JP2000040735A - 基板搬送装置 - Google Patents

Abstract

(57)【要約】 【課題】 分割ガラス基板でも容易にアライメントして
搬送できる基板搬送装置を提供すること。 【解決手段】 基板Ｗが収納されるカセット１の側面近
傍にアライナー２が配置され、カセット１の正面に対向
する位置にロボット３が配置されている。アライナー２
には機台２１上にカセット１に対して移動可能な検出部
本体２３が配設されるとともに検出部本体２３に基板Ｗ
の側縁端の位置を検出する１個の位置センサ２５と基板
Ｗの有無を検出する有無センサ２６が配設されている。
ロボット３のハンド３１には基板Ｗの前端縁を感知して
基板Ｗの傾きと位置を検出する２個のエッジ検出センサ
３２が配設され、それぞれのセンサにより基板Ｗの位置
ずれを検出してハンド３１を補正する。

Description

【発明の詳細な説明】

【０００１】

【発明の属する技術分野】この発明は、主に薄型状のガ
ラス基板のアライメントを行なって次工程に搬送する基
板搬送装置に関する。

【０００２】

【従来の技術】従来、ガラス基板のアライメントを行な
うためのアライナーを有する基板搬送装置Ｍ１は、図１
０（特開平９−６９５４８号参照）に示すように、カセ
ットＣに収納されているガラス基板Ｗの側面近傍に第１
距離センサ５１が２か所に設置されている。そして、ガ
ラス基板Ｗが収納されているカセットＣが所定位置に装
着されると、２個の第１距離センサ５１は上下移動また
はガラス基板Ｗに対して接近離隔する方向に移動して全
てのガラス基板Ｗの側面の距離を検出して、ガラス基板
Ｗの定位置に対するずれを検知する。

【０００３】一方、カセットＣの正面に対向する位置に
ガラス基板Ｗを搬送するロボット５２が配置され、ロボ
ット５２にガラス基板Ｗの正面端面の位置を測定する第
２距離センサ５３が取り付けられている。第２距離セン
サ５３がガラス基板Ｗの正面端面の距離を測定すること
によって、第１距離センサ５１との３か所でガラス基板
Ｗの位置を検出することができる。検出されたガラス基
板Ｗの現在位置と正規の位置を比較してロボット５２の
ハンド部５４がその補正分機台に対してθ回転してガラ
ス基板Ｗを取り出すために移動する。

【０００４】

【発明が解決しようとする課題】しかし、カセットＣに
収納されるガラス基板Ｗは同一の大きさのものが常に収
納されるとは限らず、従来のガラス基板を１／２あるい
は１／３にカットした分割ガラスが使用されたりするた
め、２か所に配置された上記の第１距離センサ５１では
一方の第１距離センサ５１がガラス基板Ｗの側面を検出
できない場合がある。ガラス基板Ｗの大きさに合わせて
都度距離センサ５１を取りつけることは生産性を低下さ
せるだけでなくコストも高くなるので、基板ずれ検知方
法の見直しを図らなければならなかった。

【０００５】この発明は、上述の課題を解決するもので
あり、ガラス基板の大きさにかかわらずガラス基板の位
置ずれの検出を測定できる基板搬送装置を提供すること
を目的とする。

【０００６】

【課題を解決するための手段】この発明にかかわる基板
搬送装置では、上記の課題を解決するために以下のよう
に構成するものである。即ち、基板を収納するカセット
と、カセット内の基板の位置ずれを検知するアライナー
と、基板を搬送するロボットと、を有する基板搬送装置
であって、前記アライナーが、前記基板の側部に対して
接近離隔するように前記基板の近傍付近に配設されると
ともに、前記基板の位置ずれを検知する１個の検知セン
サを有し、前記ロボットが前記基板を保持するハンドを
有するとともに、前記ハンドに進行方向に対して直交す
る方向に２個の基板検知センサが配設されていることを
特徴とするものである。

【０００７】また好ましくは、前記アライナーに、前記
基板の有無を検知する有無センサが前記基板に対して上
下移動可能に配設されることを特徴とするものであれば
よい。

【０００８】

【発明の実施の形態】以下、この発明の一実施の形態を
図面に基づいて説明する。

【０００９】本形態の搬送装置Ｍは、ガラス基板（以
下、基板という）Ｗを収納するカセット１と、カセット
１の側面近傍付近に設置されるアライナー２と、カセッ
ト１の正面に対向する位置に設置されるロボット３と、
を有している。

【００１０】カセット１には、上下方向に複数の基板Ｗ
を収納するためにそれぞれの基板Ｗの下面４隅を支持す
る基板支持部（図示せず）が配置され、ロボット３のハ
ンドあるいはアライナーの検知センサが挿入可能に形成
されている。そして、基板Ｗが収納されるとカセット１
は搬送装置Ｍの所定の位置（図１に示す位置）に設置さ
れる。

【００１１】アライナー２は、カセット１側に向かって
敷設する２本のレール２２を有する支持台２１とレール
２２に案内されながらカセット１側に接近離隔する方向
に移動可能な検出部本体２３とを有し、検出部本体２３
にカセット１側に向かって突出する１個のセンサ支持部
２４が上下方向に移動可能に配置されている。センサ支
持部２４には、基板Ｗの側端縁を上方または下方から光
を投射させて検出する１個の位置ずれ検知センサ（以
下、位置センサという）２５と、基板Ｗの側面に光を投
射させて基板Ｗの有無を検出する基板有無センサ（以
下、有無センサという）２６とを有して構成されてい
る。

【００１２】ロボット３は、機台（図示せず）に回動可
能なアーム体（図示ぜず）に回動可能に連結されるハン
ド３１を有し、ハンド３１上には進行方向に対して略直
交する方向に２個のエッジ検出センサ３２が配置されて
いる。さらにハンド３１には基板Ｗを吸着保持するため
の４個の吸着孔３３が形成され、図示しない真空発生装
置にホースを介して接続される。

【００１３】この搬送装置Ｍは、まず基板Ｗが収納され
たカセット１が所定の位置に設置されると、図２に示す
ように、アライナー２のセンサ支持部２４の先端が基板
Ｗの手前付近に位置するように検出部本体２３がカセッ
ト１に向かって前進し、アライナー２のセンサ支持部２
４がカセット１の上端にある基板から下端にある基板Ｗ
間を上下移動し有無センサ２６の作動により基板Ｗの有
無を検出する。この有無センサ２６は投射した光を基板
Ｗの側面に当てて反射した光を感知する反射型でもよ
く、基板Ｗの両側に投光器と受光器を有して投光機であ
る有無センサ２６から発射した光が受光器に達するまで
に基板Ｗで遮光するかどうかによって感知する投光・受
光型もあってもよい。さらに、有無センサ２６は、検出
部本体２３が１枚づつの基板Ｗの下方に移動して基板Ｗ
を下方から上方に向けて投射して基板Ｗを感知する反射
型でもよい。本形態においては図１のように、有無セン
サ２６から離れた位置で基板Ｗの側面に光を当てる反射
型を使用する。

【００１４】有無センサ２６が基板Ｗの有無を検出した
後、図３〜４に示すように、検出部本体２３がカセット
１側に向かって接近する方向に移動し位置センサ２５を
搬送される基板Ｗの下方に配置させる。そして、位置セ
ンサ２５が基板Ｗの側端縁の位置を検出する。位置セン
サ２５は、光を上方に投射して基板Ｗの側端縁で反射さ
れた光を感知することによってその位置を検出しその信
号を図示しない制御装置に送る。位置センサ２５の測定
により基板ＷのＹ方向（ハンド３１の進行方向に対して
直交する方向、つまりロボット３の移動方向）の位置ず
れが求められる。基板Ｗの位置検出が終了すると検出部
本体２３がカセット１から離隔する方向に移動する。

【００１５】一方、ロボット３はハンド３１をカセット
１側に向け、位置センサ２５が基板Ｗの側端縁を検出し
ている時または終了すると同時に、搬送する基板Ｗの下
方に位置させるようにハンド３１をカセット１に向かっ
て前進させる。この際、基板Ｗが正規の位置に対して傾
いていると、図５に示すように、まずハンド３１に取り
付けられた２個のエッジ検出センサ３２のうち一方のエ
ッジ検出センサ３２（図５中右側）が基板Ｗの前端縁に
到達してその位置を検出しその信号を制御装置に送る。
次にハンド３１がさらに前進すると、図６に示すよう
に、他方のエッジ検出センサ３２（図５中左側）が基板
Ｗの前端縁に到達しその位置を検出してその信号を制御
装置に送る。なお、エッジ検出センサ３２は、前述の位
置センサ２５と同様のタイプが使用されている。

【００１６】２個のエッジ検出センサ３２の測定により
基板ＷのＸ方向（ハンド３１の進行方向）の位置と位置
ずれが計算され基板Ｗの傾き角度θが求められる。これ
により前述の位置センサ２５によって検出されたＹ方向
のずれと合わせて、図７に示すように、ロボット３がＹ
軸方向の位置ずれ分Ｙ軸方向に位置補正されるとともに
ハンド３１が機台に対してθ角度補正される。従ってハ
ンド３１は傾いた基板Ｗに対して平行に配置されるとと
もに、図８に示すように、基板Ｗの略中心線上を前進す
ることになる。ハンド３１の前進はＸ方向の位置ずれを
補正した分のＸ方向への移動量で行なわれる。従って、
ハンド３１が基板Ｗを吸着する位置に達する際には基板
Ｗを正規な位置で保持することになり、その後、図９に
示すように、ハンド３１が基板Ｗを吸着してカセット１
から取り出す。

【００１７】基板Ｗがハンド３１で搬送される際に、基
板Ｗはハンド３１に対して傾きのない状態で搬送される
のでカセットから取り出される時には、カセット自身に
干渉することがなくスムーズに搬送される。また、基板
Ｗを次工程に装着する際、とくに、再びカセットに収納
する際には、ハンドはすでに正規な位置で基板を吸着し
ているので、ハンドの前進移動だけで所定の正規な位置
に搬送することができる。つまり、傾いた状態の基板を
収納する場合に発生しやすい基板とカセットとの干渉を
防止することができる。

【００１８】上記作用を繰り返してカセット１内の全て
の基板Ｗがアライメントされて次工程に搬送されること
になる。

【００１９】なお、アライナーのセンサ支持台の形状は
とくに上記にこだわらず、１個の位置センサと１個の有
無センサがが取り付くものであればよい。

【００２０】

【発明の効果】本発明によれば、基板搬送装置は、基板
を収納するカセットと、カセット内の基板の位置ずれを
検知するアライナーと、基板を搬送するロボットと、を
有するものであり、前記アライナーが、前記基板の側部
に対して接近離隔するように前記基板の近傍付近に配設
されるとともに、前記基板の位置ずれを検知する１個の
検知センサを有し、前記ロボットが前記基板を保持する
ハンドを有するとともに、前記ハンドに進行方向に対し
て直交する方向に２個の基板検知センサが配設されてい
る。前記アライナーに配設される１個の前記検知センサ
が基板のＹ方向の位置ずれを検知し、前記ロボットのハ
ンドに配設された２個の基板検知センサが基板の傾きと
Ｘ方向の位置ずれを検知して、３個のセンサによりハン
ドの位置補正を行なうことになる。そのため、基板が分
割ガラスであっても１個の検知センサで必ず基板の側面
の位置ずれを検出することができる。また、基板を吸着
する際には、位置ずれが発生している基板に合わせてハ
ンドをあらかじめ位置補正するので、ハンドのＸ軸方向
の移動に対して基板はハンドと傾きがない状態で搬送さ
れる。従って、基板がカセットから取り出しあるいは収
納される時でもカセットに干渉することがない。

【００２１】また、この基板搬送装置は、前記アライナ
ーに、前記基板の有無を検知する有無センサが前記基板
に対して上下移動可能に配設されている。前記有無セン
サは、前記基板が収納れたカセットが所定位置に設置さ
れると即座に、上端の基板から下端の基板までその側面
を検出するために上下移動を行なう。そのため、ロボッ
トに有無センサが装着されている場合に比べてロボット
の搬送時間は短縮される。

【図面の簡単な説明】

【図１】本発明の一形態による搬送装置の平面概略図

【図２】図１のアライナーに配設された有無センサの作
動を示す概略正面図

【図３】図１のアライナーに配設された位置センサの作
動を示す概略正面図

【図４】図１のアライナーに配設された位置センサの作
動を示す概略平面図

【図５】ハンドの一方のエッジ検出センサが基板の前端
縁に移動する作用を示す図

【図６】ハンドの他方のエッジ検出センサが基板の前端
縁に移動する作用を示す図

【図７】ハンドが位置補正する作用を示す図

【図８】ハンドがさらに前進する作用を示す図

【図９】ハンドが基板を取り出す作用を示す図

【図１０】従来の基板搬送装置を示す図

【符号の説明】

Ｍ…搬送装置 １…カセット ２…アライナー ３…ロボット ２３…検出部本体 ２４…センサ支持部 ２５…位置センサ ２６…有無センサ ３１…ハンド ３２…エッジ検出センサ Ｗ…基板

───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (72)発明者 祖父江 靖成 愛知県尾西市北今字定納28番地 株式会社 メックス内 Ｆターム(参考） 3F059 AA01 AA14 BA09 DA02 DC07 DD12 DE03 DE06 DE08 FB12 FB16 5F031 AA01 CC12 CC22 GG02 GG12 MM02

Claims (2)

【特許請求の範囲】
1. 【請求項１】 基板を収納するカセットと、カセット内
   の基板の位置ずれを検知するアライナーと、基板を搬送
   するロボットと、を有する基板搬送装置であって、 前記アライナーが、前記基板の側部に対して接近離隔す
   るように前記基板の近傍付近に配設されるとともに、前
   記基板の位置ずれを検知する１個の検知センサを有し、 前記ロボットが前記基板を保持するハンドを有するとと
   もに、前記ハンドに進行方向に対して直交する方向に２
   個の基板検知センサが配設されていることを特徴とする
   基板搬送装置。
2. 【請求項２】 前記アライナーに、前記基板の有無を検
   知する有無センサが前記基板に対して上下移動可能に配
   設されることを特徴とする請求項１記載の基板搬送装
   置。