JP2006120820A - 薄型基板処理装置及び薄型基板搬送装置 - Google Patents
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Abstract
【解決手段】本発明はロボット2のハンド8の薄型基板載置域外に障害物検出センサ11を取付け、この障害物検出センサ11からの障害物検出信号に基づいて前記ロボット6の動作を停止させる手段(27,28)を制御装置(20)に設けると共に、前記ハンド8の薄型基板載置域外に監視カメラ12を取付け、この監視カメラ12の映像を記録する手段(29,23)を前記制御装置(20)に設けたのである。
上記構成とすることで、ロボット6のハンド8の衝突を回避できると共に、ロボット停止時の映像を抽出再生することで、ロボットの停止原因を早急に究明することができる。
【選択図】図1
Description
Claims (18)
- 独自に制御される複数の処理装置と、薄型基板をハンドに載置して前記処理装置間を移動するロボットと、このロボットの動作を制御する制御装置と、前記処理装置に設けた第1のセンサとを備えた薄型基板処理装置において、前記ハンドの薄型基板載置域外に障害物検出センサを取付け、この障害物検出センサからの障害物検出信号に基づいて前記ロボットの動作を停止させる手段を設けたことを特徴とする薄型基板処理装置。
- 独自に制御される複数の処理装置と、薄型基板をハンドに載置して前記処理装置間を移動するロボットと、このロボットの動作を制御する制御装置と、前記処理装置に設けた第1のセンサとを備えた薄型基板処理装置において、前記ハンドの薄型基板載置域外に障害物検出センサを取付け、この障害物検出センサからの障害物検出信号に基づいて前記ロボットの動作を停止させる手段を設けると共に、前記ハンドの薄型基板載置域外に監視カメラを取付け、この監視カメラの映像を記録する手段を設けたことを特徴とする薄型基板処理装置。
- 前記障害物検出センサと前記監視カメラとは、薄型基板搬送開始指令に基づいて起動するように構成されている請求項2記載の薄型基板処理装置。
- 前記障害物検出センサと前記監視カメラとは、前記ロボットの動作終了指令に基づいて停止するように構成されている請求項2記載の薄型基板処理装置。
- 前記障害物検出センサと前記監視カメラとは、前記障害物検出信号に基づく前記ロボットの動作の停止に基づいて停止するように構成されている請求項2記載の薄型基板処理装置。
- 前記監視カメラの映像を記録する手段は、前記障害物検出信号に基づく前記ロボットの動作の停止に基づいて停止日時を記録する手段を有し、停止日時を記録する手段は、記録内容を出力できるように構成されていることを特徴とする請求項2記載の薄型基板処理装置。
- 前記監視カメラの映像を記録する手段は、前記障害物検出信号に基づく前記ロボットの動作の停止に基づいてのみ停止日時を記録する手段を有することを特徴とする請求項2記載の薄型基板処理装置。
- 前記障害物検出信号に基づく前記ロボットの動作の停止に基づいて緊急停止警報を表示する手段を有することを特徴とする請求項1又は2記載の薄型基板処理装置。
- 前記障害物検出信号に基づく前記ロボットの動作の停止に基づいて停止日時と停止位置を記録する手段を有し、停止日時と停止位置を記録する手段は、記録内容を出力できるように構成されていることを特徴とする請求項1又は2記載の薄型基板処理装置。
- 薄型基板をハンドに載置して搬送するロボットと、このロボットの動作を制御する制御装置とを備えた薄型基板搬送装置において、前記ハンドの薄型基板載置域外に障害物検出センサを取付け、この障害物検出センサからの障害物検出信号に基づいて前記ロボットの動作を停止させる手段を設けたことを特徴とする薄型基板搬送装置。
- 薄型基板をハンドに載置して搬送するロボットと、このロボットの動作を制御する制御装置とを備えた薄型基板搬送装置において、前記ハンドの薄型基板載置域外に障害物検出センサを取付け、この障害物検出センサからの障害物検出信号に基づいて前記ロボットの動作を停止させる手段を設けると共に、前記ハンドの薄型基板載置域外に監視カメラを取付け、この監視カメラの映像を記録する手段を設けたことを特徴とする薄型基板搬送装置。
- 前記障害物検出センサと前記監視カメラとは、薄型基板搬送開始指令に基づいて起動するように構成されている請求項11記載の薄型基板搬送装置。
- 前記障害物検出センサと前記監視カメラとは、前記ロボットの動作終了指令に基づいて停止するように構成されている請求項11記載の薄型基板搬送装置。
- 前記障害物検出センサと前記監視カメラとは、前記障害物検出信号に基づく前記ロボットの動作の停止に基づいて停止するように構成されている請求項11記載の薄型基板搬送装置。
- 前記監視カメラの映像を記録する手段は、前記障害物検出信号に基づく前記ロボットの動作の停止に基づいて停止日時を記録する手段を有し、停止日時を記録する手段は、記録内容を出力できるように構成されていることを特徴とする請求項11記載の薄型基板搬送装置。
- 前記監視カメラの映像を記録する手段は、前記障害物検出信号に基づく前記ロボットの動作の停止に基づいてのみ停止日時を記録する手段を有することを特徴とする請求項11記載の薄型基板搬送装置。
- 前記障害物検出信号に基づく前記ロボットの動作の停止に基づいて緊急停止警報を表示する手段を有することを特徴とする請求項10又は11記載の薄型基板搬送装置。
- 前記障害物検出信号に基づく前記ロボットの動作の停止に基づいて停止日時と停止位置を記録する手段を有し、停止日時と停止位置を記録する手段は、記録内容を出力できるように構成されていることを特徴とする請求項10又は11記載の薄型基板搬送装置。
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