JP2012020360A - 産業用ロボット - Google Patents
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Abstract
【解決手段】搬送対象物2を搬送する産業用ロボット1は、搬送対象物2が搭載されるハンド3と、産業用ロボット1の周辺機器にハンド3の先端が衝突したことを検知するための検知機構とを備えるとともに、ハンド3が所定方向を向いた状態で略直線状に移動するように構成されている。ハンド3は、ハンド3の先端部分を構成するとともに周辺機器にハンド3の先端が衝突したときにハンド3の基端側に向かって移動可能な衝撃吸収部材20を備えている。
【選択図】図1
Description
図1は、本発明の実施の形態にかかる産業用ロボット1およびその周辺機器を示す平面図である。図2は、図1のE−E方向から産業用ロボット1およびその周辺機器を示す側面図である。
図3は、図1に示すハンド3の図であり、(A)は平面図、(B)は側面図である。図4は、図3のF部の構成を説明するための拡大図であり、(A)はハンド3の先端が安全カバー15等に衝突していないときの状態を示す図、(B)はハンド3の先端が安全カバー15等に衝突した直後の状態を示す図である。図5は、図4(A)のG−G方向からハンド3の先端側を示す図である。
以上説明したように、本形態では、ハンド3の先端が安全カバー15等に衝突したときに、フォーク19に対してハンド3の基端側へ相対移動する衝撃吸収部材20がハンド3の先端側に取り付けられている。また、本形態では、ハンド3の先端が安全カバー15等に衝突したことが検知されると、アーム4を伸縮させるための駆動用モータにブレーキがかかる。そのため、安全カバー15等にハンド3の先端が衝突したときにハンド3およびアーム4が有するエネルギーは、衝撃吸収部材20がハンド3の基端側に向かって移動している間にアーム4等に作用するブレーキによって消費されるとともに、固定ブロック21の保持力に抗してハンド3の基端側へ衝撃吸収部材20が移動する際の摩擦抵抗や衝撃吸収部材20の変形等によって消費される。また、本形態では、衝撃吸収部材20がハンド3の基端側へ移動すると、配線27が切断されるため、配線27の切断時の抵抗によって、安全カバー15等にハンド3の先端が衝突したときにハンド3およびアーム4が有するエネルギーが消費される。
上述した形態は、本発明の好適な形態の一例ではあるが、これに限定されるものではなく本発明の要旨を変更しない範囲において種々変形実施が可能である。
2 基板(ガラス基板、搬送対象物)
3 ハンド
4 アーム
13 基板処理装置(周辺機器)
15 安全カバー(周辺機器)
19 フォーク(搭載部材)
20 衝撃吸収部材
27 配線(検知機構の一部)
30 第1配線部(固定側配線部)
31 第2配線部(移動側配線部)
Claims (8)
- 搬送対象物を搬送する産業用ロボットにおいて、
前記搬送対象物が搭載されるハンドと、前記産業用ロボットの周辺機器に前記ハンドの先端が衝突したことを検知するための検知機構とを備えるとともに、前記ハンドが所定方向を向いた状態で略直線状に移動するように構成され、
前記ハンドは、前記ハンドの先端部分を構成するとともに前記周辺機器に前記ハンドの先端が衝突したときに前記ハンドの基端側に向かって移動可能な衝撃吸収部材を備えることを特徴とする産業用ロボット。 - 前記ハンドの基端側が連結されるアームと、前記アームを駆動するための駆動源とを備え、
前記検知機構での検知結果に基づいて、前記周辺機器に前記ハンドの先端が衝突したことが検知されると、前記駆動源にブレーキがかかることを特徴とする請求項1記載の産業用ロボット。 - 前記ハンドは、前記ハンドの基端側から前記ハンドの先端側に向かって延びるように形成され前記搬送対象物の少なくとも一部が搭載される複数の搭載部材を備え、
前記搭載部材の少なくとも先端側は、中空状に形成され、
前記衝撃吸収部材は、前記搭載部材の先端側に取り付けられ、
前記衝撃吸収部材の少なくとも基端側は、前記周辺機器に前記ハンドの先端が衝突したときに前記搭載部材の中に入ることを特徴とする請求項1または2記載の産業用ロボット。 - 前記検知機構は、前記搭載部材に対する前記衝撃吸収部材の相対移動を検知することで、前記周辺機器に前記ハンドの先端が衝突したことを検知することを特徴とする請求項3記載の産業用ロボット。
- 前記検知機構は、前記搭載部材にその一部が固定されるとともに、前記衝撃吸収部材に他の一部が固定される配線を備え、
前記周辺機器に前記ハンドの先端が衝突したときの前記搭載部材に対する前記衝撃吸収部材の相対移動によって、前記配線が切断可能となっており、
前記検知機構は、前記配線が切断されると、前記搭載部材に対する前記衝撃吸収部材の相対移動を検知することを特徴とする請求項4記載の産業用ロボット。 - 前記配線は、前記搭載部材に固定される固定側配線部と、前記衝撃吸収部材に固定される移動側配線部とを備え、
前記固定側配線部と前記移動側配線部とは、半田付けされて接続されていることを特徴とする請求項5記載の産業用ロボット。 - 前記衝撃吸収部材には、前記搬送対象物の一部が搭載されることを特徴とする請求項1から6のいずれかに記載の産業用ロボット。
- 前記衝撃吸収部材は、炭素繊維で形成された筒状部材であることを特徴とする請求項1から7のいずれかに記載の産業用ロボット。
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