JP5333408B2 - 保持部材の姿勢判定装置、その方法、基板処理装置及び記憶媒体 - Google Patents
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Description
前記保持部材を前進させたときに当該保持部材がその前を通過するように、保持部材の進行方向に対して側方に設けられ、当該保持部材の上下方向の位置及び前記進退方向に対して左右方向の位置の少なくとも一方を光学的に検出する光検出部と、
前記保持部材を前記光検出部に対して進退させたときに、当該保持部材の上下方向の位置のプロファイル上の各点と保持部材の進退方向の位置のプロファイル上の各点とを対応付けた複数点からなるデータ、及び保持部材の左右方向の位置のプロファイル上の各点と保持部材の進退方向の位置のプロファイル上の各点とを対応付けた複数点からなるデータの少なくとも一方のデータを取得するデータ取得部と、を備え、
前記取得されたデータに基づいて前記保持部材の姿勢に異常があるか否かが判定されることを特徴とする
進退自在に設けられた保持部材により基板を保持して、前記基板処理部に対して基板の搬送を行う基板搬送装置と、
前記保持部材の姿勢判定装置と、を備えたことを特徴とする。
前記保持部材を前進させたときに当該保持部材がその前を通過するように、保持部材の進行方向に対して側方に設けられた光検出部により、当該保持部材の上下方向の位置及び前記進退方向に対して左右方向の位置の少なくとも一方を光学的に検出する検出工程と、
前記保持部材を前記光検出部に対して進退させたときに、当該保持部材の上下方向の位置のプロファイル上の各点と保持部材の進退方向の位置のプロファイル上の各点とを対応付けた複数点からなるデータ、及び保持部材の前記左右方向の位置のプロファイル上の各点と保持部材の進退方向の位置のプロファイル上の各点とを対応付けた複数点からなるデータの少なくとも一方のデータを取得するデータ取得工程と、を含み、
前記取得されたデータに基づいて前記保持部材の姿勢に異常があるか否かが判定されることを特徴とする。
Dn=dn−d(n−1) ・・・(2)
そして、二次微分値Dnが正となるサンプリング数をカウントし、このサンプリング数が設定値以上であればフォーク3Aの姿勢に異常があると判定する。また、サンプリング間隔を大きく設定しておき、二次微分値Dnが正となったときには、フォーク3Aの姿勢に異常があると判定するようにしてもよい。このようにすることにより、フォーク3Aの移動時の揺れやラインセンサ4のノイズにより、前記データにフォーク3Aの姿勢以外に起因する乱れが生じたとしても、この乱れは判定対象から除外されるため、フォーク3Aの姿勢異常を精度良く判定することができる。
1 モジュール
3 基板搬送装置
3A,3B フォーク
4、6 ラインセンサ
5 制御部
Claims (11)
- 基板を保持して搬送する保持部材が搬送基体に進退自在に設けられた基板搬送装置において、前記保持部材の異常の有無を判定する装置において、
前記保持部材を前進させたときに当該保持部材がその前を通過するように、保持部材の進行方向に対して側方に設けられ、当該保持部材の上下方向の位置及び前記進退方向に対して左右方向の位置の少なくとも一方を光学的に検出する光検出部と、
前記保持部材を前記光検出部に対して進退させたときに、当該保持部材の上下方向の位置のプロファイル上の各点と保持部材の進退方向の位置のプロファイル上の各点とを対応付けた複数点からなるデータ、及び保持部材の左右方向の位置のプロファイル上の各点と保持部材の進退方向の位置のプロファイル上の各点とを対応付けた複数点からなるデータの少なくとも一方のデータを取得するデータ取得部と、を備え、
前記取得されたデータに基づいて前記保持部材の姿勢に異常があるか否かが判定されることを特徴とする保持部材の姿勢判定装置。 - 前記光検出部は保持部材の上下方向の位置を光学的に検出し、
前記データ取得部は保持部材の上下方向の位置と進退方向の位置とを対応付けたデータを取得するものであり、
前記取得されたデータに基づいて前記進退方向の位置に対して上下方向の位置を二次微分した値を演算し、この値に基づいて保持部材の姿勢の異常の有無を判定する判定部を備えたことを特徴とする請求項1記載の保持部材の姿勢判定装置。 - 保持部材の上下方向の位置を光学的に検出する光検出部は、水平かつ上下方向に幅のある光軸を形成する光センサであり、前記光軸を保持部材により遮断するときの遮断量により、保持部材の上下方向の位置を検出することを特徴とする請求項1又は2記載の保持部材の姿勢判定装置。
- 前記保持部材は基板の周囲を囲むように設けられた保持枠を備え、
前記光検出部は保持部材の前記左右方向の位置を光学的に検出し、
前記データ取得部は保持部材の前記左右方向の位置と進退方向の位置とを対応付けたデータを取得するものであり、
この取得されたデータに基づいて、前記保持枠の開度に異常があるか否かが判断されることを特徴とする請求項1記載の保持部材の姿勢判定装置。 - 前記保持部材の前記左右方向の位置を検出する光検出部は鉛直かつ前記左右方向に幅のある光軸を形成する光センサであり、光軸を保持部材により遮断するときの遮断量により、保持部材の前記左右方向の位置を検出することを特徴とする請求項1又は4記載の保持部材の姿勢判定装置。
- 前記データ取得部により取得されたデータに基づいて、保持部材の上下方向の位置と進退方向の位置を対応付けた波形及び保持部材の前記左右方向の位置と進退方向の位置とを対応付けた波形の少なくとも一方を表示する表示部を備えたことを特徴とする請求項1ないし5のいずれか一つに記載の保持部材の姿勢判定装置。
- 基板に対して処理を行う基板処理部と、
進退自在に設けられた保持部材により基板を保持して、前記基板処理部に対して基板の搬送を行う基板搬送装置と、
請求項1ないし6のいずれか一つに記載の保持部材の姿勢判定装置と、を備えたことを特徴とする基板処理装置。 - 基板を保持して搬送する保持部材が搬送基体に進退自在に設けられた基板搬送装置において、前記保持部材の異常の有無を判定する方法において、
前記保持部材を前進させたときに当該保持部材がその前を通過するように、保持部材の進行方向に対して側方に設けられた光検出部により、当該保持部材の上下方向の位置及び前記進退方向に対して左右方向の位置の少なくとも一方を光学的に検出する検出工程と、
前記保持部材を前記光検出部に対して進退させたときに、当該保持部材の上下方向の位置のプロファイル上の各点と保持部材の進退方向の位置のプロファイル上の各点とを対応付けた複数点からなるデータ、及び保持部材の前記左右方向の位置のプロファイル上の各点と保持部材の進退方向の位置のプロファイル上の各点とを対応付けた複数点からなるデータの少なくとも一方のデータを取得するデータ取得工程と、を含み、
前記取得されたデータに基づいて前記保持部材の姿勢に異常があるか否かが判定されることを特徴とする保持部材の姿勢判定方法。 - 前記検出工程は保持部材の上下方向の位置を光学的に検出するものであり、
前記データ取得工程は保持部材の上下方向の位置と進退方向の位置とを対応付けたデータを取得するものであり、
前記取得されたデータに基づいて進退方向の位置に対して上下方向の位置を二次微分した値を演算し、この値に基づいて保持部材の姿勢の異常の有無を判定する判定工程を含むことを特徴とする請求項8記載の保持部材の姿勢判定方法。 - 保持部材の上下方向の位置を光学的に検出する光検出部は水平かつ上下方向に幅のある光軸を形成する光センサであり、前記光軸を保持部材により遮断するときの遮断量により、保持部材の上下方向の位置を検出することを特徴とする請求項8又は9記載の保持部材の姿勢判定方法。
- 基板を保持して搬送する保持部材が搬送基体に進退自在に設けられた基板搬送装置において、前記保持部材の異常の有無を判定する装置に用いられるコンピュータプログラムを格納した記憶媒体であって、前記プログラムは、請求項8ないし10のいずれか一項に記載の保持部材の姿勢判定方法を実行するようにステップ群が組まれていることを特徴とする記憶媒体。
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