JP2014008578A - 基板搬送装置 - Google Patents
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Abstract
【解決手段】ワークWを載置するハンド10と、ハンド10を一端側の支軸21Aにて回動自在に軸支する主上部リンクアーム21と、ハンド10を一端側の支軸にて回動自在に軸支し、主上部リンクアーム21と平面視にて平行かつ略同一長さの副上部リンクアーム22と、一端側の支軸23Cが主上部リンクアーム21の他端側の支軸21Bと同期して回転する主下部リンクアーム23と、一端側の支軸22Bが副上部リンクアーム22の他端側の支軸22Bと同期して回転し、主下部リンクアーム23と平面視にて平行かつ略同一長さの副下部リンクアーム24と、を具備し、副下部リンクアーム24の他端側の支軸24Dが支軸方向と直角方向に移動することによりハンドの傾きを補正できる。
【選択図】図1
Description
なお、図1では、基板搬送装置100の構成を平面視にて模式的に表している。また、図1では、電気信号線を破線で表している。さらに、以下では、図1及び図2に表されるX方向、Y方向又はZ方向に従って説明するものとする。
なお、図2では、移動機構60の構成を側面視にて模式的に表している。また、図2では、電気信号線を破線で表している。
なお、図3では、基板搬送装置100の作用を平面視にて模式的に表している。
基板搬送装置100によれば、ハンド10の傾きを補正できる。すなわち、副下部リンクアーム24の支軸24Dを移動機構60によってX方向に移動させ、ハンド10の傾きを補正できる。
なお、図4では、基板搬送制御S100の流れをフローチャートによって表している。
なお、図5では、基板搬送制御S100の作用を平面視にて模式的に表している。
基板搬送制御S100によれば、基板搬送装置100のハンド10の傾きも含めた位置ズレを補正できる。
20 アーム
24 副下部リンクアーム
24D 支軸
25 ギアケース
30 ベース
50 コントローラ
60 移動機構
70 回転駆動機構
80 CCDカメラ
100 基板搬送装置
S100 基板搬送制御
Claims (3)
- ワークを載置するハンドと、
前記ハンドを第一先端側支軸にて回動自在に軸支する第一アームと、
前記ハンドを第二先端側支軸にて回動自在に軸支し、前記第一アームと対向する第二アームと、
第三先端側支軸が前記第一アームの第一基端側支軸と同期して回転する第三アームと、
第四先端側支軸が前記第二アームの第二基端側支軸と同期して回転し、前記第三アームと対向する第四アームと、を具備し、
前記第三アーム及び前記第四アームを旋回させ、或いは、前記第一アームと前記第三アームとの角度並びに前記第二アームと前記第四アームとの角度を変化させることによって、前記ハンドを移動させ、ワークを搬送する基板搬送装置であって、
前記第一先端側支軸と前記第二基端側支軸との間の距離、前記第二先端側支軸と前記第一基端側支軸との間の距離、前記第三先端側支軸と前記第四アームの第四基端側支軸との間の距離、或いは、前記第四先端側支軸と前記第三アームの第三基端側支軸との間の距離を変化させることによって前記ハンドの傾きを調整するハンド傾き調整機構を備える、
基板搬送装置。 - 請求項1記載の基板搬送装置であって、
前記ハンド傾き調整機構には、前記第四基端側支軸が、該第四基端側支軸の軸心方向と直角方向に移動する機構、或いは、前記第三基端側支軸がこの第三基端側支軸の軸心方向と直角方向に移動する機構を含まれる、
基板搬送装置。 - 請求項1記載の基板搬送装置であって、
前記ハンド傾き調整機構には、前記第一アーム、前記第二アーム、前記第三アーム、又は前記第四アームのいずれかの長手方向長さを伸縮させる機構を含まれる、
基板搬送装置。
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2012
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