JPH11307612A

JPH11307612A - 基板処理装置

Info

Publication number: JPH11307612A
Application number: JP11667798A
Authority: JP
Inventors: Kazuhiro Nishimura; 和浩西村; Yasuo Kawamatsu; 康夫川松
Original assignee: Dainippon Screen Manufacturing Co Ltd
Current assignee: Dainippon Screen Manufacturing Co Ltd
Priority date: 1998-04-27
Filing date: 1998-04-27
Publication date: 1999-11-05
Anticipated expiration: 2018-04-27
Also published as: JP3602720B2

Abstract

(57)【要約】【課題】搬送ロボットにトラブルが発生した際に、オ
ペレータが容易に搬送ロボットの状態を確認できるとと
もに、復帰作業も容易に行うことができること。【解決手段】搬送ロボットが基板を搬送する際に、各
アーム３１ａ，３１ｂの戻り位置に設けられた基板検出
センサ２１ａ，２１ｂにより基板の有無を検出する。メ
インコントローラは、基板検出センサ２１ａ，２１ｂに
よりアーム上の基板の有無について異常を検出した際
に、搬送ロボットを停止させ、警報発生部に対して警報
命令を送出するとともに、操作パネルに警報画面を表示
させる。そして、メインコントローラは、操作パネルか
らの入力に基づいて搬送ロボットを所定の確認可能位置
に移動させるように搬送ロボットコントローラに対して
命令を送る。これにより、搬送ロボットは、オペレータ
の目視確認が容易な位置に移動する。

Description

【発明の詳細な説明】

【０００１】

【発明の属する技術分野】この発明は、半導体ウエハや
液晶表示用ガラス基板等の薄板状精密基板（以下、単に
「基板」という。）に対して所定の処理を施す基板処理
装置に関する。

【０００２】

【従来の技術】従来より、基板の製造過程で使用される
基板処理装置には、液処理ユニットや熱処理ユニット等
の複数の処理部が設けられている。また、基板に対する
一連の処理を行うために、これら複数の処理部間で基板
を搬送することが必要となるため、基板をアーム上に保
持した状態で各処理部間での搬送を行うことができる搬
送ロボットが設けられている。

【０００３】また、搬送ロボットが各処理部に対して基
板を搬送することができるように、各処理部が搬送ロボ
ットの周囲に配置されるとともに、基板処理装置の内部
雰囲気を清浄に保つ必要のあることから基板処理装置内
部は略密閉された構造となっている。

【０００４】従って、オペレータが基板処理装置内部の
搬送ロボットの状態を確認することは、困難な構造とな
っている。

【０００５】

【発明が解決しようとする課題】ところで、基板処理装
置の搬送ロボットは、基板を搬送する際に何らかのトラ
ブル（異常）が検出されると、即時停止し、オペレータ
にトラブルの発生を通知するように構成されている。

【０００６】また、基板処理装置においては、搬送ロボ
ットが基板の搬送を行う際に何らかのトラブルが発生し
た場合に、トラブル発生時の搬送ロボットの状態をオペ
レータが確認することは非常に重要なことである。

【０００７】例えば、搬送ロボットが熱処理ユニットか
ら基板を取り出す動作を行ったにもかかわらず、基板検
出センサによってアーム上に基板を検出することができ
なかった場合は、実際にアームが熱処理ユニット内の基
板を取り損なった可能性もあるが、基板検出センサが故
障している可能性もある。従って、オペレータがトラブ
ル発生時の搬送ロボットの状態を確認することによっ
て、トラブルの原因を究明し、その原因に応じた対処を
行うことが可能となる。

【０００８】しかし、従来の基板処理装置では、搬送ロ
ボットが基板の搬送を行う際に何らかのトラブルが発生
した場合に、オペレータが搬送ロボットの状態を確認し
ようとすると、基板処理装置のカバー類を取り外した
後、装置内部に身を乗り出して確認し、それでも確認で
きない場合には、さらに鏡等を使用して確認しなければ
ならず、非常に困難であるとともに長時間を要する作業
であった。従って、復帰作業にも長時間を要することと
なり、オペレータへの負担や装置の稼働率の点で重大な
問題であった。

【０００９】また、オペレータが経験等に基づいて、ト
ラブル原因を推測して復帰作業を行うことも考えられる
が、この場合、オペレータの推測したトラブル原因が間
違っていると、基板や搬送ロボットを損壊させることと
なる。

【００１０】この発明は、上記課題に鑑みてなされたも
のであって、搬送ロボットにトラブルが発生した際に、
オペレータが容易に搬送ロボットの状態を確認できると
ともに、復帰作業も容易に行うことができる基板処理装
置を提供することを目的とする。

【００１１】

【課題を解決するための手段】上記目的を達成するため
に、請求項１に記載の発明は、搬送ロボットが複数の処
理部に対して基板を順次に搬送することによって、基板
に対する所定の処理を施す基板処理装置であって、(a)
搬送ロボットに設けられ、基板を各処理部間で搬送する
際に、基板を保持するアームと、(b)アームにおける基
板の有無を検出する基板検出センサと、(c)搬送ロボッ
トの動作を制御するとともに、基板検出センサの出力を
監視する制御部と、(d)制御部からの命令に基づいて警
報を発生させる警報発生手段とを備え、制御部は、基板
検出センサの出力の異常を検出した場合に、警報発生手
段に対して命令を送出し、アームの基板保持状態の確認
可能位置に搬送ロボットを移動させることを特徴として
いる。

【００１２】請求項２に記載の発明は、請求項１に記載
の基板処理装置において、さらに、(e)制御部に対して
搬送ロボットの動作についての制御命令を与える可搬性
の操作パネルを備えることを特徴としている。

【００１３】請求項３に記載の発明は、請求項１又は請
求項２に記載の基板処理装置において、確認可能位置
は、アームが所定の処理部に対して進入可能な高さにお
いて、アームが所定の処理部に対向する位置であること
を特徴としている。

【００１４】請求項４に記載の発明は、請求項３に記載
の基板処理装置において、制御部は、搬送ロボットが確
認可能位置に移動した後、所定の入力に応答してアーム
を駆動して所定の処理部に進入させることを特徴として
いる。

【００１５】

【発明の実施の形態】＜１．基板処理装置の全体構成＞
まず、本発明に係る基板処理装置の全体構成について説
明する。図１は、実施形態の基板処理装置を説明する図
である。図１（ａ）は、装置の平面図であり、図１
（ｂ）は、装置の正面図である。なお、図１には、その
方向関係を明確にするためＸＹＺ直交座標系を付してい
る。ここでは、床面に平行な水平面をＸＹ面とし、鉛直
方向をＺ方向としている。

【００１６】図１に示すように、本実施の形態において
は、基板処理装置は、基板の搬出入を行うインデクサＩ
Ｄと、基板に処理を行う複数の処理ユニットおよび各処
理ユニットに基板を搬送する基板搬送手段が配置される
ユニット配置部ＭＰと、図示しない露光装置とユニット
配置部ＭＰとの間で基板の搬入／搬出を行うために設け
られているインターフェイスＩＦとから構成されてい
る。

【００１７】ユニット配置部ＭＰは、最下部に、薬剤を
貯留するタンクや配管等を収納するケミカルキャビネッ
ト１１を備え、この上側であってその４隅には、基板に
処理液による処理を施す液処理ユニットとして、基板を
回転させつつレジスト塗布処理を行う塗布処理ユニット
ＳＣ１、ＳＣ２（スピンコータ）と、露光後の基板の現
像処理を行う現像処理ユニットＳＤ１、ＳＤ２（スピン
デベロッパ）とが配置されているとともに、装置の前側
（Ｙ方向の負の向き側）であって両塗布処理ユニットＳ
Ｃ１、ＳＣ２の間には、基板に純水等の洗浄液を供給し
て基板を回転洗浄する洗浄処理ユニットＳＳ（スピンス
クラバ）が配置されている。さらに、これらの液処理ユ
ニットの上側には、基板に熱処理を行う多段熱処理ユニ
ット２０が装置の前部及び後部に配置されている。

【００１８】塗布処理ユニットＳＣ１、ＳＣ２や現像処
理ユニットＳＤ１、ＳＤ２に挟まれた装置中央部には、
周囲の全処理ユニットにアクセスしてこれらとの間で基
板の受け渡しを行うための基板搬送手段として、搬送ロ
ボットＴＲ１が配置されている。この搬送ロボットＴＲ
１は、鉛直方向に移動可能であるとともに中心の鉛直軸
回りに回転可能となっている。この搬送ロボットＴＲ１
についてはさらに後述する。

【００１９】なお、ユニット配置部ＭＰの最上部には、
クリーンエアのダウンフローを形成するフィルタファン
ユニットＦＦＵが設置されている。多段熱処理ユニット
２０の直下にも、液処理ユニット側にクリーンエアのダ
ウンフローを形成するフィルタファンユニットＦＦＵが
設置されている。

【００２０】次に、図２は、図１の処理ユニットの配置
構成を説明する図である。塗布処理ユニットＳＣ１の上
方には、多段熱処理ユニット２０として、６段構成の熱
処理ユニットが配置されている。これらのうち、最下段
より数えて１段目の位置には基板の冷却処理を行うクー
ルプレート部ＣＰ１が設けられており、２段目，３段目
についても同様にクールプレート部ＣＰ２，ＣＰ３が設
けられている。そして、４段目には、基板に対して密着
強化処理を行う密着強化部ＡＨが設けられ、５段目と６
段目の位置には、基板の加熱処理を行うホットプレート
部ＨＰ１，ＨＰ２が設けられている。

【００２１】塗布処理ユニットＳＣ２の上方にも、多段
熱処理ユニット２０として、６段構成の熱処理ユニット
が配置されている。これらのうち、最下段より１段目か
ら３段目の位置にはクールプレート部ＣＰ４〜ＣＰ６が
設けられており、４段目から６段目の位置にはホットプ
レート部ＨＰ３〜ＨＰ５が設けられている。

【００２２】現像処理ユニットＳＤ１の上方にも、多段
熱処理ユニット２０として、４段構成の熱処理ユニット
が配置されている。このうち、最下段より１段目，２段
目の位置にはクールプレート部ＣＰ７，ＣＰ８が設けら
れており、３段目，４段目の位置にはホットプレート部
ＨＰ６，ＨＰ７が設けられている。なお、最上段側の２
段は、本実施形態の装置の場合、空状態となっている
が、用途及び目的に応じてホットプレート部やクールプ
レート部、又はその他の熱処理ユニットを組み込むこと
ができる。

【００２３】現像処理ユニットＳＤ２の上方にも、多段
熱処理ユニット２０として、２段構成の熱処理ユニット
が配置されている。このうち、最下段より１段目の位置
には、クールプレート部ＣＰ４が設けられており、２段
目の位置には、基板に対して露光後のベーキング処理を
行う露光後ベークプレート部ＰＥＢが設けられている。
この場合も、露光後ベークプレート部ＰＥＢより上段側
は空状態となっているが、用途及び目的に応じてホット
プレート部やクールプレート部、又はその他の熱処理ユ
ニットを組み込むことができる。

【００２４】そして、上記の液処理ユニットや熱処理ユ
ニット間をユニット配置部ＭＰの中央部に設けられた搬
送ロボットＴＲ１が順次に搬送することによって基板に
対して所定の処理を施すことができる。

【００２５】なお、液処理ユニットについては、通常、
オペレータによるノズル交換等のメンテナンスが頻繁に
行われる処理部であるため、図３に示すように、この基
板処理装置においては、液処理ユニットのそれぞれに対
してメンテナンスが容易となるように開閉扉１２が設け
られる。

【００２６】さらに、この基板処理装置のインデクサＩ
Ｄには、オペレータが処理内容等を操作入力するための
操作パネル１４ａが設けられるとともに、接続部１３を
介して可搬性の操作パネル１４ｂも接続可能なように構
成されている。この可搬性の操作パネル１４ｂを使用す
ることにより、各液処理ユニットでのオペレータのメン
テナンス時に、操作パネルの操作が必要となる場合であ
っても、オペレータの手元に操作パネル１４ｂを配置す
ることができるので、操作効率が向上する。また、操作
パネルは、液処理ユニットのそれぞれについて、例え
ば、開閉扉１２の下側等のオペレータが操作容易な位置
に複数個設置するようにしても良い。なお、この操作パ
ネル１４ａ，１４ｂは、表示機構も兼ね備えている。

【００２７】なお、図１ないし図３に示すインターフェ
イスＩＦは、ユニット配置部ＭＰにおいてレジストの塗
布が終了した基板を露光装置側に渡したり露光後の基板
を露光装置側から受け取るべく、かかる基板を一時的に
ストックする機能を有し、図示を省略しているが、搬送
ロボットＴＲ１との間で基板を受け渡すロボットと、基
板を載置するバッファカセットとを備えている。

【００２８】＜２．搬送ロボットの構成＞次に搬送ロボ
ットＴＲ１の構成について説明する。図４は、搬送ロボ
ットＴＲ１の外観斜視図である。この搬送ロボットＴＲ
１は、基板Ｗを保持する一対のアーム３１ａ，３１ｂを
水平方向に移動させるアーム駆動機構部と、伸縮しつつ
鉛直方向に移動させる伸縮昇降機構部と、鉛直軸周りに
回転させる回転駆動機構部とを備えている。そして、こ
れらの機構部によってアーム３１ａ，３１ｂを搬送ロボ
ットＴＲ１の周囲に配置された全ての処理ユニットに対
してアクセスすることが可能となっている。

【００２９】本発明にかかる基板処理装置の搬送ロボッ
トＴＲ１の伸縮昇降機構は、いわゆるテレスコピック型
の伸縮機構であり、カバー４１ｄをカバー４１ｃに収納
可能であり、カバー４１ｃをカバー４１ｂに収納可能で
あり、カバー４１ｂをカバー４１ａに収納可能である。
そして、アーム３１ａ，３１ｂを降下させる際には、カ
バーを順次に収納していくことができ、逆に、アーム３
１ａ，３１ｂを上昇させる際には収納した状態のカバー
が順次に引き出されるように実現されている。これらの
カバー４１ａ〜４１ｄは内部に設けられている伸縮昇降
機構部が、動作する際に発生する粉塵を搬送ロボットＴ
Ｒ１の外部に出さないために設けられており、これによ
り基板へのパーティクルの付着を抑制することができ
る。

【００３０】また、この搬送ロボットＴＲ１は基台４４
上に設置されており、基台４４の中心を軸として回転す
ることができるように回転駆動機構部が構成されてい
る。なお、基台４４に固定された状態で、固定カバー４
３が取り付けられている。

【００３１】図５は、搬送ロボットＴＲ１の動作機構を
説明するための側面断面図である。図５に示すように、
この搬送ロボットＴＲ１の内部は、上記のようにテレス
コピック型の多段入れ子構造となっている。そして、収
縮時において、昇降部材４２ａは昇降部材４２ｂに収納
され、昇降部材４２ｂは昇降部材４２ｃに収納され、昇
降部材４２ｃは昇降部材４２ｄに収納され、昇降部材４
２ｄは固定部材４２ｅに収納されるように構成されてい
る。

【００３２】そして、昇降部材４２ｂ，４２ｃ，４２ｄ
には、それぞれプーリ４７ａ，４７ｂ，４７ｃが取り付
けられている。これらプーリ４７ａ，４７ｂ，４７ｃに
は、ベルトＬ３，Ｌ２，Ｌ１が掛架されている。そし
て、ベルトＬ１の一端は固定部材４２ｅの上部に固定さ
れており、他端は昇降部材４２ｃの下部に固定されてい
る。同様に、ベルトＬ２は昇降部材４２ｄの上部と昇降
部材４２ｂの下部に固定されており、ベルトＬ３は昇降
部材４２ｃの上部と昇降部材４２ａの下部に固定されて
いる。

【００３３】そして、回転台４５上に設置されたモータ
やシリンダ等の駆動機構Ｄ１を駆動することにより、支
持部材４８が昇降し、この支持部材４８に固着された昇
降部材４２ｄが昇降するように構成されている。この昇
降部材４２ｄの昇降動作よって、上記のプーリやベルト
を介して各昇降部材４２ｃ，４２ｂ，４２ａが昇降する
ように構成されている。

【００３４】なお、カバー４１ｂ，４１ｃ，４１ｄは、
搬送ロボットＴＲ１の側面のみを覆うように形成されて
おり、昇降部材４２ａ〜４２ｄとはプーリやベルト等の
可動部の動作を妨げないような状態で接続されている。

【００３５】そして、駆動機構Ｄ２は、回転台４５を基
台４４の軸Ｇを中心に回転させるための駆動機構であ
り、モータ等によって構成されている。従って、回転台
４５が軸Ｇを中心に回転することによって、アーム３１
ａ，３１ｂが軸Ｇを中心として回転することが可能とな
っている。

【００３６】次に、搬送ロボットＴＲ１のアーム３１
ａ，３１ｂについて説明する。図６は、図４に示した搬
送ロボットＴＲ１のアーム部分の拡大図である。

【００３７】ステージ３５上には、ほぼ同一構造の２個
のアーム３１ａ，３１ｂが取り付けられている。各アー
ム３１ａ，３１ｂは、それぞれステージ３５に対する姿
勢を維持しつつ、各セグメント部分の屈伸動作を行うこ
とにより水平方向に直進することができるように構成さ
れている。

【００３８】この直進動作は、各アーム３１ａ，３１ｂ
のそれぞれについてステージ３５内に設けられたモータ
等のアーム駆動機構部によって行われる。そして、この
直進動作により、各アーム３１ａ，３１ｂは、正面にあ
る処理ユニットに対して基板を搬送するように構成され
ている。また、アーム３１ａと３１ｂとは、それぞれ異
なる高さ位置に配置されており、アーム３１ａが上側
に、アーム３１ｂが下側に設けられている。このため、
アーム３１ａ，３１ｂのそれぞれの基板の搬送動作にお
いて互いに干渉しないような構造となっている。そし
て、例えば、各アーム３１ａ，３１ｂを互い違いに屈伸
させれば、正面にある処理ユニット中の処理済み基板Ｗ
を取り出して、未処理の基板Ｗをこの処理ユニット中に
搬入することができる。処理ユニットに対して基板の取
り出し、又は、搬入の動作が行われると、各アーム３１
ａ，３１ｂは、ステージ３５の上方の戻り位置（原点位
置）に戻る。

【００３９】そして、アーム３１ａと３１ｂとの間の高
さ位置であって、各アームの戻り位置に対応する位置に
は、アーム３１ａが保持する基板と、アーム３１ｂが保
持する基板との間で温度等についての影響を相互に与え
ないために、遮蔽板３２が設けられている。この遮蔽板
３２は、ステージ３５に固定されているブラケット３４
によって支持されている。

【００４０】また、ブラケット３４は、アーム３１ａの
上方にも伸びており、その先端部分と遮蔽板３２の上面
側とには、アーム３１ａ上に基板が存在するか否かを検
出する透過型光電スイッチ等のような基板検出センサ２
１ａ，２１ｂが取り付けられている。なお、アーム３１
ｂ上に基板が存在するか否かを検出する同様の基板検出
センサも遮蔽板３２の下面側に設けられている。

【００４１】図７は、搬送ロボットＴＲ１のアーム部分
を側方からみた概略図である。図７に示すように、ブラ
ケット３４の先端部分と遮蔽板３２の上面側とに取り付
けられた基板検出センサ２１ａ，２１ｂと同様の基板検
出センサ２２ａ，２２ｂが、遮蔽板３２の下面側と、ス
テージ３５の上面側とに取り付けられている。

【００４２】基板検出センサ２１ａ，２１ｂは、アーム
３１ａが戻り位置にあるときに、アーム３１ａ上の基板
の有無を検出するセンサである。例えば、基板検出セン
サ２１ａを投光部とし、基板検出センサ２１ｂを受光部
とすると、基板検出センサ２１ａから出射される光が基
板Ｗによって遮光されると、基板検出センサ２１ｂには
光が到達しないため、基板検出センサ２１ｂの出力によ
り、アーム３１ａ上に基板Ｗが存在することを認識する
ことができる。また、基板検出センサ２１ｂが光を受光
すると、その出力により、アーム３１ａ上に基板Ｗが存
在しないことを認識することができる。なお、基板検出
センサ２１ａを受光部とし、基板検出センサ２１ｂを投
光部としても良いことは言うまでもない。

【００４３】同様に、基板検出センサ２２ａ，２２ｂ
は、アーム３１ｂが戻り位置にあるときに、アーム３１
ｂ上の基板の有無を検出するセンサであり、受光部とな
るいずれか一方の出力を監視することによってアーム３
１ｂ上の基板の有無を認識することができる。

【００４４】このように、この搬送ロボットＴＲ１に設
けられた各機構部により、周囲に配置された全ての処理
ユニットに対してアーム３１ａ，３１ｂをアクセスする
ことが可能な構成となっている。また、各アームの戻り
位置に対応する位置に、基板検出センサ２１ａ，２１
ｂ，２２ａ，２２ｂが設けられているため、搬送の際
に、各アーム上の基板の有無を検出することができ、こ
の検出結果に応じてオペレータにトラブル発生を通知す
る警報を発生させることも可能となる。

【００４５】＜３．基板処理装置の制御機構＞次に、こ
の基板処理装置の制御機構について説明する。図８は、
この基板処理装置の制御機構を示すブロック図である。

【００４６】図８に示すように、この基板処理装置に
は、基板の処理における各処理ユニットや搬送ロボット
の動作等を統括的に制御するメインコントローラ１００
が設けられており、メインコントローラ１００には、操
作パネル１４と警報発生部１５とが接続されている。

【００４７】図８に示す操作パネル１４は、図３に示し
た操作パネル１４ａと１４ｂを含むものである。メイン
コントローラ１００は、操作パネル１４に対して、基板
の処理状況、又は、搬送ロボットＴＲ１の基板の搬送状
況をオペレータに通知するための表示情報を送出すると
ともに、操作パネル１４からオペレータの操作による入
力情報を入力する。

【００４８】警報発生部１５は、この基板処理装置にお
ける基板の処理中や搬送中等にトラブルが発生した場合
に、オペレータに対してトラブル発生を通知するための
ものである。この警報発生部１５により、オペレータは
トラブル発生を認識することができるが、トラブルの内
容については認識することはできないことがある。そこ
で、メインコントローラ１００は、トラブル発生の際に
警報発生部１５に対して警報命令を送出するとともに、
操作パネル１４上にトラブルの内容を表示するように操
作パネル１４に対して表示情報を送出する。

【００４９】また、メインコントローラ１００は、操作
パネル１４から得られた入力情報に基づいて、図示しな
い各処理ユニットのコントローラや、搬送ロボットＴＲ
１についての搬送ロボットコントローラ２００等のよう
にメインコントローラに接続された各コントローラに対
して、所定の処理又は搬送動作を行うように制御命令を
出力する。

【００５０】搬送ロボットコントローラ２００は、メイ
ンコントローラ１００からの制御命令を受信すると、制
御命令に基づいて搬送ロボットＴＲ１を動作させるべ
く、伸縮昇降機構部２１０，回転駆動機構部２２０，ア
ーム駆動機構部２３０のそれぞれに対して駆動信号を送
出する。

【００５１】また、搬送ロボットコントローラ２００に
は、アーム３１ａ上の基板を検出するための基板検出セ
ンサ２１ａ，２１ｂと、アーム３１ｂ上の基板を検出す
るための基板検出センサ２２ａ，２２ｂとについても接
続されている。そして、搬送ロボットコントローラ２０
０は、メインコントローラ１００からの制御命令に基づ
いて各基板検出センサからの出力をメインコントローラ
１００に対して送出するように構成されている。

【００５２】従って、メインコントローラ１００は、搬
送ロボットコントローラ２００に対して制御命令を送出
することにより、搬送ロボットＴＲ１の動作を制御する
とともに、各基板検出センサの出力を監視することが可
能となっている。

【００５３】そして、メインコントローラ１００が、各
基板検出センサの出力によりトラブルを検出した際に
は、搬送ロボットコントローラ２００に対して搬送ロボ
ットＴＲ１の停止命令を出力して搬送ロボットＴＲ１を
一旦停止させる。そして、警報発生部１５に対して警報
命令を出力し、オペレータに対してアーム３１ａ又は３
１ｂ上の基板検出にトラブルが発生したことを通知す
る。また、メインコントローラ１００は、操作パネル１
４に対して警報画面を表示させる。

【００５４】図９は、操作パネル１４に表示される警報
画面を示す図である。警報画面には、メインコントロー
ラ１００が基板検出センサについて異常を検出したトラ
ブルの発生時間と、トラブル発生箇所についてユニット
と、警報名称とが一覧表示部Ｒ１１に表示される。この
警報画面は、各基板検出センサによる異常検出の場合だ
けでなく、その他の基板の処理中等に発生したトラブル
時にも表示される。従って、警報画面にトラブルの発生
時間と発生箇所とその名称を一覧表示部Ｒ１１に一覧形
式で表示させることにより、オペレータが容易にトラブ
ルの発生について認識することができる。また、一覧形
式で表示されるトラブルの数が多い場合には、オペレー
タがスクロールボタンＢ１１，Ｂ１２を操作することに
より、一覧表示の上方向又は下方向に表示内容をスクロ
ールさせることができる。

【００５５】また、警報画面には、アラームリスタート
ボタンＢ１３，キャンセルリスタートボタンＢ１４，詳
細文章ボタンＢ１５，状況確認ボタンＢ１６，閉じるボ
タンＢ１７が表示されており、オペレータがこれらのボ
タンを押す操作を行うことにより、メインコントローラ
１００に種々の制御を行わせるように指示を行うことが
できる。

【００５６】アラームリスタートボタンＢ１３は、アー
ム上に存在するはずの基板が検出できなかった場合に操
作されたときには、再度メインコントローラ１００が基
板検出センサの出力を確認し、基板を検出することがで
きれば警報状態を解除して、基板に対する処理を続行開
始させるボタンである。すなわち、再度の検出によっ
て、正常状態となっていれば処理を続行させるボタンで
ある。なお、再度の確認によっても基板を検出すること
ができなければ、警報状態は継続する。

【００５７】キャンセルリスタートボタンＢ１４は、ア
ーム上に存在するはずの基板が検出できなかった場合に
操作されたときには、再度メインコントローラ１００が
基板検出センサの出力を確認し、再び基板を検出するこ
とができなかった場合であっても警報状態を解除して、
基板に対する処理を続行開始させるボタンである。この
場合は、アーム上の基板はキャンセルしたもの（なくな
ったもの）として、基板を検出し、アーム上に基板が検
出されなければ正常な状態に戻ったとして、後の処理を
続行させる制御である。なお、再度の確認によって、基
板を検出することができたならば、今度はキャンセルし
たはずの基板がアーム上に存在することになるので、新
たに別の警報を発生させ、停止状態を継続させる。

【００５８】詳細文章ボタンＢ１５は、操作パネル１４
の表示内容を警報画面から後述する詳細画面に変更する
ボタンである。オペレータがこのボタンを操作すること
により、メインコントローラ１００は操作パネル１４の
表示状態を詳細画面に切り換える。

【００５９】状況確認ボタンＢ１６は、基板検出センサ
による異常検出時に停止した状態の搬送ロボットＴＲ１
を移動させるために、操作パネル１４に状況確認画面を
表示させるボタンである。オペレータがこのボタンを操
作することにより、メインコントローラ１００は操作パ
ネル１４の表示状態を状況確認画面に切り換える。

【００６０】閉じるボタンＢ１７は、警報画面の表示状
態を終了させるボタンである。

【００６１】ここで、詳細画面について説明する。図１
０は、警報内容の詳細を表示する詳細画面を示す図であ
る。詳細画面には、警報画面に表示されていた警報名称
と、その警報がどのようにして生じたかを示す警報内容
と、その警報に対するオペレータの対処・復帰手順とが
それぞれの表示領域Ｒ２１，Ｒ２２，Ｒ２３に表示され
る。オペレータは、この詳細画面を参照することによ
り、警報の内容や取りうる措置を認識することができ
る。また、警報名称が「基板検出異常」として同じ場合
であっても、メインコントローラ１００は異常を検出し
た際の状況に応じて警報内容や対処・復帰手順を表示す
る。従って、オペレータは、警報画面だけでは認識する
ことができない内容を詳細画面を参照することにより認
識することができる。

【００６２】なお、詳細画面に設けられている閉じるボ
タンＢ２１をオペレータが操作することにより、メイン
コントローラ１００は操作パネル１４の表示状態を詳細
画面から再び警報画面に変更する。

【００６３】以上のようなメインコントローラ１００の
制御により、基板検出においてトラブルが生じた場合に
は、即時オペレータに通知されるとともに、オペレータ
は操作パネル１４の警報画面により、搬送ロボットＴＲ
１の基板の検出にトラブルが発生したことを認識するこ
とができる。さらに、トラブル検出した状態で搬送ロボ
ットＴＲ１の搬送動作を停止させることができる。

【００６４】ところで、搬送ロボットＴＲ１が異常停止
した状態では、上述した搬送ロボットの構成によると、
各アームは戻り位置に位置している。このように異常停
止した状態のアーム自体を動作させることは困難であ
る。例えば、アーム上に基板が傾斜した状態等のように
正常でない状態で保持されている場合には、アーム駆動
機構部２３０を駆動してアームの屈伸動作を行わせる
と、不安定な状態で保持されていた基板が熱処理ユニッ
ト等の搬入口付近に接触して落下する可能性があり、基
板を破損することになるからである。また、その他の場
合であっても、基板やアームを破損したりすることにな
る。

【００６５】しかし、各アームは戻り位置に位置してい
るので、搬送ロボットＴＲ１の伸縮昇降機構部２１０や
回転駆動機構部２２０については、動作させても基板や
アームを破損させる可能性が低い。

【００６６】図１１，図１２は、基板処理装置の側断面
を示す概略図である。例えば、図１１に示すように搬送
ロボットＴＲ１が、Ｚ方向に伸び、塗布処理ユニットＳ
Ｃ１，ＳＣ２の上方に多段配置された各熱処理ユニット
に対してアクセスする際にトラブルが発生した場合は、
図３に示したような塗布処理ユニットＳＣ１，ＳＣ２等
に設けられた開閉扉１２を開いてオペレータが装置内部
を観察したとしてもアーム上の基板の状態を認識するこ
とができない。これに対し、搬送ロボットＴＲ１が、図
１２に示すように収縮した状態であるときには、図３に
示した開閉扉１２を開いて装置内部を観察することによ
り、アーム上の基板の状態を認識することができる。

【００６７】そこで、この基板処理装置では、メインコ
ントローラ１００が各基板検出センサの出力によりトラ
ブルの発生を検出した後、各アームの基板保持状態をオ
ペレータが確認することができる位置（確認可能位置）
に搬送ロボットＴＲ１を移動させるように構成されてい
る。

【００６８】例えば、搬送ロボットＴＲ１が図１１に示
すような状態で停止した場合には、その後、メインコン
トローラ１００が搬送ロボットコントローラ２００に対
して伸縮昇降機構部２１０を駆動し、搬送ロボットＴＲ
１を図１２に示すような状態まで下降させるように制御
命令を送出する。これにより、オペレータは、容易にト
ラブル発生時の搬送ロボットＴＲ１のアームの状態を認
識することができる。

【００６９】ここで、異常停止した搬送ロボットＴＲ１
の確認可能位置への移動は、メインコントローラ１００
が自動的に行っても良いが、この基板処理装置では、オ
ペレータの指示に基づいて行うように構成されている。
すなわち、オペレータが操作パネル１４を操作すること
により、メインコントローラ１００が異常停止した搬送
ロボットＴＲ１を動作させ、確認可能位置へ移動させる
ように構成されている。

【００７０】このときの操作パネル１４の表示状態が、
状況確認画面である。図１３は、状況確認画面を示す図
である。状況確認画面には、この基板処理装置の構成が
表示される。図１３の状況確認画面には、液処理ユニッ
トの配置構成とインデクサＩＤの配置構成が示されてい
る。そして、インデクサＩＤの表示部分又は各液処理ユ
ニットの表示部分は、オペレータによる操作可能な表示
ボタンＢ３１〜Ｂ３６となっている。そして、オペレー
タは、表示ボタンＢ３２〜Ｂ３６のいずれかを押す操作
を行うことによって、搬送ロボットＴＲ１の状態を確認
する位置を指定する。この指定により、停止状態の搬送
ロボットＴＲ１を指定された液処理ユニットにアクセス
可能な状態とさせるために、メインコントローラ１００
は、搬送ロボットコントローラ２００に対して搬送ロボ
ットＴＲ１を動作させる制御命令を送出する。基板検出
の際のトラブルが熱処理ユニットにアクセスする際に発
生した場合には、メインコントローラ１００からの制御
命令により、搬送ロボットＴＲ１は指定された液処理ユ
ニットにアクセスすることができるような高さ位置に下
降することとなる。

【００７１】なお、オペレータによる液処理ユニットの
指定は、搬送ロボットＴＲ１をアクセス可能な状態に移
動させるだけであるため、伸縮昇降機構部２１０と回転
駆動機構部２２０を駆動させることにより、搬送ロボッ
トＴＲ１を指定された液処理ユニットに対向する位置に
移動させるだけである。従って、基板が不安定な状態で
保持されている可能性のあるアームについては駆動を行
うものではなく、基板をアームから落下させて破損させ
るような可能性は非常に低い。

【００７２】このように、状況確認画面によって、オペ
レータが、搬送ロボットＴＲ１の異常が発生した状態を
確認するための液処理ユニットを指定することにより、
搬送ロボットＴＲ１は、各アームの基板保持状態をオペ
レータが確認することができる位置（確認可能位置）に
移動する。

【００７３】液処理ユニットの上方に多段に積層配置さ
れた熱処理ユニットにアクセスする際にトラブルが発生
しても、オペレータはその搬送ロボットＴＲ１の状態を
確認することは容易ではない。しかし、上述のように液
処理ユニットには、オペレータによるメンテナンスが容
易なように開閉扉１２が設けられているため、搬送ロボ
ットＴＲ１を液処理ユニットに対向する位置に移動させ
れば、開閉扉１２を開放することにより、オペレータは
容易に搬送ロボットＴＲ１の状態を確認することができ
る。また、この確認可能位置への移動前後において各ア
ームは戻り位置に位置するので、たとえ基板が不安定な
状態で保持されていたとしても落下したり、他の処理ユ
ニット等に接触する可能性は低く、基板を破損すること
はない。また、搬送ロボットＴＲ１についても、単に昇
降移動と回転動作を行うだけであり、搬送ロボットＴＲ
１自体を破損することもない。

【００７４】このようにメインコントローラ１００は、
搬送ロボットの動作を制御するとともに、基板検出セン
サの出力を監視する制御部として機能し、基板検出セン
サの出力の異常を検出した場合に、警報発生部１５に対
して警報命令を送出するとともに、オペレータからの指
示入力に基づいて各アームの基板保持状態の確認可能位
置に搬送ロボットＴＲ１を移動させることができるよう
に構成されている。

【００７５】また、基板検出異常が基板検出センサの故
障等によって生じたものである場合は、基板検出センサ
を交換する必要がある。また、アームに基板が不安定な
状態で保持されている場合には、その基板を正常な状態
に載置する必要がある。

【００７６】このような場合、オペレータは、確認可能
位置に移動した搬送ロボットを開閉扉１２が設けられた
部分から観察することにより、基板検出異常が発生した
アームを駆動しても良いかどうかを判断することができ
るため、オペレータはさらに操作パネル１４を操作する
ことにより、搬送ロボットＴＲ１のアームを指定した液
処理ユニットに対して伸長させるように駆動することが
できる。

【００７７】すなわち、メインコントローラ１００は、
操作パネル１４からの入力に応じてアーム駆動機構部２
３０を駆動させるために搬送ロボットコントローラ２０
０に対して制御命令を送出するように構成されている。
ただし、不安定な状態の基板を落下させないようにアー
ムの振動を抑えるため、オペレータの１回の操作によっ
てアームの駆動量の１ピッチ分移動させるというよう
に、アームを所定ピッチずつ移動させるように構成する
ことが望ましい。

【００７８】これにより、搬送ロボットＴＲ１のアーム
が指定した液処理ユニットにアクセスした伸びた状態と
なり、オペレータは開閉扉１２を開け、基板検出センサ
の交換や不安定な状態の基板を正常な載置状態とするこ
とができる。

【００７９】＜４．処理シーケンス＞次に、メインコン
トローラ１００が基板検出センサの出力によってトラブ
ルを検知した場合の処理シーケンスの一例について説明
する。

【００８０】図１４は、搬送ロボットＴＲ１の基板検出
センサによる異常検出と、異常検出した場合のメインコ
ントローラ１００の処理及びオペレータの対応処理を示
すフローチャートである。

【００８１】まず、ステップＳ１０において、メインコ
ントローラ１００は、搬送ロボットコントローラ２００
に対して基板を所定の熱処理ユニット等に搬送するよう
に命令する。これにより、搬送ロボットコントローラ２
００は、伸縮昇降機構部２１０，回転駆動機構部２２
０，アーム駆動機構部２３０のそれぞれに対して駆動信
号を出力し、搬送ロボットＴＲ１はメインコントローラ
１００によって指定された動作を行う。そして、ステッ
プＳ１１において、搬送ロボットＴＲ１の搬送動作が終
了する。このとき、搬送ロボットＴＲ１の各アームは戻
り位置に戻っていることとなる。

【００８２】そして、ステップＳ１２において、メイン
コントローラ１００が各基板検出センサ２１ａ，２１ｂ
又は２２ａ，２２ｂの出力を読み取り、正常であるか異
常であるかの判定を行う。

【００８３】例えば、ステップＳ１０における基板の搬
送がいずれかの熱処理ユニットに対して基板を搬入する
動作であった場合には、搬入動作後のアームには基板が
存在しないのが正常である。従って、基板検出センサに
よって搬入動作を行ったアーム上に基板が検出されたと
きは異常であると認識する。

【００８４】また、ステップＳ１０における基板の搬送
がいずれかの熱処理ユニットから基板を取り出す（搬
出）する動作であった場合には、搬出動作後のアーム上
に基板が存在するのが正常である。従って、基板検出セ
ンサによって搬出動作を行ったアーム上に基板が検出さ
れないときは異常であると認識する。

【００８５】このように、基板検出センサ２１ａ，２１
ｂ又は２２ａ，２２ｂによって異常と認識される場合と
しては、搬送ロボットＴＲ１の各アームの動作前後にお
いて、アーム上に存在するはずの基板が検出されなかっ
た場合と、アーム上に基板が在しないはずであるにもか
かわらず、基板が検出された場合とである。具体例を挙
げると、基板が存在しないことを確認するために空取
り動作を行ったにもかかわらず、動作後、アーム上に基
板が検出された場合、基板を取り出すためにアームを
アクセスさせようとしたが、そのアーム上に既に基板が
検出されている場合、基板を取り出す動作を行ったに
もかからず、動作後、アーム上に基板が検出されなかっ
た場合、基板を搬入するためにアームをアクセスさせ
ようとしたが、そのアーム上に基板が検出されなかった
場合、基板を搬入したにもかかわらず、動作後、アー
ム上に基板が検出された場合との５つの場合がある。

【００８６】そして、メインコントローラ１００がこれ
らの異常に該当するか否かによって、正常か異常かを判
定する。

【００８７】ステップＳ１３では、メインコントローラ
１００は、ステップＳ１２における判定結果について
「正常」と判定した場合にステップＳ２０に処理を進
め、「異常」と判定した場合にトラブル発生時の処理で
あるステップＳ１４に処理を進める。

【００８８】そして、ステップＳ１４において、メイン
コントローラ１００は、一旦搬送ロボットＴＲ１を停止
させる命令を搬送ロボットコントローラ２００に対して
送出し、警報発生部１５に対して警報命令を送出すると
ともに、操作パネル１４に対して警報画面の表示を行わ
せる。この制御により、オペレータは、搬送ロボットＴ
Ｒ１の搬送動作の際に、基板検出センサによってトラブ
ルが検出されたことを認識することができる。

【００８９】そして、ステップＳ１５において、オペレ
ータは、操作パネル１４に状況確認画面（図１３参照）
を表示させて、搬送ロボットＴＲ１を移動させる液処理
ユニットを指定する。

【００９０】メインコントローラ１００は、ステップＳ
１６において搬送ロボットコントローラ２００に対して
搬送ロボットＴＲ１の制御命令を出力し、搬送ロボット
ＴＲ１を指定された液処理ユニットにアクセス可能な高
さ位置に下降させるとともに、アームを指定された液処
理ユニットに対向する位置となるように回転動作を行わ
せる。

【００９１】このステップＳ１６の処理が行われると、
オペレータは、指定した液処理ユニットに設けられてい
る開閉扉１２を開けて装置内部を見ることにより、搬送
ロボットＴＲ１のアームの基板保持状態を直接確認する
ことができる。この結果、基板がアームに不安定な状態
（例えば、傾いて保持されている状態等）で保持されて
いる場合であっても目視により容易に認識することがで
きる。また、基板検出センサによって基板が検出された
にもかかわらず、目視によるとアーム上に基板が存在し
ない場合は、基板検出センサの不良であると認識するこ
とができる。換言すれば、ステップＳ１６の処理によ
り、搬送ロボットＴＲ１は確認可能位置に移動し、オペ
レータは目視によって搬送ロボットＴＲ１の基板保持状
態を確認してトラブルの原因を特定することができる。

【００９２】なお、オペレータは、このとき必要に応じ
て上述したアラームリスタートボタンＢ１３やキャンセ
ルリスタートボタンＢ１４を押すことにより、基板検出
センサの出力を再度確認するようにすれば、よりトラブ
ル原因の特定が容易になるとともに、トラブルが解消さ
れていた場合は、処理の続行を行うことが可能となる。

【００９３】そして、トラブルの原因が、基板検出セン
サの故障である場合には基板検出センサを交換する等の
対処が必要となり、また、アーム上に基板が不安定な状
態で保持されている場合にはアーム上の基板を正常な保
持状態で載置する等の対処が必要となる。このような場
合は、オペレータがアームに対する作業を行い易いよう
にアームを指定した液処理ユニットに対して進入させる
必要がある。

【００９４】そのため、ステップＳ１７においては、オ
ペレータが操作パネル１４からアームを液処理ユニット
に対してアクセスするように所定の入力を行う。メイン
コントローラ１００は、オペレータからの入力に基づい
て搬送ロボットＴＲ１のアームを液処理ユニットに所定
のピッチずつ進入させるように、搬送ロボットコントロ
ーラ２００に対して制御命令を送出する。

【００９５】これにより、搬送ロボットＴＲ１はアーム
を指定された液処理ユニットに対して少しずつ間欠的に
アームを移動させ、オペレータによる作業可能な位置に
アームをアクセスさせる。

【００９６】そして、ステップＳ１８において、オペレ
ータは操作パネル１４上に詳細画面（図１０参照）を表
示させるように操作を行う。これにより、メインコント
ローラ１００は、操作パネル１４に詳細画面を表示させ
る。これにより、オペレータは、操作パネル１４に表示
される詳細画面の警報内容及び対処・復帰手順に基づい
て復帰作業を行うことができる。

【００９７】操作パネル１４に表示される警報内容とし
ては、上述した具体例の異常と認識される場合の内容が
表示され、対処・復帰手順としては、それらの異常の場
合の適切な対処方法が表示される。

【００９８】例えば、基板が存在しないことを確認す
るために空取り動作を行ったにもかかわらず、動作後、
アーム上に基板が検出された場合であると、「搬送ロボ
ットの状態を確認し、アーム上に基板が存在すればそれ
を取り除いて下さい。基板が存在しなければ、センサの
誤検知である可能性が高いです。センサをご確認下さ
い。」という対処・復帰手順が表示され、基板を取り
出すためにアームをアクセスさせようとしたが、そのア
ーム上に既に基板が検出されている場合であると、「搬
送ロボットの状態を確認し、アーム上に基板が存在すれ
ばそれを取り除いて下さい。基板が存在しなければ、セ
ンサの誤検知である可能性が高いです。センサをご確認
下さい。」という対処・復帰手順が表示され、基板を
取り出す動作を行ったにもかからず、動作後、アーム上
に基板が検出されなかった場合であると、「搬送ロボッ
トの状態を確認し、アーム上に基板が存在すれば、適切
な位置に載っているかを確認して下さい。正しく載って
いれば、センサの誤検知である可能性が高いので、セン
サをご確認下さい。正しく載っていなければ、アームの
基板保持ガイド部又は処理ユニット内部を確認し、正し
く載るように調整して下さい。アーム上に基板が存在し
なければ、基板が落下又は処理ユニット内部に残ってい
る可能性がありますので、探して下さい。」という対処
・復帰手順が表示される。また、基板を搬入するため
にアームをアクセスさせようとしたが、そのアーム上に
基板が検出されなかった場合であると、「搬送ロボット
の状態を確認し、アーム上に基板が存在すれば、適切な
位置に載っているかを確認して下さい。正しく載ってい
れば、センサの誤検知である可能性が高いので、センサ
をご確認下さい。正しく載っていなければ、アームの基
板保持ガイド部又は処理ユニット内部を確認し、正しく
載るように調整して下さい。アーム上に基板が存在しな
ければ、基板が落下した可能性がありますので、探して
下さい。」という対処・復帰手順が表示され、基板を
搬入したにもかかわらず、動作後、アーム上に基板が検
出された場合であると、「搬送ロボットの状態を確認
し、アーム上に基板が存在すれば、基板を搬入しようと
した処理ユニットに問題がある可能性が高いので、処理
ユニットを確認して下さい。アーム上に基板が存在しな
ければ、センサの誤検知である可能性が高いので、セン
サをご確認下さい。」という対処・復帰手順が表示され
る。

【００９９】このように、操作パネル１４に基板検出セ
ンサの検出した異常の状態に応じた内容が表示されるた
め、オペレータには熟練度のようなものは必要なく、容
易に復帰作業を行うことができる。

【０１００】そして、復帰作業が終了すると、オペレー
タは操作パネル１４に警報画面を表示させ、アラームリ
スタートボタンＢ１３又はキャンセルリスタートボタン
Ｂ１４を押す操作を行う。

【０１０１】これにより、メインコントローラ１００は
搬送動作の再開を行うように搬送ロボットコントローラ
２００に対して制御命令を送出し、基板処理装置におけ
る基板の処理の続行が開始される。

【０１０２】以上のような一連の処理又は操作により、
搬送ロボットにトラブルが発生した際に、オペレータが
容易に搬送ロボットの状態を確認できるとともに、復帰
作業も容易に行うことができる。

【０１０３】＜５．変形例＞上述の説明においては、搬
送ロボットＴＲ１において異常が発生した際の状態を確
認するための確認可能位置は、アームが指定された液処
理ユニットに対してアクセス（進入）可能な高さ位置で
あり、アームが指定された液処理ユニットに対向する位
置であるとして説明した。しかし、確認可能位置は液処
理ユニットに対向する位置であることに限定するもので
はなく、図１５の基板処理装置に示すように搬送ロボッ
トＴＲ１にトラブルが発生した際の専用の対処ポジショ
ンＴＰを設け、対処ポジションＴＰに対向する位置とし
ても良い。この場合は、基板検出センサの交換等の際に
は、対処ポジションＴＰに対してアームを所定ピッチず
つ移動させることとなる。

【０１０４】また、確認可能位置は、液処理ユニットや
対処ポジションにアクセス可能な位置として設定しなく
とも、搬送ロボットＴＲ１のアームをオペレータが目視
にて容易に確認可能な位置であれば良いため、液処理ユ
ニットや対処ポジションにアクセス可能な位置に限定す
るものでもない。

【０１０５】

【発明の効果】以上説明したように、請求項１に記載の
発明によれば、制御部は、基板検出センサの出力の異常
を検出した場合に、警報発生手段に対して命令を送出
し、アームの基板保持状態の確認可能位置に搬送ロボッ
トを移動させるため、搬送ロボットにトラブルが発生し
た際に、オペレータが容易にトラブルの発生を認識する
ことができるとともに、搬送ロボットの状態を容易に確
認することができ、効率的にトラブルの原因を究明する
ことができる。

【０１０６】請求項２に記載の発明によれば、制御部に
対して搬送ロボットの動作についての制御命令を与える
可搬性の操作パネルを備えるため、搬送ロボットの復帰
作業時にオペレータの手元に操作パネルを配置すること
ができるので、操作効率が向上する。

【０１０７】請求項３に記載の発明によれば、確認可能
位置は、アームが所定の処理部に対して進入可能な高さ
において、アームが所定の処理部に対向する位置である
ため、アームに対して復帰作業を行う際に、アームを所
定の処理部に進入させることができ、復帰作業を容易に
行うことができる。

【０１０８】請求項４に記載の発明によれば、制御部
は、搬送ロボットが確認可能位置に移動した後、所定の
入力に応答してアームを駆動して所定の処理部に進入さ
せるため、より身近な位置でよりよく搬送ロボットの状
態を確認することができる。

【図面の簡単な説明】

【図１】この発明の実施の形態の基板処理装置を説明す
る図である。

【図２】図１の処理ユニットの配置構成を説明する図で
ある。

【図３】基板処理装置の開閉扉及び操作パネルを説明す
る図である。

【図４】搬送ロボットの外観斜視図である。

【図５】搬送ロボットの動作機構を説明するための側面
断面図である。

【図６】図４の搬送ロボットのアーム部分の拡大図であ
る。

【図７】搬送ロボットのアーム部分を側方からみた概略
図である。

【図８】基板処理装置の制御機構を示すブロック図であ
る。

【図９】操作パネルに表示される警報画面を示す図であ
る。

【図１０】警報内容の詳細を表示する詳細画面を示す図
である。

【図１１】基板処理装置の側断面を示す概略図である。

【図１２】基板処理装置の側断面を示す概略図である。

【図１３】操作パネルに表示される状況確認画面を示す
図である。

【図１４】メインコントローラの処理及びオペレータの
対応処理を示すフローチャートである。

【図１５】基板処理装置の変形例を示す図である。

【符号の説明】

１４（１４ａ，１４ｂ）操作パネル１５警報発生部（警報発生手段）３１ａ，３１ｂアーム２１ａ，２１ｂ，２２ａ，２２ｂ基板検出センサ１００メインコントローラ（制御部）２００搬送ロボットコントローラ２１０伸縮昇降機構部２２０回転駆動機構部２３０アーム駆動機構部ＴＰ対処ポジションＴＲ１搬送ロボットＷ基板

Claims

【特許請求の範囲】

【請求項１】搬送ロボットが複数の処理部に対して基
板を順次に搬送することによって、基板に対する所定の
処理を施す装置であって、 (a) 前記搬送ロボットに設けられ、基板を各処理部間で
搬送する際に、基板を保持するアームと、 (b) 前記アームにおける基板の有無を検出する基板検出
センサと、 (c) 前記搬送ロボットの動作を制御するとともに、前記
基板検出センサの出力を監視する制御部と、 (d) 前記制御部からの命令に基づいて警報を発生させる
警報発生手段と、を備え、前記制御部は、前記基板検出センサの出力の異常を検出
した場合に、前記警報発生手段に対して前記命令を送出
し、前記アームの基板保持状態の確認可能位置に前記搬
送ロボットを移動させることを特徴とする基板処理装
置。
【請求項２】請求項１に記載の装置において、さら
に、 (e) 前記制御部に対して前記搬送ロボットの動作につい
ての制御命令を与える可搬性の操作パネル、を備えるこ
とを特徴とする基板処理装置。
【請求項３】請求項１又は請求項２に記載の装置にお
いて、前記確認可能位置は、前記アームが所定の処理部に対し
て進入可能な高さにおいて、前記アームが前記所定の処
理部に対向する位置であることを特徴とする基板処理装
置。
【請求項４】請求項３に記載の装置において、前記制御部は、前記搬送ロボットが前記確認可能位置に
移動した後、所定の入力に応答して前記アームを駆動し
て前記所定の処理部に進入させることを特徴とする基板
処理装置。