JPH11176907A - ウエハ移載装置 - Google Patents
ウエハ移載装置Info
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- JPH11176907A JPH11176907A JP35018897A JP35018897A JPH11176907A JP H11176907 A JPH11176907 A JP H11176907A JP 35018897 A JP35018897 A JP 35018897A JP 35018897 A JP35018897 A JP 35018897A JP H11176907 A JPH11176907 A JP H11176907A
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- Japan
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- fork
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Abstract
(57)【要約】
【課題】 ウエハの３次元位置検出とウエハ保持を一連
の動作で行うことができるシンプルで低コストのウエハ
移載装置、及び、ウエハ容器の３次元位置検出が可能で
あって、ウエハ移載動作の効率化を図ることができるウ
エハ移載装置を提供する。 【解決手段】 ３次元方向に移動可能なウエハ支持用フ
ォーク１１を備え、キャリアやボートのようなウエハ容
器１２にウエハ１３を搬入、搬出するためのウエハ移載
装置において、反射型の高さ検出センサ１４と反射型の
水平位置検出センサ１５をフォーク１１と一体的に配置
し、フォーク１１を上下・左右に移動してウエハ１３の
３次元位置を検出し、その検出結果に基づいてフォーク
１１でウエハ１３を移載する構成にしたことを特徴とす
るウエハ移載装置。
の動作で行うことができるシンプルで低コストのウエハ
移載装置、及び、ウエハ容器の３次元位置検出が可能で
あって、ウエハ移載動作の効率化を図ることができるウ
エハ移載装置を提供する。 【解決手段】 ３次元方向に移動可能なウエハ支持用フ
ォーク１１を備え、キャリアやボートのようなウエハ容
器１２にウエハ１３を搬入、搬出するためのウエハ移載
装置において、反射型の高さ検出センサ１４と反射型の
水平位置検出センサ１５をフォーク１１と一体的に配置
し、フォーク１１を上下・左右に移動してウエハ１３の
３次元位置を検出し、その検出結果に基づいてフォーク
１１でウエハ１３を移載する構成にしたことを特徴とす
るウエハ移載装置。
Description
【０００１】
【発明の属する技術分野】この発明は、３次元方向に移
動可能なウエハ支持用のフォークを備え、キャリアやボ
ートのようなウエハ容器にウエハを搬入、搬出するため
のウエハ移載装置に関する。
動可能なウエハ支持用のフォークを備え、キャリアやボ
ートのようなウエハ容器にウエハを搬入、搬出するため
のウエハ移載装置に関する。
【０００２】
【従来の技術】ウエハ移載装置は、例えば、たて型熱処
理炉などにおけるキャリア〜ボート間でのウエハ移載に
使用される。
理炉などにおけるキャリア〜ボート間でのウエハ移載に
使用される。
【０００３】ウエハの移載を確実に行うため、従来はイ
メージセンサで画像処理を行って、ウエハの有無を確認
していた。
メージセンサで画像処理を行って、ウエハの有無を確認
していた。
【０００４】しかし、ウエハの有無を検出しただけでは
十分でない。ウエハの収納位置がズレていると、搬送時
にウエハに傷が付く可能性が大きくなるからである。
十分でない。ウエハの収納位置がズレていると、搬送時
にウエハに傷が付く可能性が大きくなるからである。
【０００５】イメージセンサによる画像処理は、一般
に、高価であるばかりか、外乱（光）の影響を受け易
い。また、ウエハはミラー研磨されているので、ウエハ
の位置ズレを画像処理で正確に検出することは難しい。
に、高価であるばかりか、外乱（光）の影響を受け易
い。また、ウエハはミラー研磨されているので、ウエハ
の位置ズレを画像処理で正確に検出することは難しい。
【０００６】そこで、透過型のセンサを用いて、ウエハ
の有無と高さ検知を行うウエハ認識装置が提案されてい
る。
の有無と高さ検知を行うウエハ認識装置が提案されてい
る。
【０００７】しかし、このウエハ認識装置では、ウエハ
の高さ検知及び高さ方向の傾きの検知は可能であるが、
水平面内の位置ズレは検知することができなかった。
の高さ検知及び高さ方向の傾きの検知は可能であるが、
水平面内の位置ズレは検知することができなかった。
【０００８】
【発明が解決しようとする課題】一方、反射型のセンサ
をセンサモジュールに取り付け、ウエハの３次元位置を
検出できる構成のウエハ位置検出装置も提案されてい
る。
をセンサモジュールに取り付け、ウエハの３次元位置を
検出できる構成のウエハ位置検出装置も提案されてい
る。
【０００９】この装置では、ウエハの３次元位置を測定
することによって移載時のトラブルを防止できるが、移
載動作の迅速化が難しかった。
することによって移載時のトラブルを防止できるが、移
載動作の迅速化が難しかった。
【００１０】このような従来技術の問題点に鑑み、本発
明は、ウエハの３次元位置検出とウエハ保持を一連の動
作で行うことができ、シンプルで低コストのウエハ移載
装置を提供することを目的としている。
明は、ウエハの３次元位置検出とウエハ保持を一連の動
作で行うことができ、シンプルで低コストのウエハ移載
装置を提供することを目的としている。
【００１１】また、本発明は、ウエハ容器の３次元位置
検出が可能であって、ウエハ移載動作の効率化を図るこ
とができるシンプルで低コストのウエハ移載装置を提供
することも目的としている。
検出が可能であって、ウエハ移載動作の効率化を図るこ
とができるシンプルで低コストのウエハ移載装置を提供
することも目的としている。
【００１２】
【課題を解決するための手段】本願第１発明は、３次元
方向に移動可能なウエハ支持用フォーク（１１）を備
え、キャリアやボートのようなウエハ容器（１２）にウ
エハ（１３）を搬入、搬出するためのウエハ移載装置に
おいて、反射型の高さ検出センサ（１４）と反射型の水
平位置検出センサ（１５）をフォーク（１１）と一体的
に配置し、フォーク（１１）を上下・左右に移動してウ
エハ（１３）の３次元位置を検出し、その検出結果に基
づいてフォーク（１１）でウエハ（１３）を移載する構
成にしたことを特徴とするウエハ移載装置を要旨として
いる。
方向に移動可能なウエハ支持用フォーク（１１）を備
え、キャリアやボートのようなウエハ容器（１２）にウ
エハ（１３）を搬入、搬出するためのウエハ移載装置に
おいて、反射型の高さ検出センサ（１４）と反射型の水
平位置検出センサ（１５）をフォーク（１１）と一体的
に配置し、フォーク（１１）を上下・左右に移動してウ
エハ（１３）の３次元位置を検出し、その検出結果に基
づいてフォーク（１１）でウエハ（１３）を移載する構
成にしたことを特徴とするウエハ移載装置を要旨として
いる。
【００１３】本願第２発明は、３次元方向に移動可能な
ウエハ支持用のフォーク（１１）を備え、キャリアやボ
ートのようなウエハ容器（１２）にウエハ（１３）を搬
入、搬出するためのウエハ移載装置において、反射型の
高さ検出センサ（１４）と反射型の水平位置検出センサ
（１５）をフォーク（１１）と一体的に配置し、フォー
ク（１１）を上下・左右に移動してウエハ容器（１２）
の３次元位置を検出し、その検出結果に基づいてフォー
ク（１１）でウエハ（１３）を移載する構成にしたこと
を特徴とするウエハ移載装置を要旨としている。
ウエハ支持用のフォーク（１１）を備え、キャリアやボ
ートのようなウエハ容器（１２）にウエハ（１３）を搬
入、搬出するためのウエハ移載装置において、反射型の
高さ検出センサ（１４）と反射型の水平位置検出センサ
（１５）をフォーク（１１）と一体的に配置し、フォー
ク（１１）を上下・左右に移動してウエハ容器（１２）
の３次元位置を検出し、その検出結果に基づいてフォー
ク（１１）でウエハ（１３）を移載する構成にしたこと
を特徴とするウエハ移載装置を要旨としている。
【００１４】
【発明の実施の形態】本願第１発明のウエハ移載装置
は、３次元方向に移動可能なウエハ支持用フォークを備
え、キャリアやボートのようなウエハ容器にウエハを搬
入、搬出するためのウエハ移載装置において、反射型の
高さ検出センサと反射型の水平位置検出センサをフォー
クと一体的に配置し、フォークを上下・左右に移動して
ウエハの３次元位置を検出し、その検出結果に基づいて
フォークでウエハを移載するものである。
は、３次元方向に移動可能なウエハ支持用フォークを備
え、キャリアやボートのようなウエハ容器にウエハを搬
入、搬出するためのウエハ移載装置において、反射型の
高さ検出センサと反射型の水平位置検出センサをフォー
クと一体的に配置し、フォークを上下・左右に移動して
ウエハの３次元位置を検出し、その検出結果に基づいて
フォークでウエハを移載するものである。
【００１５】フォークによるウエハ保持動作の途中で当
該ウエハの３次元位置を検出し、その検出値に基づいて
フォークの軌道を修正すると、フォーク移載動作を正確
且つ迅速に行うことができる。
該ウエハの３次元位置を検出し、その検出値に基づいて
フォークの軌道を修正すると、フォーク移載動作を正確
且つ迅速に行うことができる。
【００１６】水平位置検出センサによってウエハの２点
の水平面上の位置を検出し、その検出値に基づいてウエ
ハの中心位置を計算で求めることができる。
の水平面上の位置を検出し、その検出値に基づいてウエ
ハの中心位置を計算で求めることができる。
【００１７】本願第２発明のウエハ移載装置は、３次元
方向に移動可能なウエハ支持用のフォークを備え、キャ
リアやボートのようなウエハ容器にウエハを搬入、搬出
するためのウエハ移載装置において、反射型の高さ検出
センサと反射型の水平位置検出センサをフォークと一体
的に配置し、フォークを上下・左右に移動してウエハ容
器の３次元位置を検出し、その検出結果に基づいてフォ
ークでウエハを移載するものである。
方向に移動可能なウエハ支持用のフォークを備え、キャ
リアやボートのようなウエハ容器にウエハを搬入、搬出
するためのウエハ移載装置において、反射型の高さ検出
センサと反射型の水平位置検出センサをフォークと一体
的に配置し、フォークを上下・左右に移動してウエハ容
器の３次元位置を検出し、その検出結果に基づいてフォ
ークでウエハを移載するものである。
【００１８】ウエハ容器の上板を利用して、ウエハ容器
の３次元位置を検出することが可能である。
の３次元位置を検出することが可能である。
【００１９】フォークは、ロボットアームの先端に取り
付けることができる。
付けることができる。
【００２０】
【実施例】以下、図面を参照して本発明の実施例を説明
する。
する。
【００２１】図１は、本発明によるウエハ移載装置を示
す斜視図である。
す斜視図である。
【００２２】ウエハ移載装置１０は、ウエハ支持用フォ
ーク１１をロボットアーム１７の先端に取り付けた構成
になっている。
ーク１１をロボットアーム１７の先端に取り付けた構成
になっている。
【００２３】フォーク１１は薄肉の平板形状であり、そ
の上面にウエハ１３を載せて搬送する。フォーク１１
は、ロボットアーム１７を介して３次元方向に自在に移
動可能である。
の上面にウエハ１３を載せて搬送する。フォーク１１
は、ロボットアーム１７を介して３次元方向に自在に移
動可能である。
【００２４】なお、ロボットアーム１７のコントロール
は制御部（図示せず）で行う。
は制御部（図示せず）で行う。
【００２５】フォーク１１の上面には、高さ検出用セン
サ１４が、フォーク１１の中心線と平行且つ前向きに配
置されている。
サ１４が、フォーク１１の中心線と平行且つ前向きに配
置されている。
【００２６】高さ検出用センサ１４の両側には、２個の
水平位置検出センサ１５が、フォーク面と垂直且つ上向
きに配置されている。
水平位置検出センサ１５が、フォーク面と垂直且つ上向
きに配置されている。
【００２７】高さ検出用センサ１４と水平位置検出用セ
ンサ１５は、いずれも反射型のセンサである。
ンサ１５は、いずれも反射型のセンサである。
【００２８】次に、図２と図３を参照して、ウエハ１３
の位置検出動作を説明する。
の位置検出動作を説明する。
【００２９】ウエハ１３は、所定位置に置かれたウエハ
容器（図１〜図３では省略）の棚部に載置されている。
ウエハ容器、及び、棚部内のウエハの位置にはある程度
の誤差が含まれている。
容器（図１〜図３では省略）の棚部に載置されている。
ウエハ容器、及び、棚部内のウエハの位置にはある程度
の誤差が含まれている。
【００３０】先ず、ウエハ１３の下方にフォーク１１を
移動し、水平位置検出用センサ１５がウエハの下に来る
ようにする（図２）。
移動し、水平位置検出用センサ１５がウエハの下に来る
ようにする（図２）。
【００３１】そして、フォーク１１を左右（Ｘ方向）に
往復移動すると（矢印Ａ）、ウエハが存在する範囲（Ｘ
1 〜Ｘ2 ）では水平位置検出センサ１５がＯＮになり、
それ以外の領域ではＯＦＦになる。
往復移動すると（矢印Ａ）、ウエハが存在する範囲（Ｘ
1 〜Ｘ2 ）では水平位置検出センサ１５がＯＮになり、
それ以外の領域ではＯＦＦになる。
【００３２】このＯＮの範囲の長さ｜Ｘ2 −Ｘ1 ｜をロ
ボットアームの制御部で測定し、ウエハの中心座標（Ｘ
0 、Ｙ0 ）を計算する。
ボットアームの制御部で測定し、ウエハの中心座標（Ｘ
0 、Ｙ0 ）を計算する。
【００３３】すなわち、Ｘ0 ＝Ｘ1 ＋（｜Ｘ2 −Ｘ1 ｜
／２）、また、Ｙ0 ＝Ｙ1 ＋｛Ｒ2＋（｜Ｘ2 −Ｘ1 ｜
／２）2 ｝1/2 により算出する。ここで、Ｒはウエハの
半径である。
／２）、また、Ｙ0 ＝Ｙ1 ＋｛Ｒ2＋（｜Ｘ2 −Ｘ1 ｜
／２）2 ｝1/2 により算出する。ここで、Ｒはウエハの
半径である。
【００３４】次に、フォーク１１をウエハ１３の領域か
ら外に移動し、その状態でフォーク１１を上下に往復移
動する（図３の矢印Ｂ）。
ら外に移動し、その状態でフォーク１１を上下に往復移
動する（図３の矢印Ｂ）。
【００３５】この場合には、高さ検出センサ１４が、ウ
エハが存在する範囲（Ｚ1 、Ｚ2 ）ではＯＮとなり、そ
れ以外ではＯＦＦになる。
エハが存在する範囲（Ｚ1 、Ｚ2 ）ではＯＮとなり、そ
れ以外ではＯＦＦになる。
【００３６】このＯＮの範囲の長さ｜Ｚ2 −Ｚ1 ｜をロ
ボットアームの制御部で測定し、ウエハの中心の高さＺ
0 を計算する。
ボットアームの制御部で測定し、ウエハの中心の高さＺ
0 を計算する。
【００３７】すなわち、Ｚ0 ＝Ｚ1 ＋（｜Ｚ2 −Ｚ1 ｜
／２）、又は、Ｚ0 ＝Ｚ1 ＋（Ｔ／２）により算出す
る。ここで、Ｔはウエハの肉厚である。
／２）、又は、Ｚ0 ＝Ｚ1 ＋（Ｔ／２）により算出す
る。ここで、Ｔはウエハの肉厚である。
【００３８】このようにして、ウエハの中心座標
（Ｘ0 、Ｙ0 、Ｚ0 ）を枚葉検出し、その測定結果に基
づいてフォーク１１の軌道を修正すれば、全てのウエハ
１３を正確にフォーク１１で支持でき、ウエハの移載時
の損傷を防止することができる。
（Ｘ0 、Ｙ0 、Ｚ0 ）を枚葉検出し、その測定結果に基
づいてフォーク１１の軌道を修正すれば、全てのウエハ
１３を正確にフォーク１１で支持でき、ウエハの移載時
の損傷を防止することができる。
【００３９】図４は本発明の別の実施例を示す斜視図で
ある。
ある。
【００４０】このウエハ移載装置１０では、水平位置検
出用センサ１５は１個だけ設けられている。フォーク１
１には孔１８が形成してあり、この孔１８の上部にセン
サ１５が下向きに配置されている。センサ１５は、この
孔１８を通してセンシングを行う。
出用センサ１５は１個だけ設けられている。フォーク１
１には孔１８が形成してあり、この孔１８の上部にセン
サ１５が下向きに配置されている。センサ１５は、この
孔１８を通してセンシングを行う。
【００４１】次に、図５〜図７を参照してボート１２の
３次元位置検出動作を説明する。
３次元位置検出動作を説明する。
【００４２】先づ、図５に示す姿勢で、フォーク１１を
ボートの上板１２ａの近くの基準位置に配置する。基準
となる座標Ｙ0 は原点としてアーム１７の制御装置に記
憶されている。
ボートの上板１２ａの近くの基準位置に配置する。基準
となる座標Ｙ0 は原点としてアーム１７の制御装置に記
憶されている。
【００４３】図７（Ａ）に示すように、Ｙ0 を基準に一
定距離だけフォーク１１をＹ−方向に移動し、さらにＸ
＋方向に移動して、Ｘ1 の座標を取り込む。同様に、Ｙ
＋方向にも一定距離移動して、Ｘ2 の座標を取り込む。
定距離だけフォーク１１をＹ−方向に移動し、さらにＸ
＋方向に移動して、Ｘ1 の座標を取り込む。同様に、Ｙ
＋方向にも一定距離移動して、Ｘ2 の座標を取り込む。
【００４４】そして、Ｙ0 からＸ1 、Ｘ2 までの距離、
及び、Ｙa からＹb までの距離を用いて、ボート１２の
上板１２ａの傾きを求める。
及び、Ｙa からＹb までの距離を用いて、ボート１２の
上板１２ａの傾きを求める。
【００４５】すなわち、Ｘ1 −Ｘ0 ＝ＭＡ、Ｘ2 −Ｘ0
＝ＭＢ、Ｙb −Ｙa ＝ＭＹから、傾きθ＝ｔａｎ
-1｛（ＭＡ−ＭＢ）／ＭＹ｝を算出する。ただし、傾き
θは、図７（Ｂ）でＸ1 がＸ2 より上にある場合をプラ
スの傾きとしている。
＝ＭＢ、Ｙb −Ｙa ＝ＭＹから、傾きθ＝ｔａｎ
-1｛（ＭＡ−ＭＢ）／ＭＹ｝を算出する。ただし、傾き
θは、図７（Ｂ）でＸ1 がＸ2 より上にある場合をプラ
スの傾きとしている。
【００４６】次に、フォーク１１をＹ0 からＹ0'へ移動
し、さらにＹ−方向へ移動して、Ｙ1 の座標を取り込
む。同様にＹ＋方向へも移動して、Ｙ2 の座標を取り込
む。
し、さらにＹ−方向へ移動して、Ｙ1 の座標を取り込
む。同様にＹ＋方向へも移動して、Ｙ2 の座標を取り込
む。
【００４７】そして、Ｙ0'からＹ1 、Ｙ2 への距離を求
め、その中間ポイントの座標を算出し、基準のＹ0 座標
からのズレとして補正する。
め、その中間ポイントの座標を算出し、基準のＹ0 座標
からのズレとして補正する。
【００４８】さらに、図６に示すように、フォークをＸ
軸中心に１８０°反転し、ボート上板１２ａに近付くよ
うにＺ方向に移動する。そして、高さ検出用センサ１４
をＯＮ−ＯＦＦさせ、ボート上板１２のＺ座標を取り込
む。
軸中心に１８０°反転し、ボート上板１２ａに近付くよ
うにＺ方向に移動する。そして、高さ検出用センサ１４
をＯＮ−ＯＦＦさせ、ボート上板１２のＺ座標を取り込
む。
【００４９】このようにして、ボート１２の基準位置か
らのズレを検出することができる。ボート１２の位置ズ
レを考慮して、ウエハ１３の搬出・搬入を行えば、搬送
時のトラブルを低減することができる。
らのズレを検出することができる。ボート１２の位置ズ
レを考慮して、ウエハ１３の搬出・搬入を行えば、搬送
時のトラブルを低減することができる。
【００５０】また、ボート１２の位置ズレを検出し、し
かる後に、個々のウエハの３次元位置も検出しつつウエ
ハの移載を行えば、移載時のトラブルをさらに低減する
ことが可能である。
かる後に、個々のウエハの３次元位置も検出しつつウエ
ハの移載を行えば、移載時のトラブルをさらに低減する
ことが可能である。
【００５１】
【発明の効果】本願第１発明のウエハ移載装置によれ
ば、ウエハの３次元位置検出をシンプルな構造で容易に
行うことができ、ウエハ移載時のトラブルを低減すると
共にコスト低減を図ることが可能である。
ば、ウエハの３次元位置検出をシンプルな構造で容易に
行うことができ、ウエハ移載時のトラブルを低減すると
共にコスト低減を図ることが可能である。
【００５２】また、ウエハ保持を一連の動作で行う場合
には、ウエハ移載動作の大幅な効率化を図ることができ
る。
には、ウエハ移載動作の大幅な効率化を図ることができ
る。
【００５３】本願第２発明のウエハ移載装置によれば、
ウエハ容器の３次元位置検出をシンプルな構造で容易に
行うことができ、その後のウエハ移載動作のトラブルを
低減することが可能である。
ウエハ容器の３次元位置検出をシンプルな構造で容易に
行うことができ、その後のウエハ移載動作のトラブルを
低減することが可能である。
【００５４】なお、本発明は前述の実施例に限定されな
い。例えば、反射型センサと共に透過型センサをフォー
クに配置しても良い。両者を併用すれば、ウエハの傾き
も検出可能となる。また、フォークの移動機構として
は、ロボットアームに限らず、他の動作機構、例えばＸ
Ｙテーブルのような移動機構も利用できる。
い。例えば、反射型センサと共に透過型センサをフォー
クに配置しても良い。両者を併用すれば、ウエハの傾き
も検出可能となる。また、フォークの移動機構として
は、ロボットアームに限らず、他の動作機構、例えばＸ
Ｙテーブルのような移動機構も利用できる。
【図１】本発明によるウエハ移載装置の一実施例の概略
を示す斜視図。
を示す斜視図。
【図２】ウエハの水平位置検出の仕方を示す説明図。
【図３】ウエハの高さ検出の仕方を示す説明図。
【図４】本発明によるウエハ移載装置の他の実施例の概
略を示す斜視図。
略を示す斜視図。
【図５】ボートの水平位置検出の仕方を示す動作図。
【図６】ボートの高さ検出の仕方を示す動作図。
【図７】ボートの水平位置検出の仕方を示す説明図。
１０ ウエハ移載装置 １１ フォーク １２ ボート １３ ウエハ １４ 水平位置測定用センサ １５ 高さ測定用センサ １６ 上板 １７ ロボットアーム
フロントページの続き (72)発明者 岩井 誠二 愛知県刈谷市小垣江町南藤１番地 東芝セ ラミックス株式会社刈谷製造所内 (72)発明者 岩田 康幸 愛知県刈谷市小垣江町南藤１番地 東芝セ ラミックス株式会社刈谷製造所内 (72)発明者 遠藤 哲哉 愛知県刈谷市小垣江町南藤１番地 東芝セ ラミックス株式会社刈谷製造所内
Claims (6)
- 【請求項１】 ３次元方向に移動可能なウエハ支持用フ
ォーク（１１）を備え、キャリアやボートのようなウエ
ハ容器（１２）にウエハ（１３）を搬入、搬出するため
のウエハ移載装置において、 反射型の高さ検出センサ（１４）と反射型の水平位置検
出センサ（１５）をフォーク（１１）と一体的に配置
し、フォーク（１１）を上下・左右に移動してウエハ
（１３）の３次元位置を検出し、その検出結果に基づい
てフォーク（１１）でウエハ（１３）を移載する構成に
したことを特徴とするウエハ移載装置。 - 【請求項２】 フォーク（１１）によるウエハ保持動作
の途中で当該ウエハの３次元位置を検出し、その検出値
に基づいてフォーク（１１）の軌道を修正することを特
徴とする請求項１に記載のウエハ移載装置。 - 【請求項３】 水平位置検出センサ（１５）によってウ
エハ（１３）の２点の水平面上の位置を検出し、その検
出値に基づいてウエハの中心位置を計算で求める構成に
したことを特徴とする請求項１又は２に記載のウエハ移
載装置。 - 【請求項４】 ３次元方向に移動可能なウエハ支持用の
フォーク（１１）を備え、キャリアやボートのようなウ
エハ容器（１２）にウエハ（１３）を搬入、搬出するた
めのウエハ移載装置において、 反射型の高さ検出センサ（１４）と反射型の水平位置検
出センサ（１５）をフォーク（１１）と一体的に配置
し、フォーク（１１）を上下・左右に移動してウエハ容
器（１２）の３次元位置を検出し、その検出結果に基づ
いてフォーク（１１）でウエハ（１３）を移載する構成
にしたことを特徴とするウエハ移載装置。 - 【請求項５】 ウエハ容器（１２）の上板（１６）を利
用して、ウエハ容器（１２）の３次元位置を検出する構
成にしたことを特徴とする請求項４に記載のウエハ移載
装置。 - 【請求項６】 フォーク（１１）がロボットアーム（１
７）の先端に取り付けられていることを特徴とする請求
項１〜５のいずれか１項に記載のウエハ移載装置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP35018897A JPH11176907A (ja) | 1997-12-05 | 1997-12-05 | ウエハ移載装置 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP35018897A JPH11176907A (ja) | 1997-12-05 | 1997-12-05 | ウエハ移載装置 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH11176907A true JPH11176907A (ja) | 1999-07-02 |
Family
ID=18408820
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP35018897A Pending JPH11176907A (ja) | 1997-12-05 | 1997-12-05 | ウエハ移載装置 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH11176907A (ja) |
Cited By (3)
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- 1997-12-05 JP JP35018897A patent/JPH11176907A/ja active Pending
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