JPH10277986A - 薄型基板のアライメント装置 - Google Patents
薄型基板のアライメント装置Info
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- JPH10277986A JPH10277986A JP8293597A JP8293597A JPH10277986A JP H10277986 A JPH10277986 A JP H10277986A JP 8293597 A JP8293597 A JP 8293597A JP 8293597 A JP8293597 A JP 8293597A JP H10277986 A JPH10277986 A JP H10277986A
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- hand
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Abstract
(57)【要約】
【課題】 コンパクトに構成されしかも廉価なコストで
製作できる薄型基板のアライメント装置を提供するこ
と。 【解決手段】 ロボットのハンドアーム５３は、腕部５
４ａ・５４ｂを有する本体部５４と、一方の腕部５４ａ
から外方に突出するように形成される耳部５５と、を有
している。耳部５５と他方の腕部５４ｂ上には、それぞ
れセンサ７ａ・７ｂがハンドアーム５３の進行方向に対
して直交する方向に同一ライン上に配設されている。ハ
ンドアーム５３がガラス基板Ｗに向かって前進し、セン
サ７ａ・７ｂがガラス基板Ｗの前端縁部Ｗ１を通過する
際、センサ７ａ・７ｂから投光された光が反射されセン
サ７ａ・７ｂに受光されることによって、ガラス基板Ｗ
の前端縁部Ｗ１の位置を検出し、続いてハンドアーム５
３が耳部５５側の方向に移動し、耳部５５に取り付けら
れているセンサ７ａがガラス基板の側端縁部Ｗ２を通過
する際、側端縁部Ｗ２の位置を検出する。そして制御装
置により位置ずれを演算して、ロボットに補正指令を与
える。
製作できる薄型基板のアライメント装置を提供するこ
と。 【解決手段】 ロボットのハンドアーム５３は、腕部５
４ａ・５４ｂを有する本体部５４と、一方の腕部５４ａ
から外方に突出するように形成される耳部５５と、を有
している。耳部５５と他方の腕部５４ｂ上には、それぞ
れセンサ７ａ・７ｂがハンドアーム５３の進行方向に対
して直交する方向に同一ライン上に配設されている。ハ
ンドアーム５３がガラス基板Ｗに向かって前進し、セン
サ７ａ・７ｂがガラス基板Ｗの前端縁部Ｗ１を通過する
際、センサ７ａ・７ｂから投光された光が反射されセン
サ７ａ・７ｂに受光されることによって、ガラス基板Ｗ
の前端縁部Ｗ１の位置を検出し、続いてハンドアーム５
３が耳部５５側の方向に移動し、耳部５５に取り付けら
れているセンサ７ａがガラス基板の側端縁部Ｗ２を通過
する際、側端縁部Ｗ２の位置を検出する。そして制御装
置により位置ずれを演算して、ロボットに補正指令を与
える。
Description
【０００１】
【発明の属する技術分野】この発明は、ガラス基板等の
薄型基板の位置ずれを検出し、その補正量を修正して薄
型基板を搬送する薄型基板アライメント装置に関する。
薄型基板の位置ずれを検出し、その補正量を修正して薄
型基板を搬送する薄型基板アライメント装置に関する。
【０００２】
【従来の技術】一般に、半導体集積回路を製造するため
に薄型のガラス基板が使用される。半導体集積回路を製
造するにあたっては各種の工程を経るためガラス基板は
各工程間を搬送され、搬送される際のガラス基板の位置
精度も高精度を要求される。従来、カセット内に収納さ
れたガラス基板をロボットで次工程に搬送する際、カセ
ット内に配置されるガラス基板の現状の位置をセンサ等
によって検出することにより位置ずれを検出し、検出さ
れたガラス基板の位置ずれ分を制御装置に送って演算し
た後、ガラス基板の正規の位置を確保できるようにロボ
ットハンドを補正移動させるように構成されたアライメ
ント装置が提供されていた。
に薄型のガラス基板が使用される。半導体集積回路を製
造するにあたっては各種の工程を経るためガラス基板は
各工程間を搬送され、搬送される際のガラス基板の位置
精度も高精度を要求される。従来、カセット内に収納さ
れたガラス基板をロボットで次工程に搬送する際、カセ
ット内に配置されるガラス基板の現状の位置をセンサ等
によって検出することにより位置ずれを検出し、検出さ
れたガラス基板の位置ずれ分を制御装置に送って演算し
た後、ガラス基板の正規の位置を確保できるようにロボ
ットハンドを補正移動させるように構成されたアライメ
ント装置が提供されていた。
【０００３】例えば、図１６に示されるアライメント装
置Ｍ２は、ガラス基板Ｗが収納されたカセット７２と、
カセット７２のガラス基板取り出し口に対向するように
配置されたロボット７３と、カセット７２の側部近傍に
配置されガラス基板の側部周縁部Ｗ２を検出する検出装
置７４と、を有して構成され、検出装置７４にはガラス
基板Ｗの側部周縁部Ｗ２と平行に２組のセンサ７５が配
置されている。センサ７５はカセット内に複数段収納さ
れたすべてのガラス基板Ｗの側部周縁部Ｗ２を検出する
ために昇降可能に移動され、カセット７２が所定の位置
に配置されると２組のセンサ７５はそれぞれのガラス基
板Ｗの距離を測定する。ガラス基板Ｗの側部周縁部Ｗ２
を２点測定することによって、配置されたガラス基板Ｗ
の位置ずれを検出することができ、検出されたガラス基
板Ｗの位置ずれの信号を制御装置２０に送り、制御装置
２０で演算された補正量をロボット７３に指令する。ロ
ボット７３では制御装置２０からの指令を受けてロボッ
トハンド７６をその補正量分角度を回転することにな
る。そして、ガラス基板Ｗを吸着するために移動され
る。この際、ロボット７３にはガラス基板Ｗの前端面Ｗ
１を検出するセンサ７７が設けられていて、必要分だけ
移動されガラス基板Ｗを吸着把持することになる。
置Ｍ２は、ガラス基板Ｗが収納されたカセット７２と、
カセット７２のガラス基板取り出し口に対向するように
配置されたロボット７３と、カセット７２の側部近傍に
配置されガラス基板の側部周縁部Ｗ２を検出する検出装
置７４と、を有して構成され、検出装置７４にはガラス
基板Ｗの側部周縁部Ｗ２と平行に２組のセンサ７５が配
置されている。センサ７５はカセット内に複数段収納さ
れたすべてのガラス基板Ｗの側部周縁部Ｗ２を検出する
ために昇降可能に移動され、カセット７２が所定の位置
に配置されると２組のセンサ７５はそれぞれのガラス基
板Ｗの距離を測定する。ガラス基板Ｗの側部周縁部Ｗ２
を２点測定することによって、配置されたガラス基板Ｗ
の位置ずれを検出することができ、検出されたガラス基
板Ｗの位置ずれの信号を制御装置２０に送り、制御装置
２０で演算された補正量をロボット７３に指令する。ロ
ボット７３では制御装置２０からの指令を受けてロボッ
トハンド７６をその補正量分角度を回転することにな
る。そして、ガラス基板Ｗを吸着するために移動され
る。この際、ロボット７３にはガラス基板Ｗの前端面Ｗ
１を検出するセンサ７７が設けられていて、必要分だけ
移動されガラス基板Ｗを吸着把持することになる。
【０００４】
【発明が解決しようとする課題】しかし、一般にガラス
基板のアライメント装置は各種のものが注文され、ユー
ザーの要望によっては、コンパクトで簡単なアライメン
ト装置を注文されることもある。上述のアライメント装
置Ｍ２は、カセット７２の側部近傍に配置される検出装
置７４を必要とし、その検出装置７４には２組のセンサ
７５が昇降可能に配置されているため、全体の装置のス
ペースが大きくなり、また、検出装置自体が複雑に構成
されている。そのため、コストも大幅にかかってしま
う。
基板のアライメント装置は各種のものが注文され、ユー
ザーの要望によっては、コンパクトで簡単なアライメン
ト装置を注文されることもある。上述のアライメント装
置Ｍ２は、カセット７２の側部近傍に配置される検出装
置７４を必要とし、その検出装置７４には２組のセンサ
７５が昇降可能に配置されているため、全体の装置のス
ペースが大きくなり、また、検出装置自体が複雑に構成
されている。そのため、コストも大幅にかかってしま
う。
【０００５】この発明は、上述の課題を解決するもので
あり、省スペース化に対応するためにコンパクトで廉価
なコストで製作でき、しかも確実にガラス基板をアライ
メントできる薄型基板のアライメント装置を提供するこ
とを目的とする。
あり、省スペース化に対応するためにコンパクトで廉価
なコストで製作でき、しかも確実にガラス基板をアライ
メントできる薄型基板のアライメント装置を提供するこ
とを目的とする。
【０００６】
【課題を解決するための手段】この発明にかかわる薄型
基板のアライメント装置では、上記の課題を解決するた
めに以下のように構成するものである。即ち、薄型基板
が収納されたカセットと、前記薄型基板を吸着して搬送
するロボットハンドと、を有し、前記ロボットハンドに
少なくとも２個のセンサが配設され、前記センサが前記
薄型基板の位置ずれを検出しその補正量をロボットに指
令して前記ロボットハンドを補正するように構成される
薄型基板のアライメント装置であって、前記ロボットハ
ンドが、前記薄型基板を吸着する面を有するハンド本体
部と、前記ハンド本体部の一方の側面より外方に突出さ
れる耳部と、を有し、前記ハンド本体部と前記耳部に前
記センサが、前記ロボットハンド進行方向に対して直交
する方向に同一ライン上に少なくとも各１個配設される
ことを特徴とするものである。
基板のアライメント装置では、上記の課題を解決するた
めに以下のように構成するものである。即ち、薄型基板
が収納されたカセットと、前記薄型基板を吸着して搬送
するロボットハンドと、を有し、前記ロボットハンドに
少なくとも２個のセンサが配設され、前記センサが前記
薄型基板の位置ずれを検出しその補正量をロボットに指
令して前記ロボットハンドを補正するように構成される
薄型基板のアライメント装置であって、前記ロボットハ
ンドが、前記薄型基板を吸着する面を有するハンド本体
部と、前記ハンド本体部の一方の側面より外方に突出さ
れる耳部と、を有し、前記ハンド本体部と前記耳部に前
記センサが、前記ロボットハンド進行方向に対して直交
する方向に同一ライン上に少なくとも各１個配設される
ことを特徴とするものである。
【０００７】また、本発明のアライメント装置は、薄型
基板が収納されたカセットと、前記薄型基板を吸着して
搬送するロボットハンドと、を有し、前記ロボットハン
ドに少なくとも２個のセンサが配設され、前記センサが
前記薄型基板の位置ずれを検出しその補正量をロボット
に指令して前記ロボットハンドを補正するように構成さ
れるものであって、前記ロボットハンドが、前記薄型基
板を吸着する面を有するハンド本体部と、前記ハンド本
体部の一方の側面より外方に突出される耳部と、を有
し、前記耳部が、少なくとも２個並設され、それぞれの
耳部に前記センサがロボットハンド進行方向に対して平
行に同一ライン上に各１個配設されることを特徴とする
ものである。
基板が収納されたカセットと、前記薄型基板を吸着して
搬送するロボットハンドと、を有し、前記ロボットハン
ドに少なくとも２個のセンサが配設され、前記センサが
前記薄型基板の位置ずれを検出しその補正量をロボット
に指令して前記ロボットハンドを補正するように構成さ
れるものであって、前記ロボットハンドが、前記薄型基
板を吸着する面を有するハンド本体部と、前記ハンド本
体部の一方の側面より外方に突出される耳部と、を有
し、前記耳部が、少なくとも２個並設され、それぞれの
耳部に前記センサがロボットハンド進行方向に対して平
行に同一ライン上に各１個配設されることを特徴とする
ものである。
【０００８】さらに、前記センサが、前記薄型基板の下
面から上方に向かって投光することによって前記薄型基
板の端縁の位置を検出するように配設されていることを
特徴とするものであれば好ましい。
面から上方に向かって投光することによって前記薄型基
板の端縁の位置を検出するように配設されていることを
特徴とするものであれば好ましい。
【０００９】
【発明の実施の形態】以下、この発明の一実施の形態を
図面に基づいて説明する。
図面に基づいて説明する。
【００１０】第１の形態の薄型基板のアライメント装置
（以下、アライメント装置という）Ｍは、図１に示すよ
うに、架台１に載置され、薄型基板としての長方形板状
のガラス基板Ｗを収納保持するカセット２と、ガラス基
板Ｗを昇降し、次工程カセット２Ａに搬送するロボット
３と、ロボット３の作動を制御する制御装置２０、とを
備えて構成されている。
（以下、アライメント装置という）Ｍは、図１に示すよ
うに、架台１に載置され、薄型基板としての長方形板状
のガラス基板Ｗを収納保持するカセット２と、ガラス基
板Ｗを昇降し、次工程カセット２Ａに搬送するロボット
３と、ロボット３の作動を制御する制御装置２０、とを
備えて構成されている。
【００１１】カセット２は装置Ｍの架台１上に載置さ
れ、ガラス基板Ｗを収納可能な収納カセットであり、ガ
ラス基板Ｗがカセット２内の左右方向（図１参照）に対
向して形成される図示しない複数段の支持片上に載置さ
れる。
れ、ガラス基板Ｗを収納可能な収納カセットであり、ガ
ラス基板Ｗがカセット２内の左右方向（図１参照）に対
向して形成される図示しない複数段の支持片上に載置さ
れる。
【００１２】ロボット３には、機台４に対して回動可能
に配設され、ガラス基板Ｗを昇降し搬送する３段のアー
ム体を有するロボットハンド５が配設されている。
に配設され、ガラス基板Ｗを昇降し搬送する３段のアー
ム体を有するロボットハンド５が配設されている。
【００１３】ロボットハンド５は、機台４に回動可能に
連結される第１アーム５１、第１アーム５１の先端部で
回動可能に連結される第２アーム５２、第２アーム５２
の先端で回動可能に連結されるとともにガラス基板Ｗを
吸着するハンドアーム５３を備えて構成され、その駆動
機構は一般的に知られている機構が採用され機台４内に
配設されている。
連結される第１アーム５１、第１アーム５１の先端部で
回動可能に連結される第２アーム５２、第２アーム５２
の先端で回動可能に連結されるとともにガラス基板Ｗを
吸着するハンドアーム５３を備えて構成され、その駆動
機構は一般的に知られている機構が採用され機台４内に
配設されている。
【００１４】ハンドアーム５３は、図２に示されるよう
に、腕部５４ａ・５４ｂを有する本体部５４と、一方の
腕部５３ａから外方に垂直方向に突出して形成される耳
部５５と、を有している。そして、耳部５５と本体部５
４の他方の腕部５４ｂの上面にそれぞれセンサ７（７ａ
・７ｂ）がハンドアーム５３の進行方向に対して直交す
る方向に同一ライン上にあるように配置されている。ま
た、ハンドアーム５３にはガラス基板Ｗを吸着する吸着
穴が形成され、図示しない吸着エア回路に接続されい
る。
に、腕部５４ａ・５４ｂを有する本体部５４と、一方の
腕部５３ａから外方に垂直方向に突出して形成される耳
部５５と、を有している。そして、耳部５５と本体部５
４の他方の腕部５４ｂの上面にそれぞれセンサ７（７ａ
・７ｂ）がハンドアーム５３の進行方向に対して直交す
る方向に同一ライン上にあるように配置されている。ま
た、ハンドアーム５３にはガラス基板Ｗを吸着する吸着
穴が形成され、図示しない吸着エア回路に接続されい
る。
【００１５】それぞれのセンサ７は投光素子・受光素子
を有する反射式センサが使用され、ハンドアーム５３
が、搬送されるガラス基板Ｗの下方に移動される際、ガ
ラス基板Ｗの端縁部が投光された２組のセンサ７の光を
遮光することにより、ガラス基板Ｗの現状の位置を検出
できるように配設されている。
を有する反射式センサが使用され、ハンドアーム５３
が、搬送されるガラス基板Ｗの下方に移動される際、ガ
ラス基板Ｗの端縁部が投光された２組のセンサ７の光を
遮光することにより、ガラス基板Ｗの現状の位置を検出
できるように配設されている。
【００１６】また、ロボット３は、カセット２に対して
左右方向に移動されるように、架台１に配置されたレー
ル上を摺動可能に配設されている。
左右方向に移動されるように、架台１に配置されたレー
ル上を摺動可能に配設されている。
【００１７】次に、上記のように構成されたアライメン
ト装置Ｍの作用を説明する。ガラス基板Ｗが上下方向に
複数段収納されているカセット２が所定の位置に搬送さ
れると、ロボット３はカセット２に対向する位置まで移
動される。ロボットハンド５のハンドアーム５３が上段
あるいは下段の位置に配置されるガラス基板Ｗに対向す
るように昇降された後、ガラス基板Ｗの前面に向かって
移動する。ハンドアーム５３は、センサ７が、搬送され
るガラス基板Ｗの下方から奥に向かって移動され、ガラ
ス基板Ｗの前端縁部Ｗ１を通過した後一旦停止する。セ
ンサ７は下方から上方に向かって光が投光されていて、
ガラス基板Ｗの前端縁部Ｗ１を通過すると同時にガラス
基板Ｗの遮光で反射された光を受光することによって、
その位置を検出する。
ト装置Ｍの作用を説明する。ガラス基板Ｗが上下方向に
複数段収納されているカセット２が所定の位置に搬送さ
れると、ロボット３はカセット２に対向する位置まで移
動される。ロボットハンド５のハンドアーム５３が上段
あるいは下段の位置に配置されるガラス基板Ｗに対向す
るように昇降された後、ガラス基板Ｗの前面に向かって
移動する。ハンドアーム５３は、センサ７が、搬送され
るガラス基板Ｗの下方から奥に向かって移動され、ガラ
ス基板Ｗの前端縁部Ｗ１を通過した後一旦停止する。セ
ンサ７は下方から上方に向かって光が投光されていて、
ガラス基板Ｗの前端縁部Ｗ１を通過すると同時にガラス
基板Ｗの遮光で反射された光を受光することによって、
その位置を検出する。
【００１８】ハンドアーム５３に、ハンドアーム５３の
進行方向に対して直交する方向に同一ライン上に２個取
り付けられているセンサ７ａ・７ｂは、ガラス基板Ｗの
前端縁部Ｗ１を通過するそれぞれの位置（センサ７ａが
通過するときの位置Ｐａ、センサ７ｂが通過するときの
位置Ｐｂ）を検出すると、その信号を制御装置２０に出
力する。図３においては、ハンドアーム５３がガラス基
板Ｗに向かって前進移動し、センサ７ａがガラス基板Ｗ
の前端縁部Ｗ１と交差する点Ｐａに移動した状態を示
し、図４は、さらにハンドアーム５３が前進移動して、
センサ７ｂがガラス基板Ｗの前端縁部Ｗ１と交差する点
Ｐｂに移動した状態を示している。制御装置２０ではセ
ンサ７ａ・７ｂから入力された信号を変換して演算し、
２つの交差点Ｐａ・Ｐｂからセンサ７ａ・７ｂ間を結ぶ
直線に対して検出されたガラス基板Ｗの２つの交差点Ｐ
ａ・Ｐｂを結ぶ直線の傾きを算出する。そして、その傾
きを補正量としてロボット３に指令しロボットハンド５
を機台４に対して角度補正をする。
進行方向に対して直交する方向に同一ライン上に２個取
り付けられているセンサ７ａ・７ｂは、ガラス基板Ｗの
前端縁部Ｗ１を通過するそれぞれの位置（センサ７ａが
通過するときの位置Ｐａ、センサ７ｂが通過するときの
位置Ｐｂ）を検出すると、その信号を制御装置２０に出
力する。図３においては、ハンドアーム５３がガラス基
板Ｗに向かって前進移動し、センサ７ａがガラス基板Ｗ
の前端縁部Ｗ１と交差する点Ｐａに移動した状態を示
し、図４は、さらにハンドアーム５３が前進移動して、
センサ７ｂがガラス基板Ｗの前端縁部Ｗ１と交差する点
Ｐｂに移動した状態を示している。制御装置２０ではセ
ンサ７ａ・７ｂから入力された信号を変換して演算し、
２つの交差点Ｐａ・Ｐｂからセンサ７ａ・７ｂ間を結ぶ
直線に対して検出されたガラス基板Ｗの２つの交差点Ｐ
ａ・Ｐｂを結ぶ直線の傾きを算出する。そして、その傾
きを補正量としてロボット３に指令しロボットハンド５
を機台４に対して角度補正をする。
【００１９】ハンドアーム５３は、ガラス基板Ｗの前端
縁部Ｗ１を通過して一旦停止した位置（図５参照）か
ら、引きづづきハンドアーム５３の耳部５５が形成され
ている方向（本形態においては、図中左方向）に移動さ
れる。そして、耳部５５に取り付けられているセンサ７
ａがガラス基板Ｗの側端縁部Ｗ２の交差する点Ｐｃに差
し掛かかると（図６参照）、センサ７ａから投光されて
その反射光が受光されている状態から、その反射光が受
光されないことによって、交差点Ｐｃを検出し、その信
号を制御装置２０に出力する。制御装置２０ではこの信
号を入力すると、ガラス基板Ｗの左右方向の位置ずれを
演算しロボット３に指令する。ハンドアーム５３はさら
に左方向に移動して停止する（図７参照）。
縁部Ｗ１を通過して一旦停止した位置（図５参照）か
ら、引きづづきハンドアーム５３の耳部５５が形成され
ている方向（本形態においては、図中左方向）に移動さ
れる。そして、耳部５５に取り付けられているセンサ７
ａがガラス基板Ｗの側端縁部Ｗ２の交差する点Ｐｃに差
し掛かかると（図６参照）、センサ７ａから投光されて
その反射光が受光されている状態から、その反射光が受
光されないことによって、交差点Ｐｃを検出し、その信
号を制御装置２０に出力する。制御装置２０ではこの信
号を入力すると、ガラス基板Ｗの左右方向の位置ずれを
演算しロボット３に指令する。ハンドアーム５３はさら
に左方向に移動して停止する（図７参照）。
【００２０】このように、ロボットハンド５に２個のセ
ンサ７ａ・７ｂを取り付け、ロボットハンド５の移動だ
けで、ガラス基板Ｗの前端縁部Ｗ１に２点の位置、ガラ
ス基板Ｗの側端縁部Ｗ２に１点の位置を検出することが
できるため、ガラス基板Ｗの位置ずれを正確に検出でき
る。
ンサ７ａ・７ｂを取り付け、ロボットハンド５の移動だ
けで、ガラス基板Ｗの前端縁部Ｗ１に２点の位置、ガラ
ス基板Ｗの側端縁部Ｗ２に１点の位置を検出することが
できるため、ガラス基板Ｗの位置ずれを正確に検出でき
る。
【００２１】センサ７によってガラス基板Ｗの端縁部３
点（Ｐａ・Ｐｂ・Ｐｃ）が検出されると、ガラス基板Ｗ
の現在の位置が検出される。そして、正規の位置に対す
る位置ずれが制御装置２０によって演算され、その補正
量がロボット３に指令される。補正量は、図８に示され
るように、ガラス基板Ｗの前端縁部Ｗ１の２点Ｐａ・Ｐ
ｂによりガラス基板Ｗの正規の位置に対する傾き補正θ
と、側端縁部Ｗ２の１点Ｐｃによる左右方向の位置ずれ
補正Ｙ（Ｙ軸補正という）とで示され、傾き補正θに対
してはロボットハンド５が機台４に対する補正角度θ1
分を回転することによって補正され、Ｙ軸補正に対して
はロボット３が補正量Ｙ1 分左右方向に移動することに
よって補正される。
点（Ｐａ・Ｐｂ・Ｐｃ）が検出されると、ガラス基板Ｗ
の現在の位置が検出される。そして、正規の位置に対す
る位置ずれが制御装置２０によって演算され、その補正
量がロボット３に指令される。補正量は、図８に示され
るように、ガラス基板Ｗの前端縁部Ｗ１の２点Ｐａ・Ｐ
ｂによりガラス基板Ｗの正規の位置に対する傾き補正θ
と、側端縁部Ｗ２の１点Ｐｃによる左右方向の位置ずれ
補正Ｙ（Ｙ軸補正という）とで示され、傾き補正θに対
してはロボットハンド５が機台４に対する補正角度θ1
分を回転することによって補正され、Ｙ軸補正に対して
はロボット３が補正量Ｙ1 分左右方向に移動することに
よって補正される。
【００２２】ハンドアーム５３が、センサ７によるすべ
ての検出が終了した位置（図７に示される位置）から角
度補正θ1 Ｙ軸補正量Ｙ1 分を含めてガラス基板Ｗを吸
着する位置に移動した後（図８参照）ハンドアーム５３
がガラス基板Ｗの下面に向かって上昇し、ガラス基板Ｗ
に当接すると図示しない吸着装置により吸着する。そし
て、さらに僅か上昇してロボットハンド５の屈曲により
ハンドアーム５３が元の位置に復帰する。その後ロボッ
ト３がレール上を移動して次工程カセット２Ａにガラス
基板Ｗを収納する。従って、次工程カセット２Ａに収納
されるガラス基板Ｗはその位置が正規の位置に修正され
ていることになる。
ての検出が終了した位置（図７に示される位置）から角
度補正θ1 Ｙ軸補正量Ｙ1 分を含めてガラス基板Ｗを吸
着する位置に移動した後（図８参照）ハンドアーム５３
がガラス基板Ｗの下面に向かって上昇し、ガラス基板Ｗ
に当接すると図示しない吸着装置により吸着する。そし
て、さらに僅か上昇してロボットハンド５の屈曲により
ハンドアーム５３が元の位置に復帰する。その後ロボッ
ト３がレール上を移動して次工程カセット２Ａにガラス
基板Ｗを収納する。従って、次工程カセット２Ａに収納
されるガラス基板Ｗはその位置が正規の位置に修正され
ていることになる。
【００２３】カセット２に複数段に収納された全てのガ
ラス基板Ｗは、このように、ハンドアーム５３によっ
て、上から順次吸着され位置を修正されて、次工程カセ
ット２２に搬送され収納される。
ラス基板Ｗは、このように、ハンドアーム５３によっ
て、上から順次吸着され位置を修正されて、次工程カセ
ット２２に搬送され収納される。
【００２４】第２の形態のアライメント装置Ｍ１は、図
９に示されるように、ハンドアーム６３が腕部６４ａ・
６５ｂを有する本体部６４と２個の耳部６５（６５ａ・
６５ｂ）とを有している。耳部６５は、本体部６４の一
方の腕部６４ａ側から外方に向かって突出するように並
設している。そして、それぞれの耳部６５ａ・６５ｂに
はセンサ７ａ・７ｂがハンドアーム６３の進行方向に対
して平行方向に同一ライン上に取り付けられている。
９に示されるように、ハンドアーム６３が腕部６４ａ・
６５ｂを有する本体部６４と２個の耳部６５（６５ａ・
６５ｂ）とを有している。耳部６５は、本体部６４の一
方の腕部６４ａ側から外方に向かって突出するように並
設している。そして、それぞれの耳部６５ａ・６５ｂに
はセンサ７ａ・７ｂがハンドアーム６３の進行方向に対
して平行方向に同一ライン上に取り付けられている。
【００２５】図１０においては、ハンドアーム６３がガ
ラス基板Ｗに向かって前進移動し、センサ７ａがガラス
基板Ｗの前端縁部Ｗ１と交差する点Ｑａに移動した状態
を示し、センサ７は下方から上方に向かって光が投光さ
れていて、ガラス基板Ｗの前端縁部Ｗ１を通過すると同
時にガラス基板Ｗの遮光で反射された光を受光すること
によって、その位置を検出する。この位置はハンドアー
ム６３の前後方向（Ｘ軸方向）の移動量によって示され
る。
ラス基板Ｗに向かって前進移動し、センサ７ａがガラス
基板Ｗの前端縁部Ｗ１と交差する点Ｑａに移動した状態
を示し、センサ７は下方から上方に向かって光が投光さ
れていて、ガラス基板Ｗの前端縁部Ｗ１を通過すると同
時にガラス基板Ｗの遮光で反射された光を受光すること
によって、その位置を検出する。この位置はハンドアー
ム６３の前後方向（Ｘ軸方向）の移動量によって示され
る。
【００２６】ハンドアーム６３はさらに前進移動して、
図１１に示すように、センサ７ｂがガラス基板Ｗの前端
縁部Ｗ１と交差する点Ｑａを越えた位置まで移動して停
止する。そして、その位置から引きづづきハンドアーム
６３の耳部６５が形成されている方向（本形態において
は、図中左方向）に移動される。そして、本形態におい
ては、図１２のように、まず耳部６５ｂに取り付けられ
ているセンサ７ｂがガラス基板Ｗの側端縁部Ｗ２と交差
する点Ｑｂに差し掛かかり、続いて、図１３のように耳
部６５ａに取り付けられているセンサ７ａが側端縁部Ｗ
２と交差する点Ｑｃに差し掛かる。２つのセンサ７ａ・
７ｂが側端縁部Ｗ２との交差する点Ｑｂ・Ｑｃを通過す
る際に、センサ７ａ・７ｂは、センサ７ａ・７ｂから投
光されてその反射光が受光されている状態から、その反
射光が受光されないことによって交差点Ｑｂ・Ｑｃを検
出し、その信号を制御装置２０に出力する。制御装置２
０ではこの信号を入力すると、ガラス基板Ｗの傾きの位
置ずれを演算する。ハンドアーム６３はさらに左方向に
移動して停止する（図１４参照）。
図１１に示すように、センサ７ｂがガラス基板Ｗの前端
縁部Ｗ１と交差する点Ｑａを越えた位置まで移動して停
止する。そして、その位置から引きづづきハンドアーム
６３の耳部６５が形成されている方向（本形態において
は、図中左方向）に移動される。そして、本形態におい
ては、図１２のように、まず耳部６５ｂに取り付けられ
ているセンサ７ｂがガラス基板Ｗの側端縁部Ｗ２と交差
する点Ｑｂに差し掛かかり、続いて、図１３のように耳
部６５ａに取り付けられているセンサ７ａが側端縁部Ｗ
２と交差する点Ｑｃに差し掛かる。２つのセンサ７ａ・
７ｂが側端縁部Ｗ２との交差する点Ｑｂ・Ｑｃを通過す
る際に、センサ７ａ・７ｂは、センサ７ａ・７ｂから投
光されてその反射光が受光されている状態から、その反
射光が受光されないことによって交差点Ｑｂ・Ｑｃを検
出し、その信号を制御装置２０に出力する。制御装置２
０ではこの信号を入力すると、ガラス基板Ｗの傾きの位
置ずれを演算する。ハンドアーム６３はさらに左方向に
移動して停止する（図１４参照）。
【００２７】制御装置２０ではセンサ７ａ・７ｂから入
力された信号を変換して演算し、２つの交差点Ｑｂ・Ｑ
ｃからセンサ７ａ・７ｂ間を結ぶ直線に対して検出され
たガラス基板Ｗの２つの交差点Ｑｂ・Ｑｃを結ぶ直線の
傾きθを算出する。
力された信号を変換して演算し、２つの交差点Ｑｂ・Ｑ
ｃからセンサ７ａ・７ｂ間を結ぶ直線に対して検出され
たガラス基板Ｗの２つの交差点Ｑｂ・Ｑｃを結ぶ直線の
傾きθを算出する。
【００２８】センサ７によってガラス基板Ｗの端縁部３
点（Ｑａ・Ｑｂ・Ｑｃ）が検出されると、ガラス基板Ｗ
の現在の位置が検出される。そして、正規の位置に対す
る位置ずれが制御装置２０によって演算され、その補正
量がロボット３に指令される。補正量は、図１５に示さ
れるように、ガラス基板Ｗの側端縁部Ｗ２の２点Ｑｂ・
Ｑｃによりガラス基板Ｗの正規の位置に対する傾き補正
θと、前端縁部Ｗ１の１点Ｑａによる前後方向の位置ず
れ補正Ｘ（Ｘ軸補正という）とで示され、傾き補正θに
対してはロボットハンド５が機台４に対する補正角度θ
2 分を回転することによって補正され、Ｘ軸補正に対し
てはハンドアーム６３が補正量Ｘ1 分前後方向に移動す
ることによって補正される。
点（Ｑａ・Ｑｂ・Ｑｃ）が検出されると、ガラス基板Ｗ
の現在の位置が検出される。そして、正規の位置に対す
る位置ずれが制御装置２０によって演算され、その補正
量がロボット３に指令される。補正量は、図１５に示さ
れるように、ガラス基板Ｗの側端縁部Ｗ２の２点Ｑｂ・
Ｑｃによりガラス基板Ｗの正規の位置に対する傾き補正
θと、前端縁部Ｗ１の１点Ｑａによる前後方向の位置ず
れ補正Ｘ（Ｘ軸補正という）とで示され、傾き補正θに
対してはロボットハンド５が機台４に対する補正角度θ
2 分を回転することによって補正され、Ｘ軸補正に対し
てはハンドアーム６３が補正量Ｘ1 分前後方向に移動す
ることによって補正される。
【００２９】ハンドアーム６３が、センサ７によるすべ
ての検出が終了した位置（図１４に示される位置）から
角度補正θ2 Ｘ軸補正量Ｘ1 分を含めてガラス基板Ｗを
吸着する位置に移動した後（図１５参照）ハンドアーム
６３がガラス基板Ｗの下面に向かって上昇し、ガラス基
板Ｗに当接すると図示しない吸着装置により吸着する。
そして、さらに僅か上昇してロボットハンド５の屈曲に
よりハンドアーム６３が元の位置に復帰する。その後ロ
ボット３がレール上を移動して次工程カセット２Ａにガ
ラス基板Ｗを収納する。従って、次工程カセット２Ａに
収納されるガラス基板Ｗはその位置が正規の位置に修正
されていることになる。
ての検出が終了した位置（図１４に示される位置）から
角度補正θ2 Ｘ軸補正量Ｘ1 分を含めてガラス基板Ｗを
吸着する位置に移動した後（図１５参照）ハンドアーム
６３がガラス基板Ｗの下面に向かって上昇し、ガラス基
板Ｗに当接すると図示しない吸着装置により吸着する。
そして、さらに僅か上昇してロボットハンド５の屈曲に
よりハンドアーム６３が元の位置に復帰する。その後ロ
ボット３がレール上を移動して次工程カセット２Ａにガ
ラス基板Ｗを収納する。従って、次工程カセット２Ａに
収納されるガラス基板Ｗはその位置が正規の位置に修正
されていることになる。
【００３０】カセット２に複数段に収納された全てのガ
ラス基板Ｗは、このように、ハンドアーム６３によっ
て、上から順次吸着され位置を修正されて、次工程カセ
ット２２に搬送され収納される。
ラス基板Ｗは、このように、ハンドアーム６３によっ
て、上から順次吸着され位置を修正されて、次工程カセ
ット２２に搬送され収納される。
【００３１】なお、センサ７は透過式光センサや反射式
光センサでもよく、また、光スイッチや光式ライセンサ
を使用してもよい。
光センサでもよく、また、光スイッチや光式ライセンサ
を使用してもよい。
【００３２】また、次工程カセット２Ａが配置される位
置は図１に限定されるものではなく、架台１外にあって
もよい。
置は図１に限定されるものではなく、架台１外にあって
もよい。
【００３３】
【発明の効果】本発明によれば、薄型基板のアライメン
ト装置は、薄型基板が収納されたカセットと、前記薄型
基板を吸着して搬送するロボットハンドと、を有し、前
記ロボットハンドに少なくとも２個のセンサが配設さ
れ、前記センサが前記薄型基板の位置ずれを検出しその
補正量をロボットに指令して前記ロボットハンドを補正
するように構成されるているものであり、前記ロボット
ハンドが、前記薄型基板を吸着する面を有するハンド本
体部と、前記ハンド本体部の一方の側面より外方に突出
される耳部と、を有し、前記ハンド本体部と前記耳部に
前記センサが、前記ロボットハンド進行方向に対して直
交する方向に同一ライン上に少なくとも各１個配設され
ることを特徴としているので、ロボットハンドを移動さ
せるだけで、少なくとも２個のセンサで薄型基板の前端
縁部２箇所と側端縁部の１箇所を検出でき薄型基板の位
置ずれを測定することができる。そのため、従来のよう
な検出装置をなくすことができ、コンパクトで廉価なコ
ストのアライメント装置を提供することができる。
ト装置は、薄型基板が収納されたカセットと、前記薄型
基板を吸着して搬送するロボットハンドと、を有し、前
記ロボットハンドに少なくとも２個のセンサが配設さ
れ、前記センサが前記薄型基板の位置ずれを検出しその
補正量をロボットに指令して前記ロボットハンドを補正
するように構成されるているものであり、前記ロボット
ハンドが、前記薄型基板を吸着する面を有するハンド本
体部と、前記ハンド本体部の一方の側面より外方に突出
される耳部と、を有し、前記ハンド本体部と前記耳部に
前記センサが、前記ロボットハンド進行方向に対して直
交する方向に同一ライン上に少なくとも各１個配設され
ることを特徴としているので、ロボットハンドを移動さ
せるだけで、少なくとも２個のセンサで薄型基板の前端
縁部２箇所と側端縁部の１箇所を検出でき薄型基板の位
置ずれを測定することができる。そのため、従来のよう
な検出装置をなくすことができ、コンパクトで廉価なコ
ストのアライメント装置を提供することができる。
【００３４】また、本発明のアライメント装置は、前記
ロボットハンドが、前記薄型基板を吸着する面を有する
ハンド本体部と、前記ハンド本体部の一方の側面より外
方に突出される耳部と、を有し、前記耳部が、少なくと
も２個並設され、それぞれの耳部に前記センサがロボッ
トハンド進行方向に対して平行に同一ライン上に各１個
配設されることを特徴としているので、ロボットハンド
を移動させるだけで、２個のセンサで薄型基板の前端縁
部２箇所と側端縁部の１箇所を検出でき薄型基板の位置
ずれを測定することができる。そのため、従来のような
アライメント装置をなくすことができ、コンパクトで廉
価なコストのアライメント装置を提供することができ
る。
ロボットハンドが、前記薄型基板を吸着する面を有する
ハンド本体部と、前記ハンド本体部の一方の側面より外
方に突出される耳部と、を有し、前記耳部が、少なくと
も２個並設され、それぞれの耳部に前記センサがロボッ
トハンド進行方向に対して平行に同一ライン上に各１個
配設されることを特徴としているので、ロボットハンド
を移動させるだけで、２個のセンサで薄型基板の前端縁
部２箇所と側端縁部の１箇所を検出でき薄型基板の位置
ずれを測定することができる。そのため、従来のような
アライメント装置をなくすことができ、コンパクトで廉
価なコストのアライメント装置を提供することができ
る。
【００３５】さらに、前記センサが、前記薄型基板の下
面から前記薄型基板の端縁の位置を検出するように配設
されていることを特徴とするので、薄型基板を確実に検
出することが可能となる。
面から前記薄型基板の端縁の位置を検出するように配設
されていることを特徴とするので、薄型基板を確実に検
出することが可能となる。
【図１】本発明の一形態を示すアライメント装置の平面
概略図
概略図
【図２】図１におけるアライメント装置の作動を示す図
【図３】図１におけるアライメント装置の作動を示す図
【図４】図１におけるアライメント装置の作動を示す図
【図５】図１におけるアライメント装置の作動を示す図
【図６】図１におけるアライメント装置の作動を示す図
【図７】図１におけるアライメント装置の作動を示す図
【図８】図１におけるアライメント装置のロボットの補
正状態を示す図
正状態を示す図
【図９】本発明の第２の形態を示すアライメント装置の
概略平面図
概略平面図
【図１０】図９におけるアライメント装置の作動を示す
図
図
【図１１】図９におけるアライメント装置の作動を示す
図
図
【図１２】図９におけるアライメント装置の作動を示す
図
図
【図１３】図９におけるアライメント装置の作動を示す
図
図
【図１４】図９におけるアライメント装置の作動を示す
図
図
【図１５】図１におけるアライメント装置のロボット補
正状態を示す図
正状態を示す図
【図１６】従来のアライメント装置を示す図
Ｍ、Ｍ１…アライメント装置 １…架台 ２…カセット ２Ａ…次工程カセット ３…ロボット ４…機台 ５…ロボットハンド ７、７ａ、７ｂ…センサ ２０…制御装置 ５３…ハンドアーム ５４…本体部 ５５…耳部 ６３…ハンドアーム ６４…本体部 ６５…耳部 Ｗ…ガラス基板 Ｗ１…前端縁部 Ｗ２…側端縁部
Claims (3)
- 【請求項１】 薄型基板が収納されたカセットと、前記
薄型基板を吸着して搬送するロボットハンドと、を有
し、前記ロボットハンドに少なくとも２個のセンサが配
設され、前記センサが前記薄型基板の位置ずれを検出し
その補正量をロボットに指令して前記ロボットハンドを
補正するように構成される薄型基板のアライメント装置
であって、 前記ロボットハンドが、前記薄型基板を吸着する面を有
するハンド本体部と、前記ハンド本体部の一方の側面よ
り外方に突出される耳部と、を有し、 前記ハンド本体部と前記耳部に前記センサが、前記ロボ
ットハンド進行方向に対して直交する方向に同一ライン
上に少なくとも各１個配設されることを特徴とする薄型
基板のアライメント装置。 - 【請求項２】 薄型基板が収納されたカセットと、前記
薄型基板を吸着して搬送するロボットハンドと、を有
し、前記ロボットハンドに少なくとも２個のセンサが配
設され、前記センサが前記薄型基板の位置ずれを検出し
その補正量をロボットに指令して前記ロボットハンドを
補正するように構成される薄型基板のアライメント装置
であって、 前記ロボットハンドが、前記薄型基板を吸着する面を有
するハンド本体部と、前記ハンド本体部の一方の側面よ
り外方に突出される耳部と、を有し、 前記耳部が、少なくとも２個並設され、それぞれの耳部
に前記センサが前記ロボットハンド進行方向に対して平
行に同一ライン上に各１個配設されることを特徴とする
薄型基板のアライメント装置。 - 【請求項３】 前記センサが、前記薄型基板の下面から
上方に向かって投光することによって前記薄型基板の端
縁の位置を検出するように配設されていることを特徴と
する請求項１または２記載の薄型基板のアライメント装
置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP8293597A JPH10277986A (ja) | 1997-04-01 | 1997-04-01 | 薄型基板のアライメント装置 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP8293597A JPH10277986A (ja) | 1997-04-01 | 1997-04-01 | 薄型基板のアライメント装置 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH10277986A true JPH10277986A (ja) | 1998-10-20 |
Family
ID=13788093
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP8293597A Withdrawn JPH10277986A (ja) | 1997-04-01 | 1997-04-01 | 薄型基板のアライメント装置 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH10277986A (ja) |
Cited By (10)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| KR100503013B1 (ko) * | 2001-08-07 | 2005-07-25 | 가부시기가이샤 산교세이기 세이사꾸쇼 | 핸드의 위치맞춤방법 및 그 장치 |
| KR100632126B1 (ko) | 2005-06-13 | 2006-10-11 | 로체 시스템즈(주) | 유리판 정렬 방법 및 유리판 정렬이 가능한 유리판이송장치 |
| KR100716301B1 (ko) | 2006-02-06 | 2007-05-09 | 삼성전자주식회사 | 패널반송로봇 |
| KR100819817B1 (ko) | 2006-03-30 | 2008-04-07 | 주식회사 에스에프에이 | 반송 로봇 |
| JP2010110891A (ja) * | 1998-12-02 | 2010-05-20 | Newport Corp | 試料位置検知端部エフェクタおよびその使用方法 |
| KR101130124B1 (ko) | 2007-01-12 | 2012-04-02 | 가부시키가이샤 다이후쿠 | 물품 반송 장치와 물품 위치 오차 검출 방법 |
| JP2014522743A (ja) * | 2011-08-08 | 2014-09-08 | アプライド マテリアルズ インコーポレイテッド | マルチリンケージロボットを有するシステム及びマルチリンケージロボットにおいて位置アライメント及び回転アライメントを補正するための方法 |
| JP2014195057A (ja) * | 2013-02-28 | 2014-10-09 | Kyocera Corp | 搬送部材、これを備える基板搬送装置および基板処理装置 |
| CN106956290A (zh) * | 2017-04-17 | 2017-07-18 | 京东方科技集团股份有限公司 | 机械臂及其操作方法、机械臂装置及显示面板生产设备 |
| CN116062476A (zh) * | 2023-03-31 | 2023-05-05 | 成都思越智能装备股份有限公司 | 一种机械手取玻璃片自动校正取片的方法及取片装置 |
-
1997
- 1997-04-01 JP JP8293597A patent/JPH10277986A/ja not_active Withdrawn
Cited By (11)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2010110891A (ja) * | 1998-12-02 | 2010-05-20 | Newport Corp | 試料位置検知端部エフェクタおよびその使用方法 |
| KR100503013B1 (ko) * | 2001-08-07 | 2005-07-25 | 가부시기가이샤 산교세이기 세이사꾸쇼 | 핸드의 위치맞춤방법 및 그 장치 |
| KR100632126B1 (ko) | 2005-06-13 | 2006-10-11 | 로체 시스템즈(주) | 유리판 정렬 방법 및 유리판 정렬이 가능한 유리판이송장치 |
| KR100716301B1 (ko) | 2006-02-06 | 2007-05-09 | 삼성전자주식회사 | 패널반송로봇 |
| KR100819817B1 (ko) | 2006-03-30 | 2008-04-07 | 주식회사 에스에프에이 | 반송 로봇 |
| KR101130124B1 (ko) | 2007-01-12 | 2012-04-02 | 가부시키가이샤 다이후쿠 | 물품 반송 장치와 물품 위치 오차 검출 방법 |
| JP2014522743A (ja) * | 2011-08-08 | 2014-09-08 | アプライド マテリアルズ インコーポレイテッド | マルチリンケージロボットを有するシステム及びマルチリンケージロボットにおいて位置アライメント及び回転アライメントを補正するための方法 |
| JP2014195057A (ja) * | 2013-02-28 | 2014-10-09 | Kyocera Corp | 搬送部材、これを備える基板搬送装置および基板処理装置 |
| CN106956290A (zh) * | 2017-04-17 | 2017-07-18 | 京东方科技集团股份有限公司 | 机械臂及其操作方法、机械臂装置及显示面板生产设备 |
| CN116062476A (zh) * | 2023-03-31 | 2023-05-05 | 成都思越智能装备股份有限公司 | 一种机械手取玻璃片自动校正取片的方法及取片装置 |
| CN116062476B (zh) * | 2023-03-31 | 2023-06-23 | 成都思越智能装备股份有限公司 | 一种机械手取玻璃片自动校正取片的方法及取片装置 |
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Legal Events
| Date | Code | Title | Description |
|---|---|---|---|
| A300 | Withdrawal of application because of no request for examination |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A300 Effective date: 20040601 |