JP2003117862A - ハンドの位置合わせ方法およびその装置 - Google Patents
ハンドの位置合わせ方法およびその装置Info
- Publication number
- JP2003117862A JP2003117862A JP2002177148A JP2002177148A JP2003117862A JP 2003117862 A JP2003117862 A JP 2003117862A JP 2002177148 A JP2002177148 A JP 2002177148A JP 2002177148 A JP2002177148 A JP 2002177148A JP 2003117862 A JP2003117862 A JP 2003117862A
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- hand
- work
- edge
- sensor
- right direction
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Granted
Links
- 238000000034 method Methods 0.000 title claims abstract description 48
- 230000000630 rising effect Effects 0.000 claims description 4
- 238000004904 shortening Methods 0.000 abstract 1
- 239000011521 glass Substances 0.000 description 22
- 239000000758 substrate Substances 0.000 description 22
- 238000001514 detection method Methods 0.000 description 15
- 238000010586 diagram Methods 0.000 description 11
- 238000009434 installation Methods 0.000 description 8
- 238000013459 approach Methods 0.000 description 7
- 238000005259 measurement Methods 0.000 description 7
- 238000004519 manufacturing process Methods 0.000 description 5
- 238000006073 displacement reaction Methods 0.000 description 4
- 101000722833 Geobacillus stearothermophilus 30S ribosomal protein S16 Proteins 0.000 description 1
- 238000005452 bending Methods 0.000 description 1
- 238000012937 correction Methods 0.000 description 1
- 230000007257 malfunction Effects 0.000 description 1
- 239000000463 material Substances 0.000 description 1
- 238000012986 modification Methods 0.000 description 1
- 230000004048 modification Effects 0.000 description 1
- NJPPVKZQTLUDBO-UHFFFAOYSA-N novaluron Chemical compound C1=C(Cl)C(OC(F)(F)C(OC(F)(F)F)F)=CC=C1NC(=O)NC(=O)C1=C(F)C=CC=C1F NJPPVKZQTLUDBO-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 230000003287 optical effect Effects 0.000 description 1
- 239000004065 semiconductor Substances 0.000 description 1
Classifications
-
- H—ELECTRICITY
- H01—ELECTRIC ELEMENTS
- H01L—SEMICONDUCTOR DEVICES NOT COVERED BY CLASS H10
- H01L21/00—Processes or apparatus adapted for the manufacture or treatment of semiconductor or solid state devices or of parts thereof
- H01L21/67—Apparatus specially adapted for handling semiconductor or electric solid state devices during manufacture or treatment thereof; Apparatus specially adapted for handling wafers during manufacture or treatment of semiconductor or electric solid state devices or components ; Apparatus not specifically provided for elsewhere
- H01L21/677—Apparatus specially adapted for handling semiconductor or electric solid state devices during manufacture or treatment thereof; Apparatus specially adapted for handling wafers during manufacture or treatment of semiconductor or electric solid state devices or components ; Apparatus not specifically provided for elsewhere for conveying, e.g. between different workstations
- H01L21/67763—Apparatus specially adapted for handling semiconductor or electric solid state devices during manufacture or treatment thereof; Apparatus specially adapted for handling wafers during manufacture or treatment of semiconductor or electric solid state devices or components ; Apparatus not specifically provided for elsewhere for conveying, e.g. between different workstations the wafers being stored in a carrier, involving loading and unloading
- H01L21/67766—Mechanical parts of transfer devices
-
- H—ELECTRICITY
- H01—ELECTRIC ELEMENTS
- H01L—SEMICONDUCTOR DEVICES NOT COVERED BY CLASS H10
- H01L21/00—Processes or apparatus adapted for the manufacture or treatment of semiconductor or solid state devices or of parts thereof
- H01L21/67—Apparatus specially adapted for handling semiconductor or electric solid state devices during manufacture or treatment thereof; Apparatus specially adapted for handling wafers during manufacture or treatment of semiconductor or electric solid state devices or components ; Apparatus not specifically provided for elsewhere
- H01L21/67005—Apparatus not specifically provided for elsewhere
- H01L21/67242—Apparatus for monitoring, sorting or marking
- H01L21/67259—Position monitoring, e.g. misposition detection or presence detection
- H01L21/67265—Position monitoring, e.g. misposition detection or presence detection of substrates stored in a container, a magazine, a carrier, a boat or the like
-
- H—ELECTRICITY
- H01—ELECTRIC ELEMENTS
- H01L—SEMICONDUCTOR DEVICES NOT COVERED BY CLASS H10
- H01L21/00—Processes or apparatus adapted for the manufacture or treatment of semiconductor or solid state devices or of parts thereof
- H01L21/67—Apparatus specially adapted for handling semiconductor or electric solid state devices during manufacture or treatment thereof; Apparatus specially adapted for handling wafers during manufacture or treatment of semiconductor or electric solid state devices or components ; Apparatus not specifically provided for elsewhere
- H01L21/683—Apparatus specially adapted for handling semiconductor or electric solid state devices during manufacture or treatment thereof; Apparatus specially adapted for handling wafers during manufacture or treatment of semiconductor or electric solid state devices or components ; Apparatus not specifically provided for elsewhere for supporting or gripping
- H01L21/6838—Apparatus specially adapted for handling semiconductor or electric solid state devices during manufacture or treatment thereof; Apparatus specially adapted for handling wafers during manufacture or treatment of semiconductor or electric solid state devices or components ; Apparatus not specifically provided for elsewhere for supporting or gripping with gripping and holding devices using a vacuum; Bernoulli devices
Landscapes
- Engineering & Computer Science (AREA)
- Physics & Mathematics (AREA)
- Condensed Matter Physics & Semiconductors (AREA)
- General Physics & Mathematics (AREA)
- Manufacturing & Machinery (AREA)
- Computer Hardware Design (AREA)
- Microelectronics & Electronic Packaging (AREA)
- Power Engineering (AREA)
- Robotics (AREA)
- Manipulator (AREA)
Abstract
(57)【要約】
【課題】 必要なスペースを狭くする。タクト・タイム
を短くする。誤差要因を少なくする。 【解決手段】 前後左右に移動可能且つ旋回可能なロボ
ットのハンド１を前後方向からワーク２の上方又は下方
に進入させて位置合わせするハンド１の位置合わせ装置
であって、ハンド１に左右方向に並んで設けられた一対
の第１センサ３と、ハンド１の側部に設けられた第２セ
ンサ４を備え、ハンド１の進入時に一対の第１センサ３
がワーク１の前端縁２ａ又は後端縁２ｂを検出するロボ
ットの座標の差に基づいてワーク２の左右方向の傾斜角
θを求め、一対の第１センサ３に基づいてワーク２の前
端縁２ａ又は後端縁２ｂを検出し、第２センサ４に基づ
いてワーク２の側縁２ｃを検出する。
を短くする。誤差要因を少なくする。 【解決手段】 前後左右に移動可能且つ旋回可能なロボ
ットのハンド１を前後方向からワーク２の上方又は下方
に進入させて位置合わせするハンド１の位置合わせ装置
であって、ハンド１に左右方向に並んで設けられた一対
の第１センサ３と、ハンド１の側部に設けられた第２セ
ンサ４を備え、ハンド１の進入時に一対の第１センサ３
がワーク１の前端縁２ａ又は後端縁２ｂを検出するロボ
ットの座標の差に基づいてワーク２の左右方向の傾斜角
θを求め、一対の第１センサ３に基づいてワーク２の前
端縁２ａ又は後端縁２ｂを検出し、第２センサ４に基づ
いてワーク２の側縁２ｃを検出する。
Description
【０００１】
【発明の属する技術分野】本発明は、ハンドの位置合わ
せ方法およびその装置に関する。
せ方法およびその装置に関する。
【０００２】
【従来の技術】半導体の製造ライン等では、カセット内
に収納されているガラス基板をアームロボットを使用し
て次の作業場所に搬送することがある。アームロボット
はカセット内のガラス基板の下方空間にハンドを進入さ
せた後、そのハンドを真っ直ぐ上昇させてガラス基板に
吸着させる。そして、ガラス基板ごとハンドをカセット
内から引き抜き、次の作業場所の受け渡し位置まで搬送
する。
に収納されているガラス基板をアームロボットを使用し
て次の作業場所に搬送することがある。アームロボット
はカセット内のガラス基板の下方空間にハンドを進入さ
せた後、そのハンドを真っ直ぐ上昇させてガラス基板に
吸着させる。そして、ガラス基板ごとハンドをカセット
内から引き抜き、次の作業場所の受け渡し位置まで搬送
する。
【０００３】ガラス基板はカセット内で正規の位置から
ずれて収納されていることがあり、アームロボットはこ
の位置のずれを補正しながら次の作業場所の受け渡し位
置に正確に搬送する。
ずれて収納されていることがあり、アームロボットはこ
の位置のずれを補正しながら次の作業場所の受け渡し位
置に正確に搬送する。
【０００４】ハンドにはガラス基板の後端縁（手前側の
端縁）を検出する前後位置検出センサが設けられてい
る。ガラス基板の後端縁を前後位置検出センサによって
検出することで、ガラス基板の前後方向の位置ずれ量Δ
Ｘを求めている。また、前後位置検出センサはハンドの
左右に１つずつ設けられており、左右の前後位置検出セ
ンサがガラス基板の後端縁を検出した時間差に基づいて
ガラス基板の左右方向の傾きθを求めている。
端縁）を検出する前後位置検出センサが設けられてい
る。ガラス基板の後端縁を前後位置検出センサによって
検出することで、ガラス基板の前後方向の位置ずれ量Δ
Ｘを求めている。また、前後位置検出センサはハンドの
左右に１つずつ設けられており、左右の前後位置検出セ
ンサがガラス基板の後端縁を検出した時間差に基づいて
ガラス基板の左右方向の傾きθを求めている。
【０００５】また、アームロボットの隣にはガラス基板
の側縁を検出する左右位置検出センサが設置されてい
る。アームロボットはガラス基板をカセット内から真っ
直ぐ引き抜いた後、左右位置検出センサがガラス基板の
側縁を検出するまで横方向に移動する。そして、左右位
置検出センサがガラス基板の側縁を検出するまでにアー
ムロボットが移動した距離に基づいてガラス基板の左右
方向の位置ずれ量ΔＹを求めている。
の側縁を検出する左右位置検出センサが設置されてい
る。アームロボットはガラス基板をカセット内から真っ
直ぐ引き抜いた後、左右位置検出センサがガラス基板の
側縁を検出するまで横方向に移動する。そして、左右位
置検出センサがガラス基板の側縁を検出するまでにアー
ムロボットが移動した距離に基づいてガラス基板の左右
方向の位置ずれ量ΔＹを求めている。
【０００６】そして、アームロボットは、求めた位置ず
れ量ΔＸ，ΔＹ及び傾きθを補正しながらガラス基板を
搬送し、次の作業場所の受け渡し位置に正確に置くよう
にしている。
れ量ΔＸ，ΔＹ及び傾きθを補正しながらガラス基板を
搬送し、次の作業場所の受け渡し位置に正確に置くよう
にしている。
【０００７】
【発明が解決しようとする課題】しかしながら、左右位
置検出センサをアームロボットとは別に設置しているの
で、必要なスペースが広くなってしまい、装置全体が大
型化してしまう。通常、ガラス基板はクリーンルーム内
で取り扱われるものであり、装置全体の大型化により広
いクリーンルームが必要になる。クリーンルームの単位
面積あたり必要なコストは通常の工場の単位面積あたり
必要なコストに比べて非常に高く、装置の大型化は製造
コストの増加を招いてしまう。
置検出センサをアームロボットとは別に設置しているの
で、必要なスペースが広くなってしまい、装置全体が大
型化してしまう。通常、ガラス基板はクリーンルーム内
で取り扱われるものであり、装置全体の大型化により広
いクリーンルームが必要になる。クリーンルームの単位
面積あたり必要なコストは通常の工場の単位面積あたり
必要なコストに比べて非常に高く、装置の大型化は製造
コストの増加を招いてしまう。
【０００８】また、カセットから引き抜いたガラス基板
を直接次の作業場所に搬送することができず、一旦左右
位置検出センサに向けて移動させる必要があるので、そ
の分だけタクト・タイムが長くなり、生産性を悪化させ
てしまう。
を直接次の作業場所に搬送することができず、一旦左右
位置検出センサに向けて移動させる必要があるので、そ
の分だけタクト・タイムが長くなり、生産性を悪化させ
てしまう。
【０００９】さらに、位置ずれ量ΔＹを求めるためにア
ームロボットを実際に横方向に移動させており、その移
動量を測定することで位置ずれ量ΔＹを求めているの
で、位置ずれ量ΔＹの値自体に誤差が含まれる可能性が
あり、ガラス基板の位置決め精度を悪化させてしまう。
ームロボットを実際に横方向に移動させており、その移
動量を測定することで位置ずれ量ΔＹを求めているの
で、位置ずれ量ΔＹの値自体に誤差が含まれる可能性が
あり、ガラス基板の位置決め精度を悪化させてしまう。
【００１０】本発明は、設置に必要なスペースを狭くす
ることができると共に、タクト・タイムを短くすること
ができ、さらに、誤差要因が少ないハンドの位置合わせ
方法およびその装置を提供することを目的とする。
ることができると共に、タクト・タイムを短くすること
ができ、さらに、誤差要因が少ないハンドの位置合わせ
方法およびその装置を提供することを目的とする。
【００１１】
【課題を解決するための手段】かかる目的を達成するた
めに請求項１記載の発明は、ロボットのハンドを前後方
向からワークの上方又は下方に進入させて位置合わせす
るハンドの位置合わせ方法であって、ハンドは、左右方
向に並んで配置された一対の第１センサと、側部に設け
られた第２センサとを有し、ハンドを前後方向からワー
クの上方又は下方に進入させるハンド進入工程と、ハン
ドの進入時に一対の第１センサがワークの前端縁又は後
端縁を検出するロボットの座標の差に基づいてワークの
左右方向の傾斜角θを求める傾斜角算出工程と、ワーク
の上方又は下方においてハンドを左右方向に傾斜角θだ
け傾斜させる傾斜角合わせ工程と、ハンドを左右方向に
傾斜角θだけ傾斜させた状態で第２センサがワークの側
縁を検出するまでハンドを左右方向に移動させる第１の
左右位置合わせ工程と、ハンドを左右方向に傾斜角θだ
け傾斜させた状態で一対の第１センサがワークの前端縁
又は後端縁を検出するまでハンドを前後方向から傾斜角
θだけ傾斜する方向に移動させる第１の前後位置合わせ
工程を備えるものである。
めに請求項１記載の発明は、ロボットのハンドを前後方
向からワークの上方又は下方に進入させて位置合わせす
るハンドの位置合わせ方法であって、ハンドは、左右方
向に並んで配置された一対の第１センサと、側部に設け
られた第２センサとを有し、ハンドを前後方向からワー
クの上方又は下方に進入させるハンド進入工程と、ハン
ドの進入時に一対の第１センサがワークの前端縁又は後
端縁を検出するロボットの座標の差に基づいてワークの
左右方向の傾斜角θを求める傾斜角算出工程と、ワーク
の上方又は下方においてハンドを左右方向に傾斜角θだ
け傾斜させる傾斜角合わせ工程と、ハンドを左右方向に
傾斜角θだけ傾斜させた状態で第２センサがワークの側
縁を検出するまでハンドを左右方向に移動させる第１の
左右位置合わせ工程と、ハンドを左右方向に傾斜角θだ
け傾斜させた状態で一対の第１センサがワークの前端縁
又は後端縁を検出するまでハンドを前後方向から傾斜角
θだけ傾斜する方向に移動させる第１の前後位置合わせ
工程を備えるものである。
【００１２】したがって、ハンド進入工程を行うとハン
ドがワークに対向し、傾斜角算出工程を行うと、ハンド
とワークの向きのずれ（傾斜）を求めることができる。
そして、傾斜角合わせ工程を行ってハンドの向きをワー
クの向きに一致させ、第１の左右位置合わせ工程を行っ
てハンドの左右方向の位置ずれを修正し、第１の前後位
置合わせ工程を行ってハンドの前後方向の位置ずれを修
正する。即ち、ワークの左右方向の傾斜角θ、左右方向
の位置ずれ、前後方向の位置ずれを解消した状態でハン
ドはワークをハンドリングする。
ドがワークに対向し、傾斜角算出工程を行うと、ハンド
とワークの向きのずれ（傾斜）を求めることができる。
そして、傾斜角合わせ工程を行ってハンドの向きをワー
クの向きに一致させ、第１の左右位置合わせ工程を行っ
てハンドの左右方向の位置ずれを修正し、第１の前後位
置合わせ工程を行ってハンドの前後方向の位置ずれを修
正する。即ち、ワークの左右方向の傾斜角θ、左右方向
の位置ずれ、前後方向の位置ずれを解消した状態でハン
ドはワークをハンドリングする。
【００１３】また、請求項２記載の発明は、ロボットの
ハンドを前後方向からワークの上方又は下方に進入させ
て位置合わせするハンドの位置合わせ方法であって、ハ
ンドは、左右方向に並んで配置された一対の第１センサ
と、側部に設けられた第２センサとを有し、ハンドを前
後方向からワークの上方又は下方に進入させるハンド進
入工程と、ハンドの進入時に一対の第１センサがワーク
の前端縁又は後端縁を検出するロボットの座標の差に基
づいてワークの左右方向の傾斜角θを求める傾斜角算出
工程と、ワークの上方又は下方においてハンドを左右方
向に傾斜角θだけ傾斜させる傾斜角合わせ工程と、ハン
ドを左右方向に傾斜角θだけ傾斜させた状態で一対の第
１センサがワークの前端縁又は後端縁を検出するまでハ
ンドを前後方向に移動させる第２の前後位置合わせ工程
と、ハンドを左右方向に傾斜角θだけ傾斜させた状態で
第２センサがワークの側縁を検出するまでハンドを左右
方向から傾斜角θだけ傾斜する方向に移動させる第２の
左右位置合わせ工程を備えるものである。
ハンドを前後方向からワークの上方又は下方に進入させ
て位置合わせするハンドの位置合わせ方法であって、ハ
ンドは、左右方向に並んで配置された一対の第１センサ
と、側部に設けられた第２センサとを有し、ハンドを前
後方向からワークの上方又は下方に進入させるハンド進
入工程と、ハンドの進入時に一対の第１センサがワーク
の前端縁又は後端縁を検出するロボットの座標の差に基
づいてワークの左右方向の傾斜角θを求める傾斜角算出
工程と、ワークの上方又は下方においてハンドを左右方
向に傾斜角θだけ傾斜させる傾斜角合わせ工程と、ハン
ドを左右方向に傾斜角θだけ傾斜させた状態で一対の第
１センサがワークの前端縁又は後端縁を検出するまでハ
ンドを前後方向に移動させる第２の前後位置合わせ工程
と、ハンドを左右方向に傾斜角θだけ傾斜させた状態で
第２センサがワークの側縁を検出するまでハンドを左右
方向から傾斜角θだけ傾斜する方向に移動させる第２の
左右位置合わせ工程を備えるものである。
【００１４】したがって、ハンド進入工程を行うとハン
ドがワークに対向し、傾斜角算出工程を行うと、ハンド
とワークの向きのずれ（傾斜）を求めることができる。
そして、傾斜角合わせ工程を行ってハンドの向きをワー
クの向きに一致させ、第２の前後位置合わせ工程を行っ
てハンドの前後方向の位置ずれを修正し、第２の左右位
置合わせ工程を行ってハンドの左右方向の位置ずれを修
正する。即ち、ワークの左右方向の傾斜角θ、前後方向
の位置ずれ、左右方向の位置ずれを解消した状態でハン
ドはワークをハンドリングする。
ドがワークに対向し、傾斜角算出工程を行うと、ハンド
とワークの向きのずれ（傾斜）を求めることができる。
そして、傾斜角合わせ工程を行ってハンドの向きをワー
クの向きに一致させ、第２の前後位置合わせ工程を行っ
てハンドの前後方向の位置ずれを修正し、第２の左右位
置合わせ工程を行ってハンドの左右方向の位置ずれを修
正する。即ち、ワークの左右方向の傾斜角θ、前後方向
の位置ずれ、左右方向の位置ずれを解消した状態でハン
ドはワークをハンドリングする。
【００１５】さらに、請求項３記載の発明は、ロボット
のハンドを前後方向からワークの上方又は下方に進入さ
せてワークを保持して取り出すと共にワークを位置合わ
せするハンドの位置合わせ方法において、ハンドは左右
方向に並んで配置された一対の前後センサを有すると共
にハンドを取り付けたアームを上下方向に移動可能に支
持したアームコラム部はエッジセンサを有し、尚かつハ
ンドを前後方向からワークの上方又は下方に進入させる
ハンド進入工程と、ハンドの進入時に一対の前後センサ
がワークの前端縁又は後端縁を検出するロボットの座標
の差に基づいてワークの左右方向の傾斜角θを求める傾
斜角算出工程と、ワークの上方又は下方においてハンド
を左右方向に傾斜角θだけ傾斜させる傾斜角合わせ工程
と、ハンドを左右方向に傾斜角θだけ傾斜させて前後セ
ンサがオンする立ち上がりポイントでワークを保持して
取り出す取り出し工程と、エッジセンサによりワークの
エッジを測定する左右測定工程と、左右のずれ量を補正
して教示位置にワークを位置させる位置合わせ工程とを
備えるようにしている。
のハンドを前後方向からワークの上方又は下方に進入さ
せてワークを保持して取り出すと共にワークを位置合わ
せするハンドの位置合わせ方法において、ハンドは左右
方向に並んで配置された一対の前後センサを有すると共
にハンドを取り付けたアームを上下方向に移動可能に支
持したアームコラム部はエッジセンサを有し、尚かつハ
ンドを前後方向からワークの上方又は下方に進入させる
ハンド進入工程と、ハンドの進入時に一対の前後センサ
がワークの前端縁又は後端縁を検出するロボットの座標
の差に基づいてワークの左右方向の傾斜角θを求める傾
斜角算出工程と、ワークの上方又は下方においてハンド
を左右方向に傾斜角θだけ傾斜させる傾斜角合わせ工程
と、ハンドを左右方向に傾斜角θだけ傾斜させて前後セ
ンサがオンする立ち上がりポイントでワークを保持して
取り出す取り出し工程と、エッジセンサによりワークの
エッジを測定する左右測定工程と、左右のずれ量を補正
して教示位置にワークを位置させる位置合わせ工程とを
備えるようにしている。
【００１６】したがって、ハンド進入工程を行うとハン
ドがワークに対向し、傾斜角算出工程を行うと、ハンド
とワークの向きのずれ（傾斜）を求めることができる。
そして、傾斜角合わせ工程を行ってハンドの向きをワー
クの向きに一致させ、取り出し工程を行ってワークを保
持して取り出す。さらに、左右測定工程を行ってワーク
のエッジを測定し、位置合わせ工程を行って左右のずれ
量を補正して教示位置にワークを位置させる。即ち、ワ
ークの左右方向の傾斜角θ、左右方向の位置ずれ、前後
方向の位置ずれを解消した状態でハンドはワークをハン
ドリングする。
ドがワークに対向し、傾斜角算出工程を行うと、ハンド
とワークの向きのずれ（傾斜）を求めることができる。
そして、傾斜角合わせ工程を行ってハンドの向きをワー
クの向きに一致させ、取り出し工程を行ってワークを保
持して取り出す。さらに、左右測定工程を行ってワーク
のエッジを測定し、位置合わせ工程を行って左右のずれ
量を補正して教示位置にワークを位置させる。即ち、ワ
ークの左右方向の傾斜角θ、左右方向の位置ずれ、前後
方向の位置ずれを解消した状態でハンドはワークをハン
ドリングする。
【００１７】また、請求項４記載の発明は、前後左右に
移動可能且つ旋回可能なロボットのハンドを前後方向か
らワークの上方又は下方に進入させて位置合わせするハ
ンドの位置合わせ装置において、ハンドに左右方向に並
んで設けられた一対の第１センサと、ハンドの側部に設
けられた第２センサを備え、ハンドの進入時に一対の第
１センサがワークの前端縁又は後端縁を検出するロボッ
トの座標の差に基づいてワークの左右方向の傾斜角θを
求め、一対の第１センサに基づいてワークの前端縁又は
後端縁を検出し、第２センサに基づいてワークの側縁を
検出するものである。
移動可能且つ旋回可能なロボットのハンドを前後方向か
らワークの上方又は下方に進入させて位置合わせするハ
ンドの位置合わせ装置において、ハンドに左右方向に並
んで設けられた一対の第１センサと、ハンドの側部に設
けられた第２センサを備え、ハンドの進入時に一対の第
１センサがワークの前端縁又は後端縁を検出するロボッ
トの座標の差に基づいてワークの左右方向の傾斜角θを
求め、一対の第１センサに基づいてワークの前端縁又は
後端縁を検出し、第２センサに基づいてワークの側縁を
検出するものである。
【００１８】したがって、ワークの左右方向の位置ず
れ，前後方向の位置ずれ，左右方向の傾斜角θを解消し
た状態でハンドはワークをハンドリングすることができ
る。
れ，前後方向の位置ずれ，左右方向の傾斜角θを解消し
た状態でハンドはワークをハンドリングすることができ
る。
【００１９】さらに、請求項５記載の発明は、請求項４
記載のハンドの位置合わせ装置において、一対の第１セ
ンサ及び第２センサは光学的にワークの縁を検出するも
のである。したがって、非接触でワークの縁を検出する
ことができる。
記載のハンドの位置合わせ装置において、一対の第１セ
ンサ及び第２センサは光学的にワークの縁を検出するも
のである。したがって、非接触でワークの縁を検出する
ことができる。
【００２０】また、請求項６記載の発明は、前後左右に
移動可能且つ旋回可能なロボットのハンドを前後方向か
らワークの上方又は下方に進入させて位置合わせするハ
ンドの位置合わせ装置において、ハンドを取り付けたア
ームを上下方向に移動可能に支持したアームコラム部に
エッジセンサを設け、このエッジセンサによりハンドに
吸着されたワークの左右方向位置を検出するようにして
いる。
移動可能且つ旋回可能なロボットのハンドを前後方向か
らワークの上方又は下方に進入させて位置合わせするハ
ンドの位置合わせ装置において、ハンドを取り付けたア
ームを上下方向に移動可能に支持したアームコラム部に
エッジセンサを設け、このエッジセンサによりハンドに
吸着されたワークの左右方向位置を検出するようにして
いる。
【００２１】したがって、エッジセンサを利用してワー
クの左右方向位置を検出するので、従来のように左右位
置検出センサをアームロボットとは別に設置する場合に
比べて装置全体を小型化することができる。よって、必
要なクリーンルームの面積を小さくして製造コストを下
げることができる。
クの左右方向位置を検出するので、従来のように左右位
置検出センサをアームロボットとは別に設置する場合に
比べて装置全体を小型化することができる。よって、必
要なクリーンルームの面積を小さくして製造コストを下
げることができる。
【００２２】また、従来のようにカセットから引き抜い
たワークをアームロボットとは別位置に設けた左右位置
検出センサまで移動させる必要が無く、またエッジセン
サがアームと共に上下方向に移動するので、タクト・タ
イムを短縮して生産性を高めることができる。
たワークをアームロボットとは別位置に設けた左右位置
検出センサまで移動させる必要が無く、またエッジセン
サがアームと共に上下方向に移動するので、タクト・タ
イムを短縮して生産性を高めることができる。
【００２３】さらに、エッジセンサはアームコラム部に
設けられているので、ワークとエッジセンサとの間の可
動部はハンド及びアームのみになる。このため、従来の
ようにワークと左右位置検出センサとの間にアームロボ
ットや架台が存在する場合に比べて、ワークとセンサと
の間の可動部が遥かに少ないので測定誤差を小さくする
ことができる。
設けられているので、ワークとエッジセンサとの間の可
動部はハンド及びアームのみになる。このため、従来の
ようにワークと左右位置検出センサとの間にアームロボ
ットや架台が存在する場合に比べて、ワークとセンサと
の間の可動部が遥かに少ないので測定誤差を小さくする
ことができる。
【００２４】そして、請求項７記載の発明は、請求項６
記載のハンドの位置合わせ装置において、エッジセンサ
はラインセンサであるようにしている。したがって、ワ
ークのエッジを広範囲で正確に検出することができる。
記載のハンドの位置合わせ装置において、エッジセンサ
はラインセンサであるようにしている。したがって、ワ
ークのエッジを広範囲で正確に検出することができる。
【００２５】
【発明の実施の形態】以下、本発明の構成を図面に示す
最良の形態に基づいて詳細に説明する。
最良の形態に基づいて詳細に説明する。
【００２６】図１から図５に、本発明を適用したハンド
の位置合わせ装置の実施形態の一例を示す。このハンド
の位置合わせ装置（以下、単に位置合わせ装置という）
は、前後左右に移動可能且つ旋回可能なロボットのハン
ド１を前後方向からワーク２の上方又は下方に進入させ
て位置合わせするもので、ハンド１に左右方向に並んで
設けられた一対の第１センサ３と、ハンド１の側部に設
けられた第２センサ４を備え、ハンド１の進入時に一対
の第１センサ３がワーク２の前端縁２ａ又は後端縁２ｂ
を検出するロボットの座標の差に基づいてワーク２の左
右方向の傾斜角θを求め、一対の第１センサ３に基づい
てワーク２の前端縁２ａ又は後端縁２ｂを検出し、第２
センサ４に基づいてワーク２の側縁を検出するものであ
る。なお、図中前後方向を矢印Ａで、左右方向を矢印Ｂ
で示す。
の位置合わせ装置の実施形態の一例を示す。このハンド
の位置合わせ装置（以下、単に位置合わせ装置という）
は、前後左右に移動可能且つ旋回可能なロボットのハン
ド１を前後方向からワーク２の上方又は下方に進入させ
て位置合わせするもので、ハンド１に左右方向に並んで
設けられた一対の第１センサ３と、ハンド１の側部に設
けられた第２センサ４を備え、ハンド１の進入時に一対
の第１センサ３がワーク２の前端縁２ａ又は後端縁２ｂ
を検出するロボットの座標の差に基づいてワーク２の左
右方向の傾斜角θを求め、一対の第１センサ３に基づい
てワーク２の前端縁２ａ又は後端縁２ｂを検出し、第２
センサ４に基づいてワーク２の側縁を検出するものであ
る。なお、図中前後方向を矢印Ａで、左右方向を矢印Ｂ
で示す。
【００２７】ワーク２は、例えばガラス基板等の板材で
ある。ワーク２は図示しないカセットに上下方向に所定
間隔をあけて重ねて収納されている。カセット内のワー
ク２の下方にハンド１を進入させた後、ハンド１を上昇
させてワーク２を負圧によって吸着する。ハンド１は、
例えばフォーク形状を成している。
ある。ワーク２は図示しないカセットに上下方向に所定
間隔をあけて重ねて収納されている。カセット内のワー
ク２の下方にハンド１を進入させた後、ハンド１を上昇
させてワーク２を負圧によって吸着する。ハンド１は、
例えばフォーク形状を成している。
【００２８】ハンド１が取り付けられているアームロボ
ット５は、第１のアーム６と第２のアーム７を互いに逆
方向に回動させることでハンド１を前後方向に移動させ
る。また、アームロボット５は架台８上に左右方向に移
動可能に載置されており、左右に移動することでハンド
１を左右に移動させる。さらに、アームロボット５は、
第１のアーム６の取付位置を上下動させることでハンド
１を上下動させる。アームロボット５は、コンピュータ
より成るコントローラ（図示せず）によって制御され
る。
ット５は、第１のアーム６と第２のアーム７を互いに逆
方向に回動させることでハンド１を前後方向に移動させ
る。また、アームロボット５は架台８上に左右方向に移
動可能に載置されており、左右に移動することでハンド
１を左右に移動させる。さらに、アームロボット５は、
第１のアーム６の取付位置を上下動させることでハンド
１を上下動させる。アームロボット５は、コンピュータ
より成るコントローラ（図示せず）によって制御され
る。
【００２９】第１センサ３はワーク２の前端縁２ａ又は
後端縁２ｂを検出するもので、例えばハンド１の、ワー
ク２の前端縁２ａ又は後端縁２ｂに対向する部位に上方
に向けて設けられている。本実施形態では、第１センサ
３によってワーク２の後端縁２ｂを検出するので、第１
センサ３はワーク２の後端縁２ｂに対応する部位、即ち
左右のフォーク１ａ，１ｂの付け根部分に設けられてい
る。
後端縁２ｂを検出するもので、例えばハンド１の、ワー
ク２の前端縁２ａ又は後端縁２ｂに対向する部位に上方
に向けて設けられている。本実施形態では、第１センサ
３によってワーク２の後端縁２ｂを検出するので、第１
センサ３はワーク２の後端縁２ｂに対応する部位、即ち
左右のフォーク１ａ，１ｂの付け根部分に設けられてい
る。
【００３０】第１センサ３は、例えば光学的にワーク２
の後端縁２ｂを検出するセンサである。第１センサ３
は、例えば上方に向けて光を発する発光部と、発光部か
ら発せられてワーク２で反射された光を受ける受光部を
備えている。受光部の受光量がワーク２の有無に応じて
変化するため、この受光量に基づいてワーク２に対向し
ているか否か、即ちワーク２の有無の境界である縁を検
出することができる。
の後端縁２ｂを検出するセンサである。第１センサ３
は、例えば上方に向けて光を発する発光部と、発光部か
ら発せられてワーク２で反射された光を受ける受光部を
備えている。受光部の受光量がワーク２の有無に応じて
変化するため、この受光量に基づいてワーク２に対向し
ているか否か、即ちワーク２の有無の境界である縁を検
出することができる。
【００３１】第２センサ４はワーク２の側縁を検出する
もので、ハンド１の、ワーク２の側縁に対向する部位に
上向きに設けられている。本実施形態では、第２センサ
４によってワーク２の左側縁２ｃを検出するようにして
いるので、第２センサ４はワーク２の左側縁２ｃに対応
する位置、例えば左側フォーク１ａに形成された突出部
２ｅに設けられている。
もので、ハンド１の、ワーク２の側縁に対向する部位に
上向きに設けられている。本実施形態では、第２センサ
４によってワーク２の左側縁２ｃを検出するようにして
いるので、第２センサ４はワーク２の左側縁２ｃに対応
する位置、例えば左側フォーク１ａに形成された突出部
２ｅに設けられている。
【００３２】第２センサ４は、例えば光学的にワーク２
の左側縁２ｃを検出するセンサである。第２センサ４
は、例えば上方に向けて光を発する発光部と、発光部か
ら発せられてワーク２で反射された光を受ける受光部を
備えている。受光部の受光量がワーク２の有無に応じて
変化するため、この受光量に基づいてワーク２に対向し
ているか否か、即ちワーク２の有無の境界である縁を検
出することができる。
の左側縁２ｃを検出するセンサである。第２センサ４
は、例えば上方に向けて光を発する発光部と、発光部か
ら発せられてワーク２で反射された光を受ける受光部を
備えている。受光部の受光量がワーク２の有無に応じて
変化するため、この受光量に基づいてワーク２に対向し
ているか否か、即ちワーク２の有無の境界である縁を検
出することができる。
【００３３】次に、ハンド１の位置合わせ方法（以下、
単に位置合わせ方法という）について説明する。図６に
本発明を適用した位置合わせ方法を示す。この位置合わ
せ方法は、ロボットのハンド１を前後方向からワーク２
の上方又は下方に進入させて位置合わせするもので、ハ
ンド１は、左右方向に並んで配置された一対の第１セン
サ３と、側部に設けられた第２センサ４とを有してお
り、ハンド１を前後方向からワーク２の上方又は下方に
進入させるハンド進入工程（Ｓ１１）と、ハンド１の進
入時に一対の第１センサ３がワーク２の前端縁２ａ又は
後端縁２ｂを検出するロボットの座標の差に基づいてワ
ーク２の左右方向の傾斜角θを求める傾斜角算出工程
（Ｓ１２）と、ワーク２の上方又は下方においてハンド
１を左右方向に傾斜角θだけ傾斜させる傾斜角合わせ工
程（Ｓ１３）と、ハンド１を左右方向に傾斜角θだけ傾
斜させた状態で第２センサ４がワーク２の側縁を検出す
るまでハンド１を左右方向に移動させる第１の左右位置
合わせ工程（Ｓ１４）と、ハンド１を左右方向に傾斜角
θだけ傾斜させた状態で一対の第１センサ３がワーク２
の前端縁２ａ又は後端縁２ｂを検出するまでハンド１を
前後方向から傾斜角θだけ傾斜する方向に移動させる第
１の前後位置合わせ工程（Ｓ１５）を備えている。
単に位置合わせ方法という）について説明する。図６に
本発明を適用した位置合わせ方法を示す。この位置合わ
せ方法は、ロボットのハンド１を前後方向からワーク２
の上方又は下方に進入させて位置合わせするもので、ハ
ンド１は、左右方向に並んで配置された一対の第１セン
サ３と、側部に設けられた第２センサ４とを有してお
り、ハンド１を前後方向からワーク２の上方又は下方に
進入させるハンド進入工程（Ｓ１１）と、ハンド１の進
入時に一対の第１センサ３がワーク２の前端縁２ａ又は
後端縁２ｂを検出するロボットの座標の差に基づいてワ
ーク２の左右方向の傾斜角θを求める傾斜角算出工程
（Ｓ１２）と、ワーク２の上方又は下方においてハンド
１を左右方向に傾斜角θだけ傾斜させる傾斜角合わせ工
程（Ｓ１３）と、ハンド１を左右方向に傾斜角θだけ傾
斜させた状態で第２センサ４がワーク２の側縁を検出す
るまでハンド１を左右方向に移動させる第１の左右位置
合わせ工程（Ｓ１４）と、ハンド１を左右方向に傾斜角
θだけ傾斜させた状態で一対の第１センサ３がワーク２
の前端縁２ａ又は後端縁２ｂを検出するまでハンド１を
前後方向から傾斜角θだけ傾斜する方向に移動させる第
１の前後位置合わせ工程（Ｓ１５）を備えている。
【００３４】ハンド進入工程（Ｓ１１）では、ハンド１
を前進させてワーク２の下方に進入させる（図１）。い
ま、ワーク２が左に傾斜角θだけ傾いていると、最初に
左側の第１センサ３がワーク２の後端縁２ｂを検出す
る。アームロボット５のコントローラは、ハンド１の現
在位置の座標を常に把握している。コントローラは、左
側の第１センサ３がワーク２の後端縁２ｂを検出した瞬
間のハンド１の位置座標に基づいて第１のアーム６の回
動中心Ｏ１から左側の第１センサ３までの前後方向にお
ける距離Ｘ１を算出する。
を前進させてワーク２の下方に進入させる（図１）。い
ま、ワーク２が左に傾斜角θだけ傾いていると、最初に
左側の第１センサ３がワーク２の後端縁２ｂを検出す
る。アームロボット５のコントローラは、ハンド１の現
在位置の座標を常に把握している。コントローラは、左
側の第１センサ３がワーク２の後端縁２ｂを検出した瞬
間のハンド１の位置座標に基づいて第１のアーム６の回
動中心Ｏ１から左側の第１センサ３までの前後方向にお
ける距離Ｘ１を算出する。
【００３５】そして、ハンド１がさらに前進すると、右
側の第１センサ３がワーク２の後端縁２ｂを検出する
（図２）。コントローラは、右側の第１センサ３がワー
ク２の後端縁２ｂを検出した瞬間のハンド１の位置座標
に基づいて第１のアーム６の回動中心Ｏ１から右側の第
１センサ３までの前後方向における距離Ｘ２を算出す
る。
側の第１センサ３がワーク２の後端縁２ｂを検出する
（図２）。コントローラは、右側の第１センサ３がワー
ク２の後端縁２ｂを検出した瞬間のハンド１の位置座標
に基づいて第１のアーム６の回動中心Ｏ１から右側の第
１センサ３までの前後方向における距離Ｘ２を算出す
る。
【００３６】傾斜角算出工程（Ｓ１２）では、ワーク２
の左右方向の傾斜角θを求める。左右の第１センサ３の
間隔をＬ１とすると、傾斜角θ＝ｔａｎ−１（（Ｘ２−
Ｘ１）／Ｌ１）である。コントローラはこの式を計算し
て傾斜角θを求める。
の左右方向の傾斜角θを求める。左右の第１センサ３の
間隔をＬ１とすると、傾斜角θ＝ｔａｎ−１（（Ｘ２−
Ｘ１）／Ｌ１）である。コントローラはこの式を計算し
て傾斜角θを求める。
【００３７】傾斜角合わせ工程（Ｓ１３）では、まず最
初にアームロボット５を左右方向に移動させる距離Ｙ１
を求める。ワーク２のストック位置の中心、即ちワーク
２を収納しているカセットの設置位置の中心Ｏ２から第
１のアーム６の回動中心Ｏ１までの距離をＬ２とする
と、左右方向への移動距離Ｙ１＝Ｌ２×ｔａｎθであ
る。コントローラはこの式を計算して左右方向への移動
距離Ｙ１を求める。そして、アームロボット５を右方向
に距離Ｙ１だけ移動させながら、同時にアームロボット
５を傾斜角θだけ左方向に旋回させると、ハンド１がカ
セット設置位置の中心Ｏ２を中心にして左方向に角度θ
だけ傾斜することになり、ワーク２の傾斜とハンド１の
傾斜が一致する（図３）。
初にアームロボット５を左右方向に移動させる距離Ｙ１
を求める。ワーク２のストック位置の中心、即ちワーク
２を収納しているカセットの設置位置の中心Ｏ２から第
１のアーム６の回動中心Ｏ１までの距離をＬ２とする
と、左右方向への移動距離Ｙ１＝Ｌ２×ｔａｎθであ
る。コントローラはこの式を計算して左右方向への移動
距離Ｙ１を求める。そして、アームロボット５を右方向
に距離Ｙ１だけ移動させながら、同時にアームロボット
５を傾斜角θだけ左方向に旋回させると、ハンド１がカ
セット設置位置の中心Ｏ２を中心にして左方向に角度θ
だけ傾斜することになり、ワーク２の傾斜とハンド１の
傾斜が一致する（図３）。
【００３８】第１の左右位置合わせ工程（Ｓ１４）で
は、アームロボット５を左方向に移動させ、第２センサ
４がワーク２の左側縁２ｃを検出した位置で停止させる
（図４）。これにより、ワーク２とハンド１の左右方向
の位置関係が調整される。
は、アームロボット５を左方向に移動させ、第２センサ
４がワーク２の左側縁２ｃを検出した位置で停止させる
（図４）。これにより、ワーク２とハンド１の左右方向
の位置関係が調整される。
【００３９】第１の前後位置合わせ工程（Ｓ１５）で
は、ハンド１を前後方向から傾斜角θだけ傾斜する方
向、即ちワーク２の側縁２ｃ，２ｄに沿う方向に後退さ
せ、一対の第１センサ３がワーク２の後端縁２ｂを検出
した位置で停止させる（図５）。これにより、ワーク２
とハンド１の前後方向の位置関係が調整される。
は、ハンド１を前後方向から傾斜角θだけ傾斜する方
向、即ちワーク２の側縁２ｃ，２ｄに沿う方向に後退さ
せ、一対の第１センサ３がワーク２の後端縁２ｂを検出
した位置で停止させる（図５）。これにより、ワーク２
とハンド１の前後方向の位置関係が調整される。
【００４０】即ち、ワーク２に対して、ハンド１の傾斜
角θ、前後左右位置が合わされる。この後、ハンド１を
上昇させてワーク２を吸着する。このように、ワーク２
に対してハンド１を位置合わせした後ワーク２を吸着す
るので、たとえワーク２が置かれていた位置がカセット
に対して多少ずれていたとしても、ハンド１とワーク２
の位置関係は正確なものとなり、アームロボット５はワ
ーク２を次の作業場所の受け渡し位置に正確に搬送する
ことができる。
角θ、前後左右位置が合わされる。この後、ハンド１を
上昇させてワーク２を吸着する。このように、ワーク２
に対してハンド１を位置合わせした後ワーク２を吸着す
るので、たとえワーク２が置かれていた位置がカセット
に対して多少ずれていたとしても、ハンド１とワーク２
の位置関係は正確なものとなり、アームロボット５はワ
ーク２を次の作業場所の受け渡し位置に正確に搬送する
ことができる。
【００４１】なお、上述の形態は本発明の好適な形態の
一例ではあるがこれに限定されるものではなく本発明の
要旨を逸脱しない範囲において種々変形実施可能であ
る。
一例ではあるがこれに限定されるものではなく本発明の
要旨を逸脱しない範囲において種々変形実施可能であ
る。
【００４２】例えば、図６の位置合わせ方法では、第１
の左右位置合わせ工程（Ｓ１４）においてハンド１を左
右方向に移動させ、その後、第１の前後位置合わせ工程
（Ｓ１５）においてハンド１を前後方向から傾斜角θだ
け傾斜する方向に移動させるようにしていたが、これに
限るものではない。例えば図７に示すように、第２の前
後位置合わせ工程（Ｓ１６）においてハンド１を前後方
向に移動させ、その後、第２の左右位置合わせ工程（Ｓ
１７）においてハンド１を左右方向から傾斜角θだけ傾
斜する方向、即ちワーク２の左右の側縁２ｃ，２ｄに沿
う方向に移動させるようにしても良い。
の左右位置合わせ工程（Ｓ１４）においてハンド１を左
右方向に移動させ、その後、第１の前後位置合わせ工程
（Ｓ１５）においてハンド１を前後方向から傾斜角θだ
け傾斜する方向に移動させるようにしていたが、これに
限るものではない。例えば図７に示すように、第２の前
後位置合わせ工程（Ｓ１６）においてハンド１を前後方
向に移動させ、その後、第２の左右位置合わせ工程（Ｓ
１７）においてハンド１を左右方向から傾斜角θだけ傾
斜する方向、即ちワーク２の左右の側縁２ｃ，２ｄに沿
う方向に移動させるようにしても良い。
【００４３】即ち、ロボットのハンド１を前後方向から
ワーク２の上方又は下方に進入させて位置合わせするハ
ンド１の位置合わせ方法であって、ハンド１は、左右方
向に並んで配置された一対の第１センサ３と、側部に設
けられた第２センサ４とを有し、ハンド１を前後方向か
らワーク２の上方又は下方に進入させるハンド進入工程
（Ｓ１１）と、ハンド１の進入時に一対の第１センサ３
がワーク２の前端縁２ａ又は後端縁２ｂを検出するロボ
ットの座標の差に基づいてワーク２の左右方向の傾斜角
θを求める傾斜角算出工程（Ｓ１２）と、ワーク２の上
方又は下方においてハンド１を左右方向に傾斜角θだけ
傾斜させる傾斜角合わせ工程（Ｓ１３）と、ハンド１を
左右方向に傾斜角θだけ傾斜させた状態で一対の第１セ
ンサ３がワーク２の前端縁２ａ又は後端縁２ｂを検出す
るまでハンド１を前後方向に移動させる第２の前後位置
合わせ工程（Ｓ１６）と、ハンド１を左右方向に傾斜角
θだけ傾斜させた状態で第２センサ４がワーク２の側縁
を検出するまでハンド１を左右方向から傾斜角θだけ傾
斜する方向に移動させる第２の左右位置合わせ工程（Ｓ
１７）を備えるものであっても良い。
ワーク２の上方又は下方に進入させて位置合わせするハ
ンド１の位置合わせ方法であって、ハンド１は、左右方
向に並んで配置された一対の第１センサ３と、側部に設
けられた第２センサ４とを有し、ハンド１を前後方向か
らワーク２の上方又は下方に進入させるハンド進入工程
（Ｓ１１）と、ハンド１の進入時に一対の第１センサ３
がワーク２の前端縁２ａ又は後端縁２ｂを検出するロボ
ットの座標の差に基づいてワーク２の左右方向の傾斜角
θを求める傾斜角算出工程（Ｓ１２）と、ワーク２の上
方又は下方においてハンド１を左右方向に傾斜角θだけ
傾斜させる傾斜角合わせ工程（Ｓ１３）と、ハンド１を
左右方向に傾斜角θだけ傾斜させた状態で一対の第１セ
ンサ３がワーク２の前端縁２ａ又は後端縁２ｂを検出す
るまでハンド１を前後方向に移動させる第２の前後位置
合わせ工程（Ｓ１６）と、ハンド１を左右方向に傾斜角
θだけ傾斜させた状態で第２センサ４がワーク２の側縁
を検出するまでハンド１を左右方向から傾斜角θだけ傾
斜する方向に移動させる第２の左右位置合わせ工程（Ｓ
１７）を備えるものであっても良い。
【００４４】この位置合わせ方法でも、図１の位置合わ
せ方法と同様に、ワーク２に対して、ハンド１の傾斜角
θ、前後左右位置を合わすことができる。したがって、
たとえワーク２が置かれていた位置がカセットに対して
多少ずれていたとしても、ハンド１とワーク２の位置関
係は正確なものとなり、アームロボット５はワーク２を
次の作業場所の受け渡し位置に正確に搬送することがで
きる。
せ方法と同様に、ワーク２に対して、ハンド１の傾斜角
θ、前後左右位置を合わすことができる。したがって、
たとえワーク２が置かれていた位置がカセットに対して
多少ずれていたとしても、ハンド１とワーク２の位置関
係は正確なものとなり、アームロボット５はワーク２を
次の作業場所の受け渡し位置に正確に搬送することがで
きる。
【００４５】また、上述の説明では、一対の第１センサ
３によってワーク２の後端縁２ｂを検出するようにして
いたが、一対の第１センサ３によってワーク２の前端縁
２ａを検出するようにしても良い。
３によってワーク２の後端縁２ｂを検出するようにして
いたが、一対の第１センサ３によってワーク２の前端縁
２ａを検出するようにしても良い。
【００４６】また、上述の説明では、第２センサ４によ
ってワーク２の左側縁２ｃを検出するようにしていた
が、第２センサ４によってワーク２の右側縁２ｄを検出
するようにしても良い。
ってワーク２の左側縁２ｃを検出するようにしていた
が、第２センサ４によってワーク２の右側縁２ｄを検出
するようにしても良い。
【００４７】さらに、上述の説明では、ハンド１にワー
ク２の後端縁２ｂを検出する一対の第１センサ３と、ワ
ーク２の左側縁２ｃを検出する第２センサ４を取り付け
ていたが、取り付けるセンサの数を増やしても良い。例
えば、図８に示すように、ワーク２の後端縁２ｂを検出
する一対の第１センサ３と、ワーク２の左側縁２ｃを検
出する第２センサ４に加え、ワーク２の前端縁２ａを検
出する第１センサ３と、ワーク２の右側縁２ｄを検出す
る第２センサ４を設けても良い。センサの数を増やすこ
とで、ハンド１の位置決め精度を向上させることが可能
になる。また、ワーク２の寸法の公差が大きい場合で
も、ワーク２のセンタでハンドリングすることが可能に
なる。
ク２の後端縁２ｂを検出する一対の第１センサ３と、ワ
ーク２の左側縁２ｃを検出する第２センサ４を取り付け
ていたが、取り付けるセンサの数を増やしても良い。例
えば、図８に示すように、ワーク２の後端縁２ｂを検出
する一対の第１センサ３と、ワーク２の左側縁２ｃを検
出する第２センサ４に加え、ワーク２の前端縁２ａを検
出する第１センサ３と、ワーク２の右側縁２ｄを検出す
る第２センサ４を設けても良い。センサの数を増やすこ
とで、ハンド１の位置決め精度を向上させることが可能
になる。また、ワーク２の寸法の公差が大きい場合で
も、ワーク２のセンタでハンドリングすることが可能に
なる。
【００４８】また、上述の説明では、ワーク２の縁２ａ
〜２ｄをセンサ３，４によって検出し、ワーク２の縁２
ａ〜２ｄにセンサ３，４の位置を合わせた状態でワーク
２を吸着してハンドリングするようにしていたが、必ず
しもセンサ３，４の位置をワーク２の縁２ａ〜２ｄに合
わせる必要はない。例えば、センサ３，４の位置をワー
ク２の縁２ａ〜２ｄから所定のオフセット寸法だけ内側
に離れた位置に合わせるようにしても良い。
〜２ｄをセンサ３，４によって検出し、ワーク２の縁２
ａ〜２ｄにセンサ３，４の位置を合わせた状態でワーク
２を吸着してハンドリングするようにしていたが、必ず
しもセンサ３，４の位置をワーク２の縁２ａ〜２ｄに合
わせる必要はない。例えば、センサ３，４の位置をワー
ク２の縁２ａ〜２ｄから所定のオフセット寸法だけ内側
に離れた位置に合わせるようにしても良い。
【００４９】一方、上述した実施形態ではハンド１に少
なくとも１個の第２センサ４を取り付けているが、これ
には限られずハンド１に第２センサ４を設けずに、図９
に示すようにハンド１を取り付けたアーム６，７を上下
方向に移動可能に支持したアームコラム部１８にエッジ
センサ１９を設け、このエッジセンサ１９によりハンド
１に吸着されたワーク２の左右方向位置を検出するよう
にしても良い。この場合、エッジセンサ１９を利用して
ワーク２の左右方向位置を検出するので、従来のように
左右位置検出センサをアームロボット５とは別に設置す
る場合に比べて装置全体を小型化することができる。よ
って、必要なクリーンルームの面積を小さくして製造コ
ストを下げることができる。
なくとも１個の第２センサ４を取り付けているが、これ
には限られずハンド１に第２センサ４を設けずに、図９
に示すようにハンド１を取り付けたアーム６，７を上下
方向に移動可能に支持したアームコラム部１８にエッジ
センサ１９を設け、このエッジセンサ１９によりハンド
１に吸着されたワーク２の左右方向位置を検出するよう
にしても良い。この場合、エッジセンサ１９を利用して
ワーク２の左右方向位置を検出するので、従来のように
左右位置検出センサをアームロボット５とは別に設置す
る場合に比べて装置全体を小型化することができる。よ
って、必要なクリーンルームの面積を小さくして製造コ
ストを下げることができる。
【００５０】また、この場合、従来のようにカセットか
ら引き抜いたワーク２をアームロボット５とは別位置に
設けた左右位置検出センサまで移動させる必要が無く、
またエッジセンサ１９がアーム６，７と共に上下方向に
移動するので、タクト・タイムを短縮して生産性を高め
ることができる。
ら引き抜いたワーク２をアームロボット５とは別位置に
設けた左右位置検出センサまで移動させる必要が無く、
またエッジセンサ１９がアーム６，７と共に上下方向に
移動するので、タクト・タイムを短縮して生産性を高め
ることができる。
【００５１】さらに、エッジセンサ１９はアームコラム
部１８に設けられているので、ワーク２とエッジセンサ
１９との間の可動部はハンド１及びアーム６，７のみに
なる。このため、従来のようにワーク２と左右位置検出
センサとの間にアームロボット５及び架台８が存在する
場合に比べて、ワーク２とセンサ１９との間の可動部が
遥かに少ないので測定誤差を小さくすることができる。
部１８に設けられているので、ワーク２とエッジセンサ
１９との間の可動部はハンド１及びアーム６，７のみに
なる。このため、従来のようにワーク２と左右位置検出
センサとの間にアームロボット５及び架台８が存在する
場合に比べて、ワーク２とセンサ１９との間の可動部が
遥かに少ないので測定誤差を小さくすることができる。
【００５２】ここでは、ハンド１は左右方向に並んで設
けられた一対の第１センサ３，３を備えている。そし
て、ハンド１の進入時に一対の第１センサ３，３がワー
ク２の前端縁２ａ又は後端縁２ｂを検出すると共に、こ
れに基づいてワーク２の左右方向の傾斜角θを求める。
これにより、ハンド１とワーク２との向きを合わせるこ
とができる。
けられた一対の第１センサ３，３を備えている。そし
て、ハンド１の進入時に一対の第１センサ３，３がワー
ク２の前端縁２ａ又は後端縁２ｂを検出すると共に、こ
れに基づいてワーク２の左右方向の傾斜角θを求める。
これにより、ハンド１とワーク２との向きを合わせるこ
とができる。
【００５３】そして、エッジセンサ１９はラインセンサ
であるようにしている。このため、ワーク２のエッジ、
即ち左側縁２ｃまたは右側縁２ｄを広範囲で正確に検出
することができる。
であるようにしている。このため、ワーク２のエッジ、
即ち左側縁２ｃまたは右側縁２ｄを広範囲で正確に検出
することができる。
【００５４】また、ラインセンサ１９は発光部と受光部
とを備えると共に、その光軸は図１０に示すようにワー
ク２に対して斜め向きになるように設置されている。こ
のため、発光部からの光線がワーク２に反射して元の方
向に戻ってしまう等の誤動作の原因の発生を抑えること
ができる。なお、図１０中、符号１’、６’、７’はそ
れぞれ２つ目のハンドおよびアームを設けた場合を示
す。
とを備えると共に、その光軸は図１０に示すようにワー
ク２に対して斜め向きになるように設置されている。こ
のため、発光部からの光線がワーク２に反射して元の方
向に戻ってしまう等の誤動作の原因の発生を抑えること
ができる。なお、図１０中、符号１’、６’、７’はそ
れぞれ２つ目のハンドおよびアームを設けた場合を示
す。
【００５５】さらに、ラインセンサ１９は、図９に示す
ようにアーム６，７の折れ曲がり方向とは反対側に設け
られている。このため、アーム６，７とラインセンサ１
９とが干渉することがなく、操作性を阻害することがな
い。
ようにアーム６，７の折れ曲がり方向とは反対側に設け
られている。このため、アーム６，７とラインセンサ１
９とが干渉することがなく、操作性を阻害することがな
い。
【００５６】この実施形態でのハンド１の位置合わせ方
法について説明する。この位置合わせ方法は、ロボット
のハンド１を前後方向からワーク２の上方又は下方に進
入させてワーク２を保持して取り出すと共にワーク２を
位置合わせするものである。そして、この位置合わせ方
法は、図１１に示すように、ハンド１を前後方向からワ
ーク２の上方又は下方に進入させるハンド進入工程（Ｓ
１１）と、ハンド１の進入時に一対の前後センサ３，３
がワーク２の前端縁２ａ又は後端縁２ｂを検出するロボ
ットの座標の差に基づいてワーク２の左右方向の傾斜角
θを求める傾斜角算出工程（Ｓ１２）と、ワーク２の上
方又は下方においてハンド１を左右方向に傾斜角θだけ
傾斜させる傾斜角合わせ工程（Ｓ１３）と、ハンド１を
左右方向に傾斜角θだけ傾斜させて前後センサ３，３が
オンする立ち上がりポイントでワーク２を保持して取り
出す取り出し工程（Ｓ１８）と、エッジセンサ１９によ
りワーク２のエッジ２ｃ，２ｄを測定する左右測定工程
（Ｓ１９）と、左右のずれ量を補正して教示位置にワー
ク２を位置させる位置合わせ工程（Ｓ２０）とを備えて
いる。
法について説明する。この位置合わせ方法は、ロボット
のハンド１を前後方向からワーク２の上方又は下方に進
入させてワーク２を保持して取り出すと共にワーク２を
位置合わせするものである。そして、この位置合わせ方
法は、図１１に示すように、ハンド１を前後方向からワ
ーク２の上方又は下方に進入させるハンド進入工程（Ｓ
１１）と、ハンド１の進入時に一対の前後センサ３，３
がワーク２の前端縁２ａ又は後端縁２ｂを検出するロボ
ットの座標の差に基づいてワーク２の左右方向の傾斜角
θを求める傾斜角算出工程（Ｓ１２）と、ワーク２の上
方又は下方においてハンド１を左右方向に傾斜角θだけ
傾斜させる傾斜角合わせ工程（Ｓ１３）と、ハンド１を
左右方向に傾斜角θだけ傾斜させて前後センサ３，３が
オンする立ち上がりポイントでワーク２を保持して取り
出す取り出し工程（Ｓ１８）と、エッジセンサ１９によ
りワーク２のエッジ２ｃ，２ｄを測定する左右測定工程
（Ｓ１９）と、左右のずれ量を補正して教示位置にワー
ク２を位置させる位置合わせ工程（Ｓ２０）とを備えて
いる。
【００５７】ハンド進入工程（Ｓ１１）と傾斜角算出工
程（Ｓ１２）は、図６および図７に示すものと同様であ
るので詳細な説明は省略する。なお、ワーク２を収納し
ているカセットの設置位置の中心Ｏ２と第１のアーム６
の回動中心Ｏ１とが最短距離にあるアームコラム部１８
の位置（図９に示す状態）をアームロボット５の仮想原
位置とする。
程（Ｓ１２）は、図６および図７に示すものと同様であ
るので詳細な説明は省略する。なお、ワーク２を収納し
ているカセットの設置位置の中心Ｏ２と第１のアーム６
の回動中心Ｏ１とが最短距離にあるアームコラム部１８
の位置（図９に示す状態）をアームロボット５の仮想原
位置とする。
【００５８】傾斜角合わせ工程（Ｓ１３）では、まず最
初にアームロボット５を左右方向に移動させる距離Ｙ２
を求める。そのためにワーク２の前後方向の中心Ｏ３を
求める。ワーク２の前後方向の中心Ｏ３から第１のアー
ム６の回動中心Ｏ１までの距離をＬ３とすると、Ｌ３は
数式１により算出される。
初にアームロボット５を左右方向に移動させる距離Ｙ２
を求める。そのためにワーク２の前後方向の中心Ｏ３を
求める。ワーク２の前後方向の中心Ｏ３から第１のアー
ム６の回動中心Ｏ１までの距離をＬ３とすると、Ｌ３は
数式１により算出される。
【数１】Ｌ３＝Ｘ１＋ｔａｎθ×（Ｌ１／２）＋ｃｏｓ
θ×（ｂ／２）
θ×（ｂ／２）
【００５９】さらに、左右方向への移動距離は、Ｙ２＝
Ｌ３×ｔａｎθである。コントローラはこの式を計算し
て左右方向への移動距離Ｙ２を求める。そして、図１３
に示すようにアームロボット５を右方向に距離Ｙ２だけ
移動させながら、同時にアームロボット５を傾斜角θだ
け左方向に旋回させると、ハンド１がワーク２の中心Ｏ
３を中心にして左方向に角度θだけ傾斜することにな
り、ワーク２の傾斜とハンド１の傾斜が一致する。
Ｌ３×ｔａｎθである。コントローラはこの式を計算し
て左右方向への移動距離Ｙ２を求める。そして、図１３
に示すようにアームロボット５を右方向に距離Ｙ２だけ
移動させながら、同時にアームロボット５を傾斜角θだ
け左方向に旋回させると、ハンド１がワーク２の中心Ｏ
３を中心にして左方向に角度θだけ傾斜することにな
り、ワーク２の傾斜とハンド１の傾斜が一致する。
【００６０】取り出し工程（Ｓ１８）では、図１３に示
すようにハンド１を左右方向に傾斜角θだけ傾斜させる
と共にアームロボット５をＹ２だけ移動させて、前後セ
ンサ３，３がオンする立ち上がりポイントでワーク２を
保持して取り出す。その後、図１４に示すようにアーム
ロボット５をＹ２だけ戻すと共に、ハンド１を傾斜角θ
だけ戻す。これにより、アームロボット５を仮想原位置
に位置させることができる。
すようにハンド１を左右方向に傾斜角θだけ傾斜させる
と共にアームロボット５をＹ２だけ移動させて、前後セ
ンサ３，３がオンする立ち上がりポイントでワーク２を
保持して取り出す。その後、図１４に示すようにアーム
ロボット５をＹ２だけ戻すと共に、ハンド１を傾斜角θ
だけ戻す。これにより、アームロボット５を仮想原位置
に位置させることができる。
【００６１】左右測定工程（Ｓ１９）では、図１５に示
すようにエッジセンサ１９によりワーク２のエッジ２ｃ
を測定する。そして、位置合わせ工程（Ｓ２０）で、左
右のずれ量を補正して教示位置にワーク２を位置させ
る。
すようにエッジセンサ１９によりワーク２のエッジ２ｃ
を測定する。そして、位置合わせ工程（Ｓ２０）で、左
右のずれ量を補正して教示位置にワーク２を位置させ
る。
【００６２】上述したように、この実施形態によればハ
ンド１に前後センサ３，３を搭載しているので、ハンド
１に対してワーク２を真っ直ぐ保持することができる。
このため、ワーク２をストッカから抜き出すときにワー
ク２の角を誤って何かにぶつけて欠けてしまうことを防
止できる。
ンド１に前後センサ３，３を搭載しているので、ハンド
１に対してワーク２を真っ直ぐ保持することができる。
このため、ワーク２をストッカから抜き出すときにワー
ク２の角を誤って何かにぶつけて欠けてしまうことを防
止できる。
【００６３】また、上述した実施形態ではハンド１に前
後センサ３，３を搭載しているが、これには限られず無
くても良い。この場合、エッジセンサ１９のみによりワ
ーク２の位置を決定する。すなわち、ワーク２を保持す
るときは測定を行うことなく保持する。そして、保持し
た後にエッジセンサ１９を利用してワーク２の左右の側
縁２ｃ，２ｄと前後端縁２ａ，２ｂのうちの少なくとも
３箇所の測定を行ってアームロボット５に対するワーク
２の位置を測定して、次の装置の正規位置に搭載するよ
うにすれば良い。
後センサ３，３を搭載しているが、これには限られず無
くても良い。この場合、エッジセンサ１９のみによりワ
ーク２の位置を決定する。すなわち、ワーク２を保持す
るときは測定を行うことなく保持する。そして、保持し
た後にエッジセンサ１９を利用してワーク２の左右の側
縁２ｃ，２ｄと前後端縁２ａ，２ｂのうちの少なくとも
３箇所の測定を行ってアームロボット５に対するワーク
２の位置を測定して、次の装置の正規位置に搭載するよ
うにすれば良い。
【００６４】さらに、上述した実施形態ではエッジセン
サ１９を１つのみ設けているが、これには限られず２個
以上設けても良い。エッジセンサ１９を例えばアームロ
ボット５の左右に１つずつ設けて、ワーク２の左右の側
縁２ｃ，２ｄを同時に計測するようにしても良い。この
場合、ハンド１を前後動させる等によりワーク２の傾き
θを検出して補正することができる。
サ１９を１つのみ設けているが、これには限られず２個
以上設けても良い。エッジセンサ１９を例えばアームロ
ボット５の左右に１つずつ設けて、ワーク２の左右の側
縁２ｃ，２ｄを同時に計測するようにしても良い。この
場合、ハンド１を前後動させる等によりワーク２の傾き
θを検出して補正することができる。
【００６５】
【発明の効果】以上説明したように、請求項１記載のハ
ンドの位置合わせ方法では、ハンドは、左右方向に並ん
で配置された一対の第１センサと、側部に設けられた第
２センサとを有し、ハンドを前後方向からワークの上方
又は下方に進入させるハンド進入工程と、ハンドの進入
時に一対の第１センサがワークの前端縁又は後端縁を検
出するロボットの座標の差に基づいてワークの左右方向
の傾斜角θを求める傾斜角算出工程と、ワークの上方又
は下方においてハンドを左右方向に傾斜角θだけ傾斜さ
せる傾斜角合わせ工程と、ハンドを左右方向に傾斜角θ
だけ傾斜させた状態で第２センサがワークの側縁を検出
するまでハンドを左右方向に移動させる第１の左右位置
合わせ工程と、ハンドを左右方向に傾斜角θだけ傾斜さ
せた状態で一対の第１センサがワークの前端縁又は後端
縁を検出するまでハンドを前後方向から傾斜角θだけ傾
斜する方向に移動させる第１の前後位置合わせ工程を備
えているので、ハンドに設けたセンサのみによってハン
ドの位置合わせを行うことができる。このため、例えば
アームロボットの脇等にセンサを別個に取り付ける必要
がなくなり、装置を小型化することができ、設置に必要
なスペースを狭くすることができる。また、ワークのハ
ンドリング後にはワークを直接次の作業場所に搬送する
ことができるので、搬送に要する時間が短縮され、タク
ト・タイムを短縮することができる。さらに、ハンドに
設けたセンサによって直接的にハンドの位置合わせを行
っているため、誤差要因を少なくすることができる。
ンドの位置合わせ方法では、ハンドは、左右方向に並ん
で配置された一対の第１センサと、側部に設けられた第
２センサとを有し、ハンドを前後方向からワークの上方
又は下方に進入させるハンド進入工程と、ハンドの進入
時に一対の第１センサがワークの前端縁又は後端縁を検
出するロボットの座標の差に基づいてワークの左右方向
の傾斜角θを求める傾斜角算出工程と、ワークの上方又
は下方においてハンドを左右方向に傾斜角θだけ傾斜さ
せる傾斜角合わせ工程と、ハンドを左右方向に傾斜角θ
だけ傾斜させた状態で第２センサがワークの側縁を検出
するまでハンドを左右方向に移動させる第１の左右位置
合わせ工程と、ハンドを左右方向に傾斜角θだけ傾斜さ
せた状態で一対の第１センサがワークの前端縁又は後端
縁を検出するまでハンドを前後方向から傾斜角θだけ傾
斜する方向に移動させる第１の前後位置合わせ工程を備
えているので、ハンドに設けたセンサのみによってハン
ドの位置合わせを行うことができる。このため、例えば
アームロボットの脇等にセンサを別個に取り付ける必要
がなくなり、装置を小型化することができ、設置に必要
なスペースを狭くすることができる。また、ワークのハ
ンドリング後にはワークを直接次の作業場所に搬送する
ことができるので、搬送に要する時間が短縮され、タク
ト・タイムを短縮することができる。さらに、ハンドに
設けたセンサによって直接的にハンドの位置合わせを行
っているため、誤差要因を少なくすることができる。
【００６６】また、請求項２記載のハンドの位置合わせ
方法では、ハンドは、左右方向に並んで配置された一対
の第１センサと、側部に設けられた第２センサとを有
し、ハンドを前後方向からワークの上方又は下方に進入
させるハンド進入工程と、ハンドの進入時に一対の第１
センサがワークの前端縁又は後端縁を検出するロボット
の座標の差に基づいてワークの左右方向の傾斜角θを求
める傾斜角算出工程と、ワークの上方又は下方において
ハンドを左右方向に傾斜角θだけ傾斜させる傾斜角合わ
せ工程と、ハンドを左右方向に傾斜角θだけ傾斜させた
状態で一対の第１センサがワークの前端縁又は後端縁を
検出するまでハンドを前後方向に移動させる第２の前後
位置合わせ工程と、ハンドを左右方向に傾斜角θだけ傾
斜させた状態で第２センサがワークの側縁を検出するま
でハンドを左右方向から傾斜角θだけ傾斜する方向に移
動させる第２の左右位置合わせ工程を備えるので、ハン
ドに設けたセンサのみによってハンドの位置合わせを行
うことができる。このため、例えばアームロボットの脇
等にセンサを別個に取り付ける必要がなくなり、装置を
小型化することができ、設置に必要なスペースを狭くす
ることができる。また、ワークのハンドリング後にはワ
ークを直接次の作業場所に搬送することができるので、
搬送に要する時間が短縮され、タクト・タイムを短縮す
ることができる。さらに、ハンドに設けたセンサによっ
て直接的にハンドの位置合わせを行っているため、誤差
要因を少なくすることができる。
方法では、ハンドは、左右方向に並んで配置された一対
の第１センサと、側部に設けられた第２センサとを有
し、ハンドを前後方向からワークの上方又は下方に進入
させるハンド進入工程と、ハンドの進入時に一対の第１
センサがワークの前端縁又は後端縁を検出するロボット
の座標の差に基づいてワークの左右方向の傾斜角θを求
める傾斜角算出工程と、ワークの上方又は下方において
ハンドを左右方向に傾斜角θだけ傾斜させる傾斜角合わ
せ工程と、ハンドを左右方向に傾斜角θだけ傾斜させた
状態で一対の第１センサがワークの前端縁又は後端縁を
検出するまでハンドを前後方向に移動させる第２の前後
位置合わせ工程と、ハンドを左右方向に傾斜角θだけ傾
斜させた状態で第２センサがワークの側縁を検出するま
でハンドを左右方向から傾斜角θだけ傾斜する方向に移
動させる第２の左右位置合わせ工程を備えるので、ハン
ドに設けたセンサのみによってハンドの位置合わせを行
うことができる。このため、例えばアームロボットの脇
等にセンサを別個に取り付ける必要がなくなり、装置を
小型化することができ、設置に必要なスペースを狭くす
ることができる。また、ワークのハンドリング後にはワ
ークを直接次の作業場所に搬送することができるので、
搬送に要する時間が短縮され、タクト・タイムを短縮す
ることができる。さらに、ハンドに設けたセンサによっ
て直接的にハンドの位置合わせを行っているため、誤差
要因を少なくすることができる。
【００６７】さらに、請求項３記載のハンドの位置合わ
せ方法によれば、ハンドおよびアームコラム部に設けた
センサのみによってハンドの位置合わせを行うことがで
きる。このため、例えばアームロボットの脇等にセンサ
を別個に取り付ける必要がなくなり、装置を小型化する
ことができ、設置に必要なスペースを狭くすることがで
きる。また、ワークのハンドリング後にはワークをアー
ムロボットとは別個の箇所に設けられたセンサを経由さ
せることなく直接次の作業場所に搬送することができる
ので、搬送に要する時間が短縮され、タクト・タイムを
短縮することができる。さらに、エッジセンサはアーム
コラム部に設けられているので、ワークとエッジセンサ
との間の可動部はハンド及びアームのみになる。このた
め、従来のようにワークと左右位置検出センサとの間に
アームロボットや架台が存在する場合に比べて、ワーク
とセンサとの間の可動部が遥かに少ないので測定誤差を
小さくすることができる。
せ方法によれば、ハンドおよびアームコラム部に設けた
センサのみによってハンドの位置合わせを行うことがで
きる。このため、例えばアームロボットの脇等にセンサ
を別個に取り付ける必要がなくなり、装置を小型化する
ことができ、設置に必要なスペースを狭くすることがで
きる。また、ワークのハンドリング後にはワークをアー
ムロボットとは別個の箇所に設けられたセンサを経由さ
せることなく直接次の作業場所に搬送することができる
ので、搬送に要する時間が短縮され、タクト・タイムを
短縮することができる。さらに、エッジセンサはアーム
コラム部に設けられているので、ワークとエッジセンサ
との間の可動部はハンド及びアームのみになる。このた
め、従来のようにワークと左右位置検出センサとの間に
アームロボットや架台が存在する場合に比べて、ワーク
とセンサとの間の可動部が遥かに少ないので測定誤差を
小さくすることができる。
【００６８】さらに、請求項４記載のハンドの位置合わ
せ装置では、ハンドに左右方向に並んで設けられた一対
の第１センサと、ハンドの側部に設けられた第２センサ
を備え、ハンドの進入時に一対の第１センサがワークの
前端縁又は後端縁を検出するロボットの座標の差に基づ
いてワークの左右方向の傾斜角θを求め、一対の第１セ
ンサに基づいてワークの前端縁又は後端縁を検出し、第
２センサに基づいてワークの側縁を検出するので、ハン
ドに設けたセンサのみによってハンドの位置合わせを行
うことができる。このため、例えばアームロボットの脇
等にセンサを別個に取り付ける必要がなくなり、装置を
小型化することができ、設置に必要なスペースを狭くす
ることができる。また、ワークのハンドリング後にはワ
ークを直接次の作業場所に搬送することができるので、
搬送に要する時間が短縮され、タクト・タイムを短縮す
ることができる。さらに、ハンドに設けたセンサによっ
て直接的にハンドの位置合わせを行っているため、誤差
要因を少なくすることができる。
せ装置では、ハンドに左右方向に並んで設けられた一対
の第１センサと、ハンドの側部に設けられた第２センサ
を備え、ハンドの進入時に一対の第１センサがワークの
前端縁又は後端縁を検出するロボットの座標の差に基づ
いてワークの左右方向の傾斜角θを求め、一対の第１セ
ンサに基づいてワークの前端縁又は後端縁を検出し、第
２センサに基づいてワークの側縁を検出するので、ハン
ドに設けたセンサのみによってハンドの位置合わせを行
うことができる。このため、例えばアームロボットの脇
等にセンサを別個に取り付ける必要がなくなり、装置を
小型化することができ、設置に必要なスペースを狭くす
ることができる。また、ワークのハンドリング後にはワ
ークを直接次の作業場所に搬送することができるので、
搬送に要する時間が短縮され、タクト・タイムを短縮す
ることができる。さらに、ハンドに設けたセンサによっ
て直接的にハンドの位置合わせを行っているため、誤差
要因を少なくすることができる。
【００６９】また、請求項５記載のハンドの位置合わせ
装置では、一対の第１センサ及び第２センサは光学的に
ワークの縁を検出するので、非接触でワークの縁を検出
することができる。
装置では、一対の第１センサ及び第２センサは光学的に
ワークの縁を検出するので、非接触でワークの縁を検出
することができる。
【００７０】また、請求項６記載のハンドの位置合わせ
装置によれば、エッジセンサを利用してワークの左右方
向位置を検出するので、従来のように左右位置検出セン
サをアームロボットとは別に設置する場合に比べて装置
全体を小型化することができる。よって、必要なクリー
ンルームの面積を小さくして製造コストを下げることが
できる。また、従来のようにカセットから引き抜いたワ
ークをアームロボットとは別位置に設けた左右位置検出
センサまで移動させる必要が無く、またエッジセンサが
アームと共に上下方向に移動するので、タクト・タイム
を短縮して生産性を高めることができる。さらに、エッ
ジセンサはアームコラム部に設けられているので、ワー
クとエッジセンサとの間の可動部はハンド及びアームの
みになる。このため、従来のようにワークと左右位置検
出センサとの間にアームロボットや架台が存在する場合
に比べて、ワークとセンサとの間の可動部が遥かに少な
いので測定誤差を小さくすることができる。
装置によれば、エッジセンサを利用してワークの左右方
向位置を検出するので、従来のように左右位置検出セン
サをアームロボットとは別に設置する場合に比べて装置
全体を小型化することができる。よって、必要なクリー
ンルームの面積を小さくして製造コストを下げることが
できる。また、従来のようにカセットから引き抜いたワ
ークをアームロボットとは別位置に設けた左右位置検出
センサまで移動させる必要が無く、またエッジセンサが
アームと共に上下方向に移動するので、タクト・タイム
を短縮して生産性を高めることができる。さらに、エッ
ジセンサはアームコラム部に設けられているので、ワー
クとエッジセンサとの間の可動部はハンド及びアームの
みになる。このため、従来のようにワークと左右位置検
出センサとの間にアームロボットや架台が存在する場合
に比べて、ワークとセンサとの間の可動部が遥かに少な
いので測定誤差を小さくすることができる。
【００７１】そして、請求項７記載のハンドの位置合わ
せ装置によれば、エッジセンサはラインセンサであるの
で、ワークのエッジを広範囲で正確に検出することがで
きる。
せ装置によれば、エッジセンサはラインセンサであるの
で、ワークのエッジを広範囲で正確に検出することがで
きる。
【図１】本発明を適用したハンドの位置合わせ装置の実
施形態の一例を示す概略構成図である。
施形態の一例を示す概略構成図である。
【図２】同位置合わせ装置を示し、図１の状態から更に
ハンドを進入させた状態の概略構成図である。
ハンドを進入させた状態の概略構成図である。
【図３】同位置合わせ装置を示し、ハンドの傾斜角をワ
ークの傾斜角に一致させた状態の概略構成図である。
ークの傾斜角に一致させた状態の概略構成図である。
【図４】同位置合わせ装置を示し、左右方向の位置合わ
せを行った状態の概略構成図である。
せを行った状態の概略構成図である。
【図５】同位置合わせ装置を示し、前後方向の位置合わ
せを行った状態の概略構成図である。
せを行った状態の概略構成図である。
【図６】本発明を適用したハンドの位置合わせ方法の実
施形態の一例を示すフローチャートである。
施形態の一例を示すフローチャートである。
【図７】本発明を適用したハンドの位置合わせ方法の他
の実施形態を示すフローチャートである。
の実施形態を示すフローチャートである。
【図８】本発明を適用したハンドの位置合わせ装置の他
の実施形態を示す概略構成図である。
の実施形態を示す概略構成図である。
【図９】本発明を適用したハンドの位置合わせ装置の別
の実施形態を示す概略構成図である。
の実施形態を示す概略構成図である。
【図１０】同位置合わせ装置を示す側面図である。
【図１１】本発明を適用したハンドの位置合わせ方法の
他の実施形態を示すフローチャートである。
他の実施形態を示すフローチャートである。
【図１２】本発明のハンドの位置合わせ装置を示し、図
９の状態から更にハンドを進入させた状態の概略構成図
である。
９の状態から更にハンドを進入させた状態の概略構成図
である。
【図１３】同位置合わせ装置を示し、ハンドの傾斜角を
ワークの傾斜角に一致させた状態の概略構成図である。
ワークの傾斜角に一致させた状態の概略構成図である。
【図１４】同位置合わせ装置を示し、ハンドの傾斜角を
コラム部に対して垂直にした状態の概略構成図である。
コラム部に対して垂直にした状態の概略構成図である。
【図１５】同位置合わせ装置を示し、左右方向の位置合
わせを行った状態の概略構成図である。
わせを行った状態の概略構成図である。
１ ハンド
２ ワーク
２ａ ワークの前端縁
２ｂ ワークの後端縁
２ｃ ワークの左側縁
２ｄ ワークの右側縁
３ 第１センサ（前後センサ）
４ 第２センサ
１８ アームコラム部
１９ エッジセンサ
Ｓ１１ ハンド進入工程
Ｓ１２ 傾斜角算出工程
Ｓ１３ 傾斜角合わせ工程
Ｓ１４ 第１の左右位置合わせ工程
Ｓ１５ 第１の前後位置合わせ工程
Ｓ１６ 第２の前後位置合わせ工程
Ｓ１７ 第２の左右位置合わせ工程
Ｓ１８ 取り出し工程
Ｓ１９ 左右測定工程
Ｓ２０ 位置合わせ工程
フロントページの続き
(72)発明者 増澤 佳久
長野県伊那市上の原6100番地 株式会社三
協精機製作所伊那工場内
Ｆターム(参考） 3C007 AS24 BS15 DS01 ES10 KS04
KV12 KX07 LT12 MT04 NS12
Claims (7)
- 【請求項１】 ロボットのハンドを前後方向からワーク
の上方又は下方に進入させて位置合わせするハンドの位
置合わせ方法であって、上記ハンドは、左右方向に並ん
で配置された一対の第１センサと、側部に設けられた第
２センサとを有し、上記ハンドを前後方向から上記ワー
クの上方又は下方に進入させるハンド進入工程と、上記
ハンドの進入時に上記一対の第１センサが上記ワークの
前端縁又は後端縁を検出する上記ロボットの座標の差に
基づいて上記ワークの左右方向の傾斜角θを求める傾斜
角算出工程と、上記ワークの上方又は下方において上記
ハンドを左右方向に傾斜角θだけ傾斜させる傾斜角合わ
せ工程と、上記ハンドを左右方向に傾斜角θだけ傾斜さ
せた状態で上記第２センサが上記ワークの側縁を検出す
るまで上記ハンドを左右方向に移動させる第１の左右位
置合わせ工程と、上記ハンドを左右方向に傾斜角θだけ
傾斜させた状態で上記一対の第１センサが上記ワークの
前端縁又は後端縁を検出するまで上記ハンドを前後方向
から傾斜角θだけ傾斜する方向に移動させる第１の前後
位置合わせ工程を備えることを特徴とするハンドの位置
合わせ方法。 - 【請求項２】 ロボットのハンドを前後方向からワーク
の上方又は下方に進入させて位置合わせするハンドの位
置合わせ方法であって、上記ハンドは、左右方向に並ん
で配置された一対の第１センサと、側部に設けられた第
２センサとを有し、上記ハンドを前後方向から上記ワー
クの上方又は下方に進入させるハンド進入工程と、上記
ハンドの進入時に上記一対の第１センサが上記ワークの
前端縁又は後端縁を検出する上記ロボットの座標の差に
基づいて上記ワークの左右方向の傾斜角θを求める傾斜
角算出工程と、上記ワークの上方又は下方において上記
ハンドを左右方向に傾斜角θだけ傾斜させる傾斜角合わ
せ工程と、上記ハンドを左右方向に傾斜角θだけ傾斜さ
せた状態で上記一対の第１センサが上記ワークの前端縁
又は後端縁を検出するまで上記ハンドを前後方向に移動
させる第２の前後位置合わせ工程と、上記ハンドを左右
方向に傾斜角θだけ傾斜させた状態で上記第２センサが
上記ワークの側縁を検出するまで上記ハンドを左右方向
から傾斜角θだけ傾斜する方向に移動させる第２の左右
位置合わせ工程を備えることを特徴とするハンドの位置
合わせ方法。 - 【請求項３】 ロボットのハンドを前後方向からワーク
の上方又は下方に進入させて上記ワークを保持して取り
出すと共に上記ワークを位置合わせするハンドの位置合
わせ方法において、上記ハンドは左右方向に並んで配置
された一対の前後センサを有すると共に上記ハンドを取
り付けたアームを上下方向に移動可能に支持したアーム
コラム部はエッジセンサを有し、尚かつ上記ハンドを前
後方向から上記ワークの上方又は下方に進入させるハン
ド進入工程と、上記ハンドの進入時に上記一対の前後セ
ンサが上記ワークの前端縁又は後端縁を検出する上記ロ
ボットの座標の差に基づいて上記ワークの左右方向の傾
斜角θを求める傾斜角算出工程と、上記ワークの上方又
は下方において上記ハンドを左右方向に傾斜角θだけ傾
斜させる傾斜角合わせ工程と、上記ハンドを左右方向に
傾斜角θだけ傾斜させて上記前後センサがオンする立ち
上がりポイントで上記ワークを保持して取り出す取り出
し工程と、上記エッジセンサにより上記ワークのエッジ
を測定する左右測定工程と、左右のずれ量を補正して教
示位置にワークを位置させる位置合わせ工程とを備える
ことを特徴とするハンドの位置合わせ方法。 - 【請求項４】 前後左右に移動可能且つ旋回可能なロボ
ットのハンドを前後方向からワークの上方又は下方に進
入させて位置合わせするハンドの位置合わせ装置におい
て、上記ハンドに左右方向に並んで設けられた一対の第
１センサと、上記ハンドの側部に設けられた第２センサ
を備え、上記ハンドの進入時に上記一対の第１センサが
上記ワークの前端縁又は後端縁を検出する上記ロボット
の座標の差に基づいて上記ワークの左右方向の傾斜角θ
を求め、上記一対の第１センサに基づいて上記ワークの
前端縁又は後端縁を検出し、上記第２センサに基づいて
上記ワークの側縁を検出することを特徴とするハンドの
位置合わせ装置。 - 【請求項５】 上記一対の第１センサ及び第２センサは
光学的に上記ワークの縁を検出することを特徴とする請
求項４記載のハンドの位置合わせ装置。 - 【請求項６】 前後左右に移動可能且つ旋回可能なロボ
ットのハンドを前後方向からワークの上方又は下方に進
入させて位置合わせするハンドの位置合わせ装置におい
て、上記ハンドを取り付けたアームを上下方向に移動可
能に支持したアームコラム部にエッジセンサを設け、こ
のエッジセンサにより上記ハンドに吸着された上記ワー
クの左右方向位置を検出することを特徴とするハンドの
位置合わせ装置。 - 【請求項７】 上記エッジセンサはラインセンサである
ことを特徴とする請求項６記載のハンドの位置合わせ装
置。
Priority Applications (4)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP2002177148A JP3955499B2 (ja) | 2001-08-07 | 2002-06-18 | ハンドの位置合わせ方法およびその装置 |
| KR10-2002-0044554A KR100503013B1 (ko) | 2001-08-07 | 2002-07-29 | 핸드의 위치맞춤방법 및 그 장치 |
| CNB021298092A CN1283427C (zh) | 2001-08-07 | 2002-08-06 | 机器手的定位装置 |
| TW091117654A TW559584B (en) | 2001-08-07 | 2002-08-06 | Method and device for adjusting position of hand |
Applications Claiming Priority (3)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP2001-239166 | 2001-08-07 | ||
| JP2001239166 | 2001-08-07 | ||
| JP2002177148A JP3955499B2 (ja) | 2001-08-07 | 2002-06-18 | ハンドの位置合わせ方法およびその装置 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JP2003117862A true JP2003117862A (ja) | 2003-04-23 |
| JP3955499B2 JP3955499B2 (ja) | 2007-08-08 |
Family
ID=26620097
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP2002177148A Expired - Lifetime JP3955499B2 (ja) | 2001-08-07 | 2002-06-18 | ハンドの位置合わせ方法およびその装置 |
Country Status (4)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JP3955499B2 (ja) |
| KR (1) | KR100503013B1 (ja) |
| CN (1) | CN1283427C (ja) |
| TW (1) | TW559584B (ja) |
Cited By (12)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| KR100716301B1 (ko) | 2006-02-06 | 2007-05-09 | 삼성전자주식회사 | 패널반송로봇 |
| JP2010152618A (ja) * | 2008-12-25 | 2010-07-08 | Kawasaki Heavy Ind Ltd | ロボット、及びロボットの教示位置の直進開始位置の較正方法 |
| WO2012008321A1 (ja) * | 2010-07-14 | 2012-01-19 | 日本電産サンキョー株式会社 | 産業用ロボット、産業用ロボットの制御方法および産業用ロボットの教示方法 |
| JP2012040650A (ja) * | 2010-08-20 | 2012-03-01 | Nidec Sankyo Corp | 産業用ロボット |
| KR101239821B1 (ko) * | 2006-06-30 | 2013-03-06 | 엘지디스플레이 주식회사 | 기판이송로봇 및 이의 정렬방법 |
| JP2014008578A (ja) * | 2012-06-29 | 2014-01-20 | Daihen Corp | 基板搬送装置 |
| JP2014008579A (ja) * | 2012-06-29 | 2014-01-20 | Daihen Corp | 基板搬送装置 |
| JP2014522743A (ja) * | 2011-08-08 | 2014-09-08 | アプライド マテリアルズ インコーポレイテッド | マルチリンケージロボットを有するシステム及びマルチリンケージロボットにおいて位置アライメント及び回転アライメントを補正するための方法 |
| KR20210012950A (ko) | 2019-07-26 | 2021-02-03 | 니혼 덴산 산쿄 가부시키가이샤 | 로봇에 있어서의 워크 위치 검출 방법 |
| JP7443142B2 (ja) | 2020-04-10 | 2024-03-05 | ニデックインスツルメンツ株式会社 | 産業用ロボットおよび産業用ロボットの制御方法 |
| JP7443141B2 (ja) | 2020-04-10 | 2024-03-05 | ニデックインスツルメンツ株式会社 | 産業用ロボットおよび産業用ロボットの制御方法 |
| WO2024201688A1 (ja) * | 2023-03-28 | 2024-10-03 | 平田機工株式会社 | 基板取り出し方法、及び基板移送システム |
Families Citing this family (20)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP4688739B2 (ja) * | 2006-05-02 | 2011-05-25 | 株式会社ソニー・コンピュータエンタテインメント | 情報表示装置 |
| TWI382903B (zh) * | 2007-11-23 | 2013-01-21 | Hon Hai Prec Ind Co Ltd | 機械手 |
| CN101491403B (zh) * | 2009-02-18 | 2011-06-15 | 苏州艾隆科技有限公司 | 自动化药房的快速盘点方法 |
| JP4837116B2 (ja) * | 2010-03-05 | 2011-12-14 | ファナック株式会社 | 視覚センサを備えたロボットシステム |
| JP5578973B2 (ja) * | 2010-07-16 | 2014-08-27 | 日本電産サンキョー株式会社 | 産業用ロボット |
| KR101337563B1 (ko) * | 2012-03-30 | 2013-12-06 | 한국생산기술연구원 | 감지유닛을 이용하여 매니퓰레이터의 위치를 조절하는 이송장치 |
| CN103552083A (zh) * | 2013-10-30 | 2014-02-05 | 上海华力微电子有限公司 | 调整机械臂位置的方法 |
| JP6499826B2 (ja) * | 2014-01-29 | 2019-04-10 | 日本電産サンキョー株式会社 | 産業用ロボット |
| CN105590878B (zh) * | 2014-10-23 | 2019-02-19 | 北京北方华创微电子装备有限公司 | 一种机械手偏移监测系统 |
| CN105329642B (zh) * | 2015-11-09 | 2017-11-21 | 合肥欣奕华智能机器有限公司 | 基板位置偏移检测及校正方法和基板搬运系统的控制方法 |
| CN105417066B (zh) * | 2015-11-09 | 2017-12-01 | 合肥欣奕华智能机器有限公司 | 基板位置偏移检测及校正装置和基板搬运系统 |
| KR102066044B1 (ko) * | 2016-06-30 | 2020-02-11 | 세메스 주식회사 | 기판 처리 장치, 인덱스 로봇 및 기판 이송 방법 |
| KR102181121B1 (ko) * | 2016-09-20 | 2020-11-20 | 주식회사 원익아이피에스 | 기판 이송 장치 및 기판 이송 장치의 제어 방법 |
| CN106956290B (zh) * | 2017-04-17 | 2019-09-10 | 京东方科技集团股份有限公司 | 机械臂及其操作方法、机械臂装置及显示面板生产设备 |
| CN109877824A (zh) * | 2017-12-06 | 2019-06-14 | 沈阳新松机器人自动化股份有限公司 | 一种单取纠偏机器人及其纠偏方法 |
| CN109877823A (zh) * | 2017-12-06 | 2019-06-14 | 沈阳新松机器人自动化股份有限公司 | 一种双放纠偏双臂机器人及其纠偏方法 |
| CN109877822A (zh) * | 2017-12-06 | 2019-06-14 | 沈阳新松机器人自动化股份有限公司 | 一种双取纠偏双臂机器人及其纠偏方法 |
| US11587807B2 (en) | 2018-10-28 | 2023-02-21 | Taiwan Semiconductor Manufacturing Co., Ltd. | Annealing apparatus and method thereof |
| CN109523580B (zh) * | 2018-12-13 | 2021-01-26 | 法兰泰克重工股份有限公司 | 一种图像采集模块的计算方法、图像采集模块及分拣系统 |
| JP7219106B2 (ja) * | 2019-02-12 | 2023-02-07 | 日本電産サンキョー株式会社 | 基板搬送システムおよび基板搬送システムの制御方法 |
Family Cites Families (6)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPH09162257A (ja) * | 1995-12-05 | 1997-06-20 | Metsukusu:Kk | 薄型基板の搬送装置 |
| JPH10277986A (ja) * | 1997-04-01 | 1998-10-20 | Mecs:Kk | 薄型基板のアライメント装置 |
| JPH10335420A (ja) * | 1997-06-04 | 1998-12-18 | Mecs:Kk | ワークのアライメント装置 |
| JP2000040735A (ja) * | 1998-07-24 | 2000-02-08 | Mecs Corp | 基板搬送装置 |
| JP2000071187A (ja) * | 1998-08-27 | 2000-03-07 | Komatsu Ltd | ワーク搬送ロボット |
| JP2001144165A (ja) * | 1999-11-16 | 2001-05-25 | Assist Japan Kk | ガラス基板用非接触アライメント装置 |
-
2002
- 2002-06-18 JP JP2002177148A patent/JP3955499B2/ja not_active Expired - Lifetime
- 2002-07-29 KR KR10-2002-0044554A patent/KR100503013B1/ko active IP Right Grant
- 2002-08-06 CN CNB021298092A patent/CN1283427C/zh not_active Expired - Fee Related
- 2002-08-06 TW TW091117654A patent/TW559584B/zh not_active IP Right Cessation
Cited By (13)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| KR100716301B1 (ko) | 2006-02-06 | 2007-05-09 | 삼성전자주식회사 | 패널반송로봇 |
| KR101239821B1 (ko) * | 2006-06-30 | 2013-03-06 | 엘지디스플레이 주식회사 | 기판이송로봇 및 이의 정렬방법 |
| JP2010152618A (ja) * | 2008-12-25 | 2010-07-08 | Kawasaki Heavy Ind Ltd | ロボット、及びロボットの教示位置の直進開始位置の較正方法 |
| WO2012008321A1 (ja) * | 2010-07-14 | 2012-01-19 | 日本電産サンキョー株式会社 | 産業用ロボット、産業用ロボットの制御方法および産業用ロボットの教示方法 |
| JP5798118B2 (ja) * | 2010-07-14 | 2015-10-21 | 日本電産サンキョー株式会社 | 産業用ロボット、産業用ロボットの制御方法および産業用ロボットの教示方法 |
| JP2012040650A (ja) * | 2010-08-20 | 2012-03-01 | Nidec Sankyo Corp | 産業用ロボット |
| JP2014522743A (ja) * | 2011-08-08 | 2014-09-08 | アプライド マテリアルズ インコーポレイテッド | マルチリンケージロボットを有するシステム及びマルチリンケージロボットにおいて位置アライメント及び回転アライメントを補正するための方法 |
| JP2014008579A (ja) * | 2012-06-29 | 2014-01-20 | Daihen Corp | 基板搬送装置 |
| JP2014008578A (ja) * | 2012-06-29 | 2014-01-20 | Daihen Corp | 基板搬送装置 |
| KR20210012950A (ko) | 2019-07-26 | 2021-02-03 | 니혼 덴산 산쿄 가부시키가이샤 | 로봇에 있어서의 워크 위치 검출 방법 |
| JP7443142B2 (ja) | 2020-04-10 | 2024-03-05 | ニデックインスツルメンツ株式会社 | 産業用ロボットおよび産業用ロボットの制御方法 |
| JP7443141B2 (ja) | 2020-04-10 | 2024-03-05 | ニデックインスツルメンツ株式会社 | 産業用ロボットおよび産業用ロボットの制御方法 |
| WO2024201688A1 (ja) * | 2023-03-28 | 2024-10-03 | 平田機工株式会社 | 基板取り出し方法、及び基板移送システム |
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| CN1283427C (zh) | 2006-11-08 |
| TW559584B (en) | 2003-11-01 |
| KR100503013B1 (ko) | 2005-07-25 |
| JP3955499B2 (ja) | 2007-08-08 |
| KR20030013250A (ko) | 2003-02-14 |
| CN1401461A (zh) | 2003-03-12 |
Similar Documents
| Publication | Publication Date | Title |
|---|---|---|
| JP2003117862A (ja) | ハンドの位置合わせ方法およびその装置 | |
| US10395968B2 (en) | Substrate transport device, detection position calibration method and substrate processing apparatus | |
| TWI470726B (zh) | 半導體晶圓對準裝置 | |
| US20020026259A1 (en) | Method of transporting substrates and apparatus for transporting substrates | |
| JP2000127069A5 (ja) | 搬送システムの搬送位置合わせ方法及び搬送システム | |
| KR100723119B1 (ko) | 기판 처리 장치 및 그 반송 위치 설정 방법 | |
| JPH09162257A (ja) | 薄型基板の搬送装置 | |
| US7596425B2 (en) | Substrate detecting apparatus and method, substrate transporting apparatus and method, and substrate processing apparatus and method | |
| JP2010208816A (ja) | 移載装置 | |
| TW201436963A (zh) | 交接位置教示方法、交接位置教示裝置及基板處理裝置 | |
| JP4395873B2 (ja) | 薄板状物の変位量検出方法及び変位量修正方法 | |
| JP2005193303A (ja) | 基板搬送装置 | |
| JP2004276151A (ja) | 搬送用ロボットおよび搬送用ロボットの教示方法 | |
| JP2003152055A (ja) | ウエハの位置決め方法、位置決め装置並びに処理システム | |
| JPH10335420A (ja) | ワークのアライメント装置 | |
| JPH11297788A (ja) | 基板位置検出装置及びこれを備えた基板処理装置 | |
| JP2000012657A (ja) | 半導体ウェハの位置決め装置 | |
| KR20230104695A (ko) | 기판 반송 로봇의 제어 장치 및 관절 모터의 제어 방법 | |
| JPH11312726A (ja) | 基板搬送装置 | |
| JP2000040735A (ja) | 基板搬送装置 | |
| TWI718081B (zh) | 機器人中的工件位置檢測方法 | |
| JP2008260599A (ja) | 半導体ウェハ搬送システムの搬送面調整方法及びそれを使った半導体ウェハ搬送システム及び半導体製造装置 | |
| JPH11150172A (ja) | 搬送装置 | |
| JP2001144165A (ja) | ガラス基板用非接触アライメント装置 | |
| WO2022259948A1 (ja) | 搬送システム及び判定方法 |
Legal Events
| Date | Code | Title | Description |
|---|---|---|---|
| A621 | Written request for application examination |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A621 Effective date: 20050126 |
|
| A977 | Report on retrieval |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A971007 Effective date: 20060628 |
|
| A131 | Notification of reasons for refusal |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A131 Effective date: 20060705 |
|
| A521 | Request for written amendment filed |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A523 Effective date: 20060904 |
|
| A02 | Decision of refusal |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A02 Effective date: 20070109 |
|
| A521 | Request for written amendment filed |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A523 Effective date: 20070207 |
|
| A911 | Transfer to examiner for re-examination before appeal (zenchi) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A911 Effective date: 20070315 |
|
| TRDD | Decision of grant or rejection written | ||
| A01 | Written decision to grant a patent or to grant a registration (utility model) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A01 Effective date: 20070411 |
|
| A61 | First payment of annual fees (during grant procedure) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A61 Effective date: 20070502 |
|
| R150 | Certificate of patent or registration of utility model |
Ref document number: 3955499 Country of ref document: JP Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R150 Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R150 |
|
| FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20110511 Year of fee payment: 4 |
|
| FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20120511 Year of fee payment: 5 |
|
| FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20120511 Year of fee payment: 5 |
|
| FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20130511 Year of fee payment: 6 |
|
| FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20130511 Year of fee payment: 6 |
|
| FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20140511 Year of fee payment: 7 |
|
| EXPY | Cancellation because of completion of term |