WO2021206133A1 - 産業用ロボット - Google Patents

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WO2021206133A1
WO2021206133A1 PCT/JP2021/014859 JP2021014859W WO2021206133A1 WO 2021206133 A1 WO2021206133 A1 WO 2021206133A1 JP 2021014859 W JP2021014859 W JP 2021014859W WO 2021206133 A1 WO2021206133 A1 WO 2021206133A1
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WO
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transported
forks
hand
fork
cassette
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PCT/JP2021/014859
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English (en)
French (fr)
Inventor
孟 濱沖
矢澤　隆之
Original Assignee
日本電産サンキョー株式会社
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Publication date
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    • B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
    • B25—HAND TOOLS; PORTABLE POWER-DRIVEN TOOLS; MANIPULATORS
    • B25J—MANIPULATORS; CHAMBERS PROVIDED WITH MANIPULATION DEVICES
    • B25J13/00—Controls for manipulators
    • B25J13/08—Controls for manipulators by means of sensing devices, e.g. viewing or touching devices
    • B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
    • B25—HAND TOOLS; PORTABLE POWER-DRIVEN TOOLS; MANIPULATORS
    • B25J—MANIPULATORS; CHAMBERS PROVIDED WITH MANIPULATION DEVICES
    • B25J15/00—Gripping heads and other end effectors
    • B25J15/0014—Gripping heads and other end effectors having fork, comb or plate shaped means for engaging the lower surface on a object to be transported
    • B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
    • B25—HAND TOOLS; PORTABLE POWER-DRIVEN TOOLS; MANIPULATORS
    • B25J—MANIPULATORS; CHAMBERS PROVIDED WITH MANIPULATION DEVICES
    • B25J19/00—Accessories fitted to manipulators, e.g. for monitoring, for viewing; Safety devices combined with or specially adapted for use in connection with manipulators
    • B25J19/02—Sensing devices
    • B25J19/021—Optical sensing devices
    • H—ELECTRICITY
    • H01—ELECTRIC ELEMENTS
    • H01L—SEMICONDUCTOR DEVICES NOT COVERED BY CLASS H10
    • H01L21/00—Processes or apparatus adapted for the manufacture or treatment of semiconductor or solid state devices or of parts thereof
    • H01L21/67—Apparatus specially adapted for handling semiconductor or electric solid state devices during manufacture or treatment thereof; Apparatus specially adapted for handling wafers during manufacture or treatment of semiconductor or electric solid state devices or components ; Apparatus not specifically provided for elsewhere
    • H01L21/677—Apparatus specially adapted for handling semiconductor or electric solid state devices during manufacture or treatment thereof; Apparatus specially adapted for handling wafers during manufacture or treatment of semiconductor or electric solid state devices or components ; Apparatus not specifically provided for elsewhere for conveying, e.g. between different workstations

Definitions

  • the present invention relates to an industrial robot that conveys a rectangular or square object to be conveyed.
  • an industrial robot that conveys a rectangular workpiece such as a glass substrate for a liquid crystal display is known (see, for example, Patent Document 1).
  • the industrial robot described in Patent Document 1 carries out, for example, a work from an accommodating cassette and conveys the work to a predetermined processing device.
  • a plurality of workpieces are accommodated in the accommodating cassette so as to be overlapped with each other at intervals in the vertical direction.
  • Inside the storage cassette a plurality of shelves on which the work is placed are formed.
  • the hand on which the work is mounted, the articulated arm to which the hand is rotatably connected to the tip side, and the base end side of the articulated arm are rotatably connected to each other. It has a base.
  • this industrial robot has an arm drive mechanism that expands and contracts the articulated arm, an elevating mechanism that raises and lowers the hand and arm, a rotation mechanism that rotates the base, and a movement mechanism that moves the base in the horizontal direction. And have.
  • the hand is provided with two forks (mounting portions) on which the work is placed.
  • a mapping sensor for detecting the presence or absence of a work accommodated in the accommodating cassette is attached to the tip of one of the two forks.
  • the mapping sensor is a reflective optical sensor.
  • the hand before carrying out the work to be accommodated in the accommodating cassette, the hand is moved up and down on the front surface of the accommodating cassette to scan the mapping sensor along the front surface of the accommodating cassette. It identifies which of the plurality of shelves formed inside the cassette the work is placed on. Further, in this industrial robot, two forks are inserted under the work placed on the specified shelf, and the work is placed on the upper surface side of the forks. That is, in this industrial robot, the hand is raised and lowered by an elevating mechanism based on the detection result of the mapping sensor, the arm is extended toward the accommodating cassette, and the fork is inserted under the work accommodated in the accommodating cassette. There is.
  • the industrial robot of the present invention has a housing unit in which a plurality of objects to be transported, which are formed in a rectangular shape or a square shape, are housed so as to be overlapped with each other at intervals in the vertical direction.
  • An industrial robot that carries out an object to be transported, and includes a hand on which the object to be transported is mounted, an arm to which the hand is connected, and an elevating mechanism for raising and lowering the hand and the arm. It includes a plurality of forks to be mounted and a reflective optical sensor for detecting the end face of the object to be transported housed in the housing portion, and the optical sensor is at least two of the plurality of forks.
  • the hand with the tip of the fork facing the storage unit is lifted and lowered by the elevating mechanism to be stored in the storage unit. It is characterized in that the end face of an object is detected by an optical sensor.
  • a reflective optical sensor for detecting the end face of the object to be conveyed accommodated in the accommodating portion is attached to the tip of at least two forks of the plurality of forks. There is. Further, in the present invention, before the object to be transported is carried out from the accommodating portion, the hand in a state where the tip of the fork is facing the accommodating portion is raised and lowered by the elevating mechanism, and the object to be transported to be accommodated in the accommodating portion. The end face is detected by an optical sensor.
  • the fork is in the left-right direction of the end face of the object to be conveyed. It becomes possible to detect the height of at least two parts arranged at the position where the is inserted by the optical sensor.
  • the height of the hand is corrected based on the detection result of the optical sensor when the object to be transported is carried out from the accommodating portion, and then the accommodating portion is used.
  • the fork By inserting the fork into the housing, it is possible to reduce the possibility that the object to be transported accommodated in the housing portion and the fork of the hand inserted into the housing portion interfere with each other.
  • the height of the hand is corrected based on the detection result of the optical sensor, and then the accommodating portion is used.
  • the fork can be inserted into the housing at an appropriate height with respect to the object to be transported carried out from the housing.
  • the height of all the parts of the end face of the object to be transported that are arranged at the positions where the forks are inserted in the left-right direction can be detected by the optical sensor. Therefore, even if the object to be transported has a large warp, when the object to be transported is carried out from the accommodating portion, the height of the hand is corrected based on the detection result of the optical sensor, and then the fork is inserted into the accommodating portion. This makes it possible to prevent interference between the object to be transported contained in the accommodating portion and the fork of the hand inserted into the accommodating portion.
  • the height of the hand is corrected based on the detection result of the optical sensor when the object to be transported is carried out from the accommodating portion.
  • FIG. 1 is a plan view of the industrial robot 1 according to the embodiment of the present invention.
  • FIG. 2 is a rear view of the industrial robot 1 shown in FIG.
  • FIG. 3 is a front view for explaining the configuration of the storage cassette 3 shown in FIG.
  • FIG. 4 is a block diagram for explaining the configuration of the industrial robot 1 shown in FIG.
  • the robot 1 includes two hands 5 and 6 on which the object to be transported 2 is mounted, an arm 7 to which the hand 5 is rotatably connected to the tip side, and an arm 8 to which the hand 6 is connected to the tip side.
  • the main body 9 in which the base ends of the arms 7 and 8 are rotatably connected, the case body 10 in which the lower part of the main body 9 is housed, and the main body 9 and the case 10 can be moved in the horizontal direction. It is equipped with a base 11 that supports the robot.
  • the hands 5 and 6 include a hand base 12 rotatably connected to the tip end side of the arms 7 and 8 and a plurality of linear forks 13 on which the transport object 2 is placed on the upper surface side. ..
  • the hands 5 and 6 of this embodiment include two forks 13.
  • the two forks 13 project from the hand base 12 in the same horizontal direction. Further, the two forks 13 are arranged in parallel with each other spaced apart from each other.
  • the fork 13 of the hand 5 and the fork 13 of the hand 6 project in the same direction. Further, the fork 13 of the hand 5 and the fork 13 of the hand 6 are displaced in the vertical direction.
  • the two forks 13 are inserted into the accommodating cassette 3 when the object 2 to be transported is carried out from the accommodating cassette 3.
  • the hands 5 and 6 are provided with reflective optical sensors 14 and 15 (hereinafter, referred to as “sensors 14 and 15”) for detecting the end face of the object to be transported 2 housed in the storage cassette 3. ing.
  • the sensors 14 and 15 include a light emitting unit 18 and a light receiving unit 19.
  • the sensors 14 and 15 are attached to the tips of the two forks 13.
  • the light emitting unit 18 emits light in the horizontal direction from the tip of the fork 13.
  • the sensor 14 is attached to the tip of one of the two forks 13, and the sensor 15 is attached to the tip of the other fork 13 of the two forks 13. That is, the sensor 14 or the sensor 15 is attached to the tips of all the forks 13 of the two forks 13.
  • Arms 7 and 8 are articulated arms that expand and contract in the horizontal direction.
  • the arms 7 and 8 are composed of two arm portions, a first arm portion 16 and a second arm portion 17.
  • the base end side of the first arm portion 16 is rotatably connected to the main body portion 9.
  • the base end side of the second arm portion 17 is rotatably connected to the tip end side of the first arm portion 16.
  • Hands 5 and 6 are rotatably connected to the tip end side of the second arm portion 17.
  • the main body 9 is rotatable with respect to the case body 10 with the vertical direction as the axial direction of rotation. Further, the main body 9 can be raised and lowered with respect to the case body 10.
  • the case body 10 can move linearly in the horizontal direction with respect to the base 11.
  • the moving direction of the case body 10 with respect to the base 11 (Y direction in FIG. 1 and the like) is defined as the “horizontal direction”, and the X direction in FIG. do.
  • the X1 direction side of FIG. 1 and the like, which is one side in the front-rear direction is referred to as the "front" side
  • the X2 direction side of FIG. 1 and the like, which is the opposite side is referred to as the "rear" side.
  • the end face of the object to be transported 2 accommodated in the accommodation cassette 3 is substantially parallel to the front-rear direction or the left-right direction. Further, the end faces of the objects to be transported 2 mounted on the hands 5 and 6 are substantially parallel to the front-rear direction or the left-right direction.
  • the hands 5 and 6 receive the object 2 to be transported from the storage cassette 3
  • the two forks 13 are substantially parallel to the front-rear direction. The distance between the two forks 13 in the left-right direction at this time is narrower than the width in the left-right direction of the object 2 to be conveyed contained in the storage cassette 3.
  • the distance between the sensor 14 and the sensor 15 in the left-right direction at this time is narrower than the width in the left-right direction of the conveyed object 2 housed in the storage cassette 3. Further, the distance between the two forks 13 in the left-right direction at this time is narrower than the distance between the two mounting portions 3a on which one piece of the object 2 to be conveyed is placed in the left-right direction. That is, the distance between the sensor 14 and the sensor 15 in the left-right direction at this time is narrower than the distance between the two mounting portions 3a on which one transport object 2 is placed.
  • the robot 1 includes an arm drive mechanism 20 that expands and contracts the arm 7, an arm drive mechanism 21 that expands and contracts the arm 8, a rotation mechanism 22 that rotates the main body 9, and an elevating mechanism 23 that raises and lowers the main body 9.
  • a horizontal movement mechanism 24 that moves the main body 9 in the horizontal direction together with the case body 10 and a control unit 25 that controls the robot 1 are provided.
  • Sensors 14 and 15 are electrically connected to the control unit 25.
  • the arm drive mechanism 20 includes a motor as a drive source and a power transmission mechanism that transmits the power of the motor to the arm 7 and the hand 5.
  • the arm drive mechanism 20 expands and contracts the arm 7 so that the hand 5 moves linearly with respect to the main body 9 while the hand 5 faces a certain direction.
  • the arm drive mechanism 21 includes a motor as a drive source and a power transmission mechanism for transmitting the power of the motor to the arm 8 and the hand 6.
  • the arm drive mechanism 21 expands and contracts the arm 8 so that the hand 6 moves linearly with respect to the main body 9 while the hand 6 faces a certain direction.
  • the arm drive mechanisms 20 and 21 are electrically connected to the control unit 25. Specifically, the motors and the like of the arm drive mechanisms 20 and 21 are electrically connected to the control unit 25.
  • the arms 7 and 8 have a position where the arms 7 and 8 extend so that the tips of the hands 5 and 6 are separated from the main body 9 and an arm 7 so that the tips of the hands 5 and 6 approach the main body 9. , 8 can be expanded and contracted in the horizontal direction from the contracted position.
  • the arms 7 and 8 are in an extended state when the robot 1 receives the transfer object 2 from the accommodation cassette 3 and when the robot 1 delivers the transfer object 2 to the processing device 4. ..
  • the rotation mechanism 22 rotates the main body 9 with respect to the case body 10 with the vertical direction as the axial direction of rotation. That is, the rotation mechanism 22 rotates the hands 5, 6 and the arms 7, 8 together with the main body 9 with the vertical direction as the axial direction of rotation.
  • the rotation mechanism 22 includes a motor as a drive source and a power transmission mechanism for transmitting the power of the motor to the main body 9.
  • the rotating mechanism 22 is housed in the case body 10.
  • the rotating mechanism 22 is electrically connected to the control unit 25. Specifically, the motor of the rotating mechanism 22 and the like are electrically connected to the control unit 25.
  • the arm 8 is expanded and contracted in the front-rear direction by the arm drive mechanism 21 to store the hand 6 in a state where the tip of the fork 13 faces the front side. Move to the front of the cassette 3.
  • the hand 5 or the hand 6 is moved up and down, and the end faces (rear end faces) of the conveyed object 2 accommodated in the accommodating cassette 3 are detected by the sensors 14 and 15. That is, in the present embodiment, the fork 13 is accommodated before the transport object 2 is carried out from the accommodation cassette 3 (more specifically, the transport object 2 accommodated in the accommodation cassette 3 is mounted on the hands 5 and 6). Before being inserted into the cassette 3), the hand 5 or the hand 6 with the tip of the fork 13 facing the accommodating cassette 3 side is moved up and down by the elevating mechanism 23, and the end faces of the object 2 to be conveyed are moved by the sensors 14 and 15. Detect.
  • the sensor 14 When the hand 5 or the hand 6 with the tip of the fork 13 facing forward is moved up and down, the sensor 14 is viewed from the front-rear direction, and the sensor 14 is a virtual passing line PL1 inside the mounting portion 3a in the left-right direction (FIG. 3) moves linearly in the vertical direction, and the sensor 15 moves linearly in the vertical direction along the virtual passing line PL2 (see FIG. 3) inside the mounting portion 3a in the horizontal direction. .. Further, the sensor 14 detects the vertical position of the rear end surface of one end portion in the left-right direction of each of the plurality of objects 2 to be transported, which are accommodated in the accommodating cassette 3, and the sensor 15 accommodates the plurality of objects 2 in the accommodating cassette 3. The vertical position of the rear end surface of the other end in the left-right direction of each of the plurality of objects to be transported 2 is detected.
  • the output signals of the sensors 14 and 15 are input to the control unit 25.
  • the control unit 25 corrects the heights of the hands 5 and 6 based on the detection results of the sensors 14 and 15, and then the two forks 13 in the accommodation cassette 3. Plug in. That is, when the control unit 25 carries out the transport object 2 from the accommodation cassette 3, the control unit 25 controls the elevating mechanism 23 based on the detection results of the sensors 14 and 15 to correct the heights of the hands 5 and 6. , Arms 7 and 8 are expanded and contracted, and two forks 13 are inserted into the accommodating cassette 3.
  • the sensors 14 and 15 for detecting the rear end faces of a plurality of objects 2 to be conveyed stored in the storage cassette 3 at the tips of the two forks 13 of the hands 5 and 6. Is installed. Further, in the present embodiment, before the object 2 to be transported is carried out from the storage cassette 3, the hand 5 or the hand 6 in a state where the tip of the fork 13 faces the storage cassette 3 side is moved up and down and stored in the storage cassette 3. The sensors 14 and 15 detect the vertical positions of the rear end faces of the plurality of objects to be transported 2.
  • the heights of all the portions of the rear end surface of the object to be transported 2 arranged at the positions where the forks 13 are inserted in the left-right direction are detected by the sensors 14 and 15. Further, in the present embodiment, when the object 2 to be transported is carried out from the accommodation cassette 3, the heights of the hands 5 and 6 are corrected based on the detection results of the sensors 14 and 15, and then the two forks are added to the accommodation cassette 3. 13 is inserted.
  • the hands 5 and 6 include only the sensor 14 and not the sensor 15
  • the height of the hands 5 and 6 is corrected based on the detection result of the sensor 14 and then the accommodation cassette 3 is used.
  • the two forks 13 may be inserted at the positions indicated by the alternate long and short dash lines in FIG. 5A, and one fork 13 and the object 2 to be conveyed may interfere with each other.
  • the heights of the hands 5 and 6 are corrected so that the two forks 13 are inserted at the positions shown by the solid lines in FIG. 5 (A) based on the detection results of the sensors 14 and 15. Therefore, even if a large warp occurs in the object to be transported 2, it is possible to prevent the two forks 13 from interfering with the object to be transported 2. Further, in the present embodiment, even if the transport target object 2 housed in the storage cassette 3 is greatly warped, the transport target object carried out from the storage cassette 3 when the transport target object 2 is carried out from the storage cassette 3 It becomes possible to insert the fork 13 into the accommodating cassette 3 at a more appropriate height with respect to 2.
  • the sensors 14 and 15 are used. Based on the detection result of, it becomes possible to determine whether or not a gap into which the fork 13 can be inserted is formed between the two transport objects 2 overlapping in the vertical direction in the accommodation cassette 3. ..
  • the transport target 2 is greatly warped. Even if the heights of the hands 5 and 6 are corrected so that the forks 13 are inserted at the positions indicated by the dotted chain lines, the heights of the hands 5 and 6 are corrected so that the forks 13 are inserted at the positions indicated by the solid lines. However, the transport object 2 housed in the storage cassette 3 and the fork 13 may interfere with each other, and the fork 13 may be inserted between the two transport objects 2 overlapping in the vertical direction in the storage cassette 3.
  • the number of forks 13 included in the hands 5 and 6 may be 3 or more.
  • the sensor 14 or the sensor 15 is attached to the tips of all the forks 13 of the three or more forks 13, but at least two of the three or more forks 13 It suffices if the sensor 14 or the sensor 15 is attached to the tip. If the sensor 14 or the sensor 15 is attached to the tip of at least two of the three or more forks 13, the forks 13 are arranged at the rear end surface of the object to be conveyed 2 at a position where the forks 13 are inserted in the left-right direction. The heights of at least two portions to be formed can be detected by the sensors 14 and 15.
  • the hands 5 and 6 are based on the detection results of the sensors 14 and 15 when the transport target object 2 is carried out from the storage cassette 3.
  • the hands 5 and 6 are based on the detection results of the sensors 14 and 15 when the transport target object 2 is carried out from the storage cassette 3.
  • the accommodating cassette 3 will be vertically oriented based on the detection results of the sensors 14 and 15. It becomes easy to determine whether or not a gap into which the fork 13 can be inserted is formed between the two overlapping objects to be transported 2. Therefore, the possibility that the fork 13 is inserted into the accommodating cassette 3 is reduced when a gap into which the fork 13 can be inserted is not formed between the two vertically overlapping objects 2 in the accommodating cassette 3. Will be possible.
  • the height of the hand 5 is based on the detection results of the sensors 14 and 15 attached to the tips of the forks 13 of the hand 5.
  • the height of the hand 6 is adjusted based on the detection results of the sensors 14 and 15 attached to the tips of the forks 13 of the hand 6. to correct.
  • the arm 7 and the arm 8 are arranged at the same position in the vertical direction and are adjacent to each other in the horizontal direction.
  • the arm 7 and the arm 8 may be arranged at positions shifted from each other in the vertical direction.
  • the arms 7 and 8 may be composed of three or more arm portions.
  • the number of hands and arms included in the robot 1 may be one.
  • the object to be transported 2 may be a panel other than a large panel handled in a semiconductor package manufacturing line using PLP.
  • Robot Industrial robot
  • Storage cassette storage part
  • Forks 8 Arms
  • Sensors optical sensors

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Abstract

搬送対象物に大きな反りが生じていても、収容部から搬送対象物を搬出する際に、収容部に収容される搬送対象物と収容部に差し込まれるハンドのフォークとが干渉するおそれを低減することが可能な産業用ロボットを提供する。　複数枚の搬送対象物２が上下方向に間隔をあけた状態で重なるように収容される収容部３から搬送対象物２を搬出する産業用ロボット１では、ハンド５は、搬送対象物２が載置される複数本のフォーク１３を備えており、複数本のフォーク１３の先端には、収容部３に収容される搬送対象物２の端面を検知するための反射型の光学式センサ１４、１５が取り付けられている。産業用ロボット１では、収容部３から搬送対象物２を搬出する前に、フォーク１３の先端が収容部３側を向いている状態のハンド５を昇降させて、収容部３に収容される搬送対象物２の端面を光学式センサ１４、１５で検知する。

Description

産業用ロボット
　本発明は、長方形状または正方形状に形成される搬送対象物を搬送する産業用ロボットに関する。
　従来、液晶ディスプレイ用のガラス基板等の長方形状のワークを搬送する産業用ロボットが知られている（たとえば、特許文献１参照）。特許文献１に記載の産業用ロボットは、たとえば、収容カセットからワークを搬出して、所定の処理装置までワークを搬送する。収容カセットには、複数枚のワークが上下方向に間隔をあけた状態で重なるように収容されている。収容カセットの内部には、ワークが載置される複数の棚が形成されている。
　特許文献１に記載の産業用ロボットは、ワークが搭載されるハンドと、ハンドが先端側に回動可能に連結される多関節アームと、多関節アームの基端側が回動可能に連結される基台とを備えている。また、この産業用ロボットは、多関節アームを伸縮させるアーム駆動機構と、ハンドおよびアームを昇降させる昇降機構と、基台を回動させる回動機構と、基台を水平方向に移動させる移動機構とを備えている。ハンドは、ワークが載置される２本のフォーク（載置部）を備えている。２本のフォークのうちの１本のフォークの先端には、収容カセットに収容されるワークの有無を検知するためのマッピングセンサが取り付けられている。マッピングセンサは、反射型の光学式センサである。
　特許文献１に記載の産業用ロボットでは、収容カセットに収容されるワークを搬出する前に、ハンドを収容カセットの前面で昇降させてマッピングセンサを収容カセットの前面に沿って走査させることで、収容カセットの内部に形成される複数の棚のうちのどの棚にワークが載置されているのかを特定している。また、この産業用ロボットでは、特定された棚に載置されたワークの下側に２本のフォークを差し込んで、フォークの上面側にワークを載置する。すなわち、この産業用ロボットでは、マッピングセンサの検知結果に基づいて昇降機構によってハンドを昇降させるとともに、収容カセットに向かってアームを伸ばして、収容カセットに収容されるワークの下側にフォークを差し込んでいる。
特開２００６－２７２５２６号公報
　近年、長方形状または正方形状の大型のパネルの上に多数のチップを並べて複数の半導体パッケージを一括で製造する工法（パネルレベルパッケージング（ＰＬＰ））が普及し始めており、ＰＬＰを用いた半導体パッケージの製造ラインで産業用ロボットが使用され始めている。ＰＬＰには、多数のチップが載置されたパネルの上面を樹脂でコーティング（封止）する工程等が含まれており、ＰＬＰを用いた半導体パッケージの製造ラインで取り扱われるパネルには、大きな反りが生じやすい。
　本願発明者は、特許文献１に記載の産業用ロボットにおいて、ＰＬＰを用いた半導体パッケージの製造ラインで取り扱われるパネルのように大きな反りが生じている搬送対象物を、たとえば、収容カセットから搬出して処理装置に搬入することを検討している。しかしながら、特許文献１に記載の産業用ロボットによって収容カセットから搬送対象物を搬出する場合、収容カセットに収容される搬送対象物に大きな反りが生じていると、マッピングセンサの検知結果に基づいて昇降機構によってハンドを昇降させるとともに、収容カセットに向かってアームを伸ばしたときに、収容カセットに収容された搬送対象物と差し込まれるフォークとが干渉するおそれが高くなることが本願発明者の検討によって明らかになった。
　具体的には、特許文献１に記載の産業用ロボットによって収容カセットから搬送対象物を搬出する場合、収容カセットに収容される搬送対象物に大きな反りが生じていると、マッピングセンサの検知結果に基づいて昇降機構によってハンドを昇降させるとともに、収容カセットに向かってアームを伸ばしたときに、搬出しようとしている搬送対象物と差し込まれるフォークとが干渉したり、搬出しようとしている搬送対象物の下側に配置される搬送対象物と差し込まれるフォークとが干渉したりするおそれが高くなることが本願発明者の検討によって明らかになった。
　そこで、本発明の課題は、長方形状または正方形状に形成される複数枚の搬送対象物が上下方向に間隔をあけた状態で重なるように収容される収容部から搬送対象物を搬出する産業用ロボットにおいて、搬送対象物に大きな反りが生じていても、収容部から搬送対象物を搬出する際に、収容部に収容される搬送対象物と収容部に差し込まれるハンドのフォークとが干渉するおそれを低減することが可能な産業用ロボットを提供することにある。
　上記の課題を解決するため、本発明の産業用ロボットは、長方形状または正方形状に形成される複数枚の搬送対象物が上下方向に間隔をあけた状態で重なるように収容される収容部から搬送対象物を搬出する産業用ロボットであって、搬送対象物が搭載されるハンドと、ハンドが連結されるアームと、ハンドおよびアームを昇降させる昇降機構とを備え、ハンドは、搬送対象物が載置される複数本のフォークと、収容部に収容される搬送対象物の端面を検知するための反射型の光学式センサとを備え、光学式センサは、複数本のフォークのうちの少なくとも２本のフォークの先端に取り付けられ、収容部から搬送対象物を搬出する前に、フォークの先端が収容部側を向いている状態のハンドを昇降機構によって昇降させて、収容部に収容される搬送対象物の端面を光学式センサで検知することを特徴とする。
　本発明の産業用ロボットでは、複数本のフォークのうちの少なくとも２本のフォークの先端に、収容部に収容される搬送対象物の端面を検知するための反射型の光学式センサが取り付けられている。また、本発明では、収容部から搬送対象物を搬出する前に、フォークの先端が収容部側を向いている状態のハンドを昇降機構によって昇降させて、収容部に収容される搬送対象物の端面を光学式センサで検知している。そのため、たとえば、水平方向のうちのフォークが差し込まれる方向を前後方向とし、上下方向と前後方向とに直交する方向を左右方向とすると、本発明では、搬送対象物の端面の、左右方向においてフォークが差し込まれる位置に配置される少なくとも２箇所の部分の高さを光学式センサによって検知することが可能になる。
　したがって、本発明では、搬送対象物に大きな反りが生じていても、収容部から搬送対象物を搬出する際に、光学式センサの検知結果に基づいてハンドの高さを補正してから収容部にフォークを差し込むことで、収容部に収容される搬送対象物と収容部に差し込まれるハンドのフォークとが干渉するおそれを低減することが可能になる。また、本発明では、搬送対象物に大きな反りが生じていても、収容部から搬送対象物を搬出する際に、光学式センサの検知結果に基づいてハンドの高さを補正してから収容部にフォークを差し込むことで、収容部から搬出される搬送対象物に対する適切な高さで収容部にフォークを差し込むことが可能になる。
　また、本発明では、搬送対象物の端面の、左右方向においてフォークが差し込まれる位置に配置される少なくとも２箇所の部分の高さを光学式センサによって検知することが可能になるため、光学式センサの検知結果に基づいて、収容部において上下方向で重なる２枚の搬送対象物の間に、フォークを差し込むことができる隙間が形成されているのか否かを判別しやすくなる。したがって、本発明では、収容部において上下方向に重なる２枚の搬送対象物の間に、フォークを差し込むことができる隙間が形成されていないときに、収容部にフォークが差し込まれるおそれを低減することが可能になる。
　本発明において、光学式センサは、複数本のフォークの全てのフォークの先端に取り付けられていることが好ましい。この場合には、ハンドは、たとえば、２本のフォークを備えている。すなわち、この場合には、たとえば、ハンドが有する２本のフォークの先端に光学式センサが取り付けられている。
　このように構成すると、搬送対象物の端面の、左右方向においてフォークが差し込まれる位置に配置される全ての部分の高さを光学式センサによって検知することが可能になる。したがって、搬送対象物に大きな反りが生じていても、収容部から搬送対象物を搬出する際に、光学式センサの検知結果に基づいてハンドの高さを補正してから収容部にフォークを差し込むことで、収容部に収容される搬送対象物と収容部に差し込まれるハンドのフォークとの干渉を防止することが可能になる。また、このように構成すると、搬送対象物に大きな反りが生じていても、収容部から搬送対象物を搬出する際に、光学式センサの検知結果に基づいてハンドの高さを補正してから収容部にフォークを差し込むことで、収容部から搬送される搬送対象物に対するより適切な高さで収容部にフォークを差し込むことが可能になる。
　さらに、このように構成すると、搬送対象物の端面の、左右方向においてフォークが差し込まれる位置に配置される全ての部分の高さを光学式センサによって検知することが可能になるため、光学式センサの検知結果に基づいて、収容部において上下方向で重なる２枚の搬送対象物の間に、フォークを差し込むことができる隙間が形成されているのか否かを判別することが可能になる。したがって、収容部において上下方向で重なる２枚の搬送対象物の間に、フォークを差し込むことができる隙間が形成されていないときに、収容部にフォークが差し込まれるのを防止することが可能になる。
　以上のように、本発明では、長方形状または正方形状に形成される複数枚の搬送対象物が上下方向に間隔をあけた状態で重なるように収容される収容部から搬送対象物を搬出する産業用ロボットにおいて、搬送対象物に大きな反りが生じていても、収容部から搬送対象物を搬出する際に、収容部に収容される搬送対象物と収容部に差し込まれるハンドのフォークとが干渉するおそれを低減することが可能になる。
本発明の実施の形態にかかる産業用ロボットの平面図である。 図１に示す産業用ロボットの背面図である。 図１に示す収容カセットの構成を説明するための正面図である。 図１に示す産業用ロボットの構成を説明するためのブロック図である。 図１に示す産業用ロボットの効果を説明するための図である。
　以下、図面を参照しながら、本発明の実施の形態を説明する。
　（産業用ロボットの構成）
　図１は、本発明の実施の形態にかかる産業用ロボット１の平面図である。図２は、図１に示す産業用ロボット１の背面図である。図３は、図１に示す収容カセット３の構成を説明するための正面図である。図４は、図１に示す産業用ロボット１の構成を説明するためのブロック図である。
　本形態の産業用ロボット１（以下、「ロボット１」とする。）は、所定の搬送対象物２を搬送するための水平多関節型のロボットである。本形態の搬送対象物２は、ＰＬＰを用いた半導体パッケージの製造ラインで取り扱われる大型のパネルである。搬送対象物２は、長方形または正方形の平板状に形成されている。ロボット１は、複数枚の搬送対象物２が収容される収容部としての収容カセット３から、搬送対象物２に対して所定の処理を行う処理装置４まで搬送対象物２を搬送する。すなわち、ロボット１は、収容カセット３から搬送対象物２を１枚ずつ搬出するとともに、収容カセット３から搬出した搬送対象物２を処理装置４に搬入する。収容カセット３には、複数枚の搬送対象物２が上下方向に間隔をあけた状態で重なるように収容されている。
　ロボット１は、搬送対象物２が搭載される２個のハンド５、６と、ハンド５が先端側に回動可能に連結されるアーム７と、ハンド６が先端側に連結されるアーム８と、アーム７、８の基端側が回動可能に連結される本体部９と、本体部９の下側部分が収容されるケース体１０と、本体部９およびケース体１０を水平方向に移動可能に支持するベース１１とを備えている。
　ハンド５、６は、アーム７、８の先端側に回動可能に連結されるハンド基部１２と、上面側に搬送対象物２が載置される直線状の複数のフォーク１３とを備えている。本形態のハンド５、６は、２本のフォーク１３を備えている。２本のフォーク１３は、ハンド基部１２から水平方向の同方向へ突出している。また、２本のフォーク１３は、互いに間隔をあけた状態で平行に配置されている。ハンド５のフォーク１３とハンド６のフォーク１３とは、同じ方向に突出している。また、ハンド５のフォーク１３とハンド６のフォーク１３とは、上下方向でずれている。２本のフォーク１３は、収容カセット３から搬送対象物２を搬出する際に、収容カセット３の中に差し込まれる。
　また、ハンド５、６は、収容カセット３に収容される搬送対象物２の端面を検知するための反射型の光学式センサ１４、１５（以下、「センサ１４、１５」とする。）を備えている。センサ１４、１５は、発光部１８と受光部１９とを備えている。センサ１４、１５は、２本のフォーク１３の先端に取り付けられている。発光部１８は、フォーク１３の先端から水平方向に光を射出する。本形態では、センサ１４は、２本のフォーク１３のうちの一方のフォーク１３の先端に取り付けられ、センサ１５は、２本のフォーク１３のうちの他方のフォーク１３の先端に取り付けられている。すなわち、２本のフォーク１３の全てのフォーク１３の先端にセンサ１４またはセンサ１５が取り付けられている。
　アーム７、８は、水平方向に伸縮する多関節アームである。アーム７、８は、第１アーム部１６と第２アーム部１７との２個のアーム部によって構成されている。第１アーム部１６の基端側は、本体部９に回動可能に連結されている。第１アーム部１６の先端側には、第２アーム部１７の基端側が回動可能に連結されている。第２アーム部１７の先端側には、ハンド５、６が回動可能に連結されている。
　第１アーム部１６は、本体部９よりも上側に配置されている。第２アーム部１７は、第１アーム部１６よりも上側に配置されている。ハンド５、６は、第２アーム部１７よりも上側に配置されている。アーム７の第１アーム部１６の基端側とアーム８の第１アーム部１６の基端側とは、水平方向において互いに隣接した状態で本体部９に連結されている。また、アーム７とアーム８とは、互いに隣接した状態で配置されており、上下方向において同じ位置に配置されている。
　水平方向において、本体部９に対する第１アーム部１６の回動中心と第１アーム部１６に対する第２アーム部１７の回動中心との距離と、第１アーム部１６に対する第２アーム部１７の回動中心と第２アーム部１７に対するハンド５、６の回動中心との距離とは等しくなっている。アーム７、８は、ハンド５、６の先端（フォーク１３の先端）が本体部９から離れるようにアーム７、８が伸びる位置と、ハンド５、６の先端が本体部９に近づくようにアーム７、８が縮む位置との間で水平方向に伸縮可能となっている。アーム７、８の伸縮量が等しいときに、ハンド５のフォーク１３とハンド６のフォーク１３とは上下方向で重なっている。また、このときには、上下方向から見ると、アーム７とアーム８とは線対称に配置されている。
　本体部９は、ケース体１０に対して上下方向を回動の軸方向として回動可能になっている。また、本体部９は、ケース体１０に対して昇降可能になっている。ケース体１０は、ベース１１に対して水平方向に直線的に移動可能となっている。以下の説明では、ベース１１に対するケース体１０の移動方向（図１等のＹ方向）を「左右方向」とし、左右方向と上下方向とに直交する図１等のＸ方向を「前後方向」とする。また、前後方向の一方側である図１等のＸ１方向側を「前」側とし、その反対側である図１等のＸ２方向側を「後ろ」側とする。
　本形態では、たとえば、収容カセット３は、前後方向においてロボット１の一方側に配置され、処理装置４は、前後方向においてロボット１の他方側に配置されている。たとえば、収容カセット３は、ロボット１の前側に配置され、処理装置４は、ロボット１の後ろ側に配置されている。上述のように、収容カセット３には、複数枚の搬送対象物２が上下方向に間隔をあけた状態で重なるように収容されている。収容カセット３の内部には、図３に示すように、搬送対象物２の左右方向の両端部が載置される複数の載置部３ａが形成されている。
　収容カセット３に収容される搬送対象物２の端面は、前後方向または左右方向と略平行になっている。また、ハンド５、６に搭載される搬送対象物２の端面は、前後方向または左右方向と略平行になっている。ハンド５、６が収容カセット３から搬送対象物２を受け取るときには、２本のフォーク１３は、前後方向と略平行になっている。このときの２本のフォーク１３の左右方向の間隔は、収容カセット３に収容される搬送対象物２の左右方向の幅よりも狭くなっている。
　すなわち、このときのセンサ１４とセンサ１５との左右方向の間隔は、収容カセット３に収容される搬送対象物２の左右方向の幅よりも狭くなっている。また、このときの２本のフォーク１３の左右方向の間隔は、１枚の搬送対象物２が載置される２個の載置部３ａの左右方向の間隔よりも狭くなっている。すなわち、このときのセンサ１４とセンサ１５との左右方向の間隔は、１枚の搬送対象物２が載置される２個の載置部３ａの左右方向の間隔よりも狭くなっている。
　また、ロボット１は、アーム７を伸縮させるアーム駆動機構２０と、アーム８を伸縮させるアーム駆動機構２１と、本体部９を回動させる回動機構２２と、本体部９を昇降させる昇降機構２３と、ケース体１０と一緒に本体部９を水平方向に移動させる水平移動機構２４と、ロボット１を制御する制御部２５とを備えている。制御部２５には、センサ１４、１５が電気的に接続されている。
　アーム駆動機構２０は、駆動源となるモータと、モータの動力をアーム７およびハンド５に伝達する動力伝達機構とを備えている。アーム駆動機構２０は、本体部９に対してハンド５が一定方向を向いた状態で直線的に移動するようにアーム７を伸縮させる。アーム駆動機構２１は、アーム駆動機構２０と同様に、駆動源となるモータと、モータの動力をアーム８およびハンド６に伝達する動力伝達機構とを備えている。アーム駆動機構２１は、本体部９に対してハンド６が一定方向を向いた状態で直線的に移動するようにアーム８を伸縮させる。アーム駆動機構２０、２１は、制御部２５に電気的に接続されている。具体的には、アーム駆動機構２０、２１のモータ等が制御部２５に電気的に接続されている。
　上述のように、アーム７、８は、ハンド５、６の先端が本体部９から離れるようにアーム７、８が伸びる位置と、ハンド５、６の先端が本体部９に近づくようにアーム７、８が縮む位置との間で水平方向に伸縮可能となっている。本形態では、ロボット１が収容カセット３から搬送対象物２を受け取るとき、および、ロボット１が処理装置４に搬送対象物２を引き渡すときに、アーム７、８は伸びている状態となっている。
　回動機構２２は、上下方向を回動の軸方向としてケース体１０に対して本体部９を回動させる。すなわち、回動機構２２は、上下方向を回動の軸方向として本体部９と一緒にハンド５、６およびアーム７、８を回動させる。回動機構２２は、駆動源となるモータと、モータの動力を本体部９に伝達する動力伝達機構とを備えている。回動機構２２は、ケース体１０に収容されている。回動機構２２は、制御部２５に電気的に接続されている。具体的には、回動機構２２のモータ等が制御部２５に電気的に接続されている。
　昇降機構２３は、ケース体１０に対して本体部９を昇降させる。すなわち、昇降機構２３は、本体部９と一緒にハンド５、６およびアーム７、８を昇降させる。また、昇降機構２３は、本体部９と一緒に回動機構２２を昇降させる。昇降機構２３は、ケース体１０に収容されている。昇降機構２３は、駆動源となるモータと、モータの動力を本体部９に伝達する動力伝達機構とを備えている。昇降機構２３は、制御部２５に電気的に接続されている。具体的には、回動機構２３のモータ等が制御部２５に電気的に接続されている。
　水平移動機構２４は、ベース１１に対してケース体１０を左右方向に直線的に移動させる。すなわち、水平移動機構２４は、ケース体１０と一緒にハンド５、６、アーム７、８および本体部９を左右方向に直線的に移動させる。水平移動機構２４は、駆動源となるモータと、モータの動力をケース体１０に伝達する動力伝達機構とを備えている。水平移動機構２４は、制御部２５に電気的に接続されている。具体的には、水平移動機構２４のモータ等が制御部２５に電気的に接続されている。
　本形態では、収容カセット３からの搬送対象物２の搬出を開始する前に、アーム駆動機構２０によってアーム７を前後方向に伸縮させて、フォーク１３の先端が前側を向いている状態のハンド５を収容カセット３の前まで移動させる。あるいは、収容カセット３からの搬送対象物２の搬出を開始する前に、アーム駆動機構２１によってアーム８を前後方向に伸縮させて、フォーク１３の先端が前側を向いている状態のハンド６を収容カセット３の前まで移動させる。
　また、その状態で、ハンド５またはハンド６を昇降させて、収容カセット３に収容される搬送対象物２の端面（後端面）をセンサ１４、１５で検知する。すなわち、本形態では、収容カセット３から搬送対象物２を搬出する前（より具体的には、収容カセット３に収容される搬送対象物２をハンド５、６に搭載するためにフォーク１３が収容カセット３に差し込まれる前）に、フォーク１３の先端が収容カセット３側を向いている状態のハンド５またはハンド６を昇降機構２３によって昇降させて、搬送対象物２の端面をセンサ１４、１５で検知する。
　フォーク１３の先端が前側を向いている状態のハンド５またはハンド６が昇降すると、前後方向から見たときに、センサ１４は、載置部３ａよりも左右方向の内側の仮想通過線ＰＬ１（図３参照）に沿って上下方向に直線的に移動し、センサ１５は、載置部３ａよりも左右方向の内側の仮想通過線ＰＬ２（図３参照）に沿って上下方向に直線的に移動する。また、センサ１４によって、収容カセット３に収容される複数枚の搬送対象物２のそれぞれの、左右方向の一端部の後端面の上下方向の位置が検知され、センサ１５によって、収容カセット３に収容される複数枚の搬送対象物２のそれぞれの、左右方向の他端部の後端面の上下方向の位置が検知される。
　制御部２５には、センサ１４、１５の出力信号（具体的には、受光部１９の出力信号）が入力される。制御部２５は、収容カセット３から搬送対象物２を搬出する際に、センサ１４、１５の検知結果に基づいてハンド５、６の高さを補正してから収容カセット３に２本のフォーク１３を差し込む。すなわち、制御部２５は、収容カセット３から搬送対象物２を搬出する際に、センサ１４、１５の検知結果に基づいて昇降機構２３を制御してハンド５、６の高さを補正してから、アーム７、８を伸縮させて収容カセット３に２本のフォーク１３を差し込む。
　（本形態の主な効果）
　以上説明したように、本形態では、ハンド５、６の２本のフォーク１３の先端に、収容カセット３に収容される複数枚の搬送対象物２の後端面を検知するためのセンサ１４、１５が取り付けられている。また、本形態では、収容カセット３から搬送対象物２を搬出する前に、フォーク１３の先端が収容カセット３側を向いている状態のハンド５またはハンド６を昇降させて、収容カセット３に収容される複数枚の搬送対象物２のそれぞれの後端面の上下方向の位置をセンサ１４、１５で検知している。
　すなわち、本形態では、搬送対象物２の後端面の、左右方向においてフォーク１３が差し込まれる位置に配置される全ての部分の高さをセンサ１４、１５によって検知している。また、本形態では、収容カセット３から搬送対象物２を搬出する際に、センサ１４、１５の検知結果に基づいてハンド５、６の高さを補正してから収容カセット３に２本のフォーク１３を差し込んでいる。
　そのため、本形態では、収容カセット３に収容される搬送対象物２に大きな反りが生じていても、収容カセット３から搬送対象物２を搬出する際に、収容カセット３に収容される搬送対象物２と収容カセット３に差し込まれるフォーク１３との干渉を防止することが可能になる。
　たとえば、図５（Ａ）に示すように、搬送対象物２に大きな反りが生じていて、搬送対象物２の後端面の、左右方向においてハンド５、６の２本のフォーク１３のうちの一方のフォーク１３が差し込まれる位置に配置される部分の高さと、搬送対象物２の後端面の、左右方向において他方のフォーク１３が差し込まれる位置に配置される部分の高さとに差Δｈが生じていても、収容カセット３から搬送対象物２を搬出する際に、収容カセット３に収容される搬送対象物２と収容カセット３に差し込まれるフォーク１３との干渉を防止することが可能になる。
　なお、たとえば、ハンド５、６がセンサ１４のみを備えていてセンサ１５を備えていない場合には、センサ１４の検知結果に基づいてハンド５、６の高さを補正してから収容カセット３に２本のフォーク１３を差し込むと、図５（Ａ）の二点鎖線で示す位置に２本のフォーク１３が差し込まれて、一方のフォーク１３と搬送対象物２とが干渉する場合が生じうる。
　これに対して、本形態では、センサ１４、１５の検知結果に基づいて、図５（Ａ）の実線で示す位置に２本のフォーク１３が差し込まれるようにハンド５、６の高さを補正することが可能になるため、搬送対象物２に大きな反りが生じていても、２本のフォーク１３と搬送対象物２との干渉を防止することが可能になる。また、本形態では、収容カセット３に収容される搬送対象物２に大きな反りが生じていても、収容カセット３から搬送対象物２を搬出する際に、収容カセット３から搬出される搬送対象物２に対するより適切な高さで収容カセット３にフォーク１３を差し込むことが可能になる。
　また、本形態では、搬送対象物２の後端面の、左右方向においてフォーク１３が差し込まれる位置に配置される全ての部分の高さをセンサ１４、１５によって検知しているため、センサ１４、１５の検知結果に基づいて、収容カセット３において上下方向で重なる２枚の搬送対象物２の間に、フォーク１３を差し込むことができる隙間が形成されているのか否かを判別することが可能になる。
　たとえば、図５（Ｂ）に示すように、収容カセット３に収容される搬送対象物２の上下の間隔が比較的狭くなっている場合に搬送対象物２に大きな反りが生じていると、二点鎖線で示す位置にフォーク１３が差し込まれるようにハンド５、６の高さを補正しても、また、実線で示す位置にフォーク１３が差し込まれるようにハンド５、６の高さを補正しても、収容カセット３に収容される搬送対象物２とフォーク１３とが干渉する場合があり、収容カセット３において上下方向で重なる２枚の搬送対象物２の間に、フォーク１３を差し込むことができる隙間が形成されていない場合があるが、本形態では、このような場合に、センサ１４、１５の検知結果に基づいて、収容カセット３において上下方向で重なる２枚の搬送対象物２の間に、フォーク１３を差し込むことができる隙間が形成されていないと判別することが可能になる。したがって、本形態では、収容カセット３において上下方向で重なる２枚の搬送対象物２の間に、フォーク１３を差し込むことができる隙間が形成されていないときに、収容カセット３にフォーク１３が差し込まれるのを防止することが可能になる。
　（他の実施の形態）
　上述した形態は、本発明の好適な形態の一例ではあるが、これに限定されるものではなく本発明の要旨を変更しない範囲において種々変形実施が可能である。
　上述した形態において、ハンド５、６が備えるフォーク１３の数は、３本以上であっても良い。この場合には、３本以上のフォーク１３の全てのフォーク１３の先端にセンサ１４またはセンサ１５が取り付けられていることが好ましいが、３本以上のフォーク１３のうちの少なくとも２本のフォーク１３の先端にセンサ１４またはセンサ１５が取り付けられていれば良い。３本以上のフォーク１３のうちの少なくとも２本のフォーク１３の先端にセンサ１４またはセンサ１５が取り付けられていれば、搬送対象物２の後端面の、左右方向においてフォーク１３が差し込まれる位置に配置される少なくとも２箇所の部分の高さをセンサ１４、１５によって検知することが可能になる。
　したがって、収容カセット３に収容される搬送対象物２に大きな反りが生じていても、収容カセット３から搬送対象物２を搬出する際に、センサ１４、１５の検知結果に基づいてハンド５、６の高さを補正してから収容カセット３にフォーク１３を差し込むことで、収容カセット３に収容される搬送対象物２と収容カセット３に差し込まれるフォーク１３とが干渉するおそれを低減することが可能になる。また、収容カセット３に収容される搬送対象物２に大きな反りが生じていても、収容カセット３から搬送対象物２を搬出する際に、センサ１４、１５の検知結果に基づいてハンド５、６の高さを補正してから収容カセット３にフォーク１３を差し込むことで、収容カセット３から搬出される搬送対象物２に対する適切な高さでフォーク１３を差し込むことが可能になる。
　また、３本以上のフォーク１３のうちの少なくとも２本のフォーク１３の先端にセンサ１４またはセンサ１５が取り付けられていれば、センサ１４、１５の検知結果に基づいて、収容カセット３において上下方向で重なる２枚の搬送対象物２の間に、フォーク１３を差し込むことができる隙間が形成されているのか否かを判別しやすくなる。したがって、収容カセット３において上下方向に重なる２枚の搬送対象物２の間に、フォーク１３を差し込むことができる隙間が形成されていないときに、収容カセット３にフォーク１３が差し込まれるおそれを低減することが可能になる。
　上述した形態において、収容カセット３から搬送対象物２を搬出する前に、フォーク１３の先端が収容カセット３側を向いている状態のハンド５を昇降機構２３によって昇降させて、搬送対象物２の後端面をセンサ１４、１５で検知するとともに、フォーク１３の先端が収容カセット３側を向いている状態のハンド６を昇降機構２３によって昇降させて、搬送対象物２の後端面をセンサ１４、１５で検知しても良い。
　この場合には、たとえば、ハンド５によって収容カセット３から搬送対象物２を搬出する際に、ハンド５のフォーク１３の先端に取り付けられたセンサ１４、１５での検知結果に基づいてハンド５の高さを補正し、ハンド６によって収容カセット３から搬送対象物２を搬出する際に、ハンド６のフォーク１３の先端に取り付けられたセンサ１４、１５での検知結果に基づいてハンド６の高さを補正する。
　上述した形態では、アーム７とアーム８とは、上下方向において同じ位置に配置されており、水平方向において互いに隣接しているが、たとえば、特開２０１９－１０６９２号公報に記載されているように、アーム７とアーム８とが上下方向において互いにずれた位置に配置されていても良い。また、上述した形態において、アーム７、８は、３個以上のアーム部によって構成されていても良い。さらに、上述した形態において、ロボット１が備えるハンドおよびアームの数は１個であっても良い。また、上述した形態において、搬送対象物２は、ＰＬＰを用いた半導体パッケージの製造ラインで取り扱われる大型のパネル以外のものであっても良い。
　１　ロボット（産業用ロボット）
　２　搬送対象物
　３　収容カセット（収容部）
　５、６　ハンド
　７、８　アーム
　１３　フォーク
　１４、１５　センサ（光学式センサ）
　２３　昇降機構

Claims (3)

  1. 　長方形状または正方形状に形成される複数枚の搬送対象物が上下方向に間隔をあけた状態で重なるように収容される収容部から前記搬送対象物を搬出する産業用ロボットであって、
    　前記搬送対象物が搭載されるハンドと、前記ハンドが連結されるアームと、前記ハンドおよび前記アームを昇降させる昇降機構とを備え、
    　前記ハンドは、前記搬送対象物が載置される複数本のフォークと、前記収容部に収容される前記搬送対象物の端面を検知するための反射型の光学式センサとを備え、
    　前記光学式センサは、複数本の前記フォークのうちの少なくとも２本の前記フォークの先端に取り付けられ、
    　前記収容部から前記搬送対象物を搬出する前に、前記フォークの先端が前記収容部側を向いている状態の前記ハンドを前記昇降機構によって昇降させて、前記収容部に収容される前記搬送対象物の端面を前記光学式センサで検知することを特徴とする産業用ロボット。
  2. 　前記光学式センサは、複数本の前記フォークの全ての前記フォークの先端に取り付けられていることを特徴とする請求項１記載の産業用ロボット。
  3. 　前記ハンドは、２本の前記フォークを備えることを特徴とする請求項２記載の産業用ロボット。
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