JP3969819B2 - 位置合わせ方法及び位置合わせ装置 - Google Patents
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【発明の属する技術分野】
この発明は、カセット等の被載置物を載置装置と無人搬送車間に載置するための位置合わせ方法及び位置合わせ装置に関するもので、特に液晶工場及び半導体工場におけるガラス基板またはウエハを収納したカセットの無人搬送車と装置間の位置合わせ方法に関する。
【0002】
【従来の技術】
図7は、従来の無人搬送車(以下AGVという)と載置装置間のカセットの位置合わせ装置を示す斜視図であり、図8はその平面図である。
図において、1は載置装置、2は載置装置1のカセット載置部、3は載置装置1のカセット載置部2上に載置された液晶用のカセット、4はカセット3に収納されたガラス基板、5は載置装置1に取り付けられた位置決めプレートで、5aは載置装置1のカセット載置部2のセンタと合うように取り付けられた位置マーク、5bは位置マーク5aの両側に取り付けられた反射マークである。
【0003】
7は無人搬送車であるAGV、8はAGV7上の補正テーブルで、位置合せ時の位置補正が行えるよう移動可能に構成されている。9は補正テーブル8上に載置された伸び縮みできるよう構成された移載アームである。10は補正テーブル8に設けられたセンサで、中央の位置センサ10aの両側に2個の距離センサ10bが配置されている。11はAGV7の走行用のガイドアンテナ、12はAGV7の下部に設けられた停止用アンテナである。14はガイドテープで、ガイドアンテナ11でガイドテープ14を検知しながらAGV7が走行する。15はAGV7の走行を停止させる停止マークで、載置装置1の前に設けられ、AGV7の停止用アンテナ12で停止マーク15を検知することにより、AGV7が停止する。16はAGV7を走行させる車輪である。
【0004】
このような従来の位置合わせ装置においては、AGV7は、停止マーク15の位置で停止し、位置決めプレート5とセンサ10によって検知し、補正テーブル8が移動して位置合わせを行い、移載アーム9が伸びてカセット3を、AGV7と載置装置1間で移載する。
【0005】
【発明が解決しようとする課題】
従来の位置合わせ装置は以上のように構成されているため、位置決めプレート5を、全ての載置装置1のカセット載置部2の全てに取り付ける必要があり、また位置決めプレート5に貼り付けられた位置マーク5a、5bにより、AGV7がカセット3の位置を推定して補正テーブル8の位置の補正を行うため、位置決めプレート5の位置を載置装置1の各カセット載置部2において、x方向y方向に対して正確に精度良く取り付ける必要があった。載置装置1の台数は、通常のシステムで50−100台程度あり、カセット載置部2は200〜400ヶ所程度あり、位置決めプレート5の取り付けと調整に時間がかかるという問題があった。
また、載置装置1側にも、位置決めプレート5を取り付けるための加工が必要であり、取り付け面の精度も要求されて、装置のコストアップにもつながり、また、位置決めプレート5の製造コストもかかる。
【0006】
AGV7とカセット3の積みおろしを何回か実際に行いながら、位置決めプレート5の位置の微調整を行ったり、AGV7本体でのティーチングを行ったり、また、AGV7が複数台用いられる場合は、全てのAGV7に対し、同様の調整が必要となり、非常に時間がかかっていた。
さらに、位置決めプレート5は、載置装置1に取り付けているため、カセット載置部2とカセット3の位置がバラツク場合は、AGV7に移載する時にカセット3の積みそこないが生じ、エラーで停止したり、カセット3を落としてしまう危険性もあった。
また、載置装置1側で、カセット3の位置決めを行うためには、カセット位置決め機構を設ける必要があり、載置装置のコストアップにもつながる。
【0007】
加えて、載置装置1前で、AGV7の停止精度が悪い場合やバラツキがある時、補正テーブル8での補正範囲をこえる場合は、補正テーブル8の動作後にAVG7の走行方向と平行なx方向、移載アームの伸びる方向であるy方向、x方向y方向からのねじれ方向であるθ方向のオーバーラン等のエラーがでて、補正テーブル8の補正動作が停止し、エラー復旧処置等の後に再度移載をリトライするので、時間のロスがあった。
また、載置装置1に取り付けられた位置決めプレート5が、オペレータの操作時等の接触などのため、曲がったり、ずれたりした場合は、カセット3の移載ができなくなり、その都度、再度位置決めプレート5の補正、位置調整を行う必要があった。
【0008】
この発明は、上記のような課題を解決するためになされたもので、載置部に位置決めプレートを取付ける必要のない位置合わせ装置を得ることを第一の目的にしている。
また、信頼性よく、短時間で移載を行うことのできる位置合わせ装置を得ることを第二の目的にしている。
また、補正テーブルの移動前にエラー情報を出力する位置合わせ装置を得ることを第三の目的にしている。
さらに、補正テーブルの必要のない位置合わせ装置を得ることを第四の目的にしている。
また、載置部に位置決めプレートを取付ける必要のない位置合わせ方法を得ることを第五の目的にしている。
また、信頼性よく、短時間で移載を行うことのできる位置合わせ方法を得ることを第六の目的にしている。
さらに、搬送車本体のみで位置合わせ可能な位置合わせ方法を得ることを第七の目的にしている。
【0009】
【課題を解決するための手段】
この発明に係わる位置合わせ方法においては、載置装置に載置される被載置物と、載置装置に対向して停止するよう構成された搬送車上に移動可能に設けられた補正テーブルに設けられ、被載置物の移載を行う移載アームとの間の位置合わせ方法において、搬送車に設けられた停止用アンテナによって載置装置に対向する停止位置を検知し、この検知した停止位置に搬送車が停止したのち、被載置物に設けられたマークを、このマークに対向するように設けられた搬送車のセンサによって検知して、搬送車本体を移動し、次いで補正テーブルを微調整するように移動して移載アームの位置を補正することにより移載アームと被載置物との位置合わせを行うものである。
【0011】
また、この発明に係わる位置合わせ装置においては、マークが設けられた被載置物を載置する載置装置に対向して停止するよう構成され、マークを検知するセンサを有する搬送車、この搬送車に設けられ、搬送車が載置装置に対向して停止するための停止位置を検知する停止用アンテナ、搬送車上に移動可能に支承された補正テーブル、この補正テーブル上に設けられ、載置装置に載置された被載置物を移載する移載アーム、停止用アンテナによって検知された停止位置に搬送車が停止したのち、センサによってマークを検知して、搬送車本体を移動し、次いで補正テーブルを微調整するように移動して移載アームの位置を補正することにより移載アームと被載置物の位置合わせを行う制御部を備えたものである。
【0012】
また、移載アームは、伸縮自在であるものである。
また、センサは、撮像素子を用いて形成されているものである。
また、センサは、移載アームに設けられているものである。
さらに、センサは、補正テーブルに設けられているものである。
【0013】
【発明の実施の形態】
実施の形態1.
図1はこの発明の実施の形態1による位置合わせ装置を示す斜視図であり、図2はその平面図である。
図において、1は載置装置、2は載置装置1のカセット載置部、3は載置装置1のカセット載置部2上に載置された被載置物である液晶用のカセット、4はカセット3に収納されたガラス基板、7は無人搬送車であるAGV、8はAGV7上の補正テーブルで、位置合せ時の位置補正が行えるよう構成されている。9は補正テーブル8上に載置された伸び縮みできるよう構成された移載アームである。11はAGV7の走行用のガイドアンテナ、12はAGV7の下部に設けられた停止用アンテナである。14はガイドテープで、ガイドアンテナ11でガイドテープ14を検知しながらAGV7が走行する。15はAGV7の走行を停止させる停止マークで、載置装置1の前に設けられ、AGV7の停止用アンテナ12で停止マーク15を検知することにより、AGV7が停止する。16はAGV7を走行させる車輪である。
【0014】
18はカセット3に取り付けられた位置決めプレートで、カセット3の巾方向の中心位置に合わせて位置決めマーク18aが設けられ、位置決めマーク18aの両端には反射マーク18bが設けられている。
19はAGV7の移載アーム9に設けられたセンサであり、中央の19aが位置決めセンサ、両側の19bが距離センサである。
図3は、この発明の実施の形態1による位置合わせ方法を説明するための図である。図において、1、3、7〜9、12、14、15、19は図1におけるものと同一のものである。また、図中一点鎖線は、正規の停止位置を示している。(図4及び図5でも同じ。)
【0015】
このように構成されたカセットの位置合わせ装置においては、図3に示すように、AGV7が規定の停止位置に対し、ずれて停止した場合の移載アーム9に設けられたセンサ19で、まず距離センサ19bがカセット3の両側の位置決めマーク18bをチェックし、カセット3との距離ya、ybが測定され、位置決めセンサ19aによりカセット3とのずれxaが測定される。AGV7の移載ストロークが一定の場合、載置装置1上のカセット3と規定位置のAGV7の図2に示す規定距離ycは規定値のため、図示しない制御部によって補正テーブル8を補正し、移載アーム9とカセット面とが平行となるようy方向、θ方向の補正を行い、カセット3の中心と移載アーム9の中心が一致するようx方向の補正を行ったのちに、移載アーム9が伸びて載置装置1上のカセット3をAGV7へ移載する。
【0016】
実施の形態1では、カセット3の位置決めプレート18上に位置決めマーク18aとその両端に反射マーク18bが2ヶ所貼り付けてあったが、位置決めプレート18を反射式にすれば、反射マーク18bは必要なく位置決めマーク18aのみで良い。
また、位置決めプレート18を用いず、反射マーク18bと位置決めマーク18aをカセットに直接貼り付けても良い。
実施の形態1においては、カセット3の中心の位置に、位置決めプレート18もしくは位置決めマーク18aが再現よく取り付けられるように予め位置決めピンもしくは取付穴が設けられている。
また、カセット部材に当初から位置決めマーク18aと反射マーク18bを取り付けておいてもよく、部材加工時に凹型の角溝が設けられた部材を成形し、後でその凹型の角溝部にマークを貼り付けても良い。
【0017】
さらに、実施の形態1では移載アーム9にセンサ19を設けたが、従来例のように補正テーブル8にセンサを設けても良い。
また、実施の形態1では、カセット3と移載アーム9の距離を規定のycの位置に補正したが、補正テーブル8でカセット3と移載アーム9の平行のみ補正し(ya=yb)カセット3の移載方向のストロークは、移載アーム9のストロークで規定の距離ycの値を補正し(ストローク可変とし)動作させても良い。
【0018】
実施の形態2.
実施の形態2は、図1及び図2を援用して説明する。
実施の形態2において、カセット3と移載アーム9の距離yを検知し、傾きと距離を補正するが、補正値がAGV7の補正テーブル8の規定許容動作範囲をオーバーする場合、もしくは移載アーム9の許容ストロークをオーバーする場合は、距離センサ19bで距離を検知後、図示しない制御部は補正テーブル8を動作する前にあらかじめオーバーラン等のエラーを出し停止させる。
また、カセットの中心と移載アーム9の中心方向の位置補正も同様に行い、正規位置との補正値xaが補正テーブル8の許容動作範囲をオーバーする場合は、位置決めセンサ19aで位置を検知後、補正テーブル8を動作する前に、あらかじめオーバーラン等のエラーを出し、停止させる。
【0019】
実施の形態3.
実施の形態3は、補正テーブル8を用いない補正方法を示すものである。
図4は、この発明の実施の形態3による位置合わせ方法を説明するための図であり、図3におけるAGV7とガイドアンテナ11の位置を示したものである。
実施の形態3では図3を援用して説明する。カセット3の位置と移載アーム9のy方向の位置ya、ybにより正規のAGV7の停止位置からのAGV本体の傾き、即ち、ガイドテープ14からガイドアンテナ11までのずれ量ya′、ya″、yb′、yb″が算出できる。
図4に示すように、カセット3の端面位置と移載アーム9の端面、しいてはAGV7本体の端面位置が平行であり、図2に示す規定の距離ycであることがAGV本体の正規の位置を示している。カセット3がガイドテープ14に対して傾いて載置されている場合は、この値までAGV7本体をy方向、θ方向に移動、補正させ、その後に移載アーム9を動作させ、カセット3を移載する。
【0020】
図5は、この発明の実施の形態3による別の位置合わせ方法を説明するための図であり、AGV7の停止位置と、停止用アンテナ12の位置の関係を示したものである。
カセット3の位置と移載アーム9のx方向のずれ量xa′により、正規AGVの停止位置からAGV7本体のずれ量xa′が算出でき、この値までAGV7本体をx方向に移動補正させ、その後に移載アーム9を動作させてカセット3を移載する。
また、AGV7本体の停止精度が良くない場合は、再度移載アーム9のセンサ19により、カセット3の位置決めプレート18の位置をチェックし、フィードバックをかけてAGV7本体の位置補正を行っても良い。
実施の形態3によれば、AGV7本体の停止位置が、カセット3からずれた場合に、補正テーブル8によらず確実にカセット3の移載が可能となる。したがってAGV本体のコストの削減、つまり搬送機器のコスト削減を図ることができる。
【0021】
実施の形態4.
実施の形態3の位置合わせ方法は、実施の形態1、2のように補正テーブル8を有するAGV7にも当然適用できる。この場合、カセット3と移載アーム9との補正量xa、ya、ybを検知後AGV7本体位置を補正した後に、補正テーブル8で微調整を行い、カセット3の移載を行う。
実施の形態4によれば、AGV7本体の停止位置にバラツキがあっても、補正テーブル8はオーバーランすることなく、確実に容易にカセット3の移載を行うことができる。
【0022】
実施の形態5.
実施の形態1〜4において、カセット3のx方向の位置確認に位置決めマーク18aと位置決めセンサ19aを用いたが、センサ19にCCDや画像認識用のカメラを用い、位置決めマーク18aに等間隔の縦縞を書き込んだスケールマークを用いても良い。これによって、容易に補正量算出のためのデータを取込み、処理することができる。
【0023】
実施の形態6.
実施の形態1においては、移載アーム9のアームが伸びるスライドフォーク型の例を示したが、スカラアームのロボット等を用いてもよい。
図6は、この発明の実施の形態6による位置合わせ装置のスカラアームを示す斜視図である。
図において、20は台座、21は台座20に取付けられた駆動モータ、22は駆動モータ21によって駆動されるスカラアームの下アーム、23は下アーム22に連結された上アーム、24は上アーム23に取付けられた移載テーブルで、移載テーブル24にカセットが載置される。
駆動モータ21と下アーム22間、下アーム22と上アーム23間、及び上アーム23と移載テーブル24間は、それぞれ回転機構25によって連結され、隣接する回転機構25は、チェーンまたはベルト26により連結されている。
そして、駆動モータ21により駆動されて、回転機構25で移載テーブル24の角度を変えることにより、カセットの位置合わせをして移載を行う。
【0024】
実施の形態7.
実施の形態1においては、ガイドテープ14でAGV7を誘導するものを示したが、有軌道のトラバーサや有軌道のAGVを用いるものであっても、同様の効果を奏する。
また、実施の形態1では、被載置物として液晶用のカセットに対して説明したが、半導体のウエハ用のウエハカセットに適用しても同様の効果がある。
【0025】
【発明の効果】
この発明は、以上説明したように構成されているので、以下に示すような効果を奏する。
載置装置に載置される被載置物と、載置装置に対向して停止するよう構成された搬送車上に移動可能に設けられた補正テーブルに設けられ、被載置物の移載を行う移載アームとの間の位置合わせ方法において、搬送車に設けられた停止用アンテナによって載置装置に対向する停止位置を検知し、この検知した停止位置に搬送車が停止したのち、被載置物に設けられたマークを、このマークに対向するように設けられた搬送車のセンサによって検知して、搬送車本体を移動し、次いで補正テーブルを微調整するように移動して移載アームの位置を補正することにより移載アームと被載置物との位置合わせを行うので、マークを載置部に取付ける必要がなく、そのための費用を削減でき、搬送車本体の移動と補正テーブルの移動による微調整により、確実に位置補正することができる。
【0026】
また、マークが設けられた被載置物を載置する載置装置に対向して停止するよう構成され、マークを検知するセンサを有する搬送車、この搬送車に設けられ、搬送車が載置装置に対向して停止するための停止位置を検知する停止用アンテナ、搬送車上に移動可能に支承された補正テーブル、この補正テーブル上に設けられ、載置装置に載置された被載置物を移載する移載アーム、停止用アンテナによって検知された停止位置に搬送車が停止したのち、センサによってマークを検知して、搬送車本体を移動し、次いで補正テーブルを微調整するように移動して移載アームの位置を補正することにより移載アームと被載置物の位置合わせを行う制御部を備えたので、マークを載置部に取付ける必要がなく、そのための費用を削減でき、搬送車本体の移動と補正テーブルの移動による微調整により、確実に位置補正することができる。
【0027】
また、移載アームは、伸縮自在であるので、位置合わせができておれば容易に被載置物を載置することができる。
加えて、センサは撮像素子を用いて形成されているので、移載アームの補正量を算出するための処理データをデータ化することができる。
また、センサは、移載アームに設けられているので、マークの検知を行いやすい。
また、センサは、補正テーブルに設けられているので、マークの検知を行いやすい。
【図面の簡単な説明】
【図1】 この発明の実施の形態1による位置合わせ装置を示す斜視図である。
【図2】 図1に示す位置合わせ装置の平面図である。
【図3】 この発明の実施の形態1による位置合わせ方法を説明するための図である。
【図4】 この発明の実施の形態3による位置合わせ方法を説明するための図である。
【図5】 この発明の実施の形態3による別の位置合わせ方法を説明するための図である。
【図6】 この発明の実施の形態6による位置合わせ装置におけるスカラアームを示す斜視図である。
【図7】 従来の位置合わせ装置を示す斜視図である。
【図8】 図7に示す位置合わせ装置の平面図である。
【符号の説明】
3 カセット、 7 無人搬送車、 8 補正テーブル、
9 移載アーム、 11 ガイドアンテナ、 12 停止用アンテナ、
14 ガイドテープ、 15 停止マーク、 18 位置決めプレート、
18a 位置決めマーク、 19 センサ。
Claims (6)
- 載置装置に載置される被載置物と、上記載置装置に対向して停止するよう構成された搬送車上に移動可能に設けられた補正テーブルに設けられ、上記被載置物の移載を行う移載アームとの間の位置合わせ方法において、上記搬送車に設けられた停止用アンテナによって上記載置装置に対向する停止位置を検知し、この検知した停止位置に上記搬送車が停止したのち、上記被載置物に設けられたマークを、このマークに対向するように設けられた上記搬送車のセンサによって検知して、上記搬送車本体を移動し、次いで上記補正テーブルを微調整するように移動して上記移載アームの位置を補正することにより上記移載アームと被載置物との位置合わせを行うことを特徴とする位置合わせ方法。
- マークが設けられた被載置物を載置する載置装置に対向して停止するよう構成され、上記マークを検知するセンサを有する搬送車、この搬送車に設けられ、上記搬送車が上記載置装置に対向して停止するための停止位置を検知する停止用アンテナ、上記搬送車上に移動可能に支承された補正テーブル、この補正テーブル上に設けられ、上記載置装置に載置された被載置物を移載する移載アーム、上記停止用アンテナによって検知された上記停止位置に上記搬送車が停止したのち、上記センサによって上記マークを検知して、上記搬送車本体を移動し、次いで上記補正テーブルを微調整するように移動して上記移載アームの位置を補正することにより上記移載アームと上記被載置物の位置合わせを行う制御部を備えたことを特徴とする位置合わせ装置。
- 移載アームは、伸縮自在であることを特徴とする請求項2記載の位置合わせ装置。
- センサは、撮像素子を用いて形成されていることを特徴とする請求項2または請求項3記載の位置合わせ装置。
- センサは、移載アームに設けられていることを特徴とする請求項2〜請求項4のいずれか一項記載の位置合わせ装置。
- センサは、補正テーブルに設けられていることを特徴とする請求項2〜請求項4のいずれか一項記載の位置合わせ装置。
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