JP7465709B2 - 産業用ロボット - Google Patents
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Description
図1は、本発明の実施の形態にかかる産業用ロボット1の平面図である。図2は、図1に示す産業用ロボット1の背面図である。図3は、図1に示す収容カセット3の構成を説明するための正面図である。図4は、図1に示す産業用ロボット1の構成を説明するためのブロック図である。
以上説明したように、本形態では、ハンド5、6の2本のフォーク13の先端に、収容カセット3に収容される複数枚の搬送対象物2の後端面を検知するためのセンサ14、15が取り付けられている。また、本形態では、収容カセット3から搬送対象物2を搬出する前に、フォーク13の先端が収容カセット3側を向いている状態のハンド5またはハンド6を昇降させて、収容カセット3に収容される複数枚の搬送対象物2のそれぞれの後端面の上下方向の位置をセンサ14、15で検知している。
上述した形態は、本発明の好適な形態の一例ではあるが、これに限定されるものではなく本発明の要旨を変更しない範囲において種々変形実施が可能である。
2 搬送対象物
3 収容カセット(収容部)
5、6 ハンド
7、8 アーム
13 フォーク
14、15 センサ(光学式センサ)
23 昇降機構
Claims (3)
- 長方形状または正方形状に形成される複数枚の搬送対象物が上下方向に間隔をあけた状態で重なるように収容される収容部から前記搬送対象物を搬出する産業用ロボットであって、
前記搬送対象物が搭載されるハンドと、前記ハンドが連結されるアームと、前記ハンドおよび前記アームを昇降させる昇降機構とを備え、
前記ハンドは、前記搬送対象物が載置される複数本のフォークと、前記収容部に収容される前記搬送対象物の端面を検知するための反射型の光学式センサとを備え、
前記光学式センサは、複数本の前記フォークのうちの少なくとも2本の前記フォークの先端に取り付けられ、
前記収容部から前記搬送対象物を搬出する前に、前記フォークの先端が前記収容部側を向いている状態の前記ハンドを前記昇降機構によって昇降させて、前記収容部に収容される前記搬送対象物の端面を前記光学式センサで検知することを特徴とする産業用ロボット。 - 前記光学式センサは、複数本の前記フォークの全ての前記フォークの先端に取り付けられていることを特徴とする請求項1記載の産業用ロボット。
- 前記ハンドは、2本の前記フォークを備えることを特徴とする請求項2記載の産業用ロボット。
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---|---|---|---|---|
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JP2007203402A (ja) | 2006-02-01 | 2007-08-16 | Nidec Sankyo Corp | ロボット用ハンドおよび該ハンドを具備する搬送ロボット |
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