JP2005170544A - 位置教示装置及びそれを備えた搬送システム - Google Patents
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Abstract
【解決手段】FOUPを載置する搬入ポート51aに設けられ、円の一部が欠損した認識マークが描かれた補正シート4と、FOUPを搬送し、搬入ポート51aにFOUPを載置する搬送台車1によって搬送可能な位置補正器2とを備えている。位置補正器2は筐体とフランジからなり、筐体に設けられ、認識マーク位置を検出するCCDカメラ22と、検出された認識マークの位置と所定位置との位置ズレ量検出する位置ズレ量検出手段とを備えている。
【選択図】図1
Description
2 位置補正器
4 補正シート
11 走行機
12 昇降機体
13 ベルト
14 昇降体
15 フィンガ
26a、26b ケーブル
41 認識マーク
51a 搬入ポート
51b 搬出ポート
100 コントローラ
Claims (10)
- 搬送物を載置する架台に設けられた基準部と、
前記搬送物を搬送し、前記架台に前記搬送物を載置する搬送台車と、
前記搬送台車によって搬送可能な筐体と、
前記筐体に設けられ、前記基準部の位置を検出する位置検出機構と、
検出された前記基準部の位置と所定位置との位置ズレ量検出する位置ズレ量検出手段と
を備えていることを特徴とする位置教示装置。 - 前記位置検出機構が、
画像認識により前記基準部の位置を検出することを特徴とする請求項1に記載の位置教示装置。 - 前記基準部が、認識マークであることを特徴とする請求項2に記載の位置教示装置。
- 前記基準部が、
向きを識別できる形状を有していることを特徴とする請求項2又は3に記載の位置教示装置。 - 前記位置ズレ量に基づいて前記搬送台車の位置ズレを補正する補正機構をさらに備えていることを特徴とする請求項1〜4のいずれか1項に記載の位置教示装置。
- 前記筐体が、
前記架台と前記筐体との距離を検出する距離検出機構を
備えていることを特徴とする請求項1〜5のいずれか1項に記載の位置教示装置。 - 前記筐体が、前記搬送物と同形状を有していることを特徴とする請求項1〜6のいずれか1項に記載の位置教示装置。
- 検出した前記位置ズレ量を記憶する記憶手段をさらに備えていることを特徴とする請求項1〜7のいずれか1項に記載の位置教示装置。
- 前記基準部が、前記架台に対して着脱可能であることを特徴とする請求項1〜8のいずれか1項に記載の位置教示装置。
- 請求項1〜9のいずれか1項に記載の位置教示装置と、
前記搬送物に処理を施す処理装置と、
前記処理装置の近傍に配置され、前記搬送台車が走行する走行路と
を有していることを特徴とする搬送システム。
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Cited By (26)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2006192549A (ja) * | 2005-01-17 | 2006-07-27 | Murata Mach Ltd | 天井走行車システム |
JP2008177340A (ja) * | 2007-01-18 | 2008-07-31 | Asyst Technologies Japan Inc | 天井走行搬送装置 |
JP2009035403A (ja) * | 2007-08-03 | 2009-02-19 | Asyst Technologies Japan Inc | 搬送システム、及び該搬送システムにおける教示方法 |
JP2009212130A (ja) * | 2008-02-29 | 2009-09-17 | Tokyo Electron Ltd | 搬送手段のティーチング方法、記憶媒体及び基板処理装置 |
WO2010010795A1 (ja) * | 2008-07-23 | 2010-01-28 | 株式会社ダイフク | 物品搬送設備における学習装置及び学習方法 |
JP2010024026A (ja) * | 2008-07-23 | 2010-02-04 | Daifuku Co Ltd | 物品搬送設備における学習装置 |
JP2010024025A (ja) * | 2008-07-23 | 2010-02-04 | Daifuku Co Ltd | 物品搬送設備における学習装置及び学習方法 |
JP2010067795A (ja) * | 2008-09-11 | 2010-03-25 | Tokyo Electron Ltd | 現像処理装置 |
JP2010087358A (ja) * | 2008-10-01 | 2010-04-15 | Muratec Automation Co Ltd | 搬送システム及びズレ検出用治具 |
WO2010143269A1 (ja) * | 2009-06-09 | 2010-12-16 | 村田機械株式会社 | 搬送システムと搬送システムでの高さ補正方法 |
WO2011001637A1 (ja) * | 2009-06-29 | 2011-01-06 | ムラテックオートメーション株式会社 | 搬送台車 |
CN104512723A (zh) * | 2013-09-27 | 2015-04-15 | 华亚科技股份有限公司 | 起吊装置及自动化搬运系统 |
WO2015166738A1 (ja) * | 2014-05-01 | 2015-11-05 | 村田機械株式会社 | ティーチングユニット及びティーチング方法 |
KR101616049B1 (ko) * | 2015-11-04 | 2016-04-27 | 주식회사 지티에스엠 | 반송 로봇 티칭을 위한 지그 및 그를 이용한 반송 로봇 티칭 정보 획득 방법 |
JP2016172607A (ja) * | 2015-03-16 | 2016-09-29 | 株式会社ダイフク | 物品搬送設備及び検査用治具 |
KR20160121421A (ko) | 2015-04-09 | 2016-10-19 | 가부시키가이샤 다이후쿠 | 물품 반송 설비 및 물품 반송 설비의 보수 작업 방법 |
US9670004B1 (en) | 2015-12-09 | 2017-06-06 | Daifuku Co., Ltd. | Article transport facility |
WO2017181608A1 (zh) * | 2016-04-18 | 2017-10-26 | 奥马迪机器人有限公司 | 一种钢索机器人 |
US20180163703A1 (en) * | 2015-07-21 | 2018-06-14 | Siemens Aktiengesellschaft | Tower positioning system |
WO2018146926A1 (ja) * | 2017-02-07 | 2018-08-16 | 村田機械株式会社 | 搬送システム及び搬送方法 |
JP2018188308A (ja) * | 2017-05-10 | 2018-11-29 | 株式会社Ihi物流産業システム | ピッキング設備 |
TWI646033B (zh) * | 2016-08-22 | 2019-01-01 | 先進科技新加坡有限公司 | 用於轉移電子裝置的設備和方法 |
TWI708725B (zh) * | 2016-05-20 | 2020-11-01 | 日商村田機械股份有限公司 | 搬送車及搬送方法 |
KR20220145031A (ko) * | 2021-04-21 | 2022-10-28 | 주식회사 에스에프에이 | 반송 시스템, 반송 시스템에서의 반송차 교시 방법, 반송차 및 반송차의 구동방법 |
WO2023017655A1 (ja) * | 2021-08-12 | 2023-02-16 | 村田機械株式会社 | 天井搬送車システム |
CN116994478A (zh) * | 2023-09-21 | 2023-11-03 | 上海果纳半导体技术有限公司 | 一种天车示教方法和示教系统 |
-
2003
- 2003-12-08 JP JP2003409402A patent/JP4296914B2/ja not_active Expired - Fee Related
Cited By (52)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
US7558645B2 (en) | 2005-01-17 | 2009-07-07 | Murato Kikai Kabushiki Kaisha | Overhead travelling carriage system |
JP2006192549A (ja) * | 2005-01-17 | 2006-07-27 | Murata Mach Ltd | 天井走行車システム |
JP4730311B2 (ja) * | 2007-01-18 | 2011-07-20 | ムラテックオートメーション株式会社 | 天井走行搬送装置 |
JP2008177340A (ja) * | 2007-01-18 | 2008-07-31 | Asyst Technologies Japan Inc | 天井走行搬送装置 |
JP2009035403A (ja) * | 2007-08-03 | 2009-02-19 | Asyst Technologies Japan Inc | 搬送システム、及び該搬送システムにおける教示方法 |
KR101436607B1 (ko) | 2007-08-03 | 2014-09-01 | 무라타 기카이 가부시키가이샤 | 반송 시스템 및 해당 반송 시스템에 있어서의 교시 방법 |
US8632295B2 (en) | 2007-08-03 | 2014-01-21 | Murata Machinery, Ltd. | Transporting system, and teaching method in the transporting system |
JP2009212130A (ja) * | 2008-02-29 | 2009-09-17 | Tokyo Electron Ltd | 搬送手段のティーチング方法、記憶媒体及び基板処理装置 |
TWI422522B (zh) * | 2008-02-29 | 2014-01-11 | Tokyo Electron Ltd | 搬運裝置之教導方法、記憶媒體、及基板處理設備 |
US8457788B2 (en) | 2008-02-29 | 2013-06-04 | Tokyo Electron Limited | Method for teaching carrier means, storage medium and substrate processing apparatus |
KR101190972B1 (ko) * | 2008-02-29 | 2012-10-12 | 도쿄엘렉트론가부시키가이샤 | 반송 수단의 티칭 방법, 기억 매체 및 기판 처리 장치 |
US8255082B2 (en) | 2008-02-29 | 2012-08-28 | Tokyo Electron Limited | Method for teaching carrier means, storage medium and substrate processing apparatus |
JP2010024026A (ja) * | 2008-07-23 | 2010-02-04 | Daifuku Co Ltd | 物品搬送設備における学習装置 |
EP2305594A1 (en) * | 2008-07-23 | 2011-04-06 | Daifuku Co., Ltd. | Learning device and learning method in article conveyance facility |
WO2010010795A1 (ja) * | 2008-07-23 | 2010-01-28 | 株式会社ダイフク | 物品搬送設備における学習装置及び学習方法 |
CN102105384A (zh) * | 2008-07-23 | 2011-06-22 | 株式会社大福 | 物品输送设备的学习装置及学习方法 |
US8374420B2 (en) | 2008-07-23 | 2013-02-12 | Daifuku Co., Ltd. | Learning device and learning method for article transport facility |
EP2305594A4 (en) * | 2008-07-23 | 2013-07-03 | Daifuku Kk | LEARNING DEVICE AND LEARNING METHOD IN ARTICLE TRANSPORT DEVICE |
KR101305265B1 (ko) | 2008-07-23 | 2013-09-06 | 가부시키가이샤 다이후쿠 | 물품 반송 설비에 있어서의 학습 장치 및 학습 방법 |
TWI412484B (zh) * | 2008-07-23 | 2013-10-21 | Daifuku Kk | 物品搬運設備之學習裝置及學習方法 |
JP2010024025A (ja) * | 2008-07-23 | 2010-02-04 | Daifuku Co Ltd | 物品搬送設備における学習装置及び学習方法 |
JP2010067795A (ja) * | 2008-09-11 | 2010-03-25 | Tokyo Electron Ltd | 現像処理装置 |
JP2010087358A (ja) * | 2008-10-01 | 2010-04-15 | Muratec Automation Co Ltd | 搬送システム及びズレ検出用治具 |
WO2010143269A1 (ja) * | 2009-06-09 | 2010-12-16 | 村田機械株式会社 | 搬送システムと搬送システムでの高さ補正方法 |
JP5339165B2 (ja) * | 2009-06-09 | 2013-11-13 | 村田機械株式会社 | 搬送システムと搬送システムの高さ補正方法 |
WO2011001637A1 (ja) * | 2009-06-29 | 2011-01-06 | ムラテックオートメーション株式会社 | 搬送台車 |
CN104512723A (zh) * | 2013-09-27 | 2015-04-15 | 华亚科技股份有限公司 | 起吊装置及自动化搬运系统 |
WO2015166738A1 (ja) * | 2014-05-01 | 2015-11-05 | 村田機械株式会社 | ティーチングユニット及びティーチング方法 |
JPWO2015166738A1 (ja) * | 2014-05-01 | 2017-04-20 | 村田機械株式会社 | ティーチングユニット及びティーチング方法 |
US10242898B2 (en) | 2015-03-16 | 2019-03-26 | Daifuku Co., Ltd. | Article transport facility and inspection unit |
JP2016172607A (ja) * | 2015-03-16 | 2016-09-29 | 株式会社ダイフク | 物品搬送設備及び検査用治具 |
TWI687365B (zh) * | 2015-03-16 | 2020-03-11 | 日商大福股份有限公司 | 物品搬送設備及檢查單元 |
KR20160121421A (ko) | 2015-04-09 | 2016-10-19 | 가부시키가이샤 다이후쿠 | 물품 반송 설비 및 물품 반송 설비의 보수 작업 방법 |
US9589821B2 (en) | 2015-04-09 | 2017-03-07 | Daifuku Co., Ltd. | Article transport facility and maintenance operation method of article transport facility |
US20180163703A1 (en) * | 2015-07-21 | 2018-06-14 | Siemens Aktiengesellschaft | Tower positioning system |
KR101616049B1 (ko) * | 2015-11-04 | 2016-04-27 | 주식회사 지티에스엠 | 반송 로봇 티칭을 위한 지그 및 그를 이용한 반송 로봇 티칭 정보 획득 방법 |
KR20170068395A (ko) | 2015-12-09 | 2017-06-19 | 가부시키가이샤 다이후쿠 | 물품 반송 설비 |
US9670004B1 (en) | 2015-12-09 | 2017-06-06 | Daifuku Co., Ltd. | Article transport facility |
WO2017181608A1 (zh) * | 2016-04-18 | 2017-10-26 | 奥马迪机器人有限公司 | 一种钢索机器人 |
TWI708725B (zh) * | 2016-05-20 | 2020-11-01 | 日商村田機械股份有限公司 | 搬送車及搬送方法 |
TWI646033B (zh) * | 2016-08-22 | 2019-01-01 | 先進科技新加坡有限公司 | 用於轉移電子裝置的設備和方法 |
CN110248878A (zh) * | 2017-02-07 | 2019-09-17 | 村田机械株式会社 | 输送系统和输送方法 |
JPWO2018146926A1 (ja) * | 2017-02-07 | 2019-11-14 | 村田機械株式会社 | 搬送システム及び搬送方法 |
WO2018146926A1 (ja) * | 2017-02-07 | 2018-08-16 | 村田機械株式会社 | 搬送システム及び搬送方法 |
US11286117B2 (en) | 2017-02-07 | 2022-03-29 | Murata Machinery, Ltd. | Transport system and transport method |
JP2018188308A (ja) * | 2017-05-10 | 2018-11-29 | 株式会社Ihi物流産業システム | ピッキング設備 |
JP7105095B2 (ja) | 2017-05-10 | 2022-07-22 | 株式会社Ihi物流産業システム | ピッキング設備 |
KR20220145031A (ko) * | 2021-04-21 | 2022-10-28 | 주식회사 에스에프에이 | 반송 시스템, 반송 시스템에서의 반송차 교시 방법, 반송차 및 반송차의 구동방법 |
KR102470517B1 (ko) | 2021-04-21 | 2022-11-25 | 주식회사 에스에프에이 | 반송 시스템, 반송 시스템에서의 반송차 교시 방법, 반송차 및 반송차의 구동방법 |
WO2023017655A1 (ja) * | 2021-08-12 | 2023-02-16 | 村田機械株式会社 | 天井搬送車システム |
CN116994478A (zh) * | 2023-09-21 | 2023-11-03 | 上海果纳半导体技术有限公司 | 一种天车示教方法和示教系统 |
CN116994478B (zh) * | 2023-09-21 | 2024-01-02 | 上海果纳半导体技术有限公司 | 一种天车示教方法和示教系统 |
Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
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