KR102195817B1 - 기판 반송 장치 - Google Patents

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KR102195817B1
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테츠야 요시다
타카유키 후쿠시마
신야 키노시타
쇼고 마쓰오카
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카와사키 주코교 카부시키 카이샤
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Abstract

기판 파지 핸드(3)와, 기판 파지 핸드(3)의 선단부에 설치되고, 복수의 제1 손톱부를 갖는 제1 지지부재(4A)와, 기판 파지 핸드(3)의 기단부에 설치되고, 복수의 제2 손톱부를 갖는 제2 지지부재(4B)와, 기판 파지 핸드(3)의 기단부에 설치되고, 광 또는 초음파를 조사하여, 기판(9)을 검지하도록 구성되어 있는 제1 센서(11A)와, 인접하는 기판(9) 사이의 공간을 향해, 제1 센서(11A)에 광 또는 초음파를 조사시켜, 기판(9)이 정상적으로 지지되어 있는지 여부를 판정하는 제어 장치(200)를 구비하는, 기판 반송 장치.

Description

기판 반송 장치
본 발명은 기판 반송 장치에 관한 것이다.
반도체 웨이퍼(반도체 기판; 이하, 간단하게 웨이퍼 또는 기판이라고 하는 경우도 있다.)는, 클린 룸 내에서 복수의 처리가 이루어져, 제조된다. 또한, 반도체 웨이퍼는, 각 처리 사이를 클린 룸 내에 배치되어 있는 로봇에 의해 반송된다.
클린 룸 내에 배치되어 있는 로봇으로서, 로봇 핸드의 기부에 광 또는 초음파 센서를 설치하고, 로봇 핸드의 선단부에, 물품이 재치(載置)되면 압하(押下)하는 반사체를 설치한 물품 이재 장치가 알려져 있다(예를 들어, 특허문헌 1 참조).
특허문헌 1에 개시되어 있는 물품 이재 장치에서는, 로봇 핸드의 선단부에 복수의 돌기부를 설치하고, 물품의 저부에 돌기부와 맞물리는 오목부를 설치하고, 복수의 돌기부에 오목부가 맞물렸을 때에, 로봇 핸드의 선단부에 설치한 반사체가 아래로 가압하도록 구성되어 있다. 그리고 물품이 기울어져 재치된 경우에는, 반사체가 충분히 아래로 가압하지 않고, 광 또는 초음파 센서가 반사체로부터 반사된 광 또는 초음파를 검지할 수 없으므로, 물품이 정상적으로 재치되었는지 여부를 검지하고 있다.
특허문헌 1: 일본 특허공개 특개2000-296493호 공보
그러나 상기 특허문헌 1에 개시되어 있는 물품 이재 장치에서는, 물품이 정상적으로 재치되었는지 여부, 즉, 물품이 기울어져 재치되어 있는지 여부를 검지하기 위해, 물품에 오목부를 형성하는 공정이 필수가 된다. 따라서 반도체 웨이퍼의 제조 작업이 번잡해진다. 또한, 물품에 오목부를 형성하는 공정에서, 오목부를 정확한 위치에 설치하지 않으면, 물품이 기울어져 재치될 우려가 있었다.
본 발명은, 상기 종래의 과제를 해결하는 것으로, 종래의 기판 반송 장치에 비해, 기판 파지 핸드가 기판을 수평 상태로 지지하고 있는 것을 용이하게 검지할 수 있는, 기판 반송 장치를 제공하는 것을 목적으로 한다.
상기 종래의 과제를 해결하기 위해서, 본 발명에 따른 기판 반송 장치는, 기판 파지 핸드와, 상기 기판 파지 핸드의 선단부에 설치되고, 상기 기판을 지지하는 제1 지지부재와, 상기 기판 파지 핸드의 기단부에 설치되고, 상기 기판을 지지하는 제2 지지부재와, 상기 기판 파지 핸드의 기단부에 설치되고, 광 또는 초음파를 조사하여, 상기 기판을 검지하도록 구성되어 있는 제1 센서와, 제어 장치를 구비하고, 상기 기판의 두께 방향을 제1 방향이라고 하고, 상기 기판 파지 핸드의 기단부에서 선단부를 향하는 방향을 제2 방향이라고 하고, 상기 제1 방향 및 상기 제2 방향의 각각에 직교하는 방향을 제3 방향이라고 정의한 경우에, 상기 제1 지지부재는, 상기 제1 방향을 따라, 서로 소정의 간격을 두고 배치되는, 복수의 제1 손톱부를 갖고, 상기 제2 지지부재는, 상기 제1 방향을 따라, 서로 소정의 간격을 두고 배치되는, 복수의 제2 손톱부를 갖고, 상기 기판 반송 장치는, 복수의 상기 제1 손톱부와 복수의 상기 제2 손톱부에 의해, 복수의 상기 기판을 지지하도록 구성되어 있고, 상기 제1 센서는, 상기 광 또는 상기 초음파를 상기 제2 방향을 향해 조사하도록 구성되어 있고, 상기 제어 장치는, 인접하는 상기 기판 사이의 공간을 향해, 상기 제1 센서에 상기 광 또는 상기 초음파를 조사시켜, 상기 기판이 정상적으로 지지되어 있는지 여부를 판정한다.
이때, 제어 장치는, 인접하는 상기 기판 사이의 공간을 향해, 제1 센서에 광 또는 초음파를 조사시켰을 때에, 제1 센서가, 광 또는 초음파를 검지한 경우에는, 기판이 수평 상태에 있다(기판이 정상적으로 재치되어 있다)고 판정해도 좋다.
또한, 제어 장치는, 제1 센서가, 인접하는 기판 사이의 공간을 향해, 광 또는 초음파를 조사했을 때에, 해당 제1 센서가, 광 또는 초음파를 검지하지 않은 경우에는, 기판이 경사져 있다(기판이 이상하게 재치되어 있다)고 판정해도 좋다.
이에 따라, 종래의 기판 반송 장치와 비교해서, 기판 파지 핸드가 기판을 수평 상태로 지지하고 있는 것을 용이하게 검지할 수 있다.
또한, 본 발명에 따른 기판 반송 장치의 운전 방법은, 기판을 반송하는 기판 반송 장치의 운전 방법으로서, 상기 기판 반송 장치는, 기판 파지 핸드와, 상기 기판 파지 핸드의 선단부에 설치되고, 상기 기판을 지지하는 제1 지지부재와, 상기 기판 파지 핸드의 기단부에 설치되고, 상기 기판을 지지하는 제2 지지부재와, 상기 기판 파지 핸드의 기단부에 설치되고, 광 또는 초음파를 조사하여, 상기 기판을 검지하도록 구성되어 있는 제1 센서를 구비하고, 상기 기판의 두께 방향을 제1 방향이라고 하고, 상기 기판 파지 핸드의 기단부에서 선단부를 향하는 방향을 제2 방향이라고 하고, 상기 제1 방향 및 상기 제2 방향의 각각에 직교하는 방향을 제3 방향이라고 정의한 경우에, 상기 제1 지지부재는, 상기 제1 방향을 따라, 서로 소정의 간격을 두고 배치되는, 복수의 제1 손톱부를 갖고, 상기 제2 지지부재는, 상기 제1 방향을 따라, 서로 소정의 간격을 두고 배치되는, 복수의 제2 손톱부를 갖고, 상기 기판 반송 장치는, 복수의 상기 제1 손톱부와 복수의 상기 제2 손톱부에 의해, 복수의 상기 기판을 지지하도록 구성되어 있고, 상기 제1 센서가, 상기 광 또는 상기 초음파를 상기 제2 방향을 향해 조사하는 A단계와, 인접하는 상기 기판 사이의 공간을 향해, 상기 제1 센서에 상기 광 또는 상기 초음파를 조사시켜, 상기 기판이 정상적으로 지지되어 있는지 여부를 판정하는 B단계를 구비한다.
이에 따라, 종래의 기판 반송 장치와 비교해서, 기판 파지 핸드가 기판을 수평 상태로 지지하고 있는 것을 용이하게 검지할 수 있다.
본 발명의 기판 반송 장치 및 기판 반송 장치의 운전 방법에 의하면, 종래의 기판 반송 장치에 비해, 기판 파지 핸드가 기판을 수평 상태로 지지하고 있는 것을 용이하게 검지할 수 있다.
도 1은 본 실시형태 1에 따른 기판 반송 장치의 개략 구성을 나타내는 사시도이다.
도 2는 도 1에 나타내는 기판 반송 장치의 제어 장치의 구성을 개략적으로 나타내는 기능 블록도이다.
도 3은 도 1에 나타내는 기판 반송 장치의 기판 파지 핸드의 우측면도이다.
도 4는 도 1에 나타내는 기판 반송 장치의 제1 지지부재의 개략 구성을 나타내는 사시도이다.
도 5는 본 실시형태 1에 따른 기판 반송 장치의 동작의 일 예를 나타내는 플로 차트이다.
도 6은 본 실시형태 2에 따른 기판 반송 장치의 요부의 개략 구성을 나타내는 모식도이다.
도 7은 본 실시형태 2에 따른 기판 반송 장치의 요부의 개략 구성을 나타내는 모식도이다.
도 8은 본 실시형태 2에 따른 기판 반송 장치의 요부의 개략 구성을 나타내는 모식도이다.
도 9는 본 실시형태 2에 따른 기판 반송 장치의 동작의 일 예를 나타내는 플로 차트이다.
도 10은 본 실시형태 2의 변형례 1의 기판 반송 장치의 요부의 개략 구성을 나타내는 모식도이다.
도 11은 본 실시형태 2의 변형례 1의 기판 반송 장치의 요부의 개략 구성을 나타내는 모식도이다.
도 12는 본 실시형태 2의 변형례 1의 기판 반송 장치의 요부의 개략 구성을 나타내는 모식도이다.
도 13은 본 실시형태 2의 변형례 2의 기판 반송 장치의 요부의 개략 구성을 나타내는 모식도이다.
도 14는 본 실시형태 2의 변형례 2의 기판 반송 장치의 요부의 개략 구성을 나타내는 모식도이다.
도 15는 본 실시형태 2의 변형례 2의 기판 반송 장치의 요부의 개략 구성을 나타내는 모식도이다.
도 16은 본 실시형태 2의 변형례 2의 기판 반송 장치의 동작의 일 예를 나타내는 플로 차트이다.
도 17은 본 실시형태 3에 따른 기판 반송 장치의 개략 구성을 나타내는 모식도이다.
도 18a는 본 실시형태 3에 따른 기판 반송 장치의 동작의 일 예를 나타내는 모식도이다.
도 18b는 본 실시형태 3에 따른 기판 반송 장치의 동작의 일 예를 나타내는 플로 차트이다.
도 19는 본 실시형태 4에 따른 기판 반송 장치의 개략 구성을 나타내는 모식도이다.
도 20은 본 실시형태 4에 따른 기판 반송 장치의 동작의 일 예를 나타내는 플로 차트이다.
도 21은 본 실시형태 5에 따른 기판 반송 장치의 개략 구성을 나타내는 모식도이다.
도 22는 본 실시형태 6에 따른 기판 반송 장치의 개략 구성을 나타내는 모식도이다.
도 23은 본 실시형태 6에 따른 기판 반송 장치의 동작의 일 예를 나타내는 플로 차트이다.
이하, 본 발명의 실시형태를, 도면을 참조하면서 설명한다. 또한, 모든 도면에 있어서, 동일 또는 상당 부분에는 동일 부호를 부여하고, 중복하는 설명은 생략한다. 또한, 모든 도면에 있어서, 본 발명을 설명하기 위한 구성 요소를 발췌하여 도시하고 있고, 다른 구성 요소에 대해서는 도시를 생략하고 있는 경우가 있다. 나아가, 본 발명은 이하의 실시형태로 한정되지 않는다.
(실시형태 1)
본 발명의 실시형태 1에 따른 기판 반송 장치는, 기판 파지 핸드와, 기판 파지 핸드의 선단부에 설치되고, 기판을 지지하는 제1 지지부재와, 기판 파지 핸드의 기단부에 설치되고, 기판을 지지하는 제2 지지부재와, 기판 파지 핸드의 기단부에 설치되고, 광 또는 초음파를 조사하여, 기판을 검지하도록 구성되어 있는 제1 센서와, 제어 장치를 구비하고, 기판의 두께 방향을 제1 방향이라고 하고, 기판 파지 핸드의 기단부에서 선단부를 향하는 방향을 제2 방향이라고 하고, 제1 방향 및 제2 방향의 각각에 직교하는 방향을 제3 방향이라고 정의한 경우에, 제1 지지부재는, 제1 방향을 따라, 서로 소정의 간격을 두고 배치되는, 복수의 제1 손톱부를 갖고, 제2 지지부재는, 제1 방향을 따라, 서로 소정의 간격을 두고 배치되는, 복수의 제2 손톱부를 갖고, 기판 반송 장치는, 복수의 제1 손톱부와 복수의 제2 손톱부에 의해, 복수의 기판을 지지하도록 구성되어 있고, 제1 센서는, 광 또는 초음파를 제2 방향을 향해 조사하도록 구성되어 있고, 제어 장치는, 인접하는 기판 사이의 공간을 향해, 제1 센서에 광 또는 초음파를 조사시켜, 기판이 정상적으로 지지되어 있는지 여부를 판정한다.
또한, 본 실시형태 1에 따른 기판 반송 장치에서는, 제1 센서와 대향하도록, 제1 지지부재에 설치되어 있는 회귀 반사체를 더 구비하고, 제어 장치는, 인접하는 기판 사이의 공간을 향해, 제1 센서에 광 또는 초음파를 조사시켜, 회귀 반사체에서 반사된 광 또는 초음파에 의해, 기판이 정상적으로 재치되어 있는지 여부를 판정해도 좋다.
또한, 본 실시형태 1에 따른 기판 반송 장치에서는, 제1 센서를 제1 방향을 따라 이동시키도록 구성되어 있는, 제1 구동기를 더 구비하고 있어도 좋다.
또한, 본 실시형태 1에 따른 기판 반송 장치에서는, 제어 장치가, 인접하는 기판 사이의 공간을 향해, 제1 센서에 광 또는 초음파를 조사시켰을 때에, 제1 센서가, 광 또는 초음파를 검지한 경우에는, 기판이 정상적으로 지지되어 있다고 판정하고, 인접하는 기판 사이의 공간을 향해, 제1 센서에 광 또는 초음파를 조사시켰을 때에, 제1 센서가, 광 또는 초음파를 검지하지 않은 경우에는, 기판이 이상하게 지지되어 있다고 판정해도 좋다.
나아가, 본 실시형태 1에 따른 기판 반송 장치에서는, 제1 손톱부재 및 제2 손톱부재는, 각각, 역L자 모양으로 형성되어 있어도 좋다.
이하, 본 실시형태 1에 따른 기판 반송 장치의 일 예에 대하여, 도 1 내지 도 5를 참조하면서 설명한다.
[기판 반송 장치의 구성]
도 1은 본 실시형태 1에 따른 기판 반송 장치의 개략 구성을 나타내는 사시도이다. 도 2는 도 1에 나타내는 기판 반송 장치의 제어 장치의 구성을 개략적으로 나타내는 기능 블록도이다. 또한, 도 1에서는, 기판 반송 장치에서의 상하 방향, 전후 방향 및 좌우 방향을 도면에서의 상하 방향, 전후 방향 및 좌우 방향으로서 표시하고 있다.
도 1에 나타내는 바와 같이, 본 실시형태 1에 따른 기판 반송 장치(1)는, 매니퓰레이터(2)와, 기판 파지 핸드(3)와, 제1 센서(11A, 11A)와, 제1 구동기(12)와, 제어 장치(200)를 구비하고 있고, 후프(90) 내에 수납되어 있는 기판(9)을 제1 지지부재(4A) 및 제2 지지부재(4B)에 의해, 파지(지지)하고, 반송하도록 구성되어 있다. 또한, 기판 반송 장치(1)에서는, 제1 센서(11A, 11A)가, 제1 구동기(12)에 의해, 상하 방향으로 이동하면서, 광 또는 초음파를 조사하여, 기판(9)를 검지하도록 구성되어 있다.
기판(9)은, 예를 들어, 반도체 기판 및 유리 기판 등의 반도체 디바이스의 기판의 재료가 되는 원형의 박판이어도 좋다. 반도체 기판으로서는, 예를 들어, 실리콘 기판, 사파이어(단결정 알루미나) 기판, 기타 각종 기판 등이어도 좋다. 유리 기판으로서는, 예를 들어, FPD(Flat Panel Display)용 유리 기판, MEMS(Micro Electro Mechanical Systems)용 유리 기판 등이어도 좋다.
또한, 이하에서는, 매니퓰레이터(2)로서, 수평 다관절 로봇의 구성에 대하여 설명하지만, 매니퓰레이터(2)는, 수평 다관절 로봇으로 한정되지 않고, 수직 다관절 로봇을 베이스로 한 것이어도 좋다.
매니퓰레이터(2)는, 암(20), 베이스(21), 지지대(22), 지지축(23) 및 축체(24)를 구비하고 있다. 지지대(22)의 내부에는, 제어 장치(200)가 배치되어 있다. 또한, 제어 장치(200)는, 지지대(22)의 내부 이외의 장소에 설치되어 있어도 좋다.
또한, 지지대(22)에는, 지지축(23)이 설치되어 있다. 지지축(23)은, 예를 들어, 볼 스크루 기구, 구동 모터, 구동 모터의 회전 위치를 검출하는 회전 센서 및 구동 모터의 회전을 제어하는 전류를 검출하는 전류 센서 등(모두 미도시)을 가지고 있고, 상하 방향으로 신축 및 회동하도록 구성되어 있다. 또한, 구동 모터는, 예를 들어, 제어 장치(200)에 의해 서보 제어되는 서보 모터여도 좋다. 또한, 회전 센서는, 예를 들어, 인코더여도 좋다.
지지축(23)의 상단부에는, 해당 지지축(23)의 축심을 지나는 회전축의 축 둘레로 회동 가능하게 암(20)의 하단부가 연결되어 있다. 암(20)의 후단부에는, 축체(24)를 통해, 회동 가능하게 베이스(21)의 후단부가 연결되어 있다. 또한, 베이스(21)의 상면에는, 기판 파지 핸드(3)가 배설되어 있다.
또한, 매니퓰레이터(2)는, 축체(24)의 축심 둘레로 베이스(21)를 회전 이동시키기 위한 구동 모터, 동력 전달 기구, 회전 센서 및 전류 센서(모두 미도시)를 가지고 있다. 또한, 구동 모터는, 예를 들어, 제어 장치(200)에 의해 서보 제어되는 서보 모터여도 좋다. 또한, 회전 센서는, 예를 들어, 인코더여도 좋다.
도 2에 나타내는 바와 같이, 제어 장치(200)는, CPU 등의 연산부(200a)와, ROM, RAM 등의 기억부(기억기)(200b)와, 서보 제어부(200c)를 구비한다. 제어 장치(200)는, 예를 들어 마이크로 컨트롤러 등의 컴퓨터를 구비한 로봇 컨트롤러이다.
기억부(200b)에는, 로봇 컨트롤러로서의 기본 프로그램, 각종 고정 데이터 등의 정보가 기억되어 있다. 연산부(200a)는, 기억부(200b)에 기억된 기본 프로그램 등의 소프트웨어를 읽어내어 실행하는 것에 의해, 매니퓰레이터(2)의 각종 동작을 제어한다. 즉, 연산부(200a)는, 매니퓰레이터(2)의 제어 지령을 생성하고, 이를 서보 제어부(200c)에 출력한다. 서보 제어부(200c)는, 연산부(200a)에 의해 생성된 제어 지령에 기초해서, 매니퓰레이터(2)의 지지축(23) 및 축체(24)의 각각에 대응하는 회전축을 회전시키는 서보 모터의 구동을 제어하도록 구성되어 있다.
또한, 제어 장치(200)에는, 제1 센서(11A, 11A)가 검지한 광 정보 또는 초음파 정보가 입력되고, 제어 장치(200)는, 입력된 광 정보 또는 초음파 정보에 기초해서, 기판(9)이 정상적으로 재치되어 있는지 여부를 판정한다.
또한, 제어 장치(200)는, 집중 제어하는 단독의 제어 장치(200)에 의해 구성되어 있어도 좋고, 서로 협동하여 분산 제어하는 복수의 제어 장치(200)에 의해 구성되어 있어도 좋다. 또한, 본 실시형태 1에서는, 기억부(200b)가, 제어 장치(200) 내에 배치되어 있는 형태를 채용했지만, 이에 한정되지 않고, 기억부(200b)가, 제어 장치(200)와 별도로 마련되어 있는 형태를 채용해도 좋다.
다음으로, 기판 파지 핸드(3)의 구성에 대하여, 도 1 및 도 3을 참조하면서, 상세하게 설명한다.
도 3은 도 1에 나타내는 기판 반송 장치의 기판 파지 핸드의 우측면도이다. 도 3에서는, 기판 파지 핸드의 후단측의 일부를 생략하고 있다. 또한, 도 3에서는, 기판 반송 장치에서의 상하 및 전후 방향을 도면에서의 상하 및 전후 방향을 나타내고 있다.
도 1 및 도 3에 나타내는 바와 같이, 기판 파지 핸드(3)는, 베이스(21)의 전단측에 배치되어 있는 제1 본체(31)와, 베이스(21)의 후단측에 배치되어 있는 제2 본체(30)를 가지고 있다. 제1 본체(31)와 제2 본체(30)는, 각각의 내부 공간이 연통하도록 연결되어 있다.
제2 본체(30)의 내부에는, 제1 센서(11A, 11A)를 상하 방향으로 이동시키기 위한 제1 구동기(12)가 배치되어 있다. 제1 구동기(12)로서는, 예를 들어, 서보 모터와, 락 및 피니언 기어 등의 적당한 동력 전달 기구로 구성되어 있어도 좋고, 에어 실린더 등으로 구성되어 있어도 좋다. 또한, 본 실시형태 1에서는, 제1 구동기(12)가 제2 본체(30)의 내부 공간에 배치되어 있는 형태를 채용했지만, 이에 한정되지 않고, 제1 구동기(12)가 제1 본체(31)의 내부 공간에 배치되어 있는 형태를 채용해도 좋다.
제1 본체(31)의 기단(후단) 측의 중앙부에는, 제1 센서(11A, 11A)가 배설되어 있다. 제1 센서(11A)는, 제1 본체(31)의 기단(후단)부에서 선단(전단)부를 향하는 방향인 제2 방향(여기에서는, 전후 방향)을 향해, 광 또는 초음파를 조사하여, 후술하는 회귀 반사체(45)에서 반사된 광 또는 초음파를 검지하도록 구성되어 있다.
또한, 좌측에 배치되어 있는 제1 센서(11A)가, 좌측에 배치되어 있는 제1 지지부재(4A)를 향해, 광 또는 초음파를 조사해도 좋고, 우측에 배치되어 있는 제1 지지부재(4A)를 향해, 광 또는 초음파를 조사해도 좋다. 동일하게, 우측에 배치되어 있는 제1 센서(11A)가, 우측에 배치되어 있는 제1 지지부재(4A)를 향해, 광 또는 초음파를 조사해도 좋고, 좌측에 배치되어 있는 제1 지지부재(4A)를 향해, 광 또는 초음파를 조사해도 좋다. 즉, 한 쌍의 제1 센서(11A, 11A)는, 서로 대략 평행이 되도록 광 또는 초음파를 조사해도 좋고, 서로 크로스하도록 광 또는 초음파를 조사해도 좋다.
또한, 본 실시형태 1에서는, 제1 센서(11A)를 반사형의 센서로 구성되어 있는 형태를 채용했지만, 이에 한정되지 않는다. 제1 센서(11A)를 투과형의 센서로 구성되어 있는 형태를 채용해도 좋다. 이 경우, 제1 본체(31)의 기단부에 광 또는 초음파를 조사하는 조사기를 설치하고, 제1 본체(31)의 선단부에 광 또는 초음파를 검지하는 검지기를 설치한 형태를 채용해도 좋고, 제1 본체(31)의 선단부에 광 또는 초음파를 조사하는 조사기를 설치하고, 제1 본체(31)의 기단부에 광 또는 초음파를 검지하는 검지기를 설치하는 형태를 채용해도 좋다.
또한, 제1 본체(31)의 상면에는, 전단(선단)측에 제1 지지부재(4A, 4A)가 설치되어 있고, 후단(기단)측에 제2 지지부재(4B, 4B)가 설치되어 있다. 구체적으로는, 어느 하나의 제1 지지부재(4A)는, 제1 본체(31)의 좌측 선단부에 설치되어 있고, 다른 하나의 제1 지지부재(4A)는, 제1 본체(31)의 우측 선단부에 설치되어 있다. 또한, 어느 하나의 제2 지지부재(4B)는, 제1 본체(31)의 좌측 기단부에 설치되어 있고, 다른 하나의 제2 지지부재(4B)는, 제1 본체(31)의 우측 기단부에 설치되어 있다.
제1 지지부재(4A, 4A) 및 제2 지지부재(4B, 4B)는, 각각, 후술하는 제2 구동기(13)에 의해, 전후 및 상하 방향으로 이동 가능하게 구성되어 있다. 그리고 도 3에 나타내는 바와 같이, 제1 지지부재(4A)는, 복수(여기에서는, 5개)의 제1 손톱부(40A~40E)를 가지고 있고, 제2 지지부재(4B)는, 복수(여기에서는, 5개)의 제2 손톱부(50A~50E)를 가지고 있다. 제1 손톱부(40A~40E)는, 좌우 방향에서 보아, 역L자 모양으로 형성되어 있다. 동일하게, 제2 손톱부(50A~50E)는, 좌우 방향에서 보아, 역L자 모양으로 형성되어 있다.
여기에서, 제1 지지부재(4A)의 제1 손톱부(40A~40E)에 대하여, 도 3 내지 도 4를 참조하면서, 상세하게 설명한다. 또한, 제2 지지부재(4B)의 제2 손톱부(50A~50E)는, 제1 지지부재(4A)의 제1 손톱부(40A~40E)와 동일하게 구성되어 있으므로, 그 상세한 설명은 생략한다. 또한, 이하에서는, 좌측에 배치되어 있는 제1 지지부재(4A)의 제1 손톱부(40A~40E)에 대하여, 설명한다.
도 4는 도 1에 나타내는 기판 반송 장치의 제1 지지부재의 개략 구성을 나타내는 사시도이다.
도 4에 나타내는 바와 같이, 제1 손톱부(40A)는, 기둥 모양의 제1 부분(41A)과, 제1 부분(41A)의 상부에 마련되어 있는 가이드 부분(42A)을 가지고 있다. 동일하게, 제1 손톱부(40B~40E)는, 각각, 기둥 모양의 제1 부분(41B~41E)과, 가이드 부분(42B~42E)을 가지고 있다. 가이드 부분(42A)은, 후단측이 계단 모양으로 형성되어 있고, 그 저면(43A)에 기판(9)의 하면의 둘레부가 재치된다.
제1 손톱부(40A~40E)는, 제2 구동기(13)에 의해, 기판(9)의 두께 방향인 제1 방향(여기에서는, 상하 방향)을 따라, 서로 소정의 간격을 두고 위치하도록(배치되도록), 승강한다. 동일하게, 제2 손톱부(50A~50E)는, 제2 구동기(13)에 의해, 상하 방향을 따라, 서로 소정의 간격을 두로 위치하도록, 승강한다.
보다 상세하게는, 제1 손톱부(40A~40E)는, 수평 방향에서 보아, 제2 구동기(13)에 의해, 가이드 부분(42A~42E)이, 상하 방향을 따라, 서로 소정의 간격을 갖도록, 승강한다. 동일하게, 제2 손톱부(50A~50E)는, 수평 방향에서 보아, 제2 구동기(13)에 의해, 가이드 부분이, 상하 방향을 따라, 서로 소정의 간격을 갖도록, 승강한다.
제2 구동기(13)로서는, 예를 들어, 서보 모터와 적당한 동력 전달 기구로 구성되어 있어도 좋고, 에어 실린더 등으로 구성되어 있어도 좋다. 또한, 본 실시형태 1에서는, 제1 지지부재(4A) 및 제2 지지부재(4B)를 승강시키는 타이밍과, 제1 센서(11A)를 승강시키는 타이밍을 어긋나게 하는 것이 가능하면, 제2 구동기(13)에 의해, 제1 센서(11A)와 제1 지지부재(4A) 및 제2 지지부재(4B)를 승강시켜도 좋다. 즉, 제2 구동기(13)가 제1 구동기(12)의 기능을 겸하는 형태를 채용해도 좋다.
또한, 본 실시형태 1에서는, 제1 지지부재(4A)는, 제1 손톱부(40A~40E)의 순서로, 그 높이가 작아지도록 배치된다. 동일하게, 제2 지지부재(4B)는, 제2 손톱부(50A~50E)의 순서로, 그 높이가 작아지도록, 배치된다. 즉, 제1 손톱부(40A) 및 제2 손톱부(50A)가 가장 상방에 위치하고, 제1 손톱부(40E) 및 제2 손톱부(50E)가 가장 하방에 위치하도록, 제2 구동기(13)에 의해, 구동된다.
제1 부분(41A)의 후단측의 측면에는, 회귀 반사체(45)가 배설되어 있다. 회귀 반사체(45)로서는, 공지의 광 또는 초음파를 반사하는 반사판 등을 이용할 수 있다. 또한, 본 실시형태 1에서는, 제1 손톱부(40A)의 제1 부분(41A)에, 회귀 반사체(45)가 배설되어 있는 형태를 채용했지만, 이에 한정되지 않는다. 제1 부분(41A~41E)의 각각에, 회귀 반사체(45)가 배설되어 있는 형태를 채용해도 좋고, 제1 지지부재(4A)와는 별도로, 회귀 반사체(45)가 기판 파지 핸드(3)의 선단부에 배설되어 있는 형태를 채용해도 좋다.
[기판 반송 장치의 동작 및 작용 효과]
다음으로, 본 실시형태 1에 따른 기판 반송 장치(1)의 동작 및 작용 효과에 대하여, 도 1 내지 도 5를 참조하면서 설명한다. 또한, 기판 반송 장치(1)의 매니퓰레이터(2)가, 복수의 공정으로 이루어진 일련의 작업을 수행하는 동작에 대해서는, 공지의 매니퓰레이터와 동일하게 실행되므로, 그 상세한 설명은 생략한다. 또한, 이하의 동작은, 제어 장치(200)의 연산부(200a)가, 기억부(200b)에 저장되어 있는 프로그램을 읽어내는 것에 의해 실행된다.
도 5는 본 실시형태 1에 따른 기판 반송 장치의 동작의 일 예를 나타내는 플로 차트이다.
먼저, 제어 장치(200)에, 작업자로부터 도시되지 않은 입력 장치를 통해, 일련의 작업을 실행하는 것을 나타내는 지시 정보가 입력되었다고 한다. 그러면, 도 5에 나타내는 바와 같이, 제어 장치(200)는, 매니퓰레이터(2)를 동작시켜, 기판 파지 핸드(3)가 후프(90)의 전방에 위치할 때까지 이동시킨다(S101 단계). 이때, 제어 장치(200)는, 기판 파지 핸드(3)가 파지할 기판(9)이 재치되어 있는 부분보다 하방에 위치하도록, 매니퓰레이터(2)를 동작시킨다.
다음으로, 제어 장치(200)는, 기판 파지 핸드(3)가 후프(90) 내의 기판(9)의 하방에 위치할 때까지, 매니퓰레이터(2)를 동작시킨다(S102 단계). 이때, 제어 장치(200)는, 기판 파지 핸드(3)가 가이드 부분으로 기판(9)을 재치할 수 있는 위치까지, 기판 파지 핸드(3)를 후프(90) 내에 진입시킨다.
다음으로, 제어 장치(200)는, 기판 파지 핸드(3)가 상방으로 이동하도록, 매니퓰레이터(2)를 동작시켜, 기판(9)을 가이드 부분의 저면에 재치시키고, 기판(9)을 들어 올려, 기판(9)을 기판 파지 핸드(3)로 지지시킨다(S103 단계).
다음으로, 제어 장치(200)는, 제1 구동기(12)에 의해, 제1 센서(11A, 11A)를 승강시킨다(S104 단계). 이어서, 제어 장치(200)는, 제1 센서(11A, 11A)가 승강하고 있을 때에, 제1 센서(11A)에 광 또는 초음파를 조사시켜, 회귀 반사체(45)에서 반사한 광 또는 초음파를 검지시킨다(S105 단계).
이때, 제어 장치(200)는, 제1 센서(11A)의 위치 정보를 취득할 수 있는 경우에는, 해당 위치 정보와 함께, 제1 센서(11A)가 검지한 광 또는 초음파 정보를 취득해도 좋다.
다음으로, 제어 장치(200)는, S105 단계에서 제1 센서(11A)가 검지한 광 또는 초음파 정보를 기초로, 기판(9)이 정상적으로(수평 상태로) 지지(재치)되어 있는지 여부를 판정한다. 구체적으로는, 제어 장치(200)는, 제1 센서(11A)가, 인접하는 기판(9, 9) 사이의 공간을 향해, 광 또는 초음파를 조사했을 때에, 제1 센서(11A)가, 회귀 반사체(45)에서 반사한 광 또는 초음파를 검지했는지 여부에 의해, 기판(9)이 정상적으로 지지되어 있는지 여부를 판정한다(S106 단계).
여기에서, 도 3을 참조하면서, 기판(9)이 정상적으로 지지되어 있는지 여부의 판정 방법에 대하여, 설명한다.
도 3의 실선으로 표시되는 바와 같이, 기판(9)이 수평 상태로 재치되어 있는(정상적으로 지지되어 있는) 경우에는, 제1 센서(11A)가, 인접하는 기판(9, 9) 사이의 공간을 향해, 광 또는 초음파를 조사하면, 제1 센서(11A)에서 조사된 광 또는 초음파는, 일점쇄선으로 나타내는 바와 같이, 회귀 반사체(45)에 도달하여, 거기서 반사하고, 반사한 광 또는 초음파는, 제1 센서(11A)까지 도달할 수 있다. 따라서 제1 센서(11A)는, 회귀 반사체(45)에서 반사한 광 또는 초음파를 검지할 수 있다.
한편, 도 3의 이점쇄선으로 표시되는 바와 같이, 기판(9)이 기울어져 재치되어 있는(이상하게 지지되어 있는) 경우에는, 제1 센서(11A)가, 인접하는 기판(9, 9) 사이의 공간을 향해, 광 또는 초음파를 조사하면, 제1 센서(11A)에서 조사된 광 또는 초음파는, 기판(9)에 막혀, 회귀 반사체(45)에 도달할 수 없다. 따라서 제1 센서(11A)는, 회귀 반사체(45)에서 반사한 광 또는 초음파를 검지할 수 있다.
따라서, 제어 장치(200)는, 인접하는 기판(9, 9) 사이의 공간을 향해, 제1 센서(11A)에 광 또는 초음파를 조사시켰을 때에, 제1 센서(11A)가, 회귀 반사체(45)에서 반사한 광 또는 초음파를 검지했는지 여부에 의해, 기판(9)이 정상적으로 지지되어 있는지 여부를 판정할 수 있다.
또한, 제어 장치(200)는, 제1 센서(11A)의 위치 정보를 취득할 수 있는 경우에는, 해당 위치 정보와 함께 제1 센서(11A)에서 취득한 광 또는 초음파 정보를 기초로, 기판(9)이 정상적으로 지지되어 있는지 여부를 판정해도 좋다.
또한, 제어 장치(200)는, 제1 센서(11A)에서 광 또는 초음파 정보를 취득한 횟수와, 인접하는 기판(9, 9) 사이의 수를 비교하는 것에 의해, 기판(9)이 정상적으로 지지되어 있는지 여부를 판정해도 좋다. 구체적으로는, 제어 장치(200)는, 제1 센서(11A)에서 광 또는 초음파 정보를 취득한 횟수와, 인접하는 기판(9, 9) 사이의 수가, 일치하는 경우에는, 기판(9)이 정상적으로 지지되어 있다고 판정하고, 제1 센서(11A)에서 광 또는 초음파 정보를 취득한 횟수가, 인접하는 기판(9, 9) 사이의 수보다 적은 경우에는, 기판(9)이 이상하게 지지되어 있다(예를 들어, 기판(9)이 기울어져 지지되어 있다)고 판정한다.
이와 같은 판정 방법으로 하면, 제1 센서(11A)의 위치 정보가 취득할 수 없는 경우에도, 기판(9)이 정상적으로 지지되어 있는지 여부를 판정할 수 있다.
그리고 도 5에 나타내는 바와 같이, 제어 장치(200)는, 제1 센서(11A)가, 인접하는 기판(9, 9) 사이의 공간을 향해, 광 또는 초음파를 조사했을 때에, 제1 센서(11A)를 통해 회귀 반사체(45)에서 반사한 광 또는 초음파 정보를 취득한 경우(S106 단계에서 Yes)에는, 기판(9)이 정상적으로 지지되어 있다고 판정한다(S107 단계). 그 후, 제어 장치(200)는, 매니퓰레이터(2)를 동작시켜, 기판(9)을 다음의 처리를 실행하는 장치 등으로 반송시키고, 본 프로그램을 종료한다.
한편, 제어 장치(200)는, 제1 센서(11A)가, 인접하는 기판(9, 9) 사이의 공간을 향해, 광 또는 초음파를 조사했을 때에, 제1 센서(11A)를 통해 회귀 반사체(45)에서 반사한 광 또는 초음파 정보를 취득하지 않은 경우(S106 단계에서 No)에는, 기판(9)이 이상하게 지지되어 있다고 판정한다(S108 단계). 이어서, 제어 장치(200)는, 도시되지 않은 통지기(예를 들어, 디스플레이 등의 표시 장치, 스피커, 사이렌 등)에 의해, 기판(9)이 이상하게 재치되어 있는 것을 작업자 등에 통지시키고(S109 단계), 본 프로그램을 종료한다.
이와 같이 구성된, 본 실시형태 1에 따른 기판 반송 장치(1)에서는, 제어 장치(200)가, 인접하는 기판(9, 9) 사이의 공간을 향해, 제1 센서(11A)에 광 또는 초음파를 조사시키고, 기판(9)이 정상적으로 지지되어 있는지 여부를 판정한다. 이에 따라, 간단하게, 인접하는 기판(9, 9) 사이의 공간을 향해, 제1 센서(11A)에 광 또는 초음파를 조사시키는 것만으로, 기판(9)이 정상적으로 지지되어 있는지 여부를 판정할 수 있다.
따라서 상기 특허문헌 1에 개시되어 있는 물품 이재 장치와 같이, 물품(기판)에 오목부를 형성하는 공정이 불필요해지고, 반도체 웨이퍼의 제조 작업의 효율화를 도모할 수 있다.
또한, 본 실시형태 1에 따른 기판 반송 장치(1)에서는, 회귀 반사체(45)를 제1 지지부재(4A)의 제1 손톱부(40A)에 배설하고 있다. 이에 따라, 상기 특허문헌 1에 개시되어 있는 물품 이재 장치와 같이, 물품이 재치되면 반사체를 가압시키는 기구를 설치할 필요가 없고, 간단한 구성으로, 기판(9)이 정상적으로 지지되어 있는지 여부를 판정할 수 있다.
(실시형태 2)
본 실시형태 2에 따른 기판 반송 장치는, 실시형태 1에 따른 기판 반송 장치에서, 제1 손톱부 및 제2 손톱부를 제1 방향을 따라 이동시키도록 구성되어 있다. 제2 구동기를 더 구비하고, 제어 장치는, 인접하는 기판의 간격을 변동하도록, 제2 구동기를 제어한다.
또한, 본 실시형태 2에 따른 기판 반송 장치에서는, 제1 센서는, 인접하는 기판의 간격이 변동되면, 변동 전과는 다른, 인접하는 기판 사이의 공간을 향해, 광 또는 초음파를 조사하도록 구성되어 있어도 좋다.
또한, 본 실시형태 2에 따른 기판 반송 장치에서는, 제1 센서가, 제2 손톱부에 설치되어 있어도 좋다.
나아가, 본 실시형태 2에 따른 기판 반송 장치에서는, 회귀 반사체가, 가장 높이가 높은 제1 손톱부에 설치되고, 제1 센서는, 가장 높이가 높은 제2 손톱부에 설치되어 있어도 좋다.
이하, 본 실시형태 2에 따른 기판 반송 장치의 일 예에 대하여, 도 6 내지 도 9를 참조하면서 설명한다.
[기판 반송 장치의 구성]
도 6 내지 도 8은 본 실시형태 2에 따른 기판 반송 장치의 요부의 개략 구성을 나타내는 모식도이고, 도 6은 인접하는 기판의 간격이 가장 작은 상태를 나타내는 모식도이고, 도 8은 인접하는 기판의 간격이 가장 큰 상태를 나타내는 모식도이다. 또한, 도 7은 인접하는 기판의 간격이 가장 작은 상태와 가장 큰 상태 사이의 상태를 나타내는 모식도이다. 또한, 도 6 내지 도 8에서는, 기판 반송 장치에서의 상하 및 전후 방향을 도면에서의 상하 및 전후 방향으로 나타내고 있다.
도 6 내지 도 8에 나타내는 바와 같이, 본 실시형태 2에 따른 기판 반송 장치(1)는, 실시형태 1에 따른 기판 반송 장치(1)와 기본적 구성은 동일하지만, 제1 센서(11A, 11B)가, 제2 지지부재(4B)의 제2 손톱부(50A)에 배설되어 있는 점이 다르다.
또한, 본 실시형태 2에 따른 기판 반송 장치(1)에서는, 제1 센서(11A, 11B)가, 제2 지지부재(4B)의 제2 손톱부(50A)에 배설되어 있으므로, 제1 센서(11A, 11B)가, 제2 지지부재(4B)의 승강과 함께 이동한다.
나아가, 본 실시형태 2에 따른 기판 반송 장치(1)에서는, 제어 장치(200)가, 인접하는 기판(9, 9)의 간격을 변동하도록, 제2 구동기(13)를 제어한다. 구체적으로는, 제어 장치(200)는, 제1 지지부재(4A)의 제1 손톱부(40A~40D)와, 제2 지지부재(4B)의 제2 손톱부(50A~50D)의 높이를 변동하도록, 제2 구동기(13)를 구동시킨다.
이에 따라, 제1 센서(11A, 11B)는, 인접하는 기판(9, 9)의 간격이 변동되면, 변동 전과는 다른, 인접하는 기판(9, 9) 사이의 공간을 향해, 광 또는 초음파를 조사할 수 있다.
[기판 반송 장치의 동작 및 작용 효과]
다음으로, 본 실시형태 2에 따른 기판 반송 장치(1)의 동작 및 작용 효과에 대하여, 도 6 내지 도 9를 참조하면서 설명한다. 또한, 이하의 동작은, 제어 장치(200)의 연산부(200a)가, 기억부(200b)에 저장되어 있는 프로그램을 읽어내는 것에 의해 실행된다.
도 9는 본 실시형태 2에 따른 기판 반송 장치의 동작의 일 예를 나타내는 플로 차트이다.
먼저, 제어 장치(200)에, 작업자로부터 도시되지 않은 입력 장치를 통해, 일련의 작업을 실행하는 것을 나타내는 지시 정보가 입력되었다고 한다. 그러면, 도 9에 나타내는 바와 같이, 제어 장치(200)는, 매니퓰레이터(2)를 동작시켜, 기판 파지 핸드(3)가 후프(90)의 전방에 위치할 때까지 이동시킨다(S201 단계). 이때, 제어 장치(200)는, 기판 파지 핸드(3)가 파지할 기판(9)이 재치되어 있는 부분보다 하방에 위치하도록, 매니퓰레이터(2)를 동작시킨다.
다음으로, 제어 장치(200)는, 기판 파지 핸드(3)가 후프(90) 내의 기판(9)의 하방에 위치할 때까지, 매니퓰레이터(2)를 동작시킨다(S202 단계). 이때, 제어 장치(200)는, 기판 파지 핸드(3)가 가이드 부분으로 기판(9)을 재치할 수 있는 위치까지, 기판 파지 핸드(3)를 후프(90) 내에 진입시킨다.
다음으로, 제어 장치(200)는, 기판 파지 핸드(3)가 상방으로 이동하도록, 매니퓰레이터(2)를 동작시켜, 기판(9)을 가이드 부분의 저면에 재치시키고, 기판(9)을 들어 올려, 기판(9)을 기판 파지 핸드(3)로 지지시킨다(S203 단계).
다음으로, 제어 장치(200)는, 기판(9, 9) 사이의 간격을 변동하도록, 제2 구동기(13)를 구동시킨다(S204 단계). 구체적으로는, 제어 장치(200)는, 제1 지지부재(4A)의 제1 손톱부(40A~40D)와, 제2 지지부재(4B)의 제2 손톱부(50A~50D)의 높이가 변동하도록, 제2 구동기(13)에 의해, 제1 지지부재(4A) 및 제2 지지부재(4B)를 승강시킨다.
다음으로, 제어 장치(200)는, 제1 지지부재(4A) 및 제2 지지부재(4B)가 승강하고 있을 때에, 제1 센서(11A, 11B)에 광 또는 초음파를 조사시켜, 회귀 반사체(45)에서 반사한 광 또는 초음파를 검지시킨다(S205 단계).
이때, 제어 장치(200)는, 제1 센서(11A, 11B)의 위치 정보를 취득할 수 있는 경우에는, 해당 위치 정보와 함께, 제1 센서(11A, 11B)가 검지한 광 또는 초음파 정보를 취득해도 좋다.
다음으로, 제어 장치(200)는, S205 단계에서 제1 센서(11A, 11B)가 검지한 광 또는 초음파 정보를 기초로, 기판(9)이 정상적으로(수평 상태로) 지지(재치)되어 있는지 여부를 판정한다. 구체적으로는, 제어 장치(200)는, 제1 센서(11A, 11B)가, 인접하는 기판(9, 9) 사이의 공간을 향해, 광 또는 초음파를 조사했을 때에, 제1 센서(11A, 11B)가, 회귀 반사체(45)에서 반사한 광 또는 초음파를 검지했는지 여부에 의해, 기판(9)이 정상적으로 지지되어 있는지 여부를 판정한다(S206 단계).
여기에서, 도 6 내지 도 8을 참조하면서, 기판(9)이 정상적으로 지지되어 있는지 여부의 판정 방법에 대하여, 설명한다.
먼저, 도 6 내지 도 8에 나타내는 바와 같이, 인접하는 기판(9, 9) 사이의 공간을 아래쪽에서 위쪽 순으로 제1 공간(71), 제2 공간(72), 제3 공간(73), 제4 공간(74)이라고 한다. 또한, 도 6에 나타내는 바와 같이, 인접하는 기판(9, 9) 사이의 간격이 가장 작은 상태일 때에, 제1 센서(11A)가, 제3 공간(73)을 향해, 광 또는 초음파를 조사할 수 있도록 배설되어 있고, 제1 센서(11B)가 제1 공간(71)을 향해, 광 또는 초음파를 조사할 수 있도록 배설되어 있다.
그리고 도 7에 나타내는 바와 같이, 제2 구동기(13)가, 기판(9, 9) 사이의 간격을 커지게 하도록 구동하면, 제1 센서(11B)는, 제2 공간(72)을 향해 광 또는 초음파를 조사할 수 있다.
또한, 이때, 제1 센서(11A)는, 제1 손톱부(40B) 및 제2 손톱부(50B)에 재치되어 있는 기판(9)을 향해, 광 또는 초음파를 조사하고 있지만, 제어 장치(200)는, 제1 센서(11A)가 검지한 광 또는 초음파 정보를 취득하는 것에 의해, 기판(9)이 정상적으로 지지되어 있다고 판정해도 좋다. 또한, 제어 장치(200)는, 제1 센서가, 기판(9)을 향해, 광 또는 초음파를 조사했을 때에, 제1 센서가 검지한 광 또는 초음파 정보를 취득하지 않고, 인접하는 기판(9, 9) 사이의 공간을 향해, 광 또는 초음파를 조사했을 때만, 제1 센서를 통해 광 또는 초음파 정보를 취득하는 것에 의해, 기판(9)이 정상적으로 지지되어 있다고 판정해도 좋다.
나아가, 도 8에 나타내는 바와 같이, 제2 구동기(13)가, 기판(9, 9) 사이의 간격을 최대로 하도록 구동하면, 제1 센서(11A)는, 제4 공간(74)을 향해, 광 또는 초음파를 조사할 수 있고, 제1 센서(11B)는, 제3 공간(73)을 향해, 광 또는 초음파를 조사할 수 있다.
이와 같이, 본 실시형태 2에 따른 기판 반송 장치(1)에서는, 기판(9, 9) 사이의 간격을 변동하도록, 제2 구동기(13)를 구동시키는 것에 의해, 제1 센서는, 다른 인접하는 기판(9, 9) 사이의 공간을 향해, 광 또는 초음파를 조사할 수 있다. 그리고 본 실시형태 2에 따른 기판 반송 장치(1)에서는, 제1 센서(11A, 11B)는, 4개의 인접하는 기판(9, 9) 사이의 공간(제1 공간(71)~제4 공간(74))을 향해, 광 또는 초음파를 조사할 수 있다.
따라서 도 6 내지 도 8의 실선으로 표시되는 바와 같이, 기판(9)이 수평 상태로 재치되어 있는(정상적으로 지지되어 있는) 경우에는, 제1 센서(11A, 11B)가, 인접하는 기판(9, 9) 사이의 공간을 향해, 광 또는 초음파를 조사하면, 제1 센서(11A, 11B)에서 조사된 광 또는 초음파는, 일점쇄선으로 나타내는 바와 같이, 회귀 반사체(45)에 도달하여, 거기서 반사하고, 반사한 광 또는 초음파는 제1 센서(11A, 11B)까지 도달할 수 있다. 따라서 제1 센서(11A, 11B)는, 회귀 반사체(45)에서 반사한 광 또는 초음파를 검지할 수 있다.
한편, 도 6 내지 도 8의 이점쇄선으로 표시되는 바와 같이, 기판(9)이 기울어져 재치되어 있는(이상하게 지지되어 있는) 경우에는, 제1 센서(11A, 11B)가, 인접하는 기판(9, 9) 사이의 공간을 향해, 광 또는 초음파를 조사하면, 제1 센서(11A, 11B)에서 조사된 광 또는 초음파는, 기판(9)에 막혀, 회귀 반사체(45)에 도달할 수 없다. 따라서 제1 센서(11A, 11B)는, 회귀 반사체(45)에서 반사한 광 또는 초음파를 검지할 수 있다.
따라서, 제어 장치(200)는, 인접하는 기판(9, 9) 사이의 공간을 향해, 제1 센서(11A, 11B)에 광 또는 초음파를 조사시켰을 때에, 제1 센서(11A, 11B)가, 회귀 반사체(45)에서 반사한 광 또는 초음파를 검지했는지 여부에 의해, 기판(9)이 정상적으로 지지되어 있는지 여부를 판정할 수 있다.
또한, 본 실시형태 2에서는, 인접하는 기판(9, 9) 사이의 간격이 가장 작은 상태일 때에, 제1 센서(11A)가, 제3 공간(73)을 향해, 광 또는 초음파를 조사할 수 있도록 배설되어 있고, 제1 센서(11B)가, 제1 공간(71)을 향해, 광 또는 초음파를 조사할 수 있도록 배설되어 있는 형태를 채용했지만, 이에 한정되지 않는다. 제1 센서의 배치 위치는, 제1 센서의 배치수, 기판(9)의 지지수 및 인접하는 기판(9, 9)의 간격의 크기 등에 의해, 적당하게, 설정할 수 있다.
그리고 도 9에 나타내는 바와 같이, 제어 장치(200)는, 제1 센서(11A, 11B)가, 인접하는 기판(9, 9) 사이의 공간을 향해, 광 또는 초음파를 조사했을 때에, 제1 센서(11A, 11B)를 통해 회귀 반사체(45)에서 반사한 광 또는 초음파 정보를 취득한 경우(S206 단계에서 Yes)에는, 기판(9)이 정상적으로 지지되어 있다고 판정한다(S207 단계). 그 후, 제어 장치(200)는, 매니퓰레이터(2)를 동작시켜, 기판(9)을 다음의 처리를 실행하는 장치 등으로 반송시키고, 본 프로그램을 종료한다.
한편, 제어 장치(200)는, 제1 센서(11A, 11B)가, 인접하는 기판(9, 9) 사이의 공간을 향해, 광 또는 초음파를 조사했을 때에, 제1 센서(11A, 11B)를 통해 회귀 반사체(45)에서 반사한 광 또는 초음파 정보를 취득하지 않은 경우(S206 단계에서 No)에는, 기판(9)이 이상하게 지지되어 있다고 판정한다(S208 단계). 이어서, 제어 장치(200)는, 도시되지 않은 통지기(예를 들어, 디스플레이 등의 표시 장치, 스피커, 사이렌 등)에 의해, 기판(9)이 이상하게 재치되어 있는 것을 작업자 등에 통지시키고(S209 단계), 본 프로그램을 종료한다.
이와 같이 구성된, 본 실시형태 2에 따른 기판 반송 장치(1)여도, 실시형태 1에 따른 기판 반송 장치(1)와 동일한 작용 효과를 갖는다.
또한, 본 실시형태 2에 따른 기판 반송 장치(1)에서는, 제1 센서(11A, 11B)가, 제2 지지부재(4B)에 배설되어 있으므로, 제2 지지부재(4B)의 승강에 따라, 제1 센서(11A, 11B)를 승강시킬 수 있다. 따라서 더욱 간이한 구성에 의해, 기판(9)이 정상적으로 지지되어 있는지 여부를 판정할 수 있다.
또한, 본 실시형태 2에서는, 제1 센서(11A, 11B)의 광 또는 초음파를 조사하는 조사부와, 회귀 반사체(45)에서 반사된 광 또는 초음파를 검지하는 검지부가 상하 방향으로 나열되도록 배치하는 형태를 채용했지만, 이에 한정되지 않는다. 조사부와, 검지부가 수평 방향(기판 반송 장치(1)의 좌우 방향)으로 나열되도록 배치하는 형태를 채용해도 좋다.
[변형례 1]
다음으로, 본 실시형태 2에 따른 기판 반송 장치(1)의 변형례에 대하여, 설명한다.
[기판 반송 장치의 구성]
도 10 내지 도 12는 본 실시형태 2의 변형례 1의 기판 반송 장치의 요부의 개략 구성을 나타내는 모식도이고, 도 10은 인접하는 기판의 간격이 가장 작은 상태를 나타내는 모식도이고, 도 12는 인접하는 기판의 간격이 가장 큰 상태를 나타내는 모식도이다. 또한, 도 11은 인접하는 기판의 간격이 가장 작은 상태와 가장 큰 상태의 사이의 상태를 나타내는 모식도이다. 또한, 도 10 내지 도 12에서는, 기판 반송 장치에서의 상하 및 전후 방향을 도면에서의 상하 및 전후 방향으로 나타내고 있다.
도 10 내지 도 12에 나타내는 바와 같이, 본 실시형태 2의 변형례 1의 기판 반송 장치(1)는, 실시형태 2에 따른 기판 반송 장치(1)와 기본적 구성은 동일하지만, 제1 센서(11A, 11B)가, 제2 지지부재(4B)의 제2 손톱부(50A)와는 별도로, 독립해서 배설되어 있는 점이 다르다.
또한, 본 변형례 1의 기판 반송 장치(1)에서는, 제1 센서(11A, 11B)가, 제2 지지부재(4B)의 제2 손톱부(50A)에 배설되어 있지 않으므로, 제1 센서(11A, 11B)가, 제2 지지부재(4B)의 승강과 함께 이동하지 않는다. 즉, 본 변형례 1의 기판 반송 장치(1)에서는, 제1 센서(11A, 11B)는, 상하 방향으로 이동하지 않는 형태를 예시하고 있다.
나아가, 본 변형례 1의 기판 반송 장치(1)에서는, 제1 센서(11A, 11B)의 광 또는 초음파를 조사하는 조사부와, 회귀 반사체(45)에서 반사된 광 또는 초음파를 검지하는 검지부가 수평 방향으로 나열되도록 배치되어 있다.
[기판 반송 장치의 동작 및 작용 효과]
다음으로, 본 변형례 1의 기판 반송 장치(1)의 동작 및 작용 효과에 대하여, 도 10 내지 도 12를 참조하면서 설명한다. 또한, 본 변형례 1의 기판 반송 장치(1)의 동작은, 실시형태 2에 따른 기판 반송 장치(1)와 동일하게 동작하므로, 그 상세한 설명은 생략한다.
상술한 바와 같이, 본 변형례 1의 기판 반송 장치(1)에서는, 제1 센서(11A, 11B)가, 제2 지지부재(4B)의 제2 손톱부(50A)에 배설되어 있지 않고, 또한, 상하 방향으로 이동하지 않는다. 이와 같이 구성되어 있는 본 변형례 1의 기판 반송 장치(1)여도, 기판(9)이 정상적으로 지지되어 있는지 여부를 판정할 수 있는 이유에 대하여, 도 10 내지 도 12를 참조하면서, 설명한다.
먼저, 도 10에 나타내는 바와 같이, 인접하는 기판(9, 9) 사이의 간격이 가장 작은 상태일 때에, 제1 센서(11A)가, 제4 공간(74)을 향해, 광 또는 초음파를 조사할 수 있도록 배설되어 있고, 제1 센서(11B)가, 제1 손톱부(40D) 및 제2 손톱부(50D)에 재치되어 있는 기판(9)을 향해, 광 또는 초음파를 조사하도록 배설되어 있다.
그리고 도 11에 나타내는 바와 같이, 제2 구동기(13)가, 기판(9, 9) 사이의 간격을 커지게 하도록 구동하면, 제1 센서(11A)는, 제3 공간(73)을 향해, 광 또는 초음파를 조사할 수 있고, 제1 센서(11B)는, 제1 공간(71)을 향해, 광 또는 초음파를 조사할 수 있다.
나아가, 도 12에 나타내는 바와 같이, 제2 구동기(13)가, 기판(9, 9) 사이의 간격을 최대로 하도록 구동하면, 제1 센서(11A)는, 제2 공간(72)을 향해, 광 또는 초음파를 조사할 수 있고, 제1 센서(11B)는, 제1 공간(71)을 향해, 광 또는 초음파를 조사할 수 있다.
이와 같이, 본 변형례 1의 기판 반송 장치(1)여도, 기판(9, 9) 사이의 간격을 변동하도록, 제2 구동기(13)를 구동시키는 것에 의해, 제1 센서는, 다른 인접하는 기판(9, 9) 사이의 공간을 향해, 광 또는 초음파를 조사할 수 있다.
따라서 본 변형례 1의 기판 반송 장치(1)여도, 실시형태 2에 따른 기판 반송 장치(1)와 동일한 작용 효과를 갖는다.
또한, 본 변형례 1의 기판 반송 장치(1)에서는, 제1 센서(11A, 11B)의 광 또는 초음파를 조사하는 조사부와, 회귀 반사체(45)에서 반사된 광 또는 초음파를 검지하는 검지부가 수평 방향(기판 반송 장치(1)의 좌우 방향)으로 나열되도록 배치하는 형태를 채용했지만, 이에 한정되지 않는다. 조사부와 검지부가 상하 방향으로 나열되도록 배치하는 형태를 채용해도 좋다.
[변형례 2]
[기판 반송 장치의 구성]
도 13 내지 도 15는 본 실시형태 2의 변형례 2의 기판 반송 장치의 요부의 개략 구성을 나타내는 모식도이고, 도 13은 인접하는 기판의 간격이 가장 작은 상태를 나타내는 모식도이고, 도 15는 인접하는 기판의 간격이 가장 큰 상태를 나타내는 모식도이다. 또한, 도 14는 인접하는 기판의 간격이 가장 작은 상태와 가장 큰 상태의 사이의 상태를 나타내는 모식도이다. 또한, 도 13 내지 도 15에서는, 기판 반송 장치에서의 상하 및 전후 방향을 도면에서의 상하 및 전후 방향으로 나타내고 있다.
도 13 내지 도 15에 나타내는 바와 같이, 본 변형례 2의 기판 반송 장치(1)는, 실시형태 2에 따른 기판 반송 장치(1)와 기본적 구성은 동일하지만, 제1 센서(11A)가, 제2 지지부재(4B)의 제2 손톱부(50A)와 별도로, 독립해서 배설되어 있는 점이 다르다.
또한, 본 변형례 2의 기판 반송 장치(1)에서는, 제1 센서(11A)가, 제1 구동기(12)에 의해, 승강되도록 구성되어 있다.
나아가, 본 변형례 2의 기판 반송 장치(1)에서는, 제1 센서(11A)의 광 또는 초음파를 조사하는 조사부와, 회귀 반사체(45)에서 반사된 광 또는 초음파를 검지하는 검지부가 수평 방향으로 나열되도록 배치되어 있다.
또한, 제1 센서는, 실시형태 1에 따른 기판 반송 장치(1)와 같이, 한 쌍의 제1 센서(11A, 11A)가 소정의 간격을 두고, 제1 본체(31)에 배치되어 있어도 좋다. 또한, 제1 센서(11A)는, 제2 본체(30)의 앞측 측면에 끼워 넣어지도록, 배치되어 있어도 좋다.
[기판 반송 장치의 동작 및 작용 효과]
다음으로, 본 변형례 2의 기판 반송 장치(1)의 동작 및 작용 효과에 대하여, 도 13 내지 도 16을 참조하면서 설명한다.
도 16은 본 실시형태 2의 변형례 2의 기판 반송 장치의 동작의 일 예를 나타내는 플로 차트이다.
도 16에 나타내는 바와 같이, 본 변형례 2의 기판 반송 장치(1)의 동작은, 실시형태 2에 따른 기판 반송 장치(1)의 동작과 기본적으로 동일하지만, S205 단계에 대신하여, S205A 단계가 실행되는 점이 다르다.
구체적으로는, 제어 장치(200)는, 제2 구동기(13)를 구동시키는 것에 의해, 제1 지지부재(4A) 및 제2 지지부재(4B)가 승강하고 있을 때에, 제1 센서(11A)를 승강시키고, 또한, 제1 센서(11A)에 광 또는 초음파를 조사시켜, 회귀 반사체(45)에서 반사한 광 또는 초음파를 검지시킨다(S205A 단계).
보다 상세하게는, 도 15에 나타내는 바와 같이, 제어 장치(200)는, 기판(9, 9) 사이의 간격을 최대로 하도록 제2 구동기(13)를 구동시킨 후에, 제2 공간(72)을 향해, 제1 센서(11A)에 광 또는 초음파를 조사시킨다. 그 후, 제어 장치(200)는, 제1 구동기(12)를 구동시켜, 제1 센서(11A)를 하강시켜, 제1 공간(71)을 향해, 제1 센서(11A)에 광 또는 초음파를 조사시킨다.
또한, 제어 장치(200)는, 기판(9, 9) 사이의 간격이 가장 큰 상태일 때에, 제1 공간(71)을 향해, 제1 센서(11A)에 광 또는 초음파를 조사시킨 후에, 제1 구동기(12)를 구동시켜, 제1 센서(11A)를 상승시킨다. 그 후, 제어 장치(200)는, 제2 공간(72)을 향해, 제1 센서(11A)에 광 또는 초음파를 조사시킨 후, 기판(9, 9) 사이의 간격을 작아지게 하도록, 제2 구동기(13)를 구동시킨다. 또한, 제어 장치(200)는, 제2 구동기(13)를 구동시켜, 제1 지지부재(4A) 및 제2 지지부재(4B)가 하강하고 있을 때에, 제1 센서(11A)에 광 또는 초음파를 조사시켜도 좋다.
이에 따라, 본 변형례 2의 기판 반송 장치(1)여도, 기판(9, 9) 사이의 간격을 변동하도록, 제2 구동기(13)를 구동시키고, 또한, 제1 센서(11A)를 승강시키는 것에 의해, 제1 센서(11A)는, 다른 인접하는 기판(9, 9) 사이의 공간을 향해, 광 또는 초음파를 조사할 수 있다.
따라서 본 변형례 2의 기판 반송 장치(1)여도, 실시형태 2에 따른 기판 반송 장치(1)와 동일한 작용 효과를 갖는다.
또한, 본 변형례 2의 기판 반송 장치(1)에서는, 제1 센서(11A)의 광 또는 초음파를 조사하는 조사부와, 회귀 반사체(45)에서 반사된 광 또는 초음파를 검지하는 검지부가 수평 방향(기판 반송 장치(1)의 좌우 방향)으로 나열되도록 배치하는 형태를 채용했지만, 이에 한정되지 않는다. 조사부와 검지부가 상하 방향으로 나열되도록 배치하는 형태를 채용해도 좋다.
(실시형태 3)
본 실시형태 3에 따른 기판 반송 장치는, 실시형태 1 또는 2(변형례를 포함한다)에 따른 기판 반송 장치에서, 기판 파지 핸드의 기단부에 설치되고, 제1 방향을 따라 이동하면서, 제3 방향을 향해 광 또는 초음파를 조사하여, 기판을 검지하도록 구성되어 있는, 제2 센서를 더 구비하고, 제어 장치는, 미리 설정되어 있는 소정의 제1 위치에서, 제2 센서에 광 또는 초음파를 조사시켜, 기판이 정상적으로 지지되어 있는지 여부를 판정한다.
또한, 본 실시형태 3에 따른 기판 반송 장치에서는, 제어 장치는, 제1 위치에서, 제2 센서에 광 또는 초음파를 조사시켰을 때에, 제2 센서가 광 또는 초음파를 검지한 경우에는, 기판이 정상적으로 지지되어 있다고 판정하고, 제1 위치에서, 제2 센서에 광 또는 초음파를 조사시켰을 때에, 제2 센서가 광 또는 초음파를 검지하지 않은 경우에는, 기판이 이상하게 지지되어 있다고 판정해도 좋다.
이하, 본 실시형태 3에 따른 기판 반송 장치의 일 예에 대하여, 도 17 내지 도 18을 참조하면서 설명한다.
[기판 반송 장치의 구성]
도 17은 본 실시형태 3에 따른 기판 반송 장치의 개략 구성을 나타내는 모식도이다. 또한, 도 17에서는, 기판 반송 장치에서의 상하 방향, 전후 방향 및 좌우 방향을 도면에서의 상하 방향, 전후 방향 및 좌우 방향으로 나타내고 있다.
도 17에 나타내는 바와 같이, 본 실시형태 3에 따른 기판 반송 장치(1)는, 실시형태 1에 따른 기판 반송 장치(1)와 기본적 구성은 동일하지만, 제2 센서(6), 회귀 반사체(45) 및 제3 구동기(14)를 더 구비하는 점이 다르다.
구체적으로는, 제2 센서(6)와 회귀 반사체(45)는, 베이스(21)의 상면에, 기판(9)을 사이에 두고 서로 대향하도록 배설되어 있다. 또한, 제2 센서(6)와 회귀 반사체(45)는, 본 실시형태 3에서는, 제1 본체(31)의 기단부측, 즉, 기판(9)의 기단부측에 배치되어 있다. 더욱 상세하게는, 제2 센서(6)와 회귀 반사체(45)는, 제2 지지부재(4B, 4B) 근방에 배치되어 있다.
또한, 본 실시형태 3에서는, 제2 센서(6)와 회귀 반사체(45)는, 제1 본체(31)의 기단부 근방에 배설되어 있는 형태를 채용했지만, 이에 한정되지 않는다. 제2 센서(6)와 회귀 반사체(45)는, 기판(9)의 중심부를 사이에 두고 대향하도록 배치되어 있어도 좋다. 또한, 제2 센서(6)와 회귀 반사체(45)는, 기판(9)의 선단부를 사이에 두고 대향하도록 배치되어 있어도 좋다.
제2 센서(6)는, 기판(9)의 두께 방향인 제1 방향 및 기판 파지 핸드(3)의 기단부에서 선단부를 향하는 방향인 제2 방향의 각각에 직교하는 방향인 제3 방향(여기에서는, 기판 반송 장치(1)의 좌우 방향)을 향해, 광 또는 초음파를 조사하고, 회귀 반사체(45)에서 반사된 광 또는 초음파를 검지하며, 검지한 광 또는 초음파를 제어 장치(200)에 출력하도록 구성되어 있다.
제3 구동기(14)는, 제2 센서(6)를 상하 방향으로 이동(승강)시키도록 구성되어 있고, 제2 본체(30)의 내부에 배치되어 있다. 제3 구동기(14)로서는, 예를 들어, 서보 모터와, 락 및 피니언 기어 등의 적당한 동력 전달 기구로 구성되어 있어도 좋고, 에어 실린더 등으로 구성되어 있어도 좋다. 또한, 본 실시형태 3에서는, 제3 구동기(14)가 제2 본체(30)의 내부 공간에 배치되어 있는 형태를 채용했지만, 이에 한정되지 않고, 제3 구동기(14)가, 제1 본체(31)의 내부 공간에 배치되어 있는 형태를 채용해도 좋다.
또한, 제3 구동기(14)는, 제1 구동기(12)에 의해 제1 센서(11A, 11A)의 이동과 연동(동기)하여, 제2 센서(6)를 이동시켜도 좋다. 이 경우, 적당한 구동 기구에 의해, 제1 구동기(12)가 제2 센서(6)를 이동시키는 형태를 채용해도 좋다. 즉, 제1 구동기(12)가 제3 구동기(14)의 기능을 겸하는 형태를 채용해도 좋다.
나아가, 제3 구동기(14)는, 제1 구동기(12)에 의한 제1 센서(11A, 11A)의 이동과는 별도로, 제2 센서(6)를 이동시켜도 좋다. 예를 들어, 제3 구동기(14)는, 제1 구동기(12)에 의한 제1 센서(11A, 11A)의 이동 전에, 제2 센서(6)를 이동시켜도 좋고, 제1 센서(11A, 11A)의 이동 중에, 제2 센서(6)의 이동을 개시해도 좋고, 제1 센서(11A, 11A)의 이동 종료 후에, 제2 센서(6)를 이동시켜도 좋다.
또한, 본 실시형태 3에서는, 제2 센서(6)를 반사형의 센서로 구성되어 있는 형태를 채용했지만, 이에 한정되지 않는다. 제2 센서(6)를 투과형의 센서로 구성되어 있는 형태를 채용해도 좋다.
[기판 반송 장치의 동작 및 작용 효과]
다음으로, 본 실시형태 3에 따른 기판 반송 장치(1)의 동작 및 작용 효과에 대하여, 도 17 내지 도 18을 참조하면서 설명한다. 또한, 이하의 동작은, 제어 장치(200)의 연산부(200a)가, 기억부(200b)에 저장되어 있는 프로그램을 읽어 내는 것에 의해 실행된다.
도 18A 및 도 18B0는, 본 실시형태 3에 따른 기판 반송 장치의 동작의 일 예를 나타내는 플로 차트이다.
먼저, 제어 장치(200)에, 작업자로부터 도시되지 않은 입력 장치를 통해, 일련의 작업을 실행하는 것을 나타내는 지시 정보가 입력되었다고 한다. 그러면, 도 18A에 나타내는 바와 같이, 제어 장치(200)는, 매니퓰레이터(2)를 동작시켜, 기판 파지 핸드(3)가 후프(90)의 전방에 위치할 때까지 이동시킨다(S301 단계). 이때, 제어 장치(200)는, 기판 파지 핸드(3)가, 파지할 기판(9)이 재치되어 있는 부분보다 하방에 위치하도록, 매니퓰레이터(2)를 동작시킨다.
다음으로, 제어 장치(200)는, 기판 파지 핸드(3)가 후프(90) 내의 기판(9)의 하방에 위치할 때까지, 매니퓰레이터(2)를 동작시킨다(S302 단계). 이때, 제어 장치(200)는, 기판 파지 핸드(3)의 가이드 부분으로 기판(9)을 재치할 수 있는 위치까지, 기판 파지 핸드(3)를 후프(90) 내에 진입시킨다.
다음으로, 제어 장치(200)는, 기판 파지 핸드(3)가 상방으로 이동하도록, 매니퓰레이터(2)를 동작시켜, 기판(9)을 가이드 부분의 저면에 재치시키고, 기판(9)을 들어 올려, 기판(9)을 기판 파지 핸드(3)로 지지시킨다(S303 단계).
다음으로, 제어 장치(200)는, 제1 구동기(12)에 의해, 제1 센서(11A, 11A)를 승강시키고, 제3 구동기(14)에 의해, 제2 센서(6)를 승강시킨다(S304 단계). 이어서, 제어 장치(200)는, 제1 센서(11A, 11A)가 승강하고 있을 때에, 제1 센서(11A)에 광 또는 초음파를 조사시켜, 회귀 반사체(45)에서 반사한 광 또는 초음파를 검지시킨다. 또한, 제어 장치(200)는, 제2 센서(6)가 승강하고 있을 때에, 제2 센서(6)에 광 또는 초음파를 조사시켜, 회귀 반사체(45)에서 반사한 광 또는 초음파를 검지시킨다(S305 단계).
이때, 제어 장치(200)는, 제1 센서(11A)의 위치 정보를 취득할 수 있는 경우에는, 해당 위치 정보와 함께, 제1 센서(11A)가 검지한 광 또는 초음파 정보를 취득해도 좋다. 또한, 제어 장치(200)는, 제2 센서(6)의 위치 정보와 함께, 제2 센서(6)가 검지한 광 또는 초음파 정보를 취득한다.
다음으로, 제어 장치(200)는, S305 단계에서 제2 센서(6)가 검지한 광 또는 초음파 정보를 기초로, 기판(9)이 정상적으로(수평 상태로) 지지(재치)되어 있는지 여부를 판정한다. 구체적으로는, 제어 장치(200)는, 제2 센서(6)가, 각 기판(9)을 향해 광 또는 초음파를 조사했을 때에, 제2 센서(6)가, 회귀 반사체(45)에서 반사한 광 또는 초음파를 검지하지 않았는지 여부에 의해, 기판(9)이 정상적으로 지지되어 있는지 여부를 판정한다(S306 단계).
상술한 바와 같이, 기판(9)이 수평 상태로 재치되어 있는(정상적으로 지지되어 있는) 경우에, 제2 센서(6)가 기판(9)을 향해 광 또는 초음파를 조사했을 때에는, 조사된 광 또는 초음파는, 기판(9)의 둘레면(측면)에 부딪쳐, 회귀 반사체(45)까지 도달하지 않는다. 따라서 제2 센서(6)는, 회귀 반사체(45)에서 반사한 광 또는 초음파를 검지할 수 없다.
한편, 기판(9)이 기울어져 재치되어 있는(이상하게 재치되어 있는) 경우에는, 제2 센서(6)가, 기판(9)을 향해 광 또는 초음파를 조사했을 때에, 조사된 광 또는 초음파는, 기판(9)의 둘레면에 부딪치지 않고, 회귀 반사체(45)까지 도달하여, 거기에서 반사하며, 반사한 광 또는 초음파는, 제2 센서(6)까지 도달할 수 있다. 따라서 제2 센서(6)는, 회귀 반사체(45)에서 반사한 광 또는 초음파를 검지할 수 있다.
따라서 제어 장치(200)는, 각 기판(9)의 둘레면을 향해, 제2 센서(6)에 광 또는 초음파를 조사시켰을 때에, 제2 센서(6)가, 회귀 반사체(45)에서 반사한 광 또는 초음파를 검지하지 않았는지 여부에 의해, 기판(9)이 정상적으로 지지되어 있는지 여부를 판정할 수 있다.
또한, 제어 장치(200)는, S306 단계의 처리에 더하여, 인접하는 기판(9, 9) 사이의 공간을 향해, 제2 센서(6)에 광 또는 초음파를 조사시키고, 제2 센서(6)가, 회귀 반사체(45)에서 반사한 광 또는 초음파를 검지했는지 여부에 의해, 기판(9)이 정상적으로 지지되어 있는지 여부를 판정하는 처리를 실행해도 좋다. 또한, 제어 장치(200)는, S306 단계의 처리에 대신하여, 인접하는 기판(9, 9) 사이의 공간을 향해, 제2 센서(6)에 광 또는 초음파를 조사시키고, 제2 센서(6)가, 회귀 반사체(45)에서 반사한 광 또는 초음파를 검지했는지 여부에 의해, 기판(9)이 정상적으로 지지되어 있는지 여부를 판정하는 처리를 실행해도 좋다.
도 18B에 나타내는 바와 같이, 제어 장치(200)는, 제2 센서(6)가, 기판(9)의 둘레면을 향해, 광 또는 초음파를 조사했을 때에, 제2 센서(6)를 통해 회귀 반사체(45)에서 반사한 광 또는 초음파 정보를 취득한 경우(S306 단계에서 No)에는, 기판(9)이 이상하게 지지되어 있다고 판정한다(S307 단계). 이어서, 제어 장치(200)는, 도시되지 않은 통지기에 의해, 기판(9)이 이상하게 재치되어 있는 것을 작업자 등에 통지시키고(S308 단계), 본 프로그램을 종료한다.
또한, 제어 장치(200)는, 제2 센서(6)가 기판(9)의 기단부측에 배설되어 있는 경우에는, 제2 센서(6)가, 기판(9)의 둘레면을 향해, 광 또는 초음파를 조사시켰을 때에, 제2 센서(6)를 통해 회귀 반사체(45)에서 반사한 광 또는 초음파 정보를 취득한 경우(S306 단계에서 No)에는, 기판(9)의 기단측이 선단측에 비해, 하방에 위치하도록, 경사하고 있다고 판정해도 좋다.
한편, 제어 장치(200)는, 제2 센서(6)가, 기판(9)의 둘레면을 향해, 광 또는 초음파를 조사했을 때에, 제2 센서(6)를 통해 회귀 반사체(45)에서 반사한 광 또는 초음파 정보를 취득하지 않은 경우(S306 단계에서 Yes)에는, S309 단계의 처리를 실행한다.
S309 단계에서는, 제어 장치(200)는, S305 단계에서 제1 센서(11A)가 검지한 광 또는 초음파 정보를 기초로, 기판(9)이 정상적으로(수평 상태로) 지지(재치)되어 있는지 여부를 판정한다. 구체적으로는, 제어 장치(200)는, 제1 센서(11A)가, 인접하는 기판(9, 9) 사이의 공간을 향해, 광 또는 초음파를 조사했을 때에, 제1 센서(11A)가, 회귀 반사체(45)에서 반사한 광 또는 초음파를 검지했는지 여부에 의해, 기판(9)이 정상적으로 지지되어 있는지 여부를 판정한다.
제어 장치(200)는, 제1 센서(11A)가, 인접하는 기판(9, 9) 사이의 공간을 향해, 광 또는 초음파를 조사했을 때에, 제1 센서(11A)를 통해 회귀 반사체(45)에서 반사한 광 또는 초음파 정보를 취득한 경우(S309 단계에서 Yes)에는, 기판(9)이 정상적으로 지지되어 있다고 판정한다(S310 단계). 그 후, 제어 장치(200)는, 매니퓰레이터(2)를 동작시켜, 기판(9)을 다음의 처리를 실행하는 장치 등으로 반송시키고, 본 프로그램을 종료한다.
한편, 제어 장치(200)는, 제1 센서(11A)가, 인접하는 기판(9, 9) 사이의 공간에 광 또는 초음파를 조사했을 때에, 제1 센서(11A)를 통해 회귀 반사체(45)에서 반사한 광 또는 초음파 정보를 취득하지 않은 경우(S309 단계에서 No)에는, 기판(9)이 이상하게 지지되어 있다고 판정한다(S311 단계).
다음으로, 제어 장치(200)는, 도시되지 않은 통지기(예를 들어, 디스플레이 등의 표시 장치, 스피커, 사이렌 등)에 의해, 기판(9)이 이상하게 재치되어 있는 것을 작업자 등에게 통지시키고(S312 단계), 본 프로그램을 종료한다.
또한, 제어 장치(200)는, 제2 센서(6)가, 기판(9)의 기단부측에 배치되어 있는 경우에는, S311 단계에서, 이하와 같이 판정해도 좋다.
먼저, 기판(9)이, 선단측이 기단측에 비해, 하방에 위치하도록, 경사하고 있다고 한다. 이 경우, 기판(9)의 기단측은 경사에 의한 변동이 작기 때문에, 제2 센서(6)가, 기판(9)의 둘레면을 향해, 광 또는 초음파를 조사하면, 기판(9)의 둘레면에 광 또는 초음파가 부딪쳐, 제2 센서(6)가, 회귀 반사체(45)에서 반사한 광 또는 초음파를 검지하지 않을 우려가 있다.
한편, 기판(9)의 선단측은 기단측에 비해, 경사에 의한 변동이 크기 때문에, 제1 센서(11A)가, 해당 기판(9)의 하방에 위치하는 공간을 향해, 광 또는 초음파를 조사하면, 제1 센서(11A)에서 조사된 광 또는 초음파는, 기판(9)에 의해 막혀, 회귀 반사체(45)에 도달할 수 없다. 따라서 제1 센서(11A)는, 회귀 반사체(45)에서 반사한 광 또는 초음파를 검지할 수 없다.
따라서 제어 장치(200)는, S306 단계의 처리에서, 제2 센서(6)를 통해 회귀 반사체(45)에서 반사한 광 또는 초음파 정보를 취득하지 않고, 또한, S309 단계의 처리에서, 제1 센서(11A)를 통해 회귀 반사체(45)에서 반사한 광 또는 초음파 정보를 취득하지 않은 경우에는, 기판(9)이, 선단측이 기단측에 비해, 하방에 위치하도록, 경사하고 있다고 판정해도 좋다. 그리고 제어 장치(200)는, S312 단계에서, 통지기에 의해, 기판(9)의 선단측이 기단측에 비해, 하방에 위치하도록, 경사하여 재치되어 있는 것을 작업자 등에게 통지시켜도 좋다.
이와 같이 구성된, 본 실시형태 3에 따른 기판 반송 장치(1)여도, 실시형태 1에 따른 기판 반송 장치(1)와 동일한 작용 효과를 갖는다.
또한, 본 실시형태 3에 따른 기판 반송 장치(1)에서는, 제1 센서(11A)와 제2 센서(6)에 의해, 기판(9)을 검지하는 것에 의해, 어느 하나의 센서가 고장나도, 기판(9)이 정상적으로 지지되어 있는지 여부를 판정할 수 있어, 용장성(冗長性)을 확보할 수 있다.
나아가, 제2 센서(6)가, 기판(9)의 기단부측에 배설되어 있는 경우에는, 기판(9)의 선단측이 기단측에 비해, 하방에 위치하도록, 경사하여 재치되어 있는지, 또는, 기판(9)의 기단측이 선단측에 비해, 하방에 위치하도록, 경사하여 재치되어 있는지를 검지할 수 있다. 따라서 기판(9)의 상태에 대하여, 더욱 정확한 정보를 작업자 등에게 통지할 수 있다.
(실시형태 4)
본 실시형태 4에 따른 기판 반송 장치는, 실시형태 1~3(변형례를 포함한다) 중 어느 하나의 실시형태에 따른 기판 반송 장치에서, 기판 파지 핸드의 기단부에 설치되고, 그 촬영 방향이 제2 방향을 향하도록 배치되어 있는 제1 카메라를 더 구비하고, 제1 카메라는, 복수의 제1 손톱부와 복수의 제2 손톱부에 의해, 지지되어 있는 복수의 기판을 촬영하고, 촬영한 영상 정보를 제어 장치에 출력하도록 구성되어 있고, 제어 장치는, 제1 카메라에서 입력된 영상 정보인 제1 영상 정보를 기초로, 기판이 정상적으로 지지되어 있는지 여부를 판정한다.
또한, 본 실시형태 4에 따른 기판 반송 장치에서는, 복수의 기판의 각각에 대하여, 정상적으로 지지되어 있을 때의 위치 정보인 제1 위치 정보가 기억되어 있는 기억기를 더 구비하고, 제어 장치는, 제1 영상 정보와 제1 위치 정보를 비교하여, 기판이 정상적으로 지지되어 있는지 여부를 판정해도 좋다.
이하, 본 실시형태 4에 따른 기판 반송 장치의 일 예에 대하여, 도 19 및 도 20을 참조하면서 설명한다.
[기판 반송 장치의 구성]
도 19는 본 실시형태 4에 따른 기판 반송 장치의 개략 구성을 나타내는 모식도이다. 또한, 도 19에서는, 기판 반송 장치에서의 상하 방향, 전후 방향 및 좌우 방향을 도면에서의 상하 방향, 전후 방향 및 좌우 방향으로서 나타내고 있다.
도 19에 나타내는 바와 같이, 본 실시형태 4에 따른 기판 반송 장치(1)는, 실시형태 1에 따른 기판 반송 장치(1)와 기본적 구성은 동일하지만, 기판 파지 핸드(3)의 기단부에 제1 카메라(15)가 설치되어 있는 점이 다르다. 제1 카메라(15)는, 그 촬영 방향이 제2 방향을 향하도록 배치되어 있고, 기판(9)을 촬영하여, 촬영한 영상 정보를 제어 장치(200)에 출력하도록 구성되어 있다.
[기판 반송 장치의 동작 및 작용 효과]
다음으로, 본 실시형태 4에 따른 기판 반송 장치(1)의 동작 및 작용 효과에 대하여, 도 19 및 도 20을 참조하면서 설명한다.
또한, 이하의 동작은, 제어 장치(200)의 연산부(200a)가, 기억부(200b)에 저장되어 있는 프로그램을 읽어내는 것에 의해 실행된다. 또한, 이하의 동작은, 실시형태 1에 따른 기판 반송 장치(1)의 동작과는 별도로, 단독으로 실행되어도 좋다. 나아가, 이하의 동작은, 실시형태 1에 따른 기판 반송 장치(1)의 동작과 병행하여 실행되어도 좋다.
도 20은 본 실시형태 4에 따른 기판 반송 장치의 동작의 일 예를 나타내는 플로 차트이다.
먼저, 제어 장치(200)에, 작업자로부터 도시되지 않은 입력 장치를 통해, 일련의 작업을 실행하는 것을 나타내는 지시 정보가 입력되었다고 한다. 그러면, 도 20에 나타내는 바와 같이, 제어 장치(200)는, 매니퓰레이터(2)를 동작시켜, 기판 파지 핸드(3)가 후프(90)의 전방에 위치할 때까지 이동시킨다(S401 단계). 이때, 제어 장치(200)는, 기판 파지 핸드(3)가, 파지할 기판(9)이 재치되어 있는 부분보다 하방에 위치하도록, 매니퓰레이터(2)를 동작시킨다.
다음으로, 제어 장치(200)는, 기판 파지 핸드(3)가 후프(90) 내의 기판(9)의 하방에 위치할 때까지, 매니퓰레이터(2)를 동작시킨다(S402 단계). 이때, 제어 장치(200)는, 기판 파지 핸드(3)가 가이드 부분으로 기판(9)을 재치할 수 있는 위치까지, 기판 파지 핸드(3)를 후프(90) 내에 진입시킨다.
다음으로, 제어 장치(200)는, 기판 파지 핸드(3)가 상방으로 이동하도록, 매니퓰레이터(2)를 동작시켜, 기판(9)을 가이드 부분의 저면에 재치시키고, 기판(9)을 들어 올려, 기판(9)을 기판 파지 핸드(3)로 지지시킨다(S403 단계).
다음으로, 제어 장치(200)는, 제1 카메라(15)를 통해 해당 제1 카메라(15)가 촬영한 영상 정보인 제1 영상 정보를 취득한다(S404 단계). 이어서, 제어 장치(200)는, 제1 영상 정보를 기초로, 기판(9)이 정상적으로 재치되어 있는지 여부를 판정한다(S405 단계).
구체적으로는, 제어 장치(200)는, 예를 들어, 제1 영상 정보에 대하여, 공지의 화상해석 소프트 등을 이용해서, 화상 해석을 수행하여, 기판(9)이 정상(수평)적으로 재치되어 있는지 여부를 판정해도 좋다. 또한, 미리, 기억부(200b)에 기판(9)이 정상적으로 재치되어 있을 때의 기판(9)의 위치 정보인 제1 위치 정보를 기억시켜두고, 제어 장치(200)는, 제1 영상 정보와, 기억부(200b)에서 취득한 제1 위치 정보를 비교하여, 기판(9)이 정상(수평)적으로 재치되어 있는지 여부를 판정해도 좋다.
제어 장치(200)는, 제1 영상 정보를 기초로, 기판(9)이 정상적으로 재치되어 있다고 판정한 경우(S406 단계)에는, 그대로, 본 프로그램을 종료한다. 한편, 제어 장치(200)는, 제1 영상 정보를 기초로, 기판(9)이 이상하게 재치되어 있다고 판정한 경우(S407 단계)에는, 도시되지 않은 통지기에 의해, 기판(9)이 이상하게 재치되어 있는 것을 작업자 등에게 통지시키고(S408 단계), 본 프로그램을 종료한다.
이와 같이 구성된, 본 실시형태 4에 따른 기판 반송 장치(1)여도, 실시형태 1에 따른 기판 반송 장치(1)와 동일한 작용 효과를 갖는다.
또한, 본 실시형태 4에 따른 기판 반송 장치(1)에서는, 제1 센서(11A)에서 취득한 정보를 기초로, 기판(9)이 정상적으로 재치되어 있는지를 판정하는 것에 더하여, 제1 카메라(15)에서 취득한 제1 영상 정보를 기초로, 기판(9)이 정상적으로 재치되어 있는지를 판정한다. 따라서 본 실시형태 4에 따른 기판 반송 장치(1)에서는, 용장성을 확보할 수 있다.
(실시형태 5)
본 실시형태 5에 따른 기판 반송 장치는, 기판 파지 핸드와, 기판 파지 핸드의 선단부에 설치되고, 기판을 지지하는 제1 지지부재와, 기판 파지 핸드의 기단부에 설치되고, 기판을 지지하는 제2 지지부재와, 기판 파지 핸드의 기단부에 설치되고, 그 촬영 방향이 제2 방향을 향하도록 배치되어 있는 제1 카메라와, 제어 장치를 구비하고, 기판의 두께 방향을 제1 방향이라고 하고, 기판 파지 핸드의 기단부에서 선단부를 향하는 방향을 제2 방향이라고 하고, 제1 방향 및 제2 방향의 각각에 직교하는 방향을 제3 방향이라고 정의한 경우에, 제1 지지부재는, 제1 방향을 따라, 서로 소정의 간격을 두고 배치되는, 복수의 제1 손톱부를 갖고, 제2 지지부재는, 제1 방향을 따라, 서로 소정의 간격을 두고 배치되는, 복수의 제2 손톱부를 갖고, 기판 반송 장치는, 복수의 제1 손톱부와 복수의 제2 손톱부에 의해, 복수의 기판을 지지하도록 구성되어 있고, 제1 카메라는, 복수의 제1 손톱부와 복수의 제2 손톱부에 의해, 지지되어 있는 복수의 기판을 촬영하고, 촬영한 영상 정보를 제어 장치에 출력하도록 구성되어 있고, 제어 장치는, 제1 카메라로부터 입력된 영상 정보인 제1 영상 정보를 기초로, 기판이 정상적으로 지지되어 있는지 여부를 판정한다.
또한, 본 실시형태 5에 따른 기판 반송 장치에서는, 복수의 기판의 각각에 대하여, 정상적으로 지지되어 있을 때의 위치 정보인 제1 위치 정보가 기억되어 있는 기억기를 더 구비하고, 제어 장치는, 제1 영상 정보와 제1 위치 정보를 비교하여, 기판이 정상적으로 지지되어 있는지 여부를 판정해도 좋다.
이하, 본 실시형태 5에 따른 기판 반송 장치의 일 예에 대하여, 도 12을 참조하면서 설명한다.
[기판 반송 장치의 구성]
도 21은 본 실시형태 5에 따른 기판 반송 장치의 개략 구성을 나타내는 모식도이다. 또한, 도 21에서는, 기판 반송 장치에서의 상하 방향, 전후 방향 및 좌우 방향을 도면에서의 상하 방향, 전후 방향 및 좌우 방향으로서 나타내고 있다.
도 21에 나타내는 바와 같이, 본 실시형태 5에 따른 기판 반송 장치(1)는, 실시형태 1에 따른 기판 반송 장치(1)와 기본적 구성은 동일하지만, 제1 센서(11A, 11A)에 대신하여, 제1 카메라(15)가 기판 파지 핸드(3)의 기단부에 설치되어 있는 점이 다르다. 제1 카메라(15)는, 그 촬영 방향이 제2 방향을 향하도록 배치되어 있고, 기판(9)을 촬영하여, 촬영한 영상 정보를 제어 장치(200)에 출력하도록 구성되어 있다.
또한, 본 실시형태 5에 따른 기판 반송 장치(1)의 동작은, 도 20에 나타내는, 실시형태 4에 따른 기판 반송 장치(1)의 동작과 동일하게 실행되므로, 그 상세한 설명은 생략한다.
이와 같이 구성된, 본 실시형태 5에 따른 기판 반송 장치(1)여도, 실시형태 1에 따른 기판 반송 장치(1)와 동일한 작용 효과를 갖는다.
(실시형태 6)
본 실시형태 6에 따른 기판 반송 장치는, 실시형태 1~5(변형례를 포함한다) 중 어느 하나의 실시형태에 따른 기판 반송 장치에서, 기판 파지 핸드의 기단부에 설치되고, 그 촬영 방향이 제3 방향을 향하도록 배치되어 있는 제2 카메라를 더 구비하고, 제2 카메라는, 복수의 제1 손톱부와 복수의 제2 손톱부에 의해, 지지되어 있는 복수의 기판을 촬영하고, 촬영한 영상 정보를 제어 장치에 출력하도록 구성되어 있고, 제어 장치는, 제2 카메라로부터 입력된 영상 정보인 제2 영상 정보를 기초로, 기판이 정상적으로 지지되어 있는지 여부를 판정한다.
또한, 본 실시형태 6에 따른 기판 반송 장치에서는, 복수의 기판의 각각에 대하여, 정상적으로 지지되어 있을 때의 위치 정보인 제2 위치 정보가 기억되어 있는 기억기를 더 구비하고, 제어 장치는, 제2 영상 정보과 제2 위치 정보를 비교하여, 기판이 정상적으로 지지되어 있는지 여부를 판정해도 좋다.
이하, 본 실시형태 6에 따른 기판 반송 장치의 일 예에 대하여, 도 22 및 도 23을 참조하면서 설명한다.
[기판 반송 장치의 구성]
도 22는 본 실시형태 6에 따른 기판 반송 장치의 개략 구성을 나타내는 모식도이다. 도 22에서는, 기판 반송 장치에서의 상하 방향, 전후 방향 및 좌우 방향을 도면에서의 상하 방향, 전후 방향 및 좌우 방향으로서 나타내고 있다.
도 22에 나타내는 바와 같이, 본 실시형태 6에 따른 기판 반송 장치(1)는, 실시형태 1에 따른 기판 반송 장치(1)와 기본적 구성은 동일하지만, 제1 센서(11A, 11A)에 대신하여, 제1 카메라(15)가 기판 파지 핸드(3)의 기단부에 설치되어 있는 점과, 제2 카메라(16)가 베이스(21)의 위에 설치되어 있는 점이 다르다.
제1 카메라(15)는, 그 촬영 방향이 제2 방향을 향하도록 배치되어 있고, 기판(9)을 촬영하여, 촬영한 영상 정보를 제어 장치(200)에 출력하도록 구성되어 있다. 또한, 제2 카메라(16)는, 그 촬영 방향이 제3 방향을 향하도록 배치되어 있고, 기판(9)을 촬영하여, 촬영한 영상 정보를 제어 장치(200)에 출력하도록 구성되어 있다.
[기판 반송 장치의 동작 및 작용 효과]
다음으로, 본 실시형태 6에 따른 기판 반송 장치(1)의 동작 및 작용 효과에 대하여, 도 22 및 도 23을 참조하면서 설명한다. 또한, 이하의 동작은, 제어 장치(200)의 연산부(200a)가, 기억부(200b)에 저장되어 있는 프로그램을 읽어내는 것에 의해 실행된다.
도 23은 본 실시형태 6에 따른 기판 반송 장치의 동작의 일 예를 나타내는 플로 차트이다.
도 23에 나타내는 바와 같이, 본 실시형태 6에 따른 기판 반송 장치(1)의 동작은, 실시형태 4에 따른 기판 반송 장치(1)의 동작과 기본적으로는 동일하지만, S404 단계 및 S405 단계에 대신하여, S404A 단계 및 S405A 단계가 실행되는 점이 다르다.
구체적으로는, 제어 장치(200)는, 제1 카메라(15)를 통해 해당 제1 카메라(15)가 촬영한 영상 정보인 제1 영상 정보와, 제2 카메라(16)를 통해 해당 제2 카메라(16)가 촬영한 영상 정보인 제2 영상 정보를 취득한다(S404A 단계). 이어서, 제어 장치(200)는, 제1 영상 정보와 제2 영상 정보를 기초로, 기판(9)이 정상적으로 재치되어 있는지 여부를 판정한다(S405A 단계).
구체적으로는, 제어 장치(200)는, 예를 들어, 제1 영상 정보 및 제2 영상 정보에 대하여, 공지의 화상해석 소프트 등을 이용해서, 화상 해석을 수행하여, 기판(9)이 정상(수평)적으로 재치되어 있는지 여부를 판정해도 좋다. 또한, 미리, 기억부(200b)에 기판(9)이 정상적으로 재치되어 있을 때의 기판(9)의 위치 정보인 제1 위치 정보와 제2 위치 정보를 기억시켜두고, 제어 장치(200)는, 제1 영상 정보와, 기억부(200b)에서 취득한 제1 위치 정보를 비교하고, 제2 영상 정보와 제2 위치 정보를 비교하여, 기판(9)이 정상(수평)적으로 재치되어 있는지 여부를 판정해도 좋다.
제어 장치(200)는, 제1 영상 정보 및 제2 영상 정보를 기초로, 기판(9)이 정상적으로 재치되어 있다고 판정한 경우(S406 단계)에는, 그대로, 본 프로그램을 종료한다. 한편, 제어 장치(200)는, 제1 영상 정보 및 제2 영상 정보를 기초로, 기판(9)이 이상하게 재치되어 있다고 판정한 경우(S407 단계)에는, 도시되지 않은 통지기에 의해, 기판(9)이 이상하게 재치되어 있는 것을 작업자 등에게 통지시키고(S408 단계), 본 프로그램을 종료한다.
이와 같이 구성된, 본 실시형태 6에 따른 기판 반송 장치(1)여도, 실시형태 1에 따른 기판 반송 장치(1)와 동일한 작용 효과를 갖는다.
또한, 본 실시형태 6에 따른 기판 반송 장치(1)에서는, 제1 카메라(15)로부터 취득한 제1 영상 정보와, 제2 카메라(16)로부터 취득한 제2 영상 정보를 기초로, 기판(9)이 정상적으로 재치되어 있는지를 판정한다. 따라서 본 실시형태 6에 따른 기판 반송 장치(1)에서는, 용장성을 확보할 수 있다.
상기 설명으로부터, 당업자로서는, 본 발명의 많은 개략 또는 다른 실시형태가 명백하다. 따라서 상기 설명은, 예시로서만 해석되어야 하는 것이고, 본 발명을 실행하는 최선의 형태를 당업자에게 교시하는 목적으로 제공된 것이다. 본 발명의 정신을 벗어나지 않고, 그 구조 및/또는 기능의 상세를 실질적으로 변경할 수 있다.
본 발명의 기판 반송 장치 및 기판 반송 장치의 운전 방법은, 종래의 기판 반송 장치에 비해, 기판 파지 핸드가 기판을 수평 상태로 지지하고 있는 것을 용이하게 검지할 수 있으므로, 산업 로봇의 분야에서 유용하다.
1: 기판 반송 장치
2: 매니퓰레이터
3: 기판 파지 핸드
4A: 제1 지지부재
4B: 제2 지지부재
6: 제2 센서
9: 기판
11A: 제1 센서
11B: 제1 센서
12: 제1 구동기
13: 제2 구동기
14: 제3 구동기
15: 제1 카메라
16: 제2 카메라
20: 암
21: 베이스
22: 지지대
23: 지지축
24: 축체
30: 제2 본체
31: 제1 본체
40A: 제1 손톱부
40B: 제1 손톱부
40C: 제1 손톱부
40D: 제1 손톱부
40E: 제1 손톱부
41A: 제1 부분
41B: 제1 부분
42A: 가이드 부분
42B: 가이드 부분
43A: 저면
45: 회귀 반사체
50A: 제2 손톱부
50B: 제2 손톱부
50C: 제2 손톱부
50D: 제2 손톱부
50E: 제2 손톱부
71: 제1 공간
72: 제2 공간
73: 제3 공간
74: 제4 공간
90: 후프
200: 제어 장치
200a: 연산부
200b: 기억부
200c: 서보 제어부

Claims (30)

  1. 기판 파지 핸드와,
    상기 기판 파지 핸드의 선단부에 설치되고, 상기 기판을 지지하는 제1 지지부재와,
    상기 기판 파지 핸드의 기단부에 설치되고, 상기 기판을 지지하는 제2 지지부재와,
    상기 기판 파지 핸드의 기단부에 설치되고, 광 또는 초음파를 조사하여, 상기 기판을 검지하도록 구성되어 있는 제1 센서와,
    제어 장치를 구비하고,
    상기 기판의 두께 방향을 제1 방향이라고 하고, 상기 기판 파지 핸드의 기단부에서 선단부를 향하는 방향을 제2 방향이라고 하고, 상기 제1 방향 및 상기 제2 방향의 각각에 직교하는 방향을 제3 방향이라고 정의한 경우에,
    상기 제1 지지부재는, 상기 제1 방향을 따라, 서로 소정의 간격을 두고 배치되는, 복수의 제1 손톱부를 갖고,
    상기 제2 지지부재는, 상기 제1 방향을 따라, 서로 소정의 간격을 두고 배치되는, 복수의 제2 손톱부를 갖고,
    기판 반송 장치는, 복수의 상기 제1 손톱부와 복수의 상기 제2 손톱부에 의해, 복수의 상기 기판을 지지하도록 구성되어 있고,
    상기 제1 센서는, 상기 광 또는 상기 초음파를 상기 제2 방향을 향해 조사하도록 구성되어 있고,
    상기 제어 장치는, 인접하는 상기 기판 사이의 공간을 향해, 상기 제1 센서에 상기 광 또는 상기 초음파를 조사시켜, 상기 기판이 정상적으로 지지되어 있는지 여부를 판정하는, 기판 반송 장치.
  2. 제1항에 있어서,
    상기 제1 센서와 대향하도록, 상기 제1 지지부재에 설치되어 있는 회귀 반사체를 더 구비하고,
    상기 제어 장치는, 인접하는 상기 기판 사이의 공간을 향해, 상기 제1 센서에 상기 광 또는 상기 초음파를 조사시켜, 상기 회귀 반사체에서 반사된 상기 광 또는 상기 초음파에 의해, 상기 기판이 정상적으로 재치되어 있는지 여부를 판정하는, 기판 반송 장치.
  3. 제1항에 있어서,
    상기 제1 센서를 상기 제1 방향을 따라 이동시키도록 구성되어 있는, 제1 구동기를 더 구비하는, 기판 반송 장치.
  4. 제1항에 있어서,
    상기 제1 손톱부 및 상기 제2 손톱부를 상기 제1 방향을 따라 이동시키도록 구성되어 있는, 제2 구동기를 더 구비하고,
    상기 제어 장치는, 인접하는 상기 기판의 간격을 변동하도록, 상기 제2 구동기를 제어하는, 기판 반송 장치.
  5. 제4항에 있어서,
    상기 제1 센서는, 인접하는 상기 기판의 간격이 변동되면, 변동 전과는 다른, 인접하는 상기 기판 사이의 공간을 향해, 상기 광 또는 상기 초음파를 조사하도록 구성되어 있는, 기판 반송 장치.
  6. 제5항에 있어서,
    상기 제1 센서는, 상기 제2 손톱부에 배설되어 있는, 기판 반송 장치.
  7. 제6항에 있어서,
    상기 제1 센서와 대향하도록, 상기 제1 지지부재에 설치되어 있는 회귀 반사체는, 가장 높이가 높은 제1 손톱부에 설치되고,
    상기 제1 센서는, 가장 높이가 높은 제2 손톱부에 설치되어 있는, 기판 반송 장치.
  8. 제1항 내지 제7항 중 어느 한 항에 있어서,
    상기 제어 장치는, 인접하는 상기 기판 사이의 공간을 향해, 상기 제1 센서에 상기 광 또는 상기 초음파를 조사시켰을 때에, 상기 제1 센서가, 상기 광 또는 상기 초음파를 검지한 경우에는, 상기 기판이 정상적으로 지지되어 있다고 판정하고, 인접하는 상기 기판 사이의 공간을 향해, 상기 제1 센서에 상기 광 또는 상기 초음파를 조사시켰을 때에, 상기 제1 센서가, 상기 광 또는 상기 초음파를 검지하지 않은 경우에는, 상기 기판이 이상하게 지지되어 있다고 판정하는, 기판 반송 장치.
  9. 제1항에 있어서,
    상기 기판 파지 핸드의 기단부에 설치되고, 상기 제1 방향을 따라 이동하면서, 상기 제3 방향을 향해 상기 광 또는 상기 초음파를 조사하여, 상기 기판을 검지하도록 구성되어 있는, 제2 센서를 더 구비하고,
    상기 제어 장치는, 미리 설정되어 있는 소정의 제1 위치에서, 상기 제2 센서에 상기 광 또는 상기 초음파를 조사시켜, 상기 기판이 정상적으로 지지되어 있는지 여부를 판정하는, 기판 반송 장치.
  10. 제9항에 있어서,
    상기 제어 장치는, 상기 제1 위치에서, 상기 제2 센서에 상기 광 또는 상기 초음파를 조사시켰을 때에, 상기 제2 센서가 상기 광 또는 상기 초음파를 검지하지 않은 경우에는, 상기 기판이 정상적으로 지지되어 있다고 판정하고, 상기 제1 위치에서, 상기 제2 센서에 상기 광 또는 상기 초음파를 조사시켰을 때에, 상기 제2 센서가 상기 광 또는 상기 초음파를 검지한 경우에는, 상기 기판이 이상하게 지지되어 있다고 판정하는, 기판 반송 장치.
  11. 제1항에 있어서,
    상기 기판 파지 핸드의 기단부에 설치되고, 그 촬영 방향이 상기 제2 방향을 향하도록 배치되어 있는 제1 카메라를 더 구비하고,
    상기 제1 카메라는, 복수의 상기 제1 손톱부와 복수의 상기 제2 손톱부에 의해, 지지되어 있는 복수의 상기 기판을 촬영하고, 촬영한 영상 정보를 상기 제어 장치에 출력하도록 구성되어 있고,
    상기 제어 장치는, 상기 제1 카메라로부터 입력된 영상 정보인 제1 영상 정보를 기초로, 상기 기판이 정상적으로 지지되어 있는지 여부를 판정하는, 기판 반송 장치.
  12. 기판 파지 핸드와,
    상기 기판 파지 핸드의 선단부에 설치되고, 상기 기판을 지지하는 제1 지지부재와,
    상기 기판 파지 핸드의 기단부에 설치되고, 상기 기판을 지지하는 제2 지지부재와,
    상기 기판 파지 핸드의 기단부에 설치되고, 그 촬영 방향이 상기 기판 파지 핸드의 기단부에서 선단부를 향하는 방향인 제2 방향을 향하도록 배치되어 있는 제1 카메라와,
    제어 장치를 구비하고,
    상기 기판의 두께 방향을 제1 방향이라고 하고, 상기 제1 방향 및 상기 제2 방향의 각각에 직교하는 방향을 제3 방향이라고 정의한 경우에,
    상기 제1 지지부재는, 상기 제1 방향을 따라, 서로 소정의 간격을 두고 배치되는, 복수의 제1 손톱부를 갖고,
    상기 제2 지지부재는, 상기 제1 방향을 따라, 서로 소정의 간격을 두고 배치되는, 복수의 제2 손톱부를 갖고,
    기판 반송 장치는, 복수의 상기 제1 손톱부와 복수의 상기 제2 손톱부에 의해, 복수의 상기 기판을 지지하도록 구성되어 있고,
    상기 제1 카메라는, 복수의 상기 제1 손톱부와 복수의 상기 제2 손톱부에 의해, 지지되어 있는 복수의 상기 기판을 촬영하고, 촬영한 영상 정보를 상기 제어 장치에 출력하도록 구성되어 있고,
    상기 제어 장치는, 상기 제1 카메라로부터 입력된 영상 정보인 제1 영상 정보를 기초로, 상기 기판이 정상적으로 지지되어 있는지 여부를 판정하는, 기판 반송 장치.
  13. 제11항에 있어서,
    복수의 상기 기판의 각각에 대하여, 정상적으로 지지되어 있을 때의 위치 정보인 제1 위치 정보가 기억되어 있는 기억기를 더 구비하고,
    상기 제어 장치는, 상기 제1 영상 정보와 상기 제1 위치 정보를 비교하여, 상기 기판이 정상적으로 지지되어 있는지 여부를 판정하는, 기판 반송 장치.
  14. 제11항 내지 제13항 중 어느 한 항에 있어서,
    상기 기판 파지 핸드의 기단부에 설치되고, 그 촬영 방향이 상기 제3 방향을 향하도록 배치되어 있는 제2 카메라를 더 구비하고,
    상기 제2 카메라는, 복수의 상기 제1 손톱부와 복수의 상기 제2 손톱부에 의해, 지지되어 있는 복수의 상기 기판을 촬영하고, 촬영한 영상 정보를 상기 제어 장치에 출력하도록 구성되어 있고,
    상기 제어 장치는, 상기 제2 카메라로부터 입력된 영상 정보인 제2 영상 정보를 기초로, 상기 기판이 정상적으로 지지되어 있는지 여부를 판정하는, 기판 반송 장치.
  15. 제14항에 있어서,
    복수의 상기 기판의 각각에 대하여, 정상적으로 지지되어 있을 때의 위치 정보인 제2 위치 정보가 기억되어 있는 기억기를 더 구비하고,
    상기 제어 장치는, 상기 제2 영상 정보와 상기 제2 위치 정보를 비교하여, 상기 기판이 정상적으로 지지되어 있는지 여부를 판정하는, 기판 반송 장치.
  16. 기판을 반송하는 기판 반송 장치의 운전 방법으로서,
    상기 기판 반송 장치는,
    기판 파지 핸드와,
    상기 기판 파지 핸드의 선단부에 설치되고, 상기 기판을 지지하는 제1 지지부재와,
    상기 기판 파지 핸드의 기단부에 설치되고, 상기 기판을 지지하는 제2 지지부재와,
    상기 기판 파지 핸드의 기단부에 설치되고, 광 또는 초음파를 조사하여, 상기 기판을 검지하도록 구성되어 있는 제1 센서를 구비하고,
    상기 기판의 두께 방향을 제1 방향이라고 하고, 상기 기판 파지 핸드의 기단부에서 선단부를 향하는 방향을 제2 방향이라고 하고, 상기 제1 방향 및 상기 제2 방향의 각각에 직교하는 방향을 제3 방향이라고 정의한 경우에,
    상기 제1 지지부재는, 상기 제1 방향을 따라, 서로 소정의 간격을 두고 배치되는, 복수의 제1 손톱부를 갖고,
    상기 제2 지지부재는, 상기 제1 방향을 따라, 서로 소정의 간격을 두고 배치되는, 복수의 제2 손톱부를 갖고,
    상기 기판 반송 장치는, 복수의 상기 제1 손톱부와 복수의 상기 제2 손톱부에 의해, 복수의 상기 기판을 지지하도록 구성되어 있고,
    상기 제1 센서가, 상기 광 또는 상기 초음파를 상기 제2 방향을 향해 조사하는 A단계와,
    인접하는 상기 기판 사이의 공간을 향해, 상기 제1 센서에 상기 광 또는 상기 초음파를 조사시켜, 상기 기판이 정상적으로 지지되어 있는지 여부를 판정하는 B단계를 구비하는, 기판 반송 장치의 운전 방법.
  17. 제16항에 있어서,
    상기 기판 반송 장치는, 상기 제1 센서와 대향하도록, 상기 제1 지지부재에 설치되어 있는 회귀 반사체를 더 구비하고,
    상기 B단계에서, 인접하는 상기 기판 사이의 공간을 향해, 상기 제1 센서에 상기 광 또는 상기 초음파를 조사시켜, 상기 회귀 반사체에서 반사된 상기 광 또는 상기 초음파에 의해, 상기 기판이 정상적으로 재치되어 있는지 여부를 판정하는, 기판 반송 장치의 운전 방법.
  18. 제16항에 있어서, 상기 제1 센서를 상기 제1 방향을 따라 이동시키도록 구성되어 있는, 제1 구동기를 더 구비하는, 기판 반송 장치의 운전 방법.
  19. 제16항에 있어서,
    상기 제1 손톱부 및 상기 제2 손톱부를 상기 제1 방향을 따라 이동시키도록 구성되어 있는, 제2 구동기를 더 구비하고,
    상기 A단계에서, 인접하는 상기 기판의 간격을 변동하도록, 상기 제2 구동기를 구동하는, 기판 반송 장치의 운전 방법.
  20. 제19항에 있어서,
    상기 A단계에서, 상기 제1 센서는, 인접하는 상기 기판의 간격이 변동되면, 변동 전과는 다른, 인접하는 상기 기판 사이의 공간을 향해, 상기 광 또는 상기 초음파를 조사하는, 기판 반송 장치의 운전 방법.
  21. 제20항에 있어서,
    상기 제1 센서는, 상기 제2 손톱부에 배설되어 있는, 기판 반송 장치의 운전 방법.
  22. 제21항에 있어서,
    상기 제1 센서와 대향하도록, 상기 제1 지지부재에 설치되어 있는 회귀 반사체는, 가장 높이가 높은 제1 손톱부에 설치되고,
    상기 제1 센서는, 가장 높이가 높은 제2 손톱부에 설치되어 있는, 기판 반송 장치의 운전 방법.
  23. 제16항 내지 제22항 중 어느 한 항에 있어서,
    상기 B단계는, 상기 제1 센서가, 상기 광 또는 상기 초음파를 검지한 경우에는, 상기 기판이 정상적으로 지지되어 있다고 판정하는 B1단계와, 상기 제1 센서가, 상기 광 또는 상기 초음파를 검지하지 않은 경우에는, 상기 기판이 이상하게 지지되어 있다고 판정하는 B2단계를 갖는, 기판 반송 장치의 운전 방법.
  24. 제16항에 있어서,
    상기 기판 반송 장치는, 상기 기판 파지 핸드의 기단부에 설치되어 있는 제2 센서를 더 구비하고,
    상기 제2 센서가, 상기 제1 방향을 따라 이동하면서, 상기 제3 방향을 향해 상기 광 또는 상기 초음파를 조사하는 C단계와,
    미리 설정되어 있는 소정의 제1 위치에서, 상기 제2 센서에 상기 광 또는 상기 초음파를 조사시켜, 상기 기판이 정상적으로 지지되어 있는지 여부를 판정하는 D단계를 더 구비하는, 기판 반송 장치의 운전 방법.
  25. 제24항에 있어서,
    상기 D단계는, 상기 제2 센서가, 상기 제1 위치에서, 상기 광 또는 상기 초음파를 조사한 때에, 상기 제2 센서가 상기 광 또는 상기 초음파를 검지한 경우에는, 상기 기판이 정상적으로 지지되어 있다고 판정하는 D1단계와, 상기 상기 제2 센서가 상기 광 또는 상기 초음파를 검지하지 않은 경우에는, 상기 기판이 이상하게 지지되어 있다고 판정하는 D2단계를 갖는, 기판 반송 장치의 운전 방법.
  26. 제16항에 있어서,
    상기 기판 반송 장치는, 상기 기판 파지 핸드의 기단부에 설치되고, 그 촬영 방향이 상기 제2 방향을 향하도록 배치되어 있는 제1 카메라를 더 구비하고,
    상기 제1 카메라가, 복수의 상기 제1 손톱부와 복수의 상기 제2 손톱부에 의해, 지지되어 있는 복수의 상기 기판을 촬영하는 E단계와,
    상기 제1 카메라가 촬영한 영상 정보인 제1 영상 정보를 기초로, 상기 기판이 정상적으로 지지되어 있는지 여부를 판정하는 F단계를 더 구비하는, 기판 반송 장치의 운전 방법.
  27. 기판을 반송하는 기판 반송 장치의 운전 방법으로서,
    상기 기판 반송 장치는,
    기판 파지 핸드와,
    상기 기판 파지 핸드의 선단부에 설치되고, 상기 기판을 지지하는 제1 지지부재와,
    상기 기판 파지 핸드의 기단부에 설치되고, 상기 기판을 지지하는 제2 지지부재와,
    상기 기판 파지 핸드의 기단부에 설치되고, 그 촬영 방향이 상기 기판 파지 핸드의 기단부에서 선단부를 향하는 방향인 제2 방향을 향하도록 배치되어 있는 제1 카메라를 구비하고,
    상기 기판의 두께 방향을 제1 방향이라고 하고, 상기 제1 방향 및 상기 제2 방향의 각각에 직교하는 방향을 제3 방향이라고 정의한 경우에,
    상기 제1 지지부재는, 상기 제1 방향을 따라, 서로 소정의 간격을 두고 배치되는, 복수의 제1 손톱부를 갖고,
    상기 제2 지지부재는, 상기 제1 방향을 따라, 서로 소정의 간격을 두고 배치되는, 복수의 제2 손톱부를 갖고,
    상기 기판 반송 장치는, 복수의 상기 제1 손톱부와 복수의 상기 제2 손톱부에 의해, 복수의 상기 기판을 지지하도록 구성되어 있고,
    상기 제1 카메라가, 복수의 상기 제1 손톱부와 복수의 상기 제2 손톱부에 의해, 지지되어 있는 복수의 상기 기판을 촬영하는 E단계와,
    상기 제1 카메라가 촬영한 영상 정보인 제1 영상 정보를 기초로, 상기 기판이 정상적으로 지지되어 있는지 여부를 판정하는 F단계를 구비하는, 기판 반송 장치의 운전 방법.
  28. 제26항에 있어서,
    상기 기판 반송 장치는, 복수의 상기 기판의 각각에 대하여, 정상적으로 지지되어 있을 때의 위치 정보인 제1 위치 정보가 기억되어 있는 기억기를 더 구비하고,
    상기 F단계에서는, 상기 제1 영상 정보와 상기 제1 위치 정보를 비교하여, 상기 기판이 정상적으로 지지되어 있는지 여부를 판정하는, 기판 반송 장치의 운전 방법.
  29. 제26항 내지 제28항 중 어느 한 항에 있어서,
    상기 기판 반송 장치는, 상기 기판 파지 핸드의 기단부에 설치되고, 그 촬영 방향이 상기 제3 방향을 향하도록 배치되어 있는 제2 카메라를 더 구비하고,
    상기 제2 카메라가, 복수의 상기 제1 손톱부와 복수의 상기 제2 손톱부에 의해, 지지되어 있는 복수의 상기 기판을 촬영하는 G단계와,
    상기 제2 카메라가 촬영한 영상 정보인 제2 영상 정보를 기초로, 상기 기판이 정상적으로 지지되어 있는지 여부를 판정하는 H단계를 더 구비하는, 기판 반송 장치의 운전 방법.
  30. 제29항에 있어서,
    상기 기판 반송 장치는, 복수의 상기 기판의 각각에 대하여, 정상적으로 지지되어 있을 때의 위치 정보인 제2 위치 정보가 기억되어 있는 기억기를 더 구비하고,
    상기 H단계에서는, 상기 제2 영상 정보와 상기 제2 위치 정보를 비교하여, 상기 기판이 정상적으로 지지되어 있는지 여부를 판정하는, 기판 반송 장치의 운전 방법.
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