JP2001217303A - ガラス基板の基板端検出装置 - Google Patents
ガラス基板の基板端検出装置Info
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- glass substrate
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- B65G49/06—Conveying systems characterised by their application for specified purposes not otherwise provided for for fragile or damageable materials or articles for fragile sheets, e.g. glass
- B65G49/063—Transporting devices for sheet glass
- B65G49/064—Transporting devices for sheet glass in a horizontal position
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Abstract
(57)【要約】
【課題】ガラス基板の基板端の位置を正確に検出できる
基板端検出装置を提供すること。 【解決手段】基板端検出装置１は、ハンド２の元部２１
から立ち上がり前方に向かって屈折するセンサ支持台５
を有し、センサ支持台５の先端部に、下方に向かって投
射する反射型センサ３を装着している。一方、基板Ｗの
表面は鏡面状に形成され、ハンド２が移動してハンド２
の元部２１とセンサ３との間に形成する空間部８に基板
Ｗの基板端ＷＥを挿入させると、センサ３から投射した
光は、基板Ｗの表面に当って投射した光線と同経路でセ
ンサ３に受光される。
基板端検出装置を提供すること。 【解決手段】基板端検出装置１は、ハンド２の元部２１
から立ち上がり前方に向かって屈折するセンサ支持台５
を有し、センサ支持台５の先端部に、下方に向かって投
射する反射型センサ３を装着している。一方、基板Ｗの
表面は鏡面状に形成され、ハンド２が移動してハンド２
の元部２１とセンサ３との間に形成する空間部８に基板
Ｗの基板端ＷＥを挿入させると、センサ３から投射した
光は、基板Ｗの表面に当って投射した光線と同経路でセ
ンサ３に受光される。
Description
【０００１】
【発明の属する技術分野】この発明は、カセットまたは
加工処理装置に配置されているガラス基板の有無あるい
は位置ずれを検出するガラス基板の基板端検出装置に関
する。
加工処理装置に配置されているガラス基板の有無あるい
は位置ずれを検出するガラス基板の基板端検出装置に関
する。
【０００２】
【従来の技術】従来、ガラス基板の有無や位置ずれを検
出するセンサは、カセット近傍に配置されたアライメン
ト装置内、あるいはロボットのハンド内に組み込まれ、
ガラス基板の端部を光媒体を投射することによって行な
われていた。特にガラス基板のアライメントを行なうた
めに、ガラス基板の位置ずれを検出する場合、センサを
ガラス基板のＸ軸方向（ロボットと対向する側）とＹ軸
方向（ハンドの移動する方向）における３か所で検出で
きるように配置されていた。
出するセンサは、カセット近傍に配置されたアライメン
ト装置内、あるいはロボットのハンド内に組み込まれ、
ガラス基板の端部を光媒体を投射することによって行な
われていた。特にガラス基板のアライメントを行なうた
めに、ガラス基板の位置ずれを検出する場合、センサを
ガラス基板のＸ軸方向（ロボットと対向する側）とＹ軸
方向（ハンドの移動する方向）における３か所で検出で
きるように配置されていた。
【０００３】ロボットのハンド内に組み込まれるセンサ
は、ハンドの先端部の１か所または並設された２か所に
埋設され、ガラス基板の裏面に向かって光媒体を投射し
反射光を検出するように配置されていた。
は、ハンドの先端部の１か所または並設された２か所に
埋設され、ガラス基板の裏面に向かって光媒体を投射し
反射光を検出するように配置されていた。
【０００４】
【発明が解決しようとする課題】しかし、ガラス基板の
端部を検出して位置ずれを修正する場合、センサによっ
て検出された基板端部の位置は、高精度を求められ、そ
のためにセンサの検出精度も高精度が求められる。一
方、ガラス基板の大型化に伴って処理時間が長くなる
と、ガラス基板の裏面は反射率の低いチタンコーティン
グ処理がなされ、裏面側から投射する検出方法では位置
精度を向上することができなくなってきた。鏡面処理さ
れた表面は、鏡面処理されていない裏面に比べて光媒体
の反射効率が極めてよくガラス基板の端部の検出をしや
すい。ロボットのハンドに組み込まれる従来のセンサ
は、ハンドに埋設した反射型センサで、ガラス基板の裏
面に光媒体を反射させるため、検出精度を低下させるお
それがあった。
端部を検出して位置ずれを修正する場合、センサによっ
て検出された基板端部の位置は、高精度を求められ、そ
のためにセンサの検出精度も高精度が求められる。一
方、ガラス基板の大型化に伴って処理時間が長くなる
と、ガラス基板の裏面は反射率の低いチタンコーティン
グ処理がなされ、裏面側から投射する検出方法では位置
精度を向上することができなくなってきた。鏡面処理さ
れた表面は、鏡面処理されていない裏面に比べて光媒体
の反射効率が極めてよくガラス基板の端部の検出をしや
すい。ロボットのハンドに組み込まれる従来のセンサ
は、ハンドに埋設した反射型センサで、ガラス基板の裏
面に光媒体を反射させるため、検出精度を低下させるお
それがあった。
【０００５】この発明は、上述の課題を解決するもので
あり、基板の端部を高精度で検出できるガラス基板の基
板端検出装置を提供することを目的とする。
あり、基板の端部を高精度で検出できるガラス基板の基
板端検出装置を提供することを目的とする。
【０００６】
【課題を解決するための手段】この発明にかかわるガラ
ス基板の基板端検出装置では、上記の課題を解決するた
めに、以下のように構成するものである。すなわち、ガ
ラス基板を保持して搬送するロボットのハンドには、ガ
ラス基板の基板端部を検出するセンサが、前記ハンドの
上方にセンサ支持部を介して配設され、前記センサが、
反射型のセンサであって、ガラス基板の上方からガラス
基板の表面に向かって垂直方向に光媒体を投射すること
によって、前記ハンドの上面と前記センサ間に挿入する
ガラス基板の有無あるいは位置ずれを検出することを特
徴とするものである。
ス基板の基板端検出装置では、上記の課題を解決するた
めに、以下のように構成するものである。すなわち、ガ
ラス基板を保持して搬送するロボットのハンドには、ガ
ラス基板の基板端部を検出するセンサが、前記ハンドの
上方にセンサ支持部を介して配設され、前記センサが、
反射型のセンサであって、ガラス基板の上方からガラス
基板の表面に向かって垂直方向に光媒体を投射すること
によって、前記ハンドの上面と前記センサ間に挿入する
ガラス基板の有無あるいは位置ずれを検出することを特
徴とするものである。
【０００７】また、この発明にかかわるガラス基板の基
板端検出装置は、ガラス基板を保持して搬送するロボッ
トのハンドには、前記ハンドの上方にセンサ支持部が配
設され、前記ハンドまたは前記センサ支持部に、透過型
センサを構成する投光部または受光部とのいずれかが配
設され、前記投光部と受光部間を通過するガラス基板の
端部が投光部から投射された光を遮光することによっ
て、ガラス基板の有無あるいは位置ずれを検出すること
を特徴とするものである。
板端検出装置は、ガラス基板を保持して搬送するロボッ
トのハンドには、前記ハンドの上方にセンサ支持部が配
設され、前記ハンドまたは前記センサ支持部に、透過型
センサを構成する投光部または受光部とのいずれかが配
設され、前記投光部と受光部間を通過するガラス基板の
端部が投光部から投射された光を遮光することによっ
て、ガラス基板の有無あるいは位置ずれを検出すること
を特徴とするものである。
【０００８】
【発明の効果】本発明によれば、請求項１の発明のガラ
ス基板の基板端検出装置は、上述のように、ハンドの上
方に配置されたセンサによって、ガラス基板の表面に向
かって投射できるように構成している。ハンドとともに
移動するセンサは、ガラス基板の基板端に到達すると、
ガラス基板の基板端によって、投射されている光媒体を
反射して基板端の位置を検出する。この際、ガラス基板
の表面は、鏡面処理されて面粗度が高く形成されている
ため、ガラス基板の表面に垂直線上に投射した光媒体
を、ほぼ同一直線上で反射させることができる。従っ
て、検出する基板端の位置精度を向上することができ
る。
ス基板の基板端検出装置は、上述のように、ハンドの上
方に配置されたセンサによって、ガラス基板の表面に向
かって投射できるように構成している。ハンドとともに
移動するセンサは、ガラス基板の基板端に到達すると、
ガラス基板の基板端によって、投射されている光媒体を
反射して基板端の位置を検出する。この際、ガラス基板
の表面は、鏡面処理されて面粗度が高く形成されている
ため、ガラス基板の表面に垂直線上に投射した光媒体
を、ほぼ同一直線上で反射させることができる。従っ
て、検出する基板端の位置精度を向上することができ
る。
【０００９】また、請求項２の発明のガラス基板の基板
端検出装置は、基板の基板端を検出するセンサが透過型
であり、ハンドとセンサ支持部とに投光部または受光部
が配設されている。透過型センサでは投射されている光
をガラス基板の基板端で遮光することになるので、反射
型のセンサでガラス基板の基板端を検出する場合に比べ
て、皮膜された部分に反応したり、基板端の状態により
反応する位置が異なることがなく安定した基板端の検出
ができ高精度を維持することができる。
端検出装置は、基板の基板端を検出するセンサが透過型
であり、ハンドとセンサ支持部とに投光部または受光部
が配設されている。透過型センサでは投射されている光
をガラス基板の基板端で遮光することになるので、反射
型のセンサでガラス基板の基板端を検出する場合に比べ
て、皮膜された部分に反応したり、基板端の状態により
反応する位置が異なることがなく安定した基板端の検出
ができ高精度を維持することができる。
【００１０】
【発明の実施の形態】以下、この発明の一実施の形態を
図面に基づいて説明する。本発明のガラス基板の基板端
検出装置（以下、基板端検出装置という）は、表面が鏡
面処理が施されているガラス基板（以下、基板という）
の基板端を検出することに好適であり、第１の基板端検
出装置１は、ロボットのハンド２に反射型センサ（以
下、センサ３という）を取り付けるように構成してい
る。
図面に基づいて説明する。本発明のガラス基板の基板端
検出装置（以下、基板端検出装置という）は、表面が鏡
面処理が施されているガラス基板（以下、基板という）
の基板端を検出することに好適であり、第１の基板端検
出装置１は、ロボットのハンド２に反射型センサ（以
下、センサ３という）を取り付けるように構成してい
る。
【００１１】図１〜２に示すように、ハンド２はロボッ
トアームに回動可能に接続される元部２１と、基板Ｗを
吸着するための吸着孔２３を有する吸着部２２とから形
成されている。吸着部２２は、元部２１から２分岐され
て前方に延設され、ガラス基板用のハンド２の場合には
吸着部２２は元部２１に対して長尺状に形成されてい
る。
トアームに回動可能に接続される元部２１と、基板Ｗを
吸着するための吸着孔２３を有する吸着部２２とから形
成されている。吸着部２２は、元部２１から２分岐され
て前方に延設され、ガラス基板用のハンド２の場合には
吸着部２２は元部２１に対して長尺状に形成されてい
る。
【００１２】ハンド２には、元部２１から立ち上がりハ
ンド２上面から上方に向かうＬ字形のブラケット（以
下、センサ支持台５という）が取り付けられ、センサ支
持台５の先端部のハンド２上面と対向する面には、セン
サ３が光を下方に向かって投射するように装着されてい
る。そして、センサ３とハンド２上面との間には、基板
Ｗが挿入する空間部８が形成されている。
ンド２上面から上方に向かうＬ字形のブラケット（以
下、センサ支持台５という）が取り付けられ、センサ支
持台５の先端部のハンド２上面と対向する面には、セン
サ３が光を下方に向かって投射するように装着されてい
る。そして、センサ３とハンド２上面との間には、基板
Ｗが挿入する空間部８が形成されている。
【００１３】センサ３は、カセットあるいは加工処理装
置内に収納されている基板Ｗの位置ずれあるいは有無を
測定するために、基板端ＷＥの位置を検出するものであ
る。カセット内の基板Ｗの位置ずれを測定する場合に
は、例えば、カセットの近傍に配置されたアライナー
に、基板Ｗの側端部を２か所検出するために別のセンサ
が配置されていれば、ハンド２には、センサ３は、図１
のように元部２１中央部に１か所配置される。
置内に収納されている基板Ｗの位置ずれあるいは有無を
測定するために、基板端ＷＥの位置を検出するものであ
る。カセット内の基板Ｗの位置ずれを測定する場合に
は、例えば、カセットの近傍に配置されたアライナー
に、基板Ｗの側端部を２か所検出するために別のセンサ
が配置されていれば、ハンド２には、センサ３は、図１
のように元部２１中央部に１か所配置される。
【００１４】また、前記のアライナーに、基板Ｗの側端
部を１か所検出するために別のセンサが配置されていれ
ば、ハンド２には、センサ３は、図３に示すように、元
部２１に２か所並設するように配置される。この場合、
１個のセンサ支持台５で２個のセンサ３を配置させても
よく、また、図のように、２個のセンサ支持台５に各１
個づつのセンサ３を取り付けるようにしてもよい。
部を１か所検出するために別のセンサが配置されていれ
ば、ハンド２には、センサ３は、図３に示すように、元
部２１に２か所並設するように配置される。この場合、
１個のセンサ支持台５で２個のセンサ３を配置させても
よく、また、図のように、２個のセンサ支持台５に各１
個づつのセンサ３を取り付けるようにしてもよい。
【００１５】センサ支持台５に取り付けられるセンサ３
は、ハンド２上面に向かって光を垂直方向に投射するよ
うに取り付けられ、基板Ｗが空間部８に挿入すると光は
基板Ｗの表面に反射して、反射した光を受光する。
は、ハンド２上面に向かって光を垂直方向に投射するよ
うに取り付けられ、基板Ｗが空間部８に挿入すると光は
基板Ｗの表面に反射して、反射した光を受光する。
【００１６】上記のように構成された基板端検出装置１
は、図４に示すように、センサ３を配置させたハンド２
を、図示しないロボットにより作動させ、ハンド２をカ
セット１０内に挿入する。この際、ハンド２はロボット
の作動により、ハンド２の吸着部２２が基板Ｗの下方に
位置し、センサ３が基板Ｗの上方に位置するように上下
方向に位置調整され、ハンド２の前進移動においては、
ハンド２の移動始めは高速で移動し、ハンド２に装着さ
れたセンサ支持台５がカセット１０の入口に到達する前
に、ハンド２が、微速で移動するように作動される。
は、図４に示すように、センサ３を配置させたハンド２
を、図示しないロボットにより作動させ、ハンド２をカ
セット１０内に挿入する。この際、ハンド２はロボット
の作動により、ハンド２の吸着部２２が基板Ｗの下方に
位置し、センサ３が基板Ｗの上方に位置するように上下
方向に位置調整され、ハンド２の前進移動においては、
ハンド２の移動始めは高速で移動し、ハンド２に装着さ
れたセンサ支持台５がカセット１０の入口に到達する前
に、ハンド２が、微速で移動するように作動される。
【００１７】そして、基板Ｗのハンド２側の基板端ＷＥ
が、センサ３から投射されている光に当ると、鏡面処理
された基板Ｗの表面に衝突する光は、斜光することなく
投射された光の軸線に沿って反射されセンサ３で受光さ
れる。従って、基板端ＷＥの位置は、センサ３の前進へ
の移動開始位置に対して反射光を受光する位置として求
められるため、反射光がセンサ３の投射する位置に戻れ
ば、極めて正確な位置を検出することになる。
が、センサ３から投射されている光に当ると、鏡面処理
された基板Ｗの表面に衝突する光は、斜光することなく
投射された光の軸線に沿って反射されセンサ３で受光さ
れる。従って、基板端ＷＥの位置は、センサ３の前進へ
の移動開始位置に対して反射光を受光する位置として求
められるため、反射光がセンサ３の投射する位置に戻れ
ば、極めて正確な位置を検出することになる。
【００１８】センサ３で基板端ＷＥを検出したハンド２
は、微速移動でストローク端まで移動する。そして、ハ
ンド２を上昇させて吸着部２２でハンド２を吸着した
後、高速移動で元の位置に復帰し、基板Ｗを次の工程に
搬送する。基板Ｗの位置ずれの修正は、基板Ｗの基板端
ＷＥを検出した後、次の工程位置に搬送するまでにどこ
で行なってもよい。
は、微速移動でストローク端まで移動する。そして、ハ
ンド２を上昇させて吸着部２２でハンド２を吸着した
後、高速移動で元の位置に復帰し、基板Ｗを次の工程に
搬送する。基板Ｗの位置ずれの修正は、基板Ｗの基板端
ＷＥを検出した後、次の工程位置に搬送するまでにどこ
で行なってもよい。
【００１９】なお、ハンド２に配置したセンサ３で、基
板Ｗの有無を検出する場合は、ハンド２がカセット内の
ストローク端までに移動する間に、センサ３に反射光が
検出されるかどうかで判断される。
板Ｗの有無を検出する場合は、ハンド２がカセット内の
ストローク端までに移動する間に、センサ３に反射光が
検出されるかどうかで判断される。
【００２０】従って、上記のように、第１の形態の基板
端検出装置１は、センサ３から投射した光を、鏡面処理
されて面粗度が高く形成された基板Ｗの表面に当って、
ほぼ同一直線上で反射させることができるため、検出す
る基板端ＷＥの位置精度を向上することができる。
端検出装置１は、センサ３から投射した光を、鏡面処理
されて面粗度が高く形成された基板Ｗの表面に当って、
ほぼ同一直線上で反射させることができるため、検出す
る基板端ＷＥの位置精度を向上することができる。
【００２１】第２の基板端検出装置１１は、ロボットの
ハンド１２とセンサ支持台１７とに透過型センサ１３を
取り付けるものであり、図５に示すように、ハンド１２
の元部１２１から前方に向かって屈折するように立ち上
がるセンサ支持台１７と、投光部１４と受光部１５とを
センサ支持台１７あるいはハンド１２の元部１２１との
いずれかに組み込んだ透過型センサ１３と、を有してい
る。なお、図例においては、センサ支持台１７に投光部
１４を配置させ、ハンド１２の元部１２１に受光部１５
を配置させている。
ハンド１２とセンサ支持台１７とに透過型センサ１３を
取り付けるものであり、図５に示すように、ハンド１２
の元部１２１から前方に向かって屈折するように立ち上
がるセンサ支持台１７と、投光部１４と受光部１５とを
センサ支持台１７あるいはハンド１２の元部１２１との
いずれかに組み込んだ透過型センサ１３と、を有してい
る。なお、図例においては、センサ支持台１７に投光部
１４を配置させ、ハンド１２の元部１２１に受光部１５
を配置させている。
【００２２】透過型センサ１３は、第１の形態と同様
に、前述のアライナーに取り付けられたセンサの配置数
によって、ハンド１２の元部１２１及びセンサ支持台１
７に１か所あるいは２か所に設けられる。
に、前述のアライナーに取り付けられたセンサの配置数
によって、ハンド１２の元部１２１及びセンサ支持台１
７に１か所あるいは２か所に設けられる。
【００２３】このように構成される基板端検出装置１１
は、投光部１４から投射された光を基板Ｗの基板端ＷＥ
が遮光することによって、基板端ＷＥの位置を検出す
る。
は、投光部１４から投射された光を基板Ｗの基板端ＷＥ
が遮光することによって、基板端ＷＥの位置を検出す
る。
【００２４】透過型センサ１３の場合は、反射型センサ
１３のように、皮膜された部分に反応することがないた
め、皮膜状態によって反射光を変化させるということが
ない。そのため、透過型センサ１３を使用する場合に
は、基板Ｗの表面が鏡面処理されたものでなくてもよ
い。また、投光部１４をハンド１２の元部１２１側に取
り付け、受光部１５をセンサ支持台１７側に取り付けて
もよい。
１３のように、皮膜された部分に反応することがないた
め、皮膜状態によって反射光を変化させるということが
ない。そのため、透過型センサ１３を使用する場合に
は、基板Ｗの表面が鏡面処理されたものでなくてもよ
い。また、投光部１４をハンド１２の元部１２１側に取
り付け、受光部１５をセンサ支持台１７側に取り付けて
もよい。
【００２５】なお、ハンド１２を基板Ｗの方向に移動さ
せて、基板端ＷＥを検出し基板Ｗを搬送する作用は上述
の第１の形態と同様であるため、説明は省略する。
せて、基板端ＷＥを検出し基板Ｗを搬送する作用は上述
の第１の形態と同様であるため、説明は省略する。
【図１】本発明の第１の形態の基板端検出装置を示す平
面図
面図
【図２】同一部断面図
【図３】第１の形態における別の基板端検出装置を示す
平面図
平面図
【図４】センサが基板端を検出する状態を示す作用図
【図５】第２の形態の基板端検出装置を示す一部断面図
１、１１…基板端検出装置 ２、１２…ハンド ３…反射型センサ ５、１７…センサ支持台 １３…透過型センサ １４…投光部 １５…受光部 Ｗ…基板 ＷＥ…基板端
Claims (2)
- 【請求項１】 ガラス基板を保持して搬送するロボット
のハンドには、ガラス基板の基板端部を検出するセンサ
が、前記ハンドの上方にセンサ支持部を介して配設さ
れ、前記センサが、反射型のセンサであって、ガラス基
板の上方からガラス基板の表面に向かって垂直方向に光
媒体を投射することによって、前記ハンドの上面と前記
センサ間に挿入するガラス基板の有無あるいは位置ずれ
を検出することを特徴とするガラス基板の基板端検出装
置。 - 【請求項２】 ガラス基板を保持して搬送するロボット
のハンドには、前記ハンドの上方にセンサ支持部が配設
され、前記ハンドまたは前記センサ支持部に、透過型セ
ンサを構成する投光部または受光部とのいずれかが配設
され、前記投光部と受光部間を通過するガラス基板の端
部が投光部から投射された光を遮光することによって、
ガラス基板の有無あるいは位置ずれを検出することを特
徴とするガラス基板の基板端検出装置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP2000025420A JP2001217303A (ja) | 2000-02-02 | 2000-02-02 | ガラス基板の基板端検出装置 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP2000025420A JP2001217303A (ja) | 2000-02-02 | 2000-02-02 | ガラス基板の基板端検出装置 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JP2001217303A true JP2001217303A (ja) | 2001-08-10 |
Family
ID=18551279
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP2000025420A Pending JP2001217303A (ja) | 2000-02-02 | 2000-02-02 | ガラス基板の基板端検出装置 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JP2001217303A (ja) |
Cited By (3)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| CN109866208A (zh) * | 2017-12-05 | 2019-06-11 | 日本电产三协株式会社 | 机器人及机器人的示教方法 |
| WO2022097754A1 (ja) * | 2020-11-09 | 2022-05-12 | 日本電産サンキョー株式会社 | 産業用ロボット |
| JP7443142B2 (ja) | 2020-04-10 | 2024-03-05 | ニデックインスツルメンツ株式会社 | 産業用ロボットおよび産業用ロボットの制御方法 |
-
2000
- 2000-02-02 JP JP2000025420A patent/JP2001217303A/ja active Pending
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| CN109866208A (zh) * | 2017-12-05 | 2019-06-11 | 日本电产三协株式会社 | 机器人及机器人的示教方法 |
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