隣接する前記基板の間の空間に向けて、前記第１センサに前記光又は前記超音波を照射させて、前記基板が正常に保持されているか否かを判定する、基板搬送装置。
  2. 　前記第１センサと対向するように、前記第１保持部材に設けられている回帰反射体をさらに備え、
    　前記制御装置は、隣接する前記基板の間の空間に向けて、前記第１センサに前記光又は前記超音波を照射させて、前記回帰反射体で反射された前記光又は前記超音波により、前記基板が正常に載置されているか否かを判定する、請求項１に記載の基板搬送装置。
  3. 　前記第１センサを前記第１方向に沿って移動させるように構成されている、第１駆動器をさらに備える、請求項１又は２に記載の基板搬送装置。
  4. 　前記第１爪部及び前記第２爪部を前記第１方向に沿って移動させるように構成されている、第２駆動器をさらに備え、
    　前記制御装置は、隣接する前記基板の間隔を変動するように、前記第２駆動器を制御する、請求項１又は２に記載の基板搬送装置。
  5. 　前記第１センサは、隣接する前記基板の間隔が変動されると、変動前とは異なる、隣接する前記基板の間の空間に向けて、前記光又は前記超音波を照射するように構成されている、請求項４に記載の基板搬送装置。
  6. 　前記第１センサは、前記第２爪部に配設されている、請求項５に記載の基板搬送装置。
  7. 　前記回帰反射体は、最も高さの高い第１爪部に設けられ、
    　前記第１センサは、最も高さの高い第２爪部に設けられている、請求項６に記載の基板搬送装置。
  8. 　前記制御装置は、隣接する前記基板の間の空間に向けて、前記第１センサに前記光又は前記超音波を照射させたときに、前記第１センサが、前記光又は前記超音波を検知した場合には、前記基板が正常に保持されていると判定し、隣接する前記基板の間の空間に向けて、前記第１センサに前記光又は前記超音波を照射させたときに、前記第１センサが、前記光又は前記超音波を検知しない場合には、前記基板が異常に保持されていると判定する、請求項１～７のいずれか１項に記載の基板搬送装置。
  9. 　前記基板把持ハンドの基端部に設けられ、前記第１方向に沿って移動しながら、前記第３方向に向けて前記光又は前記超音波を照射して、前記基板を検知するように構成されている、第２センサをさらに備え、
    　前記制御装置は、予め設定されている所定の第１位置において、前記第２センサに前記光又は前記超音波を照射させて、前記基板が正常に保持されているか否かを判定する、請求項１～８のいずれか１項に記載の基板搬送装置。
  10. 　前記制御装置は、前記第１位置において、前記第２センサに前記光又は前記超音波を照射させたときに、前記第２センサが前記光又は前記超音波を検知しない場合には、前記基板が正常に保持されていると判定し、前記第１位置において、前記第２センサに前記光又は前記超音波を照射させたときに、前記第２センサが前記光又は前記超音波を検知した場合には、前記基板が異常に保持されていると判定する、請求項９に記載の基板搬送装置。
  11. 　前記基板把持ハンドの基端部に設けられ、その撮影方向が前記第２方向に向くように配置されている第１カメラをさらに備え、
    　前記第１カメラは、複数の前記第１爪部と複数の前記第２爪部により、保持されている複数の前記基板を撮影し、撮影した映像情報を前記制御装置に出力するように構成されていて、
    　前記制御装置は、前記第１カメラから入力された映像情報である第１映像情報を基に、前記基板が正常に保持されているか否かを判定する、請求項１～１０のいずれか１項に記載の基板搬送装置。
  12. 　基板把持ハンドと、
    　前記基板把持ハンドの先端部に設けられ、前記基板を保持する第１保持部材と、
    　前記基板把持ハンドの基端部に設けられ、前記基板を保持する第２保持部材と、
    　前記基板把持ハンドの基端部に設けられ、その撮影方向が前記第２方向に向くように配置されている第１カメラと、
    　制御装置と、を備え、
    　前記基板の厚み方向を第１方向とし、前記基板把持ハンドの基端部から先端部に向かう方向を第２方向とし、前記第１方向及び前記第２方向のそれぞれに直交する方向を第３方向と定義した場合に、
    　前記第１保持部材は、前記第１方向に沿って、互いに所定の間隔をおいて配置される、複数の第１爪部を有し、
    　前記第２保持部材は、前記第１方向に沿って、互いに所定の間隔をおいて配置される、複数の第２爪部を有し、
    　前記基板搬送装置は、複数の前記第１爪部と複数の前記第２爪部により、複数の前記基板を保持するように構成されていて、
    　前記第１カメラは、複数の前記第１爪部と複数の前記第２爪部により、保持されている複数の前記基板を撮影し、撮影した映像情報を前記制御装置に出力するように構成されていて、
    　前記制御装置は、前記第１カメラから入力された映像情報である第１映像情報を基に、前記基板が正常に保持されているか否かを判定する、基板搬送装置。
  13. 　複数の前記基板のそれぞれについて、正常に保持されているときの位置情報である第１位置情報が記憶されている記憶器をさらに備え、
    　前記制御装置は、前記第１映像情報と前記第１位置情報を比較して、前記基板が正常に保持されているか否かを判定する、請求項１１又は１２に記載の基板搬送装置。
  14. 　前記基板把持ハンドの基端部に設けられ、その撮影方向が前記第３方向に向くように配置されている第２カメラをさらに備え、
    　前記第２カメラは、複数の前記第１爪部と複数の前記第２爪部により、保持されている複数の前記基板を撮影し、撮影した映像情報を前記制御装置に出力するように構成されていて、
    　前記制御装置は、前記第２カメラから入力された映像情報である第２映像情報を基に、前記基板が正常に保持されているか否かを判定する、請求項１１～１３のいずれか１項に記載の基板搬送装置。
  15. 　複数の前記基板のそれぞれについて、正常に保持されているときの位置情報である第２位置情報が記憶されている記憶器をさらに備え、
    　前記制御装置は、前記第２映像情報と前記第２位置情報を比較して、前記基板が正常に保持されているか否かを判定する、請求項１４に記載の基板搬送装置。
  16. 　基板を搬送する基板搬送装置の運転方法であって、
    　前記基板搬送装置は、
    　基板把持ハンドと、
    　前記基板把持ハンドの先端部に設けられ、前記基板を保持する第１保持部材と、
    　前記基板把持ハンドの基端部に設けられ、前記基板を保持する第２保持部材と、
    　前記基板把持ハンドの基端部に設けられ、光又は超音波を照射して、前記基板を検知するように構成されている第１センサと、を備え、
    　前記基板の厚み方向を第１方向とし、前記基板把持ハンドの基端部から先端部に向かう方向を第２方向とし、前記第１方向及び前記第２方向のそれぞれに直交する方向を第３方向と定義した場合に、
    　前記第１保持部材は、前記第１方向に沿って、互いに所定の間隔をおいて配置される、複数の第１爪部を有し、
    　前記第２保持部材は、前記第１方向に沿って、互いに所定の間隔をおいて配置される、複数の第２爪部を有し、
    　前記基板搬送装置は、複数の前記第１爪部と複数の前記第２爪部により、複数の前記基板を保持するように構成されていて、
    　前記第１センサが、前記光又は前記超音波を前記第２方向に向けて照射する（Ａ）と、
    　隣接する前記基板の間の空間に向けて、前記第１センサに前記光又は前記超音波を照射させて、前記基板が正常に保持されているか否かを判定する（Ｂ）と、を備える、基板搬送装置の運転方法。
  17. 　前記基板搬送装置は、前記第１センサと対向するように、前記第１保持部材に設けられている回帰反射体をさらに備え、
    　前記（Ｂ）において、隣接する前記基板の間の空間に向けて、前記第１センサに前記光又は前記超音波を照射させて、前記回帰反射体で反射された前記光又は前記超音波により、前記基板が正常に載置されているか否かを判定する、請求項１６に記載の基板搬送装置の運転方法。
  18. 　前記基板搬送装置は、前記第１センサを前記第１方向に沿って移動させるように構成されている、第１駆動器をさらに備える、請求項１６又は１７に記載の基板搬送装置の運転方法。
  19. 　前記基板搬送装置は、前記第１爪部及び前記第２爪部を前記第１方向に沿って移動させるように構成されている、第２駆動器をさらに備え、
    　前記（Ａ）において、隣接する前記基板の間隔を変動するように、前記第２駆動器が駆動する、請求項１６又は１７に記載の基板搬送装置の運転方法。
  20. 　前記（Ａ）において、前記第１センサは、隣接する前記基板の間隔が変動されると、変動前とは異なる、隣接する前記基板の間の空間に向けて、前記光又は前記超音波を照射する、請求項１９に記載の基板搬送装置の運転方法。
  21. 　前記第１センサは、前記第２爪部に配設されている、請求項２０に記載の基板搬送装置の運転方法。
  22. 　前記回帰反射体は、最も高さの高い第１爪部に設けられ、
    　前記第１センサは、最も高さの高い第２爪部に設けられている、請求項２１に記載の基板搬送装置の運転方法。
  23. 　前記（Ｂ）は、前記第１センサが、前記光又は前記超音波を検知した場合には、前記基板が正常に保持されていると判定する（Ｂ１）と、前記第１センサが、前記光又は前記超音波を検知しない場合には、前記基板が異常に保持されていると判定する（Ｂ２）と、を有する、請求項１６～２２のいずれか１項に記載の基板搬送装置の運転方法。
  24. 　前記基板搬送装置は、前記基板把持ハンドの基端部に設けられている、第２センサをさらに備え、
    　前記第２センサが、前記第１方向に沿って移動しながら、前記第３方向に向けて前記光又は前記超音波を照射する（Ｃ）と、
    　予め設定されている所定の第１位置において、前記第２センサに前記光又は前記超音波を照射させて、前記基板が正常に保持されているか否かを判定する（Ｄ）と、をさらに備える、請求項１６～２３のいずれか１項に記載の基板搬送装置の運転方法。
  25. 　前記（Ｄ）は、前記第２センサが、前記第１位置において、前記光又は前記超音波を照射したときに、当該第２センサが前記光又は前記超音波を検知した場合には、前記基板が正常に保持されていると判定する（Ｄ１）と、前記第２センサが、前記第１位置において、前記光又は前記超音波を照射したときに、当該第２センサが前記光又は前記超音波を検知しない場合には、前記基板が異常に保持されていると判定する（Ｄ２）と、を有する、請求項２４に記載の基板搬送装置の運転方法。
  26. 　前記基板搬送装置は、前記基板把持ハンドの基端部に設けられ、その撮影方向が前記第２方向に向くように配置されている第１カメラをさらに備え、
    　前記第１カメラが、複数の前記第１爪部と複数の前記第２爪部により、保持されている複数の前記基板を撮影する（Ｅ）と、
    　前記第１カメラが撮影した映像情報である第１映像情報を基に、前記基板が正常に保持されているか否かを判定する（Ｆ）と、をさらに備える、請求項１５～２５のいずれか１項に記載の基板搬送装置の運転方法。
  27. 　基板を搬送する基板搬送装置の運転方法であって、
    　前記基板搬送装置は、
    　基板把持ハンドと、
    　前記基板把持ハンドの先端部に設けられ、前記基板を保持する第１保持部材と、
    　前記基板把持ハンドの基端部に設けられ、前記基板を保持する第２保持部材と、
    　前記基板把持ハンドの基端部に設けられ、その撮影方向が前記第２方向に向くように配置されている第１カメラと、を備え、
    　前記基板の厚み方向を第１方向とし、前記基板把持ハンドの基端部から先端部に向かう方向を第２方向とし、前記第１方向及び前記第２方向のそれぞれに直交する方向を第３方向と定義した場合に、
    　前記第１保持部材は、前記第１方向に沿って、互いに所定の間隔をおいて配置される、複数の第１爪部を有し、
    　前記第２保持部材は、前記第１方向に沿って、互いに所定の間隔をおいて配置される、複数の第２爪部を有し、
    　前記基板搬送装置は、複数の前記第１爪部と複数の前記第２爪部により、複数の前記基板を保持するように構成されていて、
    　前記第１カメラが、複数の前記第１爪部と複数の前記第２爪部により、保持されている複数の前記基板を撮影する（Ｅ）と、
    　前記第１カメラが撮影した映像情報である第１映像情報を基に、前記基板が正常に保持されているか否かを判定する（Ｆ）と、を備える、基板搬送装置の運転方法。
  28. 　前記基板搬送装置は、複数の前記基板のそれぞれについて、正常に保持されているときの位置情報である第１位置情報が記憶されている記憶器をさらに備え、
    　前記（Ｆ）では、前記第１映像情報と前記第１位置情報を比較して、前記基板が正常に保持されているか否かを判定する、請求項２６又は２７に記載の基板搬送装置の運転方法。
  29. 　前記基板搬送装置は、前記基板把持ハンドの基端部に設けられ、その撮影方向が前記第３方向に向くように配置されている第２カメラをさらに備え、
    　前記第２カメラが、複数の前記第１爪部と複数の前記第２爪部により、保持されている複数の前記基板を撮影する（Ｇ）と、
    　前記第２カメラが撮影した映像情報である第２映像情報を基に、前記基板が正常に保持されているか否かを判定する（Ｈ）と、をさらに備える、請求項２６～２８のいずれか１項に記載の基板搬送装置の運転方法。
  30. 　前記基板搬送装置は、複数の前記基板のそれぞれについて、正常に保持されているときの位置情報である第２位置情報が記憶されている記憶器をさらに備え、
    　前記（Ｈ）では、前記第２映像情報と前記第２位置情報を比較して、前記基板が正常に保持されているか否かを判定する、請求項２９に記載の基板搬送装置の運転方法。
     
     
     
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