CN102985235A - 工业用机器人 - Google Patents

Abstract

本申请提供一种即便手部的前端与周边设备碰撞时的冲击较大、也能减轻手部的损伤的工业用机器人。具体而言，对搬运对象物(2)进行搬运的工业用机器人(1)包括供搬运对象物(2)装载的手部(3)和用于对手部(3)的前端与工业用机器人(1)的周边设备碰撞进行检测的检测机构，并使手部(3)在朝向规定方向的状态下大致直线状地移动。手部(3)包括冲击吸收构件(20)，该冲击吸收构件(20)构成手部(3)的前端部分，并能在手部(3)的前端与周边设备碰撞时朝手部(3)的基端侧移动。

Description

工业用机器人

技术领域

本发明涉及一种对规定的搬运对象物进行搬运的工业用机器人。

背景技术

目前，已知有一种对液晶显示器用的玻璃基板等大型基板进行搬运的工业用机器人(例如参照专利文献1)。专利文献1中记载的工业用机器人包括：机器人臂；以及安装于该机器人臂的手部。手部包括：安装于机器人臂的前端的基台；以及并排安装于该基台的一对支承构件。在支承构件的前端安装有封入流体且能自由膨胀、缩小的中空体。另外，基台及支承构件形成为中空状，对封入中空体的流体的压力进行检测的压力传感器配置于基台的内部，将中空体和压力传感器连接的配管配置于支承构件及基台的内部。

在专利文献1所记载的工业用机器人中，当因某些原因而使手部的前端(即中空体的前端)与机器人的周边设备时，利用压力传感器检测出中空体的内部的压力变化。当检测出中空体的内部的压力变化时，进行用于使手部立即停止的规定控制。另外，手部的前端与周边设备碰撞时的冲击因中空体的变形而被缓和。因此，在该工业用机器人中，能减轻手部的损伤。

现有技术文献

专利文献

专利文献1：日本专利特开2003－60004号公报

发明内容

发明所要解决的技术问题

被工业用机器人搬运的液晶显示器用的玻璃基板等搬运对象物年年处于大型化的倾向。另一方面，搬运对象物的搬运速度与目前的速度相同或比目前的速度快。因此，因某些原因而使手部的前端与周边设备碰撞时的冲击年年处于变大的倾向。

如上所述，在专利文献1所记载的工业用机器人中，当检测出中空体的内部的压力变化时，通过进行用于使手部立即停止的控制，另外还使中空体变形，从而使手部的前端与周边设备碰撞时的冲击缓和。然而，在专利文献1所记载的工业用机器人中，中空体的变形量是有限的，因此，当手部的前端与周边设备碰撞时的冲击变大时，会产生以下状况：即便在刚检测出中空体的内部的压力变化之后就进行用于使手部停止的控制，仅通过使中空体变形，不能充分缓和手部的前端与周边设备碰撞时的冲击。其结果是，在该工业用机器人中，当手部的前端与周边设备碰撞时的冲击变大时，可能因碰撞时的冲击而增大手部的损伤程度。

因此，本发明的技术问题在于提供一种即便手部的前端与周边设备碰撞时的冲击较大、也能减轻手部的损伤的工业用机器人。

解决技术问题所采用的技术方案

为了解决上述技术问题，本发明的工业用机器人对搬运对象物进行搬运，其特征是，工业用机器人包括供搬运对象物装载的手部和用于对手部的前端与工业用机器人的周边设备碰撞进行检测的检测机构，并使手部在朝向规定方向的状态下大致直线状地移动，手部包括冲击吸收构件，该冲击吸收构件构成手部的前端部分，并能在手部的前端与周边设备碰撞时朝手部的基端侧移动。

在本发明中，工业用机器人例如包括：臂，该臂与手部的基端侧连结；以及驱动源，该驱动源用于驱动臂，当根据检测机构的检测结果检测出手部的前端与周边设备碰撞时，对驱动源施加制动。

本发明的工业用机器人包括对手部的前端与工业用机器人的周边设备碰撞进行检测的检测机构。因此，当根据检测机构的检测结果检测出在朝向规定方向的状态下大致直线状地移动的手部的前端与周边设备碰撞时，能对用于驱动与手部的基端侧连结的臂的驱动源施加制动。另外，在本发明中，手部包括冲击吸收构件，该冲击吸收构件构成手部的前端部分，并能在手部的前端与周边设备碰撞时朝手部的基端侧移动。

因此，当在朝向规定方向的状态下大致直线状地移动的手部的前端与周边设备碰撞时手部等所具有的能量被冲击吸收构件朝手部的基端侧移动的过程中作用于臂等的制动消耗，并且被冲击吸收构件朝手部的基端侧移动时的摩擦阻力等消耗。其结果是，在本发明中，即便手部的前端与周边设备碰撞时的冲击较大，也可缓和供冲击吸收构件安装的手部的主体部分与周边设备碰撞时的冲击，从而能减轻手部的主体部分的损伤。即，在本发明中，即便手部的前端与周边设备碰撞时的冲击较大，也能减轻手部的损伤。另外，还能减轻与手部的前端碰撞的周边设备的损伤。

在本发明中，较为理想的是，手部包括多个装载构件，这多个装载构件从手部的基端侧朝手部的前端侧延伸并供搬运对象物的至少一部分装载，装载构件的至少前端侧形成为中空状，冲击吸收构件安装于装载构件的前端侧，当手部的前端与周边设备碰撞时，冲击吸收构件的至少基端侧进入装载构件中。若采用上述结构，则与以冲击吸收构件在装载构件的外侧朝手部的基端侧移动的方式构成手部的情况比较，容易防止冲击吸收构件与其它构件的干涉。因此，能可靠地使冲击吸收构件朝手部的基端侧移动。另外，与以冲击吸收构件在装载构件的外侧朝手部的基端侧移动的方式构成手部的情况比较，能将供冲击吸收构件配置的手部的前端侧小型化。

在本发明中，较为理想的是，检测机构通过对冲击吸收构件相对于装载构件的相对移动进行检测来检测出手部的前端与周边设备碰撞。若采用上述结构，则能根据与周边设备碰撞的冲击吸收构件的动作检测出手部的前端与周边设备碰撞，因此，能提高检测机构的检测精度。

在本发明中，较为理想的是，检测机构包括配线，该配线的一部分固定于装载构件，并且其另一部分固定于冲击吸收构件，利用手部的前端与周边设备碰撞时冲击吸收构件相对于装载构件的相对移动，能切断配线，当配线被切断时，检测机构检测出冲击吸收构件相对于装载构件的相对移动。若采用上述结构，则能以比较简易的结构检测出手部的前端与周边设备碰撞。

在本发明中，较为理想的是，配线包括固定于装载构件的固定侧配线部和固定于冲击吸收构件的移动侧配线部，固定侧配线部和移动侧配线部被焊接而连接在一起。若采用上述结构，则当手部的前端与周边设备碰撞时，容易在固定侧配线部与移动侧配线部间的边界部即焊接部处切断配线。因此，通过使在手部的前端与周边设备碰撞时朝手部的基端侧移动的冲击吸收构件再次朝手部的前端侧移动，并将固定侧配线部和移动侧配线部再次焊接，从而能比较容易地复原手部及检测机构。

在本发明中，较为理想的是，在冲击吸收构件上装载有搬运对象物的一部分。若采用上述结构，则能使冲击吸收构件具有搬运对象物的装载功能，因此，与以在装载构件上装载搬运对象物的整体的方式构成手部的情况比较，能使手部小型化。

在本发明中，较为理想的是，冲击吸收构件是由碳素纤维形成的筒状构件。若采用上述结构，则能提高手部的前端部分的刚度，并能减轻手部的前端部分的重量。另外，能比较容易地形成冲击吸收构件。

发明效果

如上所述，在本发明的工业用机器人中，即便手部的前端与周边设备碰撞时的冲击较大，也能减轻手部的损伤。

附图说明

图1是表示本发明实施方式的工业用机器人及其周边设备的俯视图。

图2是从图1的E－E方向表示工业用机器人及其周边设备的侧视图。

图3是图1所示的手部的图，图3(A)是平面图，图3(B)是侧视图。

图4是用于说明图3的F部的结构的放大图，图4(A)是表示手部的前端未与安全盖等碰撞时的状态的图，图4(B)是表示手部的前端刚与安全盖等碰撞之后的状态的图。

图5是从图4(A)的G－G方向表示手部的前端侧的图。

具体实施方式

以下，参照附图对本发明的实施方式进行说明。

(工业用机器人的概略结构)

图1是表示本发明实施方式的工业用机器人1及其周边设备的俯视图。图2是从图1的E－E方向表示工业用机器人1及其周边设备的侧视图。

本实施方式的工业用机器人1(以下称为“机器人1”)是用于对搬运对象物即液晶显示器用的玻璃基板2(以下称为“基板2”)进行搬运的搬运用的机器人。该机器人1是尤其适于搬运大型的基板2的大型的机器人。如图1、图2所示，机器人1包括：供基板2装载的两个手部3；前端侧与两个手部3中的每一个手部3连结的两个臂4；对两个臂4进行支承的主体部5；以及将主体部5支承成能沿水平方向移动的底座构件6。主体部5包括：对两个臂4的基端侧进行支承并能上下移动的支承构件8；将支承构件8支承成能在上下方向上移动的柱状构件9；构成主体部5的下端部分并能相对于底座构件6水平移动的基台10；以及供柱状构件9的下端固定并能相对于基台10进行回旋的回旋构件11。

手部3的基端以能转动的方式与臂4的前端连结。臂4具有两个关节部，并能相对于主体部5伸缩。具体而言，臂4相对于主体部5伸缩，以使手部3在朝向规定方向的状态下大致直线状地移动。另外，臂4的基端固定于支承构件8。在本实施方式中，两个手部3和两个臂4被配置成在上下方向上重叠。

例如图1、图2所示，机器人1是通过组装到具有多个基板处理装置13的基板处理系统14中而被使用的。在基板处理系统14中，机器人1被安全盖15围住。安全盖15包括例如金属制的框架和固定于该框架的聚氯乙烯等树脂制的盖板，盖板构成安全盖15的侧面。另外，在安全盖15的规定部位形成有能供手部3穿过的开口部。

在机器人1中，支承构件8与手部3及臂4一起相对于柱状构件9上下移动。另外，臂4相对于主体部5伸缩。具体而言，臂4伸缩，以使手部3在其前端朝向规定方向的状态下呈直线状地移动。更具体而言，例如臂4以使手部3在其前端朝向基板处理装置13的状态下相对于基板处理装置13直线状地移动而出入的方式进行伸缩。此外，基台10相对于底座构件6水平移动。此外，回旋构件11相对于基台10回旋。通过这些动作的组合，机器人1将基板2从基板处理装置13中搬出或将基板2搬入基板处理装置13。

(手部的结构)

图3是图1所示的手部3的图，图3(A)是俯视图，图3(B)是侧视图。图4是用于说明图3的F部的结构的放大图，图4(A)是表示手部3的前端未与安全盖15等碰撞时的状态的图，图4(B)是表示手部3的前端刚与安全盖15等碰撞之后的状态的图。图5是从图4(A)的G－G方向表示手部3的前端侧的图。

手部3包括：与臂4的前端侧连结的连结构件18；作为供基板2装载的装载构件的多个叉部19；以及构成手部3的前端部分的冲击吸收构件20。

叉部19从构成手部3的基端部分的连结构件18朝手部3的前端侧延伸。该叉部19形成为细长的大致四方筒状。即，叉部19形成为中空状。形成为中空状的叉部19的壁厚是恒定的。另外，为了确保较高的刚度并实现轻量化，叉部19例如由碳素纤维与树脂的复合材料形成。另外，叉部19也可形成为前端侧的壁厚变薄。另外，在本实施方式中，通过使树脂浸渍到筒形状的碳素纤维中形成由碳素纤维与树脂的复合材料构成的叉部19，但既可以通过其它现有方法形成叉部19，也可以通过新方法来形成叉部19。

叉部19随着朝向前端侧其左右方向上的宽度逐渐变窄。另外，如图3(B)所示，叉部19的上表面19a为水平面。另一方面，叉部19的下表面19b是随着朝向叉部19的前端侧朝上方倾斜的倾斜面。即，叉部19随着朝向前端侧其上下方向上的宽度逐渐变窄。叉部19的上表面19a为供基板2装载的装载面。如上所述，上表面19a为水平面，因此，在本实施方式中，能将基板2水平地装载于叉部19。

如图4、图5所示，在叉部19的前端侧固定有用于对冲击吸收构件20进行固定的两个固定块21。两个固定块21在沿叉部19的长边方向隔着规定间隔的状态下固定于叉部19的前端侧。固定块21由在上下方向上被一分为二的块片22、23构成。如图5所示，块片22被螺钉24固定在叉部19的上侧面上，块片23被螺钉25固定在块片22的下表面上。在块片22的下表面的中心及块片23的上表面的中心以朝上下方向的外侧凹陷的方式形成有用于对冲击吸收构件20进行保持的保持凹部22a、23a。保持凹部22a、23a形成为大致半圆弧状，以在块片23固定于块片22的状态下从叉部19的长边方向观察时，由保持凹部22a、23a形成的通孔的形状为大致圆形状。

冲击吸收构件20例如是由碳素纤维形成的筒状构件。具体而言，冲击吸收构件20由碳素纤维与树脂的复合材料形成。本实施方式的冲击吸收构件20形成为圆筒状。该冲击吸收构件20安装于多个叉部19中的各个叉部19的前端侧。具体而言，在两个固定块21的保持凹部22a、23a内保持着冲击吸收构件20的基端侧。在本实施方式中，在拆下块片23的状态下，通过在保持凹部22a中配置冲击吸收构件20，然后，在块片22的下表面上固定块片23，从而在叉部19的前端侧固定冲击吸收构件20。

如图1所示，基板2装载于叉部19及冲击吸收构件20。即，冲击吸收构件20发挥出对装载于手部3的基板2进行支承的功能。另外，叉部19的长度例如为3m左右，冲击吸收构件20从叉部19的前端突出的突出量例如为500～600mm左右。

如图4所示，在两个固定块21中的配置于叉部19的基端侧的固定块21上固定有用于对配线27的一部分进行固定的两个固定构件28。两个固定构件28被配置成将保持于保持凹部22a、23a的冲击吸收构件20的基端夹住。另外，在冲击吸收构件20的基端固定有用于对配线27的一部分进行固定的固定构件29。固定构件29配置于两个固定构件28之间。

配线27例如为导线。该配线27被分割为通过固定构件28而固定于叉部19的作为固定侧配线部的第一配线部30和通过固定构件29而固定于冲击吸收构件29的作为移动侧配线部的第二配线部31。第一配线部30和第二配线部31被焊接而彼此连接在一起。即，如图4(A)所示，在第一配线部30与第二配线部31之间形成有焊接部32。配线27的端部例如与机器人1的控制基板(未图示)连接。当臂4伸缩而使手部3移动时，电流从该控制基板供给至配线27。

在本实施方式中，当因某些原因而使手部3的前端(即冲击吸收构件20的前端)与安全盖15、基板处理装置13等机器人1的周边设备碰撞时，保持于固定块21的冲击吸收构件20克服固定块21的保持力如图4(B)所示朝手部3的基端侧移动。具体而言，当手部3的前端与安全盖15等碰撞时，冲击吸收构件20相对于叉部19朝手部3的基端侧相对移动，冲击吸收构件20的基端侧部分或全部进入中空状的叉部19中。

此时，如图4(B)所示，配线27伴随着冲击吸收构件20相对于叉部19的相对移动而被切断。具体而言，固定于固定构件29的第二配线部31与冲击吸收构件20一起朝手部3的基端侧移动，因此，配线27在焊接部32处被切断。如上所述，当臂4伸缩而使手部3移动时，电流从控制基板供给至配线27。因此，当冲击吸收构件20朝手部3的基端侧移动而将配线27切断时，在配线27中电流不再流动。

在本实施方式中，通过对手部3移动时电流是否在配线27中流动进行检测来检测出冲击吸收构件20是否相对于叉部19朝手部3的基端侧相对移动，通过对冲击吸收构件20是否相对于叉部19朝手部3的基端侧相对移动进行检测来检测出手部3的前端是否与安全盖15等碰撞。即，在本实施方式中，当配线27被切断时，检测出冲击吸收构件20相对于叉部19朝手部3的基端侧相对移动，并检测出手部3的前端与安全盖15等碰撞。

在本实施方式中，由配线27及与配线27连接的控制基板等构成了用于对手部3的前端与安全盖15等周边设备碰撞进行检测的检测机构。另外，在本实施方式中，当根据该检测机构的检测结果检测出手部3的前端与安全盖15等碰撞时，对用于使臂4伸缩的驱动用电动机(未图示)施加制动。具体而言，对驱动用电动机施加无励磁差动型制动(机械制动)、伺服制动及动态制动。

另外，在本实施方式中，在沿叉部19的长边方向隔着规定间隔的状态下固定的两个固定块21上保持着冲击吸收构件20，因此，在臂4及手部3回旋时或臂4伸缩时，即便对冲击吸收构件20作用了旋转力矩，冲击吸收构件20也不会从叉部19的前端侧脱离。另一方面，当手部3的前端与安全盖15等碰撞而在冲击吸收构件20的长边方向上施加冲击时，即便该冲击比较小，冲击吸收构件20也能相对于叉部19朝手部3的基端侧相对移动。

(本实施方式的主要效果)

如上所述，在本实施方式中，当手部3的前端与安全盖15等碰撞时相对于叉部19朝手部3的基端侧相对移动的冲击吸收构件20被安装于手部3的前端侧。另外，在本实施方式中，当检测出手部3的前端与安全盖15等碰撞时，对用于使臂4伸缩的驱动用电动机施加制动。因此，当手部3的前端与安全盖15等碰撞时手部3及臂4所具有的能量被冲击吸收构件20朝手部3的基端侧移动的过程中作用于臂4等的制动消耗，并且被克服固定块21的保持力使冲击吸收构件20朝手部3的基端侧移动时的摩擦阻力、冲击吸收构件20的变形等消耗。另外，在本实施方式中，当冲击吸收构件20朝手部3的基端侧移动时，配线27被切断，因此，手部3的前端与安全盖15等碰撞时手部3及臂4所具有的能量被配线27切断时的阻力消耗。

因此，在本实施方式中，即便在手部3的前端与安全盖15等碰撞时的冲击较大的情况下，供冲击吸收构件20安装的叉部15与安全盖15等碰撞时的冲击被缓和，从而能减轻叉部19的损伤。另外，在本实施方式中，能减轻与手部3的前端碰撞的安全盖15等的损伤。另外，由于能减轻安全盖15等的损伤，因此能确保在基板处理系统14的周围的作业者的安全。

此外，在本实施方式中，能使冲击吸收构件20相对于叉部19朝手部3的基端侧相对移动，因此，即便不将手部3从机器人1上拆下，也能在将冲击吸收构件20配置于叉部19中的状态下搬运机器人1。因此，能降低搬运时的成本。另外，在搬运后，若将冲击吸收构件20从叉部19中拉出并进行固定，则能复原机器人1，因此，与将手部3从机器人1上拆下来搬运机器人1的情况比较，容易复原搬运后的机器人1。

在本实施方式中，当手部3的前端与安全盖15等碰撞时，冲击吸收构件20的基端侧部分或全部进入中空状的叉部19中。因此，与以冲击吸收构件20在叉部19的外侧朝手部3的基端侧移动的方式构成手部3的情况比较，容易防止冲击吸收构件20与其它构件的干涉。因此，能可靠地使冲击吸收构件20朝手部3的基端侧移动。另外，与以冲击吸收构件20在叉部19的外侧朝手部3的基端侧移动的方式构成手部3的情况比较，能将供冲击吸收构件20配置的手部3的前端侧小型化。

在本实施方式中，通过对冲击吸收构件20是否相对于叉部19朝手部3的基端侧相对移动进行检测，来检测出手部3的前端是否与安全盖15等碰撞。即，根据与安全盖15等碰撞的冲击吸收构件20的动作对手部3的前端是否与安全盖15等碰撞进行检测。因此，能高精度地对手部3的前端是否与安全盖15等碰撞进行检测。

在本实施方式中，由伴随着冲击吸收构件20相对于叉部19的相对移动而被切断的配线27等来构成用于对手部3的前端与安全盖15等碰撞进行检测的检测机构，当配线27被切断时，检测机构检测出手部3的前端与安全盖15等碰撞。因此，在本实施方式中，能以比较简易的结构检测出手部3的前端与安全盖15等碰撞。

在本实施方式中，配线27包括第一配线部30和第二配线部31，第一配线部30和第二配线部31被焊接而彼此连接在一起。因此，当手部3的前端与安全盖15等碰撞时，如上所述，配线27在焊接部32处被切断。因此，通过使朝手部3的基端侧移动的冲击吸收构件20再次朝手部3的前端侧移动，并将第一配线部30和第二配线部31再次焊接，能比较容易地复原手部3。

在本实施方式中，冲击吸收构件20发挥出对装载于手部3的基板2进行支承的功能。因此，与以用叉部19对基板2的整体进行支承的方式构成手部3的情况比较，能将手部3小型化。

本实施方式中，冲击吸收构件20由碳素纤维形成。因此，能提高冲击吸收构件20的刚度。因此，能利用冲击吸收构件20恰当地对装载于手部3的基板2进行支承。另外，由于冲击吸收构件20由碳素纤维形成并形成为筒状，因此能减轻手部3的前端部分的重量。另外，能比较容易地形成冲击吸收构件20。

(其它实施方式)

上述实施方式是本发明的优选实施方式中的一例，但本发明并不限定于此，能在不改变本发明技术思想的范围内进行各种变形实施。

在上述实施方式中，根据配线27是否被切断来检测出冲击吸收构件20是否相对于叉部19相对移动。除此之外，例如既可以利用包括发光元件和受光元件的光学式的传感器对冲击吸收构件20是否相对于叉部19相对移动进行检测，也可以利用微动开关等机械式的传感器对冲击吸收构件20是否相对于叉部19相对移动进行检测。另外，也可通过使压缩空气流动至比冲击吸收构件20更靠手部3的基端侧的位置，并利用压力计对该压缩空气的压力变化进行检测，来对冲击吸收构件20是否相对于叉部19相对移动进行检测。

在上述实施方式中，通过对冲击吸收构件20是否相对于叉部19朝手部3的基端侧相对移动进行检测，来检测出手部3的前端是否与安全盖15等碰撞。除此之外，例如，也可在冲击吸收构件20的前端安装压力传感器，并根据该压力传感器的检测结果对手部3的前端是否与安全盖15等碰撞进行检测。另外，也可在手部3的基端侧等安装加速度传感器，并根据该加速度传感器的检测结果对手部3的前端是否与安全盖15等碰撞进行检测。

在上述实施方式中，当手部3的前端与安全盖15等碰撞时，冲击吸收构件20的基端侧部分或全部进入中空状的叉部19中。除此之外，例如，也可将手部3构成为当手部3的前端与安全盖15等碰撞时冲击吸收构件20在叉部19的外侧朝手部3的基端侧移动。

在上述实施方式中，冲击吸收构件20安装于叉部19的前端侧。除此之外，例如，也可将第二冲击吸收构件安装于冲击吸收构件20的前端侧，当手部3的前端与安全盖15等碰撞时，上述第二冲击吸收构件相对于冲击吸收构件20朝手部3的基端侧相对移动。另外，也可将第三冲击吸收构件安装于第二冲击吸收构件的前端侧，当手部3的前端与安全盖15等碰撞时，上述第三冲击吸收构件相对于上述第二冲击吸收构件朝手部3的基端侧相对移动。即，也可在叉部19的前端侧安装两级以上的冲击吸收构件。

在上述实施方式中，冲击吸收构件20形成为圆筒状，但冲击吸收构件20既可以形成为四方筒状等多角筒状，也可以形成为圆柱状、多角柱状。此外，冲击吸收构件20也可以形成为平板状。另外，在上述实施方式中，冲击吸收构件20由碳素纤维形成，但冲击吸收构件20也可由金属形成。

在上述实施方式中，配线27被分割为第一配线部30和第二配线部31，但配线27也可不被分割。另外，在上述实施方式中，冲击吸收构件20发挥出对装载于手部3的基板2进行支承的功能，但也可将手部3构成为利用叉部19对基板2的整体进行支承。

在上述实施方式中，臂4包括关节部，但臂4也可不包括关节部。在该情况下，例如，利用旋转型的电动机及滚珠螺杆等或者线性电动机以手部3直线状地移动的方式将手部3的基端侧与臂连结。

另外，在上述实施方式中，机器人1是包括两个手部3及两个臂4的所谓双臂型机器人，但机器人1也可以是包括一个手部3及一个臂4的单臂型机器人。另外，在上述实施方式中，被机器人1搬运的搬运对象物是基板2，但被机器人1搬运的搬运对象物也可以是基板2以外的半导体晶片等。

(符号说明)

1  机器人(工业用机器人)

2  基板(玻璃基板、搬运对象物)

3  手部

4  臂

13 基板处理装置(周边设备)

15 安全盖(周边设备)

19 叉部(装载构件)

20 冲击吸收构件

27 配线(检测机构的一部分)

30 第一配线部(固定侧配线部)

31 第二配线部(移动侧配线部)

Claims (8)

1.一种工业用机器人，对搬运对象物进行搬运，其特征在于，

所述工业用机器人包括供所述搬运对象物装载的手部和用于对所述手部的前端与所述工业用机器人的周边设备碰撞进行检测的检测机构，并使所述手部在朝向规定方向的状态下大致直线状地移动，

所述手部包括冲击吸收构件，该冲击吸收构件构成所述手部的前端部分，并能在所述手部的前端与所述周边设备碰撞时朝所述手部的基端侧移动。

2.如权利要求1所述的工业用机器人，其特征在于，包括：

臂，该臂与所述手部的基端侧连结；以及

驱动源，该驱动源用于驱动所述臂，

当根据所述检测机构的检测结果检测出所述手部的前端与所述周边设备碰撞时，对所述驱动源施加制动。

3.如权利要求1或2所述的工业用机器人，其特征在于，

所述手部包括多个装载构件，这多个装载构件从所述手部的基端侧朝所述手部的前端侧延伸并供所述搬运对象物的至少一部分装载，

所述装载构件的至少前端侧形成为中空状，

所述冲击吸收构件安装于所述装载构件的前端侧，

当所述手部的前端与所述周边设备碰撞时，所述冲击吸收构件的至少基端侧进入所述装载构件中。

4.如权利要求3所述的工业用机器人，其特征在于，

所述检测机构通过对所述冲击吸收构件相对于所述装载构件的相对移动进行检测来检测出所述手部的前端与所述周边设备碰撞。

5.如权利要求4所述的工业用机器人，其特征在于，

所述检测机构包括配线，该配线的一部分固定于所述装载构件，并且该配线的另一部分固定于所述冲击吸收构件，

利用当所述手部的前端与所述周边设备碰撞时所述冲击吸收构件相对于所述装载构件的相对移动，能切断所述配线，

当所述配线被切断时，所述检测机构检测出所述冲击吸收构件相对于所述装载构件的相对移动。

6.如权利要求5所述的工业用机器人，其特征在于，

所述配线包括固定于所述装载构件的固定侧配线部和固定于所述冲击吸收构件的移动侧配线部，

所述固定侧配线部和所述移动侧配线部被焊接而连接在一起。

7.如权利要求1至6中任一项所述的工业用机器人，其特征在于，

所述冲击吸收构件装载有所述搬运对象物的一部分。

8.如权利要求1至7中任一项所述的工业用机器人，其特征在于，

所述冲击吸收构件是由碳素纤维形成的筒状构件。

Images