JPH08288356A - 薄型基板搬送装置におけるハンド保護装置 - Google Patents
薄型基板搬送装置におけるハンド保護装置Info
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- JPH08288356A JPH08288356A JP9250195A JP9250195A JPH08288356A JP H08288356 A JPH08288356 A JP H08288356A JP 9250195 A JP9250195 A JP 9250195A JP 9250195 A JP9250195 A JP 9250195A JP H08288356 A JPH08288356 A JP H08288356A
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- thin substrate
- obstacle
- hand body
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Abstract
(57)【要約】
【目的】 各装置の設置に手間のかからない薄型基板搬
送装置におけるハンド保護装置を提供すること 【構成】 ハンド５がハンド本体５ａとハンド本体５ａ
の先端部に配設された光電管センサー６から構成され、
障害物１０と光電管センサー６との距離が一定距離以内
になった時にハンド５の作動を停止する。
送装置におけるハンド保護装置を提供すること 【構成】 ハンド５がハンド本体５ａとハンド本体５ａ
の先端部に配設された光電管センサー６から構成され、
障害物１０と光電管センサー６との距離が一定距離以内
になった時にハンド５の作動を停止する。
Description
【０００１】
【産業上の利用分野】この発明は、カセットに収納され
た薄型基板を搬送する搬送装置のハンドに関し、さらに
詳しくはハンドの変形を防止するための保護装置に関す
る。
た薄型基板を搬送する搬送装置のハンドに関し、さらに
詳しくはハンドの変形を防止するための保護装置に関す
る。
【０００２】
【従来の技術】従来、薄型基板搬送装置は薄型基板が１
枚づつ何枚も載置されているカセット装置と、前記薄型
基板を吸着して搬送するロボット装置と、前記薄型基板
を位置合わせする位置合わせ装置が各々配置されてい
る。前記ロボット装置には前記薄型基板を前記カセット
装置から前記位置合わせ装置まで直線的に搬送するよう
に第１アームと、前記第１アームにベルトあるいはチェ
ーンで駆動される第２アームと、前記第２アームにベル
トあるいはチェーンで駆動されるハンドと、前記第１の
アームを駆動するための駆動装置が配設されている。
枚づつ何枚も載置されているカセット装置と、前記薄型
基板を吸着して搬送するロボット装置と、前記薄型基板
を位置合わせする位置合わせ装置が各々配置されてい
る。前記ロボット装置には前記薄型基板を前記カセット
装置から前記位置合わせ装置まで直線的に搬送するよう
に第１アームと、前記第１アームにベルトあるいはチェ
ーンで駆動される第２アームと、前記第２アームにベル
トあるいはチェーンで駆動されるハンドと、前記第１の
アームを駆動するための駆動装置が配設されている。
【０００３】しかしこのような薄型基板搬送装置では、
ロボット装置とカセット装置との距離、ロボット装置と
位置合わせ装置との距離が当初の設定に対して狂ってい
たりするとハンドが干渉することがあるため、各装置の
設置における位置合わせを慎重に行う必要があり、作業
時に手間がかかるなどの苦労をしていた。また、使用中
に何らかの異常の発生により、ロボット装置、あるいは
カセット装置、あるいは位置合わせ装置がズレ、各装置
の位置が変化したまま作業を行ってしまうことがある。
この状態で作業を行えば、ハンドがカセット装置あるい
は位置合わせ装置等に干渉してしまい、ハンドを変形さ
せてしまうことになる。
ロボット装置とカセット装置との距離、ロボット装置と
位置合わせ装置との距離が当初の設定に対して狂ってい
たりするとハンドが干渉することがあるため、各装置の
設置における位置合わせを慎重に行う必要があり、作業
時に手間がかかるなどの苦労をしていた。また、使用中
に何らかの異常の発生により、ロボット装置、あるいは
カセット装置、あるいは位置合わせ装置がズレ、各装置
の位置が変化したまま作業を行ってしまうことがある。
この状態で作業を行えば、ハンドがカセット装置あるい
は位置合わせ装置等に干渉してしまい、ハンドを変形さ
せてしまうことになる。
【０００４】そのため、従来の搬送装置においては、こ
れらの異常に対して、ハンドが搬送中に障害物と干渉し
た時点でその圧力を感知するようなセンサーを取り付
け、ロボット装置の動きを即座に停止することによっ
て、被害を最小限にする防止対策を実施していた。
れらの異常に対して、ハンドが搬送中に障害物と干渉し
た時点でその圧力を感知するようなセンサーを取り付
け、ロボット装置の動きを即座に停止することによっ
て、被害を最小限にする防止対策を実施していた。
【０００５】
【発明が解決しようとする課題】しかし、従来の薄型基
板搬送装置の異常検出の方法は、ハンドの障害物との干
渉を前提としてロボット装置の動きを停止するものであ
るので、まれではあるが、ハンド自体が変形する可能性
があり、その修理、部品交換等に多大な費用と、時間を
要していた。
板搬送装置の異常検出の方法は、ハンドの障害物との干
渉を前提としてロボット装置の動きを停止するものであ
るので、まれではあるが、ハンド自体が変形する可能性
があり、その修理、部品交換等に多大な費用と、時間を
要していた。
【０００６】この発明は、上述の課題を解決するもので
あり、薄型基板搬送中、ハンド本体を障害物に干渉しな
いように保護し、そのため各装置の設置時における設置
作業を容易にする薄型基板搬送装置におけるハンドの保
護装置を提供することを目的とする。
あり、薄型基板搬送中、ハンド本体を障害物に干渉しな
いように保護し、そのため各装置の設置時における設置
作業を容易にする薄型基板搬送装置におけるハンドの保
護装置を提供することを目的とする。
【０００７】
【課題を解決するための手段】この発明にかかわる薄型
基板搬送装置におけるハンド保護装置では、カセットに
収納された薄型基板を搬送するハンドであって、前記ハ
ンドがハンド本体と、前記ハンド本体の先端部に配設さ
れるハンド位置検出手段とから構成されるものである。
基板搬送装置におけるハンド保護装置では、カセットに
収納された薄型基板を搬送するハンドであって、前記ハ
ンドがハンド本体と、前記ハンド本体の先端部に配設さ
れるハンド位置検出手段とから構成されるものである。
【０００８】また、前記ハンド位置検出手段が前記ハン
ド本体の先端部で、前記ハンド本体に対し前記ハンド本
体の長尺方向に移動可能に配設されるピン体と、前記ピ
ン体をガイドするガイド体と、前記ピン体の位置を検出
する位置検知手段から構成されればなお良い。
ド本体の先端部で、前記ハンド本体に対し前記ハンド本
体の長尺方向に移動可能に配設されるピン体と、前記ピ
ン体をガイドするガイド体と、前記ピン体の位置を検出
する位置検知手段から構成されればなお良い。
【０００９】また、前記ハンド位置検出手段が前記ハン
ド本体の先端部に配設される非接触型位置検知手段であ
ればなお良い。
ド本体の先端部に配設される非接触型位置検知手段であ
ればなお良い。
【００１０】
【発明の作用・効果】請求項１の薄型基板搬送装置にお
けるハンド保護装置においては、ハンドがハンド本体
と、前記ハンド本体の先端部に配設されるハンド位置検
出手段とから構成されている。
けるハンド保護装置においては、ハンドがハンド本体
と、前記ハンド本体の先端部に配設されるハンド位置検
出手段とから構成されている。
【００１１】そして、搬送装置の異常時、前記ハンド本
体が障害物に干渉する前に前記ハンド位置検出手段が作
動する。前記ハンド位置検出手段は異常を検知すること
ができ、搬送装置の動きを停止する。
体が障害物に干渉する前に前記ハンド位置検出手段が作
動する。前記ハンド位置検出手段は異常を検知すること
ができ、搬送装置の動きを停止する。
【００１２】そのため前記ハンド本体を変形することな
く保護することができ、各装置設置時においても容易に
設置作業が行える。
く保護することができ、各装置設置時においても容易に
設置作業が行える。
【００１３】請求項２の薄型基板搬送装置におけるハン
ド保護装置においては、前記ハンド位置検出手段が前記
ハンド本体の先端部で前記ハンド本体に対して、前記ハ
ンド本体の長尺方向に可動可能に配設されるピン体と、
前記ピン体をガイドするガイド体と、前記ピン体の位置
を検出する検知手段から構成されている。
ド保護装置においては、前記ハンド位置検出手段が前記
ハンド本体の先端部で前記ハンド本体に対して、前記ハ
ンド本体の長尺方向に可動可能に配設されるピン体と、
前記ピン体をガイドするガイド体と、前記ピン体の位置
を検出する検知手段から構成されている。
【００１４】そして、搬送装置の異常時、前記ハンド本
体が障害物に干渉する前に前記ピン体が前記障害物に干
渉し、前記ピン体が前記障害物と反対の方向に移動す
る。そして前記検知手段が前記ピン体の移動によって位
置を検出し、搬送装置の動きを止める。
体が障害物に干渉する前に前記ピン体が前記障害物に干
渉し、前記ピン体が前記障害物と反対の方向に移動す
る。そして前記検知手段が前記ピン体の移動によって位
置を検出し、搬送装置の動きを止める。
【００１５】そのため前記ハンド本体を変形することな
く保護することができ、各装置設置時においても容易に
設置作業が行える。
く保護することができ、各装置設置時においても容易に
設置作業が行える。
【００１６】請求項３の薄型基板搬送装置におけるハン
ド保護装置においては、前記ハンド位置検出手段が前記
ハンド本体の先端に配設される非接触型検知手段であ
る。
ド保護装置においては、前記ハンド位置検出手段が前記
ハンド本体の先端に配設される非接触型検知手段であ
る。
【００１７】そして、搬送装置の異常時、前記ハンド本
体が障害物に干渉する前に前記非接触型検知手段が作動
する。前記非接触型検知手段は前記障害物の位置が前記
ハンド本体に対して、所定の範囲以内に入ると搬送装置
の動きを止める。
体が障害物に干渉する前に前記非接触型検知手段が作動
する。前記非接触型検知手段は前記障害物の位置が前記
ハンド本体に対して、所定の範囲以内に入ると搬送装置
の動きを止める。
【００１８】そのため前記ハンド本体を変形することな
く保護することができ、各装置設置時においても容易に
設置作業が行える。
く保護することができ、各装置設置時においても容易に
設置作業が行える。
【００１９】
【実施例】以下、この発明の一実施例を図面に基づいて
説明する。
説明する。
【００２０】図１は薄型基板搬送装置の全体図を示すも
のであり、１は搬送装置で、２は薄型基板４が収納され
ているカセット装置、３は薄型基板の位置合わせを行う
位置合わせ装置である。搬送装置１に配設されているハ
ンド５は、図示しない駆動装置によってカセット装置に
載置された薄型基板をカセット装置２から位置合わせ装
置３に搬送し、また位置合わせ装置からカセット装置に
搬送する。
のであり、１は搬送装置で、２は薄型基板４が収納され
ているカセット装置、３は薄型基板の位置合わせを行う
位置合わせ装置である。搬送装置１に配設されているハ
ンド５は、図示しない駆動装置によってカセット装置に
載置された薄型基板をカセット装置２から位置合わせ装
置３に搬送し、また位置合わせ装置からカセット装置に
搬送する。
【００２１】図２、図３はハンド位置検出手段としての
光電管センサーをハンド本体の先端部に埋設している実
施例（実施例１）である。
光電管センサーをハンド本体の先端部に埋設している実
施例（実施例１）である。
【００２２】ハンド５はハンド本体５ａとハンド５ａに
埋設される光電管センサー６から構成されている。ハン
ド本体５ａは図３に示されるように、全体的にフォーク
状を形成し、先端部が開口されている。光電管センサー
６は反射型ビームスイッチでハンド本体５ａの先端部の
１か所に埋設されている。障害物１０は、例えばカセッ
ト装置２であり、またはオリフラ合わせ装置３である。
また異常により、特別に落下してきたものも含まれる。
埋設される光電管センサー６から構成されている。ハン
ド本体５ａは図３に示されるように、全体的にフォーク
状を形成し、先端部が開口されている。光電管センサー
６は反射型ビームスイッチでハンド本体５ａの先端部の
１か所に埋設されている。障害物１０は、例えばカセッ
ト装置２であり、またはオリフラ合わせ装置３である。
また異常により、特別に落下してきたものも含まれる。
【００２３】ハンド５が移動中、障害物１０が現れ光電
管センサー６と障害物との距離が予め定められた距離以
内になると、光電管センサー６からの停止信号を受け、
ハンド本体５ａが障害物に干渉する前に搬送装置の作動
を停止する。
管センサー６と障害物との距離が予め定められた距離以
内になると、光電管センサー６からの停止信号を受け、
ハンド本体５ａが障害物に干渉する前に搬送装置の作動
を停止する。
【００２４】このためハンド本体５ａは保護される。
【００２５】図４はハンド位置検出装置の別の実施例
（実施例２）を示すものである。
（実施例２）を示すものである。
【００２６】ハンドは５は、フォーク状で先端部が開口
を有すハンド本体５ａと、ハンド本体５ａの先端部の１
か所に嵌合されたピン体７と、ピン体７をガイドするガ
イド体８と、ピン体９の位置を検出する光電管センサー
９から構成されている。
を有すハンド本体５ａと、ハンド本体５ａの先端部の１
か所に嵌合されたピン体７と、ピン体７をガイドするガ
イド体８と、ピン体９の位置を検出する光電管センサー
９から構成されている。
【００２７】ピン体７はハンド本体５ａ、ハンド本体５
ａに固着されたガイド体８に緩くもなく、きつくもない
程度の嵌合で、ハンド本体５ａに先端から途中まであけ
られた穴５ｂ及び、ガイド体軸心部にあけられた貫通穴
８ｂに、移動可能に嵌合されている。
ａに固着されたガイド体８に緩くもなく、きつくもない
程度の嵌合で、ハンド本体５ａに先端から途中まであけ
られた穴５ｂ及び、ガイド体軸心部にあけられた貫通穴
８ｂに、移動可能に嵌合されている。
【００２８】また、ハンド本体にあけられた穴５ｂの奥
に穴５ｂに対して直角方向に穴５ｃがあけられ、光電管
センサー９が埋設されている。
に穴５ｂに対して直角方向に穴５ｃがあけられ、光電管
センサー９が埋設されている。
【００２９】このように構成されたハンド５が移動中、
障害物１０が現れると、ピン体７が障害物１０に干渉す
る。ピン体７は図５のように干渉後、穴５ｂの奥側に後
退する。後退したピン体７はそのうち穴５ｃに埋設され
ている光電管センサー９のビームを遮る。その時、光電
管センサー９が作動しロボット駆動装置に停止信号を送
り、ハンド本体５ａが障害物に干渉する前に搬送装置を
停止する。
障害物１０が現れると、ピン体７が障害物１０に干渉す
る。ピン体７は図５のように干渉後、穴５ｂの奥側に後
退する。後退したピン体７はそのうち穴５ｃに埋設され
ている光電管センサー９のビームを遮る。その時、光電
管センサー９が作動しロボット駆動装置に停止信号を送
り、ハンド本体５ａが障害物に干渉する前に搬送装置を
停止する。
【００３０】このためハンド本体５ａは保護される。
【００３１】なお、光電管センサー９の代わりに、近接
スイッチ、またはタッチセンサーを使用しても良い。
スイッチ、またはタッチセンサーを使用しても良い。
【００３２】また、ピン体７を常時バネで突出方向に付
勢するようにすれば、ロボット装置が停止した後、ピン
体７は自動的に元の位置に復帰できる。
勢するようにすれば、ロボット装置が停止した後、ピン
体７は自動的に元の位置に復帰できる。
【００３３】さらに、ガイド体８を弾性部材で形成すれ
ば、例えピン体７が何らかの原因で使用不可能になって
も、ガイド体８によってハンド本体５ａを保護すること
ができる。
ば、例えピン体７が何らかの原因で使用不可能になって
も、ガイド体８によってハンド本体５ａを保護すること
ができる。
【００３４】また、実施例１の光電管センサー６あるい
は、実施例２のピン体７の取りつける位置は、上記実施
例にこだわることなく、薄型基板の搬送時に他の障害物
に干渉する問題がなければ、ハンド本体の下側でも良
い。
は、実施例２のピン体７の取りつける位置は、上記実施
例にこだわることなく、薄型基板の搬送時に他の障害物
に干渉する問題がなければ、ハンド本体の下側でも良
い。
【図１】一般的な搬送装置を含めた全体図
【図２】本発明によるハンド位置検出手段の１実施例
（実施例１）
（実施例１）
【図３】図２におけるハンドの平面図
【図４】本発明によるハンド位置検出手段の別の実施例
（実施例２）
（実施例２）
【図５】図４の作動後を示す図
【図６】図４におけるハンドの平面図
１…搬送装置 ４…薄型基板 ５…ハンド ５ａ…ハンド本体 ６…光電管センサー ７…ピン体 ８…ガイド体 ９…光電管センサー １０…障害物
Claims (3)
- 【請求項１】 カセットに収納された薄型基板を搬送す
るハンドであって、前記ハンドがハンド本体と、前記ハ
ンド本体の先端部に配設されるハンド位置検出手段とか
ら構成されることを特徴とする薄型基板搬送装置におけ
るハンド保護装置。 - 【請求項２】 前記ハンド位置検出手段が前記ハンド本
体の先端部で、前記ハンド本体に対し前記ハンド本体の
長尺方向に移動可能に配設されるピン体と、前記ピン体
をガイドするガイド体と、前記ピン体の位置を検出する
位置検知手段とから構成されることを特徴とする請求項
１記載の薄型基板搬送装置におけるハンド保護装置。 - 【請求項３】 前記ハンド位置検出手段が前記ハンド本
体の先端部に配設される非接触型位置検知手段であるこ
とを特徴とする請求項１記載の薄型基板搬送装置におけ
るハンド保護装置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP9250195A JPH08288356A (ja) | 1995-04-18 | 1995-04-18 | 薄型基板搬送装置におけるハンド保護装置 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP9250195A JPH08288356A (ja) | 1995-04-18 | 1995-04-18 | 薄型基板搬送装置におけるハンド保護装置 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH08288356A true JPH08288356A (ja) | 1996-11-01 |
Family
ID=14056064
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP9250195A Withdrawn JPH08288356A (ja) | 1995-04-18 | 1995-04-18 | 薄型基板搬送装置におけるハンド保護装置 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH08288356A (ja) |
Cited By (10)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| KR20010017285A (ko) * | 1999-08-10 | 2001-03-05 | 윤종용 | 기판 운반용 로봇 유니트 |
| JP2006120820A (ja) * | 2004-10-21 | 2006-05-11 | Hitachi Sci Syst Ltd | 薄型基板処理装置及び薄型基板搬送装置 |
| WO2007111053A1 (ja) * | 2006-03-29 | 2007-10-04 | Komatsu Industries Corporation | 切断機及びそのヘッド移動装置の制御方法 |
| JP2007329256A (ja) * | 2006-06-07 | 2007-12-20 | Nec Electronics Corp | 薄板材の搬送装置 |
| JP2010023153A (ja) * | 2008-07-17 | 2010-02-04 | Kawasaki Heavy Ind Ltd | ロボットフィンガ及びこれを備えるロボットハンド |
| JP2012020360A (ja) * | 2010-07-13 | 2012-02-02 | Nidec Sankyo Corp | 産業用ロボット |
| JP2012024884A (ja) * | 2010-07-23 | 2012-02-09 | Ihi Corp | 把持搬送装置 |
| JP2015228452A (ja) * | 2014-06-02 | 2015-12-17 | ヤマハ発動機株式会社 | 検出装置、検出方法、基板搬送装置、基板処理装置 |
| JP2017078707A (ja) * | 2015-07-31 | 2017-04-27 | ジック アーゲー | 距離センサ |
| JPWO2021161582A1 (ja) * | 2020-02-13 | 2021-08-19 |
-
1995
- 1995-04-18 JP JP9250195A patent/JPH08288356A/ja not_active Withdrawn
Cited By (13)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| KR20010017285A (ko) * | 1999-08-10 | 2001-03-05 | 윤종용 | 기판 운반용 로봇 유니트 |
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| US8161855B2 (en) | 2006-03-29 | 2012-04-24 | Komatsu Industries Corporation | Cutting machine and method for controlling head moving device of same |
| JP2007265247A (ja) * | 2006-03-29 | 2007-10-11 | Komatsu Sanki Kk | 切断機及びそのヘッド移動装置の制御方法 |
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| JP4627515B2 (ja) * | 2006-06-07 | 2011-02-09 | ルネサスエレクトロニクス株式会社 | 薄板材の搬送装置 |
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| JPWO2021161582A1 (ja) * | 2020-02-13 | 2021-08-19 |
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Legal Events
| Date | Code | Title | Description |
|---|---|---|---|
| A300 | Withdrawal of application because of no request for examination |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A300 Effective date: 20020702 |